JP4723128B2 - 基準データ作成方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、回路基板検査用の基準データを作成する基準データ作成方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
この種の基準データ作成方法として、図5に示す手順で回路基板検査用の基準データを作成する基準データ作成方法が従来から知られている。この基準データ作成方法は、例えば、図3に示す回路基板検査装置41による回路基板検査処理で実施されている。この場合、回路基板検査装置41は、絶縁フィルム2aが貼付された電極2bを有する電極部2、検査用プローブ3,4、移動機構5a,5b、制御部46、RAM7およびROM8を備えて構成されている。一方、検査対象の回路基板Pは、図4に示すように、ガラスエポキシ系基材の表面に複数の導体パターンCP1 ,CP2 ,・・・(以下、特に区別しないときには「導体パターンCP」ともいう)が形成されて構成されている。また、各導体パターンCPにおける各端点には、同図に示すように、ランドが形成され、このランドは、測定ポイントTP1 ,TP2 ,・・・(以下、特に区別しないときには「測定ポイントTP」ともいう)として機能する。
【0003】
次に、回路基板検査装置41による基準データの作成処理について、図3〜図5を参照して説明する。まず、導体パターンCPの形成面を上向きにして回路基板Pを電極部2における電極2bの上に載置する。次に、制御部46が、移動機構5a,5bを制御してプローブ固定具3a,4a(駆動機構5a,5bの一部を構成する)に取り付けられた検査用プローブ3,4を回路基板Pの導体パターンCP1 における測定ポイントTP1 ,TP2 にそれぞれ接触させる(ステップ50)。次いで、制御部46が、検査信号としての交流電圧を順次出力することにより、測定ポイントTP1 における導体パターンCP1 と電極2bとの間の対電極間静電容量CTC1 、および測定ポイントTP2 における導体パターンCP1 と電極2bとの間の対電極間静電容量CTC2 をオートレンジ測定でそれぞれ仮測定する。この場合、対電極間静電容量を正確に測定するためには、測定される対電極間静電容量に適した測定レンジを選択する必要がある。つまり、例えば測定レンジの上限値や下限値の近傍まで達する対電極間静電容量をその測定レンジで正確に測定するのは困難となる。このため、仮測定した各対電極間静電容量CTC1 ,CTC2 (以下、区別しないときには、「対電極間静電容量CTC」ともいう)に適した測定レンジを選択して設定する(ステップ51)。より具体的には、例えば、対電極間静電容量CTC1 をフルスケール20pFの測定レンジで仮測定して3pFを得た際には、3pFを正確に測定するのに最も適したフルスケール10pFの測定レンジを選択して設定する。
【0004】
次に、制御部46は、移動機構5a,5bを制御して検査用プローブ3,4を上動させて各測定ポイントTP1 ,TP2 から若干離間させ、この状態で検査信号としての交流電圧を順次出力することにより、測定ポイントTP1 での固有容量CS1、および測定ポイントTP2 での固有容量CS2を設定した測定レンジでそれぞれ測定してRAM7に記憶させる(ステップ52)。このステップ52による測定処理により、移動機構5a,5bの種類、測定レンジの種類(例えば1pFフルスケールまたは10pFフルスケール等)、および検査信号の種類(例えば検査信号の周波数)等の構成要素によって決定される測定系の測定形態に起因する固有容量(浮遊容量ともいう)CS が測定される。次に、制御部46は、移動機構5a,5bを制御して検査用プローブ3,4を各測定ポイントTP1 ,TP2 に再度接触させ、検査信号としての交流電圧を順次出力することにより、測定ポイントTP1 における導体パターンCP1 と電極2bとの間の対電極間静電容量CPR1 、および測定ポイントTP2 における導体パターンCP1 と電極2bとの間の対電極間静電容量CPR2 (以下、区別しないときには「対電極間静電容量CPR」ともいう)をそれぞれステップ51において設定した測定レンジで測定する(ステップ53)。次いで、制御部46は、測定した各測定ポイントTP1 ,TP2 における各対電極間静電容量CPR1 ,CPR2 から各測定ポイントTP1 ,TP2 における各固有容量CS1,CS2(以下、区別しないときには、「固有容量CS 」ともいう)を差し引き、この差分容量を固有容量の影響を排除した各測定ポイントTP1 ,TP2 における正規の対電極間静電容量CTP1 ,CTP2 (以下、区別しないときには、「対電極間静電容量CTP」ともいう)としてRAM7に記憶させる(ステップ54)。制御部46は、導体パターンCP1 における残りの測定ポイントTP3 に対しても上記各ステップ50〜54を実施し、対電極間静電容量CTP3 を算出してRAM7に記憶させる。
