JP3423551B2 - インクジェット記録ヘッド製造方法及びインクジェット記録ヘッド - Google Patents
インクジェット記録ヘッド製造方法及びインクジェット記録ヘッドInfo
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Description
【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェット記
録ヘッドの製造方法及び、その製造方法を用いて製造し
たインクジェット記録ヘッドに関するものである。
録ヘッドの製造方法及び、その製造方法を用いて製造し
たインクジェット記録ヘッドに関するものである。
【従来の技術】従来、インクジェット記録ヘッドは、例
えば特開昭55−132253号公報に記載されている
ように、シリコン基板上に吐出エネルギー発生素子を有
した第1基板と、この基板と接合することによりインク
流路を形成するための凹部と、このインク流路に連通し
てインクを吐出するための吐出口が形成されたオリフィ
スプレートと、前記各吐出口へ供給されるインクを一時
的に保持する共通液室を構成する凹部を有した第2基板
とを接合することによって構成されている。さらには、
カラーインクジェット記録ヘッドは、図6に示すよう
に、インク吐出用のインク流路付き天板(第2基板)の
共通液室を複数に分割し、この分割した液室毎に異なる
色のインクを供給することにより構成されている。ま
た、特開平2−121845号公報では、複数の吐出口
の各々に対応して設けられるインク路と、このインク路
に供給されるインクを貯留する共通液室とを構成するた
めの溝を有した天板と、前記インク路の一部に配設され
る吐出エネルギー発生素子を有した基板とを接合するこ
とによって構成されるインクジェット記録ヘッドにおい
て、前記共通液室を構成するための前記溝を有した基板
を射出成形によって形成し、当該形成された基板にエキ
シマレーザ光を照射することにより、前記インク路を構
成するための前記溝を加工する方法が紹介されている。
えば特開昭55−132253号公報に記載されている
ように、シリコン基板上に吐出エネルギー発生素子を有
した第1基板と、この基板と接合することによりインク
流路を形成するための凹部と、このインク流路に連通し
てインクを吐出するための吐出口が形成されたオリフィ
スプレートと、前記各吐出口へ供給されるインクを一時
的に保持する共通液室を構成する凹部を有した第2基板
とを接合することによって構成されている。さらには、
カラーインクジェット記録ヘッドは、図6に示すよう
に、インク吐出用のインク流路付き天板(第2基板)の
共通液室を複数に分割し、この分割した液室毎に異なる
色のインクを供給することにより構成されている。ま
た、特開平2−121845号公報では、複数の吐出口
の各々に対応して設けられるインク路と、このインク路
に供給されるインクを貯留する共通液室とを構成するた
めの溝を有した天板と、前記インク路の一部に配設され
る吐出エネルギー発生素子を有した基板とを接合するこ
とによって構成されるインクジェット記録ヘッドにおい
て、前記共通液室を構成するための前記溝を有した基板
を射出成形によって形成し、当該形成された基板にエキ
シマレーザ光を照射することにより、前記インク路を構
成するための前記溝を加工する方法が紹介されている。
【発明が解決しようとする課題】前記特開昭55−13
2253号公報に記載された第2基板、すなわちインク
流路付き天板において、インク流路は射出成形により形
成される。また、前記特開平2−121845号公報で
は、インク流路はエキシマレーザにより加工される。し
かしながら、より高精細な画質を得るために、インク流
路の縮小化と高密度化が要求されるに当り、600DP
I(インク流路ピッチ、42.375μm)相当のイン
ク流路を、射出成形により形成することは、金型への樹
脂の流れ込みや、離型上からも不可能であり、エキシマ
レーザにより加工することも、加工時の天板の蓄熱によ
りインク流路の流路壁の溶融とワークの膨張が生じ不可
能であった。本発明は、上記問題点に鑑みてなされたも
ので、容易に、かつ低コストで、高精細な画質を達成し
得るインクジェット記録ヘッドおよびその製造方法を提
供することを目的とする。
2253号公報に記載された第2基板、すなわちインク
流路付き天板において、インク流路は射出成形により形
成される。また、前記特開平2−121845号公報で
