JP2001330579A - パターン検査方法及びパターン検査装置及び記録媒体 - Google Patents
パターン検査方法及びパターン検査装置及び記録媒体Info
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- JP2001330579A JP2001330579A JP2000151584A JP2000151584A JP2001330579A JP 2001330579 A JP2001330579 A JP 2001330579A JP 2000151584 A JP2000151584 A JP 2000151584A JP 2000151584 A JP2000151584 A JP 2000151584A JP 2001330579 A JP2001330579 A JP 2001330579A
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- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 被検査対象プリント基板と対向電極との間の
距離及び平行度を常に一定に保持し、同一試験環境下に
おける正確な検査を行なう。 【解決手段】被検査対象電気配線を配線したプリント基
板上に、同一材料により同一配線長及び同一配線幅及び
同一配線層に形成された複数の標準配線を予め配線して
おき、これら複数の標準配線と対向電極との間の電気容
量値をそれぞれ測定し、前記電気容量測定値間の差異が
予め設定された差異値許容範囲内に入りかつ前記電気容
量測定値がそれぞれ予め設定された標準電気容量許容範
囲内に入るように、前記プリント基板の位置を調整し、
しかる後に前記対向電極と被検査対象電気配線との間の
電気容量値を測定し、この電気容量測定値が予め設定さ
れた電気容量許容範囲内にあるか否かによって前記被検
査対象電気配線の良否を判定する。
距離及び平行度を常に一定に保持し、同一試験環境下に
おける正確な検査を行なう。 【解決手段】被検査対象電気配線を配線したプリント基
板上に、同一材料により同一配線長及び同一配線幅及び
同一配線層に形成された複数の標準配線を予め配線して
おき、これら複数の標準配線と対向電極との間の電気容
量値をそれぞれ測定し、前記電気容量測定値間の差異が
予め設定された差異値許容範囲内に入りかつ前記電気容
量測定値がそれぞれ予め設定された標準電気容量許容範
囲内に入るように、前記プリント基板の位置を調整し、
しかる後に前記対向電極と被検査対象電気配線との間の
電気容量値を測定し、この電気容量測定値が予め設定さ
れた電気容量許容範囲内にあるか否かによって前記被検
査対象電気配線の良否を判定する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電気容量値測定に
よるパターン検査方法及びその検査において用いられる
パターン検査装置及び記録媒体に関する。
よるパターン検査方法及びその検査において用いられる
パターン検査装置及び記録媒体に関する。
【０００２】
【従来の技術】パターン配線を行ったプリント基板を検
査する方法として、被検査配線とそれに対向する電極と
の間に発生する電気容量の値を測定し、それらの大小に
よって被検査配線の良否を判定する方法がある。図３
に、上述のパターン検査方法において用いられる測定装
置の装置構成を示し、以下にその測定方法を説明する。
査する方法として、被検査配線とそれに対向する電極と
の間に発生する電気容量の値を測定し、それらの大小に
よって被検査配線の良否を判定する方法がある。図３
に、上述のパターン検査方法において用いられる測定装
置の装置構成を示し、以下にその測定方法を説明する。
【０００３】図３において、プリント基板１における電
気配線２上の端子５に対して、測定アーム１０に取付け
られた測定針１１を接触させ、電気配線２と対向電極１
２との間の電気容量値Ｃ１を電気容量計９により測定す
る。良否データ格納部内１８には電気配線２の理論的な
電気容量値（期待値）からの「ずれ」に対する許容範囲
すなわち電気容量値許容範囲が予め格納されており、良
否判定部１７は電気容量値Ｃ１がこの電気容量値許容範
囲内にあるか否かを判定し、その結果を良否表示部１９
に表示する。
気配線２上の端子５に対して、測定アーム１０に取付け
られた測定針１１を接触させ、電気配線２と対向電極１
２との間の電気容量値Ｃ１を電気容量計９により測定す
る。良否データ格納部内１８には電気配線２の理論的な
電気容量値（期待値）からの「ずれ」に対する許容範囲
すなわち電気容量値許容範囲が予め格納されており、良
否判定部１７は電気容量値Ｃ１がこの電気容量値許容範
囲内にあるか否かを判定し、その結果を良否表示部１９
に表示する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述のように従来の測
定方法においては、電気配線２と対向電極１２との間の
電気容量値を基準としてパターン配線の良否を判定して
いた。しかしながら導体間の電気容量値はそれらの間の
距離及び平行度によって変動するものであり、上記従来
の測定方法において、検査対象の複数のプリント基板に
おいて、これらと対向電極１２との間の距離及び／又は
平行度に変動がある場合には、測定される電気容量値の
差異について、これが前記距離及び／又は平行度の変動
に起因するものであるのか、あるいは電気配線の不良に
よるものであるのかを判断することが困難となり、パタ
ーン検査の精度が保証されない。
定方法においては、電気配線２と対向電極１２との間の
