JPH11337608A - パターン検査装置の補正方式 - Google Patents
パターン検査装置の補正方式Info
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- JPH11337608A JPH11337608A JP10145564A JP14556498A JPH11337608A JP H11337608 A JPH11337608 A JP H11337608A JP 10145564 A JP10145564 A JP 10145564A JP 14556498 A JP14556498 A JP 14556498A JP H11337608 A JPH11337608 A JP H11337608A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 電気容量を補正することができるパターン検
査装置の補正方式を提供する。 【解決手段】 測定ア−ム８に取り付けられた測定針７
を、プリント基板１の電気配線２上の端子３に接触さ
せ、電気配線２と対向する導体電極９との間の第１の電
気容量Ｃ１を電気容量計１０で測定し、その後、その測
定値と良否デ−タ格納部１３に格納された電気配線の理
論的な電気容量値（以下、期待値）とを、良否判定部１
２にて比較し、良否表示部１４にて良否結果を表示す
る。電気容量を測定する前に、測定ア−ム８に取り付け
られた測定針７を、予めプリント基板１の上に設けてお
いた、絶縁体で形成されかつ端子と同一形状の標準端子
４に接触させ、第２の電気容量Ｃ２を電気容量計を用い
て測定し、補正処理部１１により補正処理する。
査装置の補正方式を提供する。 【解決手段】 測定ア−ム８に取り付けられた測定針７
を、プリント基板１の電気配線２上の端子３に接触さ
せ、電気配線２と対向する導体電極９との間の第１の電
気容量Ｃ１を電気容量計１０で測定し、その後、その測
定値と良否デ−タ格納部１３に格納された電気配線の理
論的な電気容量値（以下、期待値）とを、良否判定部１
２にて比較し、良否表示部１４にて良否結果を表示す
る。電気容量を測定する前に、測定ア−ム８に取り付け
られた測定針７を、予めプリント基板１の上に設けてお
いた、絶縁体で形成されかつ端子と同一形状の標準端子
４に接触させ、第２の電気容量Ｃ２を電気容量計を用い
て測定し、補正処理部１１により補正処理する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、パターン検査装置
の補正方式に関し、特に、電気容量を補正することがで
きるパターン検査装置の補正方式に関する。
の補正方式に関し、特に、電気容量を補正することがで
きるパターン検査装置の補正方式に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、パタ−ン配線基板を検査する方法
には、特願昭５５年第１４１３３号公報に記載されてい
る「パタ−ン検査方法」に示されるように、被検査配線
とそれに対向する電極との間に発生する電気容量の大小
を利用し、被検査電気配線の良否判定をする方法があ
る。
には、特願昭５５年第１４１３３号公報に記載されてい
る「パタ−ン検査方法」に示されるように、被検査配線
とそれに対向する電極との間に発生する電気容量の大小
を利用し、被検査電気配線の良否判定をする方法があ
る。
【０００３】図２は、上述した従来の「パターン検査方
法」の構成を示すブロック図である。この方法は、測定
ア−ム２６に取り付けられた測定針２７を、プリント基
板２１の電気配線２２上の端子２３に接触させ、電気配
線２２と対向する導体電極２８との間の第１の電気容量
Ｃ１−２４を電気容量計２９で測定する。その後、第１
の電気容量の測定値と、良否デ−タ格納部３１に格納さ
れた電気配線２２の理論的な電気容量値（以下、期待値
という）とを、良否判定部３０にて比較し、良否表示部
３２にて良否結果を表示する。
法」の構成を示すブロック図である。この方法は、測定
ア−ム２６に取り付けられた測定針２７を、プリント基
板２１の電気配線２２上の端子２３に接触させ、電気配
線２２と対向する導体電極２８との間の第１の電気容量
Ｃ１−２４を電気容量計２９で測定する。その後、第１
の電気容量の測定値と、良否デ−タ格納部３１に格納さ
れた電気配線２２の理論的な電気容量値（以下、期待値
という）とを、良否判定部３０にて比較し、良否表示部
３２にて良否結果を表示する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来例では、