は、インク流路はエキシマレーザにより加工される。し
かしながら、より高精細な画質を得るために、インク流
路の縮小化と高密度化が要求されるに当り、600DP
I(インク流路ピッチ、42.375μm)相当のイン
ク流路を、射出成形により形成することは、金型への樹
脂の流れ込みや、離型上からも不可能であり、エキシマ
レーザにより加工することも、加工時の天板の蓄熱によ
りインク流路の流路壁の溶融とワークの膨張が生じ不可
能であった。本発明は、上記問題点に鑑みてなされたも
ので、容易に、かつ低コストで、高精細な画質を達成し
得るインクジェット記録ヘッドおよびその製造方法を提
供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、インクジェット記録ヘッド製造方法を次の(1)な
いし(4)のとおりに構成し、インクジェット記録ヘッ
ドを次の(5)のとおりに構成する。 (1)複数の吐出口の各々に対応して設けられるインク
路を構成するための溝を有した第2基板と、前記インク
路の一部に配設される吐出エネルギー発生素子を有した
第1基板とを接合することによって構成されるインクジ
ェット記録ヘッドを製造するインクジェット記録ヘッド
製造方法において、成形加工とレーザ加工とによりそれ
ぞれ異なる前記インク路を構成するための溝を前記第2
基板に形成することを特徴とするインクジェット記録ヘ
ッド製造方法。 (2)前記(1)記載のインクジェット記録ヘッド製造
方法において、前記インク路を構成するための溝は、成
型加工により形成された溝とレーザ加工により形成され
た溝とが交互に並んでいることを特徴とするインクジェ
ット記録ヘッド製造方法。 (3)インクを吐出するためのエネルギーを発生する複
数のエネルギー発生素 子が配置された第1基板と、イン
クが吐出される複数の吐出口が開口するオリフィスプレ
ートが形成され、それぞれ前記各吐出口へ供給されるイ
ンクを一時的に保持する複数の共通液室の壁を構成する
複数の凹部及び前記各エネルギー発生素子の位置に対応
して位置し、前記各吐出口をそれぞれ前記各凹部のうち
いずれか1つと連通する複数のインク流路を有する第2
基板と、が接合されており、前記第2基板が、前記各凹
部の間の壁に、前記吐出口側から前記吐出口側と反対側
へ延び、内部に封止剤が充填されることで前記複数の共
通液室のそれぞれを分離する共通液室分離溝と、前記共
通液室分離溝に連通して前記オリフィスプレートに達す
るダミーノズル及びこのダミーノズルの両側に位置しそ
れぞれ前記オリフィスプレートに達するダミーノズルで
構成されるダミーノズル群と、をさらに有するインクジ
ェット記録ヘッドを製造するインクジェット記録ヘッド
製造方法において、前記ダミーノズル群を成形加工で、
前記インク流路をレーザ加工でそれぞれ形成することを
特徴とするインクジェット記録ヘッド製造方法。 (4)前記(1)ないし(3)のいずれかに記載のイン
クジェット記録ヘッド製造方法において、前記レーザ加
工はエキシマレーザを照射することによる加工であるこ
とを特徴とするインクジェット記録ヘッド製造方法。 (5)前記(1)ないし(4)のいずれかに記載のイン
クジェット記録ヘッド製造方法を用いて製造したことを
特徴とするインクジェット記録ヘッド。
め、インクジェット記録ヘッド製造方法を次の(1)な
いし(4)のとおりに構成し、インクジェット記録ヘッ
ドを次の(5)のとおりに構成する。 (1)複数の吐出口の各々に対応して設けられるインク
路を構成するための溝を有した第2基板と、前記インク
路の一部に配設される吐出エネルギー発生素子を有した
第1基板とを接合することによって構成されるインクジ
ェット記録ヘッドを製造するインクジェット記録ヘッド
製造方法において、成形加工とレーザ加工とによりそれ
ぞれ異なる前記インク路を構成するための溝を前記第2
基板に形成することを特徴とするインクジェット記録ヘ
ッド製造方法。 (2)前記(1)記載のインクジェット記録ヘッド製造
方法において、前記インク路を構成するための溝は、成
型加工により形成された溝とレーザ加工により形成され
た溝とが交互に並んでいることを特徴とするインクジェ
ット記録ヘッド製造方法。 (3)インクを吐出するためのエネルギーを発生する複
数のエネルギー発生素 子が配置された第1基板と、イン
クが吐出される複数の吐出口が開口するオリフィスプレ
ートが形成され、それぞれ前記各吐出口へ供給されるイ
ンクを一時的に保持する複数の共通液室の壁を構成する
