JP2005037170A - 回路基板検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】検査用プローブ3aに接続された測定用ラインL1と、検査用プローブ3aに対して絶縁状態で固定された測定用ラインL2と、測定用ラインL1,L2を切り換える切換え部7と、測定用ラインL1を介して検査用プローブ3aおよび電極2bの間の電気的パラメータを測定する第1の測定処理、並びに測定用ラインL2を介して測定用ラインL2および電極2bの間の電気的パラメータを測定する第2の測定処理を実行する測定部6と、導体パターンに検査用プローブ3aを接触させた後に、第1および第2の測定処理を実行させると共に、測定された2つの電気的パラメータの差分値を正規な電気的パラメータとしてその電気的パラメータに基づいて回路基板を検査する制御部8とを備えている。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、検査対象の回路基板における複数の導体パターンと基準電極との間の電気的パラメータを測定して回路基板を検査可能に構成された回路基板検査装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
この種の回路基板検査装置として、出願人は、導体パターン(CP)と電極(2b)との間の対電極間静電容量(CCP)を測定して回路基板(P)を検査する回路基板検査装置(1)を特開2003−14807号公報に開示している。この回路基板検査装置(1)による回路基板(P)の検査時には、まず、一例として、移動機構(5a)が導体パターン(CP1 )の測定ポイント(TP1 )に検査用プローブ(3)を接触させる。次に、制御部(6)が検査用プローブ(3)と電極(2b)との間に検査用信号としての交流電圧を出力して導体パターン(CP1 )と電極(2b)との間の対電極間静電容量(CTC1 )を仮測定し、その測定結果に基づいて測定レンジを決定して設定する。次いで、制御部(6)は、移動機構(5a)を制御して検査用プローブ(3)を測定ポイント(TP1 )から若干離間(上動)させ、その状態で測定ポイント(TP1 )での浮遊容量(CS1)を測定してRAM(7)に記憶させる。
【0003】
次に、制御部(6)は、移動機構(5a)を制御して検査用プローブ(3)を測定ポイント(TP1 )に再度接触させた状態で導体パターン(CP1 )と電極(2b)との間の対電極間静電容量(CPR1 )を測定する。次いで、制御部(6)は、対電極間静電容量(CPR1 )から浮遊容量(CS1)を差し引くことにより、差分(CPR1 −CS1)を浮遊容量の影響を排除した導体パターン(CP1 )についての正規な対電極間静電容量(CCP1 )としてRAM(7)に記憶させる。この後、制御部(6)は、すべての導体パターン(CP)について上記の処理を実行して各導体パターン(CP)についての正規な対電極間静電容量(CCP)をRAM(7)に順次記憶させる。次に、制御部(6)は、RAM(7)に記憶させた各対電極間静電容量(CCP)が対応する基準データに対して所定範囲内(例えば、±10%以内)のときに、その導体パターン(CP)に断線および短絡が存在しないと判別する判別処理を実行する。この判別処理をすべての導体パターン(CP)に対して順次実行することにより、回路基板(P)が検査される。
【0004】
【特許文献1】
特開2003−14807号公報(第5−7頁)
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、出願人が開示している従来の回路基板検査装置(1)には、以下の改善すべき課題がある。すなわち、従来の回路基板検査装置(1)では、検査用プローブ(3)を測定ポイント(TP)から若干離間させた状態で測定ポイント(TP)での浮遊容量(CS1)を測定すると共に、検査用プローブ(3)を測定ポイント(TP)に接触させた状態で対電極間静電容量(CPR1 )を測定して、その差分(CPR1 −CS1)を正規な対電極間静電容量(CCP1 )として導体パターン(CP)を検査している。この際に、従来の回路基板検査装置(1)では、移動機構(5a)が、浮遊容量(CS1)の測定に際して予め規定された距離だけ(一例として、回路基板(P)の厚み+0.5mm程度の距離だけ)電極部(2)の上面から離間するように検査用プローブ(3)を移動させている。
【0006】
