JP6965123B2 - データ処理装置、測定システムおよびデータ処理用プログラム - Google Patents

Description

本発明は、波形データの信号波形に放電波形成分が含まれているか否かの判定処理を実行するデータ処理装置およびデータ処理用プログラム、並びにそのようなデータ処理装置と波形データを生成する測定装置とを備えて構成された測定システムに関するものである。

例えば、下記の特許文献には、被測定コイルの良否を検査するコイル試験装置およびコイル試験方法（以下、単に「試験装置」および「試験方法」ともいう）が開示されている。この試験装置および試験方法では、被測定コイルに高圧インパルス電圧を印加して減衰振動電圧波形を発生させて諸特性（減衰振動時間、実効値、および測定値の絶対値の積分値等）を測定し、測定結果に基づいて被測定コイルの良否を判定する構成・方法が採用されている。具体的には、この試験装置および試験方法では、複数回の測定において測定結果がどの程度変動するかに基づいて「レアーショート不良」が生じているか否かを判定したり、測定結果と基準値とを比較して「コイル巻数不良」が生じているか否かを判定したりする構成・方法が採用されている。

特開平６−８８８４９号公報（第５−８頁、第１−５図）

ところが、上記の特許文献に開示の試験装置および試験方法には、以下のような問題点が存在する。具体的には、上記特許文献に開示の試験装置および試験方法では、測定結果の変動幅の大きさに基づいて被測定コイルに「レアーショート不良」が生じているか否かを判定する構成が採用されている。

この場合、この種の装置・方法による前述のような試験（測定）に際しては、測定対象や測定装置の温度、および測定装置に対して供給される電力の状態などの測定環境の変化に起因して測定結果にばらつきが生じることがある。このため、１つの測定対象に対する測定処理を複数回に亘って行ったときに、各測定処理毎の測定環境が相違する状態となって各測定処理毎の測定結果にばらつきが生じることがある。この結果、上記の特許文献に開示の試験装置および試験方法では、実際には「レアーショート不良」が生じていないにもかかわらず、測定環境の変化に起因して測定結果の変動幅が規定値を超えて、「レアーショート不良」が生じていると誤判定されるおそれがある。

この場合、複数回の測定処理における測定結果の変動幅に基づく判定に代えて、「コイル巻数不良」の試験方法のように測定結果と基準値との差に基づいて「レアーショート不良」が生じているか否かを判定した場合においても、基準値を取得するための測定処理時と、良否判定対象の測定対象についての測定処理時とで測定環境が相違した場合には、測定結果が相違し、「レアーショート不良」の有無を誤判定するおそれがある。

また、この種の装置・方法による前述のような試験（測定）においては、たとえ同種の測定対象（同じ型式の被測定コイル等）であっても、各個体毎に測定結果が僅かに相違するため、これらのばらつきを考慮した基準値を得るためには、複数個の良品の測定対象について複数回の測定処理を実行して最適値を特定する必要がある。この場合、複数個の良品の測定対象の個体差に起因する測定結果のばらつきの大きさが、１つの個体（いずれかの測定対象）に不良が生じているか否かによって生じる測定結果の相違量と同程度、或いはそれ以上となることもある。このため、正確な良否判定が可能な基準値の取得自体が困難となる。

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、基準値を取得する処理を別途行うことなく測定対象の良否を正確に判定し得るデータ処理装置およびデータ処理用プログラム、並びにそのようなデータ処理装置を備えて構成された測定システムを提供することを主目的とする。

上記目的を達成すべく、請求項１記載のデータ処理装置は、予め規定されたサンプリング周期で測定された複数の測定値が記録されている波形データに基づいて当該波形データの信号波形に放電波形成分が含まれているか否かを判定する判定処理を実行する処理部を備えたデータ処理装置であって、前記処理部は、前記放電波形成分が含まれているか否かの判定の基準とする測定値範囲を前記波形データに基づいて規定し、かつ当該測定値範囲との対比によって前記放電波形成分が含まれているか否かを判定可能な比較値を当該波形データに基づいて生成すると共に、生成した前記測定値範囲および前記比較値に基づく前記判定処理を実行して判定結果を特定可能な判定結果データを生成する処理において、前記波形データの前記各測定値のなかから連続するＮサンプリング内（Ｎは、予め規定された２以上の自然数）の変化量が予め規定された量以上の第１の値を抽出して第１のデータを生成する第１の処理と、前記第１のデータの前記各第１の値を絶対値化した第２の値を演算して第２のデータを生成する第２の処理と、前記波形データの前記各測定値を、対象の当該測定値を含んで連続するＭサンプリング分（Ｍは、予め規定された２以上の自然数）の当該測定値を平均化した第３の値にそれぞれ置き換えて第３のデータを生成する第３の処理と、前記第３のデータの前記各第３の値のなかから前記連続するＮサンプリング内の変化量が前記予め規定された量以上の第４の値を抽出して第４のデータを生成する第４の処理と、前記第４のデータの前記各第４の値の絶対値を正規化した第５の値を演算して第５のデータを生成する第５の処理と、２次元グラフの縦軸および横軸のいずれか予め規定された一方に前記第２のデータの前記各第２の値を対応させると共に当該２次元グラフの縦軸および横軸の他方に当該各第２の値のサンプリングタイミングに対応する前記第５のデータの前記各第５の値を対応させて、当該第２の値および当該第５の値を前記比較値として当該第２の値および当該第５の値の第１の対応点を当該２次元グラフ上にそれぞれプロットする第６の処理と、前記放電波形成分の前記測定値に対応する前記第１の対応点がプロットされない第１の判定領域、および当該放電波形成分の当該測定値に対応する当該第１の対応点がプロットされる第２の判定領域の少なくとも一方の領域を、前記２次元グラフ上の前記各第１の対応点の配置に基づいて予め規定された領域規定手順に従って当該２次元グラフ上に前記測定値範囲として規定する第７の処理とを実行し、前記第７の処理によって規定した前記少なくとも一方の領域と前記各第１の対応点との位置関係に基づいて前記波形データの信号波形に前記放電波形成分が含まれているか否かを特定する。

また、請求項２記載のデータ処理装置は、請求項１記載のデータ処理装置において、前記処理部は、前記第７の処理において、前記２次元グラフの原点を通過する前記各第１の対応点の回帰直線を特定し、特定した当該回帰直線における当該２次元グラフの前記縦軸および横軸の他方の値が１のときの当該２次元グラフの前記縦軸および横軸のいずれか予め規定された一方の値を値Ａとして特定し、かつ、当該２次元グラフの原点、当該予め規定された一方の値が当該値Ａで当該他方の値が１の第１の点、および当該予め規定された一方の値が０で当該他方の値が１の第２の点の３点を頂点とする三角形領域を特定すると共に、特定した当該三角形領域に基づいて前記少なくとも一方の領域を規定する。

また、請求項３記載のデータ処理装置は、請求項２記載のデータ処理装置において、前記処理部は、前記２次元グラフの前記縦軸および横軸のいずれか予め規定された一方に前記第１のデータの前記各第１の値を対応させると共に当該２次元グラフの前記縦軸および横軸の他方に当該各第１の値のサンプリングタイミングに対応する前記第５のデータの前記各第５の値を対応させて当該第１の値および当該第５の値の第２の対応点を当該２次元グラフ上にそれぞれプロットすると共に、前記縦軸および横軸の他方の値が「０．５」以下の予め規定された値Ｂ以下である前記第２の対応点を抽出し、抽出した前記各第２の対応点における前記縦軸および横軸のいずれか予め規定された一方の値の標準偏差ｎσ（ｎは、予め規定された任意の自然数）を演算すると共に、前記原点、前記第１の点、前記予め規定された一方の値が前記標準偏差ｎσと前記値Ａとの和で前記他方の値が１の第３の点、および当該予め規定された一方の値が当該標準偏差ｎσで当該他方の値が０の第４の点の４点を頂点とする第１の矩形領域を特定し、特定した当該第１の矩形領域および前記三角形領域に基づいて前記少なくとも一方の領域を規定する。

