TW432262B - An incinerator and method of controlling thereof - Google Patents

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經滴部中央標準局負工消費合作社印製 _32262 A7 13 7 五、發明説明（ί ) [發明之領域] 本發明，偽有關用於電槳顯示器或半導體等之電極燒 製，以及電介質之塗槳燒製之燒製燼及其控制方法者。 ί發明之背景] 燒製鑪，偽伴隨電槳顯示器或半導體等之電極燒製， ► 以及電介質之塗獎燒製過程是必要的不可缺之裝置。 將先前之燒製爐構造，用第5圔之剖面_說明之。 先前之燒製嫿4,由搬送棍5、耐熱玻璃所成烙室（π ui-fle>6、加熱器7、蓋8、空氣供應配管10、排氣管11、 入口蓮送機15、出口蓮送機20所構成。 烙室6,係成剖面長方形之扁平的箱形，從燒製壚4之 入口部31達至出口部32。在烙室6之外周部配置有加熱 器7。空氣供應配管10連接於烙室6,用來供應空氣9至 烙室内的管。而烙室6及加熱器？由蓋8所覆蓋。燒製 爐4之入口部3 1配置人.口蓮送機1 5，出R部3 2配置有出 口運送機20。載置於支撐扳2 2的燒製基板21,自入口蓮 送機15進入燒製爐4内，在烙室δ内由搬送棍5於搬送 中被加熱燒製，彤成可從出口蓮送機20取出。 先前之燒製爐4之入口部3 1的位置在清潔室1側。燒 製爐之出口部3 2的位置平常壓力房間2側。，而清潔室1 與在平常壓力房間2由壁3隔開。清潔室1 ,傺對在平常 壓力房間2高出5〜lQpa左右之氣壓。 依如此之先前的燒製爐4,因入口部31,配置於比出口 部22氣壓高的清潔室1内，所以由燒製爐4之入口部31 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) ΛΊ规梢（) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本I!) 裝. A7 P 4 3226 2 U7 五、發明説明（> ) 與出口部3 2間之氣屡差使清潔室1内之空氣，於烙室6 内自燒製爐4之入口部31向出口部32流動。清潔室1與 在平常壓力房間 2 間之差壓為l〇pa時，流動烙室6内 的空氣流速成4ffl_/sec, 5pa時成3m/sec。並以上述流速 使清潔室i之冷空氣流入燒製爐内，烙室6内之温度分 佈發生變動，其結果，致使燒製條件改變會産生不能獲 得所預定燒製品質之燒製物問題。. 例如在電奬顯示器之電極或電介質之塗獎燒製，，於 烙室6内之溫度變動，會産生，降低電極或電介質本身之 成品率的問題。 本發明即解決上述之問題，提供一種可獲得預定燒製 品質之燒製物之燒製爐及其控制方法者β ί發明之啓示] 經濟部中央標隼局貝工消費合作杜印聚 本發明之燒製爐具備：加熱室，將被加熱物之入口部 配置於第一空間，而出口部配置於比第一空間氣壓低的 第二空間；搬送裝置，設置在上述加熱室内，用來搬送 被搬入於加熱室内的被加熱物；加熱裝置，配置於上逑 加熱室之近旁；空氣排出裝置，連接於上述加熱室之入 口近旁；差壓檢測裝置，設置在上述加熱室外，用來檢 測第一空間之氣壓至與第二空間之氣壓的壓力差；以及排 出控制裝置，根據來自上述差壓檢測裝置之資訊，用來 控制空氣排出裝置之動作β 並由於此，因可使從入口部流入加熱室入口附近的空 氣，使用設置在入口附近的空氣排出裝置排出至燒製爐外 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4规拮（2ΪΟΧ297及#) 32 2 6 2 A7 B7 經滴部中央標準局貝工消费合作社印繁 五、發明説明（ ) 1 ! » 所 以 可 防 止 空 氣 流 入 加 熱 室 之 盡 頭 内 〇 因 此 » 可 保 持 i 1 I 燒 製 爐 内 之 溫 度 分 佈 於 —- 定 並 由 此 可 獲 得 預 定 燒 製 品 1 1 質 之 燒 製 物 〇 ,、 請 先 1 本 發 明 之 燒 製 嫿 具 備 前 室 9 在 配 置 於 第 一 間 的 入 閱 讀 1 I η 部 設 有 關 閉 裝 置 . 