KR100232734B1 - 드롭 온 디맨드 인쇄장치 및 그 제조방법 - Google Patents

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스테펜 템플
마크 리차드 세퍼드
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그레함 티. 윌리
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Abstract

본 발명은 평행한 채널(13)의 고밀도 배열과 함께 형성되어 있으며 그러한 배열과 수직 연장하는 몸체, 상기 채널과 함께 각각 연결되어 있는 노즐(27), 상기 채널 각각이 통하는 인쇄액 공급수단 및 압력 펄스를 상기 채널액에 가하여 액적을 방출시키도록 각각의 채널을 구비하는 압력 펄스인가 수단을 갖는 드롭-온-디맨드(drop-on-demand) 인쇄 장치를 형성하는 방법으로서, 상기 배열 방향과 수직인 대향 단부 표면(49,51)에서 일렬로 서로 접해진 복수개의 유사 모듈(2)에 의해 상기 몸체가 형성되고, 그러한 구조가 상기 액적이 상기 장치와 상기 표면사이의 상대적 이동 방향을 가로질러 미리 결정된 간격으로 인쇄표면상에 데포지트되도록 상기 채널로부터 액적을 방출시킬 수 있는 방법을 기술하고 있다.

Description

드롭 온 디맨드 인쇄장치 및 그 제조방법

제1(a), 1(b), 1(c)도 및 제1(d)도는 본 발명의 제조방법에 의해 형성된 드롭-온-디맨드 인쇄 헤드 배열의 측단면도.

제2(a)도는 제1(c)도에 도시된 본 발명의 인쇄헤드의 제작의 1단계를 도시하는 압전 시이트 재료의 단면도.

제2(b)도는 제2(a)도에 도시된 방법에 따른 제작단계에서의 인쇄헤드 모듈 부분의 사시도.

제3도는 모듈을 배치하고 인쇄헤드의 노즐 제조단계에 이용되는 마스크의 평면도.

제4(a)도는 인쇄헤드의 제작에서 노즐 형성 단계를 도시하는 평면도.

제4(b)도는 제4(a)도에 도시된 노즐 제작단계에 사용된 장치의 도면.

후술설명은 배열의 제작, 시이트에 수직한 방향으로 형성된 극을 지니고 배열 방향에 수직하게 연장하는 인쇄용 잉크 채널의 배열을 갖도록 형성되며 그들 사이에 측벽을 분할하는 채널을 형성하는 압전 재료의 시이트로 이루어진 드롭-온-디맨드 인쇄헤드 상기 채널에 각각 연결되는 노즐, 상기 채널이 각각 연통하는 인쇄용 잉크 공급장치, 상기 측벽에 면하여 있는 채널에 작용하는 전극장치 및 상기 전극장치를 상기 채널로부터 액적을 분출시키도록 채널의 측벽에서 전단하는 형태의 변형을 일으키는 전기적 펄스 작용장치에 연결하는 장치에 관한 것으로, 측벽의 각각의 변형은 전극장치가 상기 펄스 발생장치로부터 전기적 펄스의 작용을 받는 경우에 발생하는 자장의 방향을 향한다.

그러한 인쇄헤드는 유럽 특허출원 제88300144.8호(공개 제0277703A호), 제88300146.3호(공개 제0278590A호) 및 제89309940.8호(공개 제036416호)에 개시되어 있으며, 그 내용이 본원에 참고로 포함된다.

본 발명의 실시예에 관한 아래의 설명은 본원에 참조로된 종류의 인쇄헤드 배열을 기본으로 하지만, 본원에 기술된 발명은, 예컨대 미국 특허 제4,584,490호 및 제4,296,421호에 개시된 바와같은 다른 형태의 인쇄헤드 배열을 수용할 수 있다는 것이 당업자에게 자명할 것이다.

동일부분에 동일 참조번호가 기재된 제1(a)도 내지 제1(d)도를 참조하면, 제1(a)도에 도시된 배열 인쇄헤드(1)는 압전재료, 적절하게는 PZT(납 지르코늄 티탄산염)의 시이트(3)를, 배열 채널(7)을 갖는 상대하는 면(5)중에, 화살표(9,11)로 표시된 상기 채널에 수직한 극을 갖도록 형성한 것으로 구성되어 있다. 제2도 내지 제4도의 설명으로 알수 있듯이, 제1(a)도 내지 제1(d)도의 인쇄헤드는 그 배열의 방향으로, 즉 채널(7)의 축의 평면에 수직한 방향으로, 한정된 길이로 연속하여 접합된 모듈(2)로 형성되어 있다. 사용되는 모듈 길이를 선택하는데는, 예컨대 모듈의 부속품의 가공과 조립의 생산성, 배열 방향으로의 열에 의한 팽창의 허용도, 필요로하는 PZT 재료의 크기, 단자의 유용한 LSI 가동 칩의 수 등이 주요 고려 사항이다.

채널(7)은, 계류중인 유럽 특허출원 제88308515.1호(공개 제0309148호)에 개시된 종류의 다이싱 커터(dicing cutter; 입방체 절단기)를 사용하고, 계류중인 유럽 특허출원 제89309940.8호(공개 제0 364 136호)에 개시된 방식으로 그라인딩하여 시이트(3)에서 절단됨으로써, 전극(19)을 구비하도록 금속에 각각 코팅(15)을 하고, 전기적 임펄스에 의해 발생되는 자장이 부여되는 장치를 지닌 양단위의 면(17)으로 향한 채널을 지니는 측벽의 중간에 채널을 형성하도록 된다. 그같은 편향은, 채널중의 인쇄액에 가해지는 압력을 발생시킨다. 제1(a)도의 배치의 가동에 있어서, 특정의 채널은 채널의 측벽의 전극(19)에 펄스를 가함으로써 작동하며, 각각의 측벽은 반대측의 측벽에 펄스를 보내는데 이용된다.

전극(19)은, 전극을 절연하고 또한 화학적인 장애로부터 보호하도록 부동태화한 층(도시되지 않았음)을 지니고 있다.

채널(7)에는, 배열방향으로 연장하고, 각각의 채널(7)과 연통하는 인쇄용 잉크를 공급하는 덕트(23)를 형성하는 덮개 플레이트(21)가 구비되어 있다. 그것의 전방단부는 연속적으로 접합된 모듈(2)의 전체를 연결하는 노즐 플레이트(25)에 의해 포위되며, 그중에 그 모듈의 각각의 채널(7)과 연결하는 수렴 노즐(27)이 형성되어 있다. 노즐 플레이트로부터 이격된 채널(7)의 단부에, 각각의 연결용 요부(29)가 대응하는 채널을 브리지(31)을 경유하여 연결하는 방식으로 채널의 열에 따른 각각의 연결용 요부가 구비된다. 채널(7)은 상기의 다이싱 커터에 의해 브리지보다도 깊게 절단된 연결용 요부보다 더 깊게 절단된다. 이러한 구조를 사용하여, 전극(19)을 연결용 요부보다도 깊게 채널에 도금가공함으로써, 브리지 및 연결용 요부의 측면 및 기초부는 금속으로 피막이 만들어지며, 채널의 측벽의 마주보는 면에서 전극(19)이 작용하는 각 단계에서의 전기의 전달이 행해진다.

연결용 요부(29)는, LSI 멀티플렉서 실리콘 칩(multiplexer silicon chip)의 단부(34)에 접착 연결된다.

