JPH11202126A - 誘電体多層膜フィルタ - Google Patents
誘電体多層膜フィルタInfo
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- JPH11202126A JPH11202126A JP10003907A JP390798A JPH11202126A JP H11202126 A JPH11202126 A JP H11202126A JP 10003907 A JP10003907 A JP 10003907A JP 390798 A JP390798 A JP 390798A JP H11202126 A JPH11202126 A JP H11202126A
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- film
- optical
- dielectric
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 膜応力による反りを小とし、光学部品の組立
て時に表裏の区別を必要とせず、工数を減少する。 【解決手段】 厚さが０．１ｍｍ程度の石英基板１１の
両面に、２種類の誘電体材料層を、交互に積層して、同
一設計つまり、基板１１に対し対称な誘電体多層膜１
２，３１を形成する。
て時に表裏の区別を必要とせず、工数を減少する。 【解決手段】 厚さが０．１ｍｍ程度の石英基板１１の
両面に、２種類の誘電体材料層を、交互に積層して、同
一設計つまり、基板１１に対し対称な誘電体多層膜１
２，３１を形成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は例えば光通信分野
において目的とする波長の光を選択あるいは遮断するた
めに用いられ、基板上に屈折率の異なる誘電体を積層し
た誘電体多層膜フィルタに関する。
において目的とする波長の光を選択あるいは遮断するた
めに用いられ、基板上に屈折率の異なる誘電体を積層し
た誘電体多層膜フィルタに関する。
【０００２】
【従来の技術】光通信分野においては、異なる波長を含
んだ光信号を分離するために誘電体多層膜を用いた誘電
体多層膜フィルタを用いてきた。従来の誘電体多層膜フ
ィルタは図２Ａに示すように基板１１上の片面にのみ誘
電体多層膜１２が形成されているものであった。誘電体
多層膜１２は屈折率が異なる誘電体層が積層されて構成
される。最近の光通信分野における各種装置、光学素子
等の小型化に伴ない、誘電体多層膜フィルタ自体も小型
化がなされてきた。
んだ光信号を分離するために誘電体多層膜を用いた誘電
体多層膜フィルタを用いてきた。従来の誘電体多層膜フ
ィルタは図２Ａに示すように基板１１上の片面にのみ誘
電体多層膜１２が形成されているものであった。誘電体
多層膜１２は屈折率が異なる誘電体層が積層されて構成
される。最近の光通信分野における各種装置、光学素子
等の小型化に伴ない、誘電体多層膜フィルタ自体も小型
化がなされてきた。
【０００３】誘電体多層膜フィルタの実装方法として
は、光ファイバと光ファイバの間に間隙を設けて、その
間に誘電体多層膜フィルタを挿入する方法、光導波路内
に間隙を設け、その間隙に誘電体多層膜フィルタを挿入
する方法等がある。光ファイバ間に誘電体多層膜フィル
タを内挿したものを図３に示す。光ファイバ１３，１４
の皮膜が除去された芯線１５，１６の端面間に誘電体多
層膜フィルタ１７が介在される。光ファイバ１３，１４
は固定用基板１８に保持され、固定用基板１８にフィル
タ内挿用溝１９が形成されフィルタ内挿用溝１９内に誘
電体多層膜フィルタ１７が挿入保持される。芯線１５，
１６も固定用基板１８に形成された溝内に位置決めされ
る。芯線１５，１６は１直線上にあり、この直線に対
し、誘電体多層膜フィルタ１７はわずか斜めに芯線１
５，１６間に挿入されている。
は、光ファイバと光ファイバの間に間隙を設けて、その
間に誘電体多層膜フィルタを挿入する方法、光導波路内
