JP2000292472A - プリント基板の検査方法および検査装置並びにプリント基板 - Google Patents
プリント基板の検査方法および検査装置並びにプリント基板Info
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- JP2000292472A JP2000292472A JP11095106A JP9510699A JP2000292472A JP 2000292472 A JP2000292472 A JP 2000292472A JP 11095106 A JP11095106 A JP 11095106A JP 9510699 A JP9510699 A JP 9510699A JP 2000292472 A JP2000292472 A JP 2000292472A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】被検査対象配線の期待値容量を算出するのに必
要な単位線長当たりの容量の外部からの入力を不要に
し、対象配線の良否のご判定を防止する。 【解決手段】対向電極にプリント基板１を対向させる。
予めプリント基板１上に設けた標準端子１９、２０、２
１に測定針６を接触させ、上層、中層、下層に配線され
た単位線長を有する標準配線１６、１７、１８と対向電
極５間の電気容量Ｃａ、Ｃｂ、Ｃｃを電気容量計７で測
定し、被検査対象である電気配線２の上層配線１３、中
層配線１４および下層配線１５の線長情報Ｌ１、Ｌ２お
よびＬ３を用い、電気配線２の電気容量の期待値Ｃｓｔ
ｄ＝Ｌ１×Ｃａ＋Ｌ２×Ｃｂ＋Ｌ３×Ｃｃを算出する。
測定針６を、プリント基板１の電気配線２に接続された
端子３に接触させ、電気配線２と対向電極５間の電気容
量を電気容量計７で測定したものと電気容量の期待値Ｃ
ｓｔｄとを比較する。
要な単位線長当たりの容量の外部からの入力を不要に
し、対象配線の良否のご判定を防止する。 【解決手段】対向電極にプリント基板１を対向させる。
予めプリント基板１上に設けた標準端子１９、２０、２
１に測定針６を接触させ、上層、中層、下層に配線され
た単位線長を有する標準配線１６、１７、１８と対向電
極５間の電気容量Ｃａ、Ｃｂ、Ｃｃを電気容量計７で測
定し、被検査対象である電気配線２の上層配線１３、中
層配線１４および下層配線１５の線長情報Ｌ１、Ｌ２お
よびＬ３を用い、電気配線２の電気容量の期待値Ｃｓｔ
ｄ＝Ｌ１×Ｃａ＋Ｌ２×Ｃｂ＋Ｌ３×Ｃｃを算出する。
測定針６を、プリント基板１の電気配線２に接続された
端子３に接触させ、電気配線２と対向電極５間の電気容
量を電気容量計７で測定したものと電気容量の期待値Ｃ
ｓｔｄとを比較する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、プリント基板およ
びその検査方法に関し、特にプリント基板に設けられた
配線の良否を判定するプリント基板の検査方法に関す
る。
びその検査方法に関し、特にプリント基板に設けられた
配線の良否を判定するプリント基板の検査方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】図２に従来のプリント基板の検査装置を
示す。
示す。
【０００３】図２において、対向電極５に対向して１ミ
リメートル程度の一定の間隔でプリント基板１を設置す
る。対向電極５はプリント基板１を十分に覆うことがで
きる大きさの金属板からなる。測定針６は測定アーム４
を介して電気容量計７に接続され、対向電極５も電気的
に電気容量計７に接続されている。測定ア−ム４に取り
付けられた測定針６を、プリント基板１の電気配線２上
の端子３に接触させ、電気配線２と対向する対向電極５
間の電気容量を電気容量計７で測定する。測定される電
気容量は、プリント基板１の電気配線２を構成する上層
配線１３と対向電極５間の電気容量Ｃ１と、中層配線１
４と対向電極５間の電気容量Ｃ２と、下層配線１５と対
向電極５間の電気容量Ｃ３の総和（電気容量の総和をＣ
とした場合Ｃ＝Ｃ１＋Ｃ２＋Ｃ３）となる。
リメートル程度の一定の間隔でプリント基板１を設置す
る。対向電極５はプリント基板１を十分に覆うことがで
きる大きさの金属板からなる。測定針６は測定アーム４
を介して電気容量計７に接続され、対向電極５も電気的
に電気容量計７に接続されている。測定ア−ム４に取り
付けられた測定針６を、プリント基板１の電気配線２上
