JP2000149593A - Ic試験装置 - Google Patents
Ic試験装置Info
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Abstract
するIC試験装置を提供する。 【解決手段】 データクロックの出力のタイミングをパ
ルス化回路で抽出し、パルス化回路で抽出したパルスを
タイミング設定回路で期待する時間の範囲で遅延させて
論理比較器にストローブパルスの代用として入力し、そ
のタイミングでデータの有無を判定し、データの入力が
無ければ不良と判定する。
Description
ICを試験するIC試験装置に関する。
図中TESはIC試験装置の全体を示す。IC試験装置
TESは主制御器111と、パターン発生器112,タ
イミング発生器113,波形フォーマッタ114,論理
比較器115,ドライバ群116,アナログ比較器群1
17,不良解析メモリ118,論理振幅基準電圧源12
1,比較基準電圧源122,ディバイス電源123等に
より構成される。
テムによって構成され、利用者が作成した試験プログラ
ムに従って主にパターン発生器112とタイミング発生
器113を制御し、パターン発生器112から試験パタ
ーンデータを発生させ、この試験パターンデータを波形
フォーマッタ114で実波形を持つ試験パターン信号に
変換し、この試験パターン信号を論理振幅基準電圧源1
21で設定した振幅値を持った波形に電圧増幅するドラ
イバ群116を通じて被試験IC119に印加し記憶さ
せる。
はアナログ比較器群117で比較基準電圧源122から
与えられる基準電圧と比較し、所定の論理レベル(H論
理の電圧、L論理の電圧)を持っているか否かを判定
し、所定の論理レベルを持っていると判定した信号は論
理比較器115でパターン発生器112から出力される
期待値と比較し、期待値と不一致が発生した場合は、そ
の読み出したアドレスのメモリセルに不良があるものと
判定し、不良発生ごとに不良解析メモリ118に不良ア
ドレスを記憶し、試験終了時点で、例えば不良セルの救
済が可能か否かを判定する。
IC119に与える試験パターン信号の波形の立上がり
のタイミング及び立下りのタイミングを規定するタイミ
ングと、論理比較器115で論理比較のタイミングを規
定するストローブパルスのタイミングを発生する。これ
らの各タイミングは利用者が作成した試験プログラムに
記載され、利用者が意図したタイミングで被試験IC1
19を動作させ、またその動作が正常か否かを試験でき
るように構成されている。
ータクロック付ICが増加の傾向にある。データクロッ
クとはICが自ら発生するクロックを指し、データクロ
ックに同期してデータを出力する。図5にデータクロッ
ク付ICを試験する従来のIC試験装置の概略を示す。
ドライバ116Aは被試験IC119のクロック入力端
子TCLK に試験パターン信号の一つとして出力されるク
ロックCLKを入力する。VIHとVILはクロックCLK
のH論理の電圧とL論理の電圧を規定する電圧を示す。
DAT からデータクロックDCLK を出力する。これととも
にデータ出力端子TD1,TD2……からデータDAT1 ,
DAT2 ……を出力する。データクロックDCLK と各デ
ータDAT1 ,DAT2 ……はそれぞれ電圧比較器11
7A,117B,117C……でH論理及びL論理の各
電圧が所定の電圧VOH,VOLを具備しているか否かを判
定し、論理比較器115A,115B,115C……で
期待値パターンと比較され、期待値と不一致が発生する
とフェイルと判定する。
器115A,115B,115C…において、被試験I
C119が出力するデータDAT1 ,DAT2 ……が各
期待値と一致するか否かとは別に、データクロックD
CLK の出力のタイミングから予め設定した時間の範囲内
でDAT1 ,DAT2 ……が出力されたか否かも判定
し、所定の時間より遅れて出力するICは不良と判定し
ている。
は、被試験IC119が出力する信号のタイミングを測
定するには、被試験IC119に入力する信号CLKの
タイミング(信号CLKの立上がりまたは立ち下りのタ
イミング)を基準に採り、この基準タイミングから各出
力信号DCLK ,DAT1 ,DAT2 ……の立上がりまた
は立ち下りのタイミングまでの時間を測定している。従
って、被試験IC119が出力するデータクロックD
CLK のタイミングとデータDAT1 ,DAT2 ……のタ
イミングの時間差を直接測定することはできない。つま
り、データクロックの出力のタイミングから所定の時間
の範囲内でデータDAT1 ,DAT2 ……が出力された
かを直接測定することはできない欠点がある。