加 熱 室 1 藉 由 上 逑 J^t· 刖 室 與 開 部 連 背 面 1 | 之 1 接 使 出 Π 部 配 置 於 比 第 空 間 氣 壓 低 的 第 二 空 間 ; 加 注 意 1 事 1 熱 裝 置 Ϊ 配 置 於 加 熱 室 之 近 旁 5 第 —- 搬 送 裝 置 9 配 置 於 項 具： 裝 I 上 述 前 室 内 用 來 搬 送 切 換 為 高 速 與 低 速 的 被 加 熱 物 » 填' 寫 本 以 及 i 第 — 搬 送 裝 置 9 配 置 於 上 逑 加 熱 室 内 9 用 來 以 低 頁 ! I 速 搬 送 被 加 熱 物 σ I 1 並 由 於 此 9 除 了 將 被 加 熱 物 搬 入 刖 室 以 外 闋 閉 開 閉 裝 1 1 置 7 且可以遍速將被加熱構件搬入前室 所 以 可 縮 短 開 i 訂 啓 開 關 裝 置 的 時 間 Ο 因 此 S 可 抑 制 白 入 P 部 流 入 前 室 之 1 空 氣 在 曰 取 小 限 度 9 阻 止 大 部 分 空 氣 流 入 加 熱 室 Ο 由 此 3 1 1 司 保 持 燒 製 爐 内 之 溫 度 分 佈 在 一 定 > 獲得預定燒製品質 1 1 之 燒 製 檢 〇 而 且 9 與 具 有 空 氣 排 出 裝 置 和 差 壓 檢 測 装 置 1 )! 的 燒 製 m th 較 構 造 簡 aa 早 可 降 低 燒 製 爐 之 製 造 成 本 〇 %% 1 本 發 明 之 燒 製 爐 具 備 有 > -X-L-. 刖 室 9 入 α 部 配 置 在 第 一 空 1 I 間 加 熱 室 9 藉 由 上 逑 前 室 與 開 P 部 所 連 接 將 出 P 部 I 1 配 置 在 比 第 —- 空 間 之 氣 壓 低 的 第 二 空 間 9 搬 送 裝 置 9 設 | 置 在 上 逑 前 室 與 加 熱 室 内 t 用 來 搬 送 被 加 熱 物 5 加 熱 裝 I 置 > 配 置 於 上 述 加 熱 室 之 近 旁 以 及 空 氣 排 出 室 * 端 I 1 側 之 吸 入 P 連 接 於 前 室 9 將 另 一 端 刨 之 排 氣 P 配 置 於 第 1 t 空 間 〇 5- \ 1 1 ! 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) /\4规柏（21〇Χ297':Ί·-) 'W4 322 6 2 A7 137 經滴部中央標41'局貝工消費合作社印製 五、發明説明（ 4* ) 1 1 並 由 於 此 » 可 使 空 氣 排 出 管 之 剖 面 積 比 燒 製 爐 人 P 之 1 1 開 P 剖 面 積 大 9 其 流 入 到 前 室 之 空 氣 只 稍. 微 流 入 燒 製 爐.. 1 之 方 向 從 空 氣 排 出 管 可 排 出 大 部 分 之 空 菊) 〇 又 可 使 r> 請 1 先 1 摇 1«· 造 更 加 簡 Cfd 毕 Ο 闊 讀 1 | 本 發 明 之 燒 製 爐 9 傺 對 上 述 之 刖 室 内 使 從 入 P 部 流 入 背 I I 之 1 1 的 空 氣 9 設 置 易 流 動 於 空 氣 排 出 管 側 之 排 出 援 助 裝 置 者。 