の端子３に接触させ、電気配線２と対向する対向電極５
間の電気容量を電気容量計７で測定する。測定される電
気容量は、プリント基板１の電気配線２を構成する上層
配線１３と対向電極５間の電気容量Ｃ１と、中層配線１
４と対向電極５間の電気容量Ｃ２と、下層配線１５と対
向電極５間の電気容量Ｃ３の総和（電気容量の総和をＣ
とした場合Ｃ＝Ｃ１＋Ｃ２＋Ｃ３）となる。
【０００４】その後、良否判定部８にて、測定値と配線
長格納部１０に格納された電気配線２を構成する上層配
線１３、中層配線１４、下層配線１５それぞれの設計上
の線長情報と、検査条件入力部１１によって外部から与
えられた上層配線１３、中層配線１４、下層配線１５そ
れぞれの設計上の条件から求められる単位線長当たりの
電気容量（それぞれを単位Ｃ１、単位Ｃ２、単位Ｃ３と
称す。）により、期待値データ算出部９にて期待値（上
層線１３の設計上の線長をＬ１とし、中層配線１４の設
計上の線長をＬ２とし、上層配線１５の設計上の線長を
Ｌ３とし、期待値をＣｓｔｄとした場合、Ｃｓｔｄ＝Ｌ
１×単位Ｃ１＋Ｌ２×単位Ｃ２＋Ｌ３×単位Ｃ３）を算
出したものとを比較し、良否判定を行い、その結果を良
否表示部１２にて表示していた。
長格納部１０に格納された電気配線２を構成する上層配
線１３、中層配線１４、下層配線１５それぞれの設計上
の線長情報と、検査条件入力部１１によって外部から与
えられた上層配線１３、中層配線１４、下層配線１５そ
れぞれの設計上の条件から求められる単位線長当たりの
電気容量（それぞれを単位Ｃ１、単位Ｃ２、単位Ｃ３と
称す。）により、期待値データ算出部９にて期待値（上
層線１３の設計上の線長をＬ１とし、中層配線１４の設
計上の線長をＬ２とし、上層配線１５の設計上の線長を
Ｌ３とし、期待値をＣｓｔｄとした場合、Ｃｓｔｄ＝Ｌ
１×単位Ｃ１＋Ｌ２×単位Ｃ２＋Ｌ３×単位Ｃ３）を算
出したものとを比較し、良否判定を行い、その結果を良
否表示部１２にて表示していた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述の従来のプリント
配線基板の検査方法では、予め検査条件入力部１１によ
って、外部より入力する上層配線１３、中層配線１４、
下層配線１５それぞれの単位線長当たりの電気容量（そ
れぞれを単位Ｃ１、単位Ｃ２、単位Ｃ３と称す。）が正
確である事が重要であるが、被試験物であるプリント基
板１の多層化、高密度化が進むと共に正確な値を求める
ことが非常に難しくなり、誤差の大きな値を入力し、誤
った良否判定をする可能性が大きいという問題があっ
た。
配線基板の検査方法では、予め検査条件入力部１１によ
って、外部より入力する上層配線１３、中層配線１４、
下層配線１５それぞれの単位線長当たりの電気容量（そ
れぞれを単位Ｃ１、単位Ｃ２、単位Ｃ３と称す。）が正
確である事が重要であるが、被試験物であるプリント基
板１の多層化、高密度化が進むと共に正確な値を求める
ことが非常に難しくなり、誤差の大きな値を入力し、誤
った良否判定をする可能性が大きいという問題があっ
た。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、プリント基板
（図１の１）に対向して対向電極（図１の５）を配置
し、前記プリント基板に設けられた配線である対象配線
（図１の２）と前記対向電極との間の電気容量である対
象容量を測定し、この対象容量により前記対象配線の良
否を判定するプリント基板の検査方法において、前記プ
リント基板に長さが既知の標準配線（図１の１６、１
７、１８）を設けておき、この標準配線と前記対向電極
との間の電気容量である標準容量を測定し、前記標準配
線の長さ、前記標準容量および前記対象配線の設計上の
長さから算出する期待値容量と前記対象容量とを比較す
ることを特徴とする。
（図１の１）に対向して対向電極（図１の５）を配置
し、前記プリント基板に設けられた配線である対象配線
（図１の２）と前記対向電極との間の電気容量である対
象容量を測定し、この対象容量により前記対象配線の良
否を判定するプリント基板の検査方法において、前記プ
リント基板に長さが既知の標準配線（図１の１６、１
７、１８）を設けておき、この標準配線と前記対向電極
との間の電気容量である標準容量を測定し、前記標準配
線の長さ、前記標準容量および前記対象配線の設計上の
長さから算出する期待値容量と前記対象容量とを比較す
ることを特徴とする。
【０００７】本発明は、プリント基板（図１の１）に対
