JP2015084103A - 光学フィルムの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】厚みが２００μｍ以下のガラスフィルムを基材とした光学フィルムであって、反りの抑制された光学フィルムを提供する。【解決手段】光学フィルム１は、透光性のガラスフィルム１１と、第１及び第２の無機光学的機能膜１２，１３とを備えている。ガラスフィルム１１の厚みは、２００μｍ以下である。第１の無機光学的機能膜１２は、ガラスフィルム１１の一方の表面１１ａの上に形成されている。第２の無機光学的機能膜１３は、ガラスフィルム１１の他方の表面１１ｂの上に形成されている。【選択図】図１

Description

本発明は、光学フィルム及びその製造方法に関する。特に、本発明は、厚みが２００μｍ以下のガラスフィルムを基材とした光学フィルム及びその製造方法に関する。

従来、例えば光学素子の基材などとして、ガラス基材が多用されている。近年、光学素子などに対する小型化、薄型化の要求が高まる中、光学素子などに用いるガラス基材に対する薄型化の要望も高まってきている。それに伴って、ガラス基材のさらなる薄型化の研究が盛んに行われている。

例えば下記の特許文献１には、厚さが０．３ｍｍ未満のガラスフィルムが開示されている。特許文献１によると、厚さが０．３ｍｍ未満のガラスフィルムは耐擦傷性向上のために使用されている。

特開２００７−３３１９９６号公報

上述のように、光学素子に関しても薄型化の要望が高まっているため、上記特許文献１に記載のような薄いガラスフィルムを光学素子の基材として用いることにより、光学素子の薄型化を図ることも考えられる。また、厚いガラス板とは異なり、薄いガラスフィルムは可撓性を有することが知られている。

しかしながら、ガラスフィルムの表面の上に反射防止膜などの無機光学的機能膜を形成した場合、無機光学的機能膜の膜応力により、ガラスフィルムが大きく反ってしまう。このため、従来、耐擦傷性、可撓性及び平坦性を有する光学素子を得ることができなかった。

そこで、本発明は、厚みが２００μｍ以下のガラスフィルムを基材とした光学フィルムであって、反りの抑制された光学フィルムを提供することにある。

本発明の光学フィルムは、透光性のガラスフィルムと、第１及び第２の無機光学的機能膜とを備えている。ガラスフィルムの厚みは、２００μｍ以下である。第１の無機光学的機能膜は、ガラスフィルムの一方の表面の上に形成されている。第２の無機光学的機能膜は、ガラスフィルムの他方の表面の上に形成されている。

厚みが２００μｍ以下であるガラスフィルムは、可撓性を有する。このため、例えば、ガラスフィルムの一方の表面の上にのみ、無機光学的機能膜を形成すると、光学フィルムに大きな反りが発生してしまい、高い平坦性を有する光学フィルムを得ることができない。それに対して、本発明では、無機光学的機能膜が第１及び第２の無機光学的機能膜に分けられており、またガラスフィルムの一方の表面の上に第１の無機光学的機能膜が形成されており、ガラスフィルムの他方の表面の上に第２の無機光学的機能膜が形成されている。このため、第１及び第２の無機光学的機能膜の両方が圧縮応力または引張応力を付与するものである場合は、第１の無機光学的機能膜の応力と第２の無機光学的機能膜との応力とが打ち消しあう。その結果、光学フィルムに発生する反りを抑制することができる。

また、無機光学的機能膜を、膜数の多い多層膜（例えば４０層以上）としたり、厚くして、光学フィルムに所望の光学特性を付与する場合がある。その場合において、ガラスフィルムの一方の表面の上にのみ、このような無機光学的機能膜を形成すると、光学フィルムに不当な反りが発生し、ガラスフィルムが破損するおそれがある。しかし、本発明では、ガラスフィルムの第１の無機光学的機能膜と第２の無機光学的機能膜との両方で光学フィルムの光学的機能が実現されている。このため、各無機光学的機能膜の厚みが薄く、または層数が少なくても、光学フィルム全体として、所望の光学特性を得ることができる。さらに、各無機光学的機能膜の応力が低下し、光学フィルムに発生する反りをより効果的に抑制することができる。特に、本発明の光学フィルムは、前記第１の無機光学的機能膜の膜数と、前記第２の無機光学的機能膜の膜数との合計が４０層以上であることが好ましい。このようにすれば、所望の光学特性を得やすくなる。