に間隙を設け、その間隙に誘電体多層膜フィルタを挿入
する方法等がある。光ファイバ間に誘電体多層膜フィル
タを内挿したものを図３に示す。光ファイバ１３，１４
の皮膜が除去された芯線１５，１６の端面間に誘電体多
層膜フィルタ１７が介在される。光ファイバ１３，１４
は固定用基板１８に保持され、固定用基板１８にフィル
タ内挿用溝１９が形成されフィルタ内挿用溝１９内に誘
電体多層膜フィルタ１７が挿入保持される。芯線１５，
１６も固定用基板１８に形成された溝内に位置決めされ
る。芯線１５，１６は１直線上にあり、この直線に対
し、誘電体多層膜フィルタ１７はわずか斜めに芯線１
５，１６間に挿入されている。
【０００４】図４に光導波路内に誘電体多層膜フィルタ
１７を挿入した例を図４に示す。固定基板２１上にクラ
ッド層２２が形成され、クラッド層２２内に光導波路
（コア）２３，２４，２５に埋込まれ形成されている。
光導波路２３，２４は１直線上に在り、光導波路２３，
２４間に、これと斜めのフィルタ内挿用溝２６が形成さ
れ、光導波路２３，２４の各一端間に挟まれて誘電体多
層膜１７がフィルタ内挿用溝２６が挿入保持される。光
導波路２３と２５は誘電体多層膜フィルタ１７の一面で
重なって、挟い角度をなすように形成されている。
１７を挿入した例を図４に示す。固定基板２１上にクラ
ッド層２２が形成され、クラッド層２２内に光導波路
（コア）２３，２４，２５に埋込まれ形成されている。
光導波路２３，２４は１直線上に在り、光導波路２３，
２４間に、これと斜めのフィルタ内挿用溝２６が形成さ
れ、光導波路２３，２４の各一端間に挟まれて誘電体多
層膜１７がフィルタ内挿用溝２６が挿入保持される。光
導波路２３と２５は誘電体多層膜フィルタ１７の一面で
重なって、挟い角度をなすように形成されている。
【０００５】これらの光学素子において、誘電体多層膜
フィルタ１７としては、波長がλ1の光を透過させ、波
長がλ2 の光を反射させる特性のものを使用すれば、光
ファイバ１５あるいは光導波路２３内を伝搬する２つの
波長成分λ1 ，λ2 のうち波長成分λ2 を阻止し、必要
な波長成分λ1 のみを光ファイバ１６あるいは光導波路
２４に伝搬させることができる。図３において光ファイ
バ１５，１６間に誘電体多層膜フィルタ１７を内挿する
場合、入力光ファイバ１５を伝搬してきた光は溝１９内
では回折により光ビームが拡がり、出力用光ファイバ１
６には一部の光しか結合しない。しかし、フィルタ１７
を内挿する溝１９の幅を十分小さくすれば、光の損失を
実用上問題ない程度にまで小さくできる。例えば、比屈
折率差０．３％でコア径１０μｍの光ファイバを使用す
る場合、溝１９の溝幅が０．１ｍｍであれば３ｄＢ程度
の損失で済む。このような理由から、光通信用光学素子
で使用される誘電体多層膜フィルタ１７では、通常一辺
が約１ｍｍで、厚さが０．１ｍｍ程度と極めて薄い基板
１１が使用されている。なお、誘電体多層膜１２自体の
総膜厚は１０μｍ以下であるので、基板１１の厚さがフ
ィルタ１７自体の厚さを決めている。
フィルタ１７としては、波長がλ1の光を透過させ、波
長がλ2 の光を反射させる特性のものを使用すれば、光
ファイバ１５あるいは光導波路２３内を伝搬する２つの
波長成分λ1 ，λ2 のうち波長成分λ2 を阻止し、必要
な波長成分λ1 のみを光ファイバ１６あるいは光導波路
２４に伝搬させることができる。図３において光ファイ
バ１５，１６間に誘電体多層膜フィルタ１７を内挿する
場合、入力光ファイバ１５を伝搬してきた光は溝１９内
では回折により光ビームが拡がり、出力用光ファイバ１
６には一部の光しか結合しない。しかし、フィルタ１７
を内挿する溝１９の幅を十分小さくすれば、光の損失を
実用上問題ない程度にまで小さくできる。例えば、比屈
折率差０．３％でコア径１０μｍの光ファイバを使用す
る場合、溝１９の溝幅が０．１ｍｍであれば３ｄＢ程度
の損失で済む。このような理由から、光通信用光学素子
で使用される誘電体多層膜フィルタ１７では、通常一辺
が約１ｍｍで、厚さが０．１ｍｍ程度と極めて薄い基板