電気容量値を基準としてパターン配線の良否を判定して
いた。しかしながら導体間の電気容量値はそれらの間の
距離及び平行度によって変動するものであり、上記従来
の測定方法において、検査対象の複数のプリント基板に
おいて、これらと対向電極１２との間の距離及び／又は
平行度に変動がある場合には、測定される電気容量値の
差異について、これが前記距離及び／又は平行度の変動
に起因するものであるのか、あるいは電気配線の不良に
よるものであるのかを判断することが困難となり、パタ
ーン検査の精度が保証されない。
【０００５】そこで本発明の課題は、電気容量測定によ
るパターン検査方法において、被検査対象プリント基板
と対向電極との間の距離及び平行度を常に一定に保持
し、同一試験環境下における正確な検査を行なうことで
ある。またそのような正確な検査を可能とする検査装置
及び記録媒体を提供することである。
るパターン検査方法において、被検査対象プリント基板
と対向電極との間の距離及び平行度を常に一定に保持
し、同一試験環境下における正確な検査を行なうことで
ある。またそのような正確な検査を可能とする検査装置
及び記録媒体を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明のパターン検査方法は、電気容量測定によるパ
ターン検査装置において、被検査対象電気配線を配線し
たプリント基板上に、同一材料により同一配線長及び同
一配線幅及び同一配線層に形成された複数の標準配線を
予め配線しておき、これら複数の標準配線と対向電極と
の間の電気容量値をそれぞれ測定し、前記電気容量測定
値間の差異が予め設定された差異値許容範囲内に入りか
つ前記電気容量測定値がそれぞれ予め設定された標準電
気容量許容範囲内に入るように、前記対向電極に対する
前記プリント基板の位置を調整し、しかる後に前記対向
電極と被検査対象電気配線との間の電気容量値を測定
し、この電気容量測定値が予め設定された電気容量許容
範囲内にあるか否かによって前記被検査対象電気配線の
良否を判定することを特徴とする。これにより、同一パ
ターンを配線した複数のプリント基板についてパターン
検査を行なう際に、常に一定の測定環境下すなわちプリ
ント基板と対向電極との間の平行度及び距離が一定の条
件下で被検査対象電気配線と対向電極との間の電気容量
値を測定することが可能となり、検査精度が向上する。
の本発明のパターン検査方法は、電気容量測定によるパ
ターン検査装置において、被検査対象電気配線を配線し
たプリント基板上に、同一材料により同一配線長及び同
一配線幅及び同一配線層に形成された複数の標準配線を
予め配線しておき、これら複数の標準配線と対向電極と
の間の電気容量値をそれぞれ測定し、前記電気容量測定
値間の差異が予め設定された差異値許容範囲内に入りか
つ前記電気容量測定値がそれぞれ予め設定された標準電
気容量許容範囲内に入るように、前記対向電極に対する
前記プリント基板の位置を調整し、しかる後に前記対向
電極と被検査対象電気配線との間の電気容量値を測定
し、この電気容量測定値が予め設定された電気容量許容
範囲内にあるか否かによって前記被検査対象電気配線の
良否を判定することを特徴とする。これにより、同一パ
ターンを配線した複数のプリント基板についてパターン
検査を行なう際に、常に一定の測定環境下すなわちプリ
ント基板と対向電極との間の平行度及び距離が一定の条
件下で被検査対象電気配線と対向電極との間の電気容量
値を測定することが可能となり、検査精度が向上する。
【０００７】また本発明のパターン検査方法は、前記プ
リント配線基板を可動ステージ上に載置し、複数の標準
配線と対向電極との間の電気容量値をそれぞれ測定し、
前記電気容量測定値間の差異が予め設定された差異値許
容範囲内となるように前記可動ステージの傾斜を変えて
前記対向電極とプリント基板との平行度を調整し、かつ
前記電気容量測定値がそれぞれ予め設定された標準電気
容量値許容範囲内となるように前記可動ステージを移動
して前記対向電極とプリント基板との距離を調整するこ
とを特徴とする。これにより、同一パターンを配線した
複数のプリント基板にについてパターン検査を行なう際
に、常に一定の測定環境下すなわちプリント基板と対向
電極との間の平行度及び距離が一定の条件下で被検査対
象電気配線と対向電極との間の電気容量値を測定するこ
とが可能となり、検査精度が向上する。
リント配線基板を可動ステージ上に載置し、複数の標準
配線と対向電極との間の電気容量値をそれぞれ測定し、
前記電気容量測定値間の差異が予め設定された差異値許
容範囲内となるように前記可動ステージの傾斜を変えて
前記対向電極とプリント基板との平行度を調整し、かつ
前記電気容量測定値がそれぞれ予め設定された標準電気
容量値許容範囲内となるように前記可動ステージを移動
して前記対向電極とプリント基板との距離を調整するこ
とを特徴とする。これにより、同一パターンを配線した
複数のプリント基板にについてパターン検査を行なう際
に、常に一定の測定環境下すなわちプリント基板と対向
電極との間の平行度及び距離が一定の条件下で被検査対
象電気配線と対向電極との間の電気容量値を測定するこ
とが可能となり、検査精度が向上する。
【０００８】また本発明のパターン検査方法は、複数の
標準配線と対向電極との間の電気容量値をそれぞれ測定
してこれらの測定値を情報処理装置内部に格納するステ
ップと、前記各電気容量測定値間の電気容量差異値を算
出するステップと、前記電気容量差異値が情報処理装置
内部に予め格納されている差異値許容範囲内にあるか否
