TWI809959B - 偏移量測設備及其操作方法 - Google Patents

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Abstract

一種偏移量測設備的操作方法包括：將第一待測物設置在第一導電墊與第二導電墊之間，其中第一待測物的主動區的兩端分別電性連接第一導電墊的連接區以及第二導電墊的連接區，且第一待測物具有覆蓋部分主動區的光阻區、電性連接第一導電墊之連接區的第一接觸點以及電性連接第二導電墊之連接區的第二接觸點；經由第一與第二接觸點提供定電流通過第一待測物的主動區；在第一與第二導電墊上量測第一待測物的第一電阻值；以及根據第一電阻值與第一待測物的預定電阻值判斷第一待測物的光阻區的偏移。

Description

偏移量測設備及其操作方法
本揭露係關於一種偏移量測設備的操作方法。
一般而言，偏移量測設備通常會使用疊對框(Overlay box)的方式對待測物進行偏移量測。舉例來說，偏移量測設備的基準層可包圍待測物。並且，偏移量測設備可計算基準層與待測物在第一方向(例如x方向)以及第二方向(例如y方向)之間的距離，以判斷待測物是否偏移。然而，這樣的配置造成基準層只能以正方形的方式設計，不利於基準層應用於待測物表面具有不同高度時的情況。此外，當待測物表面具有高度變化時，使用偏移量測設備判斷待測物是否偏移將產生誤差，降低了偏移量測設備的操作靈敏度。
本揭露之一技術態樣為一種偏移量測設備的操作方法。
根據本揭露一實施方式，一種偏移量測設備的操作方法包括：將第一待測物設置在第一導電墊與第二導電墊之間，其中第一待測物的主動區的兩端分別電性連接第一導電墊的連接區以及第二導電墊的連接區，且第一待測物具有覆蓋部分主動區的光阻區、電性連接第一導電墊之連接區的第一接觸點以及電性連接第二導電墊之連接區的第二接觸點；經由第一接觸點與第二接觸點提供定電流通過第一待測物的主動區；在第一導電墊與第二導電墊上量測第一待測物的第一電阻值；以及根據第一電阻值與第一待測物的預定電阻值判斷第一待測物的光阻區的偏移。
在本揭露一實施方式中，上述方法更包括：將第二待測物設置在第二導電墊與第三導電墊之間，其中第二待測物的主動區的兩端分別電性連接第二導電墊的連接區以及第三導電墊的連接區，且第二待測物具有覆蓋部分主動區的光阻區、電性連接第二導電墊之連接區的第三接觸點以及電性連接第三導電墊之連接區的第四接觸點。
在本揭露一實施方式中，上述第一接觸點與第二接觸點的連線方向垂直於第三接觸點與第四接觸點的連線方向。
在本揭露一實施方式中，上述方法更包括：經由第三接觸點與第四接觸點使定電流通過第二待測物；以及在第二導電墊與第三導電墊上量測第二待測物的第二電阻值。
在本揭露一實施方式中，上述方法更包括：根據第二電阻值與第二待測物的預定電阻值判斷第二待測物的光阻區的偏移。
本揭露之一技術態樣為一種偏移量測設備。
根據本揭露一實施方式，一種偏移量測設備包括第一導電墊、第二導電墊、電源供應器以及量測單元。第一導電墊具有連接區。第二導電墊具有連接區。第一導電墊的連接區與第二導電墊的連接區配置以分別電性連接第一待測物的主動區的兩端。第一待測物具有覆蓋部分主動區的光阻區、電性連接第一導電墊之連接區的第一接觸點以及電性連接第二導電墊之連接區的第二接觸點。電源供應器電性連接第一導電墊與第二導電墊。電源供應器配置以經由第一接觸點與第二接觸點提供定電流通過第一待測物。量測單元電性連接電源供應器。量測單元配置以量測第一待測物的第一電阻值，並根據第一電阻值與第一待測物的預定電阻值判斷第一待測物的光阻區的偏移。
在本揭露一實施方式中，上述偏移量測設備更包括第三導電墊。第三導電墊具有連接區且電性連接電源供應器。第二導電墊位於第一導電墊與第三導電墊之間。
在本揭露一實施方式中，上述第二導電墊的連接區與第三導電墊的連接區配置以電性連接第二待測物的主動區的兩端。第二待測物具有覆蓋部分主動區的光阻區、電性連接第二導電墊之連接區的第三接觸點以及電性連接第三導電墊之連接區的第四接觸點。
在本揭露一實施方式中，上述量測單元更配置以量測第二待測物的第二電阻值，並根據第二電阻值與第二待測物的預定電阻值判斷第二待測物的光阻區的偏移。
在本揭露一實施方式中，上述第一接觸點與第二接觸點的連線方向垂直於第三接觸點與第四接觸點的連線方向。