【0005】
制御部46は、すべての測定ポイントTPにおける対電極間静電容量CTPを測定したか否かを判断し(ステップ55)、未測定の測定ポイントが存在するときには上記各ステップ50〜54を繰り返し実施して、他の導体パターンCPに規定された各測定ポイントTPにおける対電極間静電容量CTPを順次測定しRAM7に記憶させる。次に、制御部46は、ステップ55においてすべての測定ポイントTPの対電極間静電容量CTPを測定したと判断したときには、RAM7に記憶させた各対電極間静電容量CTPに基づき、各導体パターンCP毎に、その導体パターンCP内の各測定ポイントTPにおける対電極間静電容量CTP,CTP同士を比較し、対電極間静電容量CTPが異なる導体パターンCPが存在するか否かを判別する(ステップ56)。この場合、図4に示す導体パターンCP2 のように断線箇所が存在しないときには、各測定ポイントTP4 〜TP6 における各対電極間静電容量CTP4 〜CTP6 は互いに同一または近似する容量値となる。一方、導体パターンCP1 のように断線箇所Bが存在するときには、測定ポイントTP2 における対電極間静電容量CTP2 が、本来的には同一の容量となるべき他の測定ポイントTP1 ,TP3 における対電極間静電容量CTP1 ,CTP3 とは異なる値となる。このため、制御部46は、ステップ56において、同一の導体パターンCPにおける各測定ポイントTPの各対電極間静電容量CTPが互いに異なるときには、この導体パターンCPに対して断線検査を実施して、断線箇所を特定する(ステップ57)。具体的には、移動機構5a,5bを制御して一方の検査用プローブ3をその対電極間静電容量CTPが他の対電極間静電容量CTPと異なる測定ポイントTPに接触させると共に、他方の検査用プローブ4を残りの測定ポイントTPに順次接触させつつ両検査用プローブ3,4間の抵抗値を測定することによって断線箇所を特定し、これを断線箇所情報としてRAM7に記憶させる。
【0006】
次いで、ステップ56において、対電極間静電容量CTPが異なる導体パターンCPがなかったとき、およびステップ57の断線検査を終了したときには、制御部46は、RAM7に記憶させた各対電極間静電容量CTPに基づき、対電極間静電容量CTPが互いに近似する導体パターンCPの群の有無を検出する(ステップ58)。この際に、対電極間静電容量CTPが互いに近似する導体パターンCPの群を検出したときには、その導体パターンCP,CP間に、図4に示すような短絡箇所Aが存在する可能性がある。このため、制御部46は、対電極間静電容量CTPが互いに近似する導体パターンCP,CP間の短絡検査を実施する(ステップ59)。具体的には、移動機構5a,5bを制御して対電極間静電容量CTPが互いに近似する一対の導体パターンCP,CPに検査用プローブ3,4をそれぞれ接触させ、両導体パターンCP,CP間の抵抗値を測定することにより、短絡箇所の有無を特定する。次いで、短絡箇所が存在するときには、短絡箇所情報(短絡の有無の情報)をRAM7に記憶させる。一方、ステップ58において、対電極間静電容量CTPが互いに近似する導体パターンCPの群が検出されないときには、この静電容量測定処理を終了する。
【0007】
次いで、ステップ58において、対電極間静電容量CTPが互いに近似する導体パターンCPがなかったとき、およびステップ59の短絡検査を終了したときには、制御部46は、RAM7に記憶させた断線箇所情報と短絡箇所情報とに基づき、すべての導体パターンCPにおけるすべての測定ポイントTPの対電極間静電容量CTPを正常に測定したか否かを判断する(ステップ60)。この判断の結果、いずれかの導体パターンCPにおいて断線や短絡が検出されたことによって対電極間静電容量CTPを正常に測定していない測定ポイントTPが存在していると判断したときには、制御部46は、制御部46に設けられた表示部(図示せず)にその旨の表示をさせることによってオペレータに対して回路基板Pの交換を要求し(ステップ61)、回路基板Pの交換後に、上記ステップ50に戻り、正常に対電極間静電容量CTPが測定されなかった測定ポイントTPについての対電極間静電容量CTPの再測定を実行する。
【0008】
