JPH11108559A - 焼成炉およびその制御方法 - Google Patents

焼成炉およびその制御方法

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JPH11108559A
JPH11108559A JP9276832A JP27683297A JPH11108559A JP H11108559 A JPH11108559 A JP H11108559A JP 9276832 A JP9276832 A JP 9276832A JP 27683297 A JP27683297 A JP 27683297A JP H11108559 A JPH11108559 A JP H11108559A
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air
chamber
heating chamber
heating
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文男 山崎
Koji Asanuma
浩司 浅沼
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Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 焼成炉内への空気の流入による、内部の温度
分布の変動による、焼成物の焼成品質の低下を防止す
る。 【解決手段】 クリーンルーム１に入口部３１が設置さ
れ、クリーンルーム１より気圧の低い常圧の部屋２に出
口部３２が設置されている焼成炉４に、差圧計１６、コ
ントローラ１７、インバータ１８およびリターンダクト
２３内に設置された排気ファン１９を設け、クリーンル
ーム１と常圧の部屋２との間の気圧差を差圧計１６によ
り検出し、その気圧差に応じてコントローラ１７により
排気ファン１９の動作を制御して入口部３１より流入し
てきた量の空気９をリターンダクト２３より排出するこ
とにより焼成炉４内に空気が流入するのを防ぐ。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は焼成炉およびその制
御方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】焼成炉は、プラズマディスプレイあるい
は半導体等の電極焼成や、誘電体のペースト焼成等の焼
成を伴ったプロセスには必要不可欠な装置である。
【０００３】従来の焼成炉の構造について、図５に示し
た断面図を用いて説明する。従来の焼成炉４の入口部３
１はクリーンルーム１内に設置されている。焼成炉４の
出口部３２は常圧の部屋２に設置されている。クリーン
ルーム１と常圧の部屋２とは壁３により分離されてい
る。クリーンルーム１は常圧の部屋２に対して５〜１０
Ｐａ程度気圧を高くしている。
【０００４】従来の焼成炉４は、搬送ローラ５、耐熱ガ
ラスで構成したマッフル６、ヒータ７、空気供給配管１
０、排気管１１、カバー８、入口コンベア１５および出
口コンベア２０より構成されている。マッフル６は筒状
の構造を有し焼成炉４の入口部３１から出口部３２まで
達している。マッフル６の外周部にはヒータ７が配置さ
れている。空気供給配管１０はマッフル６に接続され、
マッフル６内に空気９を供給する管である。排気管１１
はマッフル６内の燃焼ガスを焼成炉４外に排気する管で
ある。マッフル６およびヒータ７はカバー８に覆われて
いる。焼成炉４の入口部３１には入口コンベア１５が、
出口部３２には出口コンベア２０が配置されている。支
持板２２に載置された焼成基板２１は入口コンベア１５
から焼成炉４内に入り、マッフル６内を搬送中に加熱焼
成されて、出口コンベア２０へ取り出されるようになっ
ている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】このような従来の焼成