１１が使用されている。なお、誘電体多層膜１２自体の
総膜厚は１０μｍ以下であるので、基板１１の厚さがフ
ィルタ１７自体の厚さを決めている。
【０００６】ところで、このように微小なサイズの誘電
体多層膜フィルタ１７を光通信用光学素子に実装する場
合には、フィルタ１７の表裏を区別した後、内挿する必
要がある。今、図４で示される光導波路において、光導
波路２３より光信号が入力される場合を考える。フィル
タ１７の誘電体多層膜１２が施されている面が光導波路
２３，２５側に接している場合は、伝搬してきた波長成
分λ1 ，λ2 のうち波長成分λ2 の光信号は光導波路２
３とフィルタ１７との境界で反射されるために、反射信
号は光導波路２５に結合する。
体多層膜フィルタ１７を光通信用光学素子に実装する場
合には、フィルタ１７の表裏を区別した後、内挿する必
要がある。今、図４で示される光導波路において、光導
波路２３より光信号が入力される場合を考える。フィル
タ１７の誘電体多層膜１２が施されている面が光導波路
２３，２５側に接している場合は、伝搬してきた波長成
分λ1 ，λ2 のうち波長成分λ2 の光信号は光導波路２
３とフィルタ１７との境界で反射されるために、反射信
号は光導波路２５に結合する。
【０００７】ところが、誘電体多層膜フィルタ１７の表
裏を逆にして挿入した場合は、波長成分λ2 の光信号は
光導波路２４とフィルタ１７との境界で反射されるため
に、反射光の位置がずれ、反射光信号は光導波路２５に
結合することができない。そのために、誘電体多層膜フ
ィルタ１７を装着時に、その表裏を判別することが必要
とされる。ところで、光通信用光学素子で使用される誘
電体多層膜フィルタ１７の基板は先述のように０．１ｍ
ｍ程度の薄い基板１１が使用される。そのため、基板１
１の片面全面に成膜する図２Ａに示したような誘電体多
層膜フィルタの場合、基板が非常に薄いことから、た
だ、目視で光の反射加減を見ただけでは判別が困難であ
る。
裏を逆にして挿入した場合は、波長成分λ2 の光信号は
光導波路２４とフィルタ１７との境界で反射されるため
に、反射光の位置がずれ、反射光信号は光導波路２５に
結合することができない。そのために、誘電体多層膜フ
ィルタ１７を装着時に、その表裏を判別することが必要
とされる。ところで、光通信用光学素子で使用される誘
電体多層膜フィルタ１７の基板は先述のように０．１ｍ
ｍ程度の薄い基板１１が使用される。そのため、基板１
１の片面全面に成膜する図２Ａに示したような誘電体多
層膜フィルタの場合、基板が非常に薄いことから、た
だ、目視で光の反射加減を見ただけでは判別が困難であ
る。
【０００８】そこで、基板１１の表面にマスクをおい
て、光信号の通過領域のみ部分的に誘電体多層膜を成膜
したものがある。その例を図２Ｂ，２Ｃに示す。この図
において、基板１１上に部分的に誘電体多層膜１２を施
す、部分的に誘電体多層膜１２を施すことで、光学顕微
鏡による目視検査により、誘電体多層膜フィルタ１２の
面上の光の反射面の位置から、部分成膜された表面と裏
面との判別をおこなう。そのため、多層膜フィルタ１７
の装着時にフィルタ１７個々に人間の目による表裏判別
が必要となるために、光学部品素子の製作工数が増加し
低価格化を妨げてきた。
て、光信号の通過領域のみ部分的に誘電体多層膜を成膜
したものがある。その例を図２Ｂ，２Ｃに示す。この図
において、基板１１上に部分的に誘電体多層膜１２を施
す、部分的に誘電体多層膜１２を施すことで、光学顕微
鏡による目視検査により、誘電体多層膜フィルタ１２の
面上の光の反射面の位置から、部分成膜された表面と裏
面との判別をおこなう。そのため、多層膜フィルタ１７
の装着時にフィルタ１７個々に人間の目による表裏判別
が必要となるために、光学部品素子の製作工数が増加し
低価格化を妨げてきた。
【０００９】工数が増加するのみならず、この際に問題
になるのが、マスクの厚みによりマスクの端のところ
で、成膜される誘電体多層膜１２が不均一な膜厚分布を
もってしまうことである。また、このように薄い基板１