かを判断するステップと、前記判断により差異値許容範
囲外とされた場合に前記プリント基板を載置した平板可
動ステージの傾斜を変えて前記対向電極とプリント基板
との間の平行度を調整することにより、再び複数の標準
配線と対向電極との間の電気容量値をそれぞれ測定した
ときの電気容量差異値が前記差異値許容範囲内に入るよ
うにするステップと、前記複数の標準配線と対向電極と
の間の電気容量測定値が情報処理装置内部に予め格納さ
れた標準電気容量値許容範囲内にあるか否かを判断する
ステップと、前記判断により標準電気容量値許容範囲外
とされた場合に前記平板可動ステージを移動して前記対
向電極とプリント基板との間の距離を調整することによ
り、再び複数の標準配線と対向電極との間の電気容量値
をそれぞれ測定したとき、それらの電気容量測定値が前
記標準電気容量値許容範囲内に入るようにするステップ
とを含むことを特徴とする。これにより、同一パターン
を配線した複数のプリント基板にについてパターン検査
を行なう際に、常に一定の測定環境下すなわちプリント
基板と対向電極との間の平行度及び距離が一定の条件下
で被検査対象電気配線と対向電極との間の電気容量値を
測定することが可能となり、検査精度が向上する。
標準配線と対向電極との間の電気容量値をそれぞれ測定
してこれらの測定値を情報処理装置内部に格納するステ
ップと、前記各電気容量測定値間の電気容量差異値を算
出するステップと、前記電気容量差異値が情報処理装置
内部に予め格納されている差異値許容範囲内にあるか否
かを判断するステップと、前記判断により差異値許容範
囲外とされた場合に前記プリント基板を載置した平板可
動ステージの傾斜を変えて前記対向電極とプリント基板
との間の平行度を調整することにより、再び複数の標準
配線と対向電極との間の電気容量値をそれぞれ測定した
ときの電気容量差異値が前記差異値許容範囲内に入るよ
うにするステップと、前記複数の標準配線と対向電極と
の間の電気容量測定値が情報処理装置内部に予め格納さ
れた標準電気容量値許容範囲内にあるか否かを判断する
ステップと、前記判断により標準電気容量値許容範囲外
とされた場合に前記平板可動ステージを移動して前記対
向電極とプリント基板との間の距離を調整することによ
り、再び複数の標準配線と対向電極との間の電気容量値
をそれぞれ測定したとき、それらの電気容量測定値が前
記標準電気容量値許容範囲内に入るようにするステップ
とを含むことを特徴とする。これにより、同一パターン
を配線した複数のプリント基板にについてパターン検査
を行なう際に、常に一定の測定環境下すなわちプリント
基板と対向電極との間の平行度及び距離が一定の条件下
で被検査対象電気配線と対向電極との間の電気容量値を
測定することが可能となり、検査精度が向上する。
【０００９】また本発明のパターン検査装置は、被検査
対象電気配線を配線したプリント基板を載置し、このプ
リント配線基板と対向電極との間の平行度および距離を
調整するための可動ステージと、前記プリント基板上に
予め同一材料により同一配線長及び同一配線幅及び同一
配線層に形成された複数の標準配線と対向電極との間、
及び前記被検査対象電気配線と対向電極との間の電気容
量値を測定するための電気容量計と、前記電気容量計に
可動アームを介して接続されかつ電気容量値測定時にお
いて測定対象に電気的に接続される測定針と、情報処理
装置とからなり、かつ前記情報処理装置が、前記複数の
標準配線と対向電極との間の標準電気容量値許容範囲及
び電気容量測定値間の差異値許容範囲を格納した基準値
格納部と、前記複数の標準配線と対向電極との間の電気
容量測定値が前記標準電気容量値許容範囲にあるか否か
の判断及び、電気容量測定値間の電気容量差異値が前記
差異値許容範囲にあるか否かの判断を行なう比較処理部
と、前記比較処理部における判断により、前記複数の標
準配線と対向電極との間の電気容量測定値が前記標準電
気容量値許容範囲にないと判断された場合及び、電気容
量測定値間の電気容量差異値が前記差異値許容範囲ない
と判断された場合において、前記平板可動ステージを稼
動して前記プリント基板と対向電極との間の平行度及び
距離を調整するステージ制御部と、前記被検査対象電気
配線と対向電極との間の電気容量値許容範囲を格納した
良否データ格納部と、前記被検査対象電気配線と対向電
極との間の電気容量測定値が前記電気容量値許容範囲に
あるか否かを判断する良否判定部と、前記良否判定部に
おける判定結果を表示する良否表示部とを有することを
特徴とする。これにより、同一パターンを配線した複数
のプリント基板にについてパターン検査を行なう際に、
常に一定の測定環境下すなわちプリント基板と対向電極
との間の平行度及び距離が一定の条件下で被検査対象電
気配線と対向電極との間の電気容量値を測定することが
可能となり、検査精度が向上する。
対象電気配線を配線したプリント基板を載置し、このプ
リント配線基板と対向電極との間の平行度および距離を
調整するための可動ステージと、前記プリント基板上に
予め同一材料により同一配線長及び同一配線幅及び同一
配線層に形成された複数の標準配線と対向電極との間、
及び前記被検査対象電気配線と対向電極との間の電気容
量値を測定するための電気容量計と、前記電気容量計に
可動アームを介して接続されかつ電気容量値測定時にお
いて測定対象に電気的に接続される測定針と、情報処理
装置とからなり、かつ前記情報処理装置が、前記複数の
標準配線と対向電極との間の標準電気容量値許容範囲及
び電気容量測定値間の差異値許容範囲を格納した基準値
格納部と、前記複数の標準配線と対向電極との間の電気