複数の凹部及び前記各エネルギー発生素子の位置に対応
して位置し、前記各吐出口をそれぞれ前記各凹部のうち
いずれか1つと連通する複数のインク流路を有する第2
基板と、が接合されており、前記第2基板が、前記各凹
部の間の壁に、前記吐出口側から前記吐出口側と反対側
へ延び、内部に封止剤が充填されることで前記複数の共
通液室のそれぞれを分離する共通液室分離溝と、前記共
通液室分離溝に連通して前記オリフィスプレートに達す
るダミーノズル及びこのダミーノズルの両側に位置しそ
れぞれ前記オリフィスプレートに達するダミーノズルで
構成されるダミーノズル群と、をさらに有するインクジ
ェット記録ヘッドを製造するインクジェット記録ヘッド
製造方法において、前記ダミーノズル群を成形加工で、
前記インク流路をレーザ加工でそれぞれ形成することを
特徴とするインクジェット記録ヘッド製造方法。 (4)前記(1)ないし(3)のいずれかに記載のイン
クジェット記録ヘッド製造方法において、前記レーザ加
工はエキシマレーザを照射することによる加工であるこ
とを特徴とするインクジェット記録ヘッド製造方法。 (5)前記(1)ないし(4)のいずれかに記載のイン
クジェット記録ヘッド製造方法を用いて製造したことを
特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【作用】以上のような本発明方法により、従来のように
成形によっては型の離型が困難であり、また、レーザ加
工では熱の影響で加工できない高密度に並んだインク流
路加工方法も、本発明方法によれば、レーザ加工機の光
学系の損傷を軽減し、しかもその後の工程をもレーザア
ブレーション時の副生成物が少ない第2基板を提供でき
ることにより、低コストでしかも容易に高精細の印字が
可能なインクジェット記録ヘッドを提供し得る。
成形によっては型の離型が困難であり、また、レーザ加
工では熱の影響で加工できない高密度に並んだインク流
路加工方法も、本発明方法によれば、レーザ加工機の光
学系の損傷を軽減し、しかもその後の工程をもレーザア
ブレーション時の副生成物が少ない第2基板を提供でき
ることにより、低コストでしかも容易に高精細の印字が
可能なインクジェット記録ヘッドを提供し得る。
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を、複
数の実施例に基づき、図面を用いて詳細に説明する。
数の実施例に基づき、図面を用いて詳細に説明する。
【実施例】(実施例1)
本発明に係る第1の実施例を、図1〜4に基づき説明す
る。図1は、本発明実施例1の第2基板(天板)の斜視
図、図2は、図1のA部の拡大図であり、図3は、図2
の未加工部を加工した第2基板の斜視図であり、図4
は、図3の第2基板と第1基板とを接合したインクジェ
ット記録ヘッドの斜視図である。図1において、101
は成形によって予め作られたインク流路A、102は、
インク流路101に連通してインクを吐出するための吐
出口が加工される吐出口加工部、103はインクを一時
的に保持するための共通液室、104は、インク流路1
01,吐出口加工部102,共通液室103を備えた第
2基板である。図2において、201はインク流路A、
202は吐出口加工部、205はレーザによりインク流
路が加工されるインク流路加工部である。図3におい
て、301はインク流路A、302は吐出口加工部、3
06はエキシマレーザにより加工されたインク流路Bで
ある。そして、図4において、404は、図3のインク
流路Aとインク流路Bとを有し、吐出口加工部に吐出口
が加工された第2基板、407は吐出エネルギー発生素
子を有する第1基板、408は第1基板を固定するため
のベースプレートである。吐出エネルギー発生素子とし
ては熱エネルギー素子を用い、第1基板407として
は、シリコンウェハーから切り出された薄板を用いた。
第2基板404は、射出成形,レーザ加工が容易なポリ
サルフォンを用い、ベースプレート408にはアルミ基
材を用いた。インク流路A201は、射出成形より40
μm×34.375μm×400μm(図2の(A方向
寸法)×(B方向寸法)×(C方向寸法)を表わす)の
大きさで、ピッチ84.75μmで168本配列した形
状に成形した。そしてそのように配列されたインク流路
A201を有する第2基板104のインク流路加工部2
05に加工面でのレーザエネルギー密度1J/cm2・
pulsでエキシマレーザを200パルス照射し40μ
m×34.375μm×400μm(図3の(A方向寸