노즐(27)의 열은, 그것의 열의 각각의 2배의 밀도로 인쇄기재위에 액적 데포지트되도록 상호 엇갈리도록 되어 있다. 이러한 노즐의 배열은 유럽 특허출원 제88308513.6호에 개시된 방법으로 형성된다.

제1(a)도의 배치는 시이트(3)의 맞은편측의 면에 있는 채널의 배열을 갖는 것으로 설명되었지만, 이러한 채널의 배열은 별개의 시트로, 그후에 맞대어지도록 하여 성형하는 것도 가능하다.

제1(b)도에는 변형적인 인쇄헤드의 설계도가 도시되어 있다. 이 설계도는 각각의 채널의 배열에 의해 형성된 시이트(3)가 장착되는 테이퍼진 블럭부재(41)를 구비한다. 블록부재(41)는 덮개 플레이트(21) 대신에, 잉크 공급 매니폴드(45)로부터 통로(43)를 통해 공급되는 잉크 공급 덕트(23)를 수용하고 있다. 제1(a)도의 실시예에 있어서, 2열의 상호 엇갈린 노즐(27)이 각각의 배열의 채널(7)을 위해 제공된다.

제1(c)도의 인쇄헤드의 설계는, 시이트(3)를 사용하여 제1(a)도의 설계로부터 도출되는데, 2개의 시이트를 맞대어지게하여, 그것의 채널의 열을 서로 마주보도록 배치하여 형성된다. 덮개 플레이트(21)는 시이트(3)들 사이에 평행하게 배치되는 2개의 부분(28)이며, 그 부분(28)이 인쇄 잉크 공급 덕트(23)를 그들 사이에 형성하도록 시트가 접착되어 있다. 노즐 플레이트(25)는 각각의 배열의 연속적으로 접합된 모듈(2)을 연결하며, 각각의 채널(7)과 연통하는 2열의 상호 엇갈린 노즐(27)로 형성된다

제1(d)도에 도시된 인쇄헤드는, 채널들의 길이의 중간지점에서 연속적으로 접합된 모듈(2)의 시이트(3)의 각각의 잉크용의 채널(7)과 연통하는 노즐 플레이트(25)중에서 단일열의 노즐(27)을 포함한다. 채널(7)은 그것의 각각의 단부에서 전술된 바와같이, 브리지(31)를 경유하여 채널에 연결되는 연결용 요부(29)를 구비하고 있다. 채널(7)에 잉크의 공급은 시이트(3)의 피복면(35)에 형성된 덕트(33)에 의해 행해지며, 그것의 깊이는 채널(7)의 마주보는 각각의 단부와 연결가능한 깊이이며, 덮개 플레이트(37)가 덕트(33)를 포위하도록 모듈(2)의 표면에 접착된다. 따라서, 잉크는 장치의 반대방향으로부터의 반동작용에 의해 각각의 채널(7)에 전달되며, 그러한 작동 배치에 의해 채널의 양단부로부터 액체의 유동을 초래하며 낮은 전압에서도 작업을 가능하게 한다.

인쇄헤드의 모듈(2)을 연속적으로 접합하는 방법을, 설명의 목적을 위한 제1(c)도의 인쇄헤드 단면도를 이용하여 설명할 것이다. 기술한 생산과정은 압전 재료 시이트(3)의 일면에만 형성되는 유효한 채널을 지니는 모듈의 제조 및 조립을 포함한다. 이같이 접합된 모듈의 생산 및 조립은 예컨대 미국 특허 제4,584,490호 및 제4,296,421호에 개시된 바와같이 다른 인쇄헤드 구조에 적용될 수 있다.

제2(a)도에는 각각의 모듈(2)의 채널(7)의 2개의 열로 형성된 압전 재료로 이루어진 시이트(3)가 도시되어 있으며, 각각의 열의 채널은 상면(17) 및 하부면(37)을 지니는 측벽(13)으로 형성된다. 채널에는 그것의 대응하는 단부상에 각각의 연결용 요부(29)가 설치되며, 각각의 채널의 사이에 브리지(31)가 있으며, 덮개 플레이트(21)의 접착부상에 액상의 시일을 형성하는 연결용 요부가 있다.

모듈(2)은 후술되는 것과같이, 나중에 제거되는 두꺼운 벽(39)에 의해 연결됨으로써 모듈을 분리한다. 벽(39)의 외표면(41)은 절반의 폭의 채널(45,47)을 형성하는 좁은 다이싱 블레이드에 의해 형성된 절단부(43)에 의해 형성된다. 이 외표면들은 채널(7)보다도 깊게 절단되며, 균일한 깊이를 지닌다. 절반의 폭의 채널을 절삭하는 좁은 다이싱 블레이드가 채널(45,47)의 외표면(49,51) 및 두꺼운 벽(39)의 외표면(41)을 가공하며, 상기 외표면(41)은 채널벽(13)의 표면(17)에 대해 희망하는 정도까지 각각의 모듈의 최외측 채널의 벽을 깊은 부분까지 코팅할 수 있는 지점에 위치시킨다. 유사한 벽(39) 및 절반의 폭의 채널은 각각의 모듈에 유사한 단부를 갖게하도록 각각의 모듈의 외측의 단부에 위치시킨다.

계류중인 유럽 특허출원 제89 309940.8호(공개 제364,136호)에 개시된 방식으로, 채널의 표면(17)을 전극(19) 및 절반의 채널을 형성하도록 도금하고, 부동태화한 층에 배치된 전극(19)에 작용시킨후, 모듈(2)이 형성되는 시이트(3)는 로봇에 의해 제2지그(jig)에 운반되며, 거기서 역전된 위치에 장착되며, 그 중에서 절반의 폭의 채널(45,47)의 저부를 지나 시이트(3)까지 연장하도록 절단부(53)가 형성된다. 절단부(53) 사이의 시이트 재료의 본체는, 모듈(2)이 분리되도록 낮은 공차로 절단부(53)를 제조하는 작업으로 제거된다. 제2(b)도에는 분리한 후의 모듈(2)의 사시도가 도시되어 있다.

제1(c)도의 배치에 있어서, 잉크 공급 덕트(33)가 시이트(3)에 형성되며, 전극 도금은 채널(7)의 절단후 또는 모듈을 분리하기전의 어느때라도 편리하게 행해질 수 있다.

모듈이 분리된 후, 그 모듈은 로봇에 의해 조립 지그로 운반되며, 거기서 끝과 끝을 이어서 광학적으로 정렬된다.

모듈로 인쇄헤드를 조립하는데는 공차가 매우 중요하다. 특히, 노즐의 중심(및 액적 분사의 축)을 균일하게 한 정확한 반복적 적하의 위치결정을 도모하기에는 정확한 광학적 기준을 정하는 것이 바람직하며, 이것은 모아레(Moire) 상호작용을 회피하기 위하여 4색의 인쇄헤드에 특히 중요하다.

그러므로, 첫째로 채널(7)의 배열을 각각의 모듈에 결정된 공차의 범위내에서 정확한 피치로 제작하는 것이 필요하다. 둘째로, 모듈은 그 모듈과 다음의 모듈의 채널과의 간격이 허용가능한 공차의 범위로 되도록 위치하도록 조립되어야 하며, 세째, 노즐 마스크가 계류중인 유럽 특허출원 제88 308513.6호(공개 제0 309 146호)에 개시된 방법으로 이루어지는 경우, 그 노즐은 인쇄헤드의 전체폭에 적용되는 노즐 플레이트(27)중에서 제거되므로, 인쇄헤드 전체를 횡단하는 노즐은 각각 채널에 전체적으로 일치하든가 또는 실질적으로 합치하여야 한다.

