JP2009265346A - 接合光学部品とその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】2個以上の光学材料(Nd:YAG結晶とYAG結晶)1とこれ等光学材料間に設けられ材料間の反射を防止する誘電体多層膜2とを具備した特定波長域を透過させる接合光学部品であって、光学材料とその両面に原子層堆積(ALD)法により成膜された両面対称構造を有する一対の誘電体多層膜とで構成される2個以上の誘電体多層膜構造体10がその誘電体多層膜を介し直接接合されて成ることを特徴とする。また、接合光学部品の製造方法は、光学材料の両面にALD法により両面対称構造を有する一対の誘電体多層膜を同時に成膜して誘電体多層膜構造体を製造し、得られた2個以上の誘電体多層膜構造体をその誘電体多層膜を介し直接接合して接合光学部品を製造することを特徴とする。
【選択図】 図4
Description
接合される2個以上の光学材料とこれ等光学材料間に設けられ材料間の反射を防止する誘電体多層膜とを具備した特定波長域を透過させる接合光学部品において、
光学材料とその両面に原子層堆積(Atomic Layer Deposition:ALD)法により成膜された両面対称構造を有する一対の誘電体多層膜とで構成される2個以上の誘電体多層膜構造体が、その誘電体多層膜を介し直接接合されて成ることを特徴とするものである。
請求項1に記載の接合光学部品の製造方法において、
光学材料の両面に原子層堆積(Atomic Layer Deposition:ALD)法により両面対称構造を有する一対の誘電体多層膜を同時に成膜して2個以上の誘電体多層膜構造体を製造し、得られた2個以上の誘電体多層膜構造体をその誘電体多層膜を介し直接接合して接合光学部品を製造することを特徴とする。
請求項2に記載の発明に係る接合光学部品の製造方法において、
上記光学材料の材質が、ガラス、セラミック、石英、結晶のいずれかであることを特徴とし、
請求項4に係る発明は、
請求項2または3に記載の発明に係る接合光学部品の製造方法において、
ALD装置内において、2個以上の誘電体多層膜構造体を、その誘電体多層膜の成膜直後に接合することを特徴とするものである。
1.ALD法
原子層堆積(Atomic Layer Deposition:ALD)法は、真空容器(成膜装置)中に光学材料を配置する共に、分子層を構成する元素が含まれる原料ガスを交互に真空容器内に導入して、光学材料表面側に吸着された分子と次に導入される原料ガスとの反応により分子層を形成するもので、分子層の膜厚を原子層レベルで制御できる方法である。従って、ALD法で用いられる成膜装置(原子層堆積装置)においては、PVD法やCVD法で用いられる成膜装置に必要であった高価な部品ユニットや高速回転機構等が不要となり、従来の成膜方法と比べて成膜コストの低減が図れる。
(1)水分子を導入して光学材料の表面若しくは既に成膜が行われた面にOH基を吸着させる。
2H2O+:O−Al(CH3)2 → :Al−O−Al(OH)2+2CH4
(2)余剰水分子をパージ排気する。
(3)Al2O3膜の原料ガスであるTMA[Trimethyl Aluminum:Al(CH3)3]ガスを導入する。TMA分子がOH基と反応してCH4ガスが発生する。
Al(CH3)3+:O−H → :O−Al(CH3)2+CH4
(1層目以降の反応)
Al(CH3)3+:Al−O−H → :Al−O−Al(CH3)2+CH4
(4)CH4ガスをパージ排気する。
2.接合光学部品の製造方法
本発明に係る接合光学部品を得るには、上述したように両面対称構造を有する一対の誘電体多層膜を原子層堆積(Atomic Layer Deposition:ALD)法により光学材料両面に同時に成膜して誘電体多層膜構造体を製造し、得られた2個以上の誘電体多層膜構造体をその誘電体多層膜を直接介し接合して製造することができる。
[比較例]
2個の光学材料(Nd:YAG結晶とYGA結晶)を上記ALD装置内にセットし、その後、チャンバ(真空容器)を133Pa(1Torr)まで排気し、光学材料1を300℃に加熱した。
実施例に係る誘電体多層膜構造体および2個の誘電体多層膜構造体を接合して得られた実施例に係る接合光学部品の各分光透過特性と、0.1mmの間隔(エアーギャップ)で平行に配置し固定した比較例に係る光学部品の分光透過特性をそれぞれ自記分光光度計により測定した。
2 誘電体多層膜
3 基板ホルダー
4 プレス治具
10 誘電体多層膜構造体
Claims (4)
- 接合される2個以上の光学材料とこれ等光学材料間に設けられ材料間の反射を防止する誘電体多層膜とを具備した特定波長域を透過させる接合光学部品において、
光学材料とその両面に原子層堆積(Atomic Layer Deposition:ALD)法により成膜された両面対称構造を有する一対の誘電体多層膜とで構成される2個以上の誘電体多層膜構造体が、その誘電体多層膜を介し直接接合されて成ることを特徴とする接合光学部品。 - 請求項1に記載の接合光学部品の製造方法において、
光学材料の両面に原子層堆積(Atomic Layer Deposition:ALD)法により両面対称構造を有する一対の誘電体多層膜を同時に成膜して2個以上の誘電体多層膜構造体を製造し、得られた2個以上の誘電体多層膜構造体をその誘電体多層膜を介し直接接合して接合光学部品を製造することを特徴とする接合光学部品の製造方法。 - 上記光学材料の材質が、ガラス、セラミック、石英、結晶のいずれかであることを特徴とする請求項2に記載の接合光学部品の製造方法。
- ALD装置内において、2個以上の誘電体多層膜構造体をその誘電体多層膜の成膜直後に接合することを特徴とする請求項2または3に記載の接合光学部品の製造方法。
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