次いで、制御部46は、上記各ステップ50〜61を繰り返し実施し、ステップ60において、すべての測定ポイントTPの対電極間静電容量CTPを正常に測定したと判断したときには、各導体パターンCP1 ,CP2 ,・・・毎に基準静電容量CFL1 ,CFL2 ,・・・(以下、特に区別しないときには「基準静電容量CFL」ともいう)を算出してRAM7に記憶させる(ステップ62)。具体的には、制御部46は、各導体パターンCP1 ,CP2 ,・・・毎に1つの測定ポイントTPを検査用測定ポイントTPC として選択する。例えば、導体パターンCP1 では、測定ポイントTP1 を検査用測定ポイントTPC1として選択し、導体パターンCP2 では、測定ポイントTP5 を検査用測定ポイントTPC2として選択する(以下、特に区別しないときには「検査用測定ポイントTPC 」ともいう)。また、制御部46は、各導体パターンCP毎に、選択した検査用測定ポイントTPC における固有容量CS と対電極間静電容量CTPとを合計(加算)することによって基準静電容量(基準データ)CFLを算出し、検査用測定ポイントTPC の情報と対応させてRAM7に記憶させ、この基準データ作成処理を終了する。
【0009】
この回路基板検査装置41による基準データ作成方法によれば、断線した導体パターンCPを検出すると共に他の導体パターンCPに短絡している導体パターンCPを検出し、かつ必要に応じて回路基板Pの交換を要求しつつ、回路基板Pに形成されたすべての導体パターンCPについての基準静電容量CFLの自動作成が可能となっている。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、従来の基準データ作成方法には、以下の問題点がある。すなわち、従来の基準データ作成方法では、すべての測定ポイントTPにおいて、適正な測定レンジを選択するために対電極間静電容量CTCを測定した後に固有容量CS を測定し、その上で、さらに対電極間静電容量CPRを測定して正規な対電極間静電容量CTPを算出する必要がある。したがって、各測定ポイントTPにおいて、少なくとも2回は検査用プローブ3(または4)を測定ポイントTPに対して接離動(上下動)させる必要がある。この場合、検査用プローブ3(または4)の上下動は、検査用プローブ3に対する加速やブレーキの制御を行う関係上、ある程度長いタクトタイムを必要とする。したがって、すべての導体パターンCPにおけるすべての測定ポイントTPについての対電極間静電容量CTPを測定するために膨大な時間を要するという問題点がある。また、基準データの作成対象の回路基板を異なる種類に変更する毎に、同様の手順に従って、対電極間静電容量CTC、固有容量CS および対電極間静電容量CPRを測定しなければならず、基準データの作成処理が煩雑であるという問題点がある。
【0011】
その一方で、出願人は、対電極間静電容量CTPを算出する際に測定する固有容量CS の大小を決める主たる要因は、測定系の測定形態を決定する構成要素、すなわち検査用プローブ3,4を移動させる移動機能の種類、測定レンジの種類、および検査信号の周波数であって、その他の要因(例えば検査用プローブ3,4の回路基板P上での位置、言い換えれば測定ポイントTPの位置)は固有容量CS に与える影響が小さく無視できるという事実を種々の実験によって確認した。そこで、出願人は、この事実を利用して回路基板検査用の基準データの作成時間を短縮する手法を検討した。
【0012】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、短時間で効率よく回路基板検査用の基準データを作成し得る基準データ作成方法を提供することを主目的とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成すべく請求項1記載の基準データ作成方法は、接触型の検査用プローブを備えた検査装置を用いて検査対象の回路基板における複数の導体パターンの良否を検査する際に当該検査装置によって測定される当該各導体パターンおよび基準電極の間の各対電極間静電容量との比較に使用される基準データを作成する基準データ作成方法であって、前記検査用プローブを含む前記検査装置における測定系の測定形態毎の固有容量を測定して保存する固有容量保存処理を実行した後、前記導体パターンにおける1つの測定ポイントについての当該導体パターンと前記基準電極との間の第1の対電極間静電容量を前記いずれかの測定形態によって測定する測定処理と、前記保存されている固有容量のうちの前記1つの測定ポイントを測定した前記測定形態に対応する前記固有容量を読み出すと共に当該測定ポイントについての前記第1の対電極間静電容量および当該読み出した固有容量の差分容量を算出する固有容量算出処理とを前記各導体パターン毎に実行し、前記算出した各差分容量に基づいて前記各導体パターンについての前記基準データを作成し、前記固有容量保存処理において、前記測定系における各測定レンジに対応してその容量が予めそれぞれ決定された複数の基準コンデンサが搭載された校正用回路基板を使用して、前記検査用プローブを用いて前記基準コンデンサの容量を測定すると共に当該測定した容量から当該基準コンデンサの容量を差し引いて前記固有容量を測定することを特徴とする。