DE69117948T2

DE69117948T2 - Gesteuerte druckvorrichtung und herstellverfahren dafür

Info

Publication number: DE69117948T2
Application number: DE69117948T
Authority: DE
Inventors: Mark Richard 2 Wheatfield Crescent Herts Sg8 7En Shepherd; Stephen Cambridge Cb3 0Ln Temple
Original assignee: Xaar Ltd
Current assignee: Xaar Ltd
Priority date: 1990-05-08
Filing date: 1991-05-07
Publication date: 1996-08-08
Anticipated expiration: 2011-05-08
Also published as: CA2082264C; WO1991017051A1; CA2082264A1; KR100232734B1; JP2961624B2; SG46319A1; ATE135302T1; JPH05507037A; GB9010289D0; DE69117948D1; EP0527870A1; US5959643A; EP0527870B1; HK1000055A1

Description

Die Verbesserung der Druckauflösung bei abrufgesteuerten Matrixdruckköpfen (drop-ondemand array printheads) bringt die Bereitstellung von Matrizen mit gesteigerter Dichte und deshalb dünneren Kanalwänden mit sich. Wo im Scher-Modus betätigte Matrizen verwendet werden, die aus piezo-elektrischem Material ausgebildet sind, wie sie z.B. in den hierzu schwebend anhängigen europäischen Patentanmeldungen 88 300 144.8 und 88 300 146.3 beschrieben werden, begründen die Herstellungsverfahren zur Herstellung der Kanäle, zur Ausbildung von Elektroden an den Kanalseitenwänden, zur Passivierungs- Beschichtung der Elektroden, zur elektrischen Verbindung der Matrize etc., in der Herstellung zusammengesetzte Ausbeuten, welche geringer werden, wenn die Größe der Matrix ansteigt. Es ist demgemäß eine Aufgabe dieser Erfindung, eine zuverlässige Herstellung von abrufgesteuerten Druckköpfen mit hochdichten Matrizen von beträchtlichen Dimensionen in der Matrizenrichtung zu ermöglichen.
Die vorliegende Erfindung besteht aus dem Verfahren zur Herstellung einer abrufgesteuerten Tröpfchendruckeinrichtung mit einem Körper, der mit einer hochdichten Matrix aus parallelen Druckflüssigkeitskanälen ausgebildet ist, die sich normal zur Matrixrichtung erstrecken, Düsen, die jeweils mit den Kanälen verbunden sind, Druckflüssigkeitszufuhreinrichtungen, mit denen jeder der Kanäle verbunden ist, und Druckimpulsaufbringungseinrichtungen, die bei jedem Kanal vorgesehen und angepaßt sind, um Druckimpulse auf die Druckflüssigkeit im zugeordneten Kanal aufzubringen, um den Tröpfchenausstoß daraus zu bewirken, gekennzeichnet durch das Ausbilden des Körpers aus mehreren gleichartigen Modulen, die an einander zugewandten Endflächen, die normal zur Matrixrichtung angeordnet sind, in einer Reihe aneinandergefügt sind, und wobei jedes der Module jeweils an seinen gegenüberliegenden Stirnflächen solche Kanalteile hat, daß beim Aneinanderfügen der Module zur Ausbildung des Körpers weitere Kanäle zwischen jeweiligen Teilen der aneinander gefügten Module ausgebildet werden, die so den Ausstoß von Tröpfchen aus den Kanälen ermöglichen, so daß die Tröpfchen in einem vorbestimmten Abstand quer zur Richtung der Relativbewegung zwischen dem Apparat und der Oberfläche auf einer Druckoberfläche abgesetzt werden.
Die Herstellung der Matrix in kleinen Modulen resultiert in einer höheren Erfolgsrate bei der Herstellung.
Vorzugsweise wird eine einzelne Düsenplatte eingesetzt, um die Module zu überspannen, und die Düsen werden in der Platte ausgebildet.
Geeigneterweise ist das Verfahren gemäß der Erfindung gekennzeichnet durch die Ausbildung der Düsen durch Bereitstellung von Maskeneinrichtungen, die zwei zusammenpassende Masken aufweisen, von denen eine erste Maske eine Düsen-Ausbildungsmaske und eine zweite Maske eine Modul-Ausrichtungsmaske ist, wobei die Düsen-Ausbildungsmaske mit einer Matrix aus Löchern, die den Anordnungen der auszubildenden Düsen entspricht, und mit Modul-Ausrichtungsmarkierungen ausgebildet wird, und die Modul- Ausrichtungsmaske mit Modul-Ausrichtungsmarkierungen ausgebildet ist, die den Modul- Ausrichtungsmarkierungen der Düsen-Ausbildungsmaske entsprechen, wobei die Modul- Ausrichtungsmaske verwendet wird, um die Module in einer Beziehung zu positionieren, wo sie in Reihe Ende an Ende aneinandergefügt sind, und zwar an den Stellen, die durch die Ausrichtungsmarkierungen der Modul-Ausrichtungsmaske vorbestimmt sind, durch das Zusammenfügen der Module zur Ausbildung des Körpers, das Verbinden der Düsenplatte mit dem Körper unter Verwendung der Düsen-Ausbildungsmaske, um die Module des Körpers gemäß der Modul-Ausrichtungsmarkierungen auf der Düsen-Ausbildungsmaske im selben Verhältnis zueinander auszurichten wie die Module gemäß den Modul-Ausrichtungsmarkierungen der Modul-Ausrichtungsmaske ausgerichtet wurden, und durch das Verwenden der Düsen-Ausbildungsmaske, wobei die Module so mit dieser ausgerichtet sind, daß sie Düsen ausbilden, die sich jeweils in die Kanäle der Module hinein öffnen.
Vorzugsweise umfaßt das Verfahren die Ausbildung der Maskeneinrichtungen aus einem Stück eines Flächenmaterials mit einem ersten Teil, der die Ausrichtungsmaske bildet und Modul-Ausrichtungsmarkierungen trägt, und einem zweiten Teil, der die Düsen-Ausbildungsmaske bildet und die Matrix der Löcher und die Modul-Ausrichtungsmarkierungen trägt, die mit den Modul-Ausrichtungsmarkierungen auf dem ersten Teil zusammenpassen, und das Teilen des Flächengebildes in die ersten und zweiten Teile, um die beiden zusammenpassenden Masken auszubilden.
Bei einer Ausführungsform ist das Verfahren der Erfindung gekennzeichnet durch das Ausbilden der Düsen mit den Achsen von zumindest abwechselnden Düsen, die koplanar und so geneigt sind, daß beim Betrieb der Einrichtung Tröpfchen aus den Düsen auf eine Druckoberfläche in einem im wesentlichen einheitlichen Abstand quer zur Richtung der Relativbewegung zwischen der Einrichtung und der Oberfläche abgesetzt werden.