この場合、例えば回路基板(P)に反りが生じている状態では、回路基板(P)の裏面と電極部(2)の表面との間に隙間が生じる。この際には、電極部(2)の上面から予め規定された距離だけ検査用プローブ(3)を離間させたとしても、回路基板(P)の裏面に生じた隙間の分だけ回路基板(P)の表面(すなわち、測定ポイント(TP))が検査用プローブ(3)に接近した状態となり、最悪の場合、検査用プローブ(3)が測定ポイント(TP)に接触した状態となる。また、回路基板(P)に反り等が生じていない場合であっても、検査用プローブ(3)の摩耗や曲がり等に起因して、検査用プローブ(3)の先端と測定ポイント(TP)とが、規定された距離(この場合、0.5mm)よりも大きく離間することもある。このように、従来の回路基板検査装置(1)には、回路基板(P)の反りや検査用プローブ(3)の摩耗等に起因して、測定される浮遊容量(CS1)が変動するおそれがあり、回路基板(P)を高精度で検査するのが困難になることがあるという課題が存在する。
【0007】
また、従来の回路基板検査装置(1)では、浮遊容量(CS1)の測定が完了して対電極間静電容量(CPR1 )の測定を開始する際に、移動機構(5a)が、測定ポイント(TP)に接触するように検査用プローブ(3)を移動させている。したがって、1つの測定ポイント(TP)についての検査を実行する都度、測定ポイント(TP)から若干離間させた状態(浮遊容量(CS1)の測定時)、および測定ポイント(TP)に接触させた状態(対電極間静電容量(CPR1 )の測定時)の2段階で検査用プローブ(3)を移動させる必要がある。このため、従来の回路基板検査装置(1)には、検査用プローブ(3)の段階的な移動に時間を要する結果、検査時間を短縮するのが困難であるという課題が存在する。
【0008】
本発明は、かかる改善すべき課題に鑑みてなされたものであり、検査対象の回路基板を高精度でしかも短時間で検査し得る回路基板検査装置を提供することを主目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成すべく請求項1記載の回路基板検査装置は、接触型の検査用プローブと、当該検査用プローブを移動させて検査対象の回路基板における導体パターンに接触させるプローブ移動機構と、その一端部が前記検査用プローブに接続された第1の測定用ラインと、その一端部が前記検査用プローブに対して絶縁された状態で当該検査用プローブに固定された第2の測定用ラインと、前記第1および第2の測定用ラインのいずれかに切り換える切換え部と、切り換えられた前記第1の測定用ラインを介して検査用信号を出力して前記検査用プローブおよび基準電極の間についての所定の電気的パラメータを測定する第1の測定処理、並びに切り換えられた前記第2の測定用ラインを介して前記検査用信号を出力して当該第2の測定用ラインおよび前記基準電極の間についての前記電気的パラメータを測定する第2の測定処理を実行する測定部と、前記プローブ移動機構および前記切換え部を制御すると共に前記測定部によって測定された前記電気的パラメータに基づいて前記回路基板を検査する制御部とを備え、前記制御部は、前記プローブ移動機構を制御して前記導体パターンに前記検査用プローブを接触させた後に、前記切換え部および前記測定部を制御して前記第1の測定処理および前記第2の測定処理を実行させると共に、前記両測定処理によって測定された2つの前記電気的パラメータの差分値を正規な電気的パラメータとして算出する算出処理を実行して当該算出した電気的パラメータに基づいて前記回路基板を検査する。
【0010】
請求項2記載の回路基板検査装置は、請求項1記載の回路基板検査装置において、前記測定部は、前記静電容量、および前記検査用プローブを流れる電流の少なくとも1種を前記電気的パラメータとして測定する。
【0011】
請求項3記載の回路基板検査装置は、請求項1または2記載の回路基板検査装置において、前記基準電極としての平板状の電極と、当該電極上に配設された絶縁層とを有する電極部を備えて構成されている。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して、本発明に係る回路基板検査装置の好適な発明の実施の形態について説明する。
【0013】
最初に、本発明を適用した回路基板検査装置1の構成について、図面を参照して説明する。
【0014】
回路基板検査装置1は、図1に示すように、電極部2、検査用プローブ(以下、「プローブ」ともいう)3a,3b、プローブ移動機構(以下、「移動機構」ともいう)5a,5b、測定部6、切換え部7、制御部8、RAM9およびROM10を備えて構成されている。電極部2は、その表面に絶縁フィルム2a(本発明における絶縁層)が貼付された平板状の電極2bを有して検査対象の回路基板Pを載置可能に構成されている。この場合、電極2bは、本発明における基準電極の一例であって、測定部6に接続されている。
