JP3134409B2 - Lsiテスタ - Google Patents
LsiテスタInfo
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- JP3134409B2 JP3134409B2 JP03271246A JP27124691A JP3134409B2 JP 3134409 B2 JP3134409 B2 JP 3134409B2 JP 03271246 A JP03271246 A JP 03271246A JP 27124691 A JP27124691 A JP 27124691A JP 3134409 B2 JP3134409 B2 JP 3134409B2
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- Japan
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- module
- analog
- address
- digital
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- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、アナログ回路とデジタ
ル回路の混載したLSIを測定するLSIテスタに関
し、更に詳しくは、デジタルモジュ−ルとアナログモジ
ュ−ルとを高速にかつ正確に同期して制御し、アナログ
回路とデジタル回路の混載したLSIを精度良く測定す
ることができるLSIテスタに関する。
ル回路の混載したLSIを測定するLSIテスタに関
し、更に詳しくは、デジタルモジュ−ルとアナログモジ
ュ−ルとを高速にかつ正確に同期して制御し、アナログ
回路とデジタル回路の混載したLSIを精度良く測定す
ることができるLSIテスタに関する。
【0002】
【従来の技術】従来のLSIテスタは、共通のシ−ケン
スアドレスバスを介して接続されたデジタルモジュ−ル
とアナログモジュ−ルとを一台のコントロ−ラによって
制御し、アナログ回路とデジタル回路が混載したLSI
を測定するようになっている。
スアドレスバスを介して接続されたデジタルモジュ−ル
とアナログモジュ−ルとを一台のコントロ−ラによって
制御し、アナログ回路とデジタル回路が混載したLSI
を測定するようになっている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】このような従来のLS
Iテスタは、一台のコントロ−ラによってデジタルモジ
ュ−ルとアナログモジュ−ルとを制御しているために、
高速に処理をすることができないという欠点を有してい
た。
Iテスタは、一台のコントロ−ラによってデジタルモジ
ュ−ルとアナログモジュ−ルとを制御しているために、
高速に処理をすることができないという欠点を有してい
た。
【0004】本発明は、このような点に鑑みてなされた
もので、2台のコントロ−ラによって別々にデジタルモ
ジュ−ルとアナログモジュ−ルとの制御を可能にしたも
ので、デジタルパタ−ンのアドレス発生器のシ−ケンス
の変更を、デジタルモジュ−ルに設けたコ−ドメモリに
よってアナログモジュ−ルに伝達し、短時間でデジタル
モジュ−ルとアナログモジュ−ルの同期をとって検査を
行うことができるLSIテスタを提供することを目的と
している。
もので、2台のコントロ−ラによって別々にデジタルモ
ジュ−ルとアナログモジュ−ルとの制御を可能にしたも
ので、デジタルパタ−ンのアドレス発生器のシ−ケンス
の変更を、デジタルモジュ−ルに設けたコ−ドメモリに
よってアナログモジュ−ルに伝達し、短時間でデジタル
モジュ−ルとアナログモジュ−ルの同期をとって検査を
行うことができるLSIテスタを提供することを目的と
している。
【0005】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明は、アナログ回路とデジタル回路の混
在したDUTを測定するLSIテスタにおいて、前記ア
ナログ回路を試験するアナログモジュールと前記デジタ
ル回路を試験するデジタルモジュールとを別々に制御す
る複数のコントローラと、これらのコントローラにテス