In einer anderen Ausführung umfaßt das Verfahren das Ausbilden jedes der Module mit einem Flächengebilde aus einem piezo-elektrischen Material, das in einer dazu normalen Richtung gepolt ist, wobei die Kanäle Kanal-Abtrennungsseitenwände zwischen ihnen definieren, das Aufbringen von Elektrodeneinrichtungen auf den den Kanälen zugewandten Oberflächen der Seitenwände und das Verbinden der Elektrodeneinrichtungen einer jtxien Kanalseitenwand mit elektrischen Impulsaufbringungseinrichtungen, um an diesen Kanalseitenwänden Ablenkung im Scher-Modus zu bewirken, um den Tröpfchenausstoß aus den Kanälen zu ermöglichen.
Die Erfindung besteht ferner in einer abrufgesteuerten Tröpfchendruckeinrichtung (drop-on- demand droplet printing apparatus) mit einem Körper, der mit einer hochdichten Matrix aus parallelen Druckflüssigkeitskanälen ausgebildet ist, die sich normal zu der Matrixrichtung erstrecken, mit Düsen, die jeweils mit den Kanälen verbunden sind, und Druckimpulsaufbringungseinrichtungen, die bei jedem Kanal vorgesehen und angepaßt sind, um Druckimpulse auf die Druckllüssigkeit in dem zugeordneten Kahal aufzubringen, um dem Tröpfchenausstoß aus diesem zu bewirken, dadurch gekennzeichnet, daß der Körper mehrere gleichartige Module umfaßt, die in einer Reihe an ihren einander zugewandten Stirnflächen aneinandergefügt sind, die normal zur Matrixrichtung angeordnet sind, wobei jedes Modul in den einander zugewandten Stirnflächen so mit jeweiligen Kanalteilen ausgebildet ist, daß weitere Kan;.le zwischen den jeweiligen Teilen der aneinandergefügten Module gebildet werden, wodurch in dem Körper eine Matrix von gleichen Kanälen geschaffen wird, die einheitlich in der Matrixrichtung beabstandet sind, und wobei die Düsen jeweils parallele Achsen haben, um den Ausstoß von Tröpfchen auf eine Druckoberfläche zu ermöglichen, die in einem vorbestimmten Abstand quer zur Richtung der Relativbewegung zwischen der Einrichtung und der Oberfläche abgesetzt werden.
Geeigneterweise sind die Düsen in einer einzelnen Düsenplatte ausgebildet, welche die Kanäle der in Reihe aneinandergefügten Module überspannt.
Die Erfindung wird nun anhand eines Beispiels mit Bezug auf die beiliegenden Zeichnungen erläutert. Es zeigen:
Figuren 1(a), 1(b), 1(c) und 1(d) jeweilige geschnittene Seitenaufrisse von abrufgesteuerten Matrixköpfen, die durch die Herstellungsverfahren der vorliegenden Erfindung ausgebildet wurden;
Figur 2(a) einen Querschnitt und Aufriß eines Flächengebildes aus piezo-elektrischem Material, wobei ein erfindungsgemäßer Herstellungsschritt des in Figur 1(c) dargestellten Druckkopfes dargestellt wird;
Figur 2(b) eine perspektivische Teilansicht eines Druckkopfmoduls in einer Herstellungsstufe, die der in Figur 2(a) dargestellten folgt; und
Figur 3 eine Aufsicht auf eine Maske, die zur Ausrichtung der Module und für den Düsenherstellungsschritt des Druckkopfes verwendet wird.
Die folgende Beschreibung betrifft die Herstellung von abrufgesteuerten Matrixdruckköpfen, welche ein Flächengebilde aus einem piezo-elektrischen Material aufweisen, das in einer Richtung normal zum Flächengebilde polarisiert und mit einer Matrix aus Drucktinten bzw. -farbekanälen ausgebildet ist, welche sich normal zur Matrixrichtung erstrecken und Kanalabtrennungsseitenwände zwischen ihnen bilden, weiterhin mit Düsen, die jeweils mit den Kanälen verbunden sind, Drucktinten bzw. -farbezufuhreinrichtungen, mit welchen die Kanäle jeweils verbunden sind, Elektrodeneinrichtungen, die an die den Kanälen Zugewandten Oberflächen der Seitenwände aufgebracht sind und mit Einrichtungen zum Verbinden der Elektrodeneinrichtungen mit elektrischen Impulsaufbringungseinrichtungen, um an den Kanalseitenwände eine Ablenkung im Scher-Modus zu bewirken, um den Tröpfchenausstoß aus den Kanälen hervorzurufen, wobei die Ablenkung an jeder Seitenwand in der Richtung des an sie angelegten Feldes liegt, wenn ihre Elektrodeneinrichtungen einem elektrischen Impuls von der Impulsaufbringungseinrichtung unterworfen werden.
Solche Druckköpfe sind in den anhängigen europäischen Pateritanmeldungen 88 300 144.8 (Veröffentlichungsnummer 0 277 703A), 88 300 146.3 (Veröffentlichungsnummer 0 278 590A) und 89 309 940.8 (Veröffentlichungsnummer 0 364 136) beschrieben, deren Inhalt durch Bezugnahme hierin aufgenommen wird.
Ungeachtet dessen, daß die folgende Beschreibung der Ausführungsformen der Erfindung auf der Art von Matrixdruckköpfen basiert, auf die Bezug genommen worden ist, wird es Fachleuten offenbar werden, daß die hierin beschriebene Erfindung ebenfalls auf andere Arten von Matrixdruckköpfen anwendbar ist, wie sie z.B. in der US-A-4,584,490 und der US-A-4,296,421 beschrieben werden.
Mit Bezug auf die Figuren 1(a) bis 1(d), in welchen gleiche Teilen mit denselben Bezugszeichen versehen sind, umfaßt der in Figur 1(a) dargestellte Matrixdruckkopf 1 ein Flächengebilde 3 aus piezo-elektrischem Material, geeigneterweise PZT (Blei-Zirkonium- Titanat), das an seinen entgegengesetzten Flächen 5 mit Matrixkanälen 7 ausgebildet und normal zu diesen Kanälen gepolt ist, wie durch die Pfeile 9 und 11 angedeutet ist. Wie unten aus der Figuren 2 bis 4 zu ersehen ist, sind die Matrixdruckköpfe der Figuren 1(a) bis 1(d) aus in Reihe aneinandergefügten Modulen 2 von in Matrixrichtung begrenzter Länge ausgebildet, d.h. in der Richtung, die senkrecht zu und in der Ebene der Achsen der Kanäle 7 liegt. Viele Erwägungen beeinflussen die Auswahl der Modullänge, die einzusetzen ist, z.B. die Herstellungs- und Zusammenbau-Ausbeuten der Modul-Untergruppe, die Wärmeausdehnungstoleranz in der Matrixrichtung, zurverfügungstehende PZT-Materialgrößen, zurverfügungsstehende LSI-Steuerungschip-Anschlußanzahlen, etc.