在本揭露上述實施方式中，由於偏移量測設備使用比對第一待測物的第一電阻值與預定電阻值的方式判斷第一待測物的光阻區是否偏移(也就是說，偏移量測設備使用量測電阻的方式判斷第一待測物的光阻區是否偏移)，因此偏移量測設備可應用於表面具有高度變化的第一待測物，可增加偏移量測設備的使用機率並提高其操作靈敏度。此外，當偏移量測設備判斷第一待測物的光阻區偏移時，可記錄偏移數據並將數據回傳給前端作業人員以利調整或保養製程機台。
以下揭示之實施方式內容提供了用於實施所提供的標的之不同特徵的許多不同實施方式，或實例。下文描述了元件和佈置之特定實例以簡化本案。當然，該等實例僅為實例且並不意欲作為限制。此外，本案可在各個實例中重複元件符號及/或字母。此重複係用於簡便和清晰的目的，且其本身不指定所論述的各個實施方式及/或配置之間的關係。
諸如「在……下方」、「在……之下」、「下部」、「在……之上」、「上部」等等空間相對術語可在本文中為了便於描述之目的而使用，以描述如附圖中所示之一個元件或特徵與另一元件或特徵之關係。空間相對術語意欲涵蓋除了附圖中所示的定向之外的在使用或操作中的裝置的不同定向。裝置可經其他方式定向(旋轉90度或以其他定向)並且本文所使用的空間相對描述詞可同樣相應地解釋。
第1圖繪示根據本揭露一實施方式之偏移量測設備100的方塊圖。第2圖繪示根據本揭露一實施方式之偏移量測設備100使用時的示意圖。同時參照第1圖與第2圖。偏移量測設備100包括第一導電墊110、第二導電墊120、電源供應器140以及量測單元150。偏移量測設備100的第一導電墊110具有連接區112。偏移量測設備100的第二導電墊120具有連接區122。第一導電墊110的連接區112與第二導電墊120的連接區122配置以電性連接第一待測物200的主動區210的兩端。此外，第一待測物200具有覆蓋部分主動區210的光阻區220、電性連接第一導電墊110之連接區112的第一接觸點212以及電性連接第二導電墊120之連接區122的第二接觸點214。舉例來說，第一待測物200的光阻區220可在主動區210上對稱設置，但並不以此為限。
偏移量測設備100的電源供應器140電性連接第一導電墊110與第二導電墊120。電源供應器140配置以經由第一待測物200的第一接觸點212與第二接觸點214提供定電流通過第一待測物200。偏移量測設備100的量測單元150電性連接電源供應器140。量測單元150配置以量測第一待測物200的第一電阻值，並根據第一電阻值與第一待測物200的預定電阻值判斷第一待測物200的光阻區220的偏移。
詳細來說，第一待測物200未被光阻區220覆蓋的主動區210可進行佈植製程，使未被光阻區220覆蓋的主動區210可導電，而被光阻區220覆蓋的主動區210將不導電。此外，電源供應器140可藉由扎入探針至第一導電墊110及第二導電墊120的方式提供定電流，並且定電流可經由第一接觸點212與第二接觸點214通過第一待測物200。當定電流通過第一待測物200時，被光阻區220覆蓋的主動區210將產生電阻。多個電阻可彼此串聯使第一待測物200具有第一電阻值。量測單元150可根據電源供應器140提供的定電流量測第一待測物200的電壓，並根據定電流值及第一待測物200的電壓值得到第一待測物200的第一電阻值。量測單元150得到第一待測物200的第一電阻值後可比對第一電阻值與第一待測物200的預定電阻值。當量測單元150判斷第一電阻值與預定電阻值相同時，可得知第一待測物200的光阻區220並無產生偏移。當量測單元150判斷第一電阻值與預定電阻值不同時，可得知第一待測物200的光阻區220產生了偏移，量測單元150可將偏移數據回傳給前端作業人員，使作業人員可於相關製程機台調整光阻區220覆蓋主動區210的參數(例如位置及方向校正)，或保養/更換造成光阻區220偏移的機台零件。
具體而言，偏移量測設備100可藉由比對第一待測物200的第一電阻值與預定電阻值以判斷第一待測物200的光阻區220是否偏移。當偏移量測設備100判斷第一待測物200的光阻區220偏移時，可記錄偏移數據並將數據回傳給前端作業人員。此外，由於偏移量測設備100使用比對第一待測物200的第一電阻值與預定電阻值的方式判斷第一待測物200的光阻區220是否偏移(也就是說，偏移量測設備100使用量測電阻的方式判斷第一待測物200的光阻區220是否偏移)，因此偏移量測設備100可應用於表面具有高度變化的第一待測物200，可增加偏移量測設備100的使用機率並提高其操作靈敏度。