なお、本発明において、「透光性」とは、光学フィルムに入射する光の少なくとも一部を透過させる性質を意味する。すなわち、透光性のガラスフィルムは、光学フィルムに入射する光の少なくとも一部を透過させる部材である。ここで、光学フィルムの使用波長域は、可視光域に限定されない。光学フィルムの使用波長域は、例えば、紫外波長域、近紫外波長域、近赤外波長域または赤外波長域であってもよい。また、本発明において、「透過させる」とは、少なくとも一部の光を透過させることを意味し、全ての光を透過させること（すなわち、光透過率が１００％であること）のみを意味するものではない。

本発明において「無機光学的機能膜」とは、光学フィルムに何らかの光学的機能を付与する無機膜である。光学的機能としては、例えば、光反射抑制、光の選択的透過、光の選択的反射などが例示される。「無機膜」とは、無機材料を主成分とする膜である。

本発明において、第１及び第２の無機光学的機能膜のそれぞれの厚みは、ガラスフィルムの厚みの０．００１倍〜０．８倍の範囲内にあることが好ましい。このようにすれば、所望の光学特性を確保しつつ、光学フィルムの反りを抑制しやすくなる。

本発明において、第１及び第２の無機光学的機能膜の少なくとも一方は、相対的に屈折率が高い高屈折率膜と、相対的に屈折率が低い低屈折率膜とが交互に積層された積層膜からなるものであってもよい。この構成によれば、光反射抑制機能や、波長分離機能などの光学的機能を光学フィルムに付与することができる。

なお、本発明において、低屈折率膜と高屈折率膜とは、相対的に定義される膜である。すなわち、低屈折率膜とは、高屈折率膜よりも低い屈折率を有する膜であり、逆に、高屈折率膜とは、低屈折率膜よりも高い屈折率を有する膜である。

低屈折率膜は、例えば、酸化ケイ素、酸化アルミニウム、フッ化アルカリ土類金属により形成することができる。

一方、高屈折率膜は、例えば、酸化チタン、酸化ニオブ、酸化タングステン、酸化鉛、酸化ランタン、酸化タンタル、酸化ジルコン、硫化亜鉛により形成することができる。

なお、複数の低屈折率膜を設ける場合、複数の低屈折率膜の全てが実質的に同じ屈折率を有している必要は必ずしもない。例えば、複数の低屈折率膜の中には、相互に屈折率が異なる低屈折率膜が存在してもよい。同様に、複数の高屈折率膜を設ける場合、複数の高屈折率膜の全てが実質的に同じ屈折率を有している必要は必ずしもない。例えば、複数の高屈折率膜の中には、相互に屈折率が異なる低屈折率膜が存在してもよい。

また、光学フィルムに発生する反りをさらに効果的に抑制する観点からは、第１の無機光学的機能膜における膜厚（ｔ２）と、第２の無機光学的機能膜における膜厚（ｔ３）との差（Δｔ）は、第１の無機光学的機能膜における膜数（ｔ２）と第２の無機光学的機能膜における膜数（ｔ３）とのうちの少ない方の１．５倍以下であることが好ましく、１．２５倍以下であることがより好ましく、Δｔがゼロ、すなわち、ｔ２＝ｔ３であることがさらに好ましい。さらには、第１の無機光学的機能膜と第２の無機光学的機能膜とが同一の膜構成を有することが好ましい。このようにすれば、第１の無機光学的機能膜の膜応力と第２の無機光学的機能膜の膜応力との差をより小さくすることができるからである。

本発明の光学フィルムの製造方法は、上記本発明の光学フィルムを製造する方法に関する。本発明の光学フィルムの製造方法では、第１の保持部材の上に載置したガラスフィルムを、ガラスフィルムの一部を覆う第２の保持部材でガラスフィルムを第１の保持部材側に相対的に押圧することにより、第１及び第２の保持部材でガラスフィルムを平面状に保持した状態で、ガラスフィルムの第２の保持部材側の表面に第１の無機光学的機能膜を形成する。このようにすることにより、反りの抑制された光学フィルムを製造することができる。