Die Kanäle 7 sind im Flächengebilde 3 durch Feinzerkleinern unter Verwendung eines Chipschneiders derart geschnitten, wie es in der gleichzeitig noch hierzu anhängigen europäischen Patentanmeldung Nr.88 308 515.1 (Veröffentlichungsnummer 0 309 148) beschrieben ist, und in der Weise, wie es in der gleichzeitig noch hierzu anhäiigigen europäischen Patentanmeldung Nr.89 309 940.8 (Veröffentlichungsnummer 0 364 136) beschrieben ist, so daß die Kanäle zwischen den einanderzugewandten Seitenwänden 13 mit den Kanälen zugewandten Oberflächen 17 auf deren gegenüberliegenden Seiten definiert werden, auf die jeweilige Beschichtungen 15 aus Metall aufgebracht werden, um Elektroden 19 vorzusehen, auf die ein elektrischer Impuls aufgebracht werden kann, um die Ablenkung an der entsprechenden Seitenwand in der Richtung des durch den Impuls hervorgerufenen Feldes zu bewirken. Eine solche Ablenkung ruft wiederum einen Druckimpuls herver, der auf die Druckflüssigkeit im Kanal aufgebracht wird. Beim Betrieb der Anordnung der Figur 1(a) wird jeder einzelne Kanal durch das Aufbringen eines Impulses auf die Elektroden 19 jeder der Kanalseitenwände aktiviert, und jede Seitenwand wird beim Pulsen der Kanäle an ihren entgegengesetzten Seiten eingesetzt.
Die Elektroden 19 haben eine auf sie aufgebrachte Passivierungsschicht (nicht gezeigt), welche sie elektrisch isoliert und sie vor chemischen Angriffen schützt.
Die Kanäle 7 sind mit Abdeckplatten 21 versehen, in welchen Drucktintenversorgungsleitungen 23 ausgebildet sind, welche sich in der Matrixrichtung erstrecken und mit jedem Kanal 7 verbunden sind. An ihren vorderen Enden sind die Kanäle 7 durch eine Düsenplatte 25 abgeschlossen, welche alle in Reihe aneinandergefügten Module 2 überspannt und in welcher konvergente Düsen 27 ausgebildet sind, welche mit den jeweiligen Kanälen 7 der Module in Verbindung stehen. An den Enden der Kanäle 7, die fern von der Düsenplatte liegen, sind jeweilige Anschlußaussparungen 29 vorgesehen, welche mit den Kanälen ausgerichtet sind, so daß jede Anschlußaussparung mit dem entsprechenden Kanal mittels einer Brücke 31 verbunden ist. Die Kanäle 7 sind mit dem Chipschneider, auf den Bezug genommen wurde, zu einer größeren Tiefe geschnitten als die Tiefe der Verbindungsaussparungen, welche zu einer größeren Tiefe geschnitten sind als die Brücken. Mit dieser Anordnung werden durch das Platieren der Elektroden 19 auf eine Tiefe in den Kavälen, die größer ist als die Tiefe der Verbindungsaussparungen, die Brücken und die Seiteii und Basen der Verbindungsaussparungen mit Metall beschichtet, um sie in den jeweiligen Stufen leitend zu machen, wo die einander zugewandten Oberflächen der Kanalseitenwände darauf aufgebrachte Elektroden 19 haben.
Die Verbindungsaussparungen sind durch Bandieren an die Anschlüsse 34 eines LSI- Multiplexer-Silikonchips angeschlossen.
Die Reihen der Düsen 27 sind abwechselnd versetzt, so daß die von ihnen auf das Dnucksubstrat abgesetzten Tropfen die doppelte Dichte jeder Reihe haben. Diese Düsenreihen sind in der Weise ausgebildet, wie sie in der europäischen Patentanmeldung 88 308 513.6 beschrieben ist.
Obwohl beschrieben wurde, daß die Anordnung der Figur 1(a) Kanalmatrizen in entgegengesetzten Flächen des Flächengebildes 3 hat, können die Kanalmatrizen andererseits in verschiedenen Flächengebilden ausgebildet sein, welche folglich Rücken an Rücken angeordnet sind.
Nunmehr wird auf die Figur 1(1)) Bezug genommen, in welcher eine alternative Druckkopfausgestaltung gezeigt ist. Diese sieht ein sich veijüngendes Blockbauteil 41 vor auf welchem die Flächengebilde 3 montiert sind, die mit den jeweiligen Kanalmatrizen ausgebildet sind. Das Bauteil 41 beherbergt anstatt der Abdeckplatten 21 die Tintenzufuhrleitungen 23, welche durch Kanäle 43 aus einem Tintenzufuhrverteiler 45 versorgt werden. Wie in der Ausführungsform der Figur 1(a) sind zwei Reihen von abwechselnd versetzten Düsen 27 für die Kanäle 7 der jeweiligen Matrizen vorgesehen.
Die Ausgestaltung des Druckkopfes der Figur 1(c) ist von deijenigen der Figur 1(a) abgeleitet, und zwar durch das Übernehmen des Flächengebildes 3, wo dieses aus zwei Flächengebilden ausgebildet ist, die Rücken an Rücken angeordnet sind, und durch das Anordnen dieser Flächengebilde in einer Weise, wo deren Kanalmatrizen einander zugewandt sind. Die Abdeckplatte 21 besteht aus zwei Teilen 28, die parallel zwischen den Flächengebilden 3 angeordnet sind und mit welchen die Flächengebilde 3 verbunden sind, so daß die Teile 28 zwischen ihnen die Drucktinten-Zufuhrleitung 23 definieren. Wiederum überspannt die Düsenplatte 25 die in Reihe aneinandergefügten Module 2 ihrer Matrix und ist mit zwei Reihen von gegeneinander versetzten Düsen 27 ausgebildet, welche mit den jeweiligen Kanälen 7 in Verbindung stehen.
Der in Figur 1(d) dargestellte Druckkopf umfaßt eine einzelne Reihe von Düsen 27 in der Düsenplatte 25, welche mit den jeweiligen Druckfarbe- bzw. Tintenkanälen 7 des Flächengebildes 3 aus in Reihe aneinandergefügten Modulen 2 am Mittelpunkt der Kanalstrecke in Verbindung steht. Die Kanäle 7 sind an jedem ihrer Enden mit einer Verbindung;aussparung 29 versehen, welche mittels einer Brücke 31 mit dem. Kanal in Verbindung steht, wie in den schon beschriebenen Anordnungen. Die Tintenzufuhr zu den Kanälen 7 wird durch zwei Leitungen 33 vorgesehen, die in einer Abdeckfläche 35 des Flächengebildes 3 zu einer solchen Tiefe eingeschnitten werden, daß sie mit den jeweils gegenüberliegenden Enden der Kanäle 7 in Verbindung stehen, und eine Abdeckplatte 37 ist mit der Fläche 35 der Module 2 verbunden, um die Leitungen 33 abzuschließen. Demgemäß wird jedem Kanal 7 bei seiner Aktivierung von entgegensetzten Richtungen Tinte zugeführt, und die Anordnung sieht beim Betrieb einen Kondensationsstrom von beiden Enden des Kanals, vor und gestattet den Betrieb bei einer geringeren Spannung.