【0015】
プローブ3a,3b(以下、区別しないときには「プローブ3」ともいう)は、接触型プローブであって、固定部B、ヘッド部Hおよび連結用アームA,Aが金属で一体的に形成されて四節回転機構のリンク機構が構成されている。この場合、図2に示すように、プローブ3は、プロービング対象体(導体パターン)に接触させられる際の接触痕を極限まで小さくできるようにヘッド部Hの先端が鋭利に切削されると共に、プローブ3に対して絶縁した状態で測定用ラインL2(本発明における第2の測定用ライン)を固定するための絶縁フィルムFがヘッド部Hの例えば上端部に貼付されている。なお、この回路基板検査装置1では、製造のし易さから絶縁フィルムFをヘッド部Hの上端部に貼付しているが、その位置に限らず、プローブ3における任意の位置に配設することができる。例えば、後述する浮遊容量(測定値C2)に対する測定の精度を向上させためには、プローブ3の先端(ヘッド部Hの先端)に近い位置に絶縁フィルムFを配設してその絶縁フィルムFに測定用ラインL2を固定するのが好ましい。また、ヘッド部Hには、測定用ラインL1(本発明における第1の測定用ライン)の一端部が接続されると共に、測定用ラインL2の一端部が絶縁フィルムFを介して(プローブ3に対して絶縁された状態で)固定されている。このプローブ3は、図1に示すように、プローブ固定具4a,4bを介して移動機構5a,5b(以下、区別しないときには「プローブ固定具4」および「移動機構5」ともいう)に取り付けられて、移動機構5によってプローブ固定具4が上下動させられることによって(固定部Bが上下動させられることによって)ヘッド部Hが固定部Bに対して相対的に上下動させられる。
【0016】
移動機構5は、制御部8の制御下でプローブ3を上下左右に移動させることによってヘッド部Hの先端を回路基板P上の導体パターンに接触させる。測定部6は、制御部8の制御に従って測定用ラインL1(またはL2)および電極部2(電極2b)を介して検査対象体に検査用信号としての測定用交流信号を出力して、その検査対象体および電極2b間を流れる電流と、出力した測定用交流信号の電圧の位相とその検査対象体および電極2b間を流れる電流の位相との間の位相差とを測定する。また、測定部6は、測定用交流信号の電圧、測定した電流、および測定した位相差に基づいて検査対象体および電極2b間の静電容量(本発明における「電気的パラメータ」および「少なくとも1種」の一例)も測定する。切換え部7は、リレー等で構成されて、制御部8の制御下で測定用ラインL1,L2のいずれかを切り換えて測定部6に接続する。制御部8は、移動機構5、測定部6および切換え部7の動作を制御すると共に、測定部6によって出力される測定値をRAM9に記憶させ、その測定値に基づいて回路基板Pを検査する検査処理を実行する。RAM9は、測定部6によって出力される複数の測定値、プローブ3を接触させるべき導体パターンの位置(測定ポイントの位置)を特定可能な位置データ、および良品の基板から吸収した検査用基準データなどを記憶する。ROM10は、制御部8の動作プログラムを記憶する。
【0017】
次に、回路基板検査装置1による回路基板Pの検査方法について、図面を参照して説明する。なお、この回路基板検査装置1は、出願人が開示している従来の回路基板検査装置(1)と同様にして、プローブ3a,3bを使用した導体パターンの導通検査等を実行可能に構成されているが、その導通検査等自体の説明については、本発明についての理解を容易とするために省略する。
【0018】
まず、導体パターンの形成面を上向きにして回路基板Pを電極部2(絶縁フィルム2a)の上に載置する。次に、制御部8が回路基板Pについての検査処理を開始する。この処理では、制御部8は、移動機構5を制御してプローブ3を回路基板Pにおける検査対象の導体パターンの上方に移動させて下動させることにより、ヘッド部Hの先端を導体パターンに接触させる。次に、制御部8は、例えば、切換え部7を制御して測定用ラインL2に切り換えて測定部6に接続した後に、測定部6を制御して静電容量の測定を開始させる(本発明における第2の測定処理)。この際に、測定部6は、切り換えられた測定用ラインL2および電極部2(電極2b)を介して測定用交流信号を出力して上記した位相差の測定を実行し、測定した位相差に基づいて静電容量を測定して、その測定値を制御部8に出力する。また、制御部8は、測定部6によって出力された測定値をRAM9に記憶させる。