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HINTERGRUND
DER ERFINDUNG
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Bereich der Erfindung
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Die
vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Herstellen
eines Tintenstrahlaufzeichnungskopfs und auf einen Tintenstrahlaufzeichnungskopf,
der unter Verwendung eines solchen Verfahrens hergestellt wird.
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Einschlägige Technik
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Herkömmlicherweise,
wie in der Beschreibung der japanischen Patentveröffentlichung
Nr. 55-132253 offenbart, ist beispielsweise ein Tintenstrahlaufzeichnungskopf
aufgebaut, indem ein erstes Substrat, welches mit Ausstoßenergieerzeugungsvorrichtungen
versehen ist, die auf einem Silikonsubstrat angeordnet sind, mit
einem zweiten Substrat verbunden ist, welches mit dem ausgesparten
Abschnitt versehen ist, der Tintenströmungsbahnen ausbildet, wenn
es mit dem ersten Substrat verbunden ist; eine Blende, die leitfähig mit
den Tintenströmungsbahnen
verbunden ist, um Ausstoßöffnungen zum
Ausstoßen
von Tinte auszubilden; und der ausgesparte Abschnitt, der eine gemeinsame
Flüssigkeitskammer
bildet, die vorläufig
Tinte speichert, die an jede der Ausstoßöffnungen zuzuführen ist.
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Außerdem ist
in der Beschreibung der japanischen Patentveröffentlichung Nr. 2-121845 ein
Verfahren zum Bearbeiten der Rillen, welche Tintenbahnen bilden,
für einen
Tintenstrahlaufzeichnungskopf vorgestellt, der aufgebaut ist, indem
eine Deckelplatte, welche mit den ausgesparten Abschnitten versehen
ist, um Tintenbahnen auszubilden, die entsprechend jeder der Vielzahl
von Ausstoßöffnungen
und einer gemeinsamen Flüssigkeitskammer
angeordnet sind, welche Tinte speichert, die an die Tintenbahnen zuzuführen ist,
mit einem Substrat verbunden wird, welches Ausstoßenergieerzeugungsvorrichtungen hat,
die auf einem Teil von jedem der Tintenbahnen angeordnet sind. In
diesen Verfahren wird die Deckelplatte, welche die Rillen aufweist,
um die gemeinsame Flüssigkeitskammer
auszubilden, mittels Spritzgießen
hergestellt und dann werden die Tintenbahnen durch Bestrahlung mit
Excimer-Laser auf
der Deckelplatte ausgebildet, die auf diese Weise hergestellt wird.
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Jedoch
stiegen in den letzten Jahren die Anforderungen an höhere Präzision wie
Bildqualität
zusammen mit der breiten Verwendung von Digitalkameras oder dergleichen.
Um eine solche Anforderung an Bildqualität, die höhere Präzision fordert, zu erfüllen, sollte
die Dichte der Tintenströmungsbahnen
so angeordnet werden, dass sie eine Höhe von 600 DPI (die Abstände der
Tintenströmungsbahnen sind
42,375 μm)
oder mehr erreichen. Jedoch sollte entsprechend des Verfahrens zum
Ausbilden der Tintenströmungsbahnen
mittels Spritzgießen,
das in der japanischen Patentveröffentlichung
Nr. 55-132253 offenbart ist, der Produktionsertrag extrem sinken, wenn
dieses Verfahren zum Herstellen von Köpfen verwendet wird, die verglichen
mit den herkömmlichen,
die in Verwendung sind, eine solche höhere Dichte der Strömungsbahnen
aufweisen. Hierbei treten Probleme auf, so wie fehlerhaftes Einfließen von Harz
in die metallische Gußform
oder die Splitter, die zum Zeitpunkt der Gußformlösung anwesend sind und das
Produkt fehlerhaft machen. Bezüglich
des Verfahrens zum Ausbilden von Tintenströmungsbahnen durch Bestrahlung
mit Excimer-Laser,
das in der japanischen Patentveröffentlichung
Nr. 2-121845 offenbart ist, sollte außerdem der Bereich der Laserbestrahlung
erhöht
werden, um die Anforderung an höhere
Dichte der Tintenströmungsbahnenanordnung zu
erfüllen.
