JPH10217473A - 液体噴射記録ヘッドおよびその製造方法 - Google Patents
液体噴射記録ヘッドおよびその製造方法Info
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- JPH10217473A JPH10217473A JP9293530A JP29353097A JPH10217473A JP H10217473 A JPH10217473 A JP H10217473A JP 9293530 A JP9293530 A JP 9293530A JP 29353097 A JP29353097 A JP 29353097A JP H10217473 A JPH10217473 A JP H10217473A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 第１基板と第２基板を組み合わせて形成する
液体噴射記録ヘッドにおいて、第１基板と第２基板とを
容易にかつ確実に封止することができ、封止工程の歩留
りの低下を解決できる記録ヘッドおよびその製造方法を
提供する。 【解決手段】 吐出エネルギー発生素子を形成した第１
基板１７とインク流路や吐出口を形成した第２基板１１
とを接合し、その接合面を封止して作成する液体噴射記
録ヘッドにおいて、第１基板１７と第２基板１１との接
合面に、微粒子２１、例えば、第２基板の材料の組成に
含まれる１つの元素（例、カーボン）を主成分とする材
料、あるいは表面に水酸基をもつ高分子材料等、を介在
させた状態で、接合面やその周辺をシリコーン樹脂等の
封止剤２５で封止してある。よって、封止剤がインク流
路や吐出口に流れ込んで印字不良を引き起こすことを防
止することができる。
液体噴射記録ヘッドにおいて、第１基板と第２基板とを
容易にかつ確実に封止することができ、封止工程の歩留
りの低下を解決できる記録ヘッドおよびその製造方法を
提供する。 【解決手段】 吐出エネルギー発生素子を形成した第１
基板１７とインク流路や吐出口を形成した第２基板１１
とを接合し、その接合面を封止して作成する液体噴射記
録ヘッドにおいて、第１基板１７と第２基板１１との接
合面に、微粒子２１、例えば、第２基板の材料の組成に
含まれる１つの元素（例、カーボン）を主成分とする材
料、あるいは表面に水酸基をもつ高分子材料等、を介在
させた状態で、接合面やその周辺をシリコーン樹脂等の
封止剤２５で封止してある。よって、封止剤がインク流
路や吐出口に流れ込んで印字不良を引き起こすことを防
止することができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、記録用液体を吐出
口から飛翔液滴として吐出させ、被記録媒体に付着させ
ることによって印字記録を行なう液体噴射記録ヘッドお
よびその製造方法に関するものである。
口から飛翔液滴として吐出させ、被記録媒体に付着させ
ることによって印字記録を行なう液体噴射記録ヘッドお
よびその製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の液体噴射記録ヘッドにおいては、
図８に示すように、シリコン基板上に吐出エネルギー発
生素子を形成した第１基板１００と、インク流路１０２
を形成する凹部とインク流路１０２に連通してインクを
吐出する吐出口１０３が形成された吐出口プレート１０
４と各インク流路１０２へ供給されるインクを一時的に
保持する共通液室１０５を構成する凹部を有する第２基
板１０１とを接合し、そして第１基板１００と第２基板
１０１の接合部を封止剤にて封止することによって構成
されている（特開昭５５−１３２２５３号公報参照）。
図８に示すように、シリコン基板上に吐出エネルギー発
生素子を形成した第１基板１００と、インク流路１０２
を形成する凹部とインク流路１０２に連通してインクを
吐出する吐出口１０３が形成された吐出口プレート１０
４と各インク流路１０２へ供給されるインクを一時的に
保持する共通液室１０５を構成する凹部を有する第２基
板１０１とを接合し、そして第１基板１００と第２基板
１０１の接合部を封止剤にて封止することによって構成
されている（特開昭５５−１３２２５３号公報参照）。
【０００３】さらに、カラー用の液体噴射記録ヘッド
は、図１０に示すように、吐出エネルギー発生素子を形
成した第１基板と、複数に分割されて液室毎に異なる色
のインクが供給される複数の液室１１５を有するインク
吐出用のノズル付き天板（第２基板）１１１とを接合す
るとともに、第２基板１１１において、各液室を確実に
分離分割するために液室間に色間分離用の溝１１８を形
成し、その分離用の溝１１８に封止剤を充填することに
よって構成されている。
は、図１０に示すように、吐出エネルギー発生素子を形
成した第１基板と、複数に分割されて液室毎に異なる色
のインクが供給される複数の液室１１５を有するインク
吐出用のノズル付き天板（第２基板）１１１とを接合す
るとともに、第２基板１１１において、各液室を確実に
分離分割するために液室間に色間分離用の溝１１８を形
成し、その分離用の溝１１８に封止剤を充填することに
よって構成されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、例えば
図８に図示するような従来の液体噴射記録ヘッドでは、
第１基板１００と第２基板１０１の接合部を封止剤にて
封止する際に、第１基板１００と第２基板１０１のわず
かな隙間から封止剤がインク流路１０２や吐出口部１０
３へ流れ込む場合があり、このように封止剤がインク流
路１０２や吐出口部１０３へ流れ込んだ記録ヘッドは、
インクの吐出不良を引き起こし、不良品となってしま
う。そこで封止剤のインク流路や吐出口への流れ込みを
防止する対策として、図９に図示するような、インク流
路列の両側に封止だまり１０８を設ける構成が特開平２
−１８７３５１号公報に開示されている。しかし、この
ような構成を採用しても、封止剤の粘度、タックフリー
特性、封止剤の量等を厳しく管理しなければならなかっ
た。
図８に図示するような従来の液体噴射記録ヘッドでは、
第１基板１００と第２基板１０１の接合部を封止剤にて
封止する際に、第１基板１００と第２基板１０１のわず
かな隙間から封止剤がインク流路１０２や吐出口部１０
３へ流れ込む場合があり、このように封止剤がインク流
路１０２や吐出口部１０３へ流れ込んだ記録ヘッドは、
インクの吐出不良を引き起こし、不良品となってしま
う。そこで封止剤のインク流路や吐出口への流れ込みを
防止する対策として、図９に図示するような、インク流
路列の両側に封止だまり１０８を設ける構成が特開平２
−１８７３５１号公報に開示されている。しかし、この
ような構成を採用しても、封止剤の粘度、タックフリー
特性、封止剤の量等を厳しく管理しなければならなかっ
た。
【０００５】さらに、従来のカラー用の液体噴射記録ヘ
ッドにおいては、第２基板の共通液室間に設けられた各
液室分離用の封止剤を充填するための溝１１８（以下、
単に共通液室分離溝という。）は、各液室のインク吐出
用のノズル部分まで続いており（以下、共通液室分離溝
に隣接し、連通しているノズルをダミーノズルとい
う。）、この共通液室分離溝１１８に色間分離用の封止
剤を充填する場合、封止剤が共通液室分離溝あるいはダ
ミーノズルで確実に止まり、インク吐出用ノズルに流れ
込まないようにする必要がある。しかしながら、封止剤
は共通液室分離溝１１８とダミーノズルを毛管現象で流
れるために、充填する量を精度良く制御することは非常
に困難であった。すなわち、封止剤充填量が多すぎる
と、封止剤がダミーノズルから溢れることによりインク