炉４では、入口部３１が、出口部３２より気圧の高いク
リーンルーム１内に配置されているので、焼成炉４の入
口部３１と出口部３２との間の気圧の差によりクリーン
ルーム１内の空気がマッフル６内を、焼成炉４の入口部
３１から出口部３２に向かって流れる。クリーンルーム
１と常圧の、通常の部屋２との間の差圧が１０Ｐａの場
合、マッフル６内を流れる空気の流速は４ｍ／ｓｅｃに
なり、５Ｐａの場合３ｍ／ｓｅｃになる。上記の流速で
クリーンルーム１の冷たい空気が焼成炉４内に流れ込む
ことによりマッフル６内の温度分布が変動し、その結
果、焼成条件が変化して所定の焼成品質の焼成物が得ら
れなくなるという問題が生じる。
【０００６】例えばプラズマディスプレイ等の電極や誘
電体のペースト焼成では、マッフル６内の温度変動によ
り、プラズマディスプレイや誘電体自体の歩留まりが低
下するという問題が生じる。
【０００７】本発明は上記の問題を解決し、所定の焼成
品質の焼成物が得られる焼成炉およびその制御方法を提
供するものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の焼成炉は、加熱
室と、前記加熱室内に設置された被加熱物を搬送する搬
送手段と、前記加熱室の近傍に配置された加熱手段と、
前記加熱室の入口近傍に接続された空気排出手段と、前
記加熱室外に設置された差圧検出手段および前記差圧検
出手段からの情報に基づいて前記空気排出手段の動作を
制御する排出制御手段とを備え、前記加熱室の入口部が
第１の空間に配置され、前記加熱室の出口部が前記第１
の空間より気圧の低い第２の空間に配置されるととも
に、前記差圧検出手段は前記第１の空間の気圧と前記第
２の空間の気圧との圧力差を検出する手段であるもので
ある。
【０００９】これにより、入口部より加熱室の入口付近
に流入した空気を、入口付近に設置された空気排出手段
を用いて焼成炉外に排出することができるため、加熱室
の奥内に空気が流入することを防止することができる。
【００１０】本発明の焼成炉は、入口部を有する前室
と、前記前室と開口部を介して接続され、出口部を有す
る加熱室と、前記前室内と前記加熱室内に設置され、被
加熱物を搬送する搬送手段と、前記加熱室の近傍に配置
された加熱手段と、前記前室に接続された空気排出手段
と、前記加熱室外に設置された差圧検出手段および前記
差圧検出手段からの情報に基づいて前記空気排出手段の
動作を制御する排出制御手段とを備え、前記入口部は第
１の空間に配置され、前記出口部は前記第１の空間より
気圧の低い第２の空間に配置されるとともに、前記差圧
検出手段は前記第１の空間の気圧と前記第２の空間の気
圧との圧力差を検出する手段であるものである。
【００１１】これにより、前室に被加熱物を搬入する以
外は開閉手段を閉じ、かつ高速で前室に被加熱部材を搬
入することができるので、開閉手段が開いている時間を
短縮することができる。このため、入口部より前室に流
入する空気を最小限に抑えることができ、加熱室にほと
んど空気を流入することを阻止することができるととも
に空気排出手段と差圧検出手段とを有する焼成炉と比べ
て構造が簡単になり、焼成炉の製造コストを下げること
ができる。
【００１２】本発明の焼成炉は、被加熱物を搬送する搬
送手段と、入口部を有する前室と、前記前室と開口部を
介して接続され、出口部を有する加熱室と、前記加熱室
の近傍に配置された加熱手段とを備え、前記入口部は第
１の空間に配置され、前記出口部は前記第１の空間より
気圧の低い第２の空間に配置されるとともに、排出口が
前記第２の空間に配置された空気排出管が前記前室に接
続されているものである。
【００１３】これにより、空気排出管の断面積を焼成炉
入口の開口断面積より大きくすることができ、前室に流
入してきた空気を焼成炉の方向に少ししか流入せず、ほ
とんどの空気を空気排出管より排出することができる。
また、構造をより簡単にすることができる。
【００１４】本発明の焼成炉は、前記前室内に前記入口