１上に片面のみ誘電体多層膜１２を成膜すると初期には
平らな基板１１であったものが、成膜後には膜応力によ
り、反りを発生してしまう。
になるのが、マスクの厚みによりマスクの端のところ
で、成膜される誘電体多層膜１２が不均一な膜厚分布を
もってしまうことである。また、このように薄い基板１
１上に片面のみ誘電体多層膜１２を成膜すると初期には
平らな基板１１であったものが、成膜後には膜応力によ
り、反りを発生してしまう。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】今までは、光学部品が
比較的大きく、誘電体多層膜フィルタ１７の基板も厚い
ものを用いることができたため片面のみ成膜しても、表
裏判別が容易であり、成膜後の膜応力による反りの発生
がなかった。しかし光通信用フィルタでは厚くすると損
失が大幅に増加し、一方薄い基板を使用すると、表裏判
別が困難であり、かつ膜応力による反りが発生する問題
があった。
比較的大きく、誘電体多層膜フィルタ１７の基板も厚い
ものを用いることができたため片面のみ成膜しても、表
裏判別が容易であり、成膜後の膜応力による反りの発生
がなかった。しかし光通信用フィルタでは厚くすると損
失が大幅に増加し、一方薄い基板を使用すると、表裏判
別が困難であり、かつ膜応力による反りが発生する問題
があった。
【００１１】
【課題を解決するための手段】そこで、この発明では、
基板の表面だけでなく裏面にも同一の誘電体多層膜を成
膜する。この場合、同一の誘電体多層膜を基板の両面に
成膜するので、誘電体多層膜フィルタは表裏の区別がな
く対称となる。したがって、表裏区別を判別する工程を
除くことができ、そのためのマスクを付ける工程が削減
できる。
基板の表面だけでなく裏面にも同一の誘電体多層膜を成
膜する。この場合、同一の誘電体多層膜を基板の両面に
成膜するので、誘電体多層膜フィルタは表裏の区別がな
く対称となる。したがって、表裏区別を判別する工程を
除くことができ、そのためのマスクを付ける工程が削減
できる。
【００１２】また、従来は、主に電子ビーム蒸着法によ
り誘電体多層膜が成膜されていた。この場合基板温度は
２００度以上の高温になるため室温に戻したときに生じ
る熱収縮によるこれら熱応力の発生が顕著であった。し
かしこの発明では誘電体多層膜が基板の表裏に形成され
ているため前記熱応力の問題はそれ程影響がない。特に
８０度程度の比較的低温で成膜可能なイオンビームスパ
ッタ法、原子ビームスパッタ法、あるいはイオンアシス
ト蒸着法により成膜を行えば基板の両面に同一の誘電体
多層膜をそれぞれ成膜することとの相乗的効果により、
膜応力はつり合いが保たれ、反りの発生を無くすか、低
減することが可能となる。
り誘電体多層膜が成膜されていた。この場合基板温度は
２００度以上の高温になるため室温に戻したときに生じ
る熱収縮によるこれら熱応力の発生が顕著であった。し
かしこの発明では誘電体多層膜が基板の表裏に形成され
ているため前記熱応力の問題はそれ程影響がない。特に
８０度程度の比較的低温で成膜可能なイオンビームスパ
ッタ法、原子ビームスパッタ法、あるいはイオンアシス
ト蒸着法により成膜を行えば基板の両面に同一の誘電体
多層膜をそれぞれ成膜することとの相乗的効果により、
膜応力はつり合いが保たれ、反りの発生を無くすか、低
減することが可能となる。
【００１３】
【発明の実施の形態】図１Ａにこの発明の実施例を示
す。この図に示すようにこの発明によれば石英ガラスの
ような透明基板１１の両面に誘電体多層膜１２，３１が
形成される。これら誘電体多層膜１２，３１の膜設計が
同一である。つまり、基板１１に対し誘電体多層膜１
２，３１は対称な構造となる。誘電体多層膜１２，３１
はそれぞれ屈折率が異なる誘電体層が多層に積層される
が、両誘電体多層膜１２，３１に用いる誘電体層の材質
膜厚も同一であり、その積層数も同一であって、基板１
１に直接接する誘電体層も同一とされる。
す。この図に示すようにこの発明によれば石英ガラスの