法)×(B方向寸法)×(C方向寸法))の大きさのイ
ンク流路B306を168本加工した。上記寸法の長方
形の溝は、実際は、射出成形で成形した際の抜きテーパ
と、レーザ加工時の加工テーパが各々7°存在するた
め、図2,3に示すAB断面のような形状となる。そし
て、図3のようなピッチ42.375μm(600DP
I)で配列されたイン流路336本を有する第2基板4
04を図4のように第1基板407と接合し、インクジ
ェット記録ヘッドを製作して印字したところ、600D
PIの高精細な画質を得ることができた。 (実施例2) また、インク流路A201を射出成形により、40μm
×23.25μm×400μm(図2の(A方向寸法)
×(B方向寸法)×(C方向寸法))の大きさで、ピッ
チ56.5μmで168本配列した形状に成形した第2
基板104のインク流路加工部205に、加工面でのレ
ーザエネルギー密度1J/cm2 ・pulsでエキシ
マレーザを200パルス照射し、40μm×23.25
μm×400μm(図3の(A方向寸法)×(B方向寸
法)×(C方向寸法))の大きさのインク流路B306
を168本加工し、ピッチ28.25μm(900DP
I相当)で配列されたインク流路336本を有する第2
基板404を前記実施例1と同様にヘッドを組立て、印
字したところ、900DPIの高精細な画質を得ること
ができた。なお、上記寸法の長方形の溝は、前記実施例
1で記したと同様に、レーザ加工時の加工テーパ7°に
より、実際は図3に示すAB断面図のような形状とな
る。 (実施例3) 次に本発明の第3の実施例を示す。図6は、カラーイン
クジェット記録ヘッド(ワンチップカラー)の第2基板
の斜視図である。また図7は、図6A部の拡大図であ
り、図8は、図7の未加工部を加工した図であり、図9
は、図8の第2基板と吐出エネルギー発生素子を有した
第1基板とを接合しヘッドに組んだカラーインクジェッ
ト記録ヘッドの斜視図である。図6において、601は
インク流路D、602は吐出口加工部、603は、各々
異なった色のインクが溜められる共通液室、604は第
2基板、610は、共通液室にインクを供給するための
インク供給口、611は、各共通液室603を完全に分
離するための封止剤を注入する封止剤注入口、612
は、封止剤が流れるための溝である共通液室分離溝であ
る。また図7において、705はインク流路加工部、7
12は共通液室分離溝、713は、封止剤が溜まるダミ
ーノズルである。また図8において、802は吐出口加
工部、812は共通液室分離溝、813はダミーノズ
ル、814は、レーザにより加工されたインク流路Dで
ある。また図9において、904は第2基板、907は
第1基板、908はベースプレート、910はインク供
給口、911は封止剤注入口である。以下、本実施例3
を、図6〜図9を用いて説明する。ダミーノズル713
(図7)を射出成形によって成形された形状を有する第
2基板604(図6)のインク流路加工部705をエキ
シマレーザにより前記実施例1と同様に42.375μ
mピッチで336本配列したインク流路群を加工し、実
施例1と同様に、ヘッドとして組み、図9に示すように
して組立て、封止剤注入口911より封止剤を注入し、
共通液室603を分離し、各インク供給口910よりそ
れぞれ色の異なるインクを供給し、カラー印字を行った
ところ、600DPIの高精細な画像を得ることができ
た。 (実施例4) 前記実施例3は、ダミーノズル713のみ射出成形で製
作し、インク流路Dはレーザにより加工した。しかしな
がら、前記実施例1と同様に、ダミーノズル713とイ
ンク流路D601との一部を射出成形により製作し、残
りのインク流路D8014をレーザにより加工してもよ
い。 (実施例5) 本実施例1,2では、射出成形により成形したインク流
路と、レーザ加工したインク流路とが交互に存在する形
態の物を示した。しかし、本発明は、この形態に限定す
る物ではない。例えば、射出成形により成形したインク
流路2本とレーザ加工したインク流路2本とが交互に存
在しても良いし、また不規則に存在しても良いし、射出
成形により成形したインク流路とレーザ加工したインク
流路との本数が変わっていても良い。 (参考例) 次に、参考例を示す。図5は、参考例の図1A部の拡大
図である。図5において、509は各インク流路Cであ
る。インク流路Cは、成形によって10μm×34.3
75μm×400μm(図5の(A方向寸法)×(B方
向寸法)×(C方向寸法))の大きさで、ピッチ42.