また、請求項４記載のデータ処理装置は、請求項１から３のいずれかに記載のデータ処理装置において、前記処理部は、前記第１の判定領域を前記少なくとも一方の領域とするときには前記第１の対応点の総数に占める当該第１の判定領域に含まれない当該第１の対応点の割合を特定すると共に、前記第２の判定領域を当該少なくとも一方の領域とするときには当該第１の対応点の総数に占める当該第２の判定領域に含まれる当該第１の対応点の割合を特定し、特定した割合が予め規定された割合以上のときに、予め規定された報知処理を実行する。

また、請求項５記載のデータ処理装置は、請求項１から３のいずれかに記載のデータ処理装置において、前記処理部は、前記２次元グラフを前記縦軸および横軸の他方の方向でＧａ個（Ｇａは、予め規定された２以上の自然数）に分割したＧａ個の第２の矩形領域を特定し、前記第１の判定領域を当該少なくとも一方の領域とするときには当該第１の判定領域以外の領域に当該第１の対応点が含まれている当該第２の矩形領域の数を特定すると共に、前記第２の判定領域を前記少なくとも一方の領域とするときには当該第２の判定領域に当該第１の対応点が含まれている前記第２の矩形領域の数を特定し、特定した数が予め規定された数以上のときに、予め規定された報知処理を実行する。

また、請求項６記載のデータ処理装置は、請求項１から５のいずれかに記載のデータ処理装置において、前記処理部は、前記第１の対応点をプロットした前記２次元グラフと前記少なくとも一方の領域を示す領域表示とを前記判定処理の判定結果と共に表示部に表示させる。

また、請求項７記載の測定システムは、請求項１から６のいずれかに記載のデータ処理装置と、測定対象についての前記予め規定されたサンプリング周期での測定を実行して前記波形データを出力する測定装置とを備えて構成されている。

また、請求項８記載のデータ処理用プログラムは、予め規定されたサンプリング周期で測定された複数の測定値が記録されている波形データに基づいて当該波形データの信号波形に放電波形成分が含まれているか否かを判定する判定処理をデータ処理装置の処理部に実行させるデータ処理用プログラムであって、前記放電波形成分が含まれているか否かの判定の基準とする測定値範囲を前記波形データに基づいて規定し、かつ当該測定値範囲との対比によって前記放電波形成分が含まれているか否かを判定可能な比較値を当該波形データに基づいて生成すると共に、生成した前記測定値範囲および前記比較値に基づく前記判定処理を実行して判定結果を特定可能な判定結果データを生成する処理において、前記波形データの前記各測定値のなかから連続するＮサンプリング内（Ｎは、予め規定された２以上の自然数）の変化量が予め規定された量以上の第１の値を抽出して第１のデータを生成する第１の処理と、前記第１のデータの前記各第１の値を絶対値化した第２の値を演算して第２のデータを生成する第２の処理と、前記波形データの前記各測定値を、対象の当該測定値を含んで連続するＭサンプリング分（Ｍは、予め規定された２以上の自然数）の当該測定値を平均化した第３の値にそれぞれ置き換えて第３のデータを生成する第３の処理と、前記第３のデータの前記各第３の値のなかから前記連続するＮサンプリング内の変化量が前記予め規定された量以上の第４の値を抽出して第４のデータを生成する第４の処理と、前記第４のデータの前記各第４の値の絶対値を正規化した第５の値を演算して第５のデータを生成する第５の処理と、２次元グラフの縦軸および横軸のいずれか予め規定された一方に前記第２のデータの前記各第２の値を対応させると共に当該２次元グラフの縦軸および横軸の他方に当該各第２の値のサンプリングタイミングに対応する前記第５のデータの前記各第５の値を対応させて、当該第２の値および当該第５の値を前記比較値として当該第２の値および当該第５の値の第１の対応点を当該２次元グラフ上にそれぞれプロットする第６の処理と、前記放電波形成分の前記測定値に対応する前記第１の対応点がプロットされない第１の判定領域、および当該放電波形成分の当該測定値に対応する当該第１の対応点がプロットされる第２の判定領域の少なくとも一方の領域を、前記２次元グラフ上の前記各第１の対応点の配置に基づいて予め規定された領域規定手順に従って当該２次元グラフ上に前記測定値範囲として規定する第７の処理とを前記処理部に実行させると共に、前記第７の処理によって規定した前記少なくとも一方の領域と前記各第１の対応点との位置関係に基づいて前記波形データの信号波形に前記放電波形成分が含まれているか否かを特定する処理を前記処理部に実行させる。

請求項１記載のデータ処理装置では、処理部が、放電波形成分が含まれているか否かの判定の基準とする測定値範囲を波形データに基づいて規定し、かつ測定値範囲との対比によって放電波形成分が含まれているか否かを判定可能な比較値を波形データに基づいて生成すると共に、測定値範囲および比較値に基づく判定処理を実行して判定結果を特定可能な判定結果データを生成する。

具体的には、処理部が、波形データを使用して第１の処理から第６の処理までの各処理を順次実行して第２の値および第５の値を比較値として第２の値および第５の値の第１の対応点を２次元グラフ上にそれぞれプロットした後に、放電波形成分の測定値に対応する第１の対応点がプロットされない第１の判定領域、および放電波形成分の測定値に対応する第１の対応点がプロットされる第２の判定領域の少なくとも一方の領域を、２次元グラフ上の各第１の対応点の配置に基づいて予め規定された領域規定手順に従って２次元グラフ上に測定値範囲として規定する第７の処理を実行し、第７の処理によって規定した少なくとも一方の領域と各第１の対応点との位置関係に基づいて波形データの信号波形に放電波形成分が含まれているか否かを特定する。

また、請求項８記載のデータ処理用プログラムでは、上記の各処理をデータ処理装置の処理部に実行させる。

したがって、請求項１記載のデータ処理装置、および請求項８記載のデータ処理用プログラムによれば、測定対象について取得した１つの波形データに基づいて、放電波形成分が存在するか否かを判定するための測定値範囲（第１の判定領域および／または第２の判定領域）を規定し、かつ測定値範囲との比較によって放電波形成分が存在するか否かを判定可能な比較値（第２の値および第５の値）を特定することができる。このため、複数回の測定処理が不要となり、複数の測定対象についての個体差の影響や、測定処理毎の測定環境の相違に起因する測定値のばらつきの影響を受けることがなくなるため、放電現象が発生しているか否かの判定精度を十分に向上させることができるだけでなく、判定用の基準値（閾値）を生成する処理を別個に行う必要もなくなることから、利用者の負担を十分に軽減することができる。

また、請求項２記載のデータ処理装置では、処理部が、第７の処理において、２次元グラフの原点を通過する各第１の対応点の回帰直線を特定し、特定した回帰直線における２次元グラフの縦軸および横軸の他方の値が１のときの２次元グラフの縦軸および横軸のいずれか予め規定された一方の値を値Ａとして特定し、かつ、２次元グラフの原点、予め規定された一方の値が値Ａで他方の値が１の第１の点、および予め規定された一方の値が０で他方の値が１の第２の点の３点を頂点とする三角形領域を特定すると共に、特定した三角形領域に基づいて少なくとも一方の領域を規定する。

したがって、請求項２記載のデータ処理装置、およびそのような処理を実行させるデータ処理用プログラムによれば、放電波形成分の値に対応する第１の対応点がプロットされる可能性が極めて低い三角形領域を確実かつ容易に特定することができ、この三角形領域に基づいて、第１の判定領域および／または第２の判定領域を容易に特定して規定することができる。

さらに、請求項３記載のデータ処理装置では、処理部が、２次元グラフの縦軸および横軸のいずれか予め規定された一方に第１のデータの各第１の値を対応させると共に２次元グラフの縦軸および横軸の他方に各第１の値のサンプリングタイミングに対応する第５のデータの各第５の値を対応させて第１の値および第５の値の第２の対応点を２次元グラフ上にそれぞれプロットすると共に、縦軸および横軸の他方の値が「０．５」以下の予め規定された値Ｂ以下である第２の対応点を抽出し、抽出した各第２の対応点における縦軸および横軸のいずれか予め規定された一方の値の標準偏差ｎσを演算すると共に、原点、第１の点、予め規定された一方の値が標準偏差ｎσと値Ａとの和で他方の値が１の第３の点、および予め規定された一方の値が標準偏差ｎσで他方の値が０の第４の点の４点を頂点とする第１の矩形領域を特定し、特定した第１の矩形領域および三角形領域に基づいて少なくとも一方の領域を規定する。