Die Art und Weise des Aneinanderfügens der Module 2 des Druckkopfes in Reihe wird nun, unter Verwendung des Druckkopf-Ausschnittes aus der Figur 1(c) zu Darstellungszwecken, beschrieben. Das beschriebene Verfahren schließt die Herstellung und den Zusammenbau der Module mit ein, welche aktive Kanäle haben, die auf nur einer Fläche eines Flächengebildes 3 aus piezo-elektrischem Material ausgebildet sind. Die Prinzipien der Herstellung und des Zusammenbaus dieser aneinandergefügten Module können auf andere Druckkopf-Strukturen angewendet werden, z.B. auf diejenigen, die in der US-A- 4,584,490 und der US-A-4,296,421 offenbart sind.
Die Figur 2(a) stellt ein Flächengebilde 3 aus piezo-elektrischem Material dar, das mit zwei Matrizen von Kanälen 7 jeweiliger Module 2 ausgebildet ist, Lind die Kanäle jeder Matrix, die aus Seitenwänden 13 ausgebildet werden, welche einander zugewandte Oberflächen 17 und Bodenoberflächen 37 haben. Die Kanäle sind an ihren entsprechenden Enden jeweils mit Verbindungsaussparungen 29 versehen, wobei eine Brücke 31 zwischen jedem Kanal und seiner Verbindungsaussparung vorhanden ist, welche beim Verbinden der Abdeckplatte 21 eine Flüssigkeitsdichtung bildet.
Die Module 2 sind durch eine dicke Wand 39 verbunden, welche, wie im weiteren beschrieben wird, später entfernt wird, um so die Module zu trennen. Außere Oberflächen 41 der Wand 39 sind durch Einschnitte 43 definiert, die durch eine schmale Chipschneideklinge ausgebildet werden, welche halbbreite Kanäle 45 und 47 ausbildet. Diese sind tiefer eingeschnitten als die Kanäle 7 und haben eine einheitliche Tiefe. Die schmale Chipschneideklinge glättet die äußeren Oberflächen 49 und 51 der Kanäle 45 und 47 und die äußeren Oberflächen 41 der dicken Wand 39 beim Schneiden der halbbreiten Kanäle, wobei die letzteren Oberflächen angeordnet sind, um das Herunterplatieren der Wand des äußersten Kanals jedes Moduls in demselben Grad zu ermöglichen, wie es für die Oberflächen 17 der Kanalwände 13 erwünscht ist. Eine gleichartige Wand 39 und ein halbbreiter Kanal sind am äußeren Ende eines jeden Moduls angeordnet, so daß jedes Modul gleiche Enden hat.
Nach dem Platieren der Oberflächen 17 der Kanäle, um die Elektroden 19 und die Halbkanäle in der Weise auszubilden, wie sie in der hierzu anhängigen europäischen Patentanmeldung Nr.89 309 940.8 (Veröffentlichungsnummer 0 364 136) beschrieben wird, und der Auforingung einer Passivierungsschicht auf die abgelagerten Elektroden 19 wird das Flächengebilde 3, in welchem die Module 2 ausgebildet sind, robotisch auf eine zweite Aufsetzvorrichtung überführt, wo es in einer umgekehrten Position befestigt wird, in welcher Einschnitte 53 ausgebildet werden, die sich über den Boden der Halbkanäle 45 und 47 hinaus in das Flächengebilde hinein erstrecken. Der Körper des Flächengebiidematerials zwischen den Schnitten 53 wird durch den Arbeitsgang des Herstellens der Einschnitte 53 mit geringer Toleranz entfernt, so daß die Module 2 getrennt werden. Die Figur 2(b) stellt perspektivisch eines der Module 2 nach seiner Abtrennung dar.
Bei der Anordnung der Figur 1(c) werden die Tintenzufuhrleitungen 33 im Flächengebilde 3 ausgeformt, und die Elektrodenplattierung wird bequem in Abfolge auf das Schneiden der Kanäle 7 ausgeführt, oder zu jedweder anderen Zeit vor dem Trennen der Module.
Nachdem die Module getrennt sind, werden sie robotisch zu einer Zusammenbauvorrichtung überführt, wo sie optisch mit den Enden zueinander ausgerichtet werden.
Beim Zusammenbau des Druckkopfes aus modularen Bestandteilen ist die Toleranzgebung von großer Wichtigkeit. Insbesondere ist es wünschenswert, die Düsenzentren (und die Tröpfchenausstoßachsen) in einem optischen Genauigkeitsstandard anzuordnen, um eine einheitliche und wiederholbare Tropfenabsetzungsgenauigkeit zu erreichen, welche speziell für Vier-Farben-Druckköpfe wichtig ist, um Moire-Wechselwirkungen zu vermeiden.
Es ist deshalb notwendig, die Module zuerst mit ihren Matrixkanälen 7 mit einer Genauigkeit bei der Aufstellung in definierten Toleranzen bei jedem Modul herzustellen. Zweitens müssen die Module so in ihre Positionen zusammengebaut werden, daß die Kanäle von einem Modul zum nächsten in akzeptable Toleranzen fallen und drittens müssen die Düsen über den gesamten Druckkopf jeweils völlig oder im wesentlichen in die Kanäle fallen, wobei die Düsen durch die Düsenmaske eine Ablation in der Düsenplatte 27 erfaliren, welche auf die volle Breite des Druckkopfes aufgebracht wird, und zwar in der Weise, wie sie in der hierzu anhängigen europäischen Patentanmeldung Nr. 88 308 513.6 (Veröffentlichungsnummer 0 309 146) beschrieben wird.
Der Mehrscheiben-Schneider und der Schneider zum Herstellen der halbbreiten Kanäle sind dazu in der Lage, die Kanal-Herstellungstoleranzen in den Modulen im Flächengebilde 3 zu erreichen, wenn notwendig unter Verwendung einer Temperatursteuerung für die Module bis zu einer maximalen Breite. Der zweite und der dritte Schritt werden dadurch verwirklicht, daß die Düsenablationsmaske und eine Modul-Ausrichtungsmaske entweder getrennt mit zusammenpassenden Ausrichtungsmarkierungen hergestellt werden, oder zusammen aus einem einzelnen Flächengebilde, welches unterteilt wird, um den Düsen- Ablationsmaskenabschnitt vom Modul-Ausrichtungsmaskenabschnitt zu trennen und durch zusammenpassende Modul-Ausrichtungsmarkierungen in den Masken sicherzustellen, daß ein Druckkopf, welcher mit der Ausrichtungsmaske zusammengebaut wird, Düsen hat, die in seiner Düsenplatte mit der passenden Ablationsmaske ausgebildet sind und jeweils mit den Druckkopfkanälen in Verbindung stehen.
