DE3248087C2 - - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf einen Flüssigkeitsstrahl­ aufzeichnungskopf gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.

Das Tintenstrahlaufzeichnungssystem ist eine Aufzeichnungs­ methode, bei der eine als "Tinte" bezeichnete Aufzeich­ nungsflüssigkeit durch feine Düsen ausgestoßen wird, wobei die Flüssigkeit auf verschiedene Weise in Tröpfchen umge­ wandelt wird (beispielsweise durch elektrostatische Anziehung, Nutzbarmachung der Schwingung von piezo­ elektrischen Elementen usw.) und wobei man die Tröpfchen an einem Aufzeichnungspapier o. ä. haften läßt. Die in diesem System verwendeten Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungsköpfe sind normalerweise mit feinen Strahldüsen (Öffnungen), Flüssigkeitskanälen und Energieerzeugungseinrichtungen zum Abstrahlen der Flüssigkeit, beispielsweise piezo­ elektrischen Elementen oder Heizelementen, versehen, die in den einzelnen Flüssigkeitskanälen angeordnet sind und die Tröpfchenbildungsenergie erzeugen, die auf die Flüssigkeit ausgeübt wird. Ähnlich wie bei anderen Aufzeichnungssystemen wurden auch bei Tinten­ strahlaufzeichnungssystemen Untersuchungen durchgeführt, um zusätzlich zu einer monochromatischen Aufzeichnung Farbaufzeichnungen mit mehreren oder sämtlichen Farben zu ermöglichen. Die Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungsköpfe für der­ artige Farbaufzeichnungen müssen jeweils eine Vielzahl von getrennten Flüssigkeitskanälen und Öffnungen für jede flüssige Farbe besitzen, damit verschieden­ farbige Tinten getrennt eingeführt und ausge­ stoßen werden können. Diesen Anforderungen gerecht zu werden, war jedoch bislang mit großen Schwierigkeiten verbunden. Der Innenaufbau der einzelnen Köpfe wurde extrem kompliziert, so daß es Schwierigkeiten bereitete, zuverlässige Köpfe zu erhalten. Die relativ groß ausgebildeten Köpfe waren insbesondere kaum anwendbar für sogenannte Reihenaufzeichnungen, bei denen Aufzeichnungen mit sich bewegenden Köpfen durchgeführt wurden. Um eine Aufzeichnung mit hoher Geschwindigkeit und hoher Auflösung zu erzielen, müssen Mehrfarben-Tintenstrahl­ aufzeichnungsköpfe darüber hinaus jeweils mehrere Öffnungen, Flüssigkeitskanäle und Energieerzeugungs­ einrichtungen (Flüssigkeitsstrahldruckerzeugungs­ einrichtungen) besitzen, die alle in einer sehr viel höheren Dichte angeordnet sind. Die Aufzeich­ nungsköpfe des Standes der Technik, die mit einer derartigen Vielzahl von Teilen versehen sind, die in einer hohen Dichte angeordnet sind, weisen eine Reihe von Nachteilen auf, beispielsweise ein unzu­ reichendes Wiederauffüllvermögen der Tinte in die Köpfe, Unfähigkeit zur Durchführung einer Aufzeichnung mit hoher Geschwindigkeit und Unvermögen in bezug auf das Erzielen eines hohen Ansprechvermögens auf Signale.

Ein anderer wichtiger Gesichtspunkt ist in der Ver­ dichtung der Flüssigkeitspunkte auf dem Aufzeichnungs­ papier zu sehen, um auf diese Weise die Qualität der bedruckten Bögen zu verbessern (kontinuierliche Punkte werden qualitätsmäßig bevorzugt). Nach dem Stand der Technik war es jedoch aufgrund der Beschränkungen in bezug auf das Herstellungsverfahren äußerst schwierig, Aufzeichnungsköpfe zu erhalten, die zu Tintenpunkten mit einer derart hohen Dichte führen.

Aus der JP-OS 56-172 ist ein Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungs­ kopf bekannt, der eine Grundplatte aufweist, die mit piezoelek­ trischen Elementen versehen ist. Auf der Grundplatte sind eine Hilfsplatte und eine Öffnungsplatte mit mehreren Öffnungen montiert. Die Grundplatte weist Aushöhlungen auf, die zusammen mit der Hilfs- und Öffnungsplatte einen Tintenversorgungskanal bilden. Der Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf der JP-OS 56- 172 ist jedoch nur für einen Einfarbendruck geeignet und weist nur eine Tintenkammer in einer Ebene auf.