部より流入してきた空気を前記空気排出管に流れやすく
する排出援助手段を設けたものである。
【００１５】これにより、前室に流入してきた空気を排
出援助手段により空気排出管の方向に誘導できるので、
ほとんど空気排出管より空気を排出することができる。
【００１６】本発明の焼成炉の制御方法は、請求項１ま
たは２に記載の焼成炉を用いて、前記差圧検出手段によ
り検出される前記第１の空間と前記第２の空間との間の
気圧差を測定し、測定結果に応じて前記空気排出手段に
より排出される空気の量を前記排気制御手段により制御
するものである。
【００１７】この方法により、空気排出手段により排出
される空気の量を差圧検出手段によって検出された圧力
差に応じて変化させることができるため、流入してきた
空気量だけ排出することができ、加熱室内に空気が流入
するのを防止することができる。
【００１８】本発明の焼成炉の制御方法は、請求項４に
記載の焼成炉を用いて、前記前室に前記被加熱物を搬入
する以外は前記開閉手段を閉じ、かつ前記第１の搬送手
段により前記被加熱物を高速で前記前室に搬入して前記
焼成炉へ空気が流入するのを制限するものである。
【００１９】この方法により、前室に流入される空気の
量が少なく制限されるので、前室に流入した空気が直接
加熱室内に流入するのを防止することができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面を参照しながら説明する。
【００２１】本発明の第１の実施の形態について、図１
に示した断面図および図１のＺ−Ｚ線に沿って切断した
断面図である図２を用いて説明する。
【００２２】図１において、焼成炉４はクリーンルーム
１と常圧の部屋２との間にまたがって配置されている。
クリーンルーム１と常圧の部屋２とは壁３によって隔て
られている。クリーンルーム１は常圧の部屋２に対して
５〜１０Ｐａの高圧になるように気圧を制御している。
焼成炉４は、支持板２２上に載置され焼成基板２１を搬
送する搬送ローラ５、加熱室を形成するマッフル６、焼
成基板２１を加熱するヒータ７、マッフル６とヒータ４
を覆うカバー８、空気をマッフル６内に供給する空気供
給配管１０、マッフル６内の燃焼ガスを排気する排気管
１１、前室２４を形成するフード１２と密閉カバー１
３、前室２４の入口部３１の開口を制御する制御板１
４、入口コンベア１５、圧力差を測定する差圧計１６、
差圧計１６の結果より制御信号を出すコントローラ１
７、周波数を可変にできるインバータ１８、空気を排出
する排気ファン１９、出口コンベア２０および支持板２
２により構成されている。搬送ローラ５は駆動源（図示
せず）により駆動される。図１および図２に示すように
マッフル６は筒状になっており、焼成炉４の入口すなわ
ち開口部３３から出口部３２まで達している。ヒータ７
はマッフル６の周囲に配置されている。空気供給配管１
０は空気９をマッフル６内に供給するものであり、空気
供給配管１０には焼成炉４の入口近傍、マッフル６内お
よび焼成炉４の出口近傍に空気９の吹き出し口が設けら
れている。排気管１１の取り出し口はマッフル６内に取
り付けられ、排気管１１によりマッフル６内の燃焼ガス
を焼成炉４外に排気する。フード１２は焼成炉４の入口
に設けられ、フード１２の上部には排気口が設けられて
いる。密閉カバー１３はフード１２内の搬送ローラ５の
下面に設けられ、クリーンルーム１より前室２４に流入
した空気が搬送ローラ５の下面から漏れるのを防止して
いる。フード１２と密閉カバー１３とを組み合わせて一
体成形して焼成炉４の前室２４を構成し、前室２４には
搬送用の入口部３１が形成されている。制御板１４は前
室２４の入口部３１に設けられ、クリーンルーム１より
前室２４に空気が流入する量を制御するものである。入
口コンベア１５および出口コンベア２０はそれぞれ前室
２４の入口部３１および焼成炉４の出口部３２に設置さ
れている。差圧計１６は、端部が常圧の部屋２にある第
１の測定ポート１６ａと、クリーンルーム１にある第２