したがって、請求項３記載のデータ処理装置、およびそのような処理を実行させるデータ処理用プログラムによれば、特定した第１の矩形領域および三角形領域に基づいて第１の判定領域および／または第２の判定領域を容易に特定することができ、波形データの信号波形に放電波形成分が含まれているか否かを高精度に判定可能な第１の判定領域および／または第２の判定領域の領域データを確実に規定することができる。

また、請求項４記載のデータ処理装置では、処理部が、第１の判定領域を少なくとも一方の領域とするときには第１の対応点の総数に占める第１の判定領域に含まれない第１の対応点の割合を特定すると共に、第２の判定領域を少なくとも一方の領域とするときには第１の対応点の総数に占める第２の判定領域に含まれる第１の対応点の割合を特定し、特定した割合が予め規定された割合以上のときに、予め規定された報知処理を実行する。

また、請求項５記載のデータ処理装置では、処理部が、２次元グラフを縦軸および横軸の他方の方向でＧａ個に分割したＧａ個の第２の矩形領域を特定し、第１の判定領域を少なくとも一方の領域とするときには第１の判定領域以外の領域に第１の対応点が含まれている第２の矩形領域の数を特定すると共に、第２の判定領域を少なくとも一方の領域とするときには第２の判定領域に第１の対応点が含まれている第２の矩形領域の数を特定し、特定した数が予め規定された数以上のときに、予め規定された報知処理を実行する。

したがって、請求項４，５記載のデータ処理装置、およびそのような処理を実行させるデータ処理用プログラムによれば、波形データの信号波形に放電波形成分が含まれているか否かの判定結果を確実かつ容易に認識させることができる。

さらに、請求項６記載のデータ処理装置では、処理部が、第１の対応点をプロットした２次元グラフと少なくとも一方の領域を示す領域表示とを判定処理の判定結果と共に表示部に表示させる。したがって、請求項６記載のデータ処理装置、およびそのような処理を実行させるデータ処理用プログラムによれば、波形データの信号波形に放電波形成分が含まれているか否かの判定結果を一層確実かつ一層容易に認識させることができる。

また、請求項７記載の測定システムでは、請求項１から６のいずれかに記載のデータ処理装置と、測定対象についての予め規定されたサンプリング周期での測定を実行して波形データを出力する測定装置とを備えて構成されている。したがって、請求項７記載の測定システムによれば、波形データの取得（生成）から放電波形成分の有無の判定および判定結果データの生成までの一連の処理を１つのシステムで実行することができる。

測定システム１の構成を示す構成図である。 測定装置２から出力される波形データＤ０の波形Ｗ０の一例を示す信号波形図である。 波形データＤ１の波形Ｗ１の一例を示す信号波形図である。 波形データＤ２の波形Ｗ２の一例を示す信号波形図である。 波形データＤ０の波形Ｗ０および波形データＤ３の波形Ｗ３の一例を示す信号波形図である。 波形データＤ４の波形Ｗ４の一例を示す信号波形図である。 波形データＤ５の波形Ｗ５の一例を示す信号波形図である。 波形データＤ２の値および波形データＤ５の値の「第１の対応点」をプロットした２次元グラフの一例を示す図である。 「第１の対応点」と判定領域Ａａ，Ａｂとの関係について説明するための説明図である。 「第１の対応点」と判定領域Ａａ，Ａｂとの他の関係について説明するための説明図である。 「第１の対応点」の回帰直線について説明するための説明図である。 波形データＤ１の値および波形データＤ５の値の「第２の対応点」をプロットした２次元グラフの他の一例を示す図である。 ２次元グラフにプロットされた波形データＤ２の値および波形データＤ５の値の「第１の対応点」と判定領域Ａａ，Ａｂおよび矩形領域Ａ１０〜Ａ１９との関係について説明するための説明図である。

以下、データ処理装置、測定システムおよびデータ処理用プログラムの実施の形態について、添付図面を参照して説明する。

最初に、測定システム１の構成について説明する。図１に示す測定システム１は、「測定システム（検査システム）」の一例である「インパルス試験システム」であって、検査対象（測定対象）Ｘの良否を検査可能に構成されている。この測定システム１は、「測定装置」の一例である測定装置２と、「データ処理装置」の一例であるデータ処理装置３とを備えて構成されている。なお、検査対象Ｘは、「測定対象」の一例であって、本例では、一例として巻線部品（コイル）を検査対象Ｘとして各種の処理を実行する例について説明する。

測定装置２は、一例として、データ処理装置３の制御に従い、検査対象Ｘを対象とする各種の測定処理を実行可能に構成されている。具体的には、測定装置２は、測定信号発生部１１、Ａ／Ｄ変換部１２、処理部１３および記憶部１４などを備えている。測定信号発生部１１は、処理部１３の制御に従って検査対象Ｘの両端間に測定信号としてのインパルス電圧を印加する。Ａ／Ｄ変換部１２は、一例として、処理部１３の制御に従い、指定された周期（「予め規定されたサンプリング周期：測定周期）で測定対象を流れる電流の電流値をＡ／Ｄ変換（サンプリング：測定）して測定値Ｄｓ（サンプリング値：「測定値」の一例）を処理部１３に順次出力する。なお、電流値のサンプリングに代えて、指定された周期で測定対象の両端間の電圧値をＡ／Ｄ変換（サンプリング：測定）して測定値Ｄｓを出力する構成を採用することもできる。

処理部１３は、測定装置２を総括的に制御する。具体的には、処理部１３は、測定信号発生部１１を制御して測定対象にインパルス電圧を印加させると共に、Ａ／Ｄ変換部１２を制御して任意の周期で電流値のＡ／Ｄ変換処理（サンプリング処理）を実行させる。また、処理部１３は、Ａ／Ｄ変換部１２から出力される測定値Ｄｓを記憶部１４に記憶させ、かつ測定値Ｄｓに基づいて波形データＤ０（「波形データ」の一例）を生成して記憶部１４に記憶させると共に、生成した波形データＤ０をデータ処理装置３に出力する。記憶部１４は、処理部１３の動作プログラムや、上記の測定値Ｄｓ（波形データＤ０）などを記憶する。なお、実際の測定装置２には、測定装置２の動作条件を指示するための各種の操作スイッチや、測定条件の設定画面および測定値の表示画面などを表示する表示部を備えて構成されているが、これらについての図示および説明を省略する。

一方、データ処理装置３は、後述するように測定装置２から取得した波形データＤ０に基づいて検査対象Ｘの良否を検査する。この場合、本例の測定システム１では、一例として、「データ処理用プログラム」に相当するデータ処理用プログラムＤｐが既存のパーソナルコンピュータにインストールされてデータ処理装置３が構成されている。具体的には、このデータ処理装置３は、操作部２１、表示部２２、処理部２３および記憶部２４を備えている。操作部２１は、キーボード、およびマウスやタッチパネルなどのポインティングデバイスを備え（図示せず）、これらに対する操作に応じた操作信号を処理部２３に出力する。表示部２２は、「表示部」の一例であって、処理部２３の制御に従い、測定結果や検査結果（良否判定の結果）などを示す各種の表示画面を表示する。

処理部２３は、「処理部」の一例であって、データ処理装置３を総括的に制御する。具体的には、処理部２３は、後述するようにデータ処理用プログラムＤｐに従い、測定装置２を制御して検査対象Ｘを対象とする測定処理を実行させると共に、測定装置２から出力される波形データＤ０に基づいて検査対象Ｘの良否を検査する検査処理（良否の判定処理）を実行して検査結果データＤｒ（「判定結果データ」の一例）を生成する。記憶部２４は、データ処理用プログラムＤｐ（処理部２３の動作プログラムのデータ）、測定システム１から出力される波形データＤ０、および処理部２３によって生成される各種のデータを記憶する。

