JPH11119429A - 感光性樹脂組成物 - Google Patents

感光性樹脂組成物

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JPH11119429A
JPH11119429A JP28730197A JP28730197A JPH11119429A JP H11119429 A JPH11119429 A JP H11119429A JP 28730197 A JP28730197 A JP 28730197A JP 28730197 A JP28730197 A JP 28730197A JP H11119429 A JPH11119429 A JP H11119429A
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JP
Japan
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group
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photosensitive resin
resin composition
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JP28730197A
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English (en)
Inventor
Makoto Yanagawa
誠 柳川
Rinzou Tachibana
倫造 橘
Tatsuya Kiyota
達也 清田
Ichiro Miura
一郎 三浦
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tamura Kaken Corp
Original Assignee
Tamura Kaken Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 光硬化性を有し、希アルカリ水溶液による現
像が可能であって、耐熱性、耐湿性、電気絶縁性、耐薬
品性、可とう性に優れるパターンを与える感光性樹脂組
成物を提供する。 【解決手段】 (A)1分子中に少なくとも2個のエチ
レン性不飽和結合を有する活性エネルギー線硬化性樹
脂、(B)一般式 【化1】 [Xはアルキル基又は式 【化2】 (Rは低級アルキル基、低級アルコキシル基、水酸基、
アミノ基又は低級アルキル置換アミノ基、nは0又は1
〜3の整数、mは0又は1〜4の整数)で表わされるア
リール基又はアラルキル基]で表わされるN‐置換ジシ
アンジアミド誘導体、(C)光重合開始剤、(D)反応
性希釈剤及び(E)エポキシ系熱硬化性化合物を含有す
る感光性樹脂組成物とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、紫外線露光及び水
又は希アルカリ水溶液による現像で画像形成可能であっ
て、耐熱性、耐湿性、電気絶縁性、耐薬品性、可とう性
に優れるパターンを与えることができ、プリント配線板
製造用ソルダーレジストとして好適な感光性樹脂組成物
に関するものである。
【0002】
【従来の技術】近年、印刷配線板では、導体回路の永久
保護被膜形成用としてソルダーレジストが広く用いられ
ている。このソルダーレジストは、回路導体のはんだ付
けする部分を除いた全面に被膜形成するために用いられ
るもので、印刷配線板に電子部品をはんだ付けする際
に、はんだが不必要な部分に付着するのを防止するとと
もに、回路導体が空気に直接さらされて酸化や湿度によ
り腐食されるのを防止する保護膜としても機能するもの
である。
【0003】従来、ソルダーレジストは、基板上にスク
リーン印刷法でパターンを形成し、紫外線又は熱により
硬化させるものが主流とされてきたが、最近、印刷配線
基板については、配線密度の向上が要求されるようにな
り、それに伴ってソルダーレジストについても高解像性
及び高精度化が要求されるようになってきている。その
結果、民生用基板、産業用基板を問わず、従来のスクリ
ーン印刷法に代わり、位置精度や導体エッジ部の被覆性
が良好な液状ホトソルダーレジスト法が注目されるよう