次に、制御部8は、切換え部7を制御して、測定用ラインL1に切り換えて測定部6に接続した後に、測定部6を制御して静電容量の測定を開始させる(本発明における第1の測定処理)。この際に、測定部6は、切り換えられた測定用ラインL1(プローブ3)および電極部2(電極2b)を介して測定用交流信号を出力して上記した位相差の測定を実行し、測定した位相差に基づいて静電容量を測定して、その測定値を制御部8に出力する。また、制御部8は、測定部6によって出力された測定値をRAM9に記憶させる。これにより、RAM9には、測定用ラインL2を介して測定した測定値C2と、測定用ラインL1を介して測定した測定値C1とが保存される。
【0019】
次に、制御部8は、RAM9に保存されている両測定値C1,C2に基づいて、測定値C1(静電容量)をその導体パターンについての正規な静電容量に補正して算出する算出処理を開始する。具体的には、制御部8は、測定値C1(一例として、530fF)から測定値C2(一例として、480fF)を差し引くことにより、両測定値の差分値(この場合、50fF)を求める。この場合、測定値C2は、プローブ3に対して絶縁された状態の測定用ラインL2を介して測定された測定値のため、この測定値C2をその測定ポイントにおける浮遊容量として測定値C1から差し引くことにより、その導体パターンについての正規な静電容量(この例では差分値の50fF)が測定(補正して算出)される。次に、制御部8は、算出結果(導体パターンについての正規な静電容量)とRAM9から読み出した検査用基準データとを比較して、正規な静電容量が検査用基準データとしての上下限値の範囲内(所定範囲内:例えば、基準値に対して±20%以内)のときに、その導体パターンに断線および短絡が存在しないと判別する。逆に、正規な静電容量が上限値(例えば、基準値に対して+20%)を超えるときには、その導体パターンに短絡が存在し、正規な静電容量が下限値(例えば、基準値に対して−20%)未満のときには、その導体パターンに断線が存在すると判別する。この後、制御部8は、他のすべての導体パターンについても、上記の測定処理および算出処理(正規な静電容量の算出)と、検査用基準データ(上下限値)との比較処理とを順次実行する。これにより、回路基板Pの検査処理が完了する。
【0020】
このように、この回路基板検査装置1によれば、導体パターンにプローブ3を接触させた後に、制御部8が、切換え部7および測定部6を制御して、測定用ラインL1(プローブ3)および電極2bの電気的パラメータ(測定値C1)を測定させる第1の測定処理と、測定用ラインL2および電極2bの電気的パラメータ(測定値C2)を測定させる第2の測定処理と、2つの電気的パラメータ(この場合、静電容量)の差分値を正規な電気的パラメータとして算出する算出処理と、正規な電気的パラメータに基づく上記の比較処理とを実行することにより、プローブ3を回路基板Pに接触させた状態で両電気的パラメータを測定することができる。このため、回路基板Pの反りやプローブ3の摩耗等が生じているときであっても、その測定ポイントにおける浮遊容量を確実に測定することができるため、導体パターンについての正規な静電容量(正規な電気的パラメータ)を確実に測定(算出)することができる。したがって、回路基板Pを高精度で検査することができる。また、移動機構5によってプローブ3を移動させることなくその測定ポイントにおける静電容量(この場合、測定値C1)と浮遊容量(この場合、測定値C2)とを測定することができるため、回路基板P全体の検査に要する時間を大幅に短縮することができる。
【0021】
また、この回路基板検査装置1によれば、静電容量(本発明における少なくとも1種の測定値)を本発明における電気的パラメータとして測定することにより、正規な電気的パラメータを算出する算出処理を簡易な構成でありながら確実かつ迅速に実行することができる結果、回路基板Pの検査処理を確実かつ迅速に実行することができる。
【0022】
さらに、この回路基板検査装置1によれば、本発明における基準電極としての平板状の電極2bと、電極2bに配設された絶縁フィルム2aとを有する電極部2を備えたことにより、基準電極として使用可能なベタパターン等が形成されていない回路基板についても検査することができる。
【0023】