向して対向電極（図１の５）を配置し、前記プリント基
板の複数の層に設けられた配線（図１の１３、１４、１
５）が接続された対象配線（図１の２）と前記対向電極
との間の電気容量である対象容量を測定し、この対象容
量により前記対象配線の良否を判定するプリント基板の
検査方法において、前記プリント基板の前記対象配線が
及ぶ各層に互いに分離された長さが既知の標準配線（図
１の１６、１７、１８）を設けておき、これら各層の標
準配線と前記対向電極との間の電気容量である標準容量
を測定し、各層ごとに前記標準配線の長さ、前記標準容
量および前記対象配線の対応する層における設計上の長
さから各層の期待値容量を算出し、これら各層の期待値
容量を合計した期待値容量と前記対象容量とを比較する
ことを特徴とする。
向して対向電極（図１の５）を配置し、前記プリント基
板の複数の層に設けられた配線（図１の１３、１４、１
５）が接続された対象配線（図１の２）と前記対向電極
との間の電気容量である対象容量を測定し、この対象容
量により前記対象配線の良否を判定するプリント基板の
検査方法において、前記プリント基板の前記対象配線が
及ぶ各層に互いに分離された長さが既知の標準配線（図
１の１６、１７、１８）を設けておき、これら各層の標
準配線と前記対向電極との間の電気容量である標準容量
を測定し、各層ごとに前記標準配線の長さ、前記標準容
量および前記対象配線の対応する層における設計上の長
さから各層の期待値容量を算出し、これら各層の期待値
容量を合計した期待値容量と前記対象容量とを比較する
ことを特徴とする。
【０００８】上述のプリント基板の検査方法で、前記標
準配線は、単位線長とすることができる。
準配線は、単位線長とすることができる。
【０００９】本発明は、プリント基板（図１の１）に設
けられた対象配線（図１の２）の良否を判定するプリン
ト基板の検査装置において、前記プリント基板に対向し
て配置する対向電極（図１の５）と、測定針（図１の
３）と、この測定針を前記プリント基板に設けられた導
体に接触させた時の前記プリント基板と前記対向電極と
の間の電気容量を測定する電気容量計（図１の７）と、
前記対象配線の設計上の長さを格納しておく配線長格納
部（図１の１０）と、前記プリント基板に設けておいた
長さが既知の標準配線（図１の１６、１７、１８）に前
記測定針を接触させた時の前記電気容量計で測定した標
準容量および前記配線長格納部に格納された前記対象配
線の長さから当該対象配線の期待値容量を算出する期待
値データ算出部（図１の９）と、前記測定針を前記対象
配線に接触させた時の前記電気容量計で測定した対象容
量を期待値容量と比較する良否判定部（図１の８）とを
含むことを特徴とする。
けられた対象配線（図１の２）の良否を判定するプリン
ト基板の検査装置において、前記プリント基板に対向し
て配置する対向電極（図１の５）と、測定針（図１の
３）と、この測定針を前記プリント基板に設けられた導
体に接触させた時の前記プリント基板と前記対向電極と
の間の電気容量を測定する電気容量計（図１の７）と、
前記対象配線の設計上の長さを格納しておく配線長格納
部（図１の１０）と、前記プリント基板に設けておいた
長さが既知の標準配線（図１の１６、１７、１８）に前
記測定針を接触させた時の前記電気容量計で測定した標
準容量および前記配線長格納部に格納された前記対象配
線の長さから当該対象配線の期待値容量を算出する期待
値データ算出部（図１の９）と、前記測定針を前記対象
配線に接触させた時の前記電気容量計で測定した対象容
量を期待値容量と比較する良否判定部（図１の８）とを
含むことを特徴とする。
【００１０】本発明は、プリント基板（図１の１）の複
数の層に設けられた配線が接続された対象配線（図１の
２）の良否を判定するプリント基板の検査装置におい
て、前記プリント基板に対向して配置する対向電極（図
１の５）と、測定針（図１の３）と、この測定針を前記
プリント基板に設けられた導体に接触させた時の前記プ
リント基板と前記対向電極との間の電気容量を測定する
電気容量計（図１の７）と、前記対象配線の各層におけ
る配線（図１の１３、１４、１５）設計上の長さを格納
しておく配線長格納部（図１の１０）と、前記プリント
基板の前記対象配線が及ぶ各層に設けておいた互いに分
離された長さが既知の標準配線（図１の１６、１７、１
８）それぞれに前記測定針を接触させた時の前記電気容
量計で測定した標準容量および前記配線長格納部に格納