電気配線と対向する導体電極との間の第１の電気容量を
測定する際、同時に測定ア−ムと、導体電極との間に第
２の電気容量が生じる。その為電気容量計には、第１の
電気容量と第２の電気容量の並列接続に相当する電気容
量が測定され、その値を基に良否判定を実施するので、
誤った良否判定をする可能性を有するという問題があっ
た。
電気配線と対向する導体電極との間の第１の電気容量を
測定する際、同時に測定ア−ムと、導体電極との間に第
２の電気容量が生じる。その為電気容量計には、第１の
電気容量と第２の電気容量の並列接続に相当する電気容
量が測定され、その値を基に良否判定を実施するので、
誤った良否判定をする可能性を有するという問題があっ
た。
【０００５】そこで、本発明の目的は、上記問題を解消
すべく、電気容量を補正することができるパターン検査
装置の補正方式を提供することにある。
すべく、電気容量を補正することができるパターン検査
装置の補正方式を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のパターン検査装置の補正方式は、測定ア−
ムに取り付けられた測定針を、プリント基板の電気配線
上の端子に接触させ、電気配線と対向する導体電極との
間の電気容量を測定する電気容量計と、電気容量計によ
る測定値と良否データ格納部に予め格納された理論的な
電気容量値とを比較する良否判定部と、良否判定部によ
る良否結果を表示する良否表示部とを備えたパターン検
査装置において、測定したい電気容量を第１の電気容
量，補正する電気容量を第２の電気容量，実際に測定す
る電気容量を第３の電気容量とし、電気容量計により測
定された第３の電気容量から第２の電気容量を差し引い
て補正処理した後、良否判定部に渡す補正処理部を備え
るのが好ましい。
に、本発明のパターン検査装置の補正方式は、測定ア−
ムに取り付けられた測定針を、プリント基板の電気配線
上の端子に接触させ、電気配線と対向する導体電極との
間の電気容量を測定する電気容量計と、電気容量計によ
る測定値と良否データ格納部に予め格納された理論的な
電気容量値とを比較する良否判定部と、良否判定部によ
る良否結果を表示する良否表示部とを備えたパターン検
査装置において、測定したい電気容量を第１の電気容
量，補正する電気容量を第２の電気容量，実際に測定す
る電気容量を第３の電気容量とし、電気容量計により測
定された第３の電気容量から第２の電気容量を差し引い
て補正処理した後、良否判定部に渡す補正処理部を備え
るのが好ましい。
【０００７】また、プリント基板上に設けられた標準端
子を備え、第２の電気容量が、電気容量計により測定針
を標準端子に接触させて測定した電気容量であるのが好
ましい。
子を備え、第２の電気容量が、電気容量計により測定針
を標準端子に接触させて測定した電気容量であるのが好
ましい。
【０００８】さらに、標準端子が、絶縁体で形成される
のが好ましい。
のが好ましい。
【０００９】またさらに、標準端子が、端子とほぼ同一
形状であるのが好ましい。
形状であるのが好ましい。
【００１０】また、補正処理部が、第２の電気容量を予
め記憶する手段を有するのが好ましい。
め記憶する手段を有するのが好ましい。
【００１１】さらに、補正処理部が、測定ア−ムとプリ
ント基板に対向する電極との間に生じる浮遊容量を除去
して補正処理するのが好ましい。
ント基板に対向する電極との間に生じる浮遊容量を除去
して補正処理するのが好ましい。
【００１２】
【発明の実施の形態】次に、図面を参照して、本発明の
実施例について詳細に説明する。
実施例について詳細に説明する。
【００１３】図１は、本発明のパターン検査装置の補正
方式の実施例を示すブロック図である。この装置は、測
定ア−ム８，測定針７，電極９，電気容量計１０，補正
処理部１１，良否判定部１２，良否デ−タ格納部１３，
良否表示部１４で構成される。この構成において、プリ
ント基板１上の電気配線２と対向する導体電極９との間
の第１の電気容量Ｃ１−５を測定する前に、測定ア−ム
８に取り付けられた測定針７を、プリント基板１の上に
予め設けておいた、絶縁体で形成されかつ端子３と同一
形状の標準端子４に接触させ、その時の電気容量（第２
の電気容量）Ｃ２−６を電気容量計１０を用いて測定す
る。その際の測定値は、標準端子４が絶縁体であるの
で、標準端子４と対向する導体電極９との間には電気容
量が発生せず、導体電極９と測定ア−ム８との間の第２
の電気容量Ｃ２−６のみを測定できる。その導体電極９
と測定ア−ム８との間の第２の電気容量値Ｃ２−６と
を、補正処理部１１に記憶しておき、電気容量計１０を
用いて、端子３と測定針７とを接触して電気配線２の電