なお、本発明は、上記した本発明の実施の形態に示した構成に限定されない。例えば、本発明の実施の形態では、本発明における電気的パラメータとして静電容量を測定する例について説明したが、本発明はこれに限定されず、第1の測定処理において測定用ラインL1(プローブ3)と電極2bとの間を流れる電流値を電気的パラメータとして測定すると共に、第2の測定処理において測定用ラインL2と電極2bとの間を流れる電流値を電気的パラメータとして測定し、両測定値の差分値を本発明における正規な電気的パラメータとすることもできる。また、本発明の実施の形態では、電極2bを有する電極部2を備えた回路基板検査装置1を例に挙げて説明したが、本発明はこれに限定されず、例えば、検査対象の回路基板Pにおけるパターン(例えばグランドパターンや電源パターン等のいわゆるベタパターンや通常の信号パターンなど)を本発明における基準電極として使用する構成を採用することができる。具体的には、電極部2に代えて、例えば上記のベタパターンに電気的に接触可能な検査用プローブを配設して、検査用プローブ3と、ベタパターンに接触させた検査用プローブとの間に測定用信号を出力して本発明における少なくとも1種の測定値や電気的パラメータを測定可能に構成する。
【0024】
【発明の効果】
以上のように、請求項1記載の回路基板検査装置によれば、制御部が、プローブ移動機構を制御して導体パターンに検査用プローブを接触させた後に、切換え部および測定部を制御して第1の測定処理および第2の測定処理を実行させると共に、両測定処理によって測定された2つの電気的パラメータの差分値を正規な電気的パラメータとして算出する算出処理を実行して算出した電気的パラメータに基づいて回路基板を検査することにより、検査用プローブを回路基板に接触させた状態で両電気的パラメータを測定することができる。このため、回路基板の反りや検査用プローブの摩耗等が生じているときであっても、その測定ポイントにおける電気的パラメータを確実に測定することができるため、導体パターンについての正規な電気的パラメータを確実に算出することができる。したがって、回路基板を高精度で検査することができる。また、プローブ移動機構によって検査用プローブを移動させることなくその測定ポイントにおける2つの電気的パラメータを測定することができるため、回路基板全体の検査に要する時間を大幅に短縮することができる。
【0025】
また、請求項2記載の回路基板検査装置によれば、静電容量、および検査用プローブを流れる電流の少なくとも1種を電気的パラメータとして測定部が測定することにより、正規な電気的パラメータを算出する算出処理を簡易な構成でありながら確実かつ迅速に実行することができる結果、回路基板の検査処理を確実かつ迅速に実行することができる。
【0026】
さらに、請求項3記載の回路基板検査装置によれば、基準電極としての平板状の電極と、電極上に配設された絶縁層とを有する電極部を備えたことにより、基準電極として使用可能なベタパターン等が形成されていない回路基板についても検査を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態に係る回路基板検査装置1の構成を示すブロック図である。
【図2】回路基板検査装置1の検査用プローブ3に対する測定用ラインL1,L2の接続状態を示す断面図である。
【符号の説明】
1 回路基板検査装置
2 電極部
2a,F 絶縁フィルム
2b 電極
3a,3b 検査用プローブ
5a,5b プローブ移動機構
6 測定部
7 切換え部
8 制御部
C1,C2 測定値
L1,L2 測定用ライン
P 回路基板
Claims (3)
- 接触型の検査用プローブと、当該検査用プローブを移動させて検査対象の回路基板における導体パターンに接触させるプローブ移動機構と、その一端部が前記検査用プローブに接続された第1の測定用ラインと、その一端部が前記検査用プローブに対して絶縁された状態で当該検査用プローブに固定された第2の測定用ラインと、前記第1および第2の測定用ラインのいずれかに切り換える切換え部と、切り換えられた前記第1の測定用ラインを介して検査用信号を出力して前記検査用プローブおよび基準電極の間についての所定の電気的パラメータを測定する第1の測定処理、並びに切り換えられた前記第2の測定用ラインを介して前記検査用信号を出力して当該第2の測定用ラインおよび前記基準電極の間についての前記電気的パラメータを測定する第2の測定処理を実行する測定部と、前記プローブ移動機構および前記切換え部を制御すると共に前記測定部によって測定された前記電気的パラメータに基づいて前記回路基板を検査する制御部とを備え、