注 意 1 亊 1 由 此 S 可 將 流 入 到 前 室 的 空 氣 由 排 出 援 肋 裝 置 誘 導 至 項 - ) 空 氣 排 出 管 之 方 向 9 大 部 分 從 空 氣 排 出 管 可 排 出 空 氣 〇 供 fb 本 裝 1 本 發 明 燒 製 爐 之 控 制 方 法 3 採 用 申 請 專 利 範 圍 第 1 或 、_/ 1 I 2 項 之 燒 製 爐 y 由 測 量 上 逑 差 壓 檢 測 裝 置 所 檢 測 的 第 一 1 1 空 間 與 菊 二 空 間 之 間 氣 壓 差 9 因 應 測 量 結 果 將 白 空 氣 排 I ί 出 裝 置 所 排 出 之 空 氣 量 y 經 由 上 述 排 氣 控 制 裝 置 控 制 者。 1 訂 並 依 此 方 法 y 將 從 空 氣 排 出 裝 置 所 排 出 的 空 氣 量 9 因 1 可 因 應 由 差 壓 撿 測裝置所檢測壓力，差加以改變 9 故 只 可 排 1 1 出 所 流 入 的 空 氣 量 ， 可 防 止 空 氣 流 入 加 熱 室 内 〇 1 I 本 發 明 燒 製 爐 之 控 制 方 法 採 用 申 請 專 利 範 圍 第 4 項 1 )! 之 燒 製 爐 i 除 了 將 上 逑 被 加 熱 物 搬 入 ·« > 刖 室 以 外 乃 關 閉 開 線 I 閉 裝 置 J 目. 由 上 逑 第 —* 搬 送 裝 置 以 高 速 將 被 加 熱 物 搬 入 i I 前 室 > 用 來 限 制 空 氣 流 入 燒 製 爐 者 Ο ! 1 並 依 此 方 法 9 流 入 至 刖 室 的 空 氣 量 ΐ&τ 限 制 於 少 * 故 流 | 入 前 室 的 空 氣 可 防 止 其 直 接 流 入 加 熱 室 内 Ο f [圖式之簡單說明] 1 i 第 1 圖 本 發 明 於 第 1 頁 施 例 的 燒 製 爐 之 縱 剖 面 圖 〇 ! I 第 2 圖 沿 第 1 圖 之 Z- Z線切斷的部面圖。 -β - 1 1 1 1 ! 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS )以规柏（2i〇X?97公殍） 32 2 6 2 Λ7 五、發明説明（，） 第3圖 本發明於第2實施例的燒製爐之縱剖面圖。 第4圖 本發明於第3實施例的燒製爐之縱剖面画。 第5圖 先前之燒製爐之縱剖面圖。 [實施例之說明] 以下，對於本發明之實施例，參照_面加以說明。 對於本發明之第1實施例，採用第1圖所示剖面圔及 沿第1圖之Z - Z線切斷的剖面圃之第2圖來說明。又，對 與上逑先前例同構成則使同圖號》 於第1圖，燒製爐4僳跨越清潔室i與在平常壓力下 之房間2間所配置。清潔室1與在平常壓力房間2由壁 3隔開。清潔室1對平常壓力房間2控制氣壓成5〜10pa 之高壓。 經濟部中央標準局男工消費合作社印聚 (請先閲讀背而之注意事項再填寫本頁) 燒製爐4,由烙室6,形成加熱室；搬送锟5,配置在從烙 室β内之入口至岀口；加熱器7,用來加熱設於烙室6外 周部的燒製基板21;蓋8，用來覆蓋烙室6與加熱器7;空 氣供應配管10，具有多數之吹出口，用來供應空氣於烙 室6内；排氣管11，在烙室6之上部設置吸入口，用來 排氣烙室G内之燃燒氣體；前室24,由蓋帽12與密閉蓋 13所形成；控制板14，用來控制Μ室24入口部31之開口 ;入口蓮送機15,設在烙室6之人口側；差壓計（差壓 檢測裝置）1 6 ,用來測量清潔室1與平常壓力房間2的 壓力差；控制器17,由差壓計1δ之結果輸出控制信號； 變流器1 8 ,可以改變頻率；排氣扇1 9，用來排出前室2 4 内之空氣；出口運送機20,設於烙室6之出口側；以及 -7 