다중 디스크 커터 및 절반의 폭의 채널을 절단하기 위한 커터는, 시이트(3)에 있는 부품의 채널의 공차를 달성하는 것이 가능하지만, 필요하면 모듈에 최대한도의 폭에 대한 온도 조절을 하면 좋다. 제2 및 제3의 공정은, 단일의 시트로부터 마주보는 모듈 배열 마크와 함께 또는 그것과는 별개로 노즐 제거 마스크 부분 또는 모듈 배열용 마스크를 형성함으로써 달성되며, 그 단일의 시트는 모듈 배열용 마스크 부분으로부터 분리하여 분할되며, 이 공정은 마스크내의 모듈 배열용 마크에 합치시키기 위하여, 이 배열용 마스크에 의해 조립되는 인쇄헤드가, 인쇄헤드의 채널에 각각 연결하는 제거 마스크와 합치하도록 노즐 플레이트에 형성된 노즐을 반드시 지니도록 된다.

따라서, 마스크(61)는 제3도에 도시된 바와같이 실리콘으로 형성되며, 그것으로부터 배열용 및 노즐 제거 마스크가 제작된다. 실리콘은, 제거 역치(ablation threshold)를 갖고 있으며, 엑시머 레이저 접촉 제거 마스크에 대하여 적절하며, 낮은 팽창계수를 지니고 있으며, 또한 정밀한 실리콘 에칭이 폭넓게 실용화되어 있기 때문에, 전체폭의 인쇄헤드용의 노즐 제거 마스크의 제작에 적합한 재료이다.

따라서, 마스크(61)의 영역은 에칭된 분리라인(63)에 의해 2개의 부분(65,67)으로 분리된다. 부분(65)에는 대체 구멍으로써, 동일 평면상의 열(73,75)의 2개의 쌍(69,72)이 에칭되어 있다. 각각의 쌍(69,71)에 있어서, 열(73,75)에 있는 구멍은 인쇄분해능의 절반의 공간에 의해 오프셋되며, 계류중인 유럽 특허출원 제88 308513.6호(공개 제0 309 146호)에 개시된 방법으로 노즐을 제거하기에 적합한 크기로 된다. 모듈의 중심선을 표시하는 위치에 있는 노즐 구멍에 인접하는 마스크(61)에 마크(77)의 쌍이 에칭되어 있으며, 상기 마크(77)의 쌍은, 라인(63)을 따라 마크가 분리된후, 각각의 부분에 모듈 등록 마크(77)를 제공할 수 있도록, 분리라인(63)을 협차(夾叉; straddle)한다. 따라서, 마스크의 부분(67)은 접합중 모듈의 배열에 사용되며, 한편, 부분(65)은 노즐을 제거하는데 사용된다.

인쇄헤드를 조립하기 위해, 우선 배열용의 마스크(61)사 전체폭의 덮개 플레이트(25)에 인접하는 “들어올리기 및 배치하기(pick and place)” 로봇의 적절한 위치에 배치된다. 마스크와 덮개 플레이트의 배열은 중요한 것은 아니며, 각각을 마지막까지 종방향으로 필요한 정도로 가압함으로써 마무리된다. 모듈은 “들어올리기 및 배치하기” 기계의 다음과 같은 연속적 단계를 따라 처리된다. 즉,

(a) 분리된 각각의 모듈(2)을 시이트(3)로부터 들어올리는(pick up) 단계;

(b) LSI 칩 단자를 모듈의 연결용 요부에 연결시키는 단계;

(c) 연결용 전선 및 채널 측벽의 작동 정도를 테스트하는 단계;

(d) 덮개 플레이트에 고정될 모듈의 벽의 단부 및 표면에 접합 아교를 가하는 단계, 및

(e) 인쇄헤드상에 모듈을 일직선으로 배치시키는 단계이다.

배열작업은, 광학적으로 이미지를 중첩시키는 형태로, 모듈과 마스크(61)의 부분(67)상의 배열용의 마크를 이미지화하는 영상 카메라를 사용하여 실행한다. 모듈의 중심은 컴퓨터에 의해 확인되며, 카메라에 의해 보여진 것과 같은 모듈을 마스크 부분(67)상에 구하는 배열용 마크(77)가 직선으로 되도록 덮개 플레이트의 방향으로 모듈을 이동시킨다. 모듈이 마스크 부분(67)상의 각각의 마크(77)와 정렬될때까지 이 방법을 반복한다.

모듈 사이의 오차는 접합재로 채워져 마무리된다. 모듈 사이 및 모듈과 덮개 플레이트 사이의 아교본드는 자외선(UV)처리(curing) 또는 열에너지 펄스에 의해 경화된다.

접합한 선을 100% 확실히 검사하기 위해 다른 카메라가 사용될 수 있다.

상술된 모듈을 정렬하기 위한 방법은, 모듈 배열용의 마스크의 사용을 필요로 하며, 모듈의 중심에 있는 배열 마크와 상기 마스크와의 상대관게를 유효하게 하지만, 다른 간접적 방법이 이용될 수 있는데, 그러한 방법에서는 배열용 마스크가 기재상에 마크, 바람직하게는 채널의 덮개 플레이트로서 작용하는 배열용의 폭이 넓은 시이트를 만들기 위해 사용된다. 따라서, 상기 모듈은 상기 배열용 마스크의 사용을 통해 기재상에 만들어진 마크에 대비하여, 상기 기재에 그것의 배열을 형성함으로써 조립된다.

제1(a)도 및 제1(c)도의 실시예에 있어서, 조립된 인쇄헤드의 채널용의 공통의 잉크 공급 장치는 상기 채널의 덮개 플레이트에 배치되어 있지만, 제1(d)도의 실시예에 있어서는, 공통의 잉크 공급 장치는 우선 상기 모듈과 함께 접합되고, 다음에 덮개 플레이트상에 접합된 모듈을 장착시킴으로써 형성된다. 그러나 제1(b)도에 있어서는, 상기 모듈 및 그들의 덮개 플레이트(21)를 지니는 장착 블럭에 공통의 잉크 공급장치가 제공된다.

상기 노즐 제거 공정에 있어서, 인쇄헤드는 제거위치로 운반되며, 그 위치에서 그것은 노즐 제거 마스크에 인접 배치되며, 상기 마스크는 배열 마스크 부분(65)중에 형성되며, 그 부분(67)은 모듈 조립을 위해 이용된다.

인쇄헤드를 갖는 마스크 부분(65)의 배열은 다시 영상카메라로 체크된다. 실리콘 마스크 부분(65), 노즐 플레이트(25) 및 PZT 시이트(3)는, 적외선 광에 대하여 부분적으로 전사되며, 그것으로 상기 노즐 마스크 부분의 상기 채널의 이미지가 얻어질 수 있으며, 채널중에 노즐의 배치가 보장될 수 있다. 그후, 상기 노즐은 상기 인쇄헤드의 전체길이를 따라 동시에 점진적으로 제거된다. 결과적으로, 상기 지그공정에 의해 제조되고 조립되는 부분에 있어서의 사전의 주의는, 제조 및 조립의 공차가 더 크게 될지라도, 노즐을 배치하는 경우의 공차는 ±3μ를 충족시켜야 한다는 것이다.

