JP7258197B1 - データ処理制御装置、検査装置、データ処理制御方法、およびデータ処理制御用プログラム。 - Google Patents
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- G01R27/00—Arrangements for measuring resistance, reactance, impedance, or electric characteristics derived therefrom
- G01R27/02—Measuring real or complex resistance, reactance, impedance, or other two-pole characteristics derived therefrom, e.g. time constant
- G01R27/08—Measuring resistance by measuring both voltage and current
Abstract
Description
しかしながら、上述したように、補正条件によって接触抵抗の値が異なる場合や補正時と検査時とで接触抵抗の値が異なる場合には、接触抵抗の値Rcが測定毎に変化することになる。そのため、接触抵抗Rcの値が一定であるという前提の下で導出した補正式を用いて測定値を補正したとしても、接触抵抗の変動の影響が測定値の誤差として残ることになる。換言すれば、補正によって除去されない誤差(以下、「残留誤差」とも称する。)が存在することになる。
先ず、本願において開示される発明の代表的な実施の形態について概要を説明する。なお、以下の説明では、一例として、発明の構成要素に対応する図面上の参照符号を、括弧を付して記載している。
以下、本発明の実施の形態の具体例について図を参照して説明する。なお、以下の説明において、各実施の形態において共通する構成要素には同一の参照符号を付し、繰り返しの説明を省略する。
ここでは、回帰モデル28を一次関数としたときの傾きと接触抵抗に起因する抵抗成分の代表値ΔRrとから読み取ることができる残留誤差の要因について説明する。
図5は、第2測定部12に接続されたプローブの接触抵抗に起因する抵抗成分の影響を説明するための図である。
以下の説明において、ショート基準時の接触抵抗Rcsとロード基準時の接触抵抗Rclとが一致しているものとし、ショート基準時およびロード基準時(以下、単に「補正時」とも称する。)の接触抵抗Rc、DUTの検査時の接触抵抗をRcdとする。
以上説明した手法により、接触抵抗の推定値を算出することができる。
これによれば、接触抵抗に起因する抵抗成分ΔRと直流抵抗の測定値Rdc4との関係を関数としてユーザに提示することができるので、ユーザによる残留誤差の解析が更に容易となる。
上述したように、接触抵抗に起因する抵抗成分ΔRと直流抵抗の測定値Rdc4との関係を一次関数で表したときの傾きは、ロード基準時の接触抵抗とショート基準時の接触抵抗とが相違しているか否かを判断する指標となる。したがって、ユーザは、残留誤差データ26に含まれる回帰モデル28の傾きを参照することにより、残留誤差が、ロード基準時の接触抵抗とショート基準時の接触抵抗との差に基づくものであるか否かを容易に判断することができる。
上述したように、接触抵抗に起因する抵抗成分ΔRと直流抵抗の測定値Rdc4との関係を一次関数で表した場合において、接触抵抗に起因する抵抗成分の代表値ΔRrは、補正時の接触抵抗と検査時の接触抵抗とが相違しているか否かを判断する指標となる。したがって、ユーザは、残留誤差データ26に含まれる接触抵抗に起因する抵抗成分の代表値ΔRrを参照することにより、残留誤差が補正時の接触抵抗と検査時の接触抵抗の相違に基づくものであるか否かを、容易に判断することができる。また、ユーザは、接触抵抗に起因する抵抗成分の代表値ΔRrの極性を参照することにより、補正時の接触抵抗と検査時の接触抵抗のどちらが大きいかを把握することができる。
以上、本願発明者によってなされた発明を実施の形態に基づいて具体的に説明したが、本発明はそれに限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能であることは言うまでもない。
Claims (9)
- 4端子法によって測定した測定対象物の直流抵抗の第1測定値と、2端子法によって測定し、補正した前記測定対象物の直流抵抗の第2測定値と、を取得するデータ取得部と、
前記第1測定値と前記第2測定値とに基づいて、2端子法による接触抵抗に起因する抵抗成分を算出し、前記抵抗成分と前記第1測定値との関係を示す残留誤差データを生成する残留誤差データ生成部と、を備える
データ処理制御装置。 - 請求項1に記載のデータ処理制御装置において、
前記残留誤差データ生成部は、前記測定対象物毎に、前記抵抗成分と前記第1測定値とを対応付けたデータ対を生成し、生成した複数の前記データ対に基づいて、前記第1測定値と前記抵抗成分との関係を表す回帰モデルを生成する
データ処理制御装置。 - 請求項2に記載のデータ処理制御装置において、
前記回帰モデルに基づいて、前記接触抵抗の値を推定する接触抵抗推定部を更に備える
データ処理制御装置。 - 請求項2または3に記載のデータ処理制御装置において、
前記回帰モデルが一次関数である場合に、前記残留誤差データは、前記一次関数の傾きの情報を含む
データ処理制御装置。 - 請求項2乃至4の何れか一項に記載のデータ処理制御装置において、
前記回帰モデルが一次関数である場合に、前記残留誤差データは、前記一次関数上の前記第1測定値の平均値に対応する前記抵抗成分の値の情報を含む
データ処理制御装置。 - 請求項2乃至5の何れか一項に記載のデータ処理制御装置において、
前記回帰モデルが一次関数である場合に、前記残留誤差データは、前記一次関数の切片の情報を含む
データ処理制御装置。 - 請求項1乃至6の何れか一項に記載のデータ処理制御装置と、
前記データ処理制御装置による制御に応じて、前記測定対象物の直流抵抗を4端子法によって測定し、前記第1測定値を得る第1測定部と、
前記データ処理制御装置による制御に応じて、前記測定対象物の直流抵抗を2端子法によって測定し、補正した前記第2測定値を得る第2測定部と、
前記残留誤差データに基づく情報を出力する出力部と、を備える
検査装置。 - 4端子法によって測定した測定対象物の直流抵抗の第1測定値と、2端子法によって測定し、補正した前記測定対象物の直流抵抗の第2測定値とを取得する第1ステップと、
前記第1ステップにおいて取得した前記第1測定値と前記第2測定値とに基づいて、2端子法による接触抵抗に起因する抵抗成分を算出し、前記抵抗成分と前記第1測定値との関係を示す残留誤差データを生成する第2ステップと、を含む
データ処理制御方法。 - コンピュータに、請求項8に記載のデータ処理制御方法における各ステップを実行させる
データ処理制御用プログラム。
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