次に、測定システム１による検査対象Ｘの検査方法について、添付図面を参照して説明する。なお、データ処理装置３にデータ処理用プログラムＤｐをインストールする作業や、測定装置２とデータ処理装置３とを接続する作業については既に完了しているものとする。

検査対象Ｘの検査に際しては、まず、検査対象Ｘについての測定装置２による測定処理を実行する。具体的には、検査対象Ｘを測定装置２に接続すると共に、データ処理装置３の操作部２１を操作して測定処理の開始を指示する。これに応じて、処理部２３は、データ処理用プログラムＤｐに従って測定装置２を制御して検査対象Ｘについての測定処理を開始させる。

この際に、測定装置２では、処理部１３が、まず、Ａ／Ｄ変換部１２を制御してデータ処理装置３（処理部２３）から指示されたサンプリング周期での電流値のサンプリング（測定）を開始させる。これにより、Ａ／Ｄ変換部１２から検査対象Ｘについての測定値Ｄｓ（検査対象Ｘを流れる電流の電流値）が順次出力されて記憶部１４に記憶される。また、処理部１３は、測定信号発生部１１を制御して検査対象Ｘにインパルス電圧を印加させる。この際には、検査対象Ｘを流れる電流についての測定値Ｄｓ（電流値）が、図２に示す波形Ｗ０（「波形データの信号波形」の一例）のように変化する。

次いで、処理部１３は、一例として、検査対象Ｘに対するインパルス電圧の印加を開始させる直前の時点から、処理部２３によって指示された時間が経過した時点において、この時間内にＡ／Ｄ変換部１２から出力された複数の測定値Ｄｓ，Ｄｓ・・を記録して波形データＤ０を生成し、生成した波形データＤ０を記憶部１４に記憶させる。また、処理部１３は、生成した波形データＤ０をデータ処理装置３に出力する。また、データ処理装置３では、処理部２３が、測定装置２から出力された波形データＤ０を検査対象Ｘに関連付けて記憶部２４に記憶させる。これにより、検査対象Ｘについての測定処理が完了する。

一方、データ処理装置３では、波形データＤ０の取得が完了したときに、処理部２３が、データ処理用プログラムＤｐに従い、検査対象Ｘが良品か不良品かを検査する検査処理を開始する。

この検査処理において、処理部２３は、まず、波形データＤ０の各測定値Ｄｓのなかから連続するＮサンプリング内の変化量が予め規定された量以上の測定値（「第１の値」の一例）を抽出して波形データＤ１（「第１のデータ」の一例）を生成する「第１の処理」を実行する。具体的には、処理部２３は、一例として、ハイパスフィルタや１次元のラプラシアンフィルタ等を用いたフィルタリング処理により、波形データＤ０の各測定値Ｄｓのなかから連続するＮ＝２サンプリング内の変化量が規定量を超える測定値Ｄｓを抽出して波形データＤ１を生成する。これにより、図３に示す波形Ｗ１のように、波形データＤ０の生成時（測定処理時）に検査対象Ｘに生じた放電現象の成分や、大きなノイズ等の成分に対応する急峻な変化の波形成分の測定値が波形データＤ１として取得され、「第１の処理」が完了する。

次いで、処理部２３は、波形データＤ１の各測定値を絶対値化した値（「第２の値」の一例）を演算して波形データＤ２（「第２のデータ」の一例）を生成する「第２の処理」を実行する。これにより、図４に示す波形Ｗ２のような波形データＤ２が生成され、「第２の処理」が完了する。

続いて、処理部２３は、波形データＤ０の各測定値Ｄｓを、対象の測定値Ｄｓを含んで連続するＭサンプリング分の測定値Ｄｓを平均化した値（「第３の値」の一例）にそれぞれ置き換えて波形データＤ３（「第３のデータ」の一例）を生成する「第３の処理」を実行する。具体的には、処理部２３は、一例として、波形データＤ０の各測定値Ｄｓのうちのｎサンプリング目の測定値Ｄｓを測定値Ｄｓｎとし、かつ上記の「Ｍ」の値を「３」に規定したときに、測定値Ｄｓｎの１サンプリング前の測定値Ｄｓ（ｎ−１）と、測定値Ｄｓｎの１サンプリング後の測定値Ｄｓ（ｎ＋１）と、測定値Ｄｓｎとの合計値を「Ｍ＝３」で除した値（連続する３サンプリング分の測定値Ｄｓの値の平均値）を「第３の値」として演算して波形データＤ３を生成する。

これにより、図５に破線で示す波形Ｗ３のように、波形データＤ０において、上記の「第１の処理」において抽出した「放電現象の成分や、大きなノイズ等の成分に対応する急峻な変化の波形成分」の影響が十分に軽減された測定値の波形データＤ３が生成され、「第３の処理」が完了する。なお、同図では、「第３の処理」についての理解を容易とするために、図２に示す波形Ｗ０における時間軸方向の一部を拡大し、その波形Ｗ０の測定値Ｄｓに基づいて演算される値の波形Ｗ３を波形Ｗ０に重ねて図示している。また、「第３の処理」については、上記の例にようにＭ＝３値の３点平均値を求める処理に限定されず、Ｍ＝３以外の複数値の平均値を求める処理や、ハミング窓等を用いた平均化処理を「第３の処理」として実行してもよい。

続いて、処理部２３は、波形データＤ３の各測定値のなかから連続するＮサンプリング内の変化量が予め規定された量以上の測定値（「第４の値」の一例）を抽出して波形データＤ４（「第４のデータ」の一例）を生成する「第４の処理」を実行する。具体的には、処理部２３は、前述した「第１の処理」において使用したフィルタと同じフィルタを用いたフィルタリング処理により、波形データＤ３の各測定値のなかから連続するＮ＝２サンプリング内の変化量が規定量を超える測定値を抽出して波形データＤ４を生成する。これにより、図６に示す波形Ｗ４のように、上記の「第３の処理」において「急峻な変化の波形成分」の影響が十分に軽減された波形データＤ３について、「第１の処理」において使用したフィルタと同じフィルタを用いてフィルタリングされた波形データＤ４が生成され、「第４の処理」が完了する。

次いで、処理部２３は、波形データＤ４の各値の絶対値を正規化した値（「第５の値」の一例）を演算して波形データＤ５（「第５のデータ」の一例）を生成する「第５の処理」を実行する。これにより、図７に示す波形Ｗ５のような波形データＤ５が生成され、「第５の処理」が完了する。

続いて、処理部２３は、「第６の処理」を開始する。この「第６の処理」では、処理部２３は、図８に示すように、一例として、２次元グラフの縦軸に波形データＤ２の値（第２の値）を対応させると共に（「縦軸および横軸のいずれか予め規定された一方」を「縦軸」とした例）、２次元グラフの横軸に波形データＤ２の各値のサンプリングタイミングに対応する波形データＤ５の各値（第５の値）を対応させて（「縦軸および横軸の他方」を「横軸」とした例）、波形データＤ２の値、および波形データＤ５の値（「比較値」の一例）の対応点（「第１の対応点」の一例）を２次元グラフ上にそれぞれプロットする。なお、同図では、両値の対応点（第１の対応点）を「◆」で表している。

この際には、前述した「第２の処理」において生成された波形データＤ２の値、すなわち、波形データＤ０の測定値Ｄｓのうちの「放電成分と判定されるべき変化量と同程度に短時間で大きく変化した値」が平均化されて絶対値化された値（第２の値）と、「第５の処理」において生成された波形データＤ５の値、すなわち、波形データＤ０の測定値Ｄｓのうちの「放電成分と判定されるべき変化量と同程度に短時間で大きく変化した値」が平均化された値の絶対値が正規化された値（第５の値）との対応点が「第１の対応点」として２次元グラフ上にそれぞれプロットされる。

つまり、２次元グラフ上の各「第１の対応点」は、波形データＤ０の波形Ｗ０に放電波形成分が含まれていたときには、放電波形成分に対応して大きな値となっている波形データＤ２の影響を受けて縦軸方向の上方寄りの部位にプロットされ、波形データＤ０の波形Ｗ０に放電波形成分が含まれていないときには、放電波形成分が存在しないことで小さな値となっている波形データＤ２の影響を受けて縦軸方向の下方寄りの部位にプロットされることとなる。したがって、処理部２３は、上記の「第６の処理」においてプロットした各「第１の対応点」の２次元グラフ上の配置に基づき、予め規定された「領域規定手順」に従って２次元グラフ上に「測定値範囲」としての「判定領域」を規定する（「第７の処理」の実行）。