375μmで336本配列されている。そのインク流路
Cの底面部(図5のB面で40μm×400μmの面
(B方向寸法)×(C方向寸法))に、前記実施例1と
同様のエネルギー密度でエキシマレーザを150pul
s照射し、図3の同じ大きさのインク流路を336本、
ピッチ42.375μmで有する第2基板を製作した。
その第2基板を実施例1と同様に、ヘッドとして組立て
したところ、600DPIの高精細な画像を得ることが
できた。なお、前記寸法の長方形の溝は、前記実施例
1,2で記したと同様な理由で、実際には図3,5に示
すAB断面のような形状になる。
る。図1は、本発明実施例1の第2基板(天板)の斜視
図、図2は、図1のA部の拡大図であり、図3は、図2
の未加工部を加工した第2基板の斜視図であり、図4
は、図3の第2基板と第1基板とを接合したインクジェ
ット記録ヘッドの斜視図である。図1において、101
は成形によって予め作られたインク流路A、102は、
インク流路101に連通してインクを吐出するための吐
出口が加工される吐出口加工部、103はインクを一時
的に保持するための共通液室、104は、インク流路1
01,吐出口加工部102,共通液室103を備えた第
2基板である。図2において、201はインク流路A、
202は吐出口加工部、205はレーザによりインク流
路が加工されるインク流路加工部である。図3におい
て、301はインク流路A、302は吐出口加工部、3
06はエキシマレーザにより加工されたインク流路Bで
ある。そして、図4において、404は、図3のインク
流路Aとインク流路Bとを有し、吐出口加工部に吐出口
が加工された第2基板、407は吐出エネルギー発生素
子を有する第1基板、408は第1基板を固定するため
のベースプレートである。吐出エネルギー発生素子とし
ては熱エネルギー素子を用い、第1基板407として
は、シリコンウェハーから切り出された薄板を用いた。
第2基板404は、射出成形,レーザ加工が容易なポリ
サルフォンを用い、ベースプレート408にはアルミ基
材を用いた。インク流路A201は、射出成形より40
μm×34.375μm×400μm(図2の(A方向
寸法)×(B方向寸法)×(C方向寸法)を表わす)の
大きさで、ピッチ84.75μmで168本配列した形
状に成形した。そしてそのように配列されたインク流路
A201を有する第2基板104のインク流路加工部2
05に加工面でのレーザエネルギー密度1J/cm2・
pulsでエキシマレーザを200パルス照射し40μ
m×34.375μm×400μm(図3の(A方向寸
法)×(B方向寸法)×(C方向寸法))の大きさのイ
ンク流路B306を168本加工した。上記寸法の長方
形の溝は、実際は、射出成形で成形した際の抜きテーパ
と、レーザ加工時の加工テーパが各々7°存在するた
め、図2,3に示すAB断面のような形状となる。そし
て、図3のようなピッチ42.375μm(600DP
I)で配列されたイン流路336本を有する第2基板4
04を図4のように第1基板407と接合し、インクジ
ェット記録ヘッドを製作して印字したところ、600D
PIの高精細な画質を得ることができた。 (実施例2) また、インク流路A201を射出成形により、40μm
×23.25μm×400μm(図2の(A方向寸法)
×(B方向寸法)×(C方向寸法))の大きさで、ピッ
チ56.5μmで168本配列した形状に成形した第2
基板104のインク流路加工部205に、加工面でのレ
ーザエネルギー密度1J/cm2 ・pulsでエキシ
マレーザを200パルス照射し、40μm×23.25
μm×400μm(図3の(A方向寸法)×(B方向寸
法)×(C方向寸法))の大きさのインク流路B306
を168本加工し、ピッチ28.25μm(900DP
I相当)で配列されたインク流路336本を有する第2
基板404を前記実施例1と同様にヘッドを組立て、印
字したところ、900DPIの高精細な画質を得ること
ができた。なお、上記寸法の長方形の溝は、前記実施例
1で記したと同様に、レーザ加工時の加工テーパ7°に
より、実際は図3に示すAB断面図のような形状とな
る。 (実施例3) 次に本発明の第3の実施例を示す。図6は、カラーイン
クジェット記録ヘッド(ワンチップカラー)の第2基板
の斜視図である。また図7は、図6A部の拡大図であ
り、図8は、図7の未加工部を加工した図であり、図9
は、図8の第2基板と吐出エネルギー発生素子を有した
第1基板とを接合しヘッドに組んだカラーインクジェッ
ト記録ヘッドの斜視図である。図6において、601は
インク流路D、602は吐出口加工部、603は、各々
異なった色のインクが溜められる共通液室、604は第
2基板、610は、共通液室にインクを供給するための
インク供給口、611は、各共通液室603を完全に分
離するための封止剤を注入する封止剤注入口、612
は、封止剤が流れるための溝である共通液室分離溝であ
る。また図7において、705はインク流路加工部、7
12は共通液室分離溝、713は、封止剤が溜まるダミ
ーノズルである。また図8において、802は吐出口加
工部、812は共通液室分離溝、813はダミーノズ
ル、814は、レーザにより加工されたインク流路Dで
ある。また図9において、904は第2基板、907は
第1基板、908はベースプレート、910はインク供
給口、911は封止剤注入口である。以下、本実施例3
を、図6〜図9を用いて説明する。ダミーノズル713
(図7)を射出成形によって成形された形状を有する第