第１の保持部材は、例えば平板状に形成されていてもよい。その場合は、ガラスフィルムの一方側の表面が第１の保持部材により覆われることとなるため、第１の無機光学的機能膜を形成した後に、第１及び第２の保持部材からガラスフィルムを取り出し、ガラスフィルムの第１の無機光学的機能膜側を第１の保持部材に向けてガラスフィルムを第１の保持部材の上に配置し、第２の保持部材でガラスフィルムを第１の保持部材側に相対的に押圧することにより、第１及び第２の保持部材でガラスフィルムを平面状に保持した状態で、ガラスフィルムの第２の保持部材側の表面に第２の無機光学的機能膜を形成することが好ましい。

一方、第１の保持部材がガラスフィルムの一部を覆い、ガラスフィルムの一部が第１の保持部材から露出している場合は、第１の無機光学的機能膜を形成した後に、第１及び第２の保持部材でガラスフィルムを平面状に保持した状態を維持しつつ、ガラスフィルムの第１の保持部材側の表面に第２の無機光学的機能膜を形成することが好ましい。この場合は、第１及び第２の保持部材でガラスフィルムを保持した状態のまま、第１及び第２の無機光学的機能膜を形成することができる。従って、光学フィルムの製造効率が向上する。

本発明において、第１の保持部材は、額縁状に形成されており、第１の保持部材を、ガラスフィルムの周縁部を覆うように配置し、第２の保持部材は、額縁状に形成されており、第２の保持部材を、ガラスフィルムの周縁部を覆うように配置することが好ましい。この場合、反りがさらに効果的に抑制された光学フィルムを製造することができる。

また、第２の保持部材を、ガラスシートが設けられている領域を複数に分断するように配置することが好ましい。この場合は、ガラスシート上に形成される無機光学的機能膜の膜応力を区画された領域毎に分断することができる。従って、反りがより抑制された光学フィルムを製造することができる。

本発明によれば、厚みが２００μｍ以下のガラスフィルムを基材とした光学フィルムであって、反りの抑制された光学フィルムを提供することができる。

本発明の光学フィルムの一実施形態に係る略図的断面図である。 図３の線ＩＩ−ＩＩにおける略図的断面図である。 光学フィルムの製造方法の第１の例を説明するための略図的平面図である。なお、図３においては、説明の便宜上、第２の保持部材が設けられている領域にハッチングを附している。 光学フィルムの製造方法の第１の例を説明するための略図的断面図である。 光学フィルムの製造方法の第１の例の第１の変形例における第２の保持部材の形状を説明するための略図的平面図である。なお、図５においては、説明の便宜上、第２の保持部材が設けられている領域にハッチングを附している。 光学フィルムの製造方法の第１の例の第２の変形例における第２の保持部材の形状を説明するための略図的平面図である。なお、図６においては、説明の便宜上、第２の保持部材が設けられている領域にハッチングを附している。 光学フィルムの製造方法の第１の例の第３の変形例における第２の保持部材の形状を説明するための略図的平面図である。なお、図７においては、説明の便宜上、第２の保持部材が設けられている領域にハッチングを附している。 光学フィルムの製造方法の第１の例の第４の変形例における第２の保持部材の形状を説明するための略図的平面図である。なお、図８においては、説明の便宜上、第２の保持部材が設けられている領域にハッチングを附している。 光学フィルムの製造方法の第１の例の第５の変形例における第２の保持部材の形状を説明するための略図的平面図である。なお、図９においては、説明の便宜上、第２の保持部材が設けられている領域にハッチングを附している。 光学フィルムの製造方法の第２の例を説明するための略図的分解斜視図である。 第１の無機光学的機能膜１２を表１に示す膜構成とし、第２の無機光学的機能膜１３を表２に示す膜構成とした場合の光学フィルムの光透過率を表すグラフである。 第１の無機光学的機能膜１２を表３に示す膜構成とし、第２の無機光学的機能膜１３を表４に示す膜構成とした場合の光学フィルムの光透過率を表すグラフである。 第１の無機光学的機能膜１２を表５に示す膜構成とし、第２の無機光学的機能膜１３を表６に示す膜構成とした場合の光学フィルムの光透過率を表すグラフである。

以下、本発明を実施した好ましい形態について、図１に示す光学フィルム１を例に挙げて説明する。但し、光学フィルム１は、単なる例示である。本発明に係る光学フィルムは、光学フィルム１に何ら限定されない。