の測定ポート１６ｂとを備えている。コントローラ１７
は差圧計１６の出力に応じてインバータ１８の周波数を
可変して排気ファン１９の回転数を制御して空気の排出
量を制御する。なお、排気ファン１９からの排気は、ク
リーンルーム１へのリターンダクト２３に接続して、再
度クリーンルーム１に戻す機構にしている。
【００２３】支持板２２は搬送ローラ５により前室２４
の入口部３１から前室２４と焼成炉４を接続する開口部
３３を通って焼成炉４の出口部３２へと移動する。焼成
基板２１は、例えば９８０×５５４×２．８ｍｍ3のガ
ラス板の表面にペーストをコーティングしたものであ
る。支持板２２は耐熱性の基板であり、サイズとして例
えば１３００×８５０×５ｍｍ3である。
【００２４】次に本発明の第１の実施の形態における焼
成炉の制御方法について説明する。まず支持板２２上に
載置された焼成基板２１は入口コンベア１５から、搬送
ローラ５により前室２４を通って焼成炉４内部に搬送さ
れる。焼成基板２１はヒータ７により加熱されたマッフ
ル６内を通過していく。焼成炉４内は所定の温度分布に
なるように制御してある。マッフル６内へは空気供給配
管１０から新鮮な空気９を供給している。燃焼したガス
は排気管１１により焼成炉４外へ排気する。焼成炉４内
の空気９の供給と燃焼ガスの排気はほぼバランスがとれ
るよう調整している。
【００２５】ところで、図５に示した従来の構造では、
焼成炉の入口部３１が、常圧の部屋２と差圧の大きいク
リーンルーム１に配置された場合はクリーンルーム１の
空気が焼成炉４内に流入してくる。焼成炉４内への、ク
リーンルーム１の空気の流入量は、焼成炉４の入口部の
開口面積に差圧で決まる風速の積に相当する量になる。
このため、本発明の第１の実施の形態では、焼成炉４の
前に前室２４を設け、さらに前室の入口部に制御板１４
を設け、制御板１４の位置を制御して開口面積を小さく
している。開口部３３の一例として開口部幅１５００ｍ
ｍ、開口高さ２０ｍｍとすると、開口面積は０．０３ｍ
2となる。１０Ｐａの差圧では風速は４ｍ／ｓｅｃで、
０．１２ｍ3／ｓｅｃの風量が入口から焼成炉４内へ流
入することになる。
【００２６】そこで本発明の第１の実施の形態では、排
気ファン１９を回転させ、クリーンルーム１の空気の流
入量と同程度の量を排気することにより、焼成炉４内へ
の、クリーンルーム１からの空気の流入をなくしてい
る。その結果、焼成炉４内への、室温程度であるクリー
ンルーム１の空気の流入がないため、焼成炉４は安定し
た温度分布を保つことが可能になる。クリーンルーム１
と常圧の部屋２との差圧は常に一定に保つよう運転して
いるものの、５〜１０Ｐａの差圧の変動があるため、差
圧計１６により差圧を検出して、コントローラ１７によ
りインバータ１８の周波数を可変させて排気ファン１９
の回転数を変化させ排気量を制御する。これにより、ク
リーンルーム１と常圧の部屋２との差圧の変動に対して
変動流入してくる流入量と同じ量を排気することができ
るため、クリーンルーム１から焼成炉４に入ってくる空
気の流入を防止することができ、焼成炉４内の温度分布
を、常に安定に保つことができる。
【００２７】なお、本発明の第１の実施の形態において
は排気ファン１９からの排気はクリーンルーム１へのリ
ターンダクト２３に接続して、再度クリーンルーム１に
戻す機構を用いたが、リターンダクト２３の代わりに常
圧の部屋２へ通じるダクトを設け、排気ファン１９から
の排気を常圧の部屋２へ流す機構を用いても同様の効果
が得られる。
【００２８】また、本発明の第１の実施の形態において
は、フード１２と密閉カバー１３とで一体成形して焼成
炉４の前室２４を構成し、フード１２の上部に排気口を
設ける構造を用いたが、マッフル６の体積が大きい場合
は、この排気口をマッフル６の、焼成炉４の入口に近い
場所に直接設け、さらに空気排出手段（インバータ１８
と排気ファン１９およびリターンダクト２３）と排出制