気容量を測定する際、その測定値から記憶しておいた第
２の電気容量の値を差し引くことにより補正する。この
ように、第２の電気容量Ｃ２−６分を補正して、第１の
電気容量Ｃ１−５分の正確な値を求めることができる。
方式の実施例を示すブロック図である。この装置は、測
定ア−ム８，測定針７，電極９，電気容量計１０，補正
処理部１１，良否判定部１２，良否デ−タ格納部１３，
良否表示部１４で構成される。この構成において、プリ
ント基板１上の電気配線２と対向する導体電極９との間
の第１の電気容量Ｃ１−５を測定する前に、測定ア−ム
８に取り付けられた測定針７を、プリント基板１の上に
予め設けておいた、絶縁体で形成されかつ端子３と同一
形状の標準端子４に接触させ、その時の電気容量（第２
の電気容量）Ｃ２−６を電気容量計１０を用いて測定す
る。その際の測定値は、標準端子４が絶縁体であるの
で、標準端子４と対向する導体電極９との間には電気容
量が発生せず、導体電極９と測定ア−ム８との間の第２
の電気容量Ｃ２−６のみを測定できる。その導体電極９
と測定ア−ム８との間の第２の電気容量値Ｃ２−６と
を、補正処理部１１に記憶しておき、電気容量計１０を
用いて、端子３と測定針７とを接触して電気配線２の電
気容量を測定する際、その測定値から記憶しておいた第
２の電気容量の値を差し引くことにより補正する。この
ように、第２の電気容量Ｃ２−６分を補正して、第１の
電気容量Ｃ１−５分の正確な値を求めることができる。
【００１４】次に、図１を参照して、本発明のパターン
検査装置の補正方式の実施例の動作について詳細に説明
する。まず最初に、予めプリント基板１上に設けた絶縁
体でありかつ端子３と同一形状の標準端子４に、測定ア
−ム８上に取り付けられた測定針７を接触させる。次
に、その状態で、測定ア−ム８とプリント基板１に対向
する電極９との間の電気容量を電気容量計１０で測定
し、その値を補正処理部１１に記憶する。その場合の記
憶値は、標準端子４が絶縁体である為、測定ア−ム８と
電極９との間の第２の電気容量Ｃ２−６となる。
検査装置の補正方式の実施例の動作について詳細に説明
する。まず最初に、予めプリント基板１上に設けた絶縁
体でありかつ端子３と同一形状の標準端子４に、測定ア
−ム８上に取り付けられた測定針７を接触させる。次
に、その状態で、測定ア−ム８とプリント基板１に対向
する電極９との間の電気容量を電気容量計１０で測定
し、その値を補正処理部１１に記憶する。その場合の記
憶値は、標準端子４が絶縁体である為、測定ア−ム８と
電極９との間の第２の電気容量Ｃ２−６となる。
【００１５】次に、プリント基板１内の被検査物である
電気配線２に設けた端子３に、測定ア−ム８に取り付け
た測定針７を接触し、被検査物の電気配線２と対向する
電極９との間の電気容量を電気容量計１０で測定する。
その際の測定値は、測定したい第１の電気容量Ｃ１−５
に、測定ア−ム８と電極９との間の第２の電気容量Ｃ２
−６を並列に付加した第３の電気容量（以下、電気容量
Ｃ３）が測定される。
電気配線２に設けた端子３に、測定ア−ム８に取り付け
た測定針７を接触し、被検査物の電気配線２と対向する
電極９との間の電気容量を電気容量計１０で測定する。
その際の測定値は、測定したい第１の電気容量Ｃ１−５
に、測定ア−ム８と電極９との間の第２の電気容量Ｃ２
−６を並列に付加した第３の電気容量（以下、電気容量
Ｃ３）が測定される。
【００１６】その後、補正処理部１１にて、第３の電気
容量Ｃ３から予め記憶しておいた第２の電気容量Ｃ２−
６を差し引くことで、測定ア−ム８と電極９との間の電
気容量を補正することができ、測定したい第１の電気容
量Ｃ１−５のみが得られる。その第１の電気容量Ｃ１−
５を、良否デ−タ格納部１３に格納された電気配線２の
期待値とを、良否判定部１２にて比較し、良否表示部１
４にて良否結果を表示する。
容量Ｃ３から予め記憶しておいた第２の電気容量Ｃ２−
６を差し引くことで、測定ア−ム８と電極９との間の電
気容量を補正することができ、測定したい第１の電気容
量Ｃ１−５のみが得られる。その第１の電気容量Ｃ１−
５を、良否デ−タ格納部１３に格納された電気配線２の
期待値とを、良否判定部１２にて比較し、良否表示部１
４にて良否結果を表示する。
【００１７】
【発明の効果】以上、説明したように、本発明のパタ−
ン検査装置の補正方式は、プリント基板上の電気配線と
対向する導体電極間の電気容量を測定する前に、測定ア
−ムに取り付けられた測定針を予めプリント基板の上に
設けておいた、絶縁体で形成されかつ端子と同一形状の
標準端子に接触させ、その時の電気容量を測定しかつ記
