JPH0526944A - 導電パターンの検査装置 - Google Patents

導電パターンの検査装置

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JPH0526944A
JPH0526944A JP3207336A JP20733691A JPH0526944A JP H0526944 A JPH0526944 A JP H0526944A JP 3207336 A JP3207336 A JP 3207336A JP 20733691 A JP20733691 A JP 20733691A JP H0526944 A JPH0526944 A JP H0526944A
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JP
Japan
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measurement
frequency
conductive pattern
signal
impedance
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Withdrawn
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JP3207336A
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Harunori Murakami
治憲 村上
Shohei Obara
章平 小原
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Nippon Sheet Glass Co Ltd
Original Assignee
Nippon Sheet Glass Co Ltd
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Publication date
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    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/302Contactless testing
    • G01R31/304Contactless testing of printed or hybrid circuits

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  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
  • Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
  • Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 窓ガラスアンテナのパターン等の導電パター
ンの断線ならびにパターン間短絡不良を自動的に検出す
ることのできる検査装置を提供する。 【構成】 測定用導電部Qと供試導電パターンPとの間
で形成されるインピーダンスもしくは、供試導電パター
ンからの反射信号のレベルを所定の周波数範囲に亘って
測定する装置4,11,50と、供試導電パターンの周
波数特性と予め取得した基準導電パターンの周波数特性
とに基づいて良否を判定する判定装置5を備える。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、窓ガラスアンテナの
パターン等の導電パターンの断線ならびに短絡を検査す
る装置に関する。
【0002】
【従来の技術】図9は導通試験器を用いた従来の検査装
置の説明図である。導通試験器101を用いた検査装置
は、窓ガラス102の表面に形成されたアンテナパター
ン103の断線をチェックするのに適用されている。
【0003】導通試験器101の一方のプローブ104
をアンテナパターンの接続端子105へ接触させ、他方
のプローブ105を各分岐パターンの先端部P1〜P6
へ順次接触させることで、アンテナパターン103の全
体について断線の有無をチェックする。導通試験器10
1としては、1対のプローブ104,105間の抵抗値
が所定値以下であればブザー鳴音等による可聴表示を行
なうものを用いることが多い。
【0004】図10はQメータを用いた従来の他の検査
装置の説明図である。Qメータ111を用いた検査装置
は、合せガラス112の接合面に形成したアンテナパタ
ーン113の断線をチェックするのに適用されている。
アンテナパターン113が露出していないため前述の導
通試験を適用できないためである。
【0005】Qメータ111のプローブ114をアンテ
ナパターン113の接続端子115へ接続した状態で、
Qメータ111の針116の振れが最大または最小にな
るようQメータ111の周波数調節つまみ117を操作
して共振を取る。共振を取った後に、合せガラス112
の表面からアンテナパターン113の先端部118へ試
験者の指を触れる。アンテナパターン113が断線して
いなければ、パターンの先端部118に容量が結合され
た状態となり、共振周波数がずれるので、Qメータ11
1の針116は先に共振を取った位置から変化する。断
線している場合は、針116は変化しない。このような
指針116の振れに基づいて断線のチェックを行なって
いた。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】導通試験器を用いる場