Diese Anforderung resultiert in dem Hitzestau auf der Deckelplatte,
darüber
hinaus, was herkömmlicherweise
angestaut wurde, was zwangsläufig
zur Ausdehnung des Werkstücks
führt.
Gleichzeitig mit der höheren
Anordnung von Tintenströmungsbahnen,
die somit erforderlich sind, werden zulässige Fehler kleiner, so dass
es schwierig gestaltet wird, die Ausbildung von Tintenströmungsbahnen
in einer gewünschten
Präzision
dauerhaft zu erreichen.
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Deshalb
besteht, wie vorstehend beschrieben, ein Bedarf zur Bereitstellung
eines Verfahrens zum Herstellen eines Tintenstrahlaufzeichnungskopfes,
der in der Lage ist, die Ausbildung von Tintenströmungsbahnen,
mit einer gewünschten
Präzision, dauerhaft
auszubilden, wenn die Tintenströmungsbahnen
beispielsweise in einer Höhe
von 600 DPI oder höher
angeordnet werden sollen.
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ZUSAMMENFASSUNG
DER ERFINDUNG
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Die
vorliegende Erfindung wurde in Anbetracht der vorstehenden beschriebenen
Probleme entworfen. Es ist eine Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren
zum Herstellen eines Tintenstrahlaufzeichnungskopfes bereitzustellen,
das in der Lage ist, die Bereitstellung von höherer Präzision für Bildqualität mit Bestreben
nach niedrigeren Kosten zu erreichen.
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Um
diese Aufgaben zu lösen,
wird ein Verfahren gemäß Anspruch
1 bereitgestellt.
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Entsprechend
dem Verfahren zur Herstellung der vorliegenden Erfindung, die vorstehend
beschrieben wurde, wird ermöglicht,
die Chance zu reduzieren, dass das optische System des Laserprozessors
beschädigt
wird, selbst wenn es für
das herkömmliche
Verfahren schwierig ist, in solch einer hohen Dichte angeordnete
Tintenströmungsbahnen,
zu bearbeiten, bei denen zu einem Zeitpunkt des Ausbildungsprozesses
die Gussformablösung
nicht leicht durchführbar
ist, oder keine Laserbearbeitung aufgrund der thermischen Einflüsse möglich ist.
Des weiteren wird ermöglicht,
ein zweites Substrat bereitzustellen, das eine kleinere Menge an
Nebenprodukten hat, die durch Laserabrasion ausgebildet werden, wodurch
erleichtert wird, den Herstellungsschritten zu folgen und stellt
auch einen Tintenstrahlaufzeichnungskopf bereit, der in der Lage
ist mit höherer
Präzision
mit durchaus niedrigeren Kosten zu drucken.
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Andere
Aufgaben und Vorteile neben denen, die vorstehend diskutiert wurden,
werden denen, die mit dem Stand der Technik vertraut sind, aus der nachfolgenden
Beschreibung der bevorzugten Ausführungsbeispiele der Erfindung
ersichtlich. In der Beschreibung wird der Bezug zu den beigefügten Zeichnungen
hergestellt, die einen Teil davon bilden und ein Beispiel der Erfindung
veranschaulichen. Jedoch erschöpft
ein solches Beispiel nicht die verschiedenen Ausführungsbeispiele
der Erfindung und deshalb wird auf die Ansprüche verwiesen, die der Beschreibung
folgen, um den Rahmen der Erfindung zu bestimmen.
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KURZBESCHREIBUNG
DER ZEICHNUNGEN
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1 ist eine räumliche
Darstellung, die ein zweites Substrat (Deckelplatte) gemäß einem
ersten Ausführungsbeispiel
entsprechend der vorliegenden Erfindung darstellt.
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2A ist eine vergrößerte Darstellung,
die den Abschnitt A des zweiten Substrats, der in 1 gekennzeichnet ist, darstellt.
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2B ist eine Querschnittsdarstellung,
die eine Ebene A und B des Abschnitts, der in 2A dargestellt ist, darstellt.
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3A ist eine räumliche
Darstellung, die ein zweites Substrat darstellt, nachdem der Abschnitt bearbeitet
wurde, der in den 2A und 2B noch zu bearbeiten ist.