ような透明基板１１の両面に誘電体多層膜１２，３１が
形成される。これら誘電体多層膜１２，３１の膜設計が
同一である。つまり、基板１１に対し誘電体多層膜１
２，３１は対称な構造となる。誘電体多層膜１２，３１
はそれぞれ屈折率が異なる誘電体層が多層に積層される
が、両誘電体多層膜１２，３１に用いる誘電体層の材質
膜厚も同一であり、その積層数も同一であって、基板１
１に直接接する誘電体層も同一とされる。
【００１４】次に図２の光学部分にこの発明のフィルタ
３２を適用した具体例を示す。この例は光通信分野にお
ける１．３μｍ透過、１．５５μｍ遮断型誘電体多層膜
フィルタ３２に適用した例を示す。光学的仕様としては
以下の通りである。 波長１．３１μｍ ： 透過損失 ＜０．２ｄＢ。 波長１．５５μｍ、１．６６μｍ ： 透過損失 ＞ ３５ｄＢ。
３２を適用した具体例を示す。この例は光通信分野にお
ける１．３μｍ透過、１．５５μｍ遮断型誘電体多層膜
フィルタ３２に適用した例を示す。光学的仕様としては
以下の通りである。 波長１．３１μｍ ： 透過損失 ＜０．２ｄＢ。 波長１．５５μｍ、１．６６μｍ ： 透過損失 ＞ ３５ｄＢ。
【００１５】光の入射角θｉは４度。光ファイバ芯線１
５，１６の各コアの屈折率は波長１．３１μｍで１．４
１とする。基板１１の材質は厚さが０．１ｍｍの石英ガ
ラスとする。各誘電体多層膜１２，３１を２種類の誘電
体材料、５酸化タンタルＴａ2 Ｏ5と２酸化珪素ＳｉＯ
2 を用いて構成する。それぞれの屈折率は波長１３００
ｎｍにおいて、２．０と１．４５である。片面のみに成
膜する場合には積層される膜数は全部で４１層である。
これに対して、両面に同一の膜設計の誘電体多層膜１
２，３１を形成した場合は、１面当たりの膜数を低減す
ることができ、片面で３７層で済んだ。
５，１６の各コアの屈折率は波長１．３１μｍで１．４
１とする。基板１１の材質は厚さが０．１ｍｍの石英ガ
ラスとする。各誘電体多層膜１２，３１を２種類の誘電
体材料、５酸化タンタルＴａ2 Ｏ5と２酸化珪素ＳｉＯ
2 を用いて構成する。それぞれの屈折率は波長１３００
ｎｍにおいて、２．０と１．４５である。片面のみに成
膜する場合には積層される膜数は全部で４１層である。
これに対して、両面に同一の膜設計の誘電体多層膜１
２，３１を形成した場合は、１面当たりの膜数を低減す
ることができ、片面で３７層で済んだ。
【００１６】図１Ｂは両者の透過損失特性を示したもの
である。点線は片面に誘電体多層膜をもつ誘電体多層膜
フィルタ（図２Ａ）の、実線は両面に同一の誘電体多層
膜を有する誘電体多層膜フィルタ（図１Ａ）の透過特性
である。必要とされる波長１．３１μｍ／１．５５μ
ｍ，１．６６μｍでは、実用上ほぼ同等の透過特性が得
られた。
である。点線は片面に誘電体多層膜をもつ誘電体多層膜
フィルタ（図２Ａ）の、実線は両面に同一の誘電体多層
膜を有する誘電体多層膜フィルタ（図１Ａ）の透過特性
である。必要とされる波長１．３１μｍ／１．５５μ
ｍ，１．６６μｍでは、実用上ほぼ同等の透過特性が得
られた。
【００１７】図４に示した光学要素にこの発明による両
面誘電体多層膜フィルタ３２を用いると、誘電体多層膜
フィルタ３１で光導波路２３より入射された光信号のう
ち、波長がλ1 の光を透過させ、波長がλ2 の光を反射
させ、光導波路２３内を伝搬する２つの波長成分λ1 ，
λ2 のうち波長成分λ2 のみを反射させ光導波路２５へ
供給し、また、波長成分λ1 のみを光導波路２４へ伝搬
させることができる。光導波路２５への反射光は、光導
波路２３，２５とフィルタ３２との接触面でも比較的大
きな反射が得られ、従来のフィルタ１７を用いる場合よ
り波長成分λ2を少ない損失で得ることができる。
面誘電体多層膜フィルタ３２を用いると、誘電体多層膜
フィルタ３１で光導波路２３より入射された光信号のう
ち、波長がλ1 の光を透過させ、波長がλ2 の光を反射
させ、光導波路２３内を伝搬する２つの波長成分λ1 ，
λ2 のうち波長成分λ2 のみを反射させ光導波路２５へ