2개의 접합된 노즐에 공통되는 채널이 활성 채널로서 사용될 수 없는 경우에, 예컨대 만일 접착결합이 신뢰할 수 없는 것으로 증명되고 작동되는 잉크 압력에 대해 시일될 수 없다면, 그때는 하나 이상의 채널이 비활성으로 될 것이다.

제4(a)도 및 제4(b)도는, 하나 이상의 비활성 채널에 의해 분리된 모듈에 적용할 수 있는 노즐 제거 방법을 구체적으로 설명하기 위한 것이다. 이같은 경우에 있어서, 제거용의 지그는 노즐 플레이트(35)의 전체폭에 걸쳐 인접하게 배치되며, 각각의 모듈의 폭에 상응하는 영역에서 제거처리된다. 원할 경우, 다른 형태의 고에너지 비임을 그 대신에 사용할 수도 있지만, 자외선(UV) 엑시머 레이저 원(76)으로부터의 광의 비임(74)이, 렌즈(79) 또는 거울에 의해 작은 범위로 노즐 플레이트(25)상으로 향해진다. 결과로서, 상기 노즐은 약간 부채꼴로 펼쳐진 축에서 제거된다.

그러므로, 각각의 모듈의 말단부에서 노즐이 확대되며, 상기 노즐 플레이트로부터 용지의 표면까지의 액적의 이동경로와 동일한 거리에 인쇄된 도트들이 균일하게 되며, 따라서, 노즐 플레이트를 따라 노즐의 실제의 밀도는 평균 도트 간격보다 크게 된다.

접합된 모듈들 사이의 채널이 이용가능한 경우에, 상기 노즐은 평행한 레이저 비임을 이용하여 평행한 그들의 축과 제거되는 것이 자명하다.

본 발명의 변형실시예에 있어서, 상기 모듈은 배열방향에 대한 수직한 평면에 포함되는 각각의 모듈의 단부표면으로 형성되고, 또한 모듈의 다른 채널의 벽의 두께와 실질적으로 동일 또는 그보다 큰 각각의 모듈의 단부 채널의 외측 벽들의 두께로 형성된다. 따라서, 각각의 모듈 쌍의 접합부에서 벽의 두께는, 상기 모듈의 다른 채널의 벽의 두께를 초과한다.

따라서, 플레이트(25)중의 노즐(27)은, 제4(a)도 및 제5(b)도에 대해 설명된 바와같이 형성되며, 모듈의 노즐은 그 모듈의 중심으로부터 외측으로 향해 점진적으로 부채꼴로 펼쳐진다.

드롭 온 디맨드(drop-on-demand)형 배열의 인쇄헤드에서 인쇄선명도(해상도)의 개선은 고밀도 배열의 제공을 의미하며, 따라서 그것은 채널의 경계벽을 보다 얇게 하는 것을 의미한다. 계류중인 유럽 특허출원 제88300144.8호 및 제88300146.3호에 개시된 바와같이 압전성 재료로 형성된 전단 모드(shear mode)에서 작용하는 배열이 사용되는 경우에, 그 채널의 제작을 위한 방법, 채널특벽상에 전극(electrode)을 형성하기 위한 방법, 그 전극의 피복을 부동태화하기 위한 방법 및 그 배열 등에 전기적 연결을 위한 제조방법 등에 있어서는, 그 배열의 크기가 증가함에 따라 조립물의 생산성이 저하한다. 따라서, 본 발명의 한가지 목적은, 배열방향에서 높은 밀도의 배열을 지니는 실질적인 크기를 갖는 드롭 온 디맨드 인쇄헤드의 신뢰성있는 제조를 가능하게 하는 것이다.

본 발명은 인쇄액용 채널의 배열방향에 수직하게 연장하는 평행한 인쇄액용 채널을 고밀도로 배열시키도록 형성된 본체부, 상기 채널에 각각 연결된 노즐, 상기 채널들과 각각 연통하는 인쇄액 공급장치 및 각각의 채널에 구비되어 있으며 연관된 채널내의 인쇄액에 압력 펄스를 가하여 액적의 분사를 효과적으로 하기 위한 인쇄액 압력펄스 인가 장치를 포함하는 드롭 온 디맨드 액적 인쇄장치의 제조방법에 관한 것으로서, 상기 배열방향으로 향하여 수직하게 배치된 대향 말단표면부에서 연속적으로 함께 접합된 복수개의 모듈형 부품으로 상기 본체부를 형성하는 단계, 상기 채널에 각각 연결된 노즐을 제공하는 단계, 상기 채널로부터 액적의 분사를 효과적으로 함으로써, 상기 장치와 상기 표면부의 사이를 액적이 떨어지는 상대적 이동 방향에 대해 횡으로 미리 설정된 간격으로 상기 액적이 인쇄 표면상에 데포지트되도록 상기 배치가 되는 것을 특징으로 하는 드롭 온 디맨드 액적 인쇄장치 제조방법이다.

소형의 모듈로 배열을 제조하면, 더 높은 생산성을 결과로 한다.

단일의 노즐 플레이트가 상기 모듈을 팽팽하게 하도록 사용되어, 상기 노즐이 상기 플레이트에 형성되는 것이 유리하다.

본 발명의 방법은, 제1마스크가 노즐 형성용 마스크이고, 제2마스크가 모듈 배열용 마스크인 2개의 정합 마스크를 포함하는 마스크 장치를 제공하여 상기 노즐을 형성하는 단계로서, 상기 노즐 형성용 마스크는 형성되어야 하는 노즐의 위치에 대응한 구멍의 배열을 갖고 모듈 배열 마크를 갖도록 형성되며, 상기 모듈 배열용 마스크는 노즐 형성용 마스크의 모듈 배열 마크에 정합하는 모듈 배열 마크를 갖도록 형성되는 노즐 형성 단계, 상기 모듈 배열용 마크를 이용하여 상기 모듈 배열용 마스크의 배열 마크에 의해 미리 결정된 위치에 양쪽의 단부를 맞대어 연속적으로 접합하여 상기 모듈을 배치하도록 하는 단계, 상기 본체를 형성하도록 상기 모듈을 함께 조립하는 단계, 상기 노즐 플레이트를 상기 본체에 접합시키는 단계, 상기 노즐 형성용 마스크를 이용하여 상기 모듈이 모듈 배열용 마스크의 모듈 배열 마크에 대하여 배치되어 있는 것과 동일한 관계를 갖게 하여, 상기 본체의 상기 모듈을 상기 노즐 형성용 마스크 위의 모듈 배열 마크에 배치시키는 단계 및 상기 노즐 형성용 마스크와 함께 배치된 상기 모듈을 갖는 상기 노즐 형성용 마스크를 이용하여 노즐이 각각 상기 모듈의 채널을 향해 개방하도록 형성됨으로써 상기 노즐이 형성되는 단계를 특징으로 하는 것이 적합하다.

본 방법에서는, 상기 마스크용의 장치를 하나의 시이트로 형성하며, 상기 시이트는 모듈 배열용의 마크를 갖는 상기 모듈 배열용의 마스크를 구성하는 제1의 부분 및 상기 구멍의 배열을 갖는 상기 노즐 형성용의 마스크를 구성하는 제2의 부분을 가지며, 상기 모듈 배열용의 마크는 상기 제1의 부분상의 상기 모듈 배열용의 마크에 정합 형성되므로, 상기 시이트를 상기 제1의 부분과 상기 제2의 부분에 분할하여, 상기 2개의 정합 형성용 마스크를 형성하는 단계를 포함하는 것이 바람직하다.