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3B ist eine Querschnittsdarstellung,
welche die Ebene A und B des Abschnittes, der in 3A dargestellt ist, darstellt.
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4 ist eine räumliche
Darstellung, welche einen Tintenstrahlaufzeichnungskopf gemäß einem ersten
Ausführungsbeispiel
der vorliegenden Erfindung darstellt.
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5A ist eine vergrößerte Darstellung,
die den Abschnitt A, der in 1 gekennzeichnet
ist, entsprechend einem dritten Ausführungsbeispiel der vorliegenden
Erfindung darstellt.
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5B ist eine Querschnittsdarstellung,
welche die Ebene A und B des Abschnittes, der in 5A dargestellt ist, darstellt.
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6 ist eine räumliche
Darstellung, die das zweite Substrat eines Farbtintenstrahlkopfes
gemäß einem
fünften
Ausführungsbeispiel
der vorliegenden Erfindung darstellt.
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7 ist eine vergrößerte Darstellung,
die den Abschnitt A, der in 6 gekennzeichnet
ist, dargestellt.
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8 ist eine Darstellung,
die den Abschnitt darstellt, nachdem der Abschnitt bearbeitet wurde, der
in 7 noch zu bearbeiten
ist.
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9 ist eine räumliche
Darstellung, die einen Farbtintenstrahlkopf gemäß einem fünften Ausführungsbeispiel der vorliegenden
Erfindung darstellt.
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10 ist eine vergrößerte Darstellung,
die den Abschnitt A, der in 1 gekennzeichnet
ist, gemäß einem
vierten Ausführungsbeispiel
der vorliegenden Erfindung darstellt.
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DETAILLIERTE
BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSBEISPIELE
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Hier
folgt unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen die Beschreibung
der Modi, in denen die vorliegende Erfindung entsprechend der vielfältigen Ausführungsbeispiele,
die nachfolgend gezeigt werden, ausgeführt ist.
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Ausführungsbeispiel 1
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In
Verbindung mit den 1 bis 4 wird ein erstes Ausführungsbeispiel
gemäß der vorliegenden Erfindung
beschrieben. 1 ist eine
räumliche
Darstellung, die ein zweites Substrat (Deckelplatte) gemäß einem
ersten Ausführungsbeispiel
der vorliegenden Erfindung darstellt. 2A ist
eine vergrößerte Darstellung,
die den Abschnitt A des zweiten Substrats, der in 1 gekennzeichnet ist, darstellt. 2B ist eine Querschnittsdarstellung,
welche die Ebene A und B des Abschnittes, der in 2A darstellt ist, darstellt. 3 ist eine räumliche
Darstellung, die das zweite Substrat darstellt, nachdem jeder Abschnitt
bearbeitet wurde, der in den 2A und 2B noch zu bearbeiten ist. 3 ist eine Querschnittsdarstellung,
welche die Ebene A und B des Abschnittes, der in 3A gekennzeichnet ist, darstellt. 4 ist eine räumliche
Darstellung, die einen Tintenstrahlaufzeichnungskopf darstellt,
der zusammengebaut ist, indem das erste Substrat mit dem zweiten
Substrat, das in den 3A und 3B dargestellt ist, verbunden
wird.
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In 1 kennzeichnet eine Bezugsnummer 101 eine
Tintenströmungsbahn
A, die im Voraus mittels Formgießen hergestellt wurde; 102,
den Ausstoßöffnungsabschnitt,
wo eine Ausstoßöffnung hergestellt
wird, die leitfähig
mit der Tintenströmungsbahn 101 verbunden
ist, um Tinte auszustoßen; 103, die
gemeinsame Flüssigkeitskammer,
um vorläufig Tinte
zu speichern; und 104, das zweite Substrat, welches die
Tintenströmungsbahnen 101,
die Ausstoßöffnungsbearbeitungsabschnitte 102 und
die gemeinsame Flüssigkeitskammer 103 aufweist.
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In
den 2A und 2B kennzeichnet die Bezugsnummer 105 den
Abschnitt, wo Tintenströmungsbahnen
durch das Anlegen von Laser ausgebildet werden.