された前記対象配線の対応する層における配線の設計上
の長さそれぞれから当該対象配線の各層における配線の
期待値容量を算出しこれらの各層の期待値容量を合計し
て当該対象配線の期待値容量を算出する期待値データ算
出部（図１の９）と、前記測定針を前記対象配線に接触
させた時の前記電気容量計で測定した対象容量を前記対
象配線の期待値容量と比較する良否判定部（図１の８）
とを含むことを特徴とする。
数の層に設けられた配線が接続された対象配線（図１の
２）の良否を判定するプリント基板の検査装置におい
て、前記プリント基板に対向して配置する対向電極（図
１の５）と、測定針（図１の３）と、この測定針を前記
プリント基板に設けられた導体に接触させた時の前記プ
リント基板と前記対向電極との間の電気容量を測定する
電気容量計（図１の７）と、前記対象配線の各層におけ
る配線（図１の１３、１４、１５）設計上の長さを格納
しておく配線長格納部（図１の１０）と、前記プリント
基板の前記対象配線が及ぶ各層に設けておいた互いに分
離された長さが既知の標準配線（図１の１６、１７、１
８）それぞれに前記測定針を接触させた時の前記電気容
量計で測定した標準容量および前記配線長格納部に格納
された前記対象配線の対応する層における配線の設計上
の長さそれぞれから当該対象配線の各層における配線の
期待値容量を算出しこれらの各層の期待値容量を合計し
て当該対象配線の期待値容量を算出する期待値データ算
出部（図１の９）と、前記測定針を前記対象配線に接触
させた時の前記電気容量計で測定した対象容量を前記対
象配線の期待値容量と比較する良否判定部（図１の８）
とを含むことを特徴とする。
【００１１】本発明のプリント基板は、長さが既知の標
準配線（図１の１６、１７、１８）を設けたことを特徴
とする。
準配線（図１の１６、１７、１８）を設けたことを特徴
とする。
【００１２】本発明のプリント基板は、良否を判定する
対象配線（図１の２）が及ぶ各層に互いに分離された長
さが既知の標準配線（図１の１６、１７、１８）を設け
たことを特徴とする。
対象配線（図１の２）が及ぶ各層に互いに分離された長
さが既知の標準配線（図１の１６、１７、１８）を設け
たことを特徴とする。
【００１３】上述のプリント基板で、前記標準配線は、
単位線長とすることができる。
単位線長とすることができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して詳細に説明する。
て図面を参照して詳細に説明する。
【００１５】図１は、本発明の実施の形態のプリント基
板の検査装置の示す構成図である。
板の検査装置の示す構成図である。
【００１６】図１の検査装置は、測定ア−ム４、対向電
極５、測定針６、電気容量計７、良否判定部８、期待値
データ算出部９、配線長格納部１０および良否表示部１
２で構成する。
極５、測定針６、電気容量計７、良否判定部８、期待値
データ算出部９、配線長格納部１０および良否表示部１
２で構成する。
【００１７】被試験物であるプリント基板１は、上層の
標準配線１６に接続された標準端子１８、中層の標準配
線１７に接続された標準端子２０および下層の標準端子
１８に接続された標準端子２１が設けられている。
標準配線１６に接続された標準端子１８、中層の標準配
線１７に接続された標準端子２０および下層の標準端子
１８に接続された標準端子２１が設けられている。
【００１８】次に、本発明の実施の形態の検査手順につ
いて図１を参照して説明する。
いて図１を参照して説明する。
【００１９】まず、対向電極５に対向するようにプリン
ト基板１を設置する。被検査対象である電気配線２の検
査をする前に、予めプリント基板１上に設けた標準端子
１９に、測定ア−ム４上に取り付けられた測定針６を接
触させ、上層に配線された単位線長を有する標準配線１
６と対向電極５間の電気容量Ｃａを電気容量計７で測定
し、期待値データ算出部９に記憶させておく。同様に標
準端子２０に、測定ア−ム４上に取り付けられた測定針
６を接触させ、中層に配線された単位線長を有する標準
配線１７と対向電極５間の電気容量Ｃｂを電気容量計７
で測定し、期待値データ算出部９に記憶させ、下層に配
線された単位線長を有する標準配線１８と対向電極５間
の電気容量Ｃｃを電気容量計７で測定し、期待値データ
算出部９に記憶させておく。
ト基板１を設置する。被検査対象である電気配線２の検
査をする前に、予めプリント基板１上に設けた標準端子
１９に、測定ア−ム４上に取り付けられた測定針６を接