流路をも封止してしまうこととなり、また封止剤充填量
が少なすぎると、封止剤は共通液室分離溝の途中でとま
るため、液室を完全に分離することができず、混色を引
き起こしてしまうこととなる。このように、いずれの場
合においても封止工程の歩留りの低下を引き起こしてい
た。
ッドにおいては、第２基板の共通液室間に設けられた各
液室分離用の封止剤を充填するための溝１１８（以下、
単に共通液室分離溝という。）は、各液室のインク吐出
用のノズル部分まで続いており（以下、共通液室分離溝
に隣接し、連通しているノズルをダミーノズルとい
う。）、この共通液室分離溝１１８に色間分離用の封止
剤を充填する場合、封止剤が共通液室分離溝あるいはダ
ミーノズルで確実に止まり、インク吐出用ノズルに流れ
込まないようにする必要がある。しかしながら、封止剤
は共通液室分離溝１１８とダミーノズルを毛管現象で流
れるために、充填する量を精度良く制御することは非常
に困難であった。すなわち、封止剤充填量が多すぎる
と、封止剤がダミーノズルから溢れることによりインク
流路をも封止してしまうこととなり、また封止剤充填量
が少なすぎると、封止剤は共通液室分離溝の途中でとま
るため、液室を完全に分離することができず、混色を引
き起こしてしまうこととなる。このように、いずれの場
合においても封止工程の歩留りの低下を引き起こしてい
た。
【０００６】この種の対策として、特開平８−１１３０
６号公報（特願平６−１４６２４４号）において、共通
液室分離壁の形状を工夫したものが開示されているけれ
ども、この開示された手段を用いても確実な封止を行な
うことは困難であった。
６号公報（特願平６−１４６２４４号）において、共通
液室分離壁の形状を工夫したものが開示されているけれ
ども、この開示された手段を用いても確実な封止を行な
うことは困難であった。
【０００７】そこで、本発明は、上記従来技術の有する
未解決の課題に鑑みてなされたものであり、容易にかつ
確実に封止することができ、封止工程の歩留りの低下を
解消することができる液体噴射記録ヘッドおよびその製
造方法を提供することを目的とするものである。
未解決の課題に鑑みてなされたものであり、容易にかつ
確実に封止することができ、封止工程の歩留りの低下を
解消することができる液体噴射記録ヘッドおよびその製
造方法を提供することを目的とするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の液体噴射記録ヘッドは、複数の吐出エネル
ギー発生素子を形成した第１基板と、インクが吐出され
る複数の吐出口が形成された吐出口プレートと、該吐出
口にそれぞれ連通するインク流路および前記各吐出口へ
供給されるインクを保持する共通液室となる凹部を有す
る第２基板とを備え、前記第１基板の吐出エネルギー発
生素子と前記第２基板のインク流路となる凹部とを対応
させて前記第１基板と第２基板とを接合することにより
前記インク流路および共通液室が形成されているととも
に前記第１基板と第２基板との接合部が封止剤によって
封止されている液体噴射記録ヘッドにおいて、前記第１
基板と第２基板との接合部には、微粒子が介在されてい
ることを特徴とする。
め、本発明の液体噴射記録ヘッドは、複数の吐出エネル
ギー発生素子を形成した第１基板と、インクが吐出され
る複数の吐出口が形成された吐出口プレートと、該吐出
口にそれぞれ連通するインク流路および前記各吐出口へ
供給されるインクを保持する共通液室となる凹部を有す
る第２基板とを備え、前記第１基板の吐出エネルギー発
生素子と前記第２基板のインク流路となる凹部とを対応
させて前記第１基板と第２基板とを接合することにより
前記インク流路および共通液室が形成されているととも
に前記第１基板と第２基板との接合部が封止剤によって
封止されている液体噴射記録ヘッドにおいて、前記第１
基板と第２基板との接合部には、微粒子が介在されてい
ることを特徴とする。
【０００９】そして、本発明の液体噴射記録ヘッドの製
造方法は、複数の吐出エネルギー発生素子を形成した第
１基板を用意する工程と、インクが吐出される複数の吐
出口が形成された吐出口プレートと、該吐出口にそれぞ
れ連通するインク流路および前記各吐出口へ供給される
インクを保持する共通液室となる凹部を有する第２基板
を用意する工程と、前記第２基板の第１基板との接合部
に微粒子を付着させる工程と、前記第１基板の吐出エネ
ルギー発生素子と前記第２基板のインク流路となる凹部
とが対応するように前記第１基板と第２基板と位置合わ
せし、第１基板と第２基板とを接合することにより前記
インク流路および液室を形成する工程と、前記第１基板
と第２基板との接合部を封止剤によって封止する工程と
を有することを特徴とする。
造方法は、複数の吐出エネルギー発生素子を形成した第
１基板を用意する工程と、インクが吐出される複数の吐
出口が形成された吐出口プレートと、該吐出口にそれぞ
れ連通するインク流路および前記各吐出口へ供給される
インクを保持する共通液室となる凹部を有する第２基板
を用意する工程と、前記第２基板の第１基板との接合部
に微粒子を付着させる工程と、前記第１基板の吐出エネ
ルギー発生素子と前記第２基板のインク流路となる凹部
とが対応するように前記第１基板と第２基板と位置合わ
せし、第１基板と第２基板とを接合することにより前記
インク流路および液室を形成する工程と、前記第１基板
と第２基板との接合部を封止剤によって封止する工程と
を有することを特徴とする。
【００１０】さらに、本発明の液体噴射記録ヘッドは、
複数の吐出エネルギー発生素子を形成した第１基板と、
インクが吐出される複数の吐出口が形成された吐出口プ
レートと、該吐出口にそれぞれ連通するインク流路およ
び前記各吐出口へ供給されるインクをそれぞれ保持する
複数の共通液室となる凹部を有する第２基板とを備え、
前記第１基板の吐出エネルギー発生素子と前記第２基板
のインク流路となる凹部とを対応させて前記第１基板と
第２基板とを接合することにより前記インク流路および
共通液室が形成されているとともに複数の異なるインク
を前記複数の共通液室に保持し複数の共通液室間が封止
剤によって封止されている液体噴射記録ヘッドにおい
て、前記複数の共通液室間の第１基板と第２基板との接
合部には、微粒子が介在されていることを特徴とする。
複数の吐出エネルギー発生素子を形成した第１基板と、
インクが吐出される複数の吐出口が形成された吐出口プ
レートと、該吐出口にそれぞれ連通するインク流路およ
び前記各吐出口へ供給されるインクをそれぞれ保持する
複数の共通液室となる凹部を有する第２基板とを備え、
前記第１基板の吐出エネルギー発生素子と前記第２基板
のインク流路となる凹部とを対応させて前記第１基板と
第２基板とを接合することにより前記インク流路および
共通液室が形成されているとともに複数の異なるインク
を前記複数の共通液室に保持し複数の共通液室間が封止
剤によって封止されている液体噴射記録ヘッドにおい
て、前記複数の共通液室間の第１基板と第２基板との接
合部には、微粒子が介在されていることを特徴とする。
【００１１】さらに、本発明の液体噴射記録ヘッドの製
造方法は、複数の吐出エネルギー発生素子を形成した第
１基板を用意する工程と、インクが吐出される複数の吐
出口が形成された吐出口プレートと、該吐出口にそれぞ
れ連通するインク流路および前記各吐出口へ供給される
インクをそれぞれ保持する複数の共通液室となる凹部を
有する第２基板を用意する工程と、前記第２基板の第１
基板との接合部のうち少なくとも前記複数の共通液室間
の部分に微粒子を付着させる工程と、前記第１基板の吐
出エネルギー発生素子と前記第２基板のインク流路とな