Weiterhin ist aus der DE 26 52 924 A1 ebenfalls ein Flüssig­ keitsstrahlaufzeichnungskopf bekannt, der in Sandwich-Bauweise aufgebaut ist. Auch dieser Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf ist nur zum Einfarbendruck geeignet und weist nur eine Tinten­ kammer in einer Ebene auf.

Weiterhin ist in der DE 29 44 005 A1 ein Flüssigkeitsstrahlauf­ zeichnungskopf gezeigt, der für Mehrfarbendruck geeignet ist. Dieser Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf ist ebenso mehr­ schichtig aufgebaut, wobei die Flüssigkeitskammer alle in einer Ebene liegen.

Die aus dem Stand der Technik bekannten Flüssigkeitsstrahlauf­ zeichnungsköpfe weisen den Nachteil auf, daß sie den Fall des Mehrfarbendrucks kompliziert aufgebaut sind und großen Bauraum benötigen.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf zu schaffen, der bei kompakter Bauweise einen Mehrfarbendruck ermöglicht.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die Merkmale des Patentanspruchs 1 gelöst.

Vorteilhafte Weiterbildungen sind in den Unteransprüchen definiert.

Die Erfindung wird nunmehr anhand von bevorzugten Ausführungs­ beispielen in Verbindung mit den Zeichnungen im einzelnen erläutert.

Es zeigt

Fig. 1 eine auseinandergezogene perspektivische Ansicht einer Ausführungsform eines Flüssigkeitsstrahlaufzeichungskopfes;

Fig. 2 eine perspektivische Außenansicht der in Fig. 1 gezeigten Ausführungsform;

Fig. 3 eine perspektivische Außenansicht einer anderen Ausführungsform eines Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopfes;

Fig. 4A eine perspektivische Außenansicht einer anderen Ausführungsform eines Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopfes; und

die Fig. 4B und 4C Schnitte entlang der Linie X-X′ in Fig. 4.

Wie man Fig. 1 entnehmen kann, die eine auseinander­ gezogene perspektivische Ansicht einer Ausführungsform eines Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopfes zeigt, wird eine ge­ wünschte Anzahl (in Fig. 1 acht) von Energieerzeugungselementen 2 für den Flüssigkeitsstrahl, wie beispiels­ weise Heizelemente oder piezoelektrischen Elemente, zuerst auf einer Grundplatte 1 angeordnet, die aus einem geeigneten Material besteht, beispielsweise aus Glas, Keramik, Kunststoff, Silizium, Metallen o. ä. Wenn es sich bei den Energieerzeugungselementen 2 um Heizelemente handelt, wird der Strahldruck erzeugt, indem die dem Heizelement benachbarte Flüssigkeit erhitzt wird. Wenn die Energieerzeugungselemente 2 piezoelektrische Elemente sind, wird der Druck durch mechanische Schwingungen erzeugt. Diese Energieerzeugungselemente 2 sind jeweils an eine Elektrode zum Anlegen eines Eingangssignals angeschlossen, die nicht gezeigt ist. Hierzu kann eine Mehrschichtverdrahtung Anwendung finden, bei der beispielsweise mittels Photolithographie oder Vakuumabscheidung gearbeitet wird. Die Grundplatte 1 ist mit zwei Durchgangsöffnungen 3-1 und 3-2 versehen, an die Zuleitungen 4-1 und 4-2 angeschlossen sind. In diesem Fall steht die Zuleitung 4-1 mit der nachstehend be­ schriebenen ersten Flüssigkeitskammer 6 in Verbindung.