合は、導電パターンの分岐数が多くなるにしたがってチ
ェック箇所が増加するためチェックに時間がかかる。
【0007】Qメータを使用する場合は、共振をとる操
作が必要であり、その操作が煩わしい。
【0008】また、いずれの試験器を用いても、断線以
外のパターン間短絡を検出することができない。
【0009】この発明はこのような課題を解決するため
なされたもので、その目的は断線ならびにパターン間短
絡不良を自動的に検出することのできる検査装置を提供
することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
請求項1に係る検査装置は、測定用導電部と、この測定
用導電部に対して所定の位置関係で配置された供試導電
パターンとの間で形成されるインピーダンスを所定の周
波数範囲に亘って測定するインピーダンス測定装置を備
えるとともに、測定によって得られたインピーダンスの
周波数特性と予め取得した基準導電パターンにおけるイ
ンピーダンスの周波数特性とに基づいて前記導電パター
ンの良否を判定する判定装置を備えたことを特徴とす
る。
【0011】請求項2に係る検査装置は、供試導電パタ
ーンへ供給する高周波信号の周波数を予め設定した範囲
に亘って可変する可変周波数信号供給装置と、供試導電
パターンで反射された信号の量を測定する反射信号測定
装置と、測定によって得られた反射信号の周波数特性と
予め取得した基準導電パターンにおける反射信号の周波
数特性とに基づいて前記導電パターンの良否を判定する
判定装置を備えたことを特徴とする。
【0012】なお、反射信号測定装置は、可変周波数信
号供給装置から出力される高周波信号を信号分配器およ
び方向性結合器を介して供試導電パターンへ供給すると
ともに、信号分配器を介して取り出した高周波信号と方
向性結合器を介して取り出した反射信号との比を求める
演算手段を備えるのが望ましい。
【0013】また、判定装置は、供試導電パターンの周
波数特性および予め取得した基準導電パターンの周波数
特性における谷点の周波数のずれに基づいて良否を判定
するのが望ましい。
【0014】
【作用】請求項1に係る導電パターンの検査装置は、供
試導電パターンと測定用導電部との間のインピーダンス
の周波数特性を求め、その周波数特性と予め取得した基
準周波数特性とに基づいて良否を判定するので、良否判
定を自動化することができる。
【0015】請求項2に係る導電パターンの検査装置
は、供試導電パターンからの反射信号の周波数特性と予
め取得した基準周波数特性とに基づいて良否を判定する
ので、良否判定を自動化することができる。
【0016】なお、反射信号測定装置は、供試導電パタ
ーンへ供給する交流信号の一部と反射信号との比を求め
る構成であるから、交流信号の大きさが変動してもその
影響を受けずに正確な判定を行なうことができる。
【0017】また、周波数特性の谷点の周波数に着目し
て良否判定を行なうことで、導電パターンのわずかな相
違を検出して判定することができる。
【0018】
【実施例】以下、この発明の実施例を添付図面に基づい
て説明する。図1は請求項1に係る導電パターンの検査
装置のブロック構成図である。この導電パターンの検査
装置1は、自動車用の窓ガラス2に形成されたアンテナ
パターンPの断線・短絡を自動的に判定するもので、測
定台3と、インピーダンス測定装置4と、判定装置5と
からなる。
【0019】測定台3は、窓ガラス2を所定の位置に載
置するための複数の位置決めガイドGと、測定用導電部
Qを備える。図1において、測定用導電部Qは供試用の
導電パターンに相当するアンテナパターンPの外側を取
囲むよう形成しているが、必ずしもアンテナパターンP
を取囲む必要はない。また、窓ガラス2の板厚方向へ所
定の間隔を隔てて測定用導電部Qを設けてもよい。さら
に、測定台3を例えば鉄板等の導電性材料で形成し、窓
ガラス2を載置する部分もしくは供試用導電パターンと
鉄板との間に所定の間隔が保てるように鉄板をくりぬい
て、測定台3を測定用導電部Qとして兼用してもよい。
【0020】インピーダンス測定装置4は、予め設定し
た複数の周波数ポイントでインピーダンスの測定を順次
行ない、その測定結果をGP−IB等のインタフェース
バスを介して外部機器へ出力できるもの(例えば高周波
用のLCRメータ等)を用いている。測定用プローブの
一端4aは窓ガラス2の端部等に形成されたアンテナパ
ターンPとの接続端子部aへ接続され、測定用プローブ
の他端4bは測定用導電部Qへ接続される。
【0021】基準となる良品の窓ガラス2を測定台3に
セットし、アンテナパターンPと測定用導電部Qとの間
のインピーダンスを詳細に測定し、その周波数特性の山
や谷の特徴部分(インピーダンスの変化が急峻な部分)
を的確にとらえられるようインピーダンスの測定ポイン
トを設定している。
【0022】判定装置5は、基準となる各周波数ポイン
トのデータを記憶した基準データ記憶手段5aと、イン
ピーダンス測定装置4から出力される測定結果データ4
cを一時記憶する測定データ記憶手段5bと、各記憶手
段5a,5bからデータを読み出して良否判定を行なう
判定手段5cと、判定手段5cの判定出力に基づいて良
否を表示する判定結果表示手段5dを備える。
【0023】基準データ記憶手段5aは、バッテリバッ
クアップされたRAM等用い、図示しないデータ入力手
段から基準データを書き込めるよう構成している。な
お、インピーダンス測定装置4で基準となる良品の窓ガ
ラス2の測定を行ない、その測定データを基準データ記
憶手段5aへ直接書き込むようにしてもよい。測定デー
タ記憶手段5bは、RAM等で構成している。