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In
den 3A und 3B kennzeichnet eine Bezugsnummer 106 den
Abschnitt, wo Tintenströmungsbahnen
B mittels eines Excimer-Lasers ausgebildet wurden.
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Dann
kennzeichnet in 4 eine
Bezugsnummer 107 das erste Substrat, das mit Ausstoßenergieerzeugungsvorrichtungen
versehen ist und 108 die Grundplatte, welche verwendet wird, um
das erste Substrat zu befestigen.
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Für das vorliegende
Ausführungsbeispiel wird
eine dünne
Platte, die von einer Silikonscheibe abgeschnitten wird, für das erste
Substrat 107 verwendet. Auf dem ersten Substrat 107 sind
eine Vielzahl von Elektro-Thermal-Umwandlungsvorrichtungen als Ausstoßenergieerzeugungsvorrichtungen mittels
Dünnschichtausbildungstechnologien
und -techniken ausgebildet. Andererseits werden Tintenströmungsbahnen
A101 und ausgesparte Abschnitte im Voraus auf dem zweiten Substrat 104 mittels Spritzgießen oder
einigen anderen Formgebungsprozessen ausgebildet, um die Ausstoßöffnungsplatte 102 herzustellen,
die als Ausstoßöffnungsbearbeitungsabschnitte
dienen, und auch um die gemeinsame Flüssigkeitskammer herzustellen
(siehe 1). Es ist auch
möglich,
irgendein Material zur Formung des zweiten Substrats zu verwenden,
wenn solches Material nur einen guten Widerstand gegen Tinte aufweist,
während
es einfach mittels Spritzgießen
und Laserverarbeitung bearbeitet werden kann. In dem vorliegenden
Ausführungsbeispiel
wird jedoch Polysulfon verwendet. In 1 wird
die Größe einer
jeden Tintenströmungsbahn
A101 durch Spritzgießen so
hergestellt, dass sie 40 μm × 34,375 μm × 400 μm ist (d.
h., (die Abmessung in der Richtung A) × (die Abmessung in der Richtung
B) × (die
Abmessung in der Richtung C) aus 2A).
168 Bahnen sind mit den Abständen
von 84,75 μm
angeordnet. Deshalb ist die Breite eines jeden Abschnittes 105,
der noch zu bearbeiten ist, der zwischen jeder Tintenströmungsbahn
A101 zurückbleibt,
ungefähr
50 μm, wodurch
ermöglicht
wird, dass, für
die Formverarbeitung angemessen in die Gießform gefüllt werden kann. Zur gleichen
Zeit wird dem Harz eine ausreichende Stärke gegeben, wenn es von der
Gießform gelöst wird.
Infolgedessen besteht nicht die Gefahr, dass die Abschnitte, die
noch zu bearbeiten sind, beschädigt
werden. Folglich kann das zweite Substrat wie in 1 dargestellt, mit gutem Produktionsertrag geformt
werden.
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Dann
werden die Tintenströmungsbahnbearbeitungsabschnitte 105 des
zweiten Substrats 104, welche mit jeder Tintenströmungsbahn
A101 einhergehen, die somit mittels einer solchen Formbearbeitung
ausgebildet wurden, mit Excimer-Laser mit 200 Impulsen und der Laserenergiekonzentration
von 1 J/cm2·Impuls auf der Oberfläche des
Bearbeitungsabschnittes bestrahlt. Folglich werden 168 Tintenströmungsbahnen
B106 jeweils in der Größe von 40 μm × 34,375 μm × 400 μm ausgebildet
(d. h., (die Abmessung in der Richtung A) × (die Abmessung in der Richtung
B) × (die
Abmessung in der Richtung C) aus 3A).
Jede der rechteckigen Rillen, die wie vorstehend beschrieben, dimensioniert
sind, ist tatsächlich
jeweils mit der Auslöseverjüngung von
7° (Grad) zum
Zeitpunkt des Spritzgießens
versehen, so wie der Verarbeitungsverjüngung von 7° (Grad) zum Zeitpunkt der Laserbearbeitung.
Deshalb ist jede der Rillen aufgebaut, wie in dem Bereich A und
B aus den 2A und 2B und in den 3A und 3B dargestellt.