在一些實施方式中，偏移量測設備100更包括第三導電墊130。第三導電墊130具有連接區132且電性連接電源供應器140。此外，第二導電墊120位於第一導電墊110與第三導電墊130之間。第二導電墊120的連接區122與第三導電墊130的連接區132配置以電性連接第二待測物300的主動區310的兩端。第二待測物300具有覆蓋部分主動區310的光阻區320、電性連接第二導電墊120之連接區122的第三接觸點312以及電性連接第三導電墊130之連接區132的第四接觸點314。
在一些實施方式中，量測單元150更配置以量測第二待測物300的第二電阻值，並根據第二電阻值與第二待測物300的預定電阻值判斷第二待測物300的光阻區320的偏移。詳細來說，第一導電墊110與第二導電墊120的設置可檢測第一待測物200的光阻區220在垂直方向(例如y方向)的偏移，並且第二導電墊120與第三導電墊130的設置可檢測第二待測物300的光阻區320在水平方向(例如x方向)的偏移。此外，第一待測物200的第一接觸點212與第二接觸點214的連線方向D1垂直於第二待測物300的第三接觸點312與第四接觸點314的連線方向D2。在一些實施方式中，第一待測物200可於第一導電墊110與第二導電墊120之間檢測後移至第二導電墊120與第三導電墊130之間檢測，以確保x方向與y方向的偏移量在規格內。
已敘述的元件連接關係與材料將不重覆贅述，合先敘明。在以下敘述中，將說明其他形式的偏移量測設備。
第3圖繪示根據本揭露另一實施方式之偏移量測設備100a使用時的示意圖。同時參照第1圖與第3圖，第3圖所示之實施方式與第2圖所示之實施方式差異在於，第一待測物200a具有複數個主動區210a，並且第二待測物300a具有複數個主動區310a。第一待測物200a具有覆蓋部分主動區210a的光阻區220a、電性連接第一導電墊110之連接區112的第一接觸點212a以及電性連接第二導電墊120之連接區122的第二接觸點214a。第二待測物300a具有覆蓋部分主動區310a的光阻區320a、電性連接第二導電墊120之連接區122的第三接觸點312a以及電性連接第三導電墊130之連接區132的第四接觸點314a。
當電源供應器140提供定電流通過第一待測物200a時，被光阻區220a覆蓋的主動區210a將產生電阻。多個電阻可彼此並聯使第一待測物200a具有較小的第一電阻值，因此可提高量測單元150比對第一電阻值與預定電阻值的靈敏度。相似地，當電源供應器140提供定電流通過第二待測物300a時，被光阻區320a覆蓋的主動區310a將產生電阻。多個電阻可彼此並聯使第二待測物300a具有較小的第二電阻值，因此可提高量測單元150比對第二電阻值與預定電阻值的靈敏度。
在以下敘述中，將說明偏移量測設備的操作方法。
第4圖繪示根據本揭露一實施方式之偏移量測設備的操作方法的流程圖。偏移量測設備的操作方法包括下列步驟。首先在步驟S1中，將第一待測物設置在第一導電墊與第二導電墊之間，其中第一待測物的主動區的兩端分別電性連接第一導電墊的連接區以及第二導電墊的連接區，且第一待測物具有覆蓋部分主動區的光阻區、電性連接第一導電墊之連接區的第一接觸點以及電性連接第二導電墊之連接區的第二接觸點。接著在步驟S2中，經由第一接觸點與第二接觸點提供定電流通過第一待測物的主動區。接著在步驟S3中，在第一導電墊與第二導電墊上量測第一待測物的第一電阻值。之後在步驟S4中，根據第一電阻值與第一待測物的預定電阻值判斷第一待測物的光阻區的偏移。在以下敘述中，將詳細說明上述各步驟。
請參照第1圖與第2圖，首先，可將第一待測物200設置在第一導電墊110與第二導電墊120之間。第一待測物200的主動區210的兩端分別電性連接第一導電墊110的連接區112以及第二導電墊120的連接區122。此外，第一待測物200具有覆蓋部分主動區210的光阻區220、電性連接第一導電墊110之連接區112的第一接觸點212以及電性連接第二導電墊120之連接區122的第二接觸點214。