御手段（差圧計１６とコントローラ１７）を設けてフー
ド１２と密閉カバー１３を取り除き、前室２４のない焼
成炉を形成してもよい。
【００２９】本発明の第２の実施の形態について、図３
に示した断面図を用いて説明する。図３において、焼成
炉４はクリーンルーム１と常圧の部屋２との間にまたが
って配置されている。クリーンルーム１と常圧の部屋２
とは壁３によって隔てられている。クリーンルーム１は
常圧の部屋２に対して５〜１０Ｐａの高圧になるように
気圧を制御している。焼成炉４は、搬送ローラ５、マッ
フル６、ヒータ７、カバー８、空気供給配管１０、排気
管１１、前室２４１を形成する入口カバー２５、前室２
４１の入口部３１に配置されたシャッタ２６、シャッタ
２６を開閉するシリンダ３０、入口コンベア１５、搬送
ローラ５を駆動させる第１のモータ２７と第２のモータ
２８および第３のモータ２９、出口コンベア２０および
支持板２２により構成されている。マッフル６は筒状に
なっており、焼成炉４の入口すなわち開口部３３から出
口部３２まで達している。ヒータ７はマッフル６の周囲
に配置されている。カバー８はマッフル６およびヒータ
７を覆っている。空気供給配管１０は空気９をマッフル
６内に供給するものであり、空気供給配管１０には焼成
炉４の入口近傍、マッフル６内および焼成炉４の出口近
傍に空気９の吹き出し口が設けられている。排気管１１
の取り出し口はマッフル６内に取り付けられ、排気管１
１により焼成炉４内の燃焼ガスをマッフル６外に排気す
る。入口カバー２５を設けた部分は焼成炉４の前室２４
１である。第１のモータ２７は入口コンベア１５を駆動
するモータであり、第２のモータ２８は前室２４１内の
搬送ローラ５を駆動するモータで高速駆動と低速駆動の
２速の切り換えが可能にしてある。高速駆動は低速駆動
に対して、約５０倍程度の速度で駆動する。第３のモー
タ２９はマッフル６内の搬送ローラ５を駆動するモータ
で低速駆動である。
【００３０】次に本発明の第２の実施の形態における焼
成炉の制御方法について説明する。焼成基板２１全体が
前室２４１に入っている場合はシャッタ２６が閉じてい
る。前室２４１から焼成基板２１が焼成炉４内に全て入
りきってしまうと、シャッタ２６は開き、入口コンベア
１５から焼成基板２１を搬送ローラ５により高速駆動で
前室２４１に搬送する。前室２４１に搬送された焼成基
板２１は搬送ローラ５の低速駆動により前室２４１を通
ってマッフル６内に搬送され焼成されていく。シャッタ
２６が開いている時間は、差圧に応じた風速でクリーン
ルーム１の空気が前室２４１に進入するが、高速駆動で
焼成基板２１を搬送するため、シャッタ２６が開いてい
る時間は数秒である。また支持板２２上に載置された焼
成基板２１が前室２４１と焼成炉４の接続部の開口部３
３を通過する時は支持板２２と焼成基板２１との厚さの
和だけ開口高さが狭くなり、空気の流入量も減少する。
この構成ではシャッタ２６の開いている時間が非常に短
いことと、さらに、前室２４１を設けているため、マッ
フル６内へのクリーンルーム１からの空気の流入を前室
２４１において緩衝させる効果もあり、焼成炉４内への
クリーンルーム１からの空気の流入を極めて少なくで
き、焼成炉４内の温度分布の変動を防止することができ
る。また、この構造では、第１の実施の形態で示した空
気排出手段を制御する排出制御手段などを設ける必要が
なく、焼成炉４全体の構造が簡単になり、焼成炉４の製
造コストを下げることができる。
【００３１】次に、本発明の第３の実施の形態について
図４に示した断面図を用いて説明する。
【００３２】図１に示した本発明の第１の実施の形態と
異なる点は、差圧計とコントローラの排出制御手段がな
く、インバータ１８、排気ファン１９およびリターンダ
クト２３の空気排出手段がダクト３４のみで形成されて
いることである。
【００３３】その他の構造は図１と同じであるので説明
を省略する。ダクト３４は前室２４に接続され、端部の
排出口は常圧の部屋２内に位置するように設置されるよ