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規梠（210Χ 297公# ) B7 經漓部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（ b ) 1 1 支 撐 板 2 1 , 用 來 載 置 燒 製 基 板 2 1 由 搬 送 锟 5 來 搬 送 所 構 1 f 成 〇 1 1 搬 送 锟 5 由 驅 動 源 (未圖示）所 驅 動 〇 如 第 1 圔 及 第 2 讀 1 先 1 圖 所 示 烙 室 % 形 成 剖 面 為 長 方 彤 之 扁 平 箱 形 9 而 從 燒 閱 讀 i I 製 爐 4 之 入 Ρ 亦 即 開 α 部 3 3 連 至 出 P 部 32 〇 加 熱 器 7 配 背 ώ 1 i 之 I 置 於 烙 室 6 之 外 周 圍 部 d 空 氣 供 應 配 管 10 3 傜 供 應 空 氣 注 意 ί 事 1 9 給 烙 室 6内者， 並 於 空 氣 供 應 配 管 1 0在 燒 製 爐 4 之 入 P 項 再 ) 近 旁 9 烙 室 6 内 及 燒 製 據 4 之 出 □ 近 旁 設 置 有 空 氣 9 之 填. 寫 .本 裝 吹 出 □ 〇 排 氣 管 1 1之 吸 氣 □ 安 裝 於 烙 室 6 内 » 由 排 氣 管 頁 S^ ! | 1 1 將 烙 室 6 内 之 燃 燒 氣 體 排 氣 於 燒 製 爐 4 外 〇 蓋 帽 1 2 設 1 在 燒 製 爐 4 之 入 P 而 在 蓋 帽 1 2 之 上 部 設 有 排 氣 η 〇 密 1 1 閉 蓋 1 3 設 在 蓋 帽 12 内 之 搬 送 m 5 之 下 面 防 止 白 清 潔 室 1 訂 1 流 入 前 室 2 4的 空 氣 ΑΤΛ 從 搬 送 棍 5 之 下 面 漏 洩 〇 並 以 組 合 1 装 IHL· 帽 12 與 密 閉 蓋 13 —~* sm 體 成 型 來 構 成 燒 製 駿 4 之 刖 室 24 〇 1 I 在 _ϋ 刖 室 2 4形 成 有 搬 送 用 之 入 α 部 3 1 〇 控 制 板 14 9 傺 設 於 1 I 前 室 24之 入 Ρ 部 3 1 9 而 控 制 從 清 潔 室 1 空 氣 流 入 前 室 24 1 之 量 者 〇 人 Π 運 送 機 15 配 置 於 刖 室 2 4之 入 □ 部 3 1 f 出 P 線 j 蓮 送 機 2 0 配 置 在 燒 製 爐 4 之 出 □ 部 32 〇 差 壓 計 16 9 具 備 t [ 有 ill! m 部 在 平 常 壓 力 下 之 房 間 2 的 第 测 量 P 16 a 3 及 在 清 1 i 潔 室 1 的 第 二 測 量 □ 16 b0 控制器1 7 , 僳因應於差壓計 i 1 6之 輸 出 使 變 流 器 1 8之 頻 率 可 變 來 控 制 排 氣 扇 1 9之 旋 趨 t t 數 9 予 控 制 空 氣 之 排 出 量 又 9 來 自 排 氣 議 19之 排 氣 > 1 [ 連 接 於 清 潔 室 1 的 回 行 導 管 2 3 > 形 成 再 度 返 環 至 清 潔 [ I 室 1機構。 1 I 8 ~ 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家摞準（CNS > Μ说梠（210X297公舒） 醪4 3226 2 A7 B7 經濟部中央標準局負工消费合作社印聚 五、發明説明（ 7 ) 1 1 支 撐 板 2 2， 由 搬 送 棍 5 通 過 前 室 24 之 入 口 部 3 1 、 燒 製 1 1 爐 4 之 開 □ 部 33往 燒 製 爐 4 之 出 η 部 3 2移 動 Ο 支 撐 板 2 2 1 1 為 耐 熱 性 之 基 板 9 其 大 小 例 如 縱 8 5 0 b 横 13 00 18 ffl V 厚 度 产—%. 