【0024】判定手段5cは、インピーダンス測定装置
4から各測定ポイントの測定が完了した時点で出力され
る判定開始指令4dを受けると、判定動作を開始する。
この判定手段5cは、各測定周波数ポイント毎に測定デ
ータと基準データとを比較し、その差が予め設定した許
容差を超えている場合は不良と判定するよう構成してい
る。
【0025】また、測定データの周波数特性が谷点とな
る周波数を検出し、その周波数と基準データの谷点の周
波数との差が予め設定した許容差を超える場合は不良と
判定するよう構成している。
【0026】以上の構成であるから試料である窓ガラス
2を測定台3上の所定の位置へセットした後に、図示し
ない測定開始スイッチ等を操作すると、インピーダンス
測定装置4はアンテナパターンPと測定用導電部Q間の
インピーダンスを登録した周波数ポイント毎に測定し出
力する。判定装置5は、出力された測定データを測定デ
ータ記憶手段5bに一時記憶し、インピーダンス測定装
置4から判定開始指令4dを受けると、判定動作を開始
し、判定結果を判定結果表示手段5dへ表示する。
【0027】図2は請求項1に係る他の導電パターンの
検査装置のブロック構成図である。この導電パターンの
検査装置10は、インピーダンスブリッジ12の一辺に
試料であるアンテナパターンPと測定用導電部Qを接続
し、インピーダンスブリッジ12の端子12a,12b
間に発生する電圧に基づいてインピーダンスに相当する
出力信号を得るインピーダンス測定装置11を用いて評
価を行なうようにしたものである。
【0028】インピーダンスブリッジ12の他の3辺の
インピーダンスZa,Zb,Zcのいずれかを可変して
ブリッジの平衡をとらずに、発生した電圧を試料である
窓ガラス2のアンテナパターンPと測定用導電部Qとの
間のインピーダンスに係る値をして評価するため、測定
時間の短縮を図ることができる。
【0029】測定周波数制御部13は、測定開始指令が
与えられると可変周波数発振回路14の発振周波数を指
定するための周波数指定情報13aを予め登録した順序
で出力し、一連の周波数掃引が終了すると判定開始指令
11dを出力するよう構成している。
【0030】可変周波数発振回路14は、周波数指定情
報13aで指定された周波数の高周波信号を所定のレベ
ルで出力する。可変周波数発振回路14に電圧制御型の
発振器を用いる場合、測定周波数制御部13は周波数指
定情報13aとして電圧信号を出力する。デジタル分周
式の発振回路を用いる場合は、周波数指定情報13aと
して分周数指定情報を供給するよう構成する。
【0031】インピーダンスブリッジ12の端子12
a,12b間の発生した高周波電圧信号は、高周波同調
増幅器15で選択増幅され、検波整流回路16で検波な
らびに整流されて直流信号に変換され、A/D変換器1
7でデジタル信号11cへ変換されて判定装置5へ供給
される。
【0032】高周波同調増幅器15は、測定周波数制御
部13から出力される周波数指定情報13aに基づいて
指定された周波数の信号を選択的に増幅するよう構成し
ており、これにより雑音成分の混入を軽減させ、測定精
度を向上させている。
【0033】判定装置5は、各記憶手段5a,5bにA
/D変換された電圧に係るデジタルデータが登録および
一時記憶される点を除いては、図1に示したものと基本
的に同じ構成である。
【0034】以上の構成であるから、測定用導電部Qに
対して所定の位置にセットされた窓ガラス2のアンテナ
パターンPの接続端子2aと測定用導電部Qへ測定用プ
ローブ11a,11bをそれぞれ接続し、図示しない測
定開始スイッチ等を操作すると、インピーダンス測定装
置11はアンテナパターンPと測定用導電部Q間のイン
ピーダンスを登録した周波数ポイント毎に測定し、イン
ピーダンスに相当するデジタル信号を測定データ11c
としてを出力する。判定装置5は、出力された測定デー
タ11cを測定データ記憶手段5bに一時記憶し、判定
開始指令11dを受けると、判定動作を開始し、判定結
果を判定結果表示手段5dへ表示する。
【0035】図3は請求項2に係る導電パターンの検査
装置のブロック構成図である。この導電パターンの検査
装置30は、可変周波数信号供給手段40と、反射信号
測定装置50と、判定装置5からなる。
【0036】可変周波数信号供給手段40は、測定周波
数制御部13と、可変周波数発振回路14と、電力増幅
器41とからなる。電力増幅器41は、可変周波数発振
回路14から出力される高周波信号を所定のレベルに電
力増幅して反射信号測定装置50へ供給する。測定周波
数制御部13および可変周波数発振回路14の構成は図
2に示したものと同じである。
【0037】反射信号測定装置50は、信号分配器51
と、方向性結合器52と、演算手段53とを備える。信
号分配器51は、電力増幅器41から供給された高周波
信号を予め設定した所定の比率で分配する。分配された
高周波信号は、演算手段53の一方に入力端子53aお
よび方向性結合器52へそれぞれ供給される。
【0038】方向性結合器52は、信号分配器51から
出力された高周波信号を窓ガラス2のアンテナパターン
Pの接続端子2aへ供給するとともに、アンテナパター
ンPで反射された高周波信号を演算手段53の他方の入
力端子53bへ供給する。
【0039】演算手段53は、一方の入力端子53aに
印加された高周波信号のレベルと他方の入力端子53b
に印加された反射信号のレベルとの比を演算し、その演
算結果をデジタル信号の測定データ50aとして出力す
るよう構成している。
【0040】判定装置5の構成は先に示したものと同じ
である。なお、この実施例では測定用導電部Qを接地し
ている。