触させ、上層に配線された単位線長を有する標準配線１
６と対向電極５間の電気容量Ｃａを電気容量計７で測定
し、期待値データ算出部９に記憶させておく。同様に標
準端子２０に、測定ア−ム４上に取り付けられた測定針
６を接触させ、中層に配線された単位線長を有する標準
配線１７と対向電極５間の電気容量Ｃｂを電気容量計７
で測定し、期待値データ算出部９に記憶させ、下層に配
線された単位線長を有する標準配線１８と対向電極５間
の電気容量Ｃｃを電気容量計７で測定し、期待値データ
算出部９に記憶させておく。
【００２０】次に、被検査対象である電気配線２の測定
に移る。測定ア−ム４に取り付けられた測定針６を、プ
リント基板１の電気配線２に接続された端子３に接触さ
せ、電気配線２と対向する対向電極５間の電気容量を電
気容量計７で測定する。 測定される電気容量は、電気
配線２を構成する上層配線１３と対向電極５間の電気容
量Ｃ１と、中層配線１４と対向電極５間の電気容量Ｃ２
と、下層配線１５と対向電極５間の電気容量Ｃ３の総和
（電気配線２の電気容量をＣとした場合、Ｃ＝Ｃ１＋Ｃ
２＋Ｃ３）となる。
に移る。測定ア−ム４に取り付けられた測定針６を、プ
リント基板１の電気配線２に接続された端子３に接触さ
せ、電気配線２と対向する対向電極５間の電気容量を電
気容量計７で測定する。 測定される電気容量は、電気
配線２を構成する上層配線１３と対向電極５間の電気容
量Ｃ１と、中層配線１４と対向電極５間の電気容量Ｃ２
と、下層配線１５と対向電極５間の電気容量Ｃ３の総和
（電気配線２の電気容量をＣとした場合、Ｃ＝Ｃ１＋Ｃ
２＋Ｃ３）となる。
【００２１】その後、良否判定部８にて、この電気配線
２と対向電極５貫の電気容量の測定値と、配線長格納部
１０に格納された電気配線２を構成する上層配線１３、
中層配線１４および下層配線１５の設計上の線長情報Ｌ
１、Ｌ２およびＬ３と、前に予め測定しておいた、上層
配線１３、中層配線１４および下層配線１５それぞれの
単位線長当たりの電気容量に相当するＣａ、Ｃｂ、Ｃｃ
により、期待値データ算出部−９にて期待値（期待値を
Ｃｓｔｄとした場合、Ｃｓｔｄ＝Ｌ１×Ｃａ＋Ｌ２×Ｃ
ｂ＋Ｌ３×Ｃｃ）を算出したものとを比較し良否判定を
行い、その結果を良否表示部１１にて表示する。なお、
標準配線１６、１７および１８は単位線長のものでなく
ても、それぞれが異なる線長のものでも、予め長さが分
かっていれば、対向電極５間の電気容量の測定値から単
位線長当たりの電気容量が換算できるので、本発明は適
用可能である。
２と対向電極５貫の電気容量の測定値と、配線長格納部
１０に格納された電気配線２を構成する上層配線１３、
中層配線１４および下層配線１５の設計上の線長情報Ｌ
１、Ｌ２およびＬ３と、前に予め測定しておいた、上層
配線１３、中層配線１４および下層配線１５それぞれの
単位線長当たりの電気容量に相当するＣａ、Ｃｂ、Ｃｃ
により、期待値データ算出部−９にて期待値（期待値を
Ｃｓｔｄとした場合、Ｃｓｔｄ＝Ｌ１×Ｃａ＋Ｌ２×Ｃ
ｂ＋Ｌ３×Ｃｃ）を算出したものとを比較し良否判定を
行い、その結果を良否表示部１１にて表示する。なお、
標準配線１６、１７および１８は単位線長のものでなく
ても、それぞれが異なる線長のものでも、予め長さが分
かっていれば、対向電極５間の電気容量の測定値から単
位線長当たりの電気容量が換算できるので、本発明は適
用可能である。
【００２２】また、被検査対象である電気配線は、上
層、中層および下層に渡って配されたものでなく、いず
れかの層のみに配線されたものでも、プリント基板の表
面に配線されたものでも、さらに４層以上に渡って配線
されたものでも、本発明は適用可能である。
層、中層および下層に渡って配されたものでなく、いず
れかの層のみに配線されたものでも、プリント基板の表
面に配線されたものでも、さらに４層以上に渡って配線
されたものでも、本発明は適用可能である。
【００２３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のプリント
基板の検査方法および検査方法は、プリント基板上の被
検査対象である電気配線と対向電極間の電気容量を測定
する前に、測定ア−ムに取り付けられた測定針を、予め
プリント基板の対象配線を構成する層と同一層に設けて
おいた標準端子に接触させ、その時の電気容量を測定
し、各層の単位線長当たりの電気容量値を入手する事
で、電気配線の良否判断に必要な電気配線の各層の単位