將第一待測物200設置在第一導電墊110與第二導電墊120之間後，電源供應器140可經由第一待測物200的第一接觸點212與第二接觸點214提供定電流通過第一待測物200的主動區210。電源供應器140可藉由扎入探針至第一導電墊110及第二導電墊120的方式提供定電流，並且定電流可經由第一接觸點212與第二接觸點214通過第一待測物200。在電源供應器140提供定電流通過第一待測物200的主動區210後，量測單元150可在第一導電墊110與第二導電墊120上量測第一待測物200的第一電阻值。詳細來說，量測單元150可根據電源供應器140提供的定電流量測第一待測物200的電壓，並根據定電流值及第一待測物200的電壓值得到第一待測物200的第一電阻值。並且，量測單元150可根據第一待測物200的第一電阻值與預定電阻值判斷第一待測物200的光阻區220的偏移。當量測單元150判斷第一電阻值與預定電阻值相同時，可得知第一待測物200的光阻區220並無產生偏移。當量測單元150判斷第一電阻值與預定電阻值不同時，可得知第一待測物200的光阻區220產生了偏移。
此外，操作方法更包括：將第二待測物300設置在第二導電墊120與第三導電墊130之間。第二待測物300的主動區310的兩端分別電性連接第二導電墊120的連接區122以及第三導電墊130的連接區132。第二待測物300具有覆蓋部分主動區310的光阻區320、電性連接第二導電墊120之連接區122的第三接觸點312以及電性連接第三導電墊130之連接區132的第四接觸點314。第一待測物200的第一接觸點212與第二接觸點214的連線方向D1垂直於第二待測物300的第三接觸點312與第四接觸點314的連線方向D2。
在一些實施方式中，操作方法更包括：經由第三接觸點312與第四接觸點314使定電流通過第二待測物300；在第二導電墊120與第三導電墊130上量測第二待測物300的第二電阻值；以及根據第二電阻值與第二待測物300的預定電阻值判斷第二待測物300的光阻區320的偏移。當量測單元150判斷第二電阻值與預定電阻值相同時，可得知第二待測物300的光阻區320並無產生偏移。當量測單元150判斷第二電阻值與預定電阻值不同時，可得知第二待測物300的光阻區320產生了偏移。第一導電墊110與第二導電墊120的設置可檢測第一待測物200的光阻區220在y方向(例如垂直方向)的偏移，並且第二導電墊120與第三導電墊130的設置可檢測第二待測物300的光阻區320在x方向(例如水平方向)的偏移。
綜上所述，偏移量測設備100可藉由比對第一待測物200的第一電阻值與預定電阻值以判斷y方向的偏移，並且可藉由比對第二待測物300的第二電阻值與預定電阻值以判斷x方向的偏移。此外，偏移量測設備100使用量測電阻的方式判斷第一待測物200的光阻區220及第二待測物300的光阻區320是否偏移，因此偏移量測設備100可應用於表面具有高度變化的第一待測物200及第二待測物300，可增加偏移量測設備100的使用機率並提高其操作靈敏度。
前述概述了幾個實施方式的特徵，使得本領域技術人員可以更好地理解本揭露的態樣。本領域技術人員應當理解，他們可以容易地將本揭露用作設計或修改其他過程和結構的基礎，以實現與本文介紹的實施方式相同的目的和/或實現相同的優點。本領域技術人員還應該認識到，這樣的等效構造不脫離本揭露的精神和範圍，並且在不脫離本揭露的精神和範圍的情況下，它們可以在這裡進行各種改變，替換和變更。
100:偏移量測設備 110:第一導電墊 112:連接區 120:第二導電墊 122:連接區 130:第三導電墊 132:連接區 140:電源供應器 150:量測單元 200,200a:第一待測物 210,210a:主動區 212,212a:第一接觸點 214,214a:第二接觸點 220,220a:光阻區 300,300a:第二待測物 310,310a:主動區 312,312a:第三接觸點 314,314a:第四接觸點 320,320a:光阻區 S1:步驟 S2:步驟 S3:步驟 S4:步驟 D1:連線方向 D2:連線方向