る凹部とが対応するように前記第１基板と第２基板と位
置合わせし、第１基板と第２基板とを接合することによ
り前記インク流路および共通液室を形成する工程と、前
記複数の共通液室間の第１基板と第２基板との接合部を
封止剤によって封止する工程とを有することを特徴とす
る。
造方法は、複数の吐出エネルギー発生素子を形成した第
１基板を用意する工程と、インクが吐出される複数の吐
出口が形成された吐出口プレートと、該吐出口にそれぞ
れ連通するインク流路および前記各吐出口へ供給される
インクをそれぞれ保持する複数の共通液室となる凹部を
有する第２基板を用意する工程と、前記第２基板の第１
基板との接合部のうち少なくとも前記複数の共通液室間
の部分に微粒子を付着させる工程と、前記第１基板の吐
出エネルギー発生素子と前記第２基板のインク流路とな
る凹部とが対応するように前記第１基板と第２基板と位
置合わせし、第１基板と第２基板とを接合することによ
り前記インク流路および共通液室を形成する工程と、前
記複数の共通液室間の第１基板と第２基板との接合部を
封止剤によって封止する工程とを有することを特徴とす
る。
【００１２】また、本発明の液体噴射記録ヘッドおよび
その製造方法において、第１基板と第２基板との接合面
に設けられる微粒子としては、第２基板の材料の組成に
含まれる少なくとも１つの元素を主成分とする材料であ
ることが好ましく、さらにその主成分とする少なくとも
１つの元素が第２基板の材料の組成に含まれるカーボン
であることが好ましい。また、前記微粒子は表面に水酸
基をもつ高分子材料であることが好ましい。
その製造方法において、第１基板と第２基板との接合面
に設けられる微粒子としては、第２基板の材料の組成に
含まれる少なくとも１つの元素を主成分とする材料であ
ることが好ましく、さらにその主成分とする少なくとも
１つの元素が第２基板の材料の組成に含まれるカーボン
であることが好ましい。また、前記微粒子は表面に水酸
基をもつ高分子材料であることが好ましい。
【００１３】さらにまた、本発明の液体噴射記録ヘッド
およびその製造方法において、第１基板と第２基板との
接合面に設けられる微粒子は、第２基板をレーザー加工
および／または加熱することにより得られるものである
ことが望ましい。
およびその製造方法において、第１基板と第２基板との
接合面に設けられる微粒子は、第２基板をレーザー加工
および／または加熱することにより得られるものである
ことが望ましい。
【００１４】
【作用】上記液体噴射記録ヘッドの構成によれば、第１
基板と第２基板の接合面や接合面周辺を封止剤で封止し
ても、封止剤がインク流路や吐出口へ流れ込んで印字不
良を引き起こすようなことがなく、封止工程の歩留りを
向上させることができ、また封止工程における封止剤の
管理が軽減される。
基板と第２基板の接合面や接合面周辺を封止剤で封止し
ても、封止剤がインク流路や吐出口へ流れ込んで印字不
良を引き起こすようなことがなく、封止工程の歩留りを
向上させることができ、また封止工程における封止剤の
管理が軽減される。
【００１５】また、上記液体噴射記録ヘッドの製造方法
の構成によれば、インク流路や吐出口へ封止剤が流れ込
むような封止汚染を引き起こすことがなく、また封止工
程の歩留りを向上させることができるとともに、印字品
位の良好な液体噴射記録ヘッドを製造することができ
る。
の構成によれば、インク流路や吐出口へ封止剤が流れ込
むような封止汚染を引き起こすことがなく、また封止工
程の歩留りを向上させることができるとともに、印字品
位の良好な液体噴射記録ヘッドを製造することができ
る。
【００１６】そして、前記微粒子としては、第２基板を
レーザー加工および／または加熱することにより得られ
るレーザー副生成物を用いることができる。
レーザー加工および／または加熱することにより得られ
るレーザー副生成物を用いることができる。
【００１７】さらに、本発明の構成は、カラー用の液体
噴射記録ヘッドおよびその製造方法においても、封止工
程および色間分離工程における封止剤の管理を軽減する
ことができ、歩留り良くかつ容易にカラー用液体噴射記
録ヘッドを製造することができる。
噴射記録ヘッドおよびその製造方法においても、封止工
程および色間分離工程における封止剤の管理を軽減する
ことができ、歩留り良くかつ容易にカラー用液体噴射記
録ヘッドを製造することができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面に基づ
いて説明する。
いて説明する。
【００１９】図１ないし図３に本発明の第１の実施例を
図示し、図１は本発明の液体噴射記録ヘッドを構成する
第２基板の斜視図であり、図２は第１基板に第２基板を
接合して組み立てた液体噴射記録ヘッドの斜視図であ
り、図３は図２の液体噴射記録ヘッドの縦断面図であ
る。本実施例の液体噴射記録ヘッドは、複数のインク流
路１２、これらのインク流路１２にそれぞれ連通してイ
ンクを吐出するための複数の吐出口１３、吐出口１３が
形成された吐出口プレート１４、およびインクを一時的
に保持し各インク流路１２にインクを供給する共通液室
１５を備えた第２基板１１と、複数の吐出エネルギー発
生素子が形成された第１基板１７とからなり、第１基板
１７上の吐出エネルギー発生素子と第２基板１１上のイ
ンク流路１２および吐出口１３とを位置合わせした状態
で第１基板と第２基板を弾性部材（不図示）の押圧力に
よって接合して液体噴射記録ヘッドを組み立てている。
図示し、図１は本発明の液体噴射記録ヘッドを構成する
第２基板の斜視図であり、図２は第１基板に第２基板を
接合して組み立てた液体噴射記録ヘッドの斜視図であ
り、図３は図２の液体噴射記録ヘッドの縦断面図であ
る。本実施例の液体噴射記録ヘッドは、複数のインク流
路１２、これらのインク流路１２にそれぞれ連通してイ
ンクを吐出するための複数の吐出口１３、吐出口１３が
形成された吐出口プレート１４、およびインクを一時的
に保持し各インク流路１２にインクを供給する共通液室
１５を備えた第２基板１１と、複数の吐出エネルギー発
生素子が形成された第１基板１７とからなり、第１基板
１７上の吐出エネルギー発生素子と第２基板１１上のイ
ンク流路１２および吐出口１３とを位置合わせした状態
で第１基板と第２基板を弾性部材（不図示）の押圧力に
よって接合して液体噴射記録ヘッドを組み立てている。
【００２０】そして、本発明においては、第２基板１１
を第１基板１７に接合する前に、第２基板１１の第１基
板１７との接合面に、微粒子２１を付着させる。このよ
うに接合面に微粒子２１を付着させることにより、その
面の封止剤の流れを抑制することができる。第２基板と
第１基板との接合面に付着させる微粒子としては、第２
基板の材料の組成に含まれる少なくとも１つの元素を主
成分とする材料、例えば、第２基板が樹脂で形成される
場合には、第２基板に含まれるカーボンを主成分とする
材料、が好ましく、また表面に水酸基をもつ高分子材料
を用いることもできる。他には石英フィラー、プラスチ
ックフィラー、無機微粒子、無機酸化物微粒子等も用い
ることもできる。そして、微粒子を付着させる手段とし
ては、第２基板をレーザー加工および／または加熱する
ことによって付着させることができ、特に、ポリサルフ
ォンの樹脂材料を用いて成形した第２基板に対しては、
エキシマレーザー光を加工面上に照射して、カーボンを
主成分とした材料を付着させることができる。またエキ
シマレーザー光に代えて、アブレーション加工が可能な
ＹＡＧレーザーやＴＥＡ−ＣＯ2 レーザー等を選択する
ことも可能である。
を第１基板１７に接合する前に、第２基板１１の第１基
板１７との接合面に、微粒子２１を付着させる。このよ