うになっている。
【００３４】また、ダクト３４の断面積を前室２４と焼
成炉４とを接続する領域の間の部分の面積より大きくす
る。
【００３５】これにより入口部３１より前室２４内に流
入してきた空気をほとんどダクト３４より排出すること
ができる。
【００３６】開口部３３より少しは焼成炉４内には空気
が流入してくるが、わずかであるので焼成炉４内の温度
分布の変動には影響がない。
【００３７】この構造では、本発明の第２の実施の形態
に比べ、構造がより簡単になる。なお、前室２４内に入
口部３１より前室２４内に流入してきた空気をダクト３
４方向へ誘導させる複数の弁３５を設けることもでき
る。これによりさらに前室２４内に流入してきた空気を
ダクト３４から排出することができる。
【００３８】なお、上記第１および第２の実施の形態に
おいて、焼成基板２１としてはプラズマディスプレイ用
の電極や、誘電体のペーストが塗布されたガラス基板を
示したが、単なるガラス基板、半導体基板、セラミック
あるいは金属等焼成するものなら何でもよい。
【００３９】また、上記第１および第２の実施の形態に
おいて、マッフル６の形状を断面が矩形の筒形とした
が、入口部と出口部が開放されていればどのような形状
でもよい。例えば、断面が円や楕円の形状を有する筒の
ようなものでもよい。
【００４０】上記第１および第２の実施の形態におい
て、前室２４、２４１の入口部をクリーンルーム１に、
焼成炉４の出口部３２をクリーンルーム１より気圧の低
い常圧の部屋２に設置したが、前室の入口部３１の気圧
が出口部３２の気圧よりも高い場所であればどのような
場所に焼成炉４を設置してもよい。
【００４１】
【発明の効果】本発明は、第２の空間より気圧の高い第
１の空間に焼成炉の入口部を、第２の空間に焼成炉の出
口部を配置した焼成炉に対して、焼成炉に第１の空間と
第２の空間との間の差圧を検出する手段および焼成炉の
入口部に流入する空気を排出する手段を設け、第１の空
間と第２の空間との間の差圧に応じて第１の空間から流
入してくる量と同じ量を排出させて排出される空気の量
を制御することにより、第１の空間が加熱室内に空気を
流入させることを阻止することができ、焼成炉内の温度
分布を一定に保つことができ、それにより所定の焼成品
質の焼成物を得ることができる。
【００４２】また、第２の空間より気圧の高い第１の空
間に焼成炉の入口部を、第２の空間に焼成炉の出口部を
配置した焼成炉に対して、焼成炉の入口に空気の流入を
制御する開閉制御付きの前室を設け、前室の入口部から
の空気の流入を被加熱物を前室内に搬入する時にのみ制
御し、かつ前室内と焼成炉内との被加熱物の搬送速度の
選択制御を行うことにより搬入時間を短縮し、加熱室へ
の空気の流入を制御することができる。これにより、焼
成炉内の温度分布を一定に保ち、また、前室に流入して
きた空気を排出する空気排出管を設ける簡単な構造にす
ることにより、加熱室に流入する空気を少しに抑えるこ
とができ、焼成炉内の温度分布を一定に保つことができ
る。それにより所定の焼成品質の焼成物を得ることがで
きる。また、排気手段を設けた構造のものより簡単な構
造にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態における焼成炉の縦
断面図
【図２】図１のＺ−Ｚ線に沿って切断した断面図
【図３】本発明の第２の実施の形態における焼成炉の縦
断面図
【図４】本発明の第３の実施の形態における焼成炉の縦
断面図
【図５】従来の焼成炉の縦断面図
【符号の説明】
１ クリーンルーム ２ 常圧の部屋 ３ 壁 ４ 焼成炉 ５ 搬送ローラ ６ マッフル ７ ヒータ ８ カバー ９ 空気 １０ 空気供給配管 １１ 排気管 １２ フード １３ 密閉カバー １４ 制御板 １５ 入口コンベア １６ 差圧計 １７ コントローラ １８ インバータ １９ 排気ファン ２０ 出口コンベア ２１ 焼成基板 ２２ 支持板 ２３ リターンダクト ２４、２４１ 前室 ２５ 入口カバー ２６ シャッタ ２７ 第１のモータ ２８ 第２のモータ ２９ 第３のモータ ３０ シリンダ ３１ 入口部 ３２ 出口部 ３３ 開口部 ３４ ダクト ３５ 弁