【0041】以上の構成であるから、測定用導電部Qに
対して所定の位置にセットされた窓ガラス2のアンテナ
パターンPとの接続端子2aQへ測定用プローブ11a
を接続し、図示しない測定開始スイッチ等を操作する
と、可変周波数信号供給装置40は予め登録した周波数
ポイント毎に測定用の高周波信号を反射信号測定装置5
0へ順次供給する。反射信号測定装置50は、アンテナ
パターンPへの供給信号レベルとアンテナパターンPか
らの反射信号レベルの比に相当する測定データ50aを
出力する。判定装置5は測定データ50aを測定データ
記憶手段5bに一時記憶し、判定開始指令40aが与え
られると判定動作を開始し、判定結果を判定結果表示手
段5dへ表示する。
【0042】反射信号測定装置50内の演算手段53
は、試料であるアンテナパターンPへの信号供給レベル
と反射信号レベルの比を測定データとして出力するの
で、可変周波数信号供給装置40から供給される高周波
信号のレベルが変動しても、その影響を受けずに精度の
高い測定を行なうことができる。なお、窓ガラス2を所
定の位置にセットすることにより、アンテナパターンP
との接続端子2aと測定用プローブ11aが接触するよ
う構成してもよい。
【0043】次にこの発明に係る導電パターンの検査装
置の測定例を図4〜図8を参照に説明する。図4は試料
に用いた窓ガラスアンテナのアンテナパターン形状を示
す説明図である。図4に示す窓ガラスアンテナ60は、
2つの分岐パターン60a,60bと、接続端子60c
を備える。
【0044】図5は分岐パターン60aの先端部から約
7mmの点Aで導電パターンを断線させた場合の測定結
果を示すグラフである。横軸は測定周波数を、縦軸は図
3に示した反射信号測定装置50の測定データ出力50
aの値を示す。縦軸の値が大きいほど反射信号が大きい
ことを示す。
【0045】図6は分岐パターン60aの先端部から約
50mmの点Bで断線させた場合の測定結果を示すグラ
フ、図7は分岐パターン60aを接続端子60Cから約
100mmの点Cで断線させた場合の測定結果を示すグ
ラフ、図8は分岐パターン60bの先端部から約10m
mの点Dで断線させた場合の測定結果を示すグラフであ
る。なお、図5〜図8では基準となる良品のガラスアン
テナの周波数特性を実線で、断線した試料の周波数特性
を点線で示している。
【0046】各グラフからわかるように、アンテナパタ
ーン60a,60bに断線が生じていると周波数特性が
変化する。特に谷点の周波数の変化に着目すると、断線
位置が分岐パターンの先端からわずかな距離であって
も、これを検出することができる。
【0047】また、パターン間の短絡が生じた場合、周
波数特性は大きく変化するのでこれを容易に検出でき
る。なお、測定に用いる周波数は、試料であるアンテナ
の受信帯域よりも広い範囲、特に高い方へ広くとった方
が、微小なパターンの変化を検出できることが多い。ま
た、アンテナパターンPの形状に応じて測定用導電部Q
の形状および配設位置関係を工夫することにより、断線
しやすい箇所の特性変化が顕著に表われるようにするこ
ともできる。
【0048】以上、窓ガラスアンテナを例に説明した
が、この発明に係る導電パターンの検査装置は、印刷配
線板や液晶表示器等の導電パターンのチェックにも適用
することができる。
【0049】
【発明の効果】以上説明したように請求項1に係る導電
パターンの検査装置は、供試導電パターンと測定用導電
部との間のインピーダンスの周波数特性を求め、その周
波数特性と予め取得した基準周波数特性とに基づいて良
否を判定するので、良否判定を自動化することができ
る。
【0050】請求項2に係る導電パターンの検査装置
は、供試導電パターンからの反射信号の周波数特性と予
め取得した基準周波数特性とに基づいて良否を判定する
ので、良否判定を自動化することができる。
【0051】なお、反射信号測定装置は、供試導電パタ
ーンへ供給する交流信号の一部と反射信号との比を求め
る構成であるから、交流信号の大きさが変動してもその
影響を受けずに正確な判定を行なうことができる。
【0052】また、周波数特性の谷点の周波数に着目し
て良否判定を行なうことで、導電パターンのわずかな相
違を検出して判定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】請求項1に係る導電パターンの検査装置のブロ
ック構成図
【図2】請求項1に係る他の導電パターンの検査装置の
ブロック構成図
【図3】請求項2に係る導電パターンの検査装置のブロ
ック構成図
【図4】試料に用いた窓ガラスアンテナのアンテナパタ
ーン形状を示す説明図
【図5】パターン断線時の周波数特性の変化を示すグラ
フ(断線点A)
【図6】パターン断線時の周波数特性の変化を示すグラ
フ(断線点B)
【図7】パターン断線時の周波数特性の変化を示すグラ
フ(断線点C)
【図8】パターン断線時の周波数特性の変化を示すグラ
フ(断線点D)
【図9】導通試験器を用いた従来の検査装置の説明図
【図10】Qメータを用いた従来の検査装置の説明図
【符号の説明】
1,10,30…導電パターンの検査装置、2,60…
窓ガラス、3…測定台、4,11…インピーダンス測定
装置、4c,11c,50c…測定データ、5…判定手
段、5a…基準データ記憶手段、5b…測定データ記憶
手段、5c…判定手段、5d…判定結果表示手段、12
…インピーダンスブリッジ、13…測定周波数制御部、
14…可変周波数発振回路、40…可変周波数信号供給
装置、40a…判定開始指令、50…反射信号測定装
置、51…信号分配器、52…方向性結合器、53…演
算手段、P…アンテナパターン、Q…測定用導電部。