うに接合面に微粒子２１を付着させることにより、その
面の封止剤の流れを抑制することができる。第２基板と
第１基板との接合面に付着させる微粒子としては、第２
基板の材料の組成に含まれる少なくとも１つの元素を主
成分とする材料、例えば、第２基板が樹脂で形成される
場合には、第２基板に含まれるカーボンを主成分とする
材料、が好ましく、また表面に水酸基をもつ高分子材料
を用いることもできる。他には石英フィラー、プラスチ
ックフィラー、無機微粒子、無機酸化物微粒子等も用い
ることもできる。そして、微粒子を付着させる手段とし
ては、第２基板をレーザー加工および／または加熱する
ことによって付着させることができ、特に、ポリサルフ
ォンの樹脂材料を用いて成形した第２基板に対しては、
エキシマレーザー光を加工面上に照射して、カーボンを
主成分とした材料を付着させることができる。またエキ
シマレーザー光に代えて、アブレーション加工が可能な
ＹＡＧレーザーやＴＥＡ−ＣＯ2 レーザー等を選択する
ことも可能である。
【００２１】さらに、上記微粒子はインク流路内や共通
液室内に入り込んでしまうとインクの不吐出を起こす虞
があるため、第１基板と第２基板との接合面以外の部分
には付着しないようにすることが望ましいが、この微粒
子を第２基板側に付着させることにより、第１基板と第
２基板との接合箇所の誤差によらず、微粒子の付着箇所
を精度良く管理することができる。また、前述のポリサ
ルフォン製の第２基板にエキシマレーザー光を照射して
接合面にカーボンを主成分とした材料を付着させる構成
の場合には、接合面以外の部分にマスク等を介して選択
的にＹＡＧレーザーを照射することにより接合面以外の
微粒子を容易に除去することができる。ここでポリサル
フォンはＹＡＧレーザー光のエネルギーを吸収しないた
め第２基板に損傷を与えることがない。
液室内に入り込んでしまうとインクの不吐出を起こす虞
があるため、第１基板と第２基板との接合面以外の部分
には付着しないようにすることが望ましいが、この微粒
子を第２基板側に付着させることにより、第１基板と第
２基板との接合箇所の誤差によらず、微粒子の付着箇所
を精度良く管理することができる。また、前述のポリサ
ルフォン製の第２基板にエキシマレーザー光を照射して
接合面にカーボンを主成分とした材料を付着させる構成
の場合には、接合面以外の部分にマスク等を介して選択
的にＹＡＧレーザーを照射することにより接合面以外の
微粒子を容易に除去することができる。ここでポリサル
フォンはＹＡＧレーザー光のエネルギーを吸収しないた
め第２基板に損傷を与えることがない。
【００２２】本発明に用いられる封止剤としては、一液
性の吸湿硬化タイプの封止剤が好ましい。この吸湿硬化
タイプの封止剤は、空気中の水分を吸収し硬化するもの
で、毛管力によって所望の位置に封止剤が注入された状
態で封止剤の硬化が可能なものである。もちろん本発明
ではこの他の封止剤を用いることもできることは言うま
でもない。
性の吸湿硬化タイプの封止剤が好ましい。この吸湿硬化
タイプの封止剤は、空気中の水分を吸収し硬化するもの
で、毛管力によって所望の位置に封止剤が注入された状
態で封止剤の硬化が可能なものである。もちろん本発明
ではこの他の封止剤を用いることもできることは言うま
でもない。
【００２３】本発明の第１の実施例においては、ポリサ
ルフォン樹脂を用いて成形した第２基板１１を第１基板
１７に接合する前に、第２基板１１の接合面に、２４８
ｎｍのエキシマレーザー光を加工面上にレーザーエネル
ギー密度１Ｊ／ｃｍ2 ・ｐｕｌｓで１０パルス照射し、
カーボンを主成分とした微粒子２１を第２基板１１に付
着させる。そして、微粒子２１を付着させた第２基板１
１を、図２に示すように、第１基板１７に接合し、封止
部２５には、吸湿硬化性タイプのシリコーン樹脂で東芝
シリコーン社のＴＳＥ３９９、粘度２８００〜３１００
ｃｐを用いて封止した。
ルフォン樹脂を用いて成形した第２基板１１を第１基板
１７に接合する前に、第２基板１１の接合面に、２４８
ｎｍのエキシマレーザー光を加工面上にレーザーエネル
ギー密度１Ｊ／ｃｍ2 ・ｐｕｌｓで１０パルス照射し、
カーボンを主成分とした微粒子２１を第２基板１１に付
着させる。そして、微粒子２１を付着させた第２基板１
１を、図２に示すように、第１基板１７に接合し、封止
部２５には、吸湿硬化性タイプのシリコーン樹脂で東芝
シリコーン社のＴＳＥ３９９、粘度２８００〜３１００
ｃｐを用いて封止した。
【００２４】上記のように第１基板１７と第２基板１１
とを微粒子２１を介して接合し封止した液体噴射記録ヘ
ッドと、微粒子を介することなく封止した液体噴射記録
ヘッドのそれぞれの印字状態を比較したところ、微粒子
を介することなく封止した液体噴射記録ヘッドでは、イ
ンク流路１２の両端部に印字不良を起こしたものが４０
％あったのに対して、本実施例の液体噴射記録ヘッドで
は印字不良を起こしたものはなかった。
とを微粒子２１を介して接合し封止した液体噴射記録ヘ
ッドと、微粒子を介することなく封止した液体噴射記録
ヘッドのそれぞれの印字状態を比較したところ、微粒子
を介することなく封止した液体噴射記録ヘッドでは、イ
ンク流路１２の両端部に印字不良を起こしたものが４０
％あったのに対して、本実施例の液体噴射記録ヘッドで
は印字不良を起こしたものはなかった。
【００２５】また、図９に示すように、インク流路１０
３列の両側に封止だまり１０８を備えた構成で封止を行
なった液体噴射記録ヘッドと本実施例の微粒子を介在さ
せて封止を行なった液体噴射記録ヘッドとを同様に比較
したところ、封止剤として東芝シリコーン社のＴＳＥ３
９９で粘度が２６００ｃｐを用いた時に、図９に示す構
成をもった液体噴射記録ヘッドでは約２０％のものが印
字不良を起こしたが、図１に示すように微粒子２１を介
在させた本実施例の液体噴射記録ヘッドでは印字不良を
起こしたものはなかった。
３列の両側に封止だまり１０８を備えた構成で封止を行
なった液体噴射記録ヘッドと本実施例の微粒子を介在さ
せて封止を行なった液体噴射記録ヘッドとを同様に比較
したところ、封止剤として東芝シリコーン社のＴＳＥ３
９９で粘度が２６００ｃｐを用いた時に、図９に示す構
成をもった液体噴射記録ヘッドでは約２０％のものが印
字不良を起こしたが、図１に示すように微粒子２１を介
在させた本実施例の液体噴射記録ヘッドでは印字不良を
起こしたものはなかった。
【００２６】このように、第２基板の接合面に微粒子を
介在させることにより、封止剤に対する濡れ性の関係で
封止剤の流れを抑制することができるので、第１および
第２の基板の接合部やその接合部周辺を封止剤を用いて
封止しても、この封止剤がインク流路や吐出口へ流れ込
むことを阻止することができ、封止工程の歩留りの低下
を解消することができる。
介在させることにより、封止剤に対する濡れ性の関係で
封止剤の流れを抑制することができるので、第１および
第２の基板の接合部やその接合部周辺を封止剤を用いて
封止しても、この封止剤がインク流路や吐出口へ流れ込
むことを阻止することができ、封止工程の歩留りの低下
を解消することができる。
【００２７】次に、本発明の第２の実施例を図４を参照
して説明する。図４は、本実施例の液体噴射記録ヘッド
の要部の拡大断面図であり、図１ないし図３に図示した
第１実施例のものとは、微粒子２３を第２基板１１にお
ける吐出口プレート１４とインク流路１２列との境界部
に付着させた点、および第１基板１７と第２基板１１の
吐出口プレート１４との間を封止するためにその間に封
止剤を注入する隙間２７が形成されている点で相違して
いる。
して説明する。図４は、本実施例の液体噴射記録ヘッド