한가지 형태에 있어서, 본 발명의 방법은, 상기 노즐을, 적어도 다른 노즐이 있는 곳의 면 위에서 또한 그 장치의 가동시에 상기 장치와 인쇄표면부의 사이를 액적이 떨어지는 상대적 이동의 방향을 가로지르는 방향에서 실질적으로 균일한 간격의 위치에, 인쇄표면상으로 상기 노즐로부터 액적이 데포지트되도록 경사진 축을 갖도록 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

다른 형태에 있어서, 본 발명의 방법은, 상기 모듈의 각각이 그에 대해 수직한 방향의 극을 갖는 압전성의 재료로 이루어진 하나의 시이트를 갖도록 상기 모듈을 형성하는 단계, 그것들 사이에 있는 측벽을 분할하는 채널을 규정하는 채널을 형성하는 단계, 전극장치를 측벽의 채널에 대향하여 있는 표면에 인가하는 단계, 및 상기 채널의 측벽에 전단모드의 편향을 일으키기 위한 전기적인 펄스 인가장치를 각 채널의 측벽의 전극장치에 연결시키는 단계를 포함하여 상기 채널로부터 액적을 분사하는 것을 가능하게 하는 방법에 있어서, 모듈의 마주보는 면의 양단에서 각각의 모듈을 각각의 채널 부분을 갖도록 형성하고, 상기 모듈을 함께 접합하여 상기 본체를 형성할때 다른 채널이 접합된 모듈의 각각의 쌍들 사이에 형성되어, 채널의 유사한 배열을 상기 시이트내에 상기 배열의 방향과 같은 간격으로 배치되도록 설치하고, 상기 노즐을 본체의 채널과 각각 연결하도록 형성하는 것을 특징으로 한다.

본 발명은 또한 인쇄액용 채널의 배열방향에 수직하게 연장하는 평행한 인쇄액용 채널을 고밀도로 배열시키는 본체부, 상기 채널에 각각 연결된 노즐 및 각각의 채널에 구비되며, 연관된 채널중의 인쇄액에 압력 펄스를 인가하여 그로부터 액적의 분사를 효과적으로 하기 위한 인쇄액 압력 펄스 인가장치를 지니고 있는 드롭 온 디맨드의 액적 인쇄장치에 있어서, 상기 본체부는 상기 배열방향에 수직하게 배치된 대향 말단 표면부에서 연속적으로 함께 접합되어 있는 다수의 모듈형 부품으로 형성되어 있으며, 상기 노즐이 상기 장치와 인쇄표면부의 사이를 액적이 떨어지는 상대적 이동 방향에 대해 횡으로 미리 설정된 간격으로 상기 인쇄표면상에 배치되도록 되어 액적의 사출을 효과적으로 하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 드롭 온 디맨드의 액적 인쇄장치이다.

상기 노즐은 연속하여 접합된 모듈의 채널을 연결하는 단일의 노즐 플레이트에 형성되는 것이 적합하다.

본 발명의 한가지 형태에 있어서, 상기 장치의 본체중에서 상기 대향면의 단부의 각각의 모듈은 각각의 채널부분을 갖도록 형성되며, 다른 채널이 상기 접합된 모듈의 각각의 쌍들 사이에 형성되어, 채널과 유사한 배열을 상기 본체내에 상기 배열의 방향으로 동일한 간격으로 배치하도록 설치되며, 상기 노즐이 상호 평행하고 상기 본체의 채널과 각각 연통하는 축을 지니는 것을 특징으로 한다.

본 발명은 또한 연속하여 함께 연결된 다수의 모듈로 형성된 긴 본체중의 고밀도 채널 배열의 채널들 각각과 연통하는 노즐을 형성하기 위한 마스크 장치에 있어서, 상기 마스크 장치는 모듈 배열용 마스크 및 노즐 형성용 마스크를 지니며, 그것의 각각은 정합 모듈 배열용의 마크를 지니며, 상기 노즐 형성 마스크중에서는 형성되어야할 노즐의 위치에 대응한 배열의 구멍을 지니며, 그에따라 상기 모듈 배열용의 마스크는 상기 모듈 배열용의 마크에 따라 상기 본체의 모듈의 위치를 결정하기위해 사용되며, 상기 노즐 형성용 마스크는 상기 모듈이 상기 모듈 배열용 마스크의 모듈 배열 마크에 대하여 배치되어 있는 것과 동일한 관계를 지녀 상기 노즐 형성용 마스크의 모듈 배열 마크에 대응하여 상기 본체를 배치시키도록 이용되며, 상기 노즐 형성 마스크중의 상기 구멍이 상기 노즐 형성을 위해 이용가능하도록 되어 있는 것을 특징으로 한다.

상기 모듈 배열용 마스크 및 상기 노즐 형성용 마스크는 상기 정합 배열을 형성하고 상기 구멍의 배열을 형성한후, 상기 마스크로 전달되는 단일 시이트로 형성되는 것이 바람직하다.

본 발명은 또한 고밀도의 평행한 채널의 배열이 각각 형성되어 있는 다수의 모듈형 부품의 제조시, 재료로서 하나의 시이트를 제공하는 단계, 상기 시이트의 표면에 배열방향의 그 폭은 채널의 폭보다 크게되며, 상기 시이트의 일부의 반대측상에 있는 평행한 채널의 적어도 2개의 배열과 같은 것으로 절단되며, 상기 배열의 사이의 상기 시이트의 상기 부분을 제거하여, 상기 모듈을 분리하는 것을 특징으로 하는 모듈형 부품의 제조법이다.

상기 배열 사이의 상기 시이트의 상기 부분의 각각의 측에 형성되며, 상기 부분에 인접하여, 그 열에 병행하여 배열하는 채널보다도 깊고, 상기 배열방향에 있는 채널의 절반의 폭의 추가의 채널을 형성하며, 상기 모듈의 배열로부터 멀리 이격된 단부로부터 배열방향에 따라 상기 추가의 채널의 각각과 엇갈리는 배열사이의 시이트 부분보다도 넓은 폭의 부분을 절단하여, 상기 모듈을 분리하는 것을 특징으로 하는 것이 바람직하다.

본 발명이 첨부도면을 참조하여 실시예 방식으로 설명될 것이다.

Claims (49)