この場合、前記測定系の前記測定形態は、前記検査用プローブを移動させる移動機構の種類、測定レンジの種類、および前記検査用プローブと前記基準電極との間に印加される検査信号の周波数によって決定される。
【0014】
請求項2記載の基準データ作成方法は、請求項1記載の基準データ作成方法において、前記各差分容量と、当該各差分容量の算出の際に読み出した前記固有容量とを合計してそれぞれ求めた各静電容量に基づいて前記各導体パターンについての前記基準データを作成することを特徴とする。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して、本発明に係る基準データ作成方法を実施する回路基板検査装置の好適な発明の実施の形態について説明する。なお、従来の回路基板検査装置41と同一の構成要素、および検査対象の回路基板Pについては、同一の符号を付して重複した説明を省略する。
【0017】
最初に、本発明を実施する回路基板検査装置1の構成について、図3を参照して説明する。
【0018】
同図に示すように、回路基板検査装置1は、電極部2、検査用プローブ3,4、移動機構5a,5b、制御部6、RAM7およびROM8を備えて構成されている。この場合、電極部2は、その表面に絶縁フィルム2aが貼付された平板状の電極2bを有し検査対象の回路基板Pを載置可能に構成されている。検査用プローブ3,4は、接触型プローブであって、プローブ固定具3a,4aを介して移動機構5a,5bに取り付けられた状態で電極部2の上方に配設されている。制御部6は、異なる周波数の検査信号を生成する検査信号生成処理、電極部2および検査用プローブ3,4を用いて容量を測定する測定処理(容量測定に際しての測定レンジの切り替え制御処理も含む)、移動機構5a,5bを駆動制御する制御処理、回路基板Pに対する検査用の基準静電容量CFLについての基準データを作成する基準データ作成処理、およびこの基準データを用いて回路基板Pを検査する検査処理などを実行する。また、制御部6は、電極部2および検査用プローブ3,4を用いた容量測定を行う際には、検査信号の周波数、測定レンジの種類、および駆動機構の種類によって決定される複数の測定形態のうちから1つの測定形態を1つの測定ポイントTPに対して選択して設定する設定処理も実行する。RAM7は、導体パターンCP毎の測定ポイントTPについての位置データ、測定ポイントTP毎に設定された測定形態情報(測定レンジの種類は除く)、測定した測定形態毎の固有容量CS 、測定した対電極間静電容量CTP、検出した断線箇所や短絡箇所の情報、および制御部6の演算結果などを一時的に記憶する。ROM8は、制御部6の動作プログラムを記憶する。
【0019】
一方、回路基板検査装置1において上記測定系の各測定形態毎の固有容量CS を測定するために使用される校正用回路基板PCAは、図2に示すように、基材の一面(搭載面)に各測定レンジに対応付けされた複数の校正用の基準コンデンサCR1,CR2,CR3,・・・CRN(Nは2以上の自然数)が搭載されている。また、校正用回路基板PCAの基材における他面(裏面)には、その全域に亘ってグランドパターン(ベタグランドパターン)が形成されている。この場合、各基準コンデンサCR1,CR2,CR3,・・・CRN(以下、区別しないときには、「基準コンデンサCR 」ともいう)は、その一端が搭載面に形成されたランドL1〜LNに接続されると共に他端が他面のグランドパターンに接続されている。また、各基準コンデンサCR1は、各測定レンジ毎に少なくとも1つ配設されており、その容量は既知となっている。具体的には、各基準コンデンサCR の容量は、例えば、測定レンジが3つであって、各測定レンジ1,2,3のフルスケールがそれぞれ1pF、10pF、20pFの場合、各測定レンジ1,2,3の中間の容量(一例として0.5pF、5pF、10pF)にそれぞれ規定されている。したがって、校正用回路基板PCAを用いて回路基板検査装置1における各測定形態の固有容量CS を算出する際に、回路基板検査装置1によって測定された各基準コンデンサCR の容量と測定系の固有容量CS との合計容量が対応する測定レンジの上限値を超えることに起因して固有容量CS の測定が不能となる事態を回避することができる。