なお、この「第７の処理」の具体的な手順については、後に詳細に説明するが、本例の測定システム１（データ処理装置３）では、図９，１０に示すように、波形データＤ０の波形Ｗ０に放電波形成分が含まれているときに、その放電波形成分に対応する値の「第１の対応点」がプロットされない判定領域Ａａ（「測定値範囲」としての「第１の判定領域」の一例）と、波形データＤ０の波形Ｗ０に放電波形成分が含まれているときに、その放電波形成分に対応する値の「第１の対応点」がプロットされる判定領域Ａｂ（「測定値範囲」としての「第２の判定領域」の一例）との少なくとも一方を規定する処理を「第７の処理」として実行する。この際に、本例の測定システム１（データ処理装置３）では、両図に示すように、「第１の対応点」をプロットした上記の２次元グラフ上に規定した判定領域Ａａおよび／または判定領域Ａｂを重ねて表示部２２に表示させる。

次いで、処理部２３は、検査対象Ｘについて測定した波形データＤ０の波形Ｗ０に放電波形成分が含まれているか否かの「判定処理（すなわち、検査対象Ｘが良品であるか不良品であるかの検査処理）」を実行する。具体的には、処理部２３は、まず、上記の「第１の対応点」と判定領域Ａａ、および／または判定領域Ａｂとの位置関係を特定する。この際に、すべての「第１の対応点」が判定領域Ａａ内にプロットされているとき（すべての「第１の対応点」が判定領域Ａｂ外にプロットされているとき）に、処理部２３は、波形データＤ０の波形Ｗ０に放電波形成分が含まれていないと判定する。また、幾つかの「第１の対応点」が判定領域Ａａ外にプロットされているとき（幾つかの「第１の対応点」が判定領域Ａｂ内にプロットされているとき）に、処理部２３は、波形データＤ０の波形Ｗ０に放電波形成分が含まれていると判定する。

この後、処理部２３は、上記の放電波形成分の有無の判定処理とは別個に行う他の検査項目に関する判定処理の結果と共に、放電波形成分の有無の判定処理の判定結果を検査対象Ｘに関連付けて記録して検査結果データＤｒを生成する。また、すべての検査項目において不良なしと判定したときには、検査対象Ｘが良品であるとの事項を検査結果データＤｒに記録すると共に、いずれかの検査項目において不良ありと判定したときには、検査対象Ｘが不良品であるとの事項を検査結果データＤｒに記録する。以上により、検査対象Ｘについての一連の検査処理が完了する。

次に、検査対象Ｘについての上記の一連の処理のうちの「第７の処理（２次元グラフ上に判定領域Ａａ，Ａｂを規定する処理）」について、添付図面を参照して詳細に説明する。

上記の「第７の処理」において判定領域Ａａ（または、判定領域Ａｂ）を規定するときに、処理部２３は、まず、「第６の処理」においてプロットした「第１の対応点」の位置を特定すると共に、図１１に示すように、２次元グラフの原点Ｐ０を通過する「各第１の対応点の回帰直線」を特定する。この際には、一例として、同図に示す一点鎖線Ｌが「回帰直線」として特定される。次いで、処理部２３は、特定した回帰直線（一点鎖線Ｌ）における２次元グラフの横軸（「縦軸および横軸の他方」の一例）の値が「１」のときの２次元グラフの縦軸（縦軸および横軸のいずれか予め規定された一方」の一例）の値（本例では、約０．０８：「値Ａ」の一例）を特定する。

続いて、２次元グラフの原点Ｐ０、縦軸の値が「値Ａ」で横軸の値が「１」の点Ｐ１（「第１の点」の一例）、および縦軸の値が「０」で横軸の値が「１」の点２（「第２の点」の一例）の３点を頂点とする三角形領域Ａ１を特定すると共に、特定した三角形領域Ａ１に基づき、図９，１０に示すように判定領域Ａａおよび／または、判定領域Ａｂを規定する。

具体的には、処理部２３は、図１２に示すように、２次元グラフの縦軸（「縦軸および横軸のいずれか予め規定された一方」の一例）に波形データＤ１の値（第１の値）を対応させると共に、２次元グラフの横軸（「縦軸および横軸の他方」の一例）に波形データＤ１の各値のサンプリングタイミングに対応する波形データＤ５の値（第５の値）を対応させて波形データＤ１の値、および波形データＤ５の値の対応点（「第２の対応点」の一例）を２次元グラフ上にそれぞれプロットする。なお、同図では、両値の対応点（第２の対応点）を「■」で表している。

この場合、波形データＤ０のような減衰振動波形（過渡現象の波形）の値に基づく「第２の対応点」は、変化率が小さい値が多くなるため、同図の２次元グラフの例では、横軸方向の原点側の部位に数多くの「第２の対応点」がプロットされることとなる。また、横軸方向の原点側の部位にプロットされた各「第２の対応点」は、対応する「第１の値」の自体が小さいことから、その分布が２次元グラフ上において縦軸方向に大きく分離せずに密集した状態となる。

したがって、処理部２３は、一例として、横軸の値が「０．１（「縦軸および横軸の他方の値が「０．５」以下の予め規定された値Ｂ」の一例）」以下である「第２の対応点」、すなわち、各「第２の対応点」のうちの大半を占める通常の測定値Ｄｓに対応する「第２の対応点」（放電波形成分や大きなノイズ成分が存在する場合に、そのような特異な測定値Ｄｓを除く測定値Ｄｓに対応する「第２の対応点」）を抽出する。なお、上記の「値Ｂ」については、「０．５」以下の「０．１」以外の任意の正数とすることができる。

次いで、処理部２３は、抽出した各「第２の対応点」における縦軸の値の標準偏差ｎσを演算する。この場合、「ｎ」については、測定値Ｄｓの数（サンプリング数）に応じて任意の自然数を予め規定しておく。具体的には、一例として、波形データＤ０における測定値Ｄｓの数が「１０，０００」であって、この波形データＤ０の波形Ｗ０に放電波形成分が存在しないときに、標準偏差ｎσ＝３σの範囲内に含まれる測定値Ｄｓは、「１０，０００×約９９．７３％≒９，９７３値」で「１０，０００−９，９７３＝２７値」が標準偏差ｎσの範囲外となる可能性があり、標準偏差ｎσ＝４σの範囲内に含まれる測定値Ｄｓは、「１０，０００×約９９．９９４％≒９，９９９．４値」で「１０，０００−９，９９９．４＝０．６値」が標準偏差ｎσの範囲外となる可能性がある。

また、標準偏差ｎσ＝５σの範囲内に含まれる測定値Ｄｓは、「１０，０００×約９９．９９９９％≒９，９９９．９９値」で「１０，０００−９，９９９．９９＝０．０１値」が標準偏差ｎσの範囲外となる可能性があり、標準偏差ｎσ＝６σの範囲内に含まれる測定値Ｄｓは、「１０，０００×約９９．９９９９９９％≒９，９９９．９９９９値」で「１０，０００−９，９９９．９９９９９９＝０．０００００１値」が標準偏差ｎσの範囲外となる可能性がある。したがって、この「第７の処理」においては、標準偏差ｎσ（ｎ≧３）、好ましくは、標準偏差５σ、または標準偏差６σを演算することで、放電波形成分が存在するとの誤判定が生じさせる可能性が十分に低い判定領域Ａａ（または、判定領域Ａｂ）を規定することが可能となる。