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 加熱室と、前記加熱室内に設置された被
    加熱物を搬送する搬送手段と、前記加熱室の近傍に配置
    された加熱手段と、前記加熱室の入口近傍に接続された
    空気排出手段と、前記加熱室外に設置された差圧検出手
    段および前記差圧検出手段からの情報に基づいて前記空
    気排出手段の動作を制御する排出制御手段とを備え、前
    記加熱室の入口部が第１の空間に配置され、前記加熱室
    の出口部が前記第１の空間より気圧の低い第２の空間に
    配置されるとともに、前記差圧検出手段は前記第１の空
    間の気圧と前記第２の空間の気圧との圧力差を検出する
    手段であることを特徴とする焼成炉。
  2. 【請求項２】 入口部を有する前室と、前記前室と開口
    部を介して接続され、出口部を有する加熱室と、前記前
    室内と前記加熱室内に設置され、被加熱物を搬送する搬
    送手段と、前記加熱室の近傍に配置された加熱手段と、
    前記前室に接続された空気排出手段と、前記加熱室外に
    設置された差圧検出手段および前記差圧検出手段からの
    情報に基づいて前記空気排出手段の動作を制御する排出
    制御手段とを備え、前記入口部は第１の空間に配置さ
    れ、前記出口部は前記第１の空間より気圧の低い第２の
    空間に配置されるとともに、前記差圧検出手段は前記第
    １の空間の気圧と前記第２の空間の気圧との圧力差を検
    出する手段であることを特徴とする焼成炉。
  3. 【請求項３】 入口部に開閉手段を有する前室と、前記
    前室と開口部を介して接続され、出口部を有する加熱室
    と、前記加熱室の近傍に配置された加熱手段とを備え、
    前記入口部は第１の空間に配置され、前記出口部は前記
    第１の空間より気圧の低い第２の空間に配置されるとと
    もに、前記前室内に被加熱物を高速と低速とに切り替え
    て搬送する第１の搬送手段が設置され、前記加熱室内に
    低速にて前記被加熱物を搬送する第２の搬送手段が設置
    されたことを特徴とする焼成炉。
  4. 【請求項４】 被加熱物を搬送する搬送手段と、入口部
    を有する前室と、前記前室と開口部を介して接続され、
    出口部を有する加熱室と、前記加熱室の近傍に配置され
    た加熱手段とを備え、前記入口部は第１の空間に配置さ
    れ、前記出口部は前記第１の空間より気圧の低い第２の
    空間に配置されるとともに、排出口が前記第２の空間に
    配置された空気排出管が前記前室に接続されていること
    を特徴とする焼成炉。
  5. 【請求項５】 前記前室内に前記入口部より流入してき
    た空気を前記空気排出管に流れやすくする排出援助手段
    を設けたことを特徴とする請求項４記載の焼成炉。
  6. 【請求項６】 請求項１または２に記載の焼成炉を用い
    て、前記差圧検出手段により検出される前記第１の空間
    と前記第２の空間との間の気圧差を測定し、測定結果に
    応じて前記空気排出手段により排出される空気の量を前
    記排気制御手段により制御することを特徴とする焼成炉
    の制御方法。
  7. 【請求項７】 請求項４に記載の焼成炉を用いて、前記
    前室に前記被加熱物を搬入する以外は前記開閉手段を閉
    じ、かつ前記第１の搬送手段により前記被加熱物を高速
    で前記前室に搬入して前記焼成炉へ空気が流入するのを
    制限することを特徴とする焼成炉の制御方法。
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