JP3134409B2 - Lsiテスタ - Google Patents

Lsiテスタ

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JP3134409B2
JP3134409B2 JP03271246A JP27124691A JP3134409B2 JP 3134409 B2 JP3134409 B2 JP 3134409B2 JP 03271246 A JP03271246 A JP 03271246A JP 27124691 A JP27124691 A JP 27124691A JP 3134409 B2 JP3134409 B2 JP 3134409B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、アナログ回路とデジタ
ル回路の混載したLSIを測定するLSIテスタに関
し、更に詳しくは、デジタルモジュ−ルとアナログモジ
ュ−ルとを高速にかつ正確に同期して制御し、アナログ
回路とデジタル回路の混載したLSIを精度良く測定す
ることができるLSIテスタに関する。
【0002】
【従来の技術】従来のLSIテスタは、共通のシ−ケン
スアドレスバスを介して接続されたデジタルモジュ−ル
とアナログモジュ−ルとを一台のコントロ−ラによって
制御し、アナログ回路とデジタル回路が混載したLSI
を測定するようになっている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】このような従来のLS
Iテスタは、一台のコントロ−ラによってデジタルモジ
ュ−ルとアナログモジュ−ルとを制御しているために、
高速に処理をすることができないという欠点を有してい
た。
【0004】本発明は、このような点に鑑みてなされた
もので、2台のコントロ−ラによって別々にデジタルモ
ジュ−ルとアナログモジュ−ルとの制御を可能にしたも
ので、デジタルパタ−ンのアドレス発生器のシ−ケンス
の変更を、デジタルモジュ−ルに設けたコ−ドメモリに
よってアナログモジュ−ルに伝達し、短時間でデジタル
モジュ−ルとアナログモジュ−ルの同期をとって検査を
行うことができるLSIテスタを提供することを目的と
している。
【0005】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明は、アナログ回路とデジタル回路の混
在したDUTを測定するLSIテスタにおいて、前記ア
ナログ回路を試験するアナログモジュールと前記デジタ
ル回路を試験するデジタルモジュールとを別々に制御す
る複数のコントローラと、これらのコントローラにテス
トプログラムをロードする上位のテストシステムコント
ローラと、前記デジタルモジュールのアドレス発生器の
アドレスに基づき、前記アナログモジュールと同期をと
るコードを出力するコードメモリと、このコードメモリ
のコードに基づいて前記アナログモジュールのアドレス
のアドレス発生器にアドレスを指定するシーケンス発生
回路と、を設け、前記デジタルモジュールと前記アナロ
グモジュールとが同期するようにしたことを特徴として
いる。
【0006】
【作用】本発明のLSIテスタは、デジタルモジュ−ル
側に設けたコ−ドメモリがアナログモジュ−ルに出力す
るコ−ドによって、二つの異なるコントロ−ラで制御さ
れるアナログモジュ−ルとデジタルモジュ−ルの同期を
取るようにしている。
【0007】
【実施例】以下、図面を用いて本発明の一実施例を説明
する。図1は、本発明の一実施例を示すLSIテスタの
構成ブロック図である。図中、1は装置全体の制御を司
どるテストシステムコントロ−ラ、2はデジタルモジュ
−ル20を制御するモジュ−ルコントロ−ラ、3はアナ
ログモジュ−ル30を制御するモジュ−ルコントロ−ラ
である。
【0008】テストシステムコントロ−ラ1は、テスト
プログラムをコンパイルしたオブジェクトファイルを各
モジュ−ルコントロ−ラ2,3にロ−ドし、各モジュ−
ルコントロ−ラ2,3は、ロ−ドされたオブジェクトフ
ァイルからテストシステムコントロ−ラ1の指定するシ
−ケンスナンバ−に従ってコントロ−ルデ−タをデジタ
ルモジュ−ル20とアナログモジュ−ル30に出力す
る。
【0009】デジタルモジュ−ル20において、21は
マイクロコ−ドメモリで、例えばノ−オペレ−ション
(以下、NOPという)、ジヤンプ(以下、JUMPと
いう)等のマイクロコ−ドが記憶される。22はDUT
40を試験するデジタルパタ−ンが記憶されているデジ
タルパタ−ンメモリで、アドレス発生シ−ケンサ23が
指定したアドレスに基づいて検査信号をDUT40に出
力する。24はコ−ドメモリで、アドレス発生シ−ケン
サ23の出力したアドレスに基づき、デジタルモジュ−
ル20と同期をとるコ−ドをアナログモジュ−ル30に
出力する。
【0010】アナログモジュ−ル30において、31、
32はシ−ケンス発生回路で、コ−ドメモリ24の出力
するコ−ドに応じ、記憶していたスタ−トアドレスとス
トップアドレスをアドレス発生カウンタ33、34に出
力する。アドレス発生カウンタ33、34は、シ−ケン
ス発生回路が指定するスタ−トアドレスからストップア
ドレスまでアドレスをワンカウントずつカウントアップ
し、アナログパタ−ンメモリ35、36に出力する。ア
ナログパタ−ンメモリ35、36は、アドレス発生カウ
ンタ33、34によって指定されたアドレスに基づいて
記憶しているパタ−ンデ−タを出力する。
【0011】尚、アナログパタ−ンメモリ35のパタ−