Demgemäß wird eine in Figur 3 dargestellte Maske 61 bereitgestellt, welche aus Silikon hergestellt ist und aus welcher die Ausrichtungs- und die Düsenablationsmaske hergestellt werden. Silikon ist ein geeignetes Material zum Herstellen einer Druckkopf-Düsenablationsmaske von voller Breite, weil es einen hohen Ablationswiderstand, der für eine Excimerlaser-Kontaktablationsmaske geeignet ist, und einen niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten hat, und weil das Präzisionsätzen von Silikon weitverbreitet praktiziert wird.
Der Bereich der Maske 61 wird demgemäß durch die darauf aufgeätzte Trennungslinie 63 in zwei Teile 65 und 67 unterteilt. Im Teil 65 sind zwei Paare 69, 71 von Reihen 73 und 75 koplanarer abwechselnder Löcher eingeätzt. In jedem Paar 69 und 71 sind die Löcher in den Reihen 73 und 75 durch den Abstand einer halben Druckauflösung abgesetzt und sind von einer geeigneten Größe zur Ablation der Düsen in der Weise, wie sie in der hierzu anhängigen europäischen Patentanmeldung Nr.88 308 513.6 (Veröffentlichungsnummer 0 309 146) beschrieben wird. In der Maske 61 sind, benachbart zu den Düsenlöchern, an Stellen, die die Mittellinien ihrer Module repräsentieren, Paare von Markierungen 77 eingeätzt, welche die Trennlinie 63 überspannen, so daß nach der Trennung der Maske entlang der Linie 63 jeder ihrer Teile mit Modulregistrationsmarkierungen 77 versehen ist. So wird der Teil 67 der Maske verwendet, um die Module während ihrer Verbindung auszurichten, während der Teil 65 zur Ablation der Düsen verwendet wird.
Um den Druckkopf zusammenzubauen, wird die Ausrichtungsmaske 61 zuerst an einer geeigneten Station eines "Aufnahme- und Absetz"-Roboters in der Nachbarschaft einer Abdeckplatte 25 von voller Breite angeordnet. Die Ausrichtung der Maske und der Abdeckplatte ist nicht kritisch und kann zu einem ausreichenden Grad durch das Drücken einer jeden gegen einen Endanschlag erreicht werden. Die Module werden in der "Aufnahmeund Absetz"-Maschine einer Folge von Schritten unterzogen, welche umfaßt:
(a) Das Aufnehmen jedes Moduls 2 vom Flächengebilde 3, von welchem es abgetrennt worden ist;
(b) das Verbinden von LSI-Chip-Anschlüssen mit den Verbindungsaussparungen der Module,
(c) das Testen der Integrität der elektrischen Verbindungen und der Aktivität der Kanalseitenwände,
(d) das Aufbringen von Verbindungsklebstoff auf die Stirnwände der Module und ihre Flächen, die an der Abdeckplatte gesichert werden sollen,
(e) das ausgerichtete Anordnen der Module auf dem Druckkopf.
Das Ausrichten wird unter Verwendung eines Überwachungskamera durchgeführt, welche sowohl die Module als auch die Ausrichtungsmarkierungen auf dem Teil 67 der Maske 61 in optisch übereinander gelegten Bildern abbildet. Das Zentrum des Moduls wird durch einen Computer in sicherer Weise festgestellt und das Modul wird dann zur Abdeckplatte bewegt, so daß das Zentrum des Moduls, wie es durch die Kamera gesehen wird, mit der erforderlichen Ausrichtungsmarkierung 77 auf den Maskenteil 67 ausgerichtet ist. Diese Prozedur wird mit aufeinanderfolgenden Modulen wiederholt, bis ein Modul mit jeder Markierung 77 auf dem Maskenteil 76 in Ausrichtung ist. Die Toleranzen zwischen den Modulen werden durch das Ausfüllen mit einem Klebstoffbindematerial hergestellt. Die Klebstoffverbindungen zwischen den Modulen und der Abdeckplatte werden durch ein Ultraviolett (UV)-Härteverfahren oder durch Wärmehärtungs-Energieimpulse ausgehärtet.
Eine weitere Kamera kann verwendet werden, um die Verbindungslinien auf ihre hundertprozentige Integrität zu inspizieren.
Obwohl das beschriebene Verfahren für die Modulausrichtung die Verwendung einer Modul-Ausrichtungsmaske benötigt, um eine Übereinstimmung zwischen Ausrichtungsmarkierung auf den Zentren der Module und der Maske zu bewirken, kann eine alternative indirekte Prozedur aufgenommen werden, bei welcher die Ausrichtungsmaske verwendet wird, um Markierungen auf einem Substrat zu erzeugen, geeigneterweise auf einem breiten Matrixflächengebilde, welches als Abdeckplatte der Kanäle dient. So werden die Module durch ihre Ausrichtung auf dem Substrat relativ zu den darauf erzeugten Markierungen durch die Verwendung der Ausrichtungsmaske zusammengebaut.
Zu bemerken ist, daß im Falle der Ausführungsformen der Figuren 1(a) und (c) die gemeinsamen Tintenzufuhreinrichtungen für die Kanäle des zusammengebauten Druckkopfes in der Abdeckplatte der Kanäle angeordnet sind, während bei der Ausführungsform der Figur 1(b) die gemeinsamen Tintenzufuhreinrichtungen zuerst durch das Aneinanderfligen der Module und dann durch das Montieren der zusammengefügten Module auf der Abdeckplatte ausgebildet werden. In Figur 1(b) ist jedoch die gemeinsame Tintenzufuhi im Montageblock vorgesehen, auf welchem die Module und ihre Abdeckplatte 21 getragen werden.
Beim Düsenablationsverfanren wird der Druckkopf in eine Ablationsstation überführt, wo er neben der Düsenablationsmaske angeordnet wird, welche im Ausrichtungsmaskenteil 65 ausgebildet wurde, dessen Teil 67 zum Zusammenbau der Module verwendet wurde Die Ausrichtung des Maskenteils 65 mit dem Druckkopf wird wiederum mit einer Uberwachungskamera geprüft. Der Silikonmaskenteil 65, die Düsenplatte 25 und das PZT-Flächengebilde 3 sind teilweise durchlässig für infrarotes Licht, so daß ein Abbild der Kanäle auf dem Düsenmaskenteil erhalten und die Düsenanordnung in den Kanälen verifiziert werden kann. Die Düsen werden dann progressiv gleichzeitig entlang der vollen Länge des Düsenkopfes einer Ablation unterzogen. Folglich deutet die Vorsichtsmaßnähme der Herstellung und des Zusammenbaus der Teile durch die obige Ansetzprozedur an, daß Toleranzen von ± 3µ bei der Düsenanordnung eingehalten werden können, obwohl die Herstellungs- und Zusammenbautoleranzen größer sind.