続いて、処理部２３は、図９，１０に示すように、前述した原点Ｐ０、および点Ｐ１と、縦軸の値が標準偏差ｎσと「値Ａ（本例では、約０．０８）」との和で横軸の値が「１」の点Ｐ３（「第３の点」の一例）と、縦軸の値が標準偏差ｎσで横軸の値が「０」の点Ｐ４（「第４の点」の一例）との４点を頂点とする矩形領域Ａ２（「第１の矩形領域」の一例）を特定する。また、処理部２３は、処理部２３は、判定領域Ａａを規定するときには、上記の三角形領域Ａ１と矩形領域Ａ２とを足し合わせた領域を判定領域Ａａとして規定すると共に、判定領域Ａｂを規定するときには、２次元グラフにおいて上記の三角形領域Ａ１および矩形領域Ａ２を除く領域を判定領域Ａｂとして規定する。以上により、判定領域Ａａおよび／または判定領域Ａｂを規定する「第７の処理」が完了する。

この場合、波形データＤ０の波形Ｗ０に放電波形成分が含まれていないときには、図９に示すように、波形データＤ２の値および波形データＤ５の値の「第１の対応点（同図に示す「◆」の点）」を２次元グラフ上にそれぞれプロットしたときに、すべての「第１の対応点」が判定領域Ａａ内（判定領域Ａｂ外）にプロットされる。これに対して、波形データＤ０の波形Ｗ０に放電波形成分が含まれていたときには、図１０に示すように、波形データＤ２の値および波形データＤ５の値の「第１の対応点」を２次元グラフ上にそれぞれプロットしたときに、幾つかの「第１の対応点」（放電波形成分の測定値Ｄｓに対応する「第１の対応点」）が判定領域Ａａ外（判定領域Ａｂ内）にプロットされる。したがって、上記のような手順で判定領域Ａａ、および／または判定領域Ａｂを規定することにより、波形データＤ２，Ｄ５に基づき、波形データＤ０の波形Ｗ０に放電波形成分が含まれているか否かを好適に判定できる。

次に、前述の検査対象Ｘについての前述した一連の処理のうちの「判定処理」（波形データＤ０の波形Ｗ０に放電波形成分が含まれているか否かの判定：検査処理）について、添付図面を参照して詳細に説明する。

波形データＤ２，Ｄ５と、判定領域Ａａおよび／または判定領域Ａｂとに基づいて波形データＤ０の波形Ｗ０に放電波形成分が含まれているか否かを判定する場合、「第７の処理」において判定領域Ａａを過剰に狭く規定したとき（判定領域Ａｂを過剰に広く規定したとき）に、放電波形成分ではないノイズ成分等が放電波形成分であると誤判定されるおそれがある。したがって、本例の測定システム１（データ処理装置３）では、「判定処理」において放電波形成分の有無を判定したときに、以下のような「報知処理」を行うことで、判定領域Ａａ，Ａｂが好適に規定されているか否かを利用者に把握させる構成が採用されている。

具体的には、一例として、処理部２３は、まず、判定領域Ａａ（第１の判定領域）を「少なくとも一方の領域」とするときには、「第１の対応点」の総数に占める判定領域Ａａに含まれない「第１の対応点」の割合を特定すると共に、判定領域Ａｂ（第２の判定領域）を「少なくとも一方の領域」とするときには、「第１の対応点」の総数に占める判定領域Ａｂに含まれる「第１の対応点」の割合を特定する。つまり、各「第１の対応点」に占める「放電波形成分に対応すると判定される第１の対応点」の割合を特定する。

次いで、特定した割合が「予め規定された割合（一例として、１０％）」以上のときに、「放電波形成分と判定されるポイント数が１０％を超えました」とのメッセージを表示部２２に表示させる（「予め規定された報知処理」の一例）。したがって、このメッセージを見た利用者は、波形データＤ０の測定時にそれほど多くの放電現象が発生している筈がないと判断したときには、判定領域Ａａを狭く規定し過ぎた（判定領域Ａｂを広く規定し過ぎた）と判断し、判定領域Ａａ、および／または判定領域Ａｂの広さを手動で調整したり、上記の一連の手順における各係数を変更して新たな判定領域Ａａ、および／または判定領域Ａｂを規定させたりする。なお、上記の「予め規定された割合」は、「０％」よりも大きく「１００％」よりも小さい範囲内で「１０％」以外の任意の割合に規定することができる。

また、「報知処理」としては、上記の処理に代えて、以下のような処理を行うこともできる。具体的には、一例として、処理部２３は、「判定処理」において、図１３に示すように、まず、２次元グラフを横軸（「縦軸および横軸の他方」の一例）の方向で１０個（「Ｇａ＝１０個」の例）に分割したＧａ＝１０個の矩形領域Ａ１０〜Ａ１９（「第２の矩形領域」の一例）を特定する。次いで、処理部２３は、判定領域Ａａを「少なくとも一方の領域」とするときには判定領域Ａａ以外の領域に「第１の対応点」が含まれている矩形領域Ａ１０〜Ａ１９の数を特定すると共に、判定領域Ａｂを「少なくとも一方の領域」とするときには判定領域Ａｂに「第１の対応点」が含まれている矩形領域Ａ１０〜Ａ１９の数を特定する。つまり、矩形領域Ａ１０〜Ａ１９のうちの「放電波形成分に対応すると判定される第１の対応点」が存在する領域の数を特定する。この際に、同図に示す例では、該当する領域が矩形領域Ａ１０の１つであると特定される。

続いて、処理部２３は、特定した領域の数が「予め規定された数（一例として、Ｇａ＝１０／２＝５）」以上のときに、「放電波形成分と判定されるポイントが位置する領域が５０％を超えました」とのメッセージを表示部２２に表示させる（「予め規定された報知処理」の他の一例）。なお、同図に示す例では、特定された領域の数が１つだけのため、上記のようなメッセージが表示されることなく、前述したような判定結果が表示部２２に表示されるが、上記のようなメッセージが表示された場合、そのメッセージを見た利用者は、波形データＤ０の測定時にそれほど多くの放電現象が発生している筈がないと判断したときには、判定領域Ａａを狭く規定し過ぎた（判定領域Ａｂを広く規定し過ぎた）と判断し、判定領域Ａａ、および／または判定領域Ａｂの広さを手動で調整したり、上記の一連の手順における各係数を変更して新たな判定領域Ａａ、および／または判定領域Ａｂを規定させたりする。なお、上記の「Ｇａ個」は、１０個以外で２以上の任意の自然数に規定することができる。また、「予め規定された数」についても、５個以外でＧａ個以下の任意の自然数に規定することができる。

このように、このデータ処理装置３では、処理部２３が、放電波形成分が含まれているか否かの判定の基準とする「測定値範囲」を波形データＤ０に基づいて規定し、かつ「測定値範囲」との対比によって放電波形成分が含まれているか否かを判定可能な「比較値」を波形データＤ０に基づいて生成すると共に、「測定値範囲」および「比較値」に基づく「判定処理（検査処理）」を実行して判定結果を特定可能な検査結果データＤｒを生成する。

具体的には、処理部２３が、波形データＤ０を使用して「第１の処理」から「第６の処理」までの各処理を順次実行して「第２の値（波形データＤ２の値）」および「第５の値（波形データＤ５の値）」を「比較値」として「第２の値」および「第５の値」の「第１の対応点」を２次元グラフ上にそれぞれプロットした後に、放電波形成分の測定値Ｄｓに対応する「第１の対応点」がプロットされない判定領域Ａａ、および放電波形成分の測定値Ｄｓに対応する「第１の対応点」がプロットされる判定領域Ａｂの少なくとも一方の領域を、２次元グラフ上の各「第１の対応点」の配置に基づいて予め規定された領域規定手順に従って２次元グラフ上に「測定値範囲」として規定する「第７の処理」を実行し、「第７の処理」によって規定した判定領域Ａａおよび／または判定領域Ａｂと各「第１の対応点」との位置関係に基づいて波形データＤ０の波形Ｗ０に放電波形成分が含まれているか否かを特定する。