の要部の拡大断面図であり、図１ないし図３に図示した
第１実施例のものとは、微粒子２３を第２基板１１にお
ける吐出口プレート１４とインク流路１２列との境界部
に付着させた点、および第１基板１７と第２基板１１の
吐出口プレート１４との間を封止するためにその間に封
止剤を注入する隙間２７が形成されている点で相違して
いる。
【００２８】ポリサルフォン樹脂を用いて成形した第２
基板１１を第１基板１７に接合する前に、第２基板１１
の吐出口プレート１４とインク流路１２列との境界部
に、２４８ｎｍのエキシマレーザー光をレーザーエネル
ギー密度１Ｊ／ｃｍ2 ・ｐｕｌｓで１０パルス照射し、
カーボンを主成分とした微粒子２３を第２基板１１に付
着させる。そして、図４に示すように、微粒子２３を付
着させた第２基板１１を第１基板１７に接合し、隙間２
７には、封止剤として吸湿硬化性タイプのシリコーン樹
脂で東芝シリコーン社のＴＳＥ３９９（粘度２４００ｃ
ｐ）を流し込み、封止した。
基板１１を第１基板１７に接合する前に、第２基板１１
の吐出口プレート１４とインク流路１２列との境界部
に、２４８ｎｍのエキシマレーザー光をレーザーエネル
ギー密度１Ｊ／ｃｍ2 ・ｐｕｌｓで１０パルス照射し、
カーボンを主成分とした微粒子２３を第２基板１１に付
着させる。そして、図４に示すように、微粒子２３を付
着させた第２基板１１を第１基板１７に接合し、隙間２
７には、封止剤として吸湿硬化性タイプのシリコーン樹
脂で東芝シリコーン社のＴＳＥ３９９（粘度２４００ｃ
ｐ）を流し込み、封止した。
【００２９】このように微粒子２３を介した液体噴射記
録ヘッドと微粒子を介さない液体噴射記録ヘッドとを同
様に比較したところ、微粒子２３を介した液体噴射記録
ヘッドでは、印字不良を起こすものはなかったのに対し
て、微粒子を介さない液体噴射記録ヘッドでは６％程印
字不良を起こしたものがあった。また、これまでは、隙
間２７を大きく設定すると、隙間２７を封止する封止剤
が、吐出エネルギー発生素子１８の表面までまわりこ
み、吐出が不安定となることがあったけれども、図４に
示す実施例では、微粒子を第２基板１１における吐出口
プレート１４とインク流路１２との境界部に付着させた
ことによって、隙間２７に流入された封止剤がインク流
路１２へ流れ込むことを阻止することができるので、隙
間２７を厳しく管理する必要がなくなり、かつ封止剤の
選択の幅も大きく広がった。
録ヘッドと微粒子を介さない液体噴射記録ヘッドとを同
様に比較したところ、微粒子２３を介した液体噴射記録
ヘッドでは、印字不良を起こすものはなかったのに対し
て、微粒子を介さない液体噴射記録ヘッドでは６％程印
字不良を起こしたものがあった。また、これまでは、隙
間２７を大きく設定すると、隙間２７を封止する封止剤
が、吐出エネルギー発生素子１８の表面までまわりこ
み、吐出が不安定となることがあったけれども、図４に
示す実施例では、微粒子を第２基板１１における吐出口
プレート１４とインク流路１２との境界部に付着させた
ことによって、隙間２７に流入された封止剤がインク流
路１２へ流れ込むことを阻止することができるので、隙
間２７を厳しく管理する必要がなくなり、かつ封止剤の
選択の幅も大きく広がった。
【００３０】次に、本発明の第３の実施例を図５ないし
図７を参照して説明する。図５ないし図７には、同一の
第２基板に複数の凹部を設けて複数の共通液室を形成
し、各共通液室毎に異なる色のインクを供給することに
より、１つの液体噴射記録ヘッドでカラー印字を行なう
ことができるカラー用の液体噴射記録ヘッドを示し、図
５はカラー用の液体噴射記録ヘッドの斜視図であり、図
６はカラー用の液体噴射記録ヘッドを構成する第２基板
の斜視図であり、図７は要部の詳細な拡大図である。
図７を参照して説明する。図５ないし図７には、同一の
第２基板に複数の凹部を設けて複数の共通液室を形成
し、各共通液室毎に異なる色のインクを供給することに
より、１つの液体噴射記録ヘッドでカラー印字を行なう
ことができるカラー用の液体噴射記録ヘッドを示し、図
５はカラー用の液体噴射記録ヘッドの斜視図であり、図
６はカラー用の液体噴射記録ヘッドを構成する第２基板
の斜視図であり、図７は要部の詳細な拡大図である。
【００３１】複数のエネルギー発生素子を形成した第１
基板６５に接合される第２基板５１は、複数のインク流
路（溝）５２と、各インク流路５２に連通した複数の吐
出口５３が形成された吐出口プレート５４と、共通液室
分離壁６０によってそれぞれ区画され、各吐出口５３へ
供給されるインクを一時的に保持する複数の共通液室と
なる凹部５５とを有している。さらに各共通液室分離壁
６０には、吐出口が配された側からその反対側へ延び、
内部に封止剤が充填されることで共通液室をそれぞれ分
離する共通液室分離溝５７が形成され、その一端部には
封止剤を注入するための封止剤注入口５８が設けられて
いる。また複数のインク流路５２に並列して設けられた
第１ダミーノズル６１はそれぞれ共通液室分離溝５７に
連通するとともに吐出口プレート５４に達し、さらに第
１ダミーノズル６１の両側に位置してそれぞれ吐出口プ
レート５４に達する第２ダミーノズル６２、６２…が設
けられている。そして第１ダミーノズル６１は共通液室
分離溝５７から流れてきた封止剤を溜める作用をし、複
数の第２ダミーノズル６２、６２……は注入された封止
剤がインク流路５２、５２に流れ込むことを阻止するた
めのものである。
基板６５に接合される第２基板５１は、複数のインク流
路（溝）５２と、各インク流路５２に連通した複数の吐
出口５３が形成された吐出口プレート５４と、共通液室
分離壁６０によってそれぞれ区画され、各吐出口５３へ
供給されるインクを一時的に保持する複数の共通液室と
なる凹部５５とを有している。さらに各共通液室分離壁
６０には、吐出口が配された側からその反対側へ延び、
内部に封止剤が充填されることで共通液室をそれぞれ分
離する共通液室分離溝５７が形成され、その一端部には
封止剤を注入するための封止剤注入口５８が設けられて
いる。また複数のインク流路５２に並列して設けられた
第１ダミーノズル６１はそれぞれ共通液室分離溝５７に
連通するとともに吐出口プレート５４に達し、さらに第
１ダミーノズル６１の両側に位置してそれぞれ吐出口プ
レート５４に達する第２ダミーノズル６２、６２…が設
けられている。そして第１ダミーノズル６１は共通液室
分離溝５７から流れてきた封止剤を溜める作用をし、複
数の第２ダミーノズル６２、６２……は注入された封止
剤がインク流路５２、５２に流れ込むことを阻止するた
めのものである。
【００３２】このように構成された第２基板５１におけ
る第１基板６５と接合する面、特に液室枠５６、液室分
離壁６０等、に対して第１実施例と同様に、例えばカー
ボンを主成分とする微粒子７１を付着させる。その後、
第１基板６５の吐出エネルギー発生素子にインク流路５
２をそれぞれ対応させた状態で、第１基板６５と第２基
板５１とを接合させ、そして封止剤ＴＳＥ３９９（粘度
２８００〜３１００ｃｐ）を用いて、図２の図示と同様
に封止するとともに、封止剤を封止剤注入口５８から注
入して、共通液室分離溝５７を埋め、共通液室をそれぞ
れ分離する。
る第１基板６５と接合する面、特に液室枠５６、液室分
離壁６０等、に対して第１実施例と同様に、例えばカー
ボンを主成分とする微粒子７１を付着させる。その後、
第１基板６５の吐出エネルギー発生素子にインク流路５
２をそれぞれ対応させた状態で、第１基板６５と第２基
板５１とを接合させ、そして封止剤ＴＳＥ３９９（粘度
２８００〜３１００ｃｐ）を用いて、図２の図示と同様
に封止するとともに、封止剤を封止剤注入口５８から注