  1. 인쇄액용의 채널의 배열방향에 따라 수직하게 연장하는 개방된 상부의 평행한 인쇄액용 채널을 고밀도로 배열시키도록 형성된 본체부, 상기 본체부상에서 상기 채널을 폐쇄하는 커버, 상기 채널에 각각 연결된 노즐, 상기 채널들과 각각 연통하는 인쇄액 공급장치 및 상기 본체부의 상기 채널의 각각에 구비되어 있으며 연관된 채널내의 인쇄액에 압력 펄스를 가하여 액적의 분사를 효과적으로 하기 위한 인쇄액 압력 펄스 인가 장치를 포함하는 드롭 온 디맨드 액적 인쇄장치의 제조방법에 있어서, 상기 배열방향에 수직하게 배치된 대향 말단표면부에서 연속적으로 함께 접합된 복수개의 모듈형 부품으로 상기 본체부를 형성하며, 상기 모듈의 각각이 그 대향단부의 표면에 각각의 채널 부분을 지님으로써 상기 모듈과 함께 접합되어 상기 본체를 형성하며, 상기 접합된 모듈의 각각의 부분들 사이에 부가의 채널이 형성되며, 상기 부가의 채널은 상기 압력 펄스 인가 장치를 지짐으로써, 상기 채널로부터 액적의 분사를 가능하게 하고, 상기 장치와 상기 표면부의 사이를 액적이 떨어지는 상대적 이동 방향에 대해 횡으로 미리 설정된 간격으로 상기 액적이 인쇄 표면상에 데포지트되도록 상기 배치가 되는 것을 특징으로 하는 드롭 온 디맨드 액적 인쇄장치 제조방법.
  2. 제1항에 있어서, 단일의 노즐 플레이트를 상기 본체부에 적용하여 모듈을 팽팽하게 하고 상기 플레이트에 상기 노즐을 형성하는 것을 특징으로 하는 드롭 온 디맨드 액적 인쇄장치 제조방법.
  3. 제2항에 있어서, 제1마스크가 노즐 형성용 마스크이고, 제2마스크가 모듈 배열용 마스크인 2개의 정합 마스크를 포함하는 마스크 장치를 제공하여 상기 노즐을 형성하는 단계로서, 상기 노즐 형성용 마스크는 형성되어야 하는 노즐의 위치에 대응한 구멍의 배열을 갖고 모듈 배열 마크를 갖도록 형성되며, 상기 모듈 배열용 마스크는 노즐 형성용 마스크의 모듈 배열 마크에 정합하는 모듈 배열 마크를 갖도록 형성되는 노즐 형성 단계, 상기 모듈 배열용 마크를 이용하여 상기 모듈 배열용 마스크의 배열 마크에 의해 미리 결정된 위치에 양쪽의 단부를 맞대어 연속적으로 접합하여 상기 모듈을 배치하도록 하는 단계, 상기 본체를 형성하도록 상기 모듈을 함께 조립하는 단계, 상기 노즐 플레이트를 상기 본체에 접합시키는 단계, 상기 노즐 형성용 마스크를 이용하여 상기 모듈이 모듈 배열용 마스크의 모듈 배열 마크에 대하여 배치되어 있는 것과 동일한 관계를 갖게하여, 상기 본체의 상기 모듈을 상기 노즐 형성용 마스크 위의 모듈 배열 마크에 배치시키는 단계 및 상기 노즐 형성용 마스크와 함께 배치된 상기 모듈을 갖는 상기 노즐 형성용 마스크를 이용하여 노즐이 각각 상기 모듈의 채널을 향해 개방하도록 형성됨으로써 상기 노즐이 형성되는 단계를 특징으로 하는 드롭 온 디맨드 액적 인쇄장치 제조방법.
  4. 제3항에 있어서, 상기 마스크용의 장치를 하나의 시이트로 형성하며, 상기 시이트는 모듈 배열용의 마크를 갖는 상기 모듈 배열용의 마스크를 구성하는 제1의 부분 및 상기 구멍의 배열을 갖는 상기 노즐 형성용의 마스크를 구성하는 제2의 부분을 가지며, 상기 모듈 배열용의 마크는 상기 제1의 부분상의 상기 모듈 배열용의 마크에 정합 형성되므로, 상기 시이트를 상기 제1의 부분과 상기 제2의 부분에 분할하여, 상기 2개의 정합 형성용 마스크를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 드롭 온 디맨드 액적 인쇄장치 제조방법.
  5. 제3항 또는 제4항에 있어서, 높은 제거 역치를 갖는 재료로부터 상기 마스크용의 장치를 형성하고, 제거용 레이저를 사용하여 상기 노즐을 형성하는 것을 특징으로 하는 드롭 온 디맨드 액적 인쇄장치 제조방법.
  6. 제5항에 있어서, 상기 마스크용의 장치를 실리콘으로 형성하고, 그곳에 있는 상기 구멍 및 그 위에 있는 상기 배열용의 마크를 에칭에 의해 형성하는 것을 특징으로 하는 드롭 온 디맨드 액적 인쇄장치 제조방법.
  7. 제1항에 있어서, 상기 노즐을, 적어도 다른 노즐이 있는 곳의 면 위에서 또한 그 장치의 가동시에 상기 장치와 인쇄표면부의 사이를 액적이 떨어지는 상대적 이동의 방향을 가로지르는 방향에서 실질적으로 균일한 간격의 위치에, 인쇄표면상으로 상기 노즐로부터 액적이 데포지트되도록 경사진 축을 갖도록 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 드롭 온 디맨드 액적 인쇄장치 제조방법.
  8. 제7항에 있어서, 상기 노즐을 그 노즐 플레이트로 향한 수렴성의 고 에너지 비임으로써 형성될 노즐에 대응하는 폭으로 형성된 마스크에 의해 형성하는 것을 특징으로 하는 드롭 온 디맨드 액적 인쇄장치 제조방법.
  9. 제1항에 있어서, 상기 모듈의 각각이 그에 대해 수직한 방향의 극을 갖는 압전성의 재료로 이루어진 하나의 시이트를 갖도록 상기 모듈을 형성하는 단계, 그것들 사이에 있는 측벽을 분할하는 채널을 규정하는 채널을 형성하는 단계, 전극장치를 측벽의 채널에 대향하여 있는 표면에 인가하는 단계, 및 상기 채널의 측벽에 전단모드의 편향을 일으키기 위한 전기적인 펄스 인가장치를 각 채널의 측벽의 전극장치에 연결시키는 단계를 포함하여 상기 채널로부터 액적을 분사하는 것을 가능하게 하는 방법에 있어서, 모듈의 마주보는 면의 양단에서 각각의 모듈을 각각의 채널 부분을 갖도록 형성하고, 상기 모듈을 함께 접합하여 상기 본체를 형성할때 다른 채널이 접합된 모듈의 각각의 쌍들 사이에 형성되어, 채널의 유사한 배열을 상기 시이트내에 상기 배열의 방향과 같은 간격으로 배치되도록 설치하고, 상기 노즐을 본체의 채널과 각각 연결하도록 형성하는 것을 특징으로 하는 드롭 온 디맨드 액적 인쇄장치 제조방법.
  10. 제9항에 있어서, 접합된 모듈의 각각의 쌍의 결합부가 상기 배열의 방향에 대하여 수직한 방향의 평면중에서 연장하도록 상기 채널부를 형성하고 또한 접합된 모듈의 상기 쌍의 사이에 형성된 추가의 채널의 종축을 지니는 것을 특징으로 하는 드롭 온 디맨드 액적 인쇄장치 제조방법.
  11. 제1항에 있어서, 상기 모듈을 접합하기전에, 상기 전극장치를 상기 모듈의 상기 측벽의 채널에 대향하여 있는 표면에 가하고, 상기 모듈은 상기 채널부의 측벽표면을 포함하며, 상기 채널부의 각각은 접합되어 있는 각각의 인접 모듈의 상응하는 채널부에 향하여 있는 것을 특징으로 하는 드롭 온 디맨드 액적 인쇄장치 제조방법.