図１に示すように、光学フィルム１は、基材として、透光性を有するガラスフィルム１１を備えている。本実施形態において、ガラスフィルム１１は、２００μｍ以下の厚みｔ１を有している。このため、ガラスフィルム１１は、可撓性を有する。

ガラスフィルム１１の厚みｔ１が薄いほど、光学フィルムの可撓性が向上し、また光学フィルム１の厚みが小さくなる。このため、ガラスフィルム１１の厚みｔ１は、さらに薄いことが好ましい。ガラスフィルム１１の厚みｔ１は、２００μｍ以下であることが好ましく、１００μｍ以下であることがより好ましく、１００μｍ未満であることがさらに好ましく、５０μｍ以下であることがよりさらに好ましく、５０μｍ未満であることが特に好ましい。但し、ガラスフィルム１１の厚みｔ１が小さすぎると、ガラスフィルム１１の取り扱いが極めて困難になるため、ガラスフィルム１１の厚みｔ１は、５μｍ以上であることが好ましく、１０μｍ以上であることがより好ましい。

ガラスフィルム１１の形状寸法は、上記厚みｔ１の範囲である限りにおいて特に限定されない。ガラスフィルム１１の平面形状は、例えば、正方形、矩形、円形、楕円形、長円形、多角形であってもよい。ガラスフィルム１１の大きさは、例えばガラスフィルム１１が円形である場合は、直径で５ｍｍ〜１００ｍｍ程度とすることができる。また、ガラスフィルム１１が矩形である場合は、ガラスフィルム１１の長辺の長さは、５ｍｍ〜１００ｍｍ程度とすることができる。

ガラスフィルム１１は、ダウンドロー法、特にオーバーフローダウンドロー法で成形されてなることが好ましい。このようにすれば、ガラスフィルム１１の表面精度を高めることができるため、第１及び第２の無機光学的機能膜１２，１３の膜精度を高めやすくなる。また、オーバーフローダウンドロー法であれば、２００μｍ以下のガラスフィルム１１を成形しやすく、更には研磨工程を省略できるため、ガラスフィルム１１の生産コストを低廉化することができる。

ガラスフィルム１１は、珪酸塩系ガラス、硼酸塩系ガラス、硼珪酸塩系ガラス、リン酸塩系ガラスなどのガラスにより形成することができる。中でも、ガラスフィルム１１は、無アルカリガラスにより形成されていることが好ましい。その場合、ガラスフィルム１１の強度や剛性を高めつつ、ガラスフィルム１１の耐候性も高めることができる。

ガラスフィルム１１は、ガラス組成として、質量百分率で、ＳｉＯ_２ ５０〜７０％、Ａｌ_２Ｏ_３ １０〜２５％、Ｂ_２Ｏ_３ １〜１５％、ＭｇＯ ０〜１０％（好ましくは２％未満）、ＣａＯ ０〜１５％（好ましくは５〜１５％）、ＳｒＯ ０〜１５％、ＢａＯ
０〜１５％（好ましくは０．１〜２％）、Ｎａ_２Ｏ ０〜５％（好ましくは０．１％未満）含有することが好ましい。上記構成によれば、歪点が高く、且つオーバーフローダウンドロー法に適した液相粘度を有するガラス組成を選択することが容易になる。また耐薬品性、比ヤング率、化学耐久性、溶融性等に優れたガラス組成とすることも可能になる。なお、歪点が高いと、ガラスフィルム１１中の応力を低下できるため、光学フィルム１の反りを低減しやすくなる。

ガラスフィルム１１において、成膜前のガラスフィルム１１中の歪み値は３．０ｎｍ以下、特に２．５ｎｍ以下が好ましい。このようにすれば、光学フィルム１の反りを低減しやすくなる。なお、成形時の冷却速度を遅くすれば、ガラスフィルム１１中の歪み値を低下しやすくなる。ここで、「歪み値」とは、歪計を用いて光ヘテロダイン法により測定した値を意味する。

ガラスフィルム１１の両面の平均表面粗さＲａは０．２ｎｍ以下が好ましい。このようにすれば、第１及び第２の無機光学的機能膜１２，１３の膜精度を高めやすくなる。なお、オーバーフローダウンドロー法でガラスフィルム１１を成形すれば、ガラスフィルム１１の両面の平均表面粗さＲａを０．２ｎｍ以下に規制しやすくなる。ここで、「平均表面粗さＲａ」は、ＳＥＭＩ Ｄ７−９４「ＦＰＤガラス基板の表面粗さの測定方法」に準拠した方法により測定した値を意味する。