容量測定値が前記標準電気容量値許容範囲にあるか否か
の判断及び、電気容量測定値間の電気容量差異値が前記
差異値許容範囲にあるか否かの判断を行なう比較処理部
と、前記比較処理部における判断により、前記複数の標
準配線と対向電極との間の電気容量測定値が前記標準電
気容量値許容範囲にないと判断された場合及び、電気容
量測定値間の電気容量差異値が前記差異値許容範囲ない
と判断された場合において、前記平板可動ステージを稼
動して前記プリント基板と対向電極との間の平行度及び
距離を調整するステージ制御部と、前記被検査対象電気
配線と対向電極との間の電気容量値許容範囲を格納した
良否データ格納部と、前記被検査対象電気配線と対向電
極との間の電気容量測定値が前記電気容量値許容範囲に
あるか否かを判断する良否判定部と、前記良否判定部に
おける判定結果を表示する良否表示部とを有することを
特徴とする。これにより、同一パターンを配線した複数
のプリント基板にについてパターン検査を行なう際に、
常に一定の測定環境下すなわちプリント基板と対向電極
との間の平行度及び距離が一定の条件下で被検査対象電
気配線と対向電極との間の電気容量値を測定することが
可能となり、検査精度が向上する。
【００１０】また本発明の記録媒体は、複数の標準配線
と対向電極との間の電気容量値をそれぞれ測定してこれ
らの測定値を情報処理装置内部に格納するステップと、
前記各測定値間の電気容量差異値を算出するステップ
と、前記電気容量差異値が情報処理装置内部に予め格納
されている差異値許容範囲内にあるか否かを判断するス
テップと、前記判断により差異値許容範囲外とされた場
合に前記プリント基板を載置した平板可動ステージの傾
斜を変動して前記対向電極とプリント基板との間の平行
度を調整することにより、再び複数の標準配線と対向電
極との間の電気容量をそれぞれ測定したときの電気容量
差異値が前記差異値許容範囲内に入るようにするステッ
プと、前記複数の標準配線と対向電極との間の電気容量
測定値を情報処理装置内部に予め格納された標準電気容
量値許容範囲内にあるか否かを判断するステップと、前
記判断により標準電気容量値許容範囲外とされた場合に
前記平板可動ステージを変動して前記対向電極とプリン
ト基板との間の距離を調整することにより、再び複数の
標準配線と対向電極との間の電気容量値をそれぞれ測定
したとき、それらの電気容量値が前記電気容量値許容範
囲内に入るようにするステップとを含むプログラムを記
録した記録媒体である。これにより、同一パターンを配
線した複数のプリント基板にについてパターン検査を行
なう際に、常に一定の測定環境下すなわちプリント基板
と対向電極との間の平行度及び距離が一定の条件下で被
検査対象電気配線と対向電極との間の電気容量値を測定
することが可能となり、検査精度が向上する。
と対向電極との間の電気容量値をそれぞれ測定してこれ
らの測定値を情報処理装置内部に格納するステップと、
前記各測定値間の電気容量差異値を算出するステップ
と、前記電気容量差異値が情報処理装置内部に予め格納
されている差異値許容範囲内にあるか否かを判断するス
テップと、前記判断により差異値許容範囲外とされた場
合に前記プリント基板を載置した平板可動ステージの傾
斜を変動して前記対向電極とプリント基板との間の平行
度を調整することにより、再び複数の標準配線と対向電
極との間の電気容量をそれぞれ測定したときの電気容量
差異値が前記差異値許容範囲内に入るようにするステッ
プと、前記複数の標準配線と対向電極との間の電気容量
測定値を情報処理装置内部に予め格納された標準電気容
量値許容範囲内にあるか否かを判断するステップと、前
記判断により標準電気容量値許容範囲外とされた場合に
前記平板可動ステージを変動して前記対向電極とプリン
ト基板との間の距離を調整することにより、再び複数の
標準配線と対向電極との間の電気容量値をそれぞれ測定
したとき、それらの電気容量値が前記電気容量値許容範
囲内に入るようにするステップとを含むプログラムを記
録した記録媒体である。これにより、同一パターンを配
線した複数のプリント基板にについてパターン検査を行
なう際に、常に一定の測定環境下すなわちプリント基板
と対向電極との間の平行度及び距離が一定の条件下で被
検査対象電気配線と対向電極との間の電気容量値を測定
することが可能となり、検査精度が向上する。
【００１１】
【発明の実施形態】本発明の一実施形態を、図１及び図
２を参照して以下に説明する。
２を参照して以下に説明する。
【００１２】図１は本発明におけるパターン検査装置の
装置構成一例を示すブロック図である。検査対象となる
電気配線２が配線されたプリント基板１上には、予め同
一材料により同一配線長及び同一配線幅及び同一配線層
に複数の標準配線が形成されている。本実施形態におい
ては説明を容易にするために、図１のごとく標準配線Ａ
３及び標準配線Ｂ４の２つの標準配線を配置した場合を
示す。端子５、標準端子Ａ６、及び標準端子Ｂ７はそれ
ぞれ電気配線２、標準配線Ａ３、及び標準配線Ｂ４と電
気的に接続され、かつ検査が容易となるようにプリント
基板１の外面に露出している。
装置構成一例を示すブロック図である。検査対象となる
電気配線２が配線されたプリント基板１上には、予め同
一材料により同一配線長及び同一配線幅及び同一配線層
に複数の標準配線が形成されている。本実施形態におい
ては説明を容易にするために、図１のごとく標準配線Ａ
３及び標準配線Ｂ４の２つの標準配線を配置した場合を
示す。端子５、標準端子Ａ６、及び標準端子Ｂ７はそれ
ぞれ電気配線２、標準配線Ａ３、及び標準配線Ｂ４と電
気的に接続され、かつ検査が容易となるようにプリント