になり、これまで例えばビスフェノール型エポキシアク
リレート樹脂、増感剤、エポキシ化合物、エポキシ硬化
剤などから成るソルダーレジスト組成物を用いた液状ホ
トソルダーレジスト法が提案されている(特開昭50−
144431号公報、特公昭51−40451号公
報)。
【0004】これらのソルダーレジスト組成物は、印刷
配線板上に液状の該組成物を全面塗布し、有機溶媒を揮
発させたのち露光し、次いで未露光部分を有機溶剤を用
いて除去することにより現像していた。しかしながら、
この有機溶剤による未露光部分の除去には、有機溶剤を
多量に使用するため、環境汚染や火災の危険性の問題が
避けられず、特に環境汚染については人体に対する影響
が最近大きくクローズアップされ、その対策が問題とな
っている。
【0005】この解決策として、希アルカリ水溶液で現
像可能なアルカリ現像型ホトソルダーレジスト、例え
ば、エポキシ樹脂に不飽和モノカルボン酸を反応させ、
さらに多塩基酸無水物を付加させた反応生成物をベース
ポリマーとするもの(特開昭56−40329号公報、
特開昭57−45785号公報)、ノボラック型エポキ
シ樹脂と不飽和モノカルボン酸との反応物に、飽和又は
不飽和多塩基酸無水物を反応させて得られる活性エネル
ギー線硬化性樹脂及び光重合開始剤を含有するもの(特
公平1−54390号公報)などが提案されている。
【0006】そして、ソルダーレジストにおいては、感
光性樹脂組成物から成る塗膜を露光、現像処理して所望
のレジストパターンを形成したのち、通常、熱硬化させ
るので、前記したような感光性樹脂組成物には、熱硬化
成分として、一般にエポキシ樹脂を含有させ、感光性樹
脂の側鎖のカルボキシル基とエポキシ基とを反応させ、
密着性、硬度、耐熱性、電気絶縁性などに優れるレジス
ト膜を形成させている。この場合一般に、エポキシ樹脂
と共に、エポキシ樹脂用硬化剤が併用されている。
【0007】このエポキシ樹脂用硬化剤としては、これ
まで多種多様の化合物が用いられているが、その1つと
してジシアンジアミド(シアノグアニジン)が知られて
いる。しかしながら、前記したようなアルカリ現像型の
感光性樹脂組成物に、エポキシ樹脂と共に、ジシアンジ
アミドを配合すると、ジシアンジアミドの相容性が低い
ため、硬化不足を引き起こすおそれがある上、感光性樹
脂組成物のポットライフが短く、保存安定性がよくない
などの欠点を生じる。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、このような
事情のもとで、紫外線露光及び希アルカリ水溶液による
現像で画像形成可能であって、ポットライフが長く、保
存安定性に優れ、常温付近では安定であるが、高温では
短時間で硬化する、いわゆる潜在型硬化性を有するとい
う長所を有し、しかも耐熱性、耐湿性、電気絶縁性、耐
薬品性、可とう性などに優れるパターンを与えることが
できる、プリント配線板製造用ソルダーレジストとして
好適な感光性樹脂組成物を提供することを目的としてな
されたものである。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、優れた性
能を有する感光性樹脂組成物を開発すべく鋭意研究を重
ねた結果、特定のN‐置換基をもつジシアンジアミド誘
導体が、エポキシ樹脂に対して良好な溶解性を有し、か
つ常温付近ではエポキシ樹脂と反応しにくいが、熱を加
えることで速やかに反応し、熱潜在性エポキシ樹脂用硬
化剤として有用であること、そして活性エネルギー線硬
化性樹脂に、光重合開始剤、反応性希釈剤及びエポキシ
系熱硬化性化合物と共に、上記N‐置換ジシアンジアミ
ド誘導体を組み合わせた組成物は、優れた物性のパター
ンを与えることを見出し、この知見に基づいて本発明を
完成するに至った。
【0010】すなわち、本発明は、(A)1分子中に少
なくとも2個のエチレン性不飽和結合を有する活性エネ
ルギー線硬化性樹脂、(B)一般式
【化3】 [式中のXはアルキル基又は式
【化4】 (ただし、Rは低級アルキル基、低級アルコキシル基、
水酸基、アミノ基又は低級アルキル置換アミノ基、nは
0又は1〜3の整数、mは0又は1〜4の整数)で表わ
されるアリール基又はアラルキル基である]で表わされ
るN‐置換ジシアンジアミド誘導体、(C)光重合開始