請 1 先 1 5π 1 m 〇 燒製基板2 1 例如在縱E I 54 橫 98 〇、 厚度2 .8 mm 之 閲 讀 1 玻 璃 板 表 商 施 予 塗 獎 包 覆 者 〇 背 1 I 之 1 其 次 對 本 發 明 於 第 1 實 施 例 的 燒 製 爐 之 控 制 方 法 加 以 注 意 1 説 明 〇 事 項 1 再」 ) 首 先 載 置 於 支 撐 板 2 2上 的 燒 製 基 板 2 1 9 ΡΙϊ 由 入 蓮 送 機 填. % 本 裝 1 5 送 入 前 室 24 i 並 由 1m 送 锟 5 通 過 前 室 24搬 送 到 燒 製 爐 頁 、， 1 | 4 内 部 〇 燒 製 基 板 2 1 s 通 過 由 加 熱 器 7 所 加 熱 的 烙 室 6 1 1 内 〇 燒 製 itit m 4 内 傺 控 制 成 為 預 定 之 溫 度 分 佈 〇 對 烙 室 6 1 ! 内 則 ΛΜ 従 空 氣 供 應 配 管 1. 0供 應 新 鮮 的 空 氣 9〇 經過燃燒的 訂 氣 體 由 排 氣 管 11排 氣 到 燒 製 爐 4 外 〇 燒 成 嫌 4 内 之 空 氣 1 9 供 應 與 燃 燒 氣 體 之 排 氣 傺 調 整 為 大 致 取 得 平 衡 者 〇 1 1 可 是 f 於 第 5 圖 所 示 之 先 前 構 造 » 將 is 燒 製 爐 之 入 口 部 1 I 3 1 配 置 於 fcb 平 常 壓 力 下 之 房 間 2 壓 力 大 的 清 潔 室 1 時 1 \| 清 潔 室 1 之 空 氣 會 流 入 於 燒 製 爐 4 内 〇 對 燒 製 爐 4 内 的 線 [ 清 潔 室 1 之 空 氣 流 入 9 偽 成 為 對 燒 製 爐 4 入 部 之 開 1 I □ 面 積 9 相 田 於 由 弟 j·*·· 壓 決 定 風 速 之 乘 積 的 量 〇 1 1 因 此 9 在 本 發明之第 1 實 施 例 > 茌 燒 製 燫 4 之 刖 設 前 室 | I 2 4 7 再 在 前 室 之 入 □ 部 設 控 制 板 14 9 以 控 制 控 制 板 1 4之 1 1 位 置 使 開 口 面 積 小 〇 1 1 作 為 開 P 部 3 3之 例 以 開 口 部 寬 1 5 00 mis X 開 口 高 度 2 0 1 1 m iq 時 ί 開 α 面 積 卽 成 0 . 0 3 nf 〇 9 - 並 於 1 Bpa 之 差 壓 S 其 風 速 1 1 1 Ί 1 本紙張尺度適用中.國國家標隼（CMS ) Λ心見梢（2丨OX ?97公f ) A7 靥4 32 2 6 2 B7 五、發明説明（/ ) 為4m/sec,變成有0.12 m3 / sec之風量從入口流入燒製爐 4内。 所以在本發明之第i實施例，驅動排氣扇19，由於以 流入前室24的流入空氣量同程度之空氣量排氣於清潔室 1 ，所以對燒製爐4内，消失了從清潔室1之空氣流入 。其結果，因對燒製爐4内無流入空氣，所以可將燒製 爐4之溫度分佈保持於穩萣。 清潔室1與平常壓力下房間2的壓力差，雖然通常仍 連轉於保持在一定，可是有5〜10pa之差壓變動，故由 差壓計1 6檢測壓力差，並由控制器1 7改變變流器1 8之頻率 ，而改變排氣扇19之旋轉數來控制對清潔室1的空氣排 氣量。並由此，産生清潔室1與在平常壓力房間2的壓 力差時，亦可使與流入前室24的空氣流入量同量，排氣 於清潔室1側，所以可防止從清潔室1進入燒製爐4的 空氣流入。