2基板604(図6)のインク流路加工部705をエキ
シマレーザにより前記実施例1と同様に42.375μ
mピッチで336本配列したインク流路群を加工し、実
施例1と同様に、ヘッドとして組み、図9に示すように
して組立て、封止剤注入口911より封止剤を注入し、
共通液室603を分離し、各インク供給口910よりそ
れぞれ色の異なるインクを供給し、カラー印字を行った
ところ、600DPIの高精細な画像を得ることができ
た。 (実施例4) 前記実施例3は、ダミーノズル713のみ射出成形で製
作し、インク流路Dはレーザにより加工した。しかしな
がら、前記実施例1と同様に、ダミーノズル713とイ
ンク流路D601との一部を射出成形により製作し、残
りのインク流路D8014をレーザにより加工してもよ
い。 (実施例5) 本実施例1,2では、射出成形により成形したインク流
路と、レーザ加工したインク流路とが交互に存在する形
態の物を示した。しかし、本発明は、この形態に限定す
る物ではない。例えば、射出成形により成形したインク
流路2本とレーザ加工したインク流路2本とが交互に存
在しても良いし、また不規則に存在しても良いし、射出
成形により成形したインク流路とレーザ加工したインク
流路との本数が変わっていても良い。 (参考例) 次に、参考例を示す。図5は、参考例の図1A部の拡大
図である。図5において、509は各インク流路Cであ
る。インク流路Cは、成形によって10μm×34.3
75μm×400μm(図5の(A方向寸法)×(B方
向寸法)×(C方向寸法))の大きさで、ピッチ42.
375μmで336本配列されている。そのインク流路
Cの底面部(図5のB面で40μm×400μmの面
(B方向寸法)×(C方向寸法))に、前記実施例1と
同様のエネルギー密度でエキシマレーザを150pul
s照射し、図3の同じ大きさのインク流路を336本、
ピッチ42.375μmで有する第2基板を製作した。
その第2基板を実施例1と同様に、ヘッドとして組立て
したところ、600DPIの高精細な画像を得ることが
できた。なお、前記寸法の長方形の溝は、前記実施例
1,2で記したと同様な理由で、実際には図3,5に示
すAB断面のような形状になる。
【発明の効果】以上、説明したように、本発明によれ
ば、高密度に配列されたインク流路を容易に加工するこ
とができる。そして、インク流路加工時のレーザの総エ
ネルギーを減らすことができるため、レーザ加工装置の
光学系への負担を軽減できる。また、この加工の容易さ
と光学系の負担への軽減は、歩留まりの向上と加工費の
低減を達成できる。しかも、射出成形でインク流路を加
工したインク流路は、レーザにより加工したものに対し
て、レーザの副生成物の付着がないことにより、画像処
理が容易となり、吐出口加工,封止天接等の工程も容易
となり、総合歩留まりを大きく向上することができ、し
かも高画質の印字が可能である。
ば、高密度に配列されたインク流路を容易に加工するこ
とができる。そして、インク流路加工時のレーザの総エ
ネルギーを減らすことができるため、レーザ加工装置の
光学系への負担を軽減できる。また、この加工の容易さ
と光学系の負担への軽減は、歩留まりの向上と加工費の
低減を達成できる。しかも、射出成形でインク流路を加
工したインク流路は、レーザにより加工したものに対し
て、レーザの副生成物の付着がないことにより、画像処
理が容易となり、吐出口加工,封止天接等の工程も容易
となり、総合歩留まりを大きく向上することができ、し
かも高画質の印字が可能である。
【図1】 実施例1の第2基板(天板)の斜視図
【図2】 図1Aの拡大図
【図3】 図2の未加工部を加工した第2基板の斜視図
【図4】 実施例1のインクジェット記録ヘッドの斜視
図
図
【図5】 参考例の図1A部拡大図
【図6】 実施例3のカラーインクジェット記録ヘッド
の第2基板の斜視図
の第2基板の斜視図
【図7】 図6A部の拡大図
【図8】 図7の未加工部を加工した図
【図9】 実施例3のカラーインクジェット記録ヘッド
の斜視図
の斜視図
101 インク流路A
102 吐出口加工部
103 共通液室
104 第2基板
201 インク流路A
202 吐出口加工部
205 インク流路加工部
301 インク流路A
302 吐出口加工部
306 インク流路B
404 第2基板
407 第1基板
408 ベースプレート
509 インク流路C
601 インク流路D
602 吐出口加工部
603 共通液室
604 第2基板
610 インク供給口
611 封止剤注入口
612 共通液室分離溝
705 インク流路加工部
712 共通液室分離溝
713 ダミーノズル
802 吐出口加工部
812 共通液室分離溝
813 ダミーノズル
814 インク流路D
904 第2基板
907 第1基板
908 ベースプレート
910 インク供給口
911 封止剤注入口
Claims (5)
- 【請求項1】 複数の吐出口の各々に対応して設けられ
るインク路を構成するための溝を有した第2基板と、前
記インク路の一部に配設される吐出エネルギー発生素子
を有した第1基板とを接合することによって構成される
インクジェット記録ヘッドを製造するインクジェット記
録ヘッド製造方法において、成 形加工とレーザ加工とによりそれぞれ異なる前記イン
ク路を構成するための溝を前記第2基板に形成すること
を特徴とするインクジェット記録ヘッド製造方法。 - 【請求項2】 請求項1記載のインクジェット記録ヘッ