【0020】
次に、回路基板検査装置1の動作について、図1〜図4を参照して説明する。なお、回路基板検査装置41と同一の動作については、その旨を記載して重複する説明は省略する。
【0021】
まず、基準コンデンサCR の搭載面を上向きにして校正用回路基板PCAを電極部2の上に載置する(ステップ20)。この際に、回路基板Pの裏面におけるグランドパターンと電極部2の電極2bとを電気的に短絡接続する。
【0022】
次に、制御部6が、図1に示す基準データ作成処理を開始する。この処理では、制御部6は、測定系における測定形態毎の固有容量CS を測定して保存する(ステップ21:固有容量保存処理)。具体的には、制御部6は、最初に、測定形態を決定する構成要素のうちの測定レンジを測定レンジ1に設定すると共に測定形態を決定する構成要素のうちの移動機構の種類(本実施の形態では、移動機構5a(または5b))を移動機構5aに設定し、かつ測定形態を決定する構成要素のうちの検査信号の種類(例えば検査信号の周波数)を100KHzに設定する。次いで、この測定形態1下での基準コンデンサCR1の容量を測定する。続いて、制御部6は、基準コンデンサCR1の既知の容量を、測定した容量から差し引いて測定形態1における固有容量CS を求めてRAM7に保存する。制御部6は、この固有容量保存処理を測定形態の構成要素(測定レンジ、移動機構の種類および検査信号の種類)を組み替えながらすべての測定形態に対して実施し、各測定形態毎の固有容量CS を測定して保存する。具体的には、例えば、検査信号の種類を100KHzに固定した場合、測定レンジ2,3における固有容量CS を測定する際には、基準コンデンサCR2,CR3の容量を測定して、測定形態1のときと同様にして、基準コンデンサCR2(またはCR3)の容量を、測定した容量から差し引いて測定形態2(または3)における固有容量CS を求めてRAM7に保存する。
【0023】
次に、校正用回路基板PCAに代えて、導体パターンCP1 ,CP2 の形成面を上向きにして基準データ吸収用の回路基板P(検査対象の回路基板Pと同一の基板)を電極部2の上に載置する(ステップ22)。
【0024】
続いて、制御部6は、導体パターンCP1 における各測定ポイントTP1 ,TP2 に適用する測定形態情報(測定レンジの種類は除く)をRAM7からそれぞれ読み出し、これら適用測定形態を構成する移動機構5a,5bを制御して検査用プローブ3,4を対応する測定ポイントTP1 ,TP2 にそれぞれ接触させる(ステップ23)。次いで、制御部6は、各測定形態を構成する周波数の検査信号(交流電圧)を順次出力することにより、測定ポイントTP1 における導体パターンCP1 と電極2bとの間の対電極間静電容量CTC1 、および測定ポイントTP2 における導体パターンCP1 と電極2bとの間の対電極間静電容量CTC2 をオートレンジ測定でそれぞれ仮測定すると共に、仮測定した各対電極間静電容量CTC1 ,CTC2 に適した測定レンジを選択して設定する(ステップ24)。この場合、測定レンジが決定されることにより、各測定ポイントTP1 ,TP2 に適用する測定形態がそれぞれ決定される。続いて、制御部6は、決定された各測定形態を各測定ポイントTP1 ,TP2 にそれぞれ適用して、測定ポイントTP1 における導体パターンCP1 と電極2bとの間の対電極間静電容量(第1の対電極間静電容量)CPR1 、および測定ポイントTP2 における導体パターンCP1 と電極2bとの間の対電極間静電容量(第1の対電極間静電容量)CPR2 をそれぞれ測定する(ステップ25)。次に、制御部6は、各測定ポイントTP1 ,TP2 に適用した各測定形態に対応する固有容量CS をRAM7からそれぞれ読み出すと共に、測定した対電極間静電容量CPR1 、CPR2 からそれぞれ差し引き、この各差分容量を固有容量CS の影響を排除した各測定ポイントTP1 ,TP2 における正規の対電極間静電容量CTP1 ,CTP2 としてRAM7に記憶させる(ステップ26)。制御部6は、導体パターンCP1 における残りの測定ポイントTP3 に対しても上記各ステップ23〜26を実施し、対電極間静電容量CTP3 を算出してRAM7に記憶させる。
【0025】