ガラスフィルム１１において、液相粘度は１０^４．０ｄＰａ・ｓ以上であることが好ましく、１０^４．５ｄＰａ．ｓ以上であることがより好ましく、１０^５．０ｄＰａ・ｓ以上であることがさらに好ましく、１０^５．５ｄＰａ・ｓ以上であることがなお好ましく、１０^６．０ｄＰａ・ｓ以上であることが特に好ましい。なお、液相粘度は結晶が析出する時の粘度であり、液相粘度が高いほど、成形時に失透が発生しにくくなることから、成形しやすくなる。

ガラスフィルム１１の熱膨張係数は２５〜１００×１０^−７／℃であることが好ましく、３０〜９０×１０^−７／℃であることがより好ましく、３０〜８０×１０^−７／℃であることがさらに好ましく、３０〜４０×１０^−７／℃であることがなお好ましく、３２〜４０×１０^−７／℃であることが特に好ましい。熱膨張係数が大きすぎると、成膜プロセス等で受ける熱衝撃によってガラスフィルム１１が破損しやすくなる。一方、熱膨張係数が小さすぎると、ガラスフィルム１１の熱膨張係数が、第１及び第２の無機光学的機能膜１２，１３の熱膨張係数に整合し難くなるため、光学フィルム１の反りが大きくなる。ここで、「熱膨張係数」は、３０〜３８０℃の温度範囲において、ディラトメーターで測定した平均値を指す。

ガラスフィルム１１のヤング率は１０ＧＰａ以上であることが好ましく、３０ＧＰａ以上であることがさらに好ましく、５０ＧＰａ以上であることがなお好ましく、６０ＧＰａ以上であることがさらにまた好ましく、７０ＧＰａ以上であることがさらに好ましく、７３ＧＰａ以上であることが特に好ましい。ヤング率が高い程、第１及び第２の無機光学的機能膜１２，１３によって発生する光学フィルム１の反り量を低減しやすくなる。一方、ヤング率が高過ぎると、ガラスフィルム１１を湾曲させた際に発生する応力が大きくなり、ガラスフィルム１１が破損しやすくなる。よって、ヤング率は９０ＧＰａ以下であることが好ましく、８５ＧＰａ以下であることがより好ましく、８０ＧＰａ以下であることがさらに好ましく、７８ＧＰａ以下であることが特に好ましい。ここで、「ヤング率」は、曲げ共振法により測定した値を指す。

ガラスフィルム１１は、第１及び第２の主面１１ａ、１１ｂを備えている。本実施形態では、第１及び第２の主面１１ａ、１１ｂの両方の上に、無機光学的機能膜が形成されている。具体的には、第１の主面１１ａの上には、第１の無機光学的機能膜１２が形成されており、第２の主面１１ｂの上には、第２の無機光学的機能膜１３が形成されている。この第１及び第２の無機光学的機能膜１２，１３は、光学フィルム１に対して、反射抑制機能、光の選択的透過機能、光の選択的反射機能などの所望の光学的機能を付与するための膜である。

本実施形態では、第１及び第２の無機光学的機能膜１２，１３は、所定の波長域の光を透過させ、その波長域以外の光を透過させない波長分離膜である。第１及び第２の無機光学的機能膜１２，１３のそれぞれは、相対的に屈折率が低い複数の低屈折率膜１５と、相対的に屈折率が高い複数の高屈折率膜１６とが交互に積層されてなる積層膜により構成されている。

低屈折率膜１５及び高屈折率膜１６の材質、厚みなどは、所望する光学特性に応じて適宜選択することができる。

より具体的には、例えば、第１の無機光学的機能膜１２を下記の表１に示す膜構成とし、第２の無機光学的機能膜１３を下記の表２に示す膜構成としてもよい。この場合、図１１に示すように、光学フィルム１を、４２０〜６３０ｎｍの波長域の光を選択的に透過する波長選択膜とすることができる。

例えば、第１の無機光学的機能膜１２を下記の表３に示す膜構成とし、第２の無機光学的機能膜１３を下記の表４に示す膜構成としてもよい。この場合、図１２に示すように、光学フィルム１を、４２０〜６３０ｎｍの波長域の光を選択的に透過する波長選択膜とすることができる。