トプログラムをロードする上位のテストシステムコント
ローラと、前記デジタルモジュールのアドレス発生器の
アドレスに基づき、前記アナログモジュールと同期をと
るコードを出力するコードメモリと、このコードメモリ
のコードに基づいて前記アナログモジュールのアドレス
のアドレス発生器にアドレスを指定するシーケンス発生
回路と、を設け、前記デジタルモジュールと前記アナロ
グモジュールとが同期するようにしたことを特徴として
いる。
るために、本発明は、アナログ回路とデジタル回路の混
在したDUTを測定するLSIテスタにおいて、前記ア
ナログ回路を試験するアナログモジュールと前記デジタ
ル回路を試験するデジタルモジュールとを別々に制御す
る複数のコントローラと、これらのコントローラにテス
トプログラムをロードする上位のテストシステムコント
ローラと、前記デジタルモジュールのアドレス発生器の
アドレスに基づき、前記アナログモジュールと同期をと
るコードを出力するコードメモリと、このコードメモリ
のコードに基づいて前記アナログモジュールのアドレス
のアドレス発生器にアドレスを指定するシーケンス発生
回路と、を設け、前記デジタルモジュールと前記アナロ
グモジュールとが同期するようにしたことを特徴として
いる。
【0006】
【作用】本発明のLSIテスタは、デジタルモジュ−ル
側に設けたコ−ドメモリがアナログモジュ−ルに出力す
るコ−ドによって、二つの異なるコントロ−ラで制御さ
れるアナログモジュ−ルとデジタルモジュ−ルの同期を
取るようにしている。
側に設けたコ−ドメモリがアナログモジュ−ルに出力す
るコ−ドによって、二つの異なるコントロ−ラで制御さ
れるアナログモジュ−ルとデジタルモジュ−ルの同期を
取るようにしている。
【0007】
【実施例】以下、図面を用いて本発明の一実施例を説明
する。図1は、本発明の一実施例を示すLSIテスタの
構成ブロック図である。図中、1は装置全体の制御を司
どるテストシステムコントロ−ラ、2はデジタルモジュ
−ル20を制御するモジュ−ルコントロ−ラ、3はアナ
ログモジュ−ル30を制御するモジュ−ルコントロ−ラ
である。
する。図1は、本発明の一実施例を示すLSIテスタの
構成ブロック図である。図中、1は装置全体の制御を司
どるテストシステムコントロ−ラ、2はデジタルモジュ
−ル20を制御するモジュ−ルコントロ−ラ、3はアナ
ログモジュ−ル30を制御するモジュ−ルコントロ−ラ
である。
【0008】テストシステムコントロ−ラ1は、テスト
プログラムをコンパイルしたオブジェクトファイルを各
モジュ−ルコントロ−ラ2,3にロ−ドし、各モジュ−
ルコントロ−ラ2,3は、ロ−ドされたオブジェクトフ
ァイルからテストシステムコントロ−ラ1の指定するシ
−ケンスナンバ−に従ってコントロ−ルデ−タをデジタ
ルモジュ−ル20とアナログモジュ−ル30に出力す
る。
プログラムをコンパイルしたオブジェクトファイルを各
モジュ−ルコントロ−ラ2,3にロ−ドし、各モジュ−
ルコントロ−ラ2,3は、ロ−ドされたオブジェクトフ
ァイルからテストシステムコントロ−ラ1の指定するシ
−ケンスナンバ−に従ってコントロ−ルデ−タをデジタ
ルモジュ−ル20とアナログモジュ−ル30に出力す
る。
【0009】デジタルモジュ−ル20において、21は
マイクロコ−ドメモリで、例えばノ−オペレ−ション
(以下、NOPという)、ジヤンプ(以下、JUMPと
いう)等のマイクロコ−ドが記憶される。22はDUT
40を試験するデジタルパタ−ンが記憶されているデジ
タルパタ−ンメモリで、アドレス発生シ−ケンサ23が
指定したアドレスに基づいて検査信号をDUT40に出
力する。24はコ−ドメモリで、アドレス発生シ−ケン
サ23の出力したアドレスに基づき、デジタルモジュ−
ル20と同期をとるコ−ドをアナログモジュ−ル30に
出力する。
マイクロコ−ドメモリで、例えばノ−オペレ−ション
(以下、NOPという)、ジヤンプ(以下、JUMPと
いう)等のマイクロコ−ドが記憶される。22はDUT
40を試験するデジタルパタ−ンが記憶されているデジ
タルパタ−ンメモリで、アドレス発生シ−ケンサ23が
指定したアドレスに基づいて検査信号をDUT40に出
力する。24はコ−ドメモリで、アドレス発生シ−ケン