供給し、また、波長成分λ1 のみを光導波路２４へ伝搬
させることができる。光導波路２５への反射光は、光導
波路２３，２５とフィルタ３２との接触面でも比較的大
きな反射が得られ、従来のフィルタ１７を用いる場合よ
り波長成分λ2を少ない損失で得ることができる。
【００１８】基板１１としては光損失を少なくする点か
ら厚さは０．１５ｍｍ程度以下が好ましい。
ら厚さは０．１５ｍｍ程度以下が好ましい。
【００１９】
【発明の効果】この発明の誘電体多層膜フィルタによれ
ば、表裏の区別がないため片面のみ成膜していた従来の
誘電体多層膜フィルタで問題であった膜応力による“反
り”をなくすか、低減することができる。また、誘電体
多層膜フィルタを用いる光学部品の製造工程でフィルタ
の表裏区別を判別する工程を除くことができ、そのため
のマスクを付ける工程が削減でき低価格な誘電体多層膜
フィルタができる。
ば、表裏の区別がないため片面のみ成膜していた従来の
誘電体多層膜フィルタで問題であった膜応力による“反
り”をなくすか、低減することができる。また、誘電体
多層膜フィルタを用いる光学部品の製造工程でフィルタ
の表裏区別を判別する工程を除くことができ、そのため
のマスクを付ける工程が削減でき低価格な誘電体多層膜
フィルタができる。
【図１】Ａはこの発明による誘電体多層膜フィルタを例
示する断面図、Ｂは誘電体多層膜フィルタの透過特性を
示すグラフである。
示する断面図、Ｂは誘電体多層膜フィルタの透過特性を
示すグラフである。
【図２】Ａは従来の誘電体多層膜フィルタを示す断面
図、Ｂは従来の基板の一部に誘電体多層膜を形成したフ
ィルタを示す平面図、ＣはＢのＡ，Ａ′線断面図であ
る。
図、Ｂは従来の基板の一部に誘電体多層膜を形成したフ
ィルタを示す平面図、ＣはＢのＡ，Ａ′線断面図であ
る。
【図３】光学要素の例を示し、Ａは平面図、Ｂは断面図
である。
である。
【図４】光学要素の他の例を示し、Ａは平面図、Ｂは断
面図である。
面図である。
Claims (4)
- 【請求項１】 基板の表面と裏面とに、それぞれ屈折率
の異なる誘電体を積層した誘電体多層膜が形成されてい
ることを特徴とする誘電体多層膜フィルタ。 - 【請求項２】 上記表面と裏面の誘電体多層膜は上記基
板に対して対称構造とされていることを特徴とする請求
項１記載の誘電体多層膜フィルタ。 - 【請求項３】 上記基板は厚さが０．１５ｍｍ程度以下
であることを特徴とする請求項１又は２記載の誘電体多
層膜フィルタ。 - 【請求項４】 光通信用光学素子に、その光学通路に対
し、その光進方向に対して傾斜して挿入実装されている
ことを特徴とする誘電体多層膜フィルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10003907A JPH11202126A (ja) | 1998-01-12 | 1998-01-12 | 誘電体多層膜フィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10003907A JPH11202126A (ja) | 1998-01-12 | 1998-01-12 | 誘電体多層膜フィルタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11202126A true JPH11202126A (ja) | 1999-07-30 |
Family
ID=11570268
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10003907A Pending JPH11202126A (ja) | 1998-01-12 | 1998-01-12 | 誘電体多層膜フィルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11202126A (ja) |
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