基板１の外面に露出している。
【００１３】上記プリント基板１は検査に際して、全方
向に対して可動でかつ傾斜角度の変更が可能である可動
ステージ８上に載置される。
向に対して可動でかつ傾斜角度の変更が可能である可動
ステージ８上に載置される。
【００１４】電気容量計９には可動式の測定アーム１０
を介して測定針１１が接続されている。また対向電極１
２が接続されている。対向電極１２をプリント基板１に
対向させて、測定針１１を端子５、標準端子Ａ６、及び
標準端子Ｂ７にそれぞれ接触させることにより、対向電
極１２と電気配線２、標準配線Ａ３、及び標準配線Ｂ４
との間の電気容量値Ｃ１、Ｃ２、及びＣ３がそれぞれ測
定される。
を介して測定針１１が接続されている。また対向電極１
２が接続されている。対向電極１２をプリント基板１に
対向させて、測定針１１を端子５、標準端子Ａ６、及び
標準端子Ｂ７にそれぞれ接触させることにより、対向電
極１２と電気配線２、標準配線Ａ３、及び標準配線Ｂ４
との間の電気容量値Ｃ１、Ｃ２、及びＣ３がそれぞれ測
定される。
【００１５】情報処理装置１３は、内部に比較処理部１
４、基準値格納部１５、ステージ制御部１６、良否判定
部１７、良否データ格納部１８、及び良否表示部１９を
有する。基準値格納部１５には、電気容量測定値Ｃ２と
Ｃ３とに関してその標準電気容量値許容範囲と、電気容
量測定値Ｃ２とＣ３との差異に関してその差異値許容範
囲とが予め基準値として格納されている。比較処理部１
４は、電気容量計９により測定された電気容測定量Ｃ２
及びＣ３をそれぞれいったん格納し、これらが上記標準
電気容量値許容範囲内にあるか否か、及びこれらの差異
値が上記差異値許容範囲内にあるか否かを判断する。
４、基準値格納部１５、ステージ制御部１６、良否判定
部１７、良否データ格納部１８、及び良否表示部１９を
有する。基準値格納部１５には、電気容量測定値Ｃ２と
Ｃ３とに関してその標準電気容量値許容範囲と、電気容
量測定値Ｃ２とＣ３との差異に関してその差異値許容範
囲とが予め基準値として格納されている。比較処理部１
４は、電気容量計９により測定された電気容測定量Ｃ２
及びＣ３をそれぞれいったん格納し、これらが上記標準
電気容量値許容範囲内にあるか否か、及びこれらの差異
値が上記差異値許容範囲内にあるか否かを判断する。
【００１６】ステージ制御部１６は、比較処理部１４に
おいて電気容量測定値Ｃ２及びＣ３が上記標準電気容量
値許容範囲外にある（すなわちプリント基板１と対向電
極１２との間の距離が基準範囲外にある）と判定された
場合、及びこれらの差異値が上記差異値許容範囲外にあ
る（すなわちプリント基板１と対向電極１２との間の平
行度が基準範囲外にある）と判定された場合において、
可動ステージ８を動かして、プリント基板１と対向電極
１２との間の距離及び平行度を調整する。
おいて電気容量測定値Ｃ２及びＣ３が上記標準電気容量
値許容範囲外にある（すなわちプリント基板１と対向電
極１２との間の距離が基準範囲外にある）と判定された
場合、及びこれらの差異値が上記差異値許容範囲外にあ
る（すなわちプリント基板１と対向電極１２との間の平
行度が基準範囲外にある）と判定された場合において、
可動ステージ８を動かして、プリント基板１と対向電極
１２との間の距離及び平行度を調整する。
【００１７】良否データ格納部内１８には理論的に算出
された電気配線２の電気容量基準値とこの値を中心とす
る電気容量値許容範囲が格納されている。良否判断部１
９は、電気容量計９により測定された電気容量測定値Ｃ
１が電気容量値許容範囲内にあるか否かを判定し、その
結果を良否表示部１９に表示する。
された電気配線２の電気容量基準値とこの値を中心とす
る電気容量値許容範囲が格納されている。良否判断部１
９は、電気容量計９により測定された電気容量測定値Ｃ
１が電気容量値許容範囲内にあるか否かを判定し、その
結果を良否表示部１９に表示する。
【００１８】次に、本発明のパターン検査方法の手順を
図２のフローチャートを参照して説明する。本発明のパ
ターン検査方法は、大きく分けて検査準備段階と検査段
階とに分割されるが、まず検査準備段階について説明す
る。可動ステージ８上にプリント基板１を載置し、対向
電極１２をプリント基板１に対向して設置し、測定針１
１を標準端子Ａ５に接触させることにより電気容量値Ｃ
２を、標準端子Ｂ６に接触させることにより電気容量値
Ｃ３をそれぞれ電気容量計９によって測定する（ステッ
プ）。
図２のフローチャートを参照して説明する。本発明のパ
ターン検査方法は、大きく分けて検査準備段階と検査段
階とに分割されるが、まず検査準備段階について説明す
る。可動ステージ８上にプリント基板１を載置し、対向
電極１２をプリント基板１に対向して設置し、測定針１
１を標準端子Ａ５に接触させることにより電気容量値Ｃ
２を、標準端子Ｂ６に接触させることにより電気容量値
Ｃ３をそれぞれ電気容量計９によって測定する（ステッ
プ）。
【００１９】電気容量測定値Ｃ２及びＣ３は、比較処理
部１４にいったん格納され、これらの差異が算出され
る。算出された差異値は、基準値格納部１５に予め格納
されている差異値許容範囲内にあるか否か判定される
（ステップ）。差異値許容範囲外であると判定される
場合とは、すなわちプリント基板１と対向電極１２との
間の平行度が確保されていない状態であることを意味す
る。そこでこのとき、ステージ制御部１６により可動ス
テージ８の傾きを調整する（ステップ）。より具体的
には、電気容量値Ｃ２とＣ３において、Ｃ２が大である
場合には図１において可動ステージ８の右側を下げるあ