サ23の出力したアドレスに基づき、デジタルモジュ−
ル20と同期をとるコ−ドをアナログモジュ−ル30に
出力する。
【0010】アナログモジュ−ル30において、31、
32はシ−ケンス発生回路で、コ−ドメモリ24の出力
するコ−ドに応じ、記憶していたスタ−トアドレスとス
トップアドレスをアドレス発生カウンタ33、34に出
力する。アドレス発生カウンタ33、34は、シ−ケン
ス発生回路が指定するスタ−トアドレスからストップア
ドレスまでアドレスをワンカウントずつカウントアップ
し、アナログパタ−ンメモリ35、36に出力する。ア
ナログパタ−ンメモリ35、36は、アドレス発生カウ
ンタ33、34によって指定されたアドレスに基づいて
記憶しているパタ−ンデ−タを出力する。
32はシ−ケンス発生回路で、コ−ドメモリ24の出力
するコ−ドに応じ、記憶していたスタ−トアドレスとス
トップアドレスをアドレス発生カウンタ33、34に出
力する。アドレス発生カウンタ33、34は、シ−ケン
ス発生回路が指定するスタ−トアドレスからストップア
ドレスまでアドレスをワンカウントずつカウントアップ
し、アナログパタ−ンメモリ35、36に出力する。ア
ナログパタ−ンメモリ35、36は、アドレス発生カウ
ンタ33、34によって指定されたアドレスに基づいて
記憶しているパタ−ンデ−タを出力する。
【0011】尚、アナログパタ−ンメモリ35のパタ−
ンデ−タは、そのままDUT40に出力され、アナログ
パタ−ンメモリ36のパタ−ンデ−タは、DA変換器3
7を介してDUT40に出力される。
ンデ−タは、そのままDUT40に出力され、アナログ
パタ−ンメモリ36のパタ−ンデ−タは、DA変換器3
7を介してDUT40に出力される。
【0012】図2は、本発明のLSIテスタの動作を説
明するタイムチャ−トで、(A)はマイクロコ−ドメモ
リ21の出力するマイクロコ−ド、(B)はアドレス発
生シ−ケンサ23が出力するアドレス、(C)はコ−ド
メモリ24が出力するコ−ド、(D)はデジタルモジュ
−ル20の同期をとるクロック信号CLK、(E)はデ
ジタルパタ−ンメモリ22の出力するデジタルパタ−
ン、(F)はアナログパタ−ンメモリ35、36の出力
するアナログパタ−ンである。
明するタイムチャ−トで、(A)はマイクロコ−ドメモ
リ21の出力するマイクロコ−ド、(B)はアドレス発
生シ−ケンサ23が出力するアドレス、(C)はコ−ド
メモリ24が出力するコ−ド、(D)はデジタルモジュ
−ル20の同期をとるクロック信号CLK、(E)はデ
ジタルパタ−ンメモリ22の出力するデジタルパタ−
ン、(F)はアナログパタ−ンメモリ35、36の出力
するアナログパタ−ンである。
【0013】(1) マイクロコ−ドメモリ21は、クロッ
ク信号CLKの入力によって、NOP命令をアドレス発
生シ−ケンサ23に出力する。 (2) アドレス発生シ−ケンサ23は、マイクロコ−ドメ
モリ21のNOP命令に基づいて、アドレス“1”をデ
ジタルパタ−ンメモリ22に出力すると共に、コ−ドメ
モリ24に出力する。 (3) デジタルパタ−ンメモリ22は、アドレス発生シ−
ケンサ23の指定したアドレス“1”に基づいてデジタ
ルパタ−ンD1 をDUT40に出力する。
ク信号CLKの入力によって、NOP命令をアドレス発
生シ−ケンサ23に出力する。 (2) アドレス発生シ−ケンサ23は、マイクロコ−ドメ
モリ21のNOP命令に基づいて、アドレス“1”をデ
ジタルパタ−ンメモリ22に出力すると共に、コ−ドメ
モリ24に出力する。 (3) デジタルパタ−ンメモリ22は、アドレス発生シ−
ケンサ23の指定したアドレス“1”に基づいてデジタ
ルパタ−ンD1 をDUT40に出力する。
【0014】(4) マイクロコ−ドメモリ21は、次のク
ロック信号CLKで再びNOP命令をアドレス発生シ−
ケンサ23に出力する。 (5) アドレス発生シ−ケンサ23は、マイクロコ−ドメ
モリ21のNOP命令に基づいて、アドレス“2”をデ
ジタルパタ−ンメモリ22に出力すると共に、コ−ドメ
モリ24に出力する。 (6) デジタルパタ−ンメモリ22は、アドレス発生シ−
ケンサ23の指定したアドレス“2”に基づいたデジタ
ルパタ−ンD2 をDUT40に出力し、コ−ドメモリ2
4は、アドレス発生シ−ケンサ23の指定したアドレス