入して、共通液室分離溝５７を埋め、共通液室をそれぞ
れ分離する。
【００３３】このように微粒子７１を介して接合しかつ
封止したカラー用の液体噴射記録ヘッドにおいて、図２
に示したように接合面やその周辺を封止したことによる
効果は、第１実施例に関連して説明したと同様の作用効
果を奏するものであり、ここでは特に共通液室分離溝５
７に関連するところを説明する。微粒子７１を介して封
止したカラー用の液体噴射記録ヘッドと微粒子を介する
ことなく封止した従来のカラー用の液体噴射記録ヘッド
とを比較したところ、微粒子７１を介して封止した液体
噴射記録ヘッドにおいては封止剤が確実に共通液室分離
溝５７に流れているのに対し、従来の液体噴射記録ヘッ
ドには約５％程印字不良を起こすものがあった。
封止したカラー用の液体噴射記録ヘッドにおいて、図２
に示したように接合面やその周辺を封止したことによる
効果は、第１実施例に関連して説明したと同様の作用効
果を奏するものであり、ここでは特に共通液室分離溝５
７に関連するところを説明する。微粒子７１を介して封
止したカラー用の液体噴射記録ヘッドと微粒子を介する
ことなく封止した従来のカラー用の液体噴射記録ヘッド
とを比較したところ、微粒子７１を介して封止した液体
噴射記録ヘッドにおいては封止剤が確実に共通液室分離
溝５７に流れているのに対し、従来の液体噴射記録ヘッ
ドには約５％程印字不良を起こすものがあった。
【００３４】そこで、その原因を要部の拡大図である図
７を参照して説明する。本実施例の微粒子７１を介して
封止した液体噴射記録ヘッドにおいては、共通液室分離
溝５７に注入された封止剤は、共通液室分離溝５７の両
側に位置する共通液室分離壁６０と第１基板６５との間
隙から漏れ出ることがなく、共通液室分離溝５７内を流
れ第１ダミーノズル６１に流れ込むのに対して、従来の
微粒子を介することなく封止した液体噴射記録ヘッドで
は充分な封止剤を注入したにも拘らず、封止剤が共通液
室分離壁６０と第１基板６５との間隙から漏れ出て、第
１のダミーノズル６１に流れ込まない現象が起きてい
た。その結果、従来のものは液室が完全に分離されるこ
となく、インクの混色を引き起こしてしまい、そのため
に印字不良が生じている。
７を参照して説明する。本実施例の微粒子７１を介して
封止した液体噴射記録ヘッドにおいては、共通液室分離
溝５７に注入された封止剤は、共通液室分離溝５７の両
側に位置する共通液室分離壁６０と第１基板６５との間
隙から漏れ出ることがなく、共通液室分離溝５７内を流
れ第１ダミーノズル６１に流れ込むのに対して、従来の
微粒子を介することなく封止した液体噴射記録ヘッドで
は充分な封止剤を注入したにも拘らず、封止剤が共通液
室分離壁６０と第１基板６５との間隙から漏れ出て、第
１のダミーノズル６１に流れ込まない現象が起きてい
た。その結果、従来のものは液室が完全に分離されるこ
となく、インクの混色を引き起こしてしまい、そのため
に印字不良が生じている。
【００３５】また、共通液室分離壁６０と第１基板６５
との間に間隙がなく、封止剤が液室へ漏出しない場合に
おいては、本実施例の液体噴射記録ヘッドでは微粒子を
設けた部分を境に封止剤が流れなくなるのに対して、従
来の液体噴射記録ヘッドでは、注入される封止剤の量が
多すぎると、封止剤は第１ダミーノズル６１を埋めるだ
けでなく、第２ダミーノズル６２をも埋めた上、さらに
隣接するインク流路５２をも埋めてしまうこととなり、
このような状態の液体噴射記録ヘッドはその部分が不吐
となり、印字不良を引き起こしてしまう。
との間に間隙がなく、封止剤が液室へ漏出しない場合に
おいては、本実施例の液体噴射記録ヘッドでは微粒子を
設けた部分を境に封止剤が流れなくなるのに対して、従
来の液体噴射記録ヘッドでは、注入される封止剤の量が
多すぎると、封止剤は第１ダミーノズル６１を埋めるだ
けでなく、第２ダミーノズル６２をも埋めた上、さらに
隣接するインク流路５２をも埋めてしまうこととなり、
このような状態の液体噴射記録ヘッドはその部分が不吐
となり、印字不良を引き起こしてしまう。
【００３６】また、本発明の第３実施例においては、微
粒子を、第２基板の第１基板と接合する面に介在させて
いるけれども、微粒子が封止剤の流れを止めることを考
慮すると、ダミーノズルの表面や共通液室分離溝の表面
に微粒子を付着させても良く、こうすることによって、
注入された封止剤は、少なくとも第１ダミーノズル６１
で止まり、第２ダミーノズル６２へ流れ込むことを阻止
することもできる。
粒子を、第２基板の第１基板と接合する面に介在させて
いるけれども、微粒子が封止剤の流れを止めることを考
慮すると、ダミーノズルの表面や共通液室分離溝の表面
に微粒子を付着させても良く、こうすることによって、
注入された封止剤は、少なくとも第１ダミーノズル６１
で止まり、第２ダミーノズル６２へ流れ込むことを阻止
することもできる。
【００３７】なお、以上の実施例においては、第１基板
と第２基板とを接合する前に微粒子を設ける構成であっ
たが、吐出口プレートと第１基板との間の隙間（図４に
おいて符号２７で示す部分）のように微粒子の付着箇所
をそれほど厳密に管理しなくてよい場所であれば、第１
基板と第２基板とを接合した後に微粒子を充填すること
によって行うこともできる。この場合の微粒子の充填の
方法としては微粒子を注入後に超音波加振する方法や、
微粒子充填後に純水などを注入して乾燥を行なう方法、
もしくは、純水中に粒子状の物質をいれ注入し乾燥する
方法などがある。さらには微粒子を予め封止剤中に分散
させた状態で充填することによっても行うことが可能で
ある。
と第２基板とを接合する前に微粒子を設ける構成であっ
たが、吐出口プレートと第１基板との間の隙間（図４に
おいて符号２７で示す部分）のように微粒子の付着箇所
をそれほど厳密に管理しなくてよい場所であれば、第１
基板と第２基板とを接合した後に微粒子を充填すること
によって行うこともできる。この場合の微粒子の充填の
方法としては微粒子を注入後に超音波加振する方法や、
微粒子充填後に純水などを注入して乾燥を行なう方法、
もしくは、純水中に粒子状の物質をいれ注入し乾燥する
方法などがある。さらには微粒子を予め封止剤中に分散
させた状態で充填することによっても行うことが可能で
ある。
【００３８】
【発明の効果】本発明は、上述のように構成されている
ので、液体噴射記録ヘッドにおいて、使用できる封止剤
の粘度の幅が広がり、しかも封止汚染を引き起こすこと
がなく、また封止剤の量を多く用いても封止汚染を起こ
すことがないので、封止工程における封止剤の管理が軽
減され、そのため歩留り良くかつ容易に封止工程を行な
うことができる。また、従来技術のような封止剤を溜め
るための封止だまりを設ける必要性がなくなり、成形工
程を簡略化でき、ひいてはコストダウンにもつながる。
ので、液体噴射記録ヘッドにおいて、使用できる封止剤
の粘度の幅が広がり、しかも封止汚染を引き起こすこと
がなく、また封止剤の量を多く用いても封止汚染を起こ
すことがないので、封止工程における封止剤の管理が軽
減され、そのため歩留り良くかつ容易に封止工程を行な
うことができる。また、従来技術のような封止剤を溜め
るための封止だまりを設ける必要性がなくなり、成形工
程を簡略化でき、ひいてはコストダウンにもつながる。
【００３９】さらに、カラー用液体噴射記録ヘッドにお
いても、同様に、封止工程および色間分離工程における
封止剤の管理が軽減され、そのため歩留り良くかつ安価
で容易にカラー用液体噴射記録ヘッドを製造することが
できる。
いても、同様に、封止工程および色間分離工程における
封止剤の管理が軽減され、そのため歩留り良くかつ安価
で容易にカラー用液体噴射記録ヘッドを製造することが