るいは左側を上げ、Ｃ３が大である場合にはその逆の動
作を行う。このようにして可動ステージ８の傾きを調整
した後、再びステップ及びを実行する。以上の動作
を、電気容量測定値Ｃ２とＣ３との差異が差異値許容範
囲内に入るまで繰り返す。
部１４にいったん格納され、これらの差異が算出され
る。算出された差異値は、基準値格納部１５に予め格納
されている差異値許容範囲内にあるか否か判定される
（ステップ）。差異値許容範囲外であると判定される
場合とは、すなわちプリント基板１と対向電極１２との
間の平行度が確保されていない状態であることを意味す
る。そこでこのとき、ステージ制御部１６により可動ス
テージ８の傾きを調整する（ステップ）。より具体的
には、電気容量値Ｃ２とＣ３において、Ｃ２が大である
場合には図１において可動ステージ８の右側を下げるあ
るいは左側を上げ、Ｃ３が大である場合にはその逆の動
作を行う。このようにして可動ステージ８の傾きを調整
した後、再びステップ及びを実行する。以上の動作
を、電気容量測定値Ｃ２とＣ３との差異が差異値許容範
囲内に入るまで繰り返す。
【００２０】電気容量測定値Ｃ２とＣ３との差異が差異
値許容範囲内にあると判定された場合、比較処理部１４
は、電気容量測定値Ｃ２及びＣ３が基準値格納部１５に
予め格納されている標準電気容量値許容範囲内にあるか
否かを判定する（ステップ）。標準電気容量値許容範
囲外と判定される場合とは、すなわちプリント基板１と
対向電極１２との間の距離が基準範囲内にない状態であ
ることを意味する。そこでこのとき、ステージ制御部１
６により可動ステージ８を移動する（ステップ）。よ
り具体的には、電気容量値Ｃ２及びＣ３が、標準電気容
量値許容範囲に満たない場合には図１において可動ステ
ージ８を上方向に平行移動して対向電極１２との距離を
小さくし、標準電気容量値許容範囲を越える場合には図
１において下方向に平行移動して対向電極１２との距離
を大きくする。このようにして可動ステージ８の位置を
調整した後、再び電気容量値Ｃ２及びＣ３を測定し（ス
テップ）、再びステップを実行する。以上の動作
を、電気容量測定値Ｃ２及びＣ３が標準電気容量値許容
範囲内に入るまで繰り返す。これらのステップ（ステッ
プ〜ステップ）が検査準備段階であり、これによっ
てプリント基板１と対向電極１２との間の平行度及び距
離が常に一定に保持される。
値許容範囲内にあると判定された場合、比較処理部１４
は、電気容量測定値Ｃ２及びＣ３が基準値格納部１５に
予め格納されている標準電気容量値許容範囲内にあるか
否かを判定する（ステップ）。標準電気容量値許容範
囲外と判定される場合とは、すなわちプリント基板１と
対向電極１２との間の距離が基準範囲内にない状態であ
ることを意味する。そこでこのとき、ステージ制御部１
６により可動ステージ８を移動する（ステップ）。よ
り具体的には、電気容量値Ｃ２及びＣ３が、標準電気容
量値許容範囲に満たない場合には図１において可動ステ
ージ８を上方向に平行移動して対向電極１２との距離を
小さくし、標準電気容量値許容範囲を越える場合には図
１において下方向に平行移動して対向電極１２との距離
を大きくする。このようにして可動ステージ８の位置を
調整した後、再び電気容量値Ｃ２及びＣ３を測定し（ス
テップ）、再びステップを実行する。以上の動作
を、電気容量測定値Ｃ２及びＣ３が標準電気容量値許容
範囲内に入るまで繰り返す。これらのステップ（ステッ
プ〜ステップ）が検査準備段階であり、これによっ
てプリント基板１と対向電極１２との間の平行度及び距
離が常に一定に保持される。
【００２１】電気容量測定値Ｃ２及びＣ３が電気容量値
許容範囲内であると判定された場合、次の検査段階に進
む。検査段階は従来の検査方法と同様であるため、簡単
に記述する。すなわち、プリント基板１における電気配
線２上の端子５に対して、測定アーム１０に取付けられ
た測定針１１を接触させ、電気配線２と対向電極１２と
の間の電気容量値Ｃ１を電気容量計９により測定する
（ステップ）。電気容量測定値Ｃ１が、良否データ格
納部１８に予め格納されている電気配線２の電気容量値
許容範囲にあるか否かを良否判定部１７において判定し
（ステップ）、その結果を良否表示部１９に表示する
（ステップ）。
許容範囲内であると判定された場合、次の検査段階に進
む。検査段階は従来の検査方法と同様であるため、簡単
に記述する。すなわち、プリント基板１における電気配
線２上の端子５に対して、測定アーム１０に取付けられ
た測定針１１を接触させ、電気配線２と対向電極１２と
の間の電気容量値Ｃ１を電気容量計９により測定する
（ステップ）。電気容量測定値Ｃ１が、良否データ格
納部１８に予め格納されている電気配線２の電気容量値
許容範囲にあるか否かを良否判定部１７において判定し
（ステップ）、その結果を良否表示部１９に表示する
（ステップ）。
【００２２】なお、上記実施形態においてはプリント基
板１と対向電極１２との距離とを調整した後にただちに
検査段階に進んだが、必要に応じてそのときの可動ステ
ージ８の高さを情報処理装置１３内部にいったん記憶さ
せておき、検査段階において電気容量Ｃ１の測定が行い
易いように可動ステージ８適宜移動した後（例えば図１
における左右方向あるいは紙面手前-奥方向等）、記憶
しておいた高さに再度ッ調整し、その後に検査段階に進
むようにしてもよい。
板１と対向電極１２との距離とを調整した後にただちに
検査段階に進んだが、必要に応じてそのときの可動ステ
ージ８の高さを情報処理装置１３内部にいったん記憶さ
せておき、検査段階において電気容量Ｃ１の測定が行い
易いように可動ステージ８適宜移動した後（例えば図１