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Für die Laserbearbeitung
des vorliegenden Ausführungsbeispieles
ist der Betrag der Laserbestrahlung nur ungefähr die Hälfte des tatsächlichen Betrags,
der für
die Ausbildung der 336 Tintenbahnen in der Anordnungsdichte von
600 DPI notwendig ist, folglich wird ermöglicht, den Einfluss der thermischen
Ausdehnung, die auf das Werkstück,
d. h., ein zweites Substrat, angelegt wird, signifikant zu reduzieren.
Gleichzeitig wird möglicht,
die Chancen zu verringern, dass eine Beschädigung des Laserprozessors
verursacht wird.
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Wie
vorstehend beschrieben, erhält
man nach der Formung des zweiten Substrats 104, das 336
Tintenbahnen in den Abständen
von 42,375 μm (600
DPI) angeordnet hat, wie in den 3A und 3B dargestellt, einen Tintenstrahlaufzeichnungskopf, wie
in 4 dargestellt, indem
das zweite Substrat 104 unter Verwendung einer Drückeinrichtung
(nicht dargestellt), so wie z. B. einem elastischen Element, mit
dem ersten Substrat 107, das mit den Ausstoßenergieerzeugungsvorrichtungen
versehen ist, die an die Grundplatte 108 befestigt sind,
welche aus Aluminiumbasismaterial geformt ist, zusammengedrückt und
verbunden wird, nachdem die Tintenbahnen 101 und 106 und
die Ausstoßenergieerzeugungsvorrichtungen
so positioniert wurden, dass sie entsprechend einander gegenüber liegen.
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Mit
dem auf diese Weise hergestellten Tintenstrahlkopf wird ein Testdrucken
durchgeführt.
Infolgedessen ist bestätigt,
dass eine hochpräzise
Bildqualität
bei 600 DPI erreichbar ist.
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Ausführungsbeispiel 2
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Gemäß dem ersten
Ausführungsbeispiel wird
die Beschreibung für
den Fall gemacht, bei dem die Tintenbahnen in einer Dichte von 600
DPI angeordnet sind. Die vorliegende Erfindung ist nicht notwendigerweise
auf das Bereitstellen dieser Dichte begrenzt. Die Erfindung ist
gleichermaßen
wirksam bei Verwendung mit Anordnungsdichten, die von der vorstehend
beschriebenen verschieden sind. Gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel
ist die Anordnungsdichte der Tintenbahnen 900 DPI. Hierbei ist ihr
Aufbau in der gleichen Art und Weise wie beim ersten Ausführungsbeispiel
geformt, mit den Ausnahmen, die im besonderen nachfolgend erwähnt werden.
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Gemäß dem vorliegenden
Ausführungsbeispiel
ist die Größe von jeder
Tintenbahn A101 des zweiten Substrats 104 40 μm × 23,25 μm × 400 μm (d. h.,
(die Abmessung in der Richtung A) × (die Abmessung in der Richtung
B) × (die
Abmessung in der Richtung C) aus 2A),
die mittels Spritzgießen
erreicht wird, außerdem
sind 168 Bahnen in den Abständen
von 56,5 μm
angeordnet. Die Tintenströmungsbahnbearbeitungsabschnitte 105 des
zweiten Substrats 104 werden mit Excimer-Laser mit 200
Impulsen mit der Laserenergiedichte von 1 J/cm2·Impuls
auf der Oberfläche
der Laserbearbeitung bestrahlt. Dann wird ein Kopf wie in dem ersten
Ausführungsbeispiel
zusammengebaut, d. h., 168 Tintenströmungsbahnen B106 werden jeweils
in der Größe von 40 μm × 23,25 μm × 400 μm (d. h.,
(die Abmessung in der Richtung A) × (die Abmessung in der Richtung
B) × (die
Abmessung in der Richtung C) aus 3A)
ausgebildet und das zweite Substrat wird mit 336 Tintenströmungsbahnen,
die in den Abständen von
28,25 μm
(äquivalent
zu 900 DPI) angeordnet sind, vorbereitet. Danach wird Testdrucken
durchgeführt
mit dem Ergebnis, dass eine hochpräzise Bildqualität bei 900
DPI erreichbar ist. Diesbezüglich werden
die rechteckigen Rillen, von denen jede die Abmessungen wie vorstehend
beschrieben hat, wie in dem Abschnitt A und B aus 3B dargestellt, angeordnet und weisen
eine Verarbeitungsverjüngung von
7° (Grad)
zum Zeitpunkt der Laserbearbeitung wie beim ersten Ausführungsbeispiel
auf.