  12. 제11항에 있어서, 상기 전극장치에 부동태화한 재료의 층을 적용하는 것을 특징으로 하는 드롭 온 디맨드 액적 인쇄장치 제조방법.
  13. 제1항에 있어서, 상기 모듈의 채널에 상당하고 상기 모듈의 채널에 각각 연결되어 있는 연결용 요부의 배열을 각각의 모듈에 형성하고, 상기 요부를 도전성 재료로 피복하며, 상기 채널의 전극장치를 각각의 연결용 요부의 도전성 재료에 전기적으로 연결시키는 것을 특징으로 하는 드롭 온 디맨드 액적 인쇄장치 제조방법.
  14. 제13항에 있어서, 상기 상응하는 연결용 요부로써 상기 배열 채널을 각각 연결하고 있는 브리지형의 배열을 각각의 모듈에 형성하고, 상기 브리지를 도전성 재료로 피복하여 각각의 상기 채널의 전극장치와 상기 상응하는 연결용 요부의 상기 도전성 재료 사이에 전기적 연결을 실시하는 것을 특징으로 하는 드롭 온 디맨드 액적 인쇄장치 제조방법.
  15. 제14항에 있어서, 동일 직선상에 각각의 연결용 요부와 브리지를 갖고 또한 균일한 깊이의 채널을 갖는 상기 배열 채널을 형성하고, 상기 균일한 깊이이 요부는 상기 채널의 깊이보다 얕으며, 상기 균일한 깊이의 브리지는 상기 요부의 깊이보다 얕으며, 상기 전기적 전도성 재료를 동시에 이용하여 연결용 요부의 깊이보다 깊은 깊이로 상기 채널에 상기 전극장치를 형성하고, 상기 브리지상에 상기 전도성 재료 및 상기 연결용 요부에 상기 전도성 재료를 형성하는 것을 특징으로 하는 드롭 온 디맨드 액적 인쇄장치 제조방법.
  16. 제15항에 있어서, 상기 모듈의 접합된 표면의 각각에 인접한 각각의 모듈의 상기 노즐의 갯수를 지니는 모듈로 상기 본체를 형성하고, 그것의 표면은 채널축의 면에 외향으로 부채꼴로 펼쳐지고, 상기 채널은 균일한 간격으로 상기 인쇄표면상에 배치될 상기 외측으로 부채꼴로 펼쳐진 형태의 노즐에 상응하는 상기 채널로부터의 액적의 분사를 가능하게 하는 것을 특징으로 하는 드롭 온 디맨드 액적 인쇄장치 제조방법.
  17. 제2항에 있어서, 상기 채널의 배열 방향에 대하여 수직으로 연장하는 면에 각각 포함되는 모듈을 함께 접합하여 본체를 형성하고, 상기 단일의 노즐 플레이트를 조립 접합된 모듈에 적용하고, 상기 노즐 플레이트중에 배열한 채널용의 각각의 노즐을 형성하여 인쇄면까지의 액적의 적하 거리와 같은 거리로 상기 노즐로부터 분사된 액적이 상기 장치와 상기 표면의 사이의 액적의 이동방향에 대하여 가로지르는 방향으로 균일한 간격을 두고 있는 것을 특징으로 하는 드롭 온 디맨드 액적 인쇄장치 제조방법.
  18. 제17항에 있어서, 수렴성 엑시머 레이저 비임을 이용한 레이저 제거에 의해 상기 노즐 플레이트중에 상기 노즐을 형성함으로써, 각각의 모듈 중심부의 노즐로부터 상기 모듈의 배열방향의 반대의 단부까지 점진적으로 경사진 축을 갖는 노즐을 형성하는 것을 특징으로 하는 드롭 온 디맨드 액적 인쇄장치 제조방법.
  19. 인쇄액용 채널의 배열방향에 따라 수직하게 연장하는 개방된 상부의 평행한 인쇄액용 채널을 고밀도로 배열시키는 본체부, 상기 본체부상에서 상기 채널을 폐쇄하는 커버, 상기 채널에 각각 연결된 노즐 및 상기 본체의 상기 채널의 각각에 구비되며 연관된 채널중의 인쇄액에 압력 펄스를 인가하여 그로부터 액적의 분사를 효과적으로 하기 위한 인쇄액 압력 펄스 인가장치를 지니고 있는 드롭 온 디맨드 액적 인쇄장치에 있어서, 상기 본체부는 상기 배열방향에 수직하게 배치된 대향 말단 표면부에서 연속적으로 함께 접합되어 있는 다수의 모듈형 부품으로 형성되어 있으며, 상기 모듈의 각각은 상기 대향 말단 표면부에 각각의 채널 부분을 갖도록 형성되며, 상기 접합된 모듈의 각각의 쌍들 사이에 부가의 채널들이 형성됨으로써, 상기 모듈에 상기 배열 방향으로 균일하게 이격된 채널의 배열을 제공하며, 상기 부가의 채널은 상기 압력 펄스 인가 장치를 지니며, 상기 노즐은 각각의 평행한 축을 지녀, 상기 장치와 인쇄표면부 사이의 상대적 이동 방향에 대해 횡으로 미리 설정된 간격으로 상기 인쇄표면상에 배치되도록 액적의 분사를 가능하게 하는 것을 특징으로 하는 드롭 온 디맨드 액적 인쇄장치.
  20. 제19항에 있어서, 상기 노즐은 연속하여 접합된 모듈의 채널을 연결하는 단일의 노즐 플레이트에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 드롭 온 디맨드 액적 인쇄장치.
  21. 제19항 또는 제20항중 어느 한 항에 있어서, 상기 모듈 각각은 그것에 대하여 수직한 방향에 극을 갖는 압전성 재료로 형성된 하나의 시이트 및 그것의 대향하는 표면상에 전극장치를 갖는 그들의 사이에 있는 측벽을 분할하는 채널을 규정하고 있는 상기 시이트중에 형성된 상기 채널로 이루어지며, 전기적인 펄스 부가장치가 상기 채널로부터 액적을 분사하는 것을 가능하게 하기위해 상기 채널의 측벽의 전극에 의해 인가되는 전계의 방향으로 전단모드의 변형을 발생시키도록 각 채널의 측벽의 전극장치에 연결되어 있으므로, 상기 장치의 본체중에서 상기 대향면의 단부의 각각의 모듈은 각각의 채널부분을 갖도록 형성되며, 다른 채널이 상기 접합된 모듈의 각각의 쌍들 사이에 형성되어, 채널과 유사한 배열을 상기 본체내에 상기 배열의 방향으로 동일한 간격으로 배치하도록 설치되며, 상기 노즐이 상호 평행하고 상기 본체의 채널과 각각 연통하는 축을 지니는 것을 특징으로 하는 드롭 온 디맨드 액적 인쇄장치.
  22. 제21항에 있어서, 접합된 모듈과 각각의 쌍의 결합부가 상기 배열방향에 수직인 면에서 연장하며, 상기 접합된 모듈의 상기 쌍의 사이의 형성된 추가의 채널의 종축을 포함하는 것을 특징으로 하는 드롭 온 디맨드 액적 인쇄장치.
  23. 제21항에 있어서, 상기 모듈을 접합시키기 전에, 상기 전극 장치가 상기 모듈의 상기 측벽의 채널에 대향하여 있는 표면에 가해지며, 상기 모듈은 상기 채널부의 측벽표면을 포함하며, 상기 각각의 채널부는 접합되어 있는 각각의 인접 모듈의 상당하는 채널부에 향하여 있는 것을 특징으로 하는 드롭 온 디맨드 액적 인쇄장치.
  24. 제23항에 있어서, 부동태화한 재료의 층이 상기 전극장치 위에 배치되는 것을 특징으로 하는 드롭 온 디맨드 액적 인쇄장치.
  25. 제21항에 있어서, 상기 모듈의 채널에 상응하며 상기 모듈의 채널에 각각 연결되어 있는 연결용 요부의 배열이 각각의 모듈에 제공되며, 상기 요부는 도전성 재료로 피복되어 있으며, 상기 채널의 전극 장치에 전기적으로 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 드롭 온 디맨드 액적 인쇄장치.