制御部6は、すべての測定ポイントTPにおける対電極間静電容量CTPを測定したか否かを判断し(ステップ27)、未測定の測定ポイントが存在するときには上記各ステップ23〜26を繰り返し実施して、他の導体パターンCPに規定された各測定ポイントTPにおける対電極間静電容量CTPを順次測定してRAM7に記憶させる。また、制御部6は、ステップ24において決定された各測定ポイントTPに適用する測定形態の情報をこの対電極間静電容量CTPと併せてRAM7に記憶させる。
【0026】
次に、制御部6は、ステップ27においてすべての測定ポイントTPの対電極間静電容量CTPを測定したと判断したときには、図5に示すステップ56と同様にして、RAM7に記憶させた各対電極間静電容量CTPに基づき、各導体パターンCP毎に、その導体パターンCP内の各測定ポイントTPにおける対電極間静電容量CTP,CTP同士を比較し、対電極間静電容量CTPが異なる導体パターンCPが存在するか否かを判別する(ステップ28)。制御部6は、ステップ28において、同一の導体パターンCPにおける各測定ポイントTPの各対電極間静電容量CTPが互いに異なるときには、この導体パターンCPに対して図5に示すステップ57と同様の断線検査を実施して、断線箇所を特定すると共に断線箇所情報をRAM7に記憶させる(ステップ29)。
【0027】
次いで、ステップ28において、対電極間静電容量CTPが異なる導体パターンCPがなかったとき、およびステップ29の断線検査を終了したときには、制御部6は、図5に示すステップ58と同様にして、RAM7に記憶させた各対電極間静電容量CTPに基づき、対電極間静電容量CTPが互いに近似する導体パターンCPの群の有無を検出する(ステップ30)。この際に、対電極間静電容量CTPが互いに近似する導体パターンCPの群を検出したときには、その導体パターンCP,CP間に短絡箇所Aが存在する可能性があるため、制御部6は、図5に示すステップ59と同様にして、対電極間静電容量CTPが互いに近似する導体パターンCP,CP間の短絡検査を実施し、短絡箇所が存在するときには、短絡箇所情報(短絡の有無の情報)をRAM7に記憶させる(ステップ31)。一方、ステップ30において、対電極間静電容量CTPが互いに近似する導体パターンCPの群が検出されないときには、この静電容量測定処理を終了する。
【0028】
次いで、ステップ30において、対電極間静電容量CTPが互いに近似する導体パターンCPがなかったとき、およびステップ31の短絡検査を終了したときには、制御部6は、RAM7に記憶させた断線箇所情報と短絡箇所情報とに基づき、すべての導体パターンCPにおけるすべての測定ポイントTPの対電極間静電容量CTPを正常に測定したか否かを判断する(ステップ32)。この判断の結果、いずれかの導体パターンCPにおいて断線や短絡が検出されたことによって対電極間静電容量CTPを正常に測定していない測定ポイントTPが存在していると判断したときには、制御部6は、制御部6に設けられた表示部(図示せず)にその旨の表示をさせることによってオペレータに対して回路基板Pの交換を要求し(ステップ33)、回路基板Pの交換後に、上記ステップ23に戻り、正常に対電極間静電容量CTPが測定されなかった測定ポイントTPについての対電極間静電容量CTPの再測定を実行する。
【0029】
次いで、制御部6は、上記各ステップ23〜33を繰り返し実施し、ステップ32において、すべての測定ポイントTPの対電極間静電容量CTPを正常に測定したと判断したときには、各導体パターンCP1 ,CP2 ,・・・毎に基準静電容量CFL1 ,CFL2 ,・・・(以下、区別しないときには、「基準静電容量CFL」ともいう)を算出してRAM7に記憶させる(ステップ34)。具体的には、制御部6は、各導体パターンCP1 ,CP2 ,・・・毎に1つの測定ポイントTPを検査用測定ポイントTPC として選択する。例えば、導体パターンCP1 では、測定ポイントTP1 を検査用測定ポイントTPC1として選択し、導体パターンCP2 では、測定ポイントTP5 を検査用測定ポイントTPC2として選択する。また、制御部6は、各導体パターンCP毎に、選択した検査用測定ポイントTPC における固有容量CS と対電極間静電容量CTPとを合計(加算)することによって基準静電容量CFLを算出し、検査用測定ポイントTPC の情報(適用する測定形態の情報も含む)と対応させてRAM7に記憶させ、この基準データ作成処理を終了する。
【0030】