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 絶縁材料からなる基板に形成された所定
    の形状の導電パターンとこの導電パターンから予め設定
    した間隔で配置された測定用導電部との間のインピーダ
    ンスを予め設定した周波数範囲に亘って自動測定するイ
    ンピーダンス測定装置と、測定によって得られたインピ
    ーダンスの周波数特性と予め取得した基準導電パターン
    におけるインピーダンスの周波数特性とに基づいて前記
    導電パターンの良否を判定する判定装置を備えたことを
    特徴とする導電パターンの検査装置。
  2. 【請求項2】 絶縁材料からなる基板に形成された所定
    の形状の導電パターンへ供給する高周波信号の周波数を
    予め設定した範囲に亘って可変する可変周波数信号供給
    装置と、前記導電パターンで反射された信号の量を測定
    する反射信号測定装置と、測定によって得られた反射信
    号の周波数特性と予め取得した基準導電パターンにおけ
    る反射信号の周波数特性とに基づいて前記導電パターン
    の良否を判定する判定装置を備えたことを特徴とする導
    電パターンの検査装置。
  3. 【請求項3】 前記反射信号測定手段は、前記高周波信
    号を前記導電パターン側へ供給するとともに導電パター
    ン側からの反射信号を分離出力する方向性結合器と、こ
    の方向性結合器の前段側に設けられた信号分配器とを備
    え、この信号分配器を介して取り出した高周波信号と前
    記方向性結合器を介して取り出した反射信号との比を求
    めて出力する演算手段を備えたことを特徴とする請求項
    2記載の導電パターンの検査装置。
  4. 【請求項4】 前記判定装置は測定によって得られた周
    波数特性における谷点の周波数と予め取得した基準周波
    数特性の谷点の周波数とのずれに基づいて良否を判定す
    ることを特徴とする請求項1および2記載の導電パター
    ンの検査装置。
JP3207336A 1991-07-24 1991-07-24 導電パターンの検査装置 Withdrawn JPH0526944A (ja)

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JP3207336A JPH0526944A (ja) 1991-07-24 1991-07-24 導電パターンの検査装置
EP92306812A EP0524837A1 (en) 1991-07-24 1992-07-24 System for inspecting electrically conductive pattern
US07/919,532 US5337004A (en) 1991-07-24 1992-07-24 System for inspecting electrically conductive patterns such as antenna patterns on window glass

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3207336A JPH0526944A (ja) 1991-07-24 1991-07-24 導電パターンの検査装置

Publications (1)

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JPH0526944A true JPH0526944A (ja) 1993-02-05

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