又因無流入室溫之空氣，故通常可保持燒製 爐4内之溫度分佈於穩定。 又，於本發明之第1實施例，經由排氣扇19的排氣， 偽採用藉由回行導管2 3再度返還到清潔室1的機構，但 是替代回行導管23設置通往平常壓力房間2的導管，採 用從排扇19的排氣流入在平常壓力下之房間2的機構， 亦可獲得同樣之效果β 又，於本發明之第1實施例，由蓋帽12與密閉蓋13 — 體成形構成燒製爐4之前室24，採用在蓋帽12之上部設 排氣口的構造，但是烙室8之體積大時，將此排氣口在 -1 0- I m 11 1- - ---- - - - - - ! ^^1 ^^1 ^^1 ^^1 I - 丁r Ml 1_ 1r --- - - -- -i 『 .} 斗 i )¾ .- (請先閱讀背面之注意事項搏4寫本頁) 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 A7 ^4 322 8 2 1Π 五、發明説明（？） 烙室G，直接設於靠近燒製爐4入口的地方，再設置空氣 排出裝置（變流器18與排氣磨19及回行導管23)與排出控 制裝置（差壓計16與控制器17),取下蓋帽與密閉蓋13， 形成無前室24的燒製爐亦可^ 對於本發明之第2實施例，使用如第3圖所示剖面圔 來說明。 於第3圖，燒製爐4以跨越清潔室1與在平常壓力下 之房間2之間配置β清潔室1對在平常壓力下之房間2 控制氣壓成5〜lQp a之高壓。 燒製爐4,由搬送_5;烙室6;加熱器7;蓋8;空氣供應配 管1Q;排氣管U;形成前室241的入口蓋25;配置在前室 2 4 1人口部3 1的檔門2 6 ;開閉擋門2 6的Μ 3 0 ;人口蓮送 機15;驅動搬送辊5的第一馬達27;第二馬達28;第三 馬達29;出口蓮送機2D;以及支撐板22等構成。 烙室6呈剖商長方形之扁平的箱形，從燒製嫌4之入 口亦即自開口部33達至出口部32。加熱器7配置在烙室6 之周圍。蓋8傺覆蓋烙室6及加熱器。空氣供應配管1G 僳將空氣9供應於烙室6内者，在燒製爐4之入口近旁 ，烙室6内及燒成爐4之出口近旁設置空氣9之吹出口 。排氣管ϋ之吸入口安裝於烙室6内，由排氣管11將燒 製鑪4内之燃燒氣體排氣至烙室fi外。設置人口蓋25的 部分即為燒製爐4之前室24U第一馬建27傺為驅動入 口蓮送機15之馬達，第二馬達28為驅動前室241内之搬送 棍5的馬達，並使其可切換.為高速驅動與低速驅動二速 -1 1 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS )以規梠< 21〇X?97公# ) (請先閱讀背面之注意事項#填寫本頁) .裝 訂 經滴部中决標準局貝工消費合作社印製 ΑΊ ΑΊ 繇43226 2 Β7 五、發明説明（、。） 。高速驅動偽對低速驅動，約以50倍左右之速度_動。 第三馬達29驅動烙室6内搬送顆5的低達驅動。 其次對於本發明之第2實施例的燒製爐之控制方法加 以說明。 全體的燒製基板21進入前室241時闋閉檔門26。並自 前室241當燒製基板21完全進入燒製爐4内時，開啓擋 門26,自入口蓮送機15由搬送輥5以高速驅動搬送燒製 基板21至前室241。搬送至前室241的燒製基板21由搬送 混5之低速驅動而通過前室241搬送到烙室6内行燒製^ 當檔門26開啓時，以因應於差壓的風速雖然清潔室i之 荦氣會流入前室24i,但是因以高速驅動搬送燒製基板21 ，故檔門開啟數秒的時間。又載置於支撐板2 2上的燒製 基板21,通過前室241與燒製爐4之連接部之開口部33時 ，僅支撐板22與燒製基板21的厚度和開口變狹，空氣之 流入量亦減少。在此構成因揖門26開啓時間非常的短， 所以可使對燒製爐4内自清潔室1之空氣流入極為少。 