Claims

1. Verfahren zur Herstellung einer abrufgesteuerten Tröpfchendruckeinrichtung (drop-on-demand droplet printing apparatus) mit einem Körper, der mit einer hochdichten Matrix aus parallelen Druckflüssigkeitskanälen ausgebildet ist, die sich normal zur Matrixrichtung erstrecken, Düsen, die jeweils mit den Kanälen verbunden sind, Druckflüssigkeitszufuhreinrichtungen, mit denen jeder der Kanäle verbunden ist, und Druckimpulsaufbringungseinrichtungen, die bei jedem Kanal vorgesehen und angepaßt sind, um Druckimpulse auf Druckflüssigkeit im zugeordneten Kanal aufzubringen, um den Tröpfchenausstoß daraus zu bewirken, gekennzeichnet durch das Ausbilden des Körpers aus mehreren gleichartigen Modulen, die an einander zugewandten Endflächen, die normal zur Matrixrichtung angeordnet sind, in einer Reihe aneinandergefügt sind, und wobei jedes der Module an seinen gegenüberliegenden Stirnflächen jeweilige Kanalteile hat, so daß beim Aneinanderfügen der Module zur Ausbildung des Körpers weitere Kanäle zwischen jeweiligen Teilen der aneinandergefügten Module ausgebildet werden, die so den Ausstoß von Tröpfchen aus den Kanälen ermöglichen, so daß die Tröpfchen in einem vorbestimmten Abstand quer zur Richtung der Relativbewegung zwischen dem Apparat und einer Druckoberfläche auf der Oberfläche abgesetzt werden

2. Verfahren nach Anspruch 1, das weiterhin den Schritt des Verschließens der Kanäle in dem Körper mit einem Deckel aufweist.

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder Anspruch 2, gekennzeichnet durch die Aufbringung einer einzelnen Düsenpiatte auf den Körper, um die Module zu überspannen, und das Ausbilden der Düsen in der Platte.

4. Verfahren nach Anspruch 3, gekennzeichnet durch das Ausbilden der Düsen durch das Vorsehen von Maskeneinrichtungen, die zwei zusammenpassende Masken aufweisen, von denen eine erste Maske eine Düsen-Ausbildungsmaske und eine zweite Maske eine Modul-Ausrichtungsmaske ist, wobei die Düsen-Ausbildungsmaske mit einer Matrix aus Löchern, die den Anordnungen der auszubildenden Düsen entsprechen, und mit Modulausrichtungsmarkierungen ausgebildet wird, und die Modul- Ausrichtungsmaske mit Modulausrichtungsmarkierungen ausgebildet ist, die den Modul-Ausrichtungsmarkierungen der Düsen-Ausbildungsmaske entsprechen, wobei die Modul-Ausrichtungsmaske verwendet wird, um die Module in einem Verhältnis zu positionieren, wo sie in Reihe Ende an Ende aneinandergefügt sind, und zwar an Orten, die durch die Ausrichtungsmarkierungen der Modul-Ausrichtungsmaske vorbestimmt sind, das Zusammenfügen der Module zur Ausbildung des Körpers, das Binden der Düsenplatte an den Körper, unter Verwendung der Düsen-Ausbildungsmaske, um die Module des Körpers gemäß den Modul-Ausrichtungsmarkierungen auf der Düsen-Ausbildungsmaske im selben Verhältnis zueinander auszurichten, wie die Module gemaß den Modul-Ausrichtungsmarkierungen der Modul-Ausrichtungsmaske ausgerichtet wurden, und das Verwenden der Düsen-Ausbildungsrnaske, wobei die Module so mit dieser ausgerichtet sind, daß sie Düsen ausbilden, die sich jeweils in die Kanäle der Module hinein öffnen.

5. Verfahren nach Anspruch 4, gekennzeichnet durch das Ausbilden der Maskeneinrichtungen aus einem Stück eines Flächenmaterials mit einem ersten Teil, der die Modul-Ausrichtungsmaske bildet und Modul-Ausrichtungsmarkierungen trägt, und einem zweiten Teil, der die Düsen-Ausbildungsmaske bildet und die Matrix der Löcher und die Modul-Ausrichtungsmarkierungen trägt, die mit den Modul-Ausrichtungsmarkierungen auf dem ersten Teil zusammenpassen, und das Abteilen des Flächengebildes in die ersten und zweiten Teile, um die beiden zusammenpassenden Masken auszubilden.