  26. 제25항에 있어서, 각각의 모듈은, 상기 상응하는 연결용 요부를 갖는 상기 배열 채널을 각각 연결하는 브리지형 배열을 구비하며, 상기 브리지는 상기 채널의 각각의 전극장치와 상기 상응하는 연결용 요부의 상기 도전성 재료 사이에 전기적 연결을 실시하도록 도전성 재료로 피복되어 있는 것을 특징으로 하는 드롭 온 디맨드 액적 인쇄장치.
  27. 제26항에 있어서, 상기 배열 채널이 동일 직선상에 각각의 연결용 요부와 브리지를 갖도록 배치되며, 상기 채널은 균일한 깊이로 되며, 상기 요부는 상기 채널의 깊이보다 얕은 균일한 깊이로 되며, 상기 브리지는 상기 요부의 깊이보다 얕은 균일한 깊이로 되는 것을 특징으로 하는 드롭 온 디맨드 액적 인쇄장치.
  28. 제19항에 있어서, 상기 접합된 모듈 각각은 상기 채널의 배열 방향에 수직하게 연장하는 면에 포함된 단부표면을 지니며, 상기 노즐은 인쇄면까지의 액적의 적하거리와 같은 거리에서 상기 노즐로부터 분사된 액적이 상기 장치와 상기 표면 사이의 액적의 이동 방향에 대하여 횡단하는 방향으로 균일한 간격으로 배치되도록 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 드롭 온 디맨드 액적 인쇄장치.
  29. 제28항에 있어서, 상기 노즐은 상기 모듈을 연결하는 노즐 플레이트에 배치되어 있으며, 각각의 모듈 중심에 있는 노즐로부터 상기 모듈의 배열 방향의 반대의 단부에 있는 노즐까지 점진적으로 경사진 축을 갖는 것을 특징으로 하는 드롭 온 디맨드 액적 인쇄장치.
  30. 제21항에 있어서, 잉크 공급 덕트 장치가 상기 배열의 채널 각각과 통하는 것을 특징으로 하는 드롭 온 디맨드 액적 인쇄장치.
  31. 제30항에 있어서, 상기 모듈의 채널은 상기 채널의 배열 전반에 걸쳐 연장하는 덮개 플레이트를 구비하며, 상기 잉크 공급 덕트 장치가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 드롭 온 디맨드 액적 인쇄장치.
  32. 제30항에 있어서, 각각의 모듈은 상기 모듈의 채널이 개방되는 덕트 요소를 포함하는 잉크 공급 장치로 형성되며, 상기 모듈의 덕트 요소는 상기 모듈이 접합되어 인쇄헤드의 본체를 형성할때 연속적인 덕트를 형성하는 것을 특징으로 하는 드롭 온 디맨드 액적 인쇄장치.
  33. 제32항에 있어서, 상기 채널 및 상기 연속적인 덕트는 커버 플레이트를 구비하는 것을 특징으로 하는 드롭 온 디맨드 액적 인쇄장치.
  34. 제1항에 있어서, 채널을 지니는 다수의 모듈로부터 상기 본체를 형성하며, 상기 각각의 채널은 그 대향단부에서 인쇄액 공급용 덕트와 연통하며, 그것의 길이의 중간지점에서 각각의 노즐과 연통하는 것을 특징으로 하는 드롭 온 디맨드 액적 인쇄장치 제조방법.
  35. 제34항에 있어서, 상기 커버에 상기 채널의 각각의 상기 노즐을 형성하는 것을 특징으로 하는 드롭 온 디맨드 액적 인쇄장치 제조방법.
  36. 제19항에 있어서, 상기 본체는 채널을 지니는 다수의 모듈로부터 형성되며, 상기 각각의 채널은 그 대향단부에서 인쇄액 공급용 덕트와 연통하며, 그것의 길이의 중간지점에서 각각의 노즐과 연통하는 것을 특징으로 하는 드롭 온 디맨드 액적 인쇄장치.
  37. 제36항에 있어서, 상기 커버에 상기 채널의 각각의 상기 노즐이 형성되는 것을 특징으로 하는 드롭 온 디맨드 액적 인쇄장치.
  38. 배열방향에 수직하게 연장하는 평행한 인쇄액용 채널을 고밀도로 배열시키는 본체부를 포함하여 구성되며, 상기 채널들은 그들사이에 채널-분할 측벽들을 형성하며, 상기 측벽들은 횡방향으로 변위됨으로써, 각각의 채널의 단부들 중간에 배치된 노즐로부터 액적을 분사시키며, 각각의 채널은 노즐의 대향측상의 채널부분에 인쇄액의 공급을 위해 덕트와 연통하는 것을 특징으로 하는 드롭 온 디맨드 액적 인쇄장치.
  39. 제38항에 있어서, 상기 측벽들은 전기적 작동 펄스에 의해 변위되는 것을 특징으로 하는 드롭 온 디맨드 액적 인쇄장치.
  40. 제39항에 있어서, 상기 벽들은 압전 재료를 포함하는 것을 특징으로 하는 드롭 온 디맨드 액적 인쇄장치.
  41. 제40항에 있어서, 상기 압전 재료는 상기 전기적 작동 펄스의 작용하에 전단모드로 변형하는 것을 특징으로 하는 드롭 온 디맨드 액적 인쇄장치.
  42. 제41항에 있어서, 상기 압전재료는 상기 채널의 길이와 상기 배열방향 양자에 수직한 방향으로 극을 형성하는 것을 특징으로 하는 드롭 온 디맨드 액적 인쇄장치.
  43. 제38항에 있어서, 상기 본체는 커버에 의해 폐쇄된 상부가 개방된 채널의 배열로 형성되며, 상기 각각의 채널의 노즐은 상기 커버에 형성되는 것을 특징으로 하는 드롭 온 디맨드 액적 인쇄장치.
  44. 제38항에 있어서, 상기 채널의 배열과 상기 덕트가 하나의 시이트로 형성되는 것을 특징으로 하는 드롭 온 디맨드 액적 인쇄장치.
  45. 제44항에 있어서, 상기 덕트는 상기 각각의 채널의 베이스와 연통하는 것을 특징으로 하는 드롭 온 디맨드 액적 인쇄장치.
  46. 제38항에 있어서, 상기 노즐이 상기 채널의 길이의 중간지점에 배치되는 것을 특징으로 하는 드롭 온 디맨드 액적 인쇄장치.
  47. 제38항에 있어서, 상기 각각의 채널은 그 대향단부에서 상기 덕트와 연통하는 것을 특징으로 하는 드롭 온 디맨드 액적 인쇄장치.
  48. 채널의 벽을 변위시키는 단계, 그에따라 채널의 길이의 중간에 배치된 노즐을 향해 반대방향으로 인쇄액의 유동을 발생시키도록 채널의 길이에 압력을 발생시키는 단계, 그에따라 상기 노즐을 통한 인쇄액의 액적을 분사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 인쇄액으로 채워진 채널의 배열을 지니는 인쇄헤드를 사용하는 드롭 온 디맨드 인쇄방법.
  49. 채널의 길이의 중간에 배치된 노즐을 통하여 인쇄액의 액적을 분사하도록 상기 채널의 벽을 변위시키는 단계 및 상기 노즐의 대향측상의 상기 채널의 각각의 부분에서 공급 덕트로부터 채널내로 인쇄액을 도입함으로써 채널을 채우는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 인쇄액으로 채워진 채널의 배열을 지니는 인쇄헤드를 사용하는 드롭 온 디맨드 인쇄방법.
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