剤、(D)反応性希釈剤及び(E)エポキシ系熱硬化性
化合物を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物を
提供するものである。
【0011】
【発明の実施の形態】本発明組成物において、(A)成
分として用いられる活性エネルギー線硬化性樹脂は、1
分子中に少なくとも2個のエチレン性不飽和結合を有す
るものであって、このようなものとしては、例えば分子
中にエポキシ基を2個以上有する多官能性エポキシ樹脂
のエポキシ基の少なくとも一部にアクリル酸又はメタク
リル酸を反応させたのち、生成した水酸基に多塩基酸無
水物を反応させたものなどを挙げることができる。
【0012】上記多官能性エポキシ樹脂としては、エポ
キシ当量が、通常1000以下、好ましくは100〜5
00のもの、例えばフェノールノボラック型エポキシ樹
脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、グリシジル
アミン型多官能エポキシ樹脂、ビスフェノール変性ノボ
ラック型多官能エポキシ樹脂、多官能変性ノボラック型
エポキシ樹脂、フェノール類とフェノール性水酸基を有
する芳香族アルデヒドとの縮合物型エポキシ樹脂などが
用いられる。
【0013】このような多官能性エポキシ樹脂のエポキ
シ基の一部あるいは全部にアクリル酸又はメタクリル酸
を反応させることにより、分子中にラジカル反応性の二
重結合が導入され、感光性が付与される。この際、アク
リル酸又はメタクリル酸は、多官能性エポキシ樹脂のエ
ポキシ基に対し、実質上化学量論的量反応させるのが好
ましい。この反応により、エポキシ基に由来する水酸基
が生成する。
【0014】次いで、このようにして生成した水酸基に
多塩基酸無水物を反応させることにより、希アルカリ水
溶液で現像可能なものにする。この際用いられる多塩基
酸無水物としては、例えば無水マレイン酸、無水コハク
酸、無水フタル酸、無水トリメリット酸、無水ヘキサヒ
ドロフタル酸、無水3‐メチルヘキサヒドロフタル酸、
無水4‐メチルヘキサヒドロフタル酸、無水3‐エチル
ヘキサヒドロフタル酸、無水4‐エチルヘキサヒドロフ
タル酸、無水テトラヒドロフタル酸、無水3‐メチルテ
トラヒドロフタル酸、無水4‐メチルテトラヒドロフタ
ル酸、無水3‐エチルテトラヒドロフタル酸、無水4‐
エチルテトラヒドロフタル酸などが挙げられる。これら
の多塩基酸無水物は、生成した水酸基1モルに対し、通
常0.3〜1.0モルの割合で反応させる。
【0015】このようにして、1分子中に少なくとも2
個のエチレン性不飽和結合を有する活性エネルギー線硬
化性樹脂が得られる。本発明においては、(A)成分と
して、この活性エネルギー線硬化性樹脂を単独で用いて
もよいし、2種以上組み合わせて用いてもよい。
【0016】本発明組成物における(B)成分のN‐置
換ジシアンジアミド誘導体は、前記一般式(I)で表わ
される化合物である。これらのN‐置換ジシアンジアミ
ド誘導体は、公知の方法[「ジャーナル・オブ・ケミカ
ル・ソサエティ(J.Chem.Soc.)」,442
2(1956年)、特開昭64−71846号公報参
照]によって容易に製造することができる。
【0017】この一般式(I)におけるXがアルキル基
の場合は、通常炭素数1〜12のものが用いられ、これ
は直鎖状、枝分れ状のいずれでもよい。このようなアル
キル基の例としては、メチル基、エチル基、n‐プロピ
ル基、イソプロピル基、n‐ブチル基、n‐ヘキシル
基、n‐オクチル基、n‐ドデシル基などがある。ま
た、式(II)で示されるアリール基、アラルキル基の
例としては、フェニル基、ベンジル基、フェネチル基、
3‐フェニルプロピル基、4‐フェニルブチル基があ
り、核置換基Rの例としては、メチル基、エチル基、n
‐プロピル基、イソプロピル基などの低級アルキル基、
メトキシ基、エトキシ基、n‐プロポキシ基、イソプロ
ポキシ基などの低級アルコキシル基、水酸基、アミノ基
又はメチルアミノ基、ジメチルアミノ基、エチルアミノ
基、ジエチルアミノ基などの低級アルキル置換アミノ基
がある。一般にN‐置換ジシアンジアミド誘導体中の芳
香族基における不活性置換基については、その数が0又
は1〜3の範囲で変っても、N‐置換ジシアンジアミド
の作用自体には影響がないので、上記のRの数は0又は