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Ausführungsbeispiel 3
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Nun
wird das dritte Ausführungsbeispiel
gemäß der vorliegenden
Erfindung beschrieben. 5A ist
eine Vergrößerung entsprechend
des Abschnittes A, der in 1A dargestellt
ist. In den 5A und 5B kennzeichnet eine Bezugsnummer 509 jede
der Tintenströmungsbahnen
C. Die Größe jeder
der Tintenströmungsbahnen
C ist 10 μm × 34,375 μm × 400 μm (d. h.,
(die Abmessung in der Richtung A) × (die Abmessung in der Richtung
8) × (die
Abmessung in der Richtung C) aus 5A),
die mittels Gießen
erreicht werden, und 336 Bahnen sind in den Abständen von 42,375 μm angeordnet.
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Gemäß dem vorliegenden
Ausführungsbeispiel
wird die Höhe
der Bearbeitungsabschnitte, die noch zu bearbeiten sind, zwischen
jeder der Tintenbahnen 509 abgesenkt. Deshalb wird, obwohl
die Breite jedes Abschnittes, der noch zu bearbeiten ist, schmäler gemacht
wird, der Einfließzustand
des Harzes in die Ausbildungsgießform und das Problem, das
auftritt, wenn es von der Gießform
gelöst
wird, verglichen mit denen aus dem Stand der Technik, verbessert.
Dann wird der Boden der Tintenströmbahnen C (wobei jedes eine
Fläche
von 40 μm × 400 μm hat, d.
h., (die Abmessung in der Richtung B) × (die Abmessung in der Richtung
C) aus 5B) mit Excimer-Laser
mit 150 Impulsen in der gleichen Energiedichte, wie in dem ersten
Ausführungsbeispiel, bestrahlt,
um das zweite Substrat herzustellen, das 336 Tintenströmbahnen
hat in den Abständen
von 42,375 μm,
wobei jede in der gleichen Größe ist,
wie die Eine, die in 3A dargestellt
ist. In diesem Fall ist es auch möglich, den Betrag an Laserbestrahlung zu
verringern. Wenn das auf diese Weise hergestellte zweite Substrat
an einen Kopf montiert wird, wie in dem ersten Ausführungsbeispiel,
wird es möglich,
ein hochpräzises
Bild von 600 DPI zu erhalten. Diesbezüglich werden die rechteckigen
Rillen, von denen jedes die Abmessungen wie vorstehend beschrieben hat,
tatsächlich
wie in dem Bereich A und B aus den 3B und 5B angeordnet.
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Ausführungsbeispiel 4
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In
dem ersten Ausführungsbeispiel
wird nur eine Tintenströmbahn
B106, die mit Laser zu bearbeiten ist, zwischen jeder der Tintenströmbahnen A101,
die mittels Gießformen
ausgebildet wurde, angeordnet. Jedoch ist es möglich, eine Vielzahl von Tintenströmbahnen
B106 zwischen jeder der Tintenströmbahnen A101, die mittels Gießformen
hergestellt wurde, anzuordnen. Nichtsdestoweniger in Anbetracht
der Einflüsse,
die durch Hitze bewirkt werden, welche durch Laseranbringung erzeugt
wird, sollte angestrebt werden, die Tintenströmbahnen B106 auf ungefähr 5 für die Laserbearbeitung
zu beschränken. 10 ist eine räumliche
Darstellung, die ein zweites Substrat entsprechend dem, das in 2A dargestellt ist, darstellt,
das aber einen Aufbau hat, bei dem zwei laserbearbeitete Tintenströmbahnen
B106 zwischen den Tintenströmbahnen A101
angeordnet sind, welche mittels Gießformen ausgebildet wurden.
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In 10 sind solche Abschnitte,
die mit Laser zu bearbeiten sind, durch schräge Linien gekennzeichnet, um
die Tintenströmbahnen
B zu formen. Diesbezüglich
ist die Anordnungsdichte der Tintenströmbahnen 600 DPI, wie in dem
ersten Ausführungsbeispiel.