憶させておき、被検査配線の測定値からその記憶値を差
し引く。従って、測定ア−ムとプリント基板に対向する
電極との間に生じる浮遊容量を除去できるという効果を
奏する。
ン検査装置の補正方式は、プリント基板上の電気配線と
対向する導体電極間の電気容量を測定する前に、測定ア
−ムに取り付けられた測定針を予めプリント基板の上に
設けておいた、絶縁体で形成されかつ端子と同一形状の
標準端子に接触させ、その時の電気容量を測定しかつ記
憶させておき、被検査配線の測定値からその記憶値を差
し引く。従って、測定ア−ムとプリント基板に対向する
電極との間に生じる浮遊容量を除去できるという効果を
奏する。
【図１】本発明の実施例の構成を示すブロック図であ
る。
る。
【図２】従来例の構成を示すブロック図である。
１ プリント基板 ２ 電気配線 ３ 端子 ４ 標準端子 ５ 電気容量Ｃ１ ６ 電気容量Ｃ２ ７ 測定針 ８ 測定アーム ９ 電極 １０ 電気容量計 １１ 補正処理部 １２ 良否判定部 １３ 良否データ格納部 １４ 良否表示部 ２２ 電気配線 ２３ 端子 ２４ 電気容量Ｃ１ ２５ 電気容量Ｃ２ ２６ 測定アーム ２７ 測定針 ２８ 電極 ２９ 電気容量計 ３０ 良否判定部 ３１ 良否データ格納部 ３２ 良否表示部
【手続補正書】
【提出日】平成１１年６月２４日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のパターン検査装置の補正方式は、測定ア−
ムに取り付けられた測定針を、プリント基板の電気配線
上の端子に接触させ、電気配線と対向する導体電極との
間の電気容量を測定する電気容量計と、電気容量計によ
る測定値と良否データ格納部に予め格納された理論的な
電気容量値とを比較する良否判定部と、良否判定部によ
る良否結果を表示する良否表示部とを備えたパターン検
査装置において、測定したい電気容量を第１の電気容
量，補正する電気容量を第２の電気容量，実際に測定さ
れた電気容量を第３の電気容量とし、プリント基板上に
設けられた標準端子を備え、第２の電気容量が、電気容
量計により測定針を標準端子に接触させて測定した電気
容量であり、電気容量計により測定された第３の電気容
量から第２の電気容量を差し引いて補正処理した後、良
否判定部に渡す補正処理部を備えたことを特徴とする。
に、本発明のパターン検査装置の補正方式は、測定ア−
ムに取り付けられた測定針を、プリント基板の電気配線
上の端子に接触させ、電気配線と対向する導体電極との
間の電気容量を測定する電気容量計と、電気容量計によ
る測定値と良否データ格納部に予め格納された理論的な
電気容量値とを比較する良否判定部と、良否判定部によ
る良否結果を表示する良否表示部とを備えたパターン検
査装置において、測定したい電気容量を第１の電気容
量，補正する電気容量を第２の電気容量，実際に測定さ
れた電気容量を第３の電気容量とし、プリント基板上に
設けられた標準端子を備え、第２の電気容量が、電気容
量計により測定針を標準端子に接触させて測定した電気
容量であり、電気容量計により測定された第３の電気容
量から第２の電気容量を差し引いて補正処理した後、良
否判定部に渡す補正処理部を備えたことを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】削除
Claims (6)
- 【請求項１】測定ア−ムに取り付けられた測定針を、プ
リント基板の電気配線上の端子に接触させ、前記電気配
線と対向する導体電極との間の電気容量を測定する電気
容量計と、前記電気容量計による測定値と良否データ格
納部に予め格納された理論的な電気容量値とを比較する
良否判定部と、前記良否判定部による良否結果を表示す
る良否表示部とを備えたパターン検査装置において、 測定したい電気容量を第１の電気容量，補正する電気容
量を第２の電気容量，実際に測定された電気容量を第３
の電気容量とし、前記電気容量計により測定された前記
第３の電気容量から前記第２の電気容量を差し引いて補
正処理した後、前記良否判定部に渡す補正処理部を備え
たことを特徴とするパターン検査装置の補正方式。 - 【請求項２】前記プリント基板上に設けられた標準端子
を備え、前記第２の電気容量が、前記電気容量計により
前記測定針を前記標準端子に接触させて測定した電気容
量であることを特徴とする、請求項１に記載のパターン
検査装置の補正方式。 - 【請求項３】前記標準端子が、絶縁体で形成されたこと
を特徴とする、請求項２に記載のパターン検査装置の補
正方式。 - 【請求項４】前記標準端子が、前記端子とほぼ同一形状
であることを特徴とする、請求項２または３に記載のパ