1〜3の範囲で適宜選ぶことができる。
【0018】この反応においては、アルカリジシアナミ
ドとアミン化合物の塩は、一般に化学量論的割合で用い
られる。また、反応溶媒としては、水や、エタノール、
プロパノール、ブタノールなどの炭素数2〜6のアルコ
ール、好ましくは炭素数3〜5のアルコールであり、ま
た、これらのアルコールと水との混合液を用いることが
できる。また、ジメチルホルムアミド、スルホランなど
も用いることができる。
【0019】この(B)成分のN‐置換ジシアンジアミ
ド誘導体は、後述の(E)成分のエポキシ系熱硬化性化
合物に対する硬化剤として用いられるものであり、常温
では該エポキシ系熱硬化性化合物と反応しにくいが、加
熱によって速やかに反応する。すなわち、熱潜在性硬化
剤として作用し、このものを適量含有する感光性樹脂組
成物は、ポットライフが長く、保存安定性に優れてい
る。
【0020】本発明組成物においては、この(B)成分
のN‐置換ジシアンジアミド誘導体は単独で用いてもよ
いし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。また、こ
のN‐置換ジシアンジアミド誘導体の含有量は、それ自
体の活性水素当量及び(E)成分のエポキシ系熱硬化性
化合物の含有量やエポキシ当量などにより左右される
が、一般的には、前記(A)成分100重量部当り、
0.1〜10重量部の範囲で選ばれる。この含有量が
0.1重量部未満では熱硬化特性が充分に発揮されない
おそれがあるし、10重量部を超えると組成物のポット
ライフが短くなりやすい上、形成されたソルダーレジス
ト膜の特性低下の原因となる。熱硬化特性、組成物のポ
ットライフ及びソルダーレジスト膜の特性などを考慮す
ると、この(B)成分の含有量は、特に1〜8重量部の
範囲が好ましい。
【0021】本発明組成物における、(C)成分の光重
合開始剤としては特に制限はなく、従来光重合開始剤と
して慣用されているものの中から任意のものを選択して
用いることができる。この光重合開始剤の例としては、
ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエ
チルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベン
ゾイン‐n‐ブチルエーテル、ベンゾインイソブチルエ
ーテル、アセトフェノン、ジメチルアミノアセトフェノ
ン、2,2‐ジメトキシ‐2‐フェニルアセトフェノ
ン、2,2‐ジエトキシ‐2‐フェニルアセトフェノ
ン、2‐ヒドロキシ‐2‐メチル‐1‐フェニルプロパ
ン‐1‐オン、1‐ヒドロキシシクロヘキシルフェニル
ケトン、2‐メチル‐1‐[4‐(メチルチオ)フェニ
ル]‐2‐モルホリノ‐プロパン‐1‐オン、4‐(2
‐ヒドロキシエトキシ)フェニル‐2‐(ヒドロキシ‐
2‐プロピル)ケトン、ベンゾフェノン、p‐フェニル
ベンゾフェノン、4,4′‐ジエチルアミノベンゾフェ
ノン、ジクロロベンゾフェノン、2‐メチルアントラキ
ノン、2‐エチルアントラキノン、2‐tert‐ブチ
ルアントラキノン、2‐アミノアントラキノン、2‐メ
チルチオキサントン、2‐エチルチオキサントン、2‐
クロロチオキサントン、2,4‐ジメチルチオキサント
ン、2,4‐ジエチルチオキサントン、ベンジルジメチ
ルケタール、アセトフェノンジメチルケタール、p‐ジ
メチルアミノ安息香酸エステルなどが挙げられる。これ
らは単独で用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用
いてもよい。その含有量は(A)成分の活性エネルギー
線硬化性樹脂100重量部当り、通常0.5〜50重量
部の範囲で選ばれる。この配合量が0.5重量部未満で
は、(A)成分の硬化性樹脂の光硬化反応が進行しにく
いし、50重量部を超えるとその量の割には効果の向上
がみられず、むしろ経済的に不利となり、また硬化塗膜
の機械物性が低下するおそれがある。光硬化性、経済
性、硬化塗膜の機械物性などの面から、この光重合開始
剤のより好ましい含有量は2〜30重量部の範囲であ
る。
【0022】本発明組成物における(D)成分の反応性
希釈剤は、前記(A)成分の活性エネルギー線硬化性樹
脂の光硬化をさらに十分にして、耐酸性、耐熱性、耐ア