線長当たりの電気容量値を外部から入力する必要がなく
なるとともに、実際の値から外れた単位線長当たりの電
気容量値を入力することでの誤判定がなくなる効果があ
る。
基板の検査方法および検査方法は、プリント基板上の被
検査対象である電気配線と対向電極間の電気容量を測定
する前に、測定ア−ムに取り付けられた測定針を、予め
プリント基板の対象配線を構成する層と同一層に設けて
おいた標準端子に接触させ、その時の電気容量を測定
し、各層の単位線長当たりの電気容量値を入手する事
で、電気配線の良否判断に必要な電気配線の各層の単位
線長当たりの電気容量値を外部から入力する必要がなく
なるとともに、実際の値から外れた単位線長当たりの電
気容量値を入力することでの誤判定がなくなる効果があ
る。
【図１】本発明の実施の形態のプリント基板の検査装置
の構成図である。
の構成図である。
【図２】従来のプリント基板の検査装置の構成図であ
る。
る。
１ プリント基板 ２ 電気配線 ３ 端子 ４ 測定アーム ５ 対向電極 ６ 測定針 ７ 電気容量計 ８ 良否判定部 ９ 期待値データ算出部 １０ 配線長格納部 １１ 検査条件入力部 １２ 良否表示部 １３ 配線 １４ 配線 １５ 配線 １６ 標準配線 １７ 標準配線 １８ 標準配線 １９ 標準端子 ２０ 標準端子 ２１ 標準端子
Claims (8)
- 【請求項１】 プリント基板に対向して対向電極を配置
し、前記プリント基板に設けられた配線である対象配線
と前記対向電極との間の電気容量である対象容量を測定
し、この対象容量により前記対象配線の良否を判定する
プリント基板の検査方法において、 前記プリント基板に長さが既知の標準配線を設けてお
き、この標準配線と前記対向電極との間の電気容量であ
る標準容量を測定し、前記標準配線の長さ、前記標準容
量および前記対象配線の設計上の長さから算出する期待
値容量と前記対象容量とを比較することを特徴とするプ
リント基板の検査方法。 - 【請求項２】 プリント基板に対向して対向電極を配置
し、前記プリント基板の複数の層に設けられた配線が接
続された対象配線と前記対向電極との間の電気容量であ
る対象容量を測定し、この対象容量により前記対象配線
の良否を判定するプリント基板の検査方法において、 前記プリント基板の前記対象配線が及ぶ各層に互いに分
離された長さが既知の標準配線を設けておき、これら各
層の標準配線と前記対向電極との間の電気容量である標
準容量を測定し、各層ごとに前記標準配線の長さ、前記
標準容量および前記対象配線の対応する層における設計
上の長さから各層の期待値容量を算出し、これら各層の
期待値容量を合計した期待値容量と前記対象容量とを比
較することを特徴とするプリント基板の検査方法。 - 【請求項３】 前記標準配線は、単位線長からなること
を特徴とする請求項１または２記載のプリント基板の検
査方法。 - 【請求項４】 プリント基板に設けられた対象配線の良
否を判定するプリント基板の検査装置において、 前記プリント基板に対向して配置する対向電極と、測定
針と、この測定針を前記プリント基板に設けられた導体
に接触させた時の前記プリント基板と前記対向電極との
間の電気容量を測定する電気容量計と、前記対象配線の
設計上の長さを格納しておく配線長格納部と、前記プリ
ント基板に設けておいた長さが既知の標準配線に前記測
定針を接触させた時の前記電気容量計で測定した標準容
量および前記配線長格納部に格納された前記対象配線の
長さから当該対象配線の期待値容量を算出する期待値デ
ータ算出部と、前記測定針を前記対象配線に接触させた
時の前記電気容量計で測定した対象容量を期待値容量と
比較する良否判定部とを含むことを特徴とするプリント
基板の検査装置。 - 【請求項５】 プリント基板の複数の層に設けられた配
線が接続された対象配線の良否を判定するプリント基板
の検査装置において、 前記プリント基板に対向して配置する対向電極と、測定
針と、この測定針を前記プリント基板に設けられた導体
に接触させた時の前記プリント基板と前記対向電極との
間の電気容量を測定する電気容量計と、前記対象配線の
各層における配線の設計上の長さを格納しておく配線長
格納部と、前記プリント基板の前記対象配線が及ぶ各層
に設けておいた互いに分離された長さが既知の標準配線
それぞれに前記測定針を接触させた時の前記電気容量計
で測定した標準容量および前記配線長格納部に格納され
た前記対象配線の対応する層における配線の設計上の長