Wenn ein Tintenstrahlkopf, wie in dem ersten Ausführungsbeispiel,
hergestellt wird, aber ein zweites Substrat 104 wie vorstehend
beschrieben verwendet wird, ist es möglich eine hohe Qualitätsaufzeichnung
wie in dem ersten Ausführungsbeispiel durchzuführen.
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Ausführungsbeispiel 5
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Nun
wird ein fünftes
Ausführungsbeispiel
gemäß der vorliegenden
Erfindung beschrieben. 6 ist
eine räumliche
Darstellung, die ein zweites Substrat eines Farbtintenstrahlaufzeichnungskopfes (Ein-Chip-Farbe)
darstellt. 7 ist eine
Vergrößerung des
Abschnittes A, der in 6 gekennzeichnet ist. 8 ist eine Darstellung,
welche die Bearbeitung des Abschnittes darstellt, der in 7 noch zu bearbeiten ist. 8 ist eine räumliche
Darstellung, die einen Farbtintenstrahlaufzeichnungskopf darstellt,
der zusammengebaut, indem das zweiten Substrat, das in 8 dargestellt ist, mit dem
ersten Substrat verbunden wird, auf dem die Ausstoßenergieerzeugungsvorrichtungen
angeordnet sind.
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In 6 kennzeichnet eine Bezugsnummer 601 eine
Tintenströmbahn
D; 602 einen Ausstoßöffnungsbearbeitungsabschnitt; 603 gemeinsame
Flüssigkeitskammern
von denen jede jeweils Tinte verschiedener Farben speichert; 604 ein
zweites Substrat; 610 jede der Tintenzuführöffnungen
zum Zuführen
von Tinte zu jeder der gemeinsamen Flüssigkeitskammern; 611 Abdichtmasseeinspritzöffnungen, von
denen jede vorgesehen ist, um die gemeinsamen Flüssigkeitskammern 603 vollständig zu
teilen; und 612 Trennrillen der gemeinsamen Flüssigkeitskammern
von denen jede jeweils das Fließen
von Dichtungsmasse darin zulässt.
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Außerdem kennzeichnet
in 7 eine Bezugsnummer 605 den
Abschnitt, wo Tintenströmungsbahnen
ausgebildet werden und 613 jede der Attrappendüsen zum
Speichern von Dichtungsmasse.
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Außerdem kennzeichnet
in 8 eine Bezugsnummer 614 jede
der Tintenströmungsbahnen D.
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Außerdem kennzeichnet
in 9 eine Bezugsnummer 607 ein
erstes Substrat, 608 eine Basisplatte; 610 jede
der Tintenzuführöffnungen
und 611 jede der Abdichtmasseeinspritzöffnungen.
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Nun
wird nachfolgend in Verbindung mit 6 bis 9 ein fünftes Ausführungsbeispiel gemäß der vorliegenden
Erfindung beschrieben. Zuerst wird das zweite Substrat 608 mittels
eines Formgebungsprozesses, so wie z. B. Spritzgießen verarbeitet,
um im Voraus die Attrappendüsen 613,
die Ausstoßöffnungsplatte 602,
welche als Ausstoßöffnungsplatte
dient und eine Vielzahl von ausgesparten Abschnitten 603 zum
Formen der vielen gemeinsamen Flüssigkeitskammern
bereitzustellen. Dann werden wie in dem ersten Ausführungsbeispiel
die Tintenströmungsbahnbearbeitungsabschnitte 605 des
zweiten Substrats 604 (siehe 6)
durch die Anbringung von Excimer-Laser ausgebildet, um die Tintenströmungsbahngruppen
auszubilden, welche 336 Bahnen in den Abständen von 42,375 μm haben. Danach
wird wie in dem ersten Ausführungsbeispiel ein
Kopf zusammengebaut, wie in 9 dargestellt. Dann
wird Dichtmasse von den Dichtmasseeinspritzöffnungen 611 eingespritzt,
um jede der gemeinsamen Flüssigkeitskammern 603 zu
teilen. Von jeder der Tintenzuführöffnungen
wird Tinte verschiedener Farbe zugeführt, um Farbdrucken durchzuführen, folglich
wird ein hochpräzises
Bild mit 600 DPI in Farbe erhältlich.