ルカリ性などを有する塗膜を得るために使用するもの
で、1分子中に二重結合を2個以上有する光重合性ビニ
ル系化合物が好ましい。このような反応性希釈剤として
は、例えば1,4‐ブタンジオールジ(メタ)アクリレ
ート、1,6‐ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレー
ト、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、
ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ネオ
ペンチルグリコールアジペートジ(メタ)アクリレー
ト、ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールジ
(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニルジ(メタ)
アクリレート、カプロラクトン変性ジシクロペンテニル
ジ(メタ)アクリレート、エチレンオキシド変性リン酸
ジ(メタ)アクリレート、アリル化シクロヘキシルジ
(メタ)アクリレート、イソシアヌレートジ(メタ)ア
クリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アク
リレート、ジペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリ
レート、プロピオン酸変性ジペンタエリスリトールトリ
(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メ
タ)アクリレート、プロピレンオキシド変性トリメチロ
ールプロパントリ(メタ)アクリレート、トリス(アク
リロキシエチル)イソシアヌレート、プロピオン酸変性
ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、
ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、
カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサ(メ
タ)アクリレートなどが挙げられる。
【0023】これらの反応性希釈剤は単独で用いてもよ
いし、2種以上を組み合わせて用いてもよく、その含有
量は、前記(A)成分の活性エネルギー線硬化性樹脂1
00重量部当り、通常2〜40重量部の範囲で選ばれ
る。この含有量が2重量部未満では光硬化が不十分であ
って、硬化塗膜の耐酸性や耐熱性の向上効果が十分に発
揮されないし、40重量部を超えるとタックが激しく、
露光の際アートワークフィルムの基板への付着が生じや
すくなり、所望の硬化塗膜が得られにくくなる。光硬化
性、硬化塗膜の物性、アートワークフィルムの基板への
付着防止性などの面から、この反応性希釈剤のより好ま
しい含有量は4〜20重量部の範囲である。
【0024】本発明組成物における(E)成分のエポキ
シ系熱硬化性化合物としては、1分子中に少なくとも1
個のエポキシ基、好ましくは2個以上のエポキシ基を有
する公知のエポキシ樹脂(エポキシオリゴマーを含む)
が好適である。このようなものの例としては、グリシジ
ル系エポキシ樹脂、例えばビスフェノールAとエピクロ
ルヒドリンとをアルカリの存在下に反応させて得られた
ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールAと
ホルマリンとを縮合反応させて得られた樹脂のエポキシ
化物、これらの樹脂において、ビスフェノールAの代わ
りにブロム化ビスフェノールAを用いたもの、ノボラッ
ク樹脂にエピクロルヒドリンを反応させてグリシジルエ
ーテル化したノボラック型エポキシ樹脂(フェノールノ
ボラック型、o‐クレゾールノボラック型、p‐ter
t‐ブチルフェノールノボラック型など)、ビスフェノ
ールFやビスフェノールSにエピクロルヒドリンを反応
させて得られたビスフェノールF型やビスフェノールS
型エポキシ樹脂などが挙げられ、さらにシクロヘキセン
オキシド基、トリシクロデカンオキシド基、シクロペン
テンオキシド基などを有する環式脂肪族エポキシ樹脂、
フタル酸ジグリシジルエステル、テトラヒドロフタル酸