に基づいたコ−ド#1をアナログモジュ−ル30のシ−
ケンサ発生回路31、32に出力する。 (7) アナログモジュ−ル30は、シ−ケンサ発生回路3
1、32のデ−タに基づいてアナログパタ−ンをアナロ
グパタ−ンメモリ35から出力する。 (8) 以後、それぞれのNOP命令、JUMP命令につい
て(1) 〜(7) のプロセスが繰り返される。
ロック信号CLKで再びNOP命令をアドレス発生シ−
ケンサ23に出力する。 (5) アドレス発生シ−ケンサ23は、マイクロコ−ドメ
モリ21のNOP命令に基づいて、アドレス“2”をデ
ジタルパタ−ンメモリ22に出力すると共に、コ−ドメ
モリ24に出力する。 (6) デジタルパタ−ンメモリ22は、アドレス発生シ−
ケンサ23の指定したアドレス“2”に基づいたデジタ
ルパタ−ンD2 をDUT40に出力し、コ−ドメモリ2
4は、アドレス発生シ−ケンサ23の指定したアドレス
に基づいたコ−ド#1をアナログモジュ−ル30のシ−
ケンサ発生回路31、32に出力する。 (7) アナログモジュ−ル30は、シ−ケンサ発生回路3
1、32のデ−タに基づいてアナログパタ−ンをアナロ
グパタ−ンメモリ35から出力する。 (8) 以後、それぞれのNOP命令、JUMP命令につい
て(1) 〜(7) のプロセスが繰り返される。
【0015】図3は、アナログモジュ−ル側の動作説明
図で、アナログパタ−ンメモリの構成とアドレスとの関
係を示したものである。尚、図中の番号は、図1で示し
た構成に対応したものである。
図で、アナログパタ−ンメモリの構成とアドレスとの関
係を示したものである。尚、図中の番号は、図1で示し
た構成に対応したものである。
【0016】シ−ケンサ発生回路31、32は、コ−ド
メモリ24によってコ−ド#1が指定されると、アドレ
ス発生カウンタ33、34にスタ−トアドレスn1 とス
トップアドレスn2 を指定する。アドレス発生カウンタ
33、34は、アドレスをシ−ケンス発生回路31、3
2によって指定されたスタ−トアドレスn1 からストッ
プアドレスn2 までワンカウントずつカウントアップ
し、アナログパタ−ンメモリ35、36に出力する。
メモリ24によってコ−ド#1が指定されると、アドレ
ス発生カウンタ33、34にスタ−トアドレスn1 とス
トップアドレスn2 を指定する。アドレス発生カウンタ
33、34は、アドレスをシ−ケンス発生回路31、3
2によって指定されたスタ−トアドレスn1 からストッ
プアドレスn2 までワンカウントずつカウントアップ
し、アナログパタ−ンメモリ35、36に出力する。
【0017】アナログパタ−ンメモリ35、36は、ア
ドレス発生カウンタ33、34のアドレスに基づいて、
パタ−ンデ−タをDUT40に出力する。このように、
コ−ド#2においても同様なプロセスが繰り返される。
ドレス発生カウンタ33、34のアドレスに基づいて、
パタ−ンデ−タをDUT40に出力する。このように、
コ−ド#2においても同様なプロセスが繰り返される。
【0018】
【発明の効果】以上、詳細に説明したように本発明のL
SIテスタは、デジタルモジュ−ル側に設けられたコ−
ドメモリのコ−ドによってアナログモジュ−ルとデジタ
ルモジュ−ルの同期を取っているので、二つのコントロ
−ラによってアナログモジュ−ルとデジタルモジュ−ル
を制御する場合であっても、精度良く、かつ高速に同期
を取ることができる。このため、LSIの測定を高速に
高精度で行うことができる。
SIテスタは、デジタルモジュ−ル側に設けられたコ−
ドメモリのコ−ドによってアナログモジュ−ルとデジタ
ルモジュ−ルの同期を取っているので、二つのコントロ
−ラによってアナログモジュ−ルとデジタルモジュ−ル
を制御する場合であっても、精度良く、かつ高速に同期
を取ることができる。このため、LSIの測定を高速に
高精度で行うことができる。
【図1】本発明の一実施例を示すLSIテスタの構成ブ
ロック図である。
ロック図である。
【図2】本発明のLSIテスタの動作を説明するタイム
チャ−トである。
チャ−トである。
【図3】アナログモジュ−ル側の動作の説明図である。
1 テストシステムコントロ−ラ 2、3 モジュ−ルコントロ−ラ 20 デジタルモジュ−ル 24 コ−ドメモリ 30 アナログモジュ−ル 31,32 シ−ケンス発生回路 40 DUT