できる。
【図１】本発明の第１実施例の液体噴射記録ヘッドを構
成する第２基板の斜視図である。
成する第２基板の斜視図である。
【図２】本発明の第１実施例の液体噴射記録ヘッドの斜
視図である。
視図である。
【図３】図２に図示した液体噴射記録ヘッドの縦断面図
である。
である。
【図４】本発明の第２実施例の液体噴射記録ヘッドの要
部の拡大断面図である。
部の拡大断面図である。
【図５】本発明の第３実施例のカラー用の液体噴射記録
ヘッドの斜視図である。
ヘッドの斜視図である。
【図６】本発明の第３実施例のカラー用の液体噴射記録
ヘッドにおける第２基板の斜視図である。
ヘッドにおける第２基板の斜視図である。
【図７】図６に図示した第２基板の要部の詳細な拡大図
である。
である。
【図８】従来の液体噴射記録ヘッドを示し、（ａ）は第
２基板の斜視図であり、（ｂ）は液体噴射記録ヘッドの
斜視図である。
２基板の斜視図であり、（ｂ）は液体噴射記録ヘッドの
斜視図である。
【図９】インク流路列の両側に封止だまりを設けた従来
の第２基板の斜視図である。
の第２基板の斜視図である。
【図１０】従来のカラー用の液体噴射記録ヘッドにおけ
る第２基板の斜視図である。
る第２基板の斜視図である。
１１、５１ 第２基板 １２、５２ インク流路 １３、５３ 吐出口 １４、５４ 吐出口プレート １５、５５ 共通液室 １７、６５ 第１基板 ２１、２３、７１ 微粒子 ２５ 封止部 ５７ 共通液室分離溝 ６０ 共通液室分離壁 ６１、６２ ダミーノズル
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 池亀 健 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 巽 純二 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 寺井 晴彦 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 瀧本 雅文 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 越川 浩志 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内
Claims (29)
- 【請求項１】 複数の吐出エネルギー発生素子を形成し
た第１基板と、インクが吐出される複数の吐出口が形成
された吐出口プレートと、該吐出口にそれぞれ連通する
インク流路および前記各吐出口へ供給されるインクを保
持する共通液室となる凹部を有する第２基板とを備え、
前記第１基板の吐出エネルギー発生素子と前記第２基板
のインク流路となる凹部とを対応させて前記第１基板と
第２基板とを接合することにより前記インク流路および
共通液室が形成されているとともに前記第１基板と第２
基板との接合部が封止剤によって封止されている液体噴
射記録ヘッドにおいて、 前記第１基板と第２基板との接合部には、微粒子が介在
されていることを特徴とする液体噴射記録ヘッド。 - 【請求項２】 複数の吐出エネルギー発生素子を形成し
た第１基板と、インクが吐出される複数の吐出口が形成
された吐出口プレートと、該吐出口にそれぞれ連通する
インク流路および前記各吐出口へ供給されるインクをそ
れぞれ保持する複数の共通液室となる凹部を有する第２
基板とを備え、前記第１基板の吐出エネルギー発生素子
と前記第２基板のインク流路となる凹部とを対応させて
前記第１基板と第２基板とを接合することにより前記イ
ンク流路および共通液室が形成されているとともに複数
の異なるインクを前記複数の共通液室に保持し複数の共
通液室間が封止剤によって封止されている液体噴射記録
ヘッドにおいて、 前記複数の共通液室間の第１基板と第２基板との接合部
には、微粒子が介在されていることを特徴とする液体噴
射記録ヘッド。 - 【請求項３】 前記微粒子は前記第２基板の材料の組成
に含まれる少なくとも一つの元素を主成分とする材料か
らなる請求項１または２記載の液体噴射記録ヘッド。 - 【請求項４】 前記微粒子は表面に水酸基を持つ高分子
材料からなる請求項１または２記載の液体噴射記録ヘッ
ド。 - 【請求項５】 前記第２基板は樹脂からなる請求項１ま
たは２記載の液体噴射記録ヘッド。 - 【請求項６】 前記第２基板はポリサルフォン樹脂から
なる請求項５記載の液体噴射記録ヘッド。 - 【請求項７】 前記微粒子はカーボンを主成分とした材
料からなる請求項５または６記載の液体噴射記録ヘッ
ド。 - 【請求項８】 前記封止剤は吸湿硬化タイプの封止剤で
ある請求項１ないし７のいずれか１項記載の液体噴射記
録ヘッド。 - 【請求項９】 前記微粒子は前記第２基板の前記吐出口
プレートと前記第１基板との接合部にも介在するととも
に、該吐出口プレートと第１基板との接合部が封止剤に
より封止されている請求項１ないし８のいずれか１項記
載の液体噴射記録ヘッド。 - 【請求項１０】 前記第１基板と第２基板との接合は弾
性部材による押圧力によりなされている請求項１ないし
９のいずれか１項記載の液体噴射記録ヘッド。 - 【請求項１１】 前記液体噴射記録ヘッドは、さらに前
記第２基板の複数の共通液室間に共通液室分離溝を有
し、前記共通液室間の封止は前記共通液室分離溝に前記
封止剤が注入されることで行われている請求項２記載の
液体噴射記録ヘッド。 - 【請求項１２】 前記共通液室分離溝はインク流路部分
を経て吐出口プレート部分まで延在されており、前記共
通液室分離溝に隣接するインク流路部分にはインクの吐
出に用いられないダミーノズルが設けられている請求項
１１記載の液体噴射記録ヘッド。 - 【請求項１３】 複数の吐出エネルギー発生素子を形成
した第１基板を用意する工程と、 インクが吐出される複数の吐出口が形成された吐出口プ
レートと、該吐出口にそれぞれ連通するインク流路およ
び前記各吐出口へ供給されるインクを保持する共通液室
となる凹部を有する第２基板を用意する工程と、 前記第２基板の第１基板との接合部に微粒子を付着させ
る工程と、 前記第１基板の吐出エネルギー発生素子と前記第２基板
のインク流路となる凹部とが対応するように前記第１基
板と第２基板と位置合わせし、第１基板と第２基板とを
接合することにより前記インク流路および液室を形成す
る工程と、 前記第１基板と第２基板との接合部を封止剤によって封
止する工程と、 を有することを特徴とする液体噴射記録ヘッドの製造方
法。 - 【請求項１４】 複数の吐出エネルギー発生素子を形成
した第１基板を用意する工程と、 インクが吐出される複数の吐出口が形成された吐出口プ
レートと、該吐出口にそれぞれ連通するインク流路およ
び前記各吐出口へ供給されるインクをそれぞれ保持する
複数の共通液室となる凹部を有する第２基板を用意する
工程と、 前記第２基板の第１基板との接合部のうち少なくとも前
記複数の共通液室間の部分に微粒子を付着させる工程
と、 前記第１基板の吐出エネルギー発生素子と前記第２基板
のインク流路となる凹部とが対応するように前記第１基
板と第２基板と位置合わせし、第１基板と第２基板とを
接合することにより前記インク流路および共通液室を形
成する工程と、 前記複数の共通液室間の第１基板と第２基板との接合部
を封止剤によって封止する工程と、 を有することを特徴とする液体噴射記録ヘッドの製造方
法。 - 【請求項１５】 前記微粒子は前記第２基板の材料の組
成に含まれる少なくとも一つの元素を主成分とする材料
からなる請求項１３または１４記載の液体噴射記録ヘッ
ドの製造方法。 - 【請求項１６】 前記微粒子は表面に水酸基を持つ高分