Eine Zwischenplatte 5, die auf die Oberfläche der Grundplatte 1 (die die Energieerzeugungselemente 2 aufweist) gelegt ist, weist erstens eine Durchtrittsöffnung 7 auf, die mit der Zuleitung 4-2 in Verbindung steht, zweitens eine Aussparung als erste Flüssigkeitskammer 6, die über einen begrenzten Raum mit der Zuleitung 4-1 in Verbindung steht und mit be­ grenzten Abschnitten auf das jeweils übernächste Energieerzeugungselement 2 weist, und drittens Durchtrittsöffnungen 8-1, die getrennt davon auf die anderen Energieerzeugungselemente (2) weisen. Eine andere Zwischenplatte 11, die auf die Oberfläche der Zwischenplatte 5 gelegt wird, besitzt erstens eine Durchtrittsöffnung 10, die mit der Durchtritts­ öffnung 7 in Verbindung steht, zweitens Durchtrittsöffnungen 8-2, die getrennt voneinander mit den einzelnen Durchtritts­ öffnungen 8-1 in Verbindung stehen und drittens Durchtrittsöffnungen 9-1, die getrennt voneinander mit den vorstehend er­ wähnten Räumen der Aussparung in Verbindung stehen, welche getrennt voneinander auf die übernächsten Energieerzeugungselemente 2 weisen. Die Durchtrittsöffnungen 8-2 und 9-1 sind daher zueinander ausgerichtet, so daß sie den Energieerzeugungselementen 2 in deren Reihenanordnung entsprechen. Eine Zwischenplatte 12, die auf die Oberfläche der Zwischenplatte 11 gelegt wird, weist eine Aussparung als zweite Flüssig­ keitskammer 13 auf, die eine ähnliche Form besitzt wie die Aussparung der ersten Flüssigkeitskammer 6, jedoch über Durchtrittsöffnungen 7 und 10 mit den Durchtrittsöffnungen 8-2 und der Zuleitung 4-2 in Verbindung steht, sowie Durchtrittsöffnungen 9-2, die getrennt voneinander mit den einzelnen Durchtrittsöffnungen 9-1 in Verbindung stehen. Eine Öffnungsplatte 14, bei der es sich um die Deckplatte handelt, die auf die Oberfläche der Zwischenplatte 12 gelegt wird, besitzt Flüssigkeitsstrahlöffnungen 8-3 und 9-3, die zueinander ausgerichtet sind, so daß sie in ihrer Reihenanordnung den Energieerzeugungselementen 2 entsprechen.

Die Grundplatte 1, die Zwischenplatten 5, 11, 12 und die Öffnungsplatte 14 werden aufeinandergelegt, miteinander ausgerichtet, um die Durchtrittsöffnungen und Aussparungen zu positionieren, und mit einem Kleber, Schrauben o. ä. zu einem einzigen Körper miteinander verbunden. Die Zwischenplatten 5, 11, 12 und die Öffnungsplatte 14 können aus irgendeinem geeigneten Material be­ stehen, beispielsweise aus Silizium, Glas, Keramik, Kunststoff und Metallen (die wünschenswerterweise in bezug auf die Flüssigkeit antikorrosiv sein sollten).

Die Herstellung der Flüssigkeitsstrahlöffnungen , Durchtrittsöffnungen und Aussparungen kann auf verschiedene Weise erfolgen, beispielsweise durch Bohren, Gießen, Stanzen, Ätzen. Ferner kann ein Verfahren Verwendung finden, bei dem ein Photoresist belichtet und entwickelt wird, wonach die den Durchtritts­ öffnungen und Aussparungen entsprechenden Abschnitte durch Auflösung entfernt werden. Für die Grundplatte 1 sind Materialien mit hoher Schlagzähigkeit geeignet, wenn piezoelektrische Elemente als Energieerzeugungselemente 2 Ver­ wendung finden. Wenn Heizelemente als Energieerzeugungselemente 2 benutzt werden, sind Materialien mit guter Wärmebeständigkeit und guter Wärmeabfuhr geeignet. Für die Zwischenplatten 5, 11, 12 und die Öffnungsplatte 14 können auch etwas elastische Materialien Verwendung finden, und die Querschnitte der Flüssigkeitsstrahlöffnungen und Durchtrittsöffnungen dieser Platten müssen nicht unbedingt kreisförmig sein, wie in Fig. 1 gezeigt, sondern können beispielsweise eine recht­ eckförmige oder elliptische Gestalt aufweisen.