ジグリシジルエステル、ヘキサヒドロフタル酸ジグリシ
ジルエステル、ジグリシジル‐p‐ヒドロキシ安息香
酸、ダイマー酸グリシジルエステルなどのグリシジルエ
ステル樹脂、テトラグリシジルジアミノジフェニルメタ
ン、トリグリシジル‐p‐アミノフェノールなどのグリ
シジルアミン系樹脂、トリアジン環を有するトリグリシ
ジルイソシアヌレートなどが挙げられる。
【0025】これらのエポキシ系熱硬化性化合物は単独
で用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよ
く、またメラミン化合物、イミダゾール化合物、フェノ
ール化合物などの公知のエポキシ硬化促進剤などを併用
することもできる。このような熱硬化性化合物を配合す
ることにより、ポストキュアー後において、塗膜の耐熱
性、耐湿性、電気絶縁性、耐薬品性、密着性、可とう
性、硬度などを向上させることができる。
【0026】本発明組成物においては、この(E)成分
のエポキシ系熱硬化性化合物の含有量は、前記(A)成
分の活性エネルギー線硬化性樹脂100重量部当り、通
常5〜100重量部の範囲で選ばれる。この含有量が5
重量部未満ではポストキュアー後において、所望の物性
を有する塗膜が得られないし、100重量部を超えると
(A)成分の光硬化性が低下するおそれがある。ポスト
キュアー後の塗膜物性及び(A)成分の光硬化性などの
面から、このエポキシ系熱硬化性化合物のより好ましい
含有量は15〜60重量部の範囲である。
【0027】本発明の感光性樹脂組成物には、必要に応
じ、種々の添加成分、例えばシリカ、アルミナ、タル
ク、炭酸カルシウム、硫酸バリウムなどの無機顔料、フ
タロシアニン系、アゾ系などの有機顔料、消泡剤、レベ
リング剤などの塗料用添加剤などを含有させることがで
きる。
【0028】このようにして得られた本発明の感光性樹
脂組成物は、例えば基板上に所望の厚さで塗布し、60
〜80℃程度の温度で15〜60分間程度加熱して溶媒
を揮散させたのち、これに所望のパターンのネガフィル
ムを密着させ、その上から紫外線を照射し、次いで希ア
ルカリ水溶液で非露光部を除去することにより、塗膜が
現像される。この際使用する希アルカリ水溶液として
は、0.5〜5重量%濃度の炭酸ナトリウム水溶液が一
般的であるが、他のアルカリも使用することができる。
次いで、熱風循環式などの乾燥機により、140〜16
0℃程度の温度で10〜60分間程度ポストキュアーす
ることにより、所望のレジスト被膜を形成させることが
できる。
【0029】
【発明の効果】本発明の感光性樹脂組成物は、エポキシ
系熱硬化性化合物用硬化剤として、特定のN‐置換ジシ
アンジアミド誘導体を含有することにより、一液型とし
てのポットライフが長くなり、その結果ソルダーレジス
ト塗膜作製作業の融通性が増大する。また、その中に含
まれる活性エネルギー線硬化性樹脂が、側鎖に多数の遊
離カルボキシル基を有することから、希アルカリ水溶液
による現像が可能であるとともに、現像後、塗膜をポス
トキュアーすることにより、組成物中に含まれるエポキ
シ系熱硬化性化合物と上記側鎖の遊離カルボキシル基と
の間で縮合反応が起こり、ソルダーレジストとして必要
な耐熱性、耐湿性、耐酸性、耐溶剤性、密着性、電気特
性、可とう性、硬度などに優れるソルダーレジスト塗膜
が得られるなどの効果を奏する。
【0030】
【実施例】次に、本発明を実施例によりさらに詳細に説
明するが、本発明は、これらの例によってなんら限定さ
れるものではない。なお、感光性樹脂組成物の現像性及
び塗膜性能は、以下に示す方法に従って評価した。
【0031】(1)現像性 感光性樹脂組成物をパターン形成された銅箔基板上に全
面塗布し、80℃で乾燥時間をそれぞれ10分間隔で変
えて乾燥した基板を用意し、1重量%炭酸水素ナトリウ
ム水溶液で現像した際の現像性を評価した。 ◎:80分以上乾燥した基板で現像残りがないもの ○:70分以上乾燥した基板で現像残りがないもの △:60分以上乾燥した基板で現像残りがないもの ×:60分未満乾燥した基板で現像残りがあるもの
【0032】(2)塗膜性能 感光性樹脂組成物をパターン形成された銅箔基板上に全
面塗布し、80℃で20分間乾燥した。次いで、この基
板にネガフィルムを密着させ、露光後、1重量%炭酸ナ
トリウム水溶液で現像処理してパターンを形成した。次