次に、同種の回路基板Pを検査する際には、まず、検査対象の回路基板Pを電極部2の上に載置する。次いで、制御部6が、RAM7に記憶させた検査用測定ポイントTPC の情報に基づき、導体パターンCP1 の対電極間静電容量CPR1 を測定する際に使用する移動機構の種類、測定に使用する測定レンジ、および測定に使用する検査信号の周波数をそれぞれ決定する。これにより、その導体パターンCP1 に対する静電容量を測定する測定形態が決定される。次いで、制御部6は、決定した一方の移動機構5a(または5b)を制御してプローブ固定具3a(または4a)に取り付けられた検査用プローブ3(または4)を回路基板Pの導体パターンCP1 における検査用測定ポイントTPC1に接触させ、決定した検査信号を出力すると共に決定した測定レンジで導体パターンCP1 の対電極間静電容量CPR1 を測定する。次に、制御部6は、測定した対電極間静電容量CPR1 と、RAM7に既に記憶されている基準データのうちの導体パターンCP1 についての基準静電容量CFL1 とを比較して、対電極間静電容量CPR1 が基準静電容量CFL1 に対して所定範囲内(例えば、±10%以内)のときに、その導体パターンCP1 に断線および短絡が存在しないと判別する。この判別処理をすべての導体パターンCPに対して行うことにより、検査対象の回路基板Pについての回路基板検査処理が完了する。この場合、対電極間基準静電容量CREF に固有容量CS を加えた基準静電容量CFL1 が基準データとして作成されているため、回路基板検査の際に固有容量CS を含めた対電極間静電容量CPR1 を測定して基準静電容量CFL1 (基準データ)と直ちに比較することができる。このため、対電極間基準静電容量CREF のみを基準データとする作成方法と比較して、実際の回路基板検査の際の検査時間を短縮することができる。
【0031】
このように、この基準データ作成方法によれば、回路基板検査装置1における各測定形態毎の固有容量CS を予め測定して保存しておくことにより、各測定ポイントTPについての対電極間静電容量CTPを測定する際に、測定に適用している測定形態の固有容量CS を測定することなく対電極間静電容量CTPを測定することができる。したがって、各測定ポイントTPのすべてに対して、検査用プローブ3,4を上下動させながら固有容量CS を測定する従来の基準データ作成方法と比較して、極めて短時間で、かつ効率よく、すべての基準静電容量CFL(基準データ)を作成することができる。また、回路基板検査装置1における各測定形態毎の固有容量CS を一回測定して保存しておくことにより、同一の種類の回路基板Pについての基準データを校正する場合や、種類の異なる回路基板Pについての基準データを新たに作成する場合において、図1におけるステップ20〜21を省くことができるため、同様にして、短時間にすべての基準静電容量CFL(基準データ)を作成することができる。また、このように基準静電容量CFL(基準データ)を短時間で作成することができる結果、回路基板Pに対する基板検査を短時間で行うことができる。これにより、回路基板Pについての検査コストを低減することができる。
【0032】
なお、本発明は、上記した本発明の実施の形態に示した構成に限定されない。例えば、本発明の実施の形態では、固有容量CS に対電極間静電容量CTPを加算した基準静電容量CFLを基準データとして回路基板Pに対する検査処理を行う例について説明したが、基準データ作成処理におけるステップ25で測定した対電極間静電容量CPRを直ちに基準データとすることもできる。また、対電極間静電容量CTPを基準データとすることもできる。後者の場合には、各測定形態毎の固有容量CS が予め保存されているため、測定した導体パターンCPの対電極間静電容量CPRからこの導体パターンCPの測定に適用された測定形態の固有容量CS を差し引き、この差分容量を基準データと比較すればよい。また、本発明の実施の形態では、基準電極として電極部2の電極2bを用いた基準データの作成例について説明したが、例えば、検査対象の回路基板Pにおいて広い面積を有するグランドパターンや電源パターンなどを基準電極として用いることもできる。
【0033】
【発明の効果】