また、このデータ処理用プログラムＤｐでは、上記の各処理をデータ処理装置３の処理部２３に実行させる。

したがって、このデータ処理装置３およびデータ処理用プログラムＤｐによれば、検査対象Ｘについて取得した１つの波形データＤ０に基づいて、放電波形成分が存在するか否かを判定するための「測定値範囲」（判定領域Ａａおよび／または判定領域Ａｂ）を規定し、かつ「測定値範囲」との比較によって放電波形成分が存在するか否かを判定可能な「比較値」（「第２の値」および「第５の値」）を特定することができる。このため、複数回の測定処理が不要となり、複数の検査対象Ｘについての個体差の影響や、測定処理毎の測定環境の相違に起因する測定値Ｄｓのばらつきの影響を受けることがなくなるため、放電現象が発生しているか否かの判定精度を十分に向上させることができるだけでなく、判定用の基準値（閾値）を生成する処理を別個に行う必要もなくなることから、利用者の負担を十分に軽減することができる。

また、このデータ処理装置３では、処理部２３が、「第７の処理」において、２次元グラフの原点Ｐ０を通過する各「第１の対応点」の回帰直線（図９〜１１における一点鎖線Ｌ）を特定し、特定した回帰直線における２次元グラフの横軸の値が「１」のときの２次元グラフの縦軸の値を「値Ａ」として特定し、かつ、２次元グラフの原点Ｐ０、縦軸の値が「値Ａ」で横軸の値が「１」の点Ｐ１、および縦軸の値が「０」で横軸の値が「１」の点Ｐ２の３点を頂点とする三角形領域Ａ１を特定すると共に、特定した三角形領域Ａ１に基づいて判定領域Ａａおよび／または判定領域Ａｂを規定する。

したがって、このデータ処理装置３およびデータ処理用プログラムＤｐによれば、放電波形成分の値に対応する「第１の対応点」がプロットされる可能性が極めて低い三角形領域Ａ１を確実かつ容易に特定することができ、この三角形領域Ａ１に基づいて、判定領域Ａａおよび／または判定領域Ａｂを容易に特定して規定することができる。

さらに、このデータ処理装置３では、処理部２３が、２次元グラフの縦軸に波形データＤ１の各「第１の値」を対応させると共に２次元グラフの横軸に各「第１の値」のサンプリングタイミングに対応する波形データＤ５の各「第５の値」を対応させて「第１の値」および「第５の値」の「第２の対応点」を２次元グラフ上にそれぞれプロットすると共に、横軸の値が「０．５」以下の予め規定された「値Ｂ」以下である「第２の対応点」を抽出し、抽出した各「第２の対応点」における縦軸の値の標準偏差ｎσを演算すると共に、原点Ｐ０、点Ｐ１、縦軸の値が標準偏差ｎσと「値Ａ」との和で横軸の値が「１」の点Ｐ３、および縦軸の値が標準偏差ｎσで横軸の値が「０」の点Ｐ４の４点を頂点とする矩形領域Ａ２を特定し、特定した矩形領域Ａ２および三角形領域Ａ１に基づいて判定領域Ａａおよび／または判定領域Ａｂを規定する。

したがって、このデータ処理装置３およびデータ処理用プログラムＤｐによれば、特定した矩形領域Ａ２および三角形領域Ａ１に基づいて判定領域Ａａおよび／または判定領域Ａｂを容易に特定することができ、波形データＤ０の波形Ｗ０に放電波形成分が含まれているか否かを高精度に判定可能な判定領域Ａａおよび／または判定領域Ａｂの領域データを確実に規定することができる。

また、このデータ処理装置３では、処理部２３が、判定領域Ａａを「少なくとも一方の領域」とするときには「第１の対応点」の総数に占める判定領域Ａａに含まれない「第１の対応点」の割合を特定すると共に、判定領域Ａｂを「少なくとも一方の領域」とするときには「第１の対応点」の総数に占める判定領域Ａｂに含まれる「第１の対応点」の割合を特定し、特定した割合が予め規定された割合以上のときに、予め規定された「報知処理」を実行する。

また、このデータ処理装置３では、処理部２３が、２次元グラフを横軸の方向でＧａ個に分割したＧａ個の矩形領域Ａ１０〜Ａ１９を特定し、判定領域Ａａを「少なくとも一方の領域」とするときには判定領域Ａａ以外の領域に「第１の対応点」が含まれている矩形領域Ａ１０〜Ａ１９の数を特定すると共に、判定領域Ａｂを「少なくとも一方の領域」とするときには判定領域Ａｂに「第１の対応点」が含まれている矩形領域Ａ１０〜Ａ１９の数を特定し、特定した数が予め規定された数以上のときに、予め規定された「報知処理」を実行する。

したがって、このデータ処理装置３およびデータ処理用プログラムＤｐによれば、波形データＤ０の波形Ｗ０に放電波形成分が含まれているか否かの判定結果を確実かつ容易に認識させることができる。

さらに、このデータ処理装置３では、処理部２３が、「第１の対応点」をプロットした２次元グラフと「少なくとも一方の領域」を示す「領域表示」とを「判定処理」の判定結果と共に表示部２２に表示させる。したがって、このデータ処理装置３およびデータ処理用プログラムＤｐによれば、波形データＤ０の波形Ｗ０に放電波形成分が含まれているか否かの判定結果を一層確実かつ一層容易に認識させることができる。

また、この測定システム１では、上記のいずれかのデータ処理装置３と、検査対象Ｘについての予め規定されたサンプリング周期での測定を実行して波形データＤ０を出力する測定装置２とを備えて構成されている。したがって、この測定システム１によれば、波形データＤ０の取得（生成）から放電波形成分の有無の判定および検査結果データＤｒの生成までの一連の処理を１つのシステムで実行することができる。

なお、「データ処理装置」および「測定システム」の構成や、「データ処理用プログラム」による処理の手順は、上記のデータ処理装置３の構成、およびデータ処理装置３を備えて構成された測定システム１の構成の例や、データ処理用プログラムＤｐの記述の内容の例に限定されない。例えば、「第１の対応点」から「第２の対応点」のプロット時に、「縦軸および横軸のいずれか予め規定された一方」を「縦軸」とし、かつ「縦軸および横軸の他方」を「横軸」とした例について説明したが、「縦軸および横軸のいずれか予め規定された一方」を「横軸」とし、「縦軸および横軸の他方」を「縦軸」としてプロットしてもよい。

また、「判定処理」の判定結果をデータ処理装置３の構成要素である表示部２２に表示させる構成を例に挙げて説明したが、外部装置としての表示装置（表示部）に判定結果を表示させる構成を採用することもできる。さらに、測定装置２と、測定装置２とは別体のデータ処理装置３とを備えて測定システム１を構成した例について説明したが、「測定装置」および「データ処理装置」を一体化した装置を「測定システム」として構成することもできる。加えて、「測定対象」としての巻線部品についてのデータを処理して検査する例について説明したが、「データ処理装置」によるデータ処理の対象や、「測定システム」による検査の対象はこれに限定されず、コンデンサや抵抗体などの各種の電子部品や、回路基板上の任意の検査ポイント間についての「波形データ」に基づいて判定処理（検査処理）を実行することができる。

１ 測定システム
２ 測定装置
３ データ処理装置
２１ 操作部
２２ 表示部
２３ 処理部
２４ 記憶部
Ａａ，Ａｂ 判定領域
Ａ１ 三角形領域
Ａ２，Ａ１０〜Ａ１９ 矩形領域
Ｄｓ 測定値
Ｄ０〜Ｄ５ 波形データ
Ｄｐ データ処理用プログラム
Ｄｒ 検査結果データ
Ｐ０ 原点
Ｐ１〜Ｐ４ 点
Ｗ０〜Ｗ５ 波形
Ｘ 検査対象

Claims (8)