6. Verfahren nach Anspruch 4 oder Anspruch 5, gekennzeichnet durch das Ausbilden der Maskeneinrichtungen aus einem Material mit einer hohen Ablationsschwelle und die Verwendung eines Ablationslasers zur Ausbildung der Düsen.

7. Verfahren nach Anspruch 6, gekennzeichnet durch das Ausbilden der Maskeneinrichtungen aus Silikon und das Ausbilden der Löcher darin und der Ausrichtungsmarkierungen darauf durch Ätzen.

8. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch das Ausbilden der Düsen mit den Achsen von zumindest abwechselnden Düsen, die koplanar und so geneigt sind, daß beim Betrieb der Einrichtung Tröpfchen aus den Düsen auf einer Druckoberfläche in einen im wesentlichen einheitlichen Abstand quer zur Richtung der Relativbewegung zwischen der Einrichtung und der Oberfläche abgesetzt werden.

9. Verfahren nach Anspruch 8, gekennzeichnet durch das Ausbilden der Düsen mit einem leicht konvergenten Hochenergiestrahl, der auf die Düsenplatte gerichtet ist, und mittels einer Maske, die mit Öffnungen ausgebildet ist, die mit den auszubildenden Düsen übereinstimmen.

10. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, welches das Ausbilden jedes der Module mit einem Flächengebilde aus einem piezoelektrischen Material einschließt, das in einer dazu normalen Richtung polarisiert ist, wobei die Kanäle Kanal- Abtrennungsseitenwände zwischen ihnen definieren, das Aufbringen von Elektrodeneinrichtungen auf den den Kanälen zugewandten Oberflächen der Seitenwände und das Verbinden der Elektrodeneinrichtun gen einer jeden Kanalseitenwand mit elektrischen Impulsaufbringungseinrichtungen zum Bewirken von Ablenkung dieser Kanalseitenwände im Schermodus, um Tröpfchenausstoß aus den Kanälen zu ermöglichen.

11. Verfahren nach Anspruch 1 oder Anspruch 10, gekennzeichnet durch das Ausbilden der Kanalteile auf eine solche Weise, daß die Verbindung eines jeden Paares der aneinandergefügten Module sich in einer Fläche erstreckt, die zur Matrixrichtung normal ist und die Längsachse des weiteren Kanals enthält, der zwischen dem Paar der aneinandergefügten Module ausgebildet wird.

12. Verfahren nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, daß vor dem Aneinanderfügen der Module die Elektrodeneinrichtungen auf die den Kanälen zugewandten Oberflächen der Seitenwände eines jeden Moduls aufgebracht wird, einschließlich der Seitenwandoberflächen der Kanalteile, von denen jedes dem entsprechenden Kanalteil des jeweiligen benachbarten Moduls zugewandt ist, mit dem es aneinandergefügt wird.

13. Verfahren nach Anspruch 12, gekennzeichnet durch das Aufbringen einer Schicht aus einem Passivierungsmaterial auf die Elektrodeneinrichtung.

14. Verfahren nach Anspruch 12 oder Anspruch 13, gekennzeichnet durch das Ausbilden einer Matrix aus Verbindungsaussparungen in jedem Modul, die mit den Kanälen des Moduls übereinstimmen und jeweils mit diesen verbunden sind, das Überziehen der Aussparungen mit einem leitenden Material, und das elektrische Verbinden der Elektrodeneinrichtung der Kanäle mit dem leitenden Material der jeweiligen Verbindungsaussparungen.

15. Verfahren nach Anspruch 14, gekennzeichnet durch das Ausbilden einer Matrix aus Brücken in jedem Modul, die jeweils die Matrixkanäle mit den entsprechenden Verbindungsaussparungen verbinden, und das Überziehen der Brücken mit einem leitenden Material, um eine elektrische Verbindung zwischen der Elektrodeneinrichtung eines jeden der Kanäle und dem leitenden Material der entsprechenden Verbindungsaussparung zu bewirken.

16. Verfahren nach Anspruch 15, gekennzeichnet durch das kolineare Ausbilden der Matrixkanäle mit den jeweiligen Verbindungsaussparungen und Brücken und mit den Kanälen von einheitlicher Tiefe, wobei die Aussparungen von einer einheitlichen Tiefe sind, die geringer ist als die Tiefe der Kanäle, und die Brücken von einheitlicher Tiefe sind, die geringer ist als die Tiefe der Aussparungen, und das gleichzeitige Aufbringen des elektrisch leitenden Materials, um die Elektrodeneinrichtungen in den Kanälen zu einer Tiefe auszubilden, die größer ist als die Tiefe der Verbindungsaussparungen, des leitenden Materials auf den Brücken und des leitenden Materials in den Verbindungsaussparungen.

17. Verfahren nach Anspruch 3, gekennzeichnet durch das Ausbilden der Module mit Stirnflächen, die jede in einer Ebene enthalten sind, die sich normal zu der Matrixrichtung der Kanäle erstreckt, das Ananderfügen der Module zur Ausbildung des Körpers, das Aufbringen der einzelnen Düsenplatten auf die zusammengebauten aneinandergefügten Module, und auf diese Weise das Ausbilden von jeweiligen Düsen für Kanäle der Matrix in der Düsenplatte, so daß Tröpfchen, die in einem Abstand von den Düsen ausgestoßen werden, der deren Tröpfchenflugweg auf eine Druckoberfläche gleich ist, im wesentlichen einheitlich in der Richtung quer zu derjenigen der Relativbewegung zwischen der Einrichtung und der Oberfläche beabstandet sind.

18. Verfahren nach Anspruch 17, gekennzeichnet durch das Ausbilden der Düsen in der Düsenplatte durch Laserablation unter Verwendung eines konvergenten Exzimer- Laserstrahls, wodurch Düsen ausgebildet werden, die Achsen haben, welche von den Düsen am Zentrum eines jeden Moduls zu den Düsen an gegenüberliegenden Enden in der Matrixrichtung des Moduls fortschreitend ansteigend geneigt sind.