ターン検査装置の補正方式。 - 【請求項５】前記補正処理部が、前記第２の電気容量を
予め記憶する手段を有することを特徴とする、請求項２
〜４のいずれかに記載のパターン検査装置の補正方式。 - 【請求項６】前記補正処理部が、前記測定ア−ムと前記
プリント基板に対向する電極との間に生じる浮遊容量を
除去して補正処理することを特徴とする、請求項１〜５
のいずれかに記載のパターン検査装置の補正方式。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10145564A JP3105865B2 (ja) | 1998-05-27 | 1998-05-27 | パターン検査装置の補正方式 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10145564A JP3105865B2 (ja) | 1998-05-27 | 1998-05-27 | パターン検査装置の補正方式 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11337608A true JPH11337608A (ja) | 1999-12-10 |
| JP3105865B2 JP3105865B2 (ja) | 2000-11-06 |
Family
ID=15388060
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10145564A Expired - Fee Related JP3105865B2 (ja) | 1998-05-27 | 1998-05-27 | パターン検査装置の補正方式 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3105865B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001330579A (ja) * | 2000-05-23 | 2001-11-30 | Nec Ibaraki Ltd | パターン検査方法及びパターン検査装置及び記録媒体 |
| JP2003014808A (ja) * | 2001-06-28 | 2003-01-15 | Hioki Ee Corp | 基準データ作成方法および回路基板検査装置 |
| JP2003035739A (ja) * | 2001-07-24 | 2003-02-07 | Hioki Ee Corp | 基準データ作成方法 |
| JP2005037170A (ja) * | 2003-07-17 | 2005-02-10 | Hioki Ee Corp | 回路基板検査装置 |
| JP2015004621A (ja) * | 2013-06-21 | 2015-01-08 | 株式会社日本マイクロニクス | 配線基板の検査装置および配線基板の検査方法 |
-
1998
- 1998-05-27 JP JP10145564A patent/JP3105865B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001330579A (ja) * | 2000-05-23 | 2001-11-30 | Nec Ibaraki Ltd | パターン検査方法及びパターン検査装置及び記録媒体 |
| JP2003014808A (ja) * | 2001-06-28 | 2003-01-15 | Hioki Ee Corp | 基準データ作成方法および回路基板検査装置 |
| JP2003035739A (ja) * | 2001-07-24 | 2003-02-07 | Hioki Ee Corp | 基準データ作成方法 |
| JP4723128B2 (ja) * | 2001-07-24 | 2011-07-13 | 日置電機株式会社 | 基準データ作成方法 |
| JP2005037170A (ja) * | 2003-07-17 | 2005-02-10 | Hioki Ee Corp | 回路基板検査装置 |
| JP2015004621A (ja) * | 2013-06-21 | 2015-01-08 | 株式会社日本マイクロニクス | 配線基板の検査装置および配線基板の検査方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3105865B2 (ja) | 2000-11-06 |
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