1. 予め規定されたサンプリング周期で測定された複数の測定値が記録されている波形データに基づいて当該波形データの信号波形に放電波形成分が含まれているか否かを判定する判定処理を実行する処理部を備えたデータ処理装置であって、
   前記処理部は、前記放電波形成分が含まれているか否かの判定の基準とする測定値範囲を前記波形データに基づいて規定し、かつ当該測定値範囲との対比によって前記放電波形成分が含まれているか否かを判定可能な比較値を当該波形データに基づいて生成すると共に、生成した前記測定値範囲および前記比較値に基づく前記判定処理を実行して判定結果を特定可能な判定結果データを生成する処理において、
   前記波形データの前記各測定値のなかから連続するＮサンプリング内（Ｎは、予め規定された２以上の自然数）の変化量が予め規定された量以上の第１の値を抽出して第１のデータを生成する第１の処理と、
   前記第１のデータの前記各第１の値を絶対値化した第２の値を演算して第２のデータを生成する第２の処理と、
   前記波形データの前記各測定値を、対象の当該測定値を含んで連続するＭサンプリング分（Ｍは、予め規定された２以上の自然数）の当該測定値を平均化した第３の値にそれぞれ置き換えて第３のデータを生成する第３の処理と、
   前記第３のデータの前記各第３の値のなかから前記連続するＮサンプリング内の変化量が前記予め規定された量以上の第４の値を抽出して第４のデータを生成する第４の処理と、
   前記第４のデータの前記各第４の値の絶対値を正規化した第５の値を演算して第５のデータを生成する第５の処理と、
   ２次元グラフの縦軸および横軸のいずれか予め規定された一方に前記第２のデータの前記各第２の値を対応させると共に当該２次元グラフの縦軸および横軸の他方に当該各第２の値のサンプリングタイミングに対応する前記第５のデータの前記各第５の値を対応させて、当該第２の値および当該第５の値を前記比較値として当該第２の値および当該第５の値の第１の対応点を当該２次元グラフ上にそれぞれプロットする第６の処理と、
   前記放電波形成分の前記測定値に対応する前記第１の対応点がプロットされない第１の判定領域、および当該放電波形成分の当該測定値に対応する当該第１の対応点がプロットされる第２の判定領域の少なくとも一方の領域を、前記２次元グラフ上の前記各第１の対応点の配置に基づいて予め規定された領域規定手順に従って当該２次元グラフ上に前記測定値範囲として規定する第７の処理とを実行し、
   前記第７の処理によって規定した前記少なくとも一方の領域と前記各第１の対応点との位置関係に基づいて前記波形データの信号波形に前記放電波形成分が含まれているか否かを特定するデータ処理装置。
2. 前記処理部は、前記第７の処理において、前記２次元グラフの原点を通過する前記各第１の対応点の回帰直線を特定し、特定した当該回帰直線における当該２次元グラフの前記縦軸および横軸の他方の値が１のときの当該２次元グラフの前記縦軸および横軸のいずれか予め規定された一方の値を値Ａとして特定し、かつ、当該２次元グラフの原点、当該予め規定された一方の値が当該値Ａで当該他方の値が１の第１の点、および当該予め規定された一方の値が０で当該他方の値が１の第２の点の３点を頂点とする三角形領域を特定すると共に、特定した当該三角形領域に基づいて前記少なくとも一方の領域を規定する請求項１記載のデータ処理装置。
3. 前記処理部は、前記２次元グラフの前記縦軸および横軸のいずれか予め規定された一方に前記第１のデータの前記各第１の値を対応させると共に当該２次元グラフの前記縦軸および横軸の他方に当該各第１の値のサンプリングタイミングに対応する前記第５のデータの前記各第５の値を対応させて当該第１の値および当該第５の値の第２の対応点を当該２次元グラフ上にそれぞれプロットすると共に、前記縦軸および横軸の他方の値が「０．５」以下の予め規定された値Ｂ以下である前記第２の対応点を抽出し、抽出した前記各第２の対応点における前記縦軸および横軸のいずれか予め規定された一方の値の標準偏差ｎσ（ｎは、予め規定された任意の自然数）を演算すると共に、前記原点、前記第１の点、前記予め規定された一方の値が前記標準偏差ｎσと前記値Ａとの和で前記他方の値が１の第３の点、および当該予め規定された一方の値が当該標準偏差ｎσで当該他方の値が０の第４の点の４点を頂点とする第１の矩形領域を特定し、特定した当該第１の矩形領域および前記三角形領域に基づいて前記少なくとも一方の領域を規定する請求項２記載のデータ処理装置。
4. 前記処理部は、前記第１の判定領域を前記少なくとも一方の領域とするときには前記第１の対応点の総数に占める当該第１の判定領域に含まれない当該第１の対応点の割合を特定すると共に、前記第２の判定領域を当該少なくとも一方の領域とするときには当該第１の対応点の総数に占める当該第２の判定領域に含まれる当該第１の対応点の割合を特定し、特定した割合が予め規定された割合以上のときに、予め規定された報知処理を実行する請求項１から３のいずれかに記載のデータ処理装置。
5. 前記処理部は、前記２次元グラフを前記縦軸および横軸の他方の方向でＧａ個（Ｇａは、予め規定された２以上の自然数）に分割したＧａ個の第２の矩形領域を特定し、前記第１の判定領域を当該少なくとも一方の領域とするときには当該第１の判定領域以外の領域に当該第１の対応点が含まれている当該第２の矩形領域の数を特定すると共に、前記第２の判定領域を前記少なくとも一方の領域とするときには当該第２の判定領域に当該第１の対応点が含まれている前記第２の矩形領域の数を特定し、特定した数が予め規定された数以上のときに、予め規定された報知処理を実行する請求項１から３のいずれかに記載のデータ処理装置。
6. 前記処理部は、前記第１の対応点をプロットした前記２次元グラフと前記少なくとも一方の領域を示す領域表示とを前記判定処理の判定結果と共に表示部に表示させる請求項１から５のいずれかに記載のデータ処理装置。
7. 請求項１から６のいずれかに記載のデータ処理装置と、
   測定対象についての前記予め規定されたサンプリング周期での測定を実行して前記波形データを出力する測定装置とを備えて構成されている測定システム。
8. 予め規定されたサンプリング周期で測定された複数の測定値が記録されている波形データに基づいて当該波形データの信号波形に放電波形成分が含まれているか否かを判定する判定処理をデータ処理装置の処理部に実行させるデータ処理用プログラムであって、
   前記放電波形成分が含まれているか否かの判定の基準とする測定値範囲を前記波形データに基づいて規定し、かつ当該測定値範囲との対比によって前記放電波形成分が含まれているか否かを判定可能な比較値を当該波形データに基づいて生成すると共に、生成した前記測定値範囲および前記比較値に基づく前記判定処理を実行して判定結果を特定可能な判定結果データを生成する処理において、
   前記波形データの前記各測定値のなかから連続するＮサンプリング内（Ｎは、予め規定された２以上の自然数）の変化量が予め規定された量以上の第１の値を抽出して第１のデータを生成する第１の処理と、
   前記第１のデータの前記各第１の値を絶対値化した第２の値を演算して第２のデータを生成する第２の処理と、
   前記波形データの前記各測定値を、対象の当該測定値を含んで連続するＭサンプリング分（Ｍは、予め規定された２以上の自然数）の当該測定値を平均化した第３の値にそれぞれ置き換えて第３のデータを生成する第３の処理と、
   前記第３のデータの前記各第３の値のなかから前記連続するＮサンプリング内の変化量が前記予め規定された量以上の第４の値を抽出して第４のデータを生成する第４の処理と、
   前記第４のデータの前記各第４の値の絶対値を正規化した第５の値を演算して第５のデータを生成する第５の処理と、
   ２次元グラフの縦軸および横軸のいずれか予め規定された一方に前記第２のデータの前記各第２の値を対応させると共に当該２次元グラフの縦軸および横軸の他方に当該各第２の値のサンプリングタイミングに対応する前記第５のデータの前記各第５の値を対応させて、当該第２の値および当該第５の値を前記比較値として当該第２の値および当該第５の値の第１の対応点を当該２次元グラフ上にそれぞれプロットする第６の処理と、
   前記放電波形成分の前記測定値に対応する前記第１の対応点がプロットされない第１の判定領域、および当該放電波形成分の当該測定値に対応する当該第１の対応点がプロットされる第２の判定領域の少なくとも一方の領域を、前記２次元グラフ上の前記各第１の対応点の配置に基づいて予め規定された領域規定手順に従って当該２次元グラフ上に前記測定値範囲として規定する第７の処理とを前記処理部に実行させると共に、
   前記第７の処理によって規定した前記少なくとも一方の領域と前記各第１の対応点との位置関係に基づいて前記波形データの信号波形に前記放電波形成分が含まれているか否かを特定する処理を前記処理部に実行させるデータ処理用プログラム。

Images