當結合隨附諸圖閱讀時，得自以下詳細描述最佳地理解本揭露之一實施方式。應強調，根據工業上之標準實務，各種特徵並未按比例繪製且僅用於說明目的。事實上，為了論述清楚，可任意地增大或減小各種特徵之尺寸。 第1圖繪示根據本揭露一實施方式之偏移量測設備的方塊圖。 第2圖繪示根據本揭露一實施方式之偏移量測設備使用時的示意圖。 第3圖繪示根據本揭露另一實施方式之偏移量測設備使用時的示意圖。 第4圖繪示根據本揭露一實施方式之偏移量測設備的操作方法的流程圖。
國內寄存資訊(請依寄存機構、日期、號碼順序註記) 無 國外寄存資訊(請依寄存國家、機構、日期、號碼順序註記) 無
100:偏移量測設備
110:第一導電墊
112:連線區
120:第二導電墊
122:連線區
130:第三導電墊
132:連線區
200:第一待測物
210:主動區
212:第一接觸點
214:第二接觸點
220:光阻區
300:第二待測物
310:主動區
312:第三接觸點
314:第四接觸點
320:光阻區
D1:連線方向
D2:連線方向

Claims (10)

  1. 一種偏移量測設備的操作方法，包含： 將一第一待測物設置在一第一導電墊與一第二導電墊之間，其中該第一待測物的一主動區的兩端分別電性連接該第一導電墊的一連接區以及該第二導電墊的一連接區，且該第一待測物具有覆蓋部分該主動區的複數個光阻區、電性連接該第一導電墊之該連接區的一第一接觸點以及電性連接該第二導電墊之該連接區的一第二接觸點； 經由該第一接觸點與該第二接觸點提供一定電流通過該第一待測物的該主動區； 在該第一導電墊與該第二導電墊上量測該第一待測物的一第一電阻值；以及 根據該第一電阻值與該第一待測物的一預定電阻值判斷該第一待測物的該些光阻區的偏移。
  2. 如請求項1所述之方法，更包含： 將一第二待測物設置在該第二導電墊與一第三導電墊之間，其中該第二待測物的一主動區的兩端分別電性連接該第二導電墊的該連接區以及該第三導電墊的一連接區，且該第二待測物具有覆蓋部分該主動區的複數個光阻區、電性連接該第二導電墊之該連接區的一第三接觸點以及電性連接該第三導電墊之該連接區的一第四接觸點。
  3. 如請求項2所述之方法，其中該第一接觸點與該第二接觸點的連線方向垂直於該第三接觸點與該第四接觸點的連線方向。
  4. 如請求項2所述之方法，更包含： 經由該第三接觸點與該第四接觸點使該定電流通過該第二待測物；以及 在該第二導電墊與該第三導電墊上量測該第二待測物的一第二電阻值。
  5. 如請求項4所述之方法，更包含： 根據該第二電阻值與該第二待測物的一預定電阻值判斷該第二待測物的該些光阻區的偏移。
  6. 一種偏移量測設備，包含： 一第一導電墊，具有一連接區； 一第二導電墊，具有一連接區，其中該第一導電墊的該連接區與該第二導電墊的該連接區配置以分別電性連接一第一待測物的一主動區的兩端，且該第一待測物具有覆蓋部分該主動區的複數個光阻區、電性連接該第一導電墊之該連接區的一第一接觸點以及電性連接該第二導電墊之該連接區的一第二接觸點； 一電源供應器，電性連接該第一導電墊與該第二導電墊且配置以經由該第一接觸點與該第二接觸點提供一定電流通過該第一待測物；以及 一量測單元，電性連接該電源供應器且配置以量測該第一待測物的一第一電阻值，並根據該第一電阻值與該第一待測物的一預定電阻值判斷該第一待測物的該些光阻區的偏移。
  7. 如請求項6所述之偏移量測設備，更包含： 一第三導電墊，具有一連接區且電性連接該電源供應器，其中該第二導電墊位於該第一導電墊與該第三導電墊之間。
  8. 如請求項7所述之偏移量測設備，其中該第二導電墊的該連接區與該第三導電墊的該連接區配置以電性連接一第二待測物的一主動區的兩端，且該第二待測物具有覆蓋部分該主動區的複數個光阻區、電性連接該第二導電墊之該連接區的一第三接觸點以及電性連接該第三導電墊之該連接區的一第四接觸點。
  9. 如請求項8所述之偏移量測設備，其中該量測單元更配置以量測該第二待測物的一第二電阻值，並根據該第二電阻值與該第二待測物的一預定電阻值判斷該第二待測物的該些光阻區的偏移。
  10. 如請求項8所述之偏移量測設備，其中該第一接觸點與該第二接觸點的連線方向垂直於該第三接觸點與該第四接觸點的連線方向。
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