19. Abrufgesteuerte Tröpfchendruckeinrichtung (drop-on-demand droplet printing apparatus) mit einem Körper, der mit einer hochdichten Matrix aus parallelen Druckflüssigkeitskanälen ausgebildet ist, die sich normal zu der Matrixrichtung erstrecken, Düsen, die jeweils mit den Kanälen verbunden sind und Druckimpulsaufbringungsein richtungen, die bei jedem Kanal vorgesehen und angepaßt sind, um Druckimpulse auf die Druckflüssigkeit in dem zugeordneten Kanal aufzubringen, um den Tröpfchenausstoß aus diesem zu bewirken, dadurch gekennzeichnet, daß der Körper mehrere gleichartige Module umfaßt, die in einer Reihe an ihren einander zugewandten Stirnflächen aneinandergefügt sind, die normal zur Matrixrichtung angeordnet sind, wobei jedes Modul in den einander zugewandten Stirnflächen so mit jeweiligen Kanalteilen ausgebildet ist, daß weitere Kanäle zwischen den jeweiligen Teilen der aneinandergefügten Module gebildet werden, wodurch in dem Körper eine Matrix von gleichen Kanälen geschaffen wird, die einheitlich in der Matrixrichtung beabstandet sind, und wobei die Düsen jeweils parallele Achsen haben, um den Ausstoß von Tröpfchen zu ermöglichen, die in einem vorbestimmten Abstand quer zur Richtung der Relativbewegung zwischen der Einrichtung und der Oberfläche abgesetzt werden.

20. Einrichtung nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, daß die Düsen in einer einzelnen Düsenplatte ausgebildet sind, die die Kanäle der in Reihe aneinandergefügten Module überspannt.

21. Einrichtung nach Anspruch 19 oder Anspruch 20, bei der die Kanäle Seitenwände in dem Körper haben, die durch Kanalbasiswände im Körper abgetrennt sind.

22. Einrichtung nach Anspruch 21, bei der die Druckimpuls-Aufbringungseinrichtung durch das Versetzen der Seitenwände arbeitet.

23. Einrichtung nach Anspruch 21 oder 22, bei der die Kanalteile in den jeweiligen Stirnflächen jedes Moduls eine Kanalseitenwand und einen Teil einer Kanalbasiswand aufweisen.

24. Einrichtung nach einem der Ansprüche 19 bis 23, bei welcher jedes der Module aus einem Flächengebilde aus einem piezoelektrischen Material besteht, das in einer zu diesem normalen Richtung polarisiert ist, wobei die in dem Flächengebilde ausgebildeten Kanäle Kanaltrennseitenwände zwischen ihnen bilden, die auf ihren einander zugewandten Oberflächen Elektrodeneinrichtungen haben, und Aufbringungseinrichtungen für elektrische Impulse mit den Elektrodeneinrichtungen einer jeden Kanalseitenwand verbunden sind, um eine Ablenkung im Schermodus in der Richtung des Feldes zu bewirken, das durch die Elektroden der Kanalseitenwände angelegt wird, um den Tröpfchenausstoß aus den Kanälen zu ermöglichen.

25. Einrichtung nach einem der Ansprüche 19 bis 24, dadurch gekennzeichnet, daß die Verbindung eines jeden Paares der aneinandergefügten Module sich in einer Richtung erstreckt, die normal zur Matrixrichtung liegt und die Längsachse des weiteren Kanals enthält, der zwischen dem Paar der aneinandergefügten Module ausgebildet wird.

26. Einrichtung nach Anspruch 24 oder Anspruch 25, dadurch gekennzeichnet, daß vor dem Aneinanderfügen der Module die Elektrodeneinrichtungen auf die den Kanälen zugewandten Oberflächen der Seitenwände eines jeden Moduls aufgebracht werden, einschließlich der Seitenwandoberflächen der Kanalteile, die den entsprechenden Kanalteilen der jeweiligen benachbarten Module zugewandt sind, mit denen diese aneinandergefügt werden.

27. Einrichtung nach Anspruch 26, dadurch gekennzeichnet, daß eine Schicht eines Passivierungsmaterials über den Elektrodeneinrichtungen liegt.

28. Einrichtung nach Anspruch 26 oder Anspruch 27, dadurch gekennzeichnet, daß in jedem Modul eine Matrix von Verbindungsaussparungen vorgesehen ist, die mit den Kanälen des Moduls übereinstimmen und jeweils mit diesen verbunden sind, wobei die Aussparungen mit leitendem Material überzogen sind und elektrisch mit den Elektrodeneinrichtungen der Kanäle verbunden sind.

29. Einrichtung nach Anspruch 28, dadurch gekennzeichnet, daß jedes Modul mit einer Matrix aus Brücken versehen ist, die jeweils die Matrixkanäle mit den entsprechenden Verbindungsaussparungen verbinden, wobei die Brücken mit leitendem Material überzogen sind, um eine elektrische Verbindung zwischen den Elektrodeneinrichtungen eines jeden der Kanäle und dem leitenden Material der entsprechenden Verbindungsaussparungen zu schaffen.

30. Einrichtung nach Anspruch 29, dadurch gekennzeichnet, daß die Matrixkanäle kolinear mit den entsprechenden Verbindungsaussparungen angeordnet sind und die Kanäle von einer einheitlichen Tiefe sind, die Aussparungen von einer einheitlichen Tiefe sind, die geringer ist als die Tiefe der Kanäle, und die Brücken von einer einheitlichen Tiefe sind, die geringer ist als die Tiefe der Aussparungen.

31. Einrichtung nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, daß jedes der aneinandergefügten Module Stirnflächen hat, die in einer Fläche enthalten sind, die sich normal zur Matrixrichtung der Kanäle erstreckt, und daß die Düsen so ausgebildet sind, daß Tröpfchen, die daraus in einem Abstand ausgestoßen werden, der deren Tröpfchenflugweg auf eine Druckobeffläche gleicht, einheitlich in der Richtung beabstandet sind, die quer zu derjenigen der Relativbewegung zwischen der Einrichtung und der Oberfläche liegt.

32. Einrichtung nach einem der Ansprüche 19 bis 31, dadurch gekennzeichnet, daß Tintenversorgungsleitungseinrichtungen mit jedem der Kanäle der Matrix verbunden sind.

33. Einrichtung nach Anspruch 32, dadurch gekennzeichnet, daß die Kanäle der Module mit einer Abdeckplatte versehen sind, die sich über die gesamte Kanalmatrix erstreckt und in welcher die Tintenversorgungsleitungseinrichtungen ausgebildet sind.

34. Einrichtung nach Anspruch 32, dadurch gekennzeichnet, daß jedes Modul mit einer Tintenversorgungseinrichtung ausgebildet ist, die ein Leitungselement aufweist, in welches sich die Kanäle des Moduls öffnen, wobei das Leitungselement der Module eine durchgehende Leitung ausbildet, wenn die Module aneinandergefügt werden, im den Körper des Druckkopfes auszubilden.

35. Einrichtung nach Anspruch 34, dadurch gekennzeichnet, daß die Kanäle und die durchgehende Leitung mit einer Deckplatte versehen sind.