Da der auf diese Weise ausgebildete und in Fig. 1 gezeigte Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf zwei isolierte Flüssigkeitskammern 6 und 13 und zwei isolierte Gruppen von Flüssigkeitsbahnen besitzt, kann eine Mehrfarbenaufzeichnung, in Form einer dichromatischen Tintenstrahlaufzeichnung, ohne weiteres durchgeführt werden, indem man den Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf bedient, während unterschiedliche Farbtinten separat zugeführt werden.

In Fig. 2, die eine perspektivische Ansicht des Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopfes der Fig. 1 nach dessen Endmontage zeigt, besitzen die gleichen Bezugsziffern wie in Fig. 1 die gleiche, vorstehend erläuterte Bedeutung.

Fig. 3 zeigt eine perspektivische Ansicht eines anderen fertigen Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopfes, der zwei parallel angeordnete Köpfe aufweist, die nahezu den gleichen Aufbau besitzen wie in Fig. 1, d. h. zwei Reihen von Flüssigkeitsstrahlöffnungen aufweisen. In Fig. 3 besitzen die gleichen Bezugs­ ziffern wie in Fig. 1 die gleiche, vorstehend er­ läuterte Bedeutung. Mit 20-1 und 20-2 sind Zuleitungen für die Flüssigkeit bezeichnet, während mit 21-3 und 22-3 Flüssigkeitsstrahlöffnungen gekennzeichnet sind. Da der in Fig. 3 dargestellte Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf vier isolierte Flüssigkeitskammern und vier isolierte Gruppen von Flüssigkeitskanälen aufweist, ist er vorzugsweise für eine Mehrfarben­ aufzeichnung geeignet, indem separat Tinten mit unterschiedlichen Farben (gelb, blau, rot und schwarz) dem Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf zugeführt werden. Es ist ebenfalls möglich, obwohl dies in der Zeichnung nicht dargestellt ist, den Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf der Fig. 1 so zu modifizieren, daß er drei oder mehr isolierte Flüssigkeitskammern in Dickenrichtung des Kopfes aufweist (dadurch steigt die Anzahl der Zwischenplatten geringfügig an).

Der vorstehend beschriebene Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf weist die folgenden Vorteile auf:

• 1. Da eine Vielzahl von isolierten Flüssigkeits­ kammern (und von isolierten Gruppen von Flüssig­ keitskanälen) mit hoher Dichte in dem Kopf inte­ griert ist, kann eine Mehrfarben- Tintenstrahlabscheidung ohne weiteres durchge­ führt werden, indem jede Tinte mit spezieller Farbe in jede isolierte Flüssigkeitskammer (und isolierte Gruppe von Flüssigkeitskanälen) des Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopfes einge­ führt wird.
• 2. Da eine Vielzahl von Flüssigkeitskammern (und von Flüssigkeitskanälen) in Dickenrichtung des Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopfes integriert ist, kann der Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf dünn und kompakt gehalten werden.
• 3. Deshalb ist der Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf für ein Reihenaufzeichnungssystem ohne weiteres geeignet.

Es folgt nunmehr eine Beschreibung der Fig. 4A, 4B und 4C, in denen andere Ausführungsformen eines Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopfes gezeigt sind.

Fig. 4A ist eine perspektivische Ansicht dieser Aus­ führungsformen von außen, während die Fig. 4B und 4C Schnitte entlang der Linie X-X′ in Fig. 4A zeigen.

Mit 901 ist eine Grundplatte bezeichnet, die aus einem Material wie Glas, Keramik, Kunststoff, Silizium, Metall o. ä. besteht. Eine gewünschte Anzahl (in Fig. 4B eins und in Fig. 4C zwei) von Energieerzeugungselementen 902 für Flüssig­ keitsstrahlen, beispielsweise Heizelementen oder piezoelektrischen Elemente, ist auf der Oberfläche der Grundplatte 901 angeordnet. Wenn es sich bei den Energieerzeugungselementen 902 um Heizelemente handelt, wird der Strahl­ druck durch Erhitzen der in der Nachbarschaft dieser Elemente befindlichen Flüssigkeit erreicht. Wenn die Energieerzeugungselemente 902 piezoelektrische Elemente sind, erfolgt dies durch mechanische Schwingungen oder Verschie­ bungen. Diese Energieerzeugungselemente sind jeweils an eine Elektrode zum Anlegen eines Eingangssignales angeschlossen, die nicht gezeigt ist. Zum Anschluß kann die gegenwärtig in der Halbleiterindustrie häufig verwendete Mehr­ schichtverdrahtungstechnik Anwendung finden, bei der durch Photolithographie auf leitenden Filmen aus Al, Au o. ä., die zusammen mit elektrisch isolierenden Filmen aus SiO₂, Si₃N₄ oder Polyimid abwechselnd laminiert sind, gewünschte Muster ausgebildet werden.