における左右方向あるいは紙面手前-奥方向等）、記憶
しておいた高さに再度ッ調整し、その後に検査段階に進
むようにしてもよい。
【００２３】また、本実施形態は、上記ステップから
ステップまでの動作を実行するプログラムを記録した
記録媒体により実現される。
ステップまでの動作を実行するプログラムを記録した
記録媒体により実現される。
【００２４】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、電気容量
地測定による配線検査方法において、被検査対象プリン
ト基板と対向電極との間の距離及び平行度を常に一定に
保持し、同一試験環境下における正確な検査を行なうこ
とが可能となる。
地測定による配線検査方法において、被検査対象プリン
ト基板と対向電極との間の距離及び平行度を常に一定に
保持し、同一試験環境下における正確な検査を行なうこ
とが可能となる。
【図１】 本発明のパターン検査方法において使用され
る装置構成の一例を示すブロック図である。
る装置構成の一例を示すブロック図である。
【図２】 本発明のパターン検査方法の一実施形態を示
すフローチャートである。
すフローチャートである。
【図３】 従来のパターン検査方法において使用される
装置の構成を示すブロック図である。
装置の構成を示すブロック図である。
１ プリント基板 ２ 電気配線 ３ 標準配線Ａ ４ 標準配線Ｂ ５ 端子 ６ 標準端子Ａ ７ 標準端子Ｂ ８ 可動ステージ ９ 電気容量計 １０ 測定アーム １１ 測定針 １２ 対向電極 １３ 情報処理装置 １４ 比較処理部 １５ 基準値格納部 １６ ステージ制御部 １７ 良否判定部 １８ 良否データ格納部 １９ 良否表示部
Claims (5)
- 【請求項１】 電気容量測定によるパターン検査装置に
おいて、被検査対象電気配線を配線したプリント基板上
に、同一材料により同一配線長及び同一配線幅及び同一
配線層に形成された複数の標準配線を予め配線してお
き、これら複数の標準配線と対向電極との間の電気容量
値をそれぞれ測定し、前記電気容量測定値間の差異が予
め設定された差異値許容範囲内に入りかつ前記各電気容
量測定値が予め設定された標準電気容量許容範囲内に入
るように、前記対向電極に対して前記プリント基板の位
置を調整し、しかる後に前記対向電極と被検査対象電気
配線との間の電気容量値を測定し、この電気容量測定値
が予め設定された電気容量値許容範囲内にあるか否かに
よって前記被検査対象電気配線の良否を判定することを
特徴とするパターン検査方法。 - 【請求項２】 前記プリント配線基板を可動ステージ上
に載置し、複数の標準配線と対向電極との間の電気容量
値をそれぞれ測定し、前記電気容量測定値間の差異が予
め設定された差異値許容範囲内に入るように前記可動ス
テージの傾斜を変えて前記対向電極とプリント基板との
平行度を調整し、かつ前記電気容量測定値がそれぞれ予
め設定された標準電気容量値許容範囲内に入るように前
記平板可動ステージを移動して前記対向電極とプリント
基板との距離を調整することを特徴とする請求項１に記
載のパターン検査方法。 - 【請求項３】 複数の標準配線と対向電極との間の電気
容量値をそれぞれ測定してこれらの測定値を情報処理装
置内部に格納するステップと、前記各電気容量測定値間
の電気容量差異値を算出するステップと、前記電気容量
差異値が情報処理装置内部に予め格納されている差異値
許容範囲内にあるか否かを判断するステップと、前記判
断により差異値許容範囲外とされた場合に前記プリント
基板を載置した可動ステージの傾斜を変えて前記対向電
極とプリント基板との間の平行度を調整することによ
り、再び複数の標準配線と対向電極との間の電気容量値
をそれぞれ測定したときの電気容量差異値が前記差異値
許容範囲内に入るようにするステップと、前記複数の標
準配線と対向電極との間の電気容量測定値が情報処理装
置内部に予め格納された標準電気容量値許容範囲内にあ
るか否かを判断するステップと、前記判断により標準電
気容量値許容範囲外とされた場合に前記可動ステージを
移動して前記対向電極とプリント基板との間の距離を調
整することにより、再び複数の標準配線と対向電極との
間の電気容量値をそれぞれ測定したとき、それらの電気
容量測定値が前記標準電気容量値許容範囲内に入るよう
にするステップとを含むことを特徴とする請求項１又は
請求項２に記載のパターン検査方法。 - 【請求項４】 （１）被検査対象電気配線を配線したプ
リント基板を載置し、このプリント配線基板と対向電極
との間の平行度および距離を調整するための可動ステー
ジと、（２）前記プリント基板上に予め同一材料により
同一配線長及び同一配線幅及び同一配線層に形成された
複数の標準配線と対向電極との間、及び前記被検査対象
電気配線と対向電極との間の電気容量値を測定するため
の電気容量計と、（３）前記電気容量計に可動アームを
介して接続されかつ電気容量値測定時において測定対象
に電気的に接続される測定針と、（４）情報処理装置と
からなり、かつ前記情報処理装置が、前記複数の標準配
線と対向電極との間の標準電気容量値許容範囲及び電気
容量測定値間の差異値許容範囲を格納した基準値格納部
と、前記複数の標準配線と対向電極との間の電気容量測
定値が前記標準電気容量値許容範囲にあるか否かの判断
及び、電気容量測定値間の電気容量差異値が前記差異値
許容範囲にあるか否かの判断を行なう比較処理部と、前
記比較処理部における判断により、前記複数の標準配線
と対向電極との間の電気容量測定値が前記標準電気容量
値許容範囲にないと判断された場合及び、電気容量測定