ド製造方法において、前記インク路を構成するための溝
は、成型加工により形成された溝とレーザ加工により形
成された溝とが交互に並んでいることを特徴とするイン
クジェット記録ヘッド製造方法。 - 【請求項3】 インクを吐出するためのエネルギーを発
生する複数のエネルギー発生素子が配置された第1基板
と、インクが吐出される複数の吐出口が開口するオリフ
ィスプレートが形成され、それぞれ前記各吐出口へ供給
されるインクを一時的に保持する複数の共通液室の壁を
構成する複数の凹部及び前記各エネルギー発生素子の位
置に対応して位置し、前記各吐出口をそれぞれ前記各凹
部のうちいずれか1つと連通する複数のインク流路を有
する第2基板と、が接合されており、 前記第2基板が、 前記各凹部の間の壁に、前記吐出口側
から前記吐出口側と反対側へ延び、内部に封止剤が充填
されることで前記複数の共通液室のそれぞれを分離する
共通液室分離溝と、前記共通液室分離溝に連通して前記
オリフィスプレートに達するダミーノズル及びこのダミ
ーノズルの両側に位置しそれぞれ前記オリフィスプレー
トに達するダミーノズルで構成されるダミーノズル群
と、をさらに有するインクジェット記録ヘッドを製造す
るインクジェット記録ヘッド製造方法において、 前記ダミーノズル群を成形加工で、前記インク流路をレ
ーザ加工でそれぞれ形成することを特徴とするインクジ
ェット記録ヘッド製造方法。 - 【請求項4】 請求項1ないし3のいずれかに記載のイ
ンクジェット記録ヘッド製造方法において、前記レーザ
加工はエキシマレーザを照射することによる加工である
ことを特徴とするインクジェット記録ヘッド製造方法。 - 【請求項5】 請求項1ないし4のいずれかに記載のイ
ンクジェット記録ヘッド製造方法を用いて製造したこと
を特徴とするインクジェット記録ヘッド。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33370996A JP3423551B2 (ja) | 1996-12-13 | 1996-12-13 | インクジェット記録ヘッド製造方法及びインクジェット記録ヘッド |
US08/989,183 US6176012B1 (en) | 1996-12-13 | 1997-12-11 | Method for manufacturing an ink jet recording head and an ink jet recording head |
DE69727894T DE69727894T2 (de) | 1996-12-13 | 1997-12-12 | Verfahren zum Herstellen eines Tintenstrahlaufzeichnungskopfes und Tintenstrahlaufzeichnungskopf |
EP97121964A EP0847860B1 (en) | 1996-12-13 | 1997-12-12 | A method for manufacturing an ink jet recording head and an ink jet recording head |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33370996A JP3423551B2 (ja) | 1996-12-13 | 1996-12-13 | インクジェット記録ヘッド製造方法及びインクジェット記録ヘッド |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10166598A JPH10166598A (ja) | 1998-06-23 |
JP3423551B2 true JP3423551B2 (ja) | 2003-07-07 |
Family
ID=18269096
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP33370996A Expired - Fee Related JP3423551B2 (ja) | 1996-12-13 | 1996-12-13 | インクジェット記録ヘッド製造方法及びインクジェット記録ヘッド |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6176012B1 (ja) |
EP (1) | EP0847860B1 (ja) |
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DE (1) | DE69727894T2 (ja) |
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---|---|---|---|---|
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JP3658212B2 (ja) * | 1998-10-27 | 2005-06-08 | キヤノン株式会社 | 液体噴射記録ヘッド |
JP4639718B2 (ja) * | 2004-09-22 | 2011-02-23 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッドの圧力発生室形成板製造装置、液体噴射ヘッドの圧力発生室形成板製造方法及び液体噴射ヘッド |