Bei der Zwischenplatte 903 handelt es sich um einen Abstands­ halter, der aus ähnlichem Material besteht wie die Grundplatte 901 und einen inneren offenen Raum be­ sitzt, der als Flüssigkeitskammer 904 dient. Durch eine Zuleitung 905, die in einer nicht gezeigten Durchgangsöffnung, die die Grundplatte 901 durch­ dringt, befestigt ist, kann Tinte in die Flüssigkeits­ kammer 904 eingeführt werden. Die Zuleitung 905 kann auch in einen Abschnitt der Zwischenplatte 903 ein­ gepaßt sein. Die Anzahl von derartigen Zuleitungen ist nicht auf die in Fig. 4A gezeigte begrenzt. Eine Öffnungsplatte 906, die aus ähnlichem Material besteht wie die Grundplatte 901, ist mit Flüssigkeitsstrahl­ öffnungen 907a und 907b versehen, die so eng neben­ einander angeordnet sind, wie dies die Mikrofabrika­ tionstechnik ermöglicht. Die Anzahl dieser Flüssigkeitsstrahlöffnungen ist ebenfalls nicht auf die in Fig. 4A gezeigte begrenzt; pro Flüssigkeitskammer 904 können eben­ falls drei oder mehr, beispielsweise drei- bis fünf, Flüssigkeitsstrahlöffnungen in dichter Anordnung vorgesehen sein.

Darüber hinaus können die Energieerzeugungselemente 902 so modifiziert werden, daß sie getrennt den einzelnen Flüssigkeits­ strahlöffnungen zugeordnet sind, wie dies in Fig. 4C gezeigt ist. Mit anderen Worten, die gleiche Anzahl von Energieerzeugungselementen 902 wie die der Flüssigkeitsstrahlöffnungen kann in der Flüssigkeitskammer 904 angeordnet sein.

Wenn Aufzeichnungspapier (nicht gezeigt) von dem auf diese Weise ausgebildeten Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf in einer Richtung nahezu senkrecht zur Linie X-X′ über­ strichen wird, wobei die mit den Flüssigkeitsstrahlöffnungen versehene Fläche des Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopfes gegenüberliegend angeordnet und eng am Papier gehalten wird, werden bei Betätigung der Energieerzeugungselemente 902 Tintentröpfchen durch die Flüssigkeitsstrahlöffnungen 907a und 907b abgestrahlt, so daß sich auf dem Auf­ zeichnungspapier Tintenpunkte in dem gleichen Abstand bilden, der zwischen den Flüssigkeitsstrahlöffnungen 907a und 907b vorhanden ist. Mit anderen Worten, die Entfernung zwischen den Tintenpunkten aufgrund der Flüssigkeitsstrahlöffnungen 907a und 907b entspricht der Entfernung zwischen den Flüssigkeitsstrahlöffnungen 907a und 907b. Die Flüssigkeitsstrahlöffnungen sind so eng benachbart angeordnet, daß sich die beiden Tinten­ punkte überlappen. Dies führt dazu, daß man auf den bedruckten Bögen kontinuierliche Linien wahrnimmt, und zwar insbesondere in Längsrichtung, was bei den Tintenstrahlköpfen des Standes der Technik nicht der Fall war.

Die Betätigung der Vielzahl von Energieerzeugungs­ elementen für die Flüssigkeitsstrahlen kann auf ver­ schiedene Weise erfolgen, beispielsweise gleich­ zeitig oder nacheinander.

Wie vorstehend beschrieben, hat der in Fig. 4 dargestellte Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf die folgenden Vorteile:

• 1. Dieser Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf führt zum Drucken mit hoher Qualität, die mit dem Stand der Technik nicht erreichbar waren, da Tintenpunkte mit hoher Dichte gebildet werden, die insbesondere in