に、この基板を150℃で60分間熱硬化して、硬化塗
膜を有する評価基板を作製し、塗膜性能を評価した。
【0033】(イ)金めっき性 硬化塗膜を有する評価基板に金めっき加工後、セロハン
粘着テープによるピーリング試験を行い、レジスト層の
剥がれ、変色について観察し、金めっき性を評価した。 ◎:全く変化が認められないもの ○:ほんのわずか変化しているもの △:顕著に変化しているもの ×:塗膜が膨潤して剥離したもの
【0034】(ロ)密着性 JIS D−0202に準拠して、碁盤目試験により測
定した。 (ハ)鉛筆硬度 JIS K−5400 6.14に準拠して測定した。
【0035】(ニ)耐酸性 硬化塗膜を有する評価基板を常温の10重量%の硫酸水
溶液中に30分間浸せきしたのち、水洗後、セロハン粘
着テープによるピーリング試験を行い、レジスト層の剥
がれ、変色について観察し、耐酸性を評価した。 ◎:全く変化が認められないもの ○:ほんのわずか変化しているもの △:顕著に変化しているもの ×:塗膜が膨潤して剥離したもの
【0036】(ホ)耐溶剤性 硬化塗膜を有する評価基板を常温の塩化メチレンに30
分間浸せきしたのち、水洗後、セロハン粘着テープによ
るピーリング試験を行い、レジスト層の剥がれ、変色に
ついて観察し、耐溶剤性を評価した。 ◎:全く変化が認められないもの ○:ほんのわずか変化しているもの △:顕著に変化しているもの ×:塗膜が膨潤して剥離したもの
【0037】(ヘ)耐熱性 硬化塗膜を有する評価基板をJIS C 6481の試
験方法に従って、260℃のはんだ槽に30秒間浸せき
後、セロハンテープによるピーリング試験を1サイクル
とし、計1〜3のサイクルを行った後の塗膜状態を観察
し、耐熱性を評価した。 ◎:3サイクル後も塗膜に変化がないもの ○:3サイクル後にわずかに変化しているもの △:2サイクル後に変化しているもの ×:1サイクル後に剥離が生じているもの
【0038】(ト)電気特性 IPC SM−840B B−25のくし型電極Bクー
ボンを用い、上記の条件で評価基板を作製し、60℃、
90%RHの恒温恒湿槽中で100Vの直流電圧を印加
し、500時間後の絶縁抵抗値を測定するとともに、変
色を観察し、電気特性を評価した。 ◎:全く変色していないもの ○:薄く変色しているもの △:顕著に変色しているもの ×:黒く焦げ付いているもの
【0039】製造例1 N‐置換ジシアンジアミド誘導
体の製造 滴下漏斗、冷却器及びかきまぜ機を備えた三つ口丸底フ
ラスコにヘキシルアミン101g(1モル)及びブタノ
ール約1リットルを仕込んだのち、これに濃塩酸102
g(1モル相当)を反応混合物が50℃を超えない速度
で滴下した。反応スラリーを75℃まで加熱したのち、
ナトリウムジシアナミド89.03g(1モル)を加
え、かきまぜながら加熱し、還流下で4時間反応を行っ
た。反応終了後、水を加え、水との共沸によりブタノー
ルを取り除いたのち、冷却して反応生成物を晶析させ
た。次いで、固形物をろ取し、水及びメタノールで洗浄
後、乾燥することにより、灰色固体のN‐ヘキシルジシ
アンジアミド136g(収率81%)を得た。上記と同
様にしてN‐ベンジルジシアンジアミド、N‐(4‐エ
チルフェニル)‐ジシアンジアミド、N‐(4‐エトキ
シフェニル)‐ジシアンジアミドを製造した。
【0040】製造例2 感光性樹脂の製造 エチルカルビトールアセテート中において、エポキシ当
量が220で、かつ1分子中に平均して7個のフェノー
ル残基と、エポキシ基を有するクレゾールノボラック型
エポキシ樹脂のエポキシ基1モルに対し、アクリル酸を
1モルの割合で反応させて得られた反応物に、無水テト
ラヒドロフタル酸を0.6モルの割合で反応させ、感光
性樹脂を製造した。このものは、固形樹脂100重量部
に対し、エチルカルビトールアセテート50重量部を含
む粘ちょうな液体であり、酸価は63mg KOH/g
であった。
【0041】実施例1 製造例2で得た感光性樹脂100重量部に、製造例1で
得たN‐ヘキシルジシアンジアミド2重量部、ジペンタ
エリスリトールヘキサアクリレート8重量部、2‐メチ
ル‐1‐[4‐(メチルチオ)フェニル]‐2‐モルフ
ォリノ‐プロパン‐1‐オン5重量部、2,4‐ジエチ
ルチオキサントン1重量部、シリカ10重量部、硫酸バ