Claims (1)
- 【請求項1】アナログ回路とデジタル回路の混在したD
UTを測定するLSIテスタにおいて、 前記アナログ回路を試験するアナログモジュールと前記
デジタル回路を試験するデジタルモジュールとを別々に
制御する複数のコントローラと、 これらのコントローラにテストプログラムをロードする
上位のテストシステムコントローラと、 前記デジタルモジュールのアドレス発生器のアドレスに
基づき、前記アナログモジュールと同期をとるコードを
出力するコードメモリと、 このコードメモリのコードに基づいて前記アナログモジ
ュールのアドレスのアドレス発生器にアドレスを指定す
るシーケンス発生回路と、 を設け、前記デジタルモジュールと前記アナログモジュ
ールとが同期するようにしたことを特徴としたLSIテ
スタ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP03271246A JP3134409B2 (ja) | 1991-10-18 | 1991-10-18 | Lsiテスタ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP03271246A JP3134409B2 (ja) | 1991-10-18 | 1991-10-18 | Lsiテスタ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05107307A JPH05107307A (ja) | 1993-04-27 |
JP3134409B2 true JP3134409B2 (ja) | 2001-02-13 |
Family
ID=17497400
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP03271246A Expired - Fee Related JP3134409B2 (ja) | 1991-10-18 | 1991-10-18 | Lsiテスタ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3134409B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4859269B2 (ja) * | 2000-12-05 | 2012-01-25 | 株式会社アドバンテスト | 半導体試験装置 |
JP2002243808A (ja) * | 2001-02-09 | 2002-08-28 | Advantest Corp | アナログ・デジタル混成ic用テストシステム |
JP4999232B2 (ja) * | 2001-02-09 | 2012-08-15 | 株式会社アドバンテスト | アナログ・デジタル混成ic用テストシステム |
US8261119B2 (en) * | 2009-09-10 | 2012-09-04 | Advantest Corporation | Test apparatus for testing device has synchronization module which synchronizes analog test module to digital test module based on synchronization signal received from digital test module |
CN114646867B (zh) * | 2022-05-18 | 2022-10-28 | 南京宏泰半导体科技有限公司 | 一种集成电路并发测试装置及方法 |
-
1991
- 1991-10-18 JP JP03271246A patent/JP3134409B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH05107307A (ja) | 1993-04-27 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
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