再者，因設置有前室241，故對烙室6内可使從清潔室1 之空氣流入於前室241亦有緩衝效果。因而，可防止燒 製爐4内之溫度分佈變動。又，依此構造，並不需要設 置第1實施例所示的控制空氣排出裝置之排出控制裝置 等，金體燒製爐4之構造簡單，可降低燒製爐4之製造 成本《 其次，對於本發明之第3實施例使第4圖所示剖面圖 加以説明。 -1 2 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS > 梠（210Χ21?·?公# ) ^ ^ I , ~™ 訂 ^線 -- (請先間讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標隼局貝工消費合作社印製 經濟部中央標率局貝工消費合作社印製 「黼432 26 2 a7 B7 五、發明説明) 與第1圖所示本發明之第i實施例相異之黏，傺無差 壓計】.6與控制器1 7之排出控制裝置，其變流器1 8、排氣 扇19及回行導管23之空氣排出裝置僅由導管34所形成。 其他之構造僳與第1圖同樣省略說明〇 導管34，將一端側之吸入口連接於前室24,另一端制 之排氣口設置成位置在平常壓力下之房間2内。 又，使導管34之剖面積，比連接前室24與燒製爐4的 區域間之部分面積大。並依此從入口部31流入前室24内 的空氣大部分可從導管34緋出β 雖然自開口部3 3稻檝有空氣會流入燒製爐4内，但是 極檝少對燒製櫨4内溫度分佈之變動無影響。 依此構造，比本發明之第2實施例，構造更加簡單。 又，對前室24内設置使由人口部31流入前室24内的空 氣，誘導至導管34方向的多數之閥35(排出援助裝置}亦 可。並由此再使流入前室24内的空氣可自導管34排出。 又，於上述第1及第2之實施例，作為燒製基板21雖 然表示了電奬顯示器用之電極，或塗佈電介質之塗奬的 玻璃基板，可是以單純的玻璃基板、半導體基板、陶瓷 或金屬等燒製成者都不用問其用途。 又，於上逑第1及第2實施例，傜將烙室6之形狀作 為剖面長方形之扁平箱形，可是只要入口部與出口部開 放者任伺形狀都可例如，剖面如具有圓或橢圓形狀之 筒者都可。 於上述第1及第2實施例，設置前室24、241之入口 -1 3- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4规梠（21〇X29"U>§ ) (請先間讀背面之注意事項再填寫本頁) .裝. ι 顏 322 6 2 at η 7 五、發明説明（^ ) 部比清潔室1，燒製爐4之出口部32比清潔室1氣壓低的 平常壓力之房間2,可是前室入口部31之氟壓者比出口部 32之氣壓高的地方，在任何地方設置燒製紱4亦可。 (讀先閱讀背而之注意事項得填寫本頁) 裝· '1Τ 經濟部中央標準局員工消費合作社印^ -14- 本紙張尺度適用中國國家栋準（CNS ) ΛΊ規柏（2iOX?9?公舒） 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 ^43226 2 a7 B7 五、發明説明（〇 ) 參考符號說明 1 .....清潔室 2 ·——平常壓力房間 4.....燒製爐 6.....烙室 10——空氣供給配管 1 4 ....控制板 15— —入口蓮送機 16— —差壓計（差壓檢測裝置） 1 7 ....控制器 1 9 ....排氣扇 2 0 ....出口蓮送機 21— —燒製基板 22— —支撐板 2 3 ....回行導管 24，24 1 ..前室 3 1 .…入口部 32 ....出口部 3 3 ....開口部 34 ....導管 35——閥（排出援肋裝置） -1 5 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210x?9h>f ) Μ— ίνπΊ 1 ~^ ( Ϊ 訂 ! . 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Claims (1)