ンデ−タは、そのままDUT40に出力され、アナログ
パタ−ンメモリ36のパタ−ンデ−タは、DA変換器3
7を介してDUT40に出力される。
【0012】図2は、本発明のLSIテスタの動作を説
明するタイムチャ−トで、(A)はマイクロコ−ドメモ
リ21の出力するマイクロコ−ド、(B)はアドレス発
生シ−ケンサ23が出力するアドレス、(C)はコ−ド
メモリ24が出力するコ−ド、(D)はデジタルモジュ
−ル20の同期をとるクロック信号CLK、(E)はデ
ジタルパタ−ンメモリ22の出力するデジタルパタ−
ン、(F)はアナログパタ−ンメモリ35、36の出力
するアナログパタ−ンである。
【0013】(1) マイクロコ−ドメモリ21は、クロッ
ク信号CLKの入力によって、NOP命令をアドレス発
生シ−ケンサ23に出力する。 (2) アドレス発生シ−ケンサ23は、マイクロコ−ドメ
モリ21のNOP命令に基づいて、アドレス“1”をデ
ジタルパタ−ンメモリ22に出力すると共に、コ−ドメ
モリ24に出力する。 (3) デジタルパタ−ンメモリ22は、アドレス発生シ−
ケンサ23の指定したアドレス“1”に基づいてデジタ
ルパタ−ンD1 をDUT40に出力する。
【0014】(4) マイクロコ−ドメモリ21は、次のク
ロック信号CLKで再びNOP命令をアドレス発生シ−
ケンサ23に出力する。 (5) アドレス発生シ−ケンサ23は、マイクロコ−ドメ
モリ21のNOP命令に基づいて、アドレス“2”をデ
ジタルパタ−ンメモリ22に出力すると共に、コ−ドメ
モリ24に出力する。 (6) デジタルパタ−ンメモリ22は、アドレス発生シ−
ケンサ23の指定したアドレス“2”に基づいたデジタ
ルパタ−ンD2 をDUT40に出力し、コ−ドメモリ2
4は、アドレス発生シ−ケンサ23の指定したアドレス
に基づいたコ−ド#1をアナログモジュ−ル30のシ−
ケンサ発生回路31、32に出力する。 (7) アナログモジュ−ル30は、シ−ケンサ発生回路3
1、32のデ−タに基づいてアナログパタ−ンをアナロ
グパタ−ンメモリ35から出力する。 (8) 以後、それぞれのNOP命令、JUMP命令につい
て(1) 〜(7) のプロセスが繰り返される。
【0015】図3は、アナログモジュ−ル側の動作説明
図で、アナログパタ−ンメモリの構成とアドレスとの関
係を示したものである。尚、図中の番号は、図1で示し
た構成に対応したものである。
【0016】シ−ケンサ発生回路31、32は、コ−ド
メモリ24によってコ−ド#1が指定されると、アドレ
ス発生カウンタ33、34にスタ−トアドレスn1 とス
トップアドレスn2 を指定する。アドレス発生カウンタ
33、34は、アドレスをシ−ケンス発生回路31、3
2によって指定されたスタ−トアドレスn1 からストッ
プアドレスn2 までワンカウントずつカウントアップ
し、アナログパタ−ンメモリ35、36に出力する。
【0017】アナログパタ−ンメモリ35、36は、ア
ドレス発生カウンタ33、34のアドレスに基づいて、
パタ−ンデ−タをDUT40に出力する。このように、
コ−ド#2においても同様なプロセスが繰り返される。
【0018】
【発明の効果】以上、詳細に説明したように本発明のL
SIテスタは、デジタルモジュ−ル側に設けられたコ−
ドメモリのコ−ドによってアナログモジュ−ルとデジタ
ルモジュ−ルの同期を取っているので、二つのコントロ
−ラによってアナログモジュ−ルとデジタルモジュ−ル
を制御する場合であっても、精度良く、かつ高速に同期
を取ることができる。このため、LSIの測定を高速に
高精度で行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示すLSIテスタの構成ブ
ロック図である。
【図2】本発明のLSIテスタの動作を説明するタイム
チャ−トである。
【図3】アナログモジュ−ル側の動作の説明図である。
【符号の説明】
1 テストシステムコントロ−ラ 2、3 モジュ−ルコントロ−ラ 20 デジタルモジュ−ル 24 コ−ドメモリ 30 アナログモジュ−ル 31,32 シ−ケンス発生回路 40 DUT

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】アナログ回路とデジタル回路の混在したD
    UTを測定するLSIテスタにおいて、 前記アナログ回路を試験するアナログモジュールと前記
    デジタル回路を試験するデジタルモジュールとを別々に
    制御する複数のコントローラと、 これらのコントローラにテストプログラムをロードする
    上位のテストシステムコントローラと、 前記デジタルモジュールのアドレス発生器のアドレスに
    基づき、前記アナログモジュールと同期をとるコードを
    出力するコードメモリと、 このコードメモリのコードに基づいて前記アナログモジ
    ュールのアドレスのアドレス発生器にアドレスを指定す
    るシーケンス発生回路と、 を設け、前記デジタルモジュールと前記アナログモジュ
    ールとが同期するようにしたことを特徴としたLSIテ
    スタ。
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CN114646867B (zh) * 2022-05-18 2022-10-28 南京宏泰半导体科技有限公司 一种集成电路并发测试装置及方法

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