例えば、第１の無機光学的機能膜１２を下記の表５に示す膜構成とし、第２の無機光学的機能膜１３を下記の表６に示す膜構成としてもよい。この場合、図１３に示すように、光学フィルム１を、４２０〜６３０ｎｍの波長域の光を選択的に透過する波長選択膜とすることができる。

ところで、厚みが２００μｍ以下であるガラスフィルムは、可撓性を有する。このため、例えば、ガラスフィルムの一方の表面の上にのみ、無機光学的機能膜を形成すると、光学フィルムに大きな反りが発生しやすくなる。それに対して、本実施形態では、無機光学的機能膜が、２つの第１及び第２の無機光学的機能膜１２，１３に分けられており、ガラスフィルム１１の両面１１ａ、１１ｂのそれぞれの上に、第１または第２の無機光学的機能膜１２，１３が形成されている。このため、第１及び第２の無機光学的機能膜１２，１３の両方が圧縮応力または引張応力を付与するものである場合は、第１の無機光学的機能膜１２の応力と第２の無機光学的機能膜１３との応力とが打ち消しあう。その結果、光学フィルム１に発生する反りを抑制することができる。

また、一つの無機光学的機能膜を設ける場合よりも第１及び第２の無機光学的機能膜１２，１３のそれぞれの厚みを薄くしたり、層数を少なくしたりすることができる。従って、第１及び第２の無機光学的機能膜１２，１３のそれぞれの応力を小さくすることができる。その結果、光学フィルム１に発生する反りをより効果的に抑制することができる。

次に、本実施形態の光学フィルム１の製造方法の第１の例について説明する。

まず、ガラスフィルム１１を用意する。次に、図２に示すように、ガラスフィルム１１を、平板状の第１の保持部材２１の上に載置する。具体的には、ここでは、ガラスフィルム１１の第２の主面１１ｂが第１の保持部材２１と対面するようにガラスフィルム１１を載置する。なお、第１の保持部材２１の材質や厚みなどは、第１の保持部材２１の剛性がガラスフィルム１１を保持し得る程度となる範囲であれば特に限定されない。第１の保持部材２１は、例えば、セラミックスや金属からなるものであってもよい。

次に、第１の保持部材２１の上に載置されたガラスフィルム１１の上に、第２の保持部材２２を配置し、この第２の保持部材２２を第１の保持部材２１側に相対的に押圧することにより、第１及び第２の保持部材２１，２２により、平板状にガラスフィルム１１を保持する。この状態で、ガラスフィルム１１の第１の主面１１ａに、第２の保持部材２２の上から成膜することにより、第１の無機光学的機能膜１２を形成する。

ここで、図３に示すように、第２の保持部材２２は、ガラスフィルム１１の一部を覆っており、ガラスフィルム１１の第１の主面１１ａの一部を露出させる形状を有する。具体的には、第２の保持部材２２は、中央から放射状に延びる複数の支持部２２ａを有する。より具体的には、本実施形態では、第２の保持部材２２は、４本の支持部２２ａにより十字状に形成されている。このため、この第１の例においては、第２の保持部材２２は、ガラスフィルム１１が設けられている領域を複数に分断するように配置されている。そして、成膜される第１の無機光学的機能膜１２も第２の保持部材２２により複数に分断されることとなる。従って、第１の無機光学的機能膜１２も膜応力も、区画された領域毎に複数に分断することができる。その結果、第１の無機光学的機能膜１２の膜応力に起因するガラスフィルム１１の反り量をより効果的に抑制することができる。

なお、第２の保持部材２２の材質や厚みなどは、第２の保持部材２２の剛性がガラスフィルム１１を保持し得る程度となる範囲であれば特に限定されない。第２の保持部材２２は、例えば、セラミックスや金属からなるものであってもよい。

次に、ガラスフィルム１１を第１及び第２の保持部材２１，２２から取り出し、図４に示すように、第１の無機光学的機能膜１２が形成された第１の主面１１ａ側を第１の保持部材２１側として、第１の保持部材２１の上に載置する。そして、第２の保持部材２２を第１の保持部材２１の上に載置されたガラスフィルム１１の上に、第２の保持部材２２を配置し、この第２の保持部材２２を第１の保持部材２１側に相対的に押圧することにより、第１及び第２の保持部材２１，２２により、平板状にガラスフィルム１１を保持する。この状態で、ガラスフィルム１１の第２の主面１１ｂに、第２の保持部材２２の上から成膜することにより、第２の無機光学的機能膜１３を形成する。最後に、第１及び第２の無機光学的機能膜１２，１３が形成された領域から光学フィルム１を切り出すことにより、光学フィルム１を完成させる。