値間の電気容量差異値が前記差異値許容範囲ないと判断
された場合において、前記可動ステージを稼動して前記
プリント基板と対向電極との間の平行度及び距離を調整
するステージ制御部と、前記被検査対象電気配線と対向
電極との間の電気容量値許容範囲を格納した良否データ
格納部と、前記被検査対象電気配線と対向電極との間の
電気容量測定値が前記電気容量値許容範囲にあるか否か
を判断する良否判定部と、前記良否判定部における判定
結果を表示する良否表示部とを有することを特徴とする
パターン検査装置。 - 【請求項５】 複数の標準配線と対向電極との間の電気
容量値をそれぞれ測定してこれらの測定値を情報処理装
置内部に格納するステップと、前記各測定値間の電気容
量差異値を算出するステップと、前記電気容量差異値が
情報処理装置内部に予め格納されている差異値許容範囲
内にあるか否かを判断するステップと、前記判断により
差異値許容範囲外とされた場合に前記プリント基板を載
置した可動ステージの傾斜を変動して前記対向電極とプ
リント基板との間の平行度を調整することにより、再び
複数の標準配線と対向電極との間の電気容量をそれぞれ
測定したときの電気容量差異値が前記差異値許容範囲内
に入るようにするステップと、前記複数の標準配線と対
向電極との間の電気容量測定値を情報処理装置内部に予
め格納された標準電気容量値許容範囲内にあるか否かを
判断するステップと、前記判断により標準電気容量値許
容範囲外とされた場合に前記可動ステージを変動して前
記対向電極とプリント基板との間の距離を調整すること
により、再び複数の標準配線と対向電極との間の電気容
量値をそれぞれ測定したとき、それらの電気容量値が前
記標準電気容量値許容範囲内に入るようにするステップ
とを含むプログラムを記録した記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000151584A JP2001330579A (ja) | 2000-05-23 | 2000-05-23 | パターン検査方法及びパターン検査装置及び記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000151584A JP2001330579A (ja) | 2000-05-23 | 2000-05-23 | パターン検査方法及びパターン検査装置及び記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001330579A true JP2001330579A (ja) | 2001-11-30 |
Family
ID=18657116
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000151584A Pending JP2001330579A (ja) | 2000-05-23 | 2000-05-23 | パターン検査方法及びパターン検査装置及び記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001330579A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015004621A (ja) * | 2013-06-21 | 2015-01-08 | 株式会社日本マイクロニクス | 配線基板の検査装置および配線基板の検査方法 |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58204374A (ja) * | 1982-05-22 | 1983-11-29 | Toshiba Corp | 基板の絶縁導通判定装置 |
| JPS6482541A (en) * | 1987-09-25 | 1989-03-28 | Hitachi Ltd | Method and device for measuring semiconductor surface |
| JPH05126890A (ja) * | 1991-10-30 | 1993-05-21 | Sharp Corp | 基板部品検査装置 |
| JPH1038980A (ja) * | 1996-07-29 | 1998-02-13 | Nec Corp | 回路基板プロービング装置及び方法 |
| JPH11337608A (ja) * | 1998-05-27 | 1999-12-10 | Nec Ibaraki Ltd | パターン検査装置の補正方式 |
| JP2000082244A (ja) * | 1998-09-04 | 2000-03-21 | Canon Inc | ２平面を平行制御する情報処理装置、および情報処理方法 |
| JP2000292472A (ja) * | 1999-04-01 | 2000-10-20 | Nec Ibaraki Ltd | プリント基板の検査方法および検査装置並びにプリント基板 |
-
2000
- 2000-05-23 JP JP2000151584A patent/JP2001330579A/ja active Pending
Patent Citations (7)
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015004621A (ja) * | 2013-06-21 | 2015-01-08 | 株式会社日本マイクロニクス | 配線基板の検査装置および配線基板の検査方法 |
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