1. P43226 2 ll D8 六、申請專利範圍 ’ 1. 一種燒製爐，其特為具備： 加熱室，像被加熱物之入口部配置在第一空間，出 口部配置在比第一空間氣壓低的第二空間； 攏送裝置，設置於加熱室内，用來搬送被镅入於加 熱室内的被加熱物； 加熱裝置，配置於加熱室之近旁； 空氣排岀裝置，連接於加熱室之入口近旁； 差壓檢測裝置，設置在加熱室外，用來檢測第一空 間之氣壓與第二空間之氣壓壓力差；以及 排出控制裝置，依照從差壓檢測裝置之資訊用來控 制空氣排出裝置之動作。 2. —種燒製爐，其特徴為具備： 前室，配置入口部於第一空間； 加熱室，藉由前室與開口部所連接，將出口部配置 於比第一空間氣壓低的第二空間； 搬送裝置，設置於前室内與加熱室内，用來搬送被 加熱物。 加熱裝置，配置於加熱室之近旁。 經濟部中央標率局員工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 空氣棑出裝置，連接於前室； 差壓檢測裝置，設置在加熱室外5用來檢測第一空 間之氣壓與第二空間之氣壓的壓力差，以及 依照來自差壓檢測裝置之資訊，用來控制空氣排出 裝置之動作。 3 . —種燒製燼，其特徵為具備： -16- 本紙張；^適用中國國家標华（CNS ) Α4規格（210 X 297公釐） ABCD P43226 2 六、申請專利範圍 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 前室，配置茌第一空間的入口部設有開閉裝置； 加熱室，藉由前室與開口部連接，將出口部配置於 比第一空間翕庫低的第二空間； 加熱裝置，配置於加熱室之近旁； 第一搬送裝置，設置在前室内，用來切換被加熱物 為高速與低速搬送；以及 第二搬送裝置，設置在加熱室内，用來以低速搬送 被加熱物。 4. 一種燒製爐，其特徽為具備： 前室，入口部配置於第一空間； 加熱室，藉由前室與開口部連接，將出口部配置於 比第一空間氣壓低的第二空間； 搬送裝置，配置在前室與加熱室内，用來搬送被加 熱物； ’ 加熱裝置，配置在加熱室之近旁；以及， 空氣排出管，一端側之吸入口建接於前室，將另一 端侧之排出口配置於第二空間。 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 5. 如申請專利範圍第4項之燒製爐，其中使於前室内從 入口部流入的空氣，容易流通於空氣排出管側設有排 出援肋裝置η fi .—種燒製爐之控制方法，其特徵條採用申請專利範圍 第1或2項之燒製爐，由差壓檢測裝置測量第一.空間 與第二空間之間的氣壓差，將因應於簡量結果由空氣 排氣控制裝置來控制從排出裝置所排出之空氣量。 -17- 本紙银尺度逋用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X；297公釐） A8 B8靨 4 32 26 2 g8s 六、申請專利範圍 圍俗物 範，熱 利外加 專以被 請室將 申前速 用入高 C 採搬以爐 换物置製 徴熱裝燒 特加送入 其被搬流 ，將一氣 法 了第空 方.除由制 制 ' 且控 控爐，來 之製置用 爐燒裝， 製之閉室 燒項開前 種 4 閉入 一 第關檝 (請先閲讀背面乏注意事項再填寫本頁) 經濟部中央摇準局貝工消費合作社印裝 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）