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Hierbei
gemäß dem vorliegenden
Ausführungsbeispiel
werden solche Abschnitte, die mittels Gießformen ausgebildet werden,
zu Attrappendüsen. Deshalb
wird es, obwohl der Betrag an Laserbestrahlung nicht auf das gleiche
Ausmaß wie
in dem ersten Ausführungsbeispiel
verringert werden kann (ungefähr
10% für
das vorliegende Ausführungsbeispiel) schwierig
für die
Abdichtmasse, in jede der Rillen einzutreten, welche durch das Anbringen
von Laser ausgebildet wird. Infolgedessen kann Abdichtmasse zuverlässig in
die Ecken der Attrappendüsen
eingefüllt werden,
um die Tinte verschiedener Farben zu trennen, sobald die Trennrillen
der gemeinsamen Flüssigkeitskammer
und die Attrappendüsen,
welche an diese Rillen angrenzen, mittels Gießformen ausgebildet sind.
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Außerdem werden
gemäß des vierten
Ausführungsbeispiels
nur die Attrappendüsen 613 mittels Spritzgießen hergestellt,
während
die Tintenströmungsbahnen
D laserbearbeitet werden. Jedoch kann es wie in dem ersten Ausführungsbeispiel
möglich
sein, die Attrappendüsen 613 und
einen Teil der Tintenströmungsbahnen 601 mittels
Spritzgießen herzustellen,
und dann die verbleibenden Tintenströmungsbahnen D614 nachfolgend
zu bearbeiten.
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Ausführungsbeispiel 6
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Gemäß dem ersten
und zweiten Ausführungsbeispiel
wurde die Beschreibung eines Modus gemacht, bei dem jede der Tintenströmungsbahnen mittels
Spritzgießen
hergestellt wurde, und jeder der laserbearbeiteten Tintenströmungsbahnen
so angeordnet sind, dass sie abwechselnd angeordnet sind. Jedoch
ist die vorliegende Erfindung nicht notwendigerweise auf diesen
Modus begrenzt. Zum Beispiel ist eine Anordnung möglich, bei
der zwei Tintenströmungsbahnen,
welche mittels Spritzgießen
ausgebildet sind und zwei laserbearbeitete Tintenströmungsbahnen
abwechselnd angeordnet sind oder dass sie in einer unregelmäßigen Art
und Weise angeordnet sind. Außerdem
ist es möglich,
die Anzahl der Tintenströmungsbahnen
zu verändern,
welche mittels Spritzgießen
ausgebildet sind und solche Tintenströmungsbahnen, die durch Laser
bearbeitet sind.
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Wie
vorstehend beschrieben, gemäß der vorliegenden
Erfindung, wurde ermöglicht,
Tintenströmungsbahnen
mit durchaus guten Produktionserträgen herzustellen, selbst wenn
die Tintenströmungsbahnen
in solch einer hohen Dichte angeordnet sind, dass ihre Ausbildung
schwierig wird, indem die Ausbildungsprozesse verwendet werden.
Des weiteren wird es verglichen mit dem Stand der Technik möglich, die
Gesamtenergie des Lasers zu verringern, wenn Tintenströmungsbahnen
bearbeitet werden. Deshalb ist die erforderliche Belastung des optischen
Systems des Laserprozessors kleiner.
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Dann
erleichtern Tintenströmbahnen,
welche mittels Spritzgießen
hergestellt werden, das Durchführen
von Bildverarbeitung bezüglich
des nachfolgenden Verarbeitungsschrittes der Abschnitte, die mit
Laser zu bearbeiten sind, weil dann kein Anhaften von irgendwelchen
Teilchen als Lasernebenprodukt existiert. Infolgedessen wird unter
anderem die Ausstoßöffnungsbearbeitung,
der Verarbeitungsschritt der Dichtmasseaufbringung und das Verbinden
des Deckelelements einfacher. Nicht nur der gesamte Produktionsertrag
kann signifikant verbessert werden, sondern auch Drucken mit höherer Bildqualität wird möglich.