なお、第１及び第２の無機光学的機能膜１２，１３のそれぞれの形成方法は特に限定されない。第１及び第２の無機光学的機能膜１２，１３のそれぞれは、真空蒸着法、スパッタリング法などにより形成することができる。

このように、第１及び第２の保持部材２１，２２によりガラスフィルム１１を平面状に保持した状態で成膜を行うことができる。

なお、第２の保持部材２２の形状は、上記第１の例における形状に何ら限定されない。例えば、図５に示すように、第２の保持部材２２は、対角線状に形成されていてもよい。図６に示すように、第２の保持部材２２は、Ｖ字状に形成されていてもよい。図７に示すように、第２の保持部材２２は、額縁状に形成されていてもよい。図８及び図９に示すように、第２の保持部材２２は、中心から放射状に延びる支持部２２ａと、額縁部２２ｂとを有するものであってもよい。

同様に、第１の保持部材２１の形状も第２の保持部材２２と同様に、何ら限定されない。第１の保持部材２１は、例えば、図５〜図９に示す第２の保持部材２２と同様の形状を有していてもよい。

例えば、図１０に示すように、それぞれ額縁状に形成された第１及び第２の保持部材２１，２２でガラスフィルム１１を挟持することによりガラスフィルム１１を保持した状態で第１及び第２の無機光学的機能膜１２，１３を形成してもよい。この場合、第１及び第２の保持部材２１，２２による保持状態を解除することなく、第１及び第２の無機光学的機能膜１２，１３を形成することができる。具体的には、例えば、第２の保持部材２２の上から、第１の無機光学的機能膜１２を形成した後に、保持状態を維持しつつ反転させて、第１の保持部材２１の上から、第２の無機光学的機能膜１３を形成するようにしてもよい。

なお、上記実施形態では、第１及び第２の無機光学的機能膜１２，１３のそれぞれが多層膜により形成されている場合について説明した。但し、本発明において、第１及び第２の無機光学的機能膜のそれぞれは、多層膜に限定されない。第１及び第２の無機光学的機能膜のそれぞれは、単一の膜からなるものであってもよい。

以下、本発明について、具体的な実施例に基づいて、さらに詳細に説明するが、本発明は以下の実施例に何ら限定されるものではなく、その要旨を変更しない範囲において適宜変更して実施することが可能である。

（実施例１）
上記第１の例の方法に基づいて、下記の条件で光学フィルムを作製した。作製した光学フィルムの最大反り量を測定したところ、０．５ｍｍ以下であった。なお、第１の無機光学的機能膜１２を成膜した段階のガラスフィルムの最大反り量は、７ｍｍであった。

ガラスフィルムの寸法：１００ｍｍ×１００ｍｍ×５０μｍ
ガラスフィルムの種類：無アルカリガラス（日本電気硝子株式会社製ＯＡ−１０Ｇ）
第１の保持部材の形状：図２に示す平板状
第２の保持部材の形状：図３に示す十字状
第２の保持部材の材質：ガラス
第２の保持部材の幅Ｗ：１００ｍｍ
第２の保持部材の厚み：１ｍｍ
第１の無機光学的機能膜１２の膜構成：表１
第２の無機光学的機能膜１３の膜構成：表２
第１及び第２の無機光学的機能膜１２，１３の形成方法：真空蒸着法

（実施例２）
図５に示す対角線状の第２の保持部材を用いたこと以外は、上記実施例１と同様にして光学フィルムを作製し、最大反り量を測定した。その結果、実施例２において作製した光学フィルムの最大反り量は、０．５ｍｍ以下であった。なお、第１の無機光学的機能膜１２を成膜した段階のガラスフィルムの最大反り量は、７ｍｍであった。

（実施例３）
図６に示すＶ字状の第２の保持部材を用いたこと以外は、上記実施例１と同様にして光学フィルムを作製し、最大反り量を測定した。その結果、実施例３において作製した光学フィルムの最大反り量は、０．５ｍｍ以下であった。なお、第１の無機光学的機能膜１２を成膜した段階のガラスフィルムの最大反り量は、７ｍｍであった。