以上のように、請求項1記載の基準データ作成方法によれば、測定系の測定形態毎の固有容量を測定して保存する固有容量保存処理を実行した後、導体パターンにおける1つの測定ポイントについての導体パターンと基準電極との間の第1の対電極間静電容量をいずれかの測定形態によって測定する測定処理と、保存されている固有容量のうちの1つの測定ポイントを測定した測定形態に対応する固有容量を読み出すと共に測定ポイントについての第1の対電極間静電容量および読み出した固有容量の差分容量を算出する固有容量算出処理とを各導体パターン毎に実行し、算出した各差分容量に基づいて各導体パターンについての基準データを作成することにより、測定に適用している測定形態の固有容量を測定することなく各測定ポイントについての第1の対電極間静電容量を測定することができる。したがって、各測定ポイントのすべてに対して、検査用プローブを上下動させながら固有容量を測定する従来の基準データ作成方法と比較して、極めて短時間で、かつ効率よく、すべての基準データを作成することができる。また、検査装置における各測定形態毎の固有容量を一回測定して保存しておくことにより、同一の種類の回路基板についての基準データを校正する場合や、種類の異なる回路基板についての基準データを新たに作成する場合において、各測定形態毎の固有容量の測定を省くことができるため、短時間にすべての基準データを作成することができる。また、このように基準データを短時間で作成することができる結果、回路基板に対する基板検査を短時間で行うことができ、これにより、回路基板についての検査コストを低減することができる。また、この基準データ作成方法によれば、固有容量保存処理において、測定系における各測定レンジに対応してその容量が予めそれぞれ決定された複数の基準コンデンサが搭載された校正用回路基板を使用して、検査用プローブを用いて測定した容量から基準コンデンサの容量を差し引いて固有容量を測定することにより、各測定形態毎の固有容量を正確に測定することができ、正確な基準データを作成することができる結果、回路基板についての検査精度を向上させることができる。
【0034】
また、請求項2記載の基準データ作成方法によれば、各差分容量と、各差分容量の算出の際に読み出した固有容量とを合計してそれぞれ求めた各静電容量に基づいて各導体パターンについての基準データを作成することにより、回路基板検査の際に固有容量を含めた対電極間静電容量を測定して基準データと直ちに比較することができるため、実際の回路基板検査の際の検査時間を短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態に係る回路基板検査装置1による基準データ作成処理を示すフローチャートである。
【図2】校正用回路基板PCAの一例の上面図である。
【図3】回路基板検査装置1および従来の回路基板検査装置41の構成を示す構成図である。
【図4】検査対象の一例である回路基板Pの上面図である。
【図5】従来の回路基板検査装置41による基準データ作成処理を示すフローチャートである。
【符号の説明】
1 回路基板検査装置
2 電極部
3,4 検査用プローブ
5a,5b 移動機構
6 制御部
7 RAM
CP1 ,CP2 導体パターン
P 回路基板
TP1 〜TP6 測定ポイント
Claims (2)
- 接触型の検査用プローブを備えた検査装置を用いて検査対象の回路基板における複数の導体パターンの良否を検査する際に当該検査装置によって測定される当該各導体パターンおよび基準電極の間の各対電極間静電容量との比較に使用される基準データを作成する基準データ作成方法であって、
前記検査用プローブを含む前記検査装置における測定系の測定形態毎の固有容量を測定して保存する固有容量保存処理を実行した後、
前記導体パターンにおける1つの測定ポイントについての当該導体パターンと前記基準電極との間の第1の対電極間静電容量を前記いずれかの測定形態によって測定する測定処理と、前記保存されている固有容量のうちの前記1つの測定ポイントを測定した前記測定形態に対応する前記固有容量を読み出すと共に当該測定ポイントについての前記第1の対電極間静電容量および当該読み出した固有容量の差分容量を算出する固有容量算出処理とを前記各導体パターン毎に実行し、
前記算出した各差分容量に基づいて前記各導体パターンについての前記基準データを作成し、
前記固有容量保存処理において、前記測定系における各測定レンジに対応してその容量が予めそれぞれ決定された複数の基準コンデンサが搭載された校正用回路基板を使用して、前記検査用プローブを用いて前記基準コンデンサの容量を測定すると共に当該測定した容量から当該基準コンデンサの容量を差し引いて前記固有容量を測定することを特徴とする基準データ作成方法。 - 前記各差分容量と、当該各差分容量の算出の際に読み出した前記固有容量とを合計してそれぞれ求めた各静電容量に基づいて前記各導体パターンについての前記基準データを作成することを特徴とする請求項1記載の基準データ作成方法。
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