前記制御部は、前記プローブ移動機構を制御して前記導体パターンに前記検査用プローブを接触させた後に、前記切換え部および前記測定部を制御して前記第1の測定処理および前記第2の測定処理を実行させると共に、前記両測定処理によって測定された2つの前記電気的パラメータの差分値を正規な電気的パラメータとして算出する算出処理を実行して当該算出した電気的パラメータに基づいて前記回路基板を検査する回路基板検査装置。 - 前記測定部は、前記静電容量、および前記検査用プローブを流れる電流の少なくとも1種を前記電気的パラメータとして測定する請求項1記載の回路基板検査装置。
- 前記基準電極としての平板状の電極と、当該電極上に配設された絶縁層とを有する電極部を備えて構成されている請求項1または2記載の回路基板検査装置。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106154097A (zh) * | 2015-05-13 | 2016-11-23 | 富士施乐株式会社 | 基板检查装置、基板检查方法以及基板检查程序 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6379075A (ja) * | 1986-09-22 | 1988-04-09 | Nippon Seiko Kk | 導通検査装置 |
JPH01143974A (ja) * | 1987-11-30 | 1989-06-06 | Toshiba Corp | インサーキットテスト装置 |
JPH05340979A (ja) * | 1991-11-27 | 1993-12-24 | Philips Gloeilampenfab:Nv | キャパシティブセンサ |
JPH07280868A (ja) * | 1994-04-05 | 1995-10-27 | Sumitomo Kinzoku Ceramics:Kk | セラミック基板の配線パターン検査装置と方法 |
JPH11337608A (ja) * | 1998-05-27 | 1999-12-10 | Nec Ibaraki Ltd | パターン検査装置の補正方式 |
JP2002148291A (ja) * | 2000-11-13 | 2002-05-22 | Ibiden Co Ltd | 特性インピーダンス測定機 |
JP2003014807A (ja) * | 2001-06-28 | 2003-01-15 | Hioki Ee Corp | 静電容量測定方法、回路基板検査方法および回路基板検査装置 |
-
2003
- 2003-07-17 JP JP2003198144A patent/JP2005037170A/ja active Pending
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6379075A (ja) * | 1986-09-22 | 1988-04-09 | Nippon Seiko Kk | 導通検査装置 |
JPH01143974A (ja) * | 1987-11-30 | 1989-06-06 | Toshiba Corp | インサーキットテスト装置 |
JPH05340979A (ja) * | 1991-11-27 | 1993-12-24 | Philips Gloeilampenfab:Nv | キャパシティブセンサ |
JPH07280868A (ja) * | 1994-04-05 | 1995-10-27 | Sumitomo Kinzoku Ceramics:Kk | セラミック基板の配線パターン検査装置と方法 |
JPH11337608A (ja) * | 1998-05-27 | 1999-12-10 | Nec Ibaraki Ltd | パターン検査装置の補正方式 |
JP2002148291A (ja) * | 2000-11-13 | 2002-05-22 | Ibiden Co Ltd | 特性インピーダンス測定機 |
JP2003014807A (ja) * | 2001-06-28 | 2003-01-15 | Hioki Ee Corp | 静電容量測定方法、回路基板検査方法および回路基板検査装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106154097A (zh) * | 2015-05-13 | 2016-11-23 | 富士施乐株式会社 | 基板检查装置、基板检查方法以及基板检查程序 |
CN106154097B (zh) * | 2015-05-13 | 2019-02-15 | 富士施乐株式会社 | 基板检查装置、基板检查方法以及基板检查程序 |
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