JP5596954B2 (ja) * | 2009-10-08 | 2014-09-24 | キヤノン株式会社 | 液体供給部材、液体供給部材の製造方法及び液体吐出ヘッドの製造方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5523307B2 (ja) | 1973-04-23 | 1980-06-21 | ||
JPS55132253A (en) | 1979-04-02 | 1980-10-14 | Canon Inc | Recorder |
US5208604A (en) * | 1988-10-31 | 1993-05-04 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink jet head and manufacturing method thereof, and ink jet apparatus with ink jet head |
JP2771557B2 (ja) | 1988-10-31 | 1998-07-02 | キヤノン株式会社 | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
JP2940121B2 (ja) * | 1990-09-25 | 1999-08-25 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェット記録ヘッド用基板の製造方法 |
ATE176416T1 (de) * | 1990-11-21 | 1999-02-15 | Canon Kk | Laserbearbeitungsgerät |
US5387314A (en) | 1993-01-25 | 1995-02-07 | Hewlett-Packard Company | Fabrication of ink fill slots in thermal ink-jet printheads utilizing chemical micromachining |
JP3132291B2 (ja) | 1993-06-03 | 2001-02-05 | ブラザー工業株式会社 | インクジェットヘッドの製造方法 |
US5694684A (en) * | 1994-06-10 | 1997-12-09 | Canon Kabushiki Kaisha | Manufacturing method for ink jet recording head |
JP3515830B2 (ja) * | 1994-07-14 | 2004-04-05 | 富士写真フイルム株式会社 | インク噴射記録ヘッドチップの製造方法、インク噴射記録ヘッドの製造方法および記録装置 |
EP0709199B1 (en) | 1994-10-28 | 2003-07-02 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink jet head, ink jet head cartridge, ink jet apparatus, and method for manufacturing such ink head |
JP3229146B2 (ja) * | 1994-12-28 | 2001-11-12 | キヤノン株式会社 | 液体噴射ヘッドおよびその製造方法 |
JPH08238777A (ja) | 1995-03-07 | 1996-09-17 | Fuji Electric Co Ltd | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
US5811019A (en) * | 1995-03-31 | 1998-09-22 | Sony Corporation | Method for forming a hole and method for forming nozzle in orifice plate of printing head |
-
1996
- 1996-12-13 JP JP33370996A patent/JP3423551B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1997
- 1997-12-11 US US08/989,183 patent/US6176012B1/en not_active Expired - Fee Related
- 1997-12-12 DE DE69727894T patent/DE69727894T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1997-12-12 EP EP97121964A patent/EP0847860B1/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0847860B1 (en) | 2004-03-03 |
EP0847860A2 (en) | 1998-06-17 |
DE69727894T2 (de) | 2005-01-05 |
EP0847860A3 (en) | 1999-05-06 |
DE69727894D1 (de) | 2004-04-08 |
JPH10166598A (ja) | 1998-06-23 |
US6176012B1 (en) | 2001-01-23 |
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