クCLKの入力のタイミングからデータクロックDCLK
が出力されるまでの時間t1を論理比較器115Aに供
給するストローブパルスの供給タイミングを複数のテス
トサイクルを使って順次移動させてサーチさせて測定
し、次にクロックCLKの入力のタイミングからデータ
DAT1 ,DAT2 ……が出力されるまでの時間t2を
論理比較器115B,115Cに供給するストローブパ
ルスの供給タイミングを複数のテストサイクルを使って
順次移動させてサーチさせて測定し、これらの時間t1
とt2からデータクロックDCLK と各データDAT1 ,
DAT2 ……の出力のタイミングまでの時間t3をt3
=t2−t1により求め、この時間t3が所定の時間の
範囲内で、かつ論理比較が一致している場合に良と判定
し、論理比較が良であってもデータDAT1,DAT2 …
…の出力のタイミングが所定時間以上であれば不良と判
定している。図7にそのフローチャートを示す。
を試験するには複雑な手順に従って試験を実行するか
ら、そのテストプログラムの作成には多くの手間が掛か
るとともに、時間t1,t2を測定するには複数のテス
トサイクルを実行しなくてはならないため、試験に要す
る時間が長く掛かる欠点がある。この発明の目的は、テ
ストプログラムの作成を簡素に済ませることができ、し
かも試験に要する時間も短時間に済ませることができる
データクロック付ICを試験するIC試験装置を提供し
ようとするものである。
ロックをストローブパルスとして代用して使用すること
により、データの出力が所定の時間の範囲内であるか否
かを直接判定できる構成を付加したIC試験装置を提案
するものである。つまり、被試験ICが出力するデータ
クロックの立上がりのタイミングをパルス化して抽出
し、このパルスを所定の時間遅延させて論理比較器にス
トローブパルスとして供給し、その供給タイミングにお
いて被試験ICがデータを出力していれば、その出力の
タイミイングは良と判定し、データが出力されていなけ
れば不良と判定する。
スの位相を順次移動させてデータクロックの出力のタイ
ミングを測定したり、データの出力のタイミングを測定
する動作が不要となり、テストプログラムの作成を簡素
化することができる。また、各テストサイクルごとに試
験結果が得られるため、試験に要する時間も短縮できる
利点が得られる。
す。図中、図5と対応する部分には同一符号を付して示
す。この発明ではデータクロックDCLK を出力するデー
タクロック出力端子TDAT に接続された電圧比較器11
7Aの出力側からパルス化回路124A,124B……
を通じてデータクロックDCLK の立上がりのタイミング
を抽出し、このパルス化回路124A,124B……で
抽出したパルスをタイミング設定回路125A,125
B……を通じて選択回路126A,126B……に供給
する。選択回路126A,126B……にはタイミング
設定回路125A,125B……から与えられるパルス
の他に、ストローブパルスが入力され、これらのパルス
とストローブパルスの何れか一方を選択して、各論理比
較器115B,115C……に供給する。
選択回路126A,126B……をタイミング設定回路
125A,125B……から出力されるパルスを選択し
て各論理比較器115B,115C……に入力する状態
に切り替える。この状態でタイミング設定回路125
A,125B……にはデータクロックDCLK のタイミン
グからデータが出力されるまでの期待する時間、例えば
t3を設定する。この設定は図4に示した主制御器11
1から各チャンネルに設けたタイミング設定回路125
A,125B……に設定される。
ータクロックDCLK の立上がりまたは立ち下りのタイミ
ングから時間t3が経過したタイミングでパルスがスト
ローブパルスの代用として与えられ、このタイミングで
被試験IC119のデータ端子TD1,TD2…が出力する
データDAT1 ,DAT2 ……の信号の有無と、信号有
りの場合にその論理値と期待値パターンとを論理比較す
る。
タクロックDCLK の立上がりまたは立ち下りのタイミン
グから時間t3の範囲内にデータDAT1 ,DAT2 …
…がそれぞれ論理比較器115B,115C……に入力
されれば良、時間t3より遅く入力されれば不良と判定
する。従って各テストサイクルごとに判定結果を得るこ
とができる。
プSP1でデータクロックDCLK の出力からデータDA
T1 ,DAT2 ……が出力されるまでの期待される時間
t3をタイミング設定回路125A,125B……に設
定する。ステップSP2で1回のファンクション試験
(各テストサイクル)で良/不良を判定する。
ストローブパルスの位相を各テストサイクルごとに順次