さそれぞれから当該対象配線の各層における配線の期待
値容量を算出しこれらの各層の期待値容量を合計して当
該対象配線の期待値容量を算出する期待値データ算出部
と、前記測定針を前記対象配線に接触させた時の前記電
気容量計で測定した対象容量を前記対象配線の期待値容
量と比較する良否判定部とを含むことを特徴とするプリ
ント基板の検査装置。 - 【請求項６】 長さが既知の標準配線を設けたことを特
徴とするプリント基板。 - 【請求項７】 良否を判定する対象配線が及ぶ各層に互
いに分離された長さが既知の標準配線を設けたことを特
徴とするプリント基板。 - 【請求項８】 前記標準配線は、単位線長からなること
を特徴とする請求項１または２記載のプリント基板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09510699A JP3260720B2 (ja) | 1999-04-01 | 1999-04-01 | プリント基板の検査方法および検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09510699A JP3260720B2 (ja) | 1999-04-01 | 1999-04-01 | プリント基板の検査方法および検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000292472A true JP2000292472A (ja) | 2000-10-20 |
| JP3260720B2 JP3260720B2 (ja) | 2002-02-25 |
Family
ID=14128626
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP09510699A Expired - Lifetime JP3260720B2 (ja) | 1999-04-01 | 1999-04-01 | プリント基板の検査方法および検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3260720B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001330579A (ja) * | 2000-05-23 | 2001-11-30 | Nec Ibaraki Ltd | パターン検査方法及びパターン検査装置及び記録媒体 |
| JP2003014808A (ja) * | 2001-06-28 | 2003-01-15 | Hioki Ee Corp | 基準データ作成方法および回路基板検査装置 |
| JP2012506036A (ja) * | 2008-10-15 | 2012-03-08 | ディーティージー インターナショナル ゲーエムベーハー | 電気装置の特性の判断 |
| JP2015004621A (ja) * | 2013-06-21 | 2015-01-08 | 株式会社日本マイクロニクス | 配線基板の検査装置および配線基板の検査方法 |
-
1999
- 1999-04-01 JP JP09510699A patent/JP3260720B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001330579A (ja) * | 2000-05-23 | 2001-11-30 | Nec Ibaraki Ltd | パターン検査方法及びパターン検査装置及び記録媒体 |
| JP2003014808A (ja) * | 2001-06-28 | 2003-01-15 | Hioki Ee Corp | 基準データ作成方法および回路基板検査装置 |
| JP2012506036A (ja) * | 2008-10-15 | 2012-03-08 | ディーティージー インターナショナル ゲーエムベーハー | 電気装置の特性の判断 |
| JP2015004621A (ja) * | 2013-06-21 | 2015-01-08 | 株式会社日本マイクロニクス | 配線基板の検査装置および配線基板の検査方法 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3260720B2 (ja) | 2002-02-25 |
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