リウム13重量部、トリグリシジルイソシアヌレート1
0重量部、フタロシアニングリーン1重量部を3本ロー
ルで混合分散させて、感光性樹脂組成物を調製した。こ
の組成物の現像性及び塗膜性能の評価結果を表1に示
す。
【0042】実施例2 実施例1において、N‐ヘキシルジシアンジアミド2重
量部の代わりに、N‐ベンジルジシアンジアミド2重量
部を用いた以外は、実施例1と同様にして感光性樹脂組
成物を調製した。この組成物の現像性及び塗膜性能の評
価結果を表1に示す。
【0043】実施例3 実施例1において、N‐ヘキシルジシアンジアミド2重
量部の代わりに、N‐(4‐エチルフェニル)‐ジシア
ンジアミド2重量部を用いた以外は、実施例1と同様に
して感光性樹脂組成物を調製した。この組成物の現像性
及び塗膜性能の評価結果を表1に示す。
【0044】実施例4 実施例1において、N‐ヘキシルジシアンジアミド2重
量部の代わりに、N‐(4‐エトキシフェニル)‐ジシ
アンジアミド2重量部を用いた以外は、実施例1と同様
にして感光性樹脂組成物を調製した。この組成物の現像
性及び塗膜性能の評価結果を表1に示す。
【0045】比較例1 実施例1において、N‐ヘキシルジシアンジアミドを用
いなかったこと以外は、実施例1と同様にして感光性樹
脂組成物を調製した。この組成物の現像性及び塗膜性能
の評価結果を表1に示す。
【0046】比較例2 実施例1において、N‐ヘキシルジシアンジアミド2重
量部の代わりに、ジシアンジアミド2重量部を用いた以
外は、実施例1と同様にして感光性樹脂組成物を調製し
た。この組成物の現像性及び塗膜性能の評価結果を表1
に示す。
【0047】
【表1】
【0048】表1から分かるように、本発明の感光性樹
脂組成物は、現像性をそこなうことなく、塗膜性能の優
れた硬化塗膜を与えることができる。
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI G03F 7/031 G03F 7/031 (72)発明者 三浦 一郎 埼玉県入間市大字狭山ケ原16番地2 タム ラ化研株式会社内

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 (A)1分子中に少なくとも2個のエチ
    レン性不飽和結合を有する活性エネルギー線硬化性樹
    脂、(B)一般式 【化1】 [式中のXはアルキル基又は式 【化2】 (ただし、Rは低級アルキル基、低級アルコキシル基、
    水酸基、アミノ基又は低級アルキル置換アミノ基、nは
    0又は1〜3の整数、mは0又は1〜4の整数)で表わ
    されるアリール基又はアラルキル基である]で表わされ
    るN‐置換ジシアンジアミド誘導体、(C)光重合開始
    剤、(D)反応性希釈剤及び(E)エポキシ系熱硬化性
    化合物を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
  2. 【請求項2】 (B)成分の含有量が、(A)成分10
    0重量部当り、0.1〜10重量部である請求項1記載
    の感光性樹脂組成物。
  3. 【請求項3】 (C)成分の含有量が、(A)成分10
    0重量部当り、0.5〜50重量部である請求項1又は
    2記載の感光性樹脂組成物。
  4. 【請求項4】 (D)成分の反応性希釈剤が、1分子中
    に二重結合2個以上を有する光重合性ビニル系化合物で
    あり、かつその含有量が、(A)成分100重量部当
    り、2〜40重量部である請求項1、2又は3記載の感
    光性樹脂組成物。
  5. 【請求項5】 (E)成分の含有量が、(A)成分10
    0重量部当り、5〜100重量部である請求項1ないし
    4のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
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KR100895691B1 (ko) * 2001-08-29 2009-04-30 스미또모 가가꾸 가부시키가이샤 레지스트 조성물

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