移動させてデータクロックDCLK の出力のタイミイグ及
びデータDAT1 ,DAT2 ……の出力のタイミングを
測定しなくて済むため、テストプログラムの記載は簡素
化され、その作成は容易に行うことができる。また、良
否の判定を各テストサイクルごとに行うことができるた
め、試験に要する時間を短縮することができる利点も得
られる。
119の数を特に記述していないが同時に試験するIC
の数は1個でも複数でも、その数に制限はない。またデ
ータクロック端子にTDAT から出力されるデータクロッ
クDCLK をストローブパルスの代用として流用したが、
被試験ICから出力される他の信号を利用して論理比較
のストローブパルスに代用してもよい。
ト。
図。
するためのブロック図。
の波形図。
するためのフローチャート。
Claims (1)
- 【請求項1】 A.被試験ICがデータクロックと、こ
のデータクロックに同期してデータを出力し、データク
ロックの出力のタイミングからデータが出力されるタイ
ミングまでの時間が所定時間より短く期待値と一致して
いれば良、長い場合は不良と判定するIC試験装置にお
いて、 B.上記データクロックをパルス化して取り出すパルス
化回路と、 C.このパルス化回路で取り出したパルスを期待する時
間の範囲で遅延させるタイミング設定回路と、 D.このタイミング設定回路で取り出したパルスをスト
ローブパルスに替えて論理比較器に与える選択回路と、
を具備して構成したことを特徴とするIC試験装置。
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
JP32199198A JP4156105B2 (ja) | 1998-11-12 | 1998-11-12 | Ic試験装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP32199198A JP4156105B2 (ja) | 1998-11-12 | 1998-11-12 | Ic試験装置 |
Publications (2)
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JP4156105B2 JP4156105B2 (ja) | 2008-09-24 |
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ID=18138713
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP32199198A Expired - Fee Related JP4156105B2 (ja) | 1998-11-12 | 1998-11-12 | Ic試験装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001356153A (ja) * | 2000-06-14 | 2001-12-26 | Advantest Corp | 半導体デバイス試験方法・半導体デバイス試験装置 |
JP2002025294A (ja) * | 2000-07-06 | 2002-01-25 | Advantest Corp | 半導体デバイス試験方法・半導体デバイス試験装置 |
WO2002103379A1 (fr) * | 2001-06-13 | 2002-12-27 | Advantest Corporation | Instrument destine a tester des dispositifs semi-conducteurs et procede destine a tester des dispositifs semi-conducteurs |
JP2008077805A (ja) * | 2006-09-25 | 2008-04-03 | Fujitsu Ltd | 半導体記憶装置及びタイミング制御方法 |
-
1998
- 1998-11-12 JP JP32199198A patent/JP4156105B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP4495308B2 (ja) * | 2000-06-14 | 2010-07-07 | 株式会社アドバンテスト | 半導体デバイス試験方法・半導体デバイス試験装置 |
JP2002025294A (ja) * | 2000-07-06 | 2002-01-25 | Advantest Corp | 半導体デバイス試験方法・半導体デバイス試験装置 |
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