子材料からなる請求項１３または１４記載の液体噴射記
録ヘッドの製造方法。 - 【請求項１７】 前記第２基板は樹脂からなる請求項１
３または１４記載の液体噴射記録ヘッドの製造方法。 - 【請求項１８】 前記第２基板はポリサルフォン樹脂か
らなる請求項１７記載の液体噴射記録ヘッドの製造方
法。 - 【請求項１９】 前記微粒子はカーボンを主成分とした
材料からなる請求項１７または１８記載の液体噴射記録
ヘッドの製造方法。 - 【請求項２０】 前記微粒子は前記第２基板をレーザー
加工することにより前記接合部に設けられる請求項１３
または１４記載の液体噴射記録ヘッドの製造方法。 - 【請求項２１】 前記レーザー加工はエキシマレーザー
により行われる請求項２０記載の液体噴射記録ヘッドの
製造方法。 - 【請求項２２】 前記微粒子は前記第２基板をエキシマ
レーザー加工することにより前記接合部に設けられる請
求項１７または１８記載の液体噴射記録ヘッドの製造方
法。 - 【請求項２３】 前記液体噴射記録ヘッドの製造方法
は、さらに前記第２基板の第１基板との接合部以外に付
着した微粒子に選択的にＹＡＧレーザーを照射して前記
第２基板の第１基板との接合部以外に付着した微粒子を
除去する工程を有する請求項２０ないし２２のいずれか
１項記載の液体噴射記録ヘッドの製造方法。 - 【請求項２４】 前記ＹＡＧレーザーの照射は、マスク
を介して選択的に行われる請求項２３記載の液体噴射記
録ヘッドの製造方法。 - 【請求項２５】 前記封止剤は吸湿硬化タイプの封止剤
である請求項１３ないし２４のいずれか１項記載の液体
噴射記録ヘッドの製造方法。 - 【請求項２６】 前記微粒子の付着は前記第２基板の前
記吐出口プレートと前記第１基板との接合部にも行われ
るとともに、該吐出口プレートと第１基板との接合部も
封止剤により封止されている請求項１３ないし２５のい
ずれか１項記載の液体噴射記録ヘッドの製造方法。 - 【請求項２７】 前記第１基板と第２基板との接合は弾
性部材による押圧力によりなされている請求項１３ない
し２６のいずれか１項記載の液体噴射記録ヘッドの製造
方法。 - 【請求項２８】 前記第２基板は、複数の共通液室間に
共通液室分離溝を有し、前記共通液室間の封止は前記共
通液室分離溝に前記封止剤が注入されることで行われる
請求項１４記載の液体噴射記録ヘッドの製造方法。 - 【請求項２９】 前記共通液室分離溝はインク流路部分
を経て吐出口プレート部分まで延在されており、前記共
通液室分離溝に隣接するインク流路部分にはインクの吐
出に用いられないダミーノズルが設けられている請求項
２８に記載の液体噴射記録ヘッドの製造方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9293530A JPH10217473A (ja) | 1996-10-14 | 1997-10-09 | 液体噴射記録ヘッドおよびその製造方法 |
| DE69728344T DE69728344T2 (de) | 1996-10-14 | 1997-10-13 | Verfahren zur Herstellung von Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungsköpfen |
| EP97117699A EP0835758B1 (en) | 1996-10-14 | 1997-10-13 | Method for manufacturing liquid jet recording heads |
| US08/949,704 US6220688B1 (en) | 1996-10-14 | 1997-10-14 | Liquid jet recording head and a method for manufacturing liquid jet recording heads |
Applications Claiming Priority (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29105296 | 1996-10-14 | ||
| JP8-291052 | 1996-10-14 | ||
| JP8-340628 | 1996-12-05 | ||
| JP34062896 | 1996-12-05 | ||
| JP9293530A JPH10217473A (ja) | 1996-10-14 | 1997-10-09 | 液体噴射記録ヘッドおよびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10217473A true JPH10217473A (ja) | 1998-08-18 |
Family
ID=27337623
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9293530A Pending JPH10217473A (ja) | 1996-10-14 | 1997-10-09 | 液体噴射記録ヘッドおよびその製造方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6220688B1 (ja) |
| EP (1) | EP0835758B1 (ja) |
| JP (1) | JPH10217473A (ja) |
| DE (1) | DE69728344T2 (ja) |
Cited By (68)
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| WO2004113463A1 (en) | 2003-06-18 | 2004-12-29 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Ink and ink-jet recording ink |
| WO2009034971A1 (ja) | 2007-09-12 | 2009-03-19 | Fujifilm Corporation | 置換基脱離化合物の製造方法、有機半導体膜およびその製造方法 |
| EP2090625A2 (en) | 2008-02-13 | 2009-08-19 | FUJIFILM Corporation | Aqueous inkjet recording ink |
| EP2090627A1 (en) | 2008-02-13 | 2009-08-19 | Fujifilm Corporation | Ink composition, ink set and image forming method |
| EP2090626A1 (en) | 2008-02-13 | 2009-08-19 | FUJIFILM Corporation | Aqueous inkjet recording ink and method for producing the same |
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| EP2105471A1 (en) | 2008-03-25 | 2009-09-30 | FUJIFILM Corporation | Method for forming ink jet image |
| EP2105477A1 (en) | 2008-03-24 | 2009-09-30 | FUJIFILM Corporation | Method of forming inkjet image |
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