（実施例４）
第２の保持部材を用いず、平板状の第１の保持部材の上にガラスフィルムを載置して成膜を行ったこと以外は、上記実施例１と同様にして光学フィルムを作製し、最大反り量を測定した。その結果、実施例４において作製した光学フィルムの最大反り量は、０．５ｍｍ以下であった。なお、第１の無機光学的機能膜１２を成膜した段階の最大反り量は、１２ｍｍであった。

（実施例５）
図１０に示すように、それぞれ額縁状に形成された第１及び第２の保持部材を用いてガラスフィルムを保持した状態で、連続して第１及び第２の無機光学的機能膜１２，１３を形成したこと以外は、上記実施例１と同様にして光学フィルムを作製し、最大反り量を測定した。その結果、実施例５において作製した光学フィルムの最大反り量は、０．５ｍｍ以下であった。

（比較例）
第２の保持部材を用いず、平板状の第１の保持部材の上にガラスフィルムを載置して第１の無機光学的機能膜を形成し、且つ第２の無機光学的機能膜を形成しなかった以外は、上記実施例１と同様にして光学フィルムを作製し、最大反り量を測定した。その結果、比較例において作製した光学フィルムの最大反り量は、１２ｍｍであった。

上記表７に示すように、実施例１〜５に係る光学フィルムは、比較例に係る光学フィルムより最大反り量が小さかった。この結果から、反りの抑制された光学フィルムを作製できたことが分かる。また、第１の保持部材のみを用いた実施例４よりも、第１及び第２の保持部材を用いた実施例１〜３，５の方が第１の無機光学的機能膜１２を成膜した段階のガラスフィルムの最大反り量が小さかった。この結果から、第１及び第２の保持部材により光学フィルムを両側から保持した状態で成膜を行うことにより、ガラスフィルムの取り扱いが容易になると考えられる。

また、第１及び第２の保持部材の両方が、ガラスフィルムの額縁部を保持する額縁部を有する実施例５では、他の実施例よりも光学フィルムの反り量が顕著に小さかった。この結果から、第１及び第２の保持部材の両方が額縁部を有することが好ましいことが分かる。

１…光学フィルム
１１…ガラスフィルム
１１ａ…ガラスフィルムの第１の主面
１１ｂ…ガラスフィルムの第２の主面
１２…第１の無機光学的機能膜
１３…第２の無機光学的機能膜
１５…低屈折率膜
１６…高屈折率膜
２１…第１の保持部材
２２…第２の保持部材
２２ａ…支持部
２２ｂ…額縁部

Claims (4)

1. 厚みが２００μｍ以下の透光性のガラスフィルムと、前記ガラスフィルムの一方の表面の上に形成されている第１の無機光学的機能膜、前記ガラスフィルムの他方の表面の上に形成されている第２の無機光学的機能膜とを備える、光学フィルムの製造方法であって、
   ガラスフィルムの一部を覆う第１の保持部材の上に載置した前記ガラスフィルムを、前記ガラスフィルムの一部を覆う第２の保持部材で前記ガラスフィルムを前記第１の保持部材側に相対的に押圧することにより、前記第１及び第２の保持部材で前記ガラスフィルムを平面状に保持した状態で、前記ガラスフィルムの前記第２の保持部材側の表面に前記第１の無機光学的機能膜を形成し、
   次に前記第１及び第２の保持部材で前記ガラスフィルムを平面状に保持した状態を維持しつつ、前記ガラスフィルムの前記第１の保持部材側の表面に前記第２の無機光学的機能膜を形成する、光学フィルムの製造方法。
2. 前記第１の保持部材は、額縁状に形成されており、前記第１の保持部材を、前記ガラスフィルムの周縁部を覆うように配置する、請求項１に記載の光学フィルムの製造方法。
3. 前記第２の保持部材は、額縁状に形成されており、前記第２の保持部材を、前記ガラスフィルムの周縁部を覆うように配置する、請求項１又は２に記載の光学フィルムの製造方法。
4. 前記第２の保持部材を、前記ガラスシートが設けられている領域を複数に分断するように配置する、請求項１〜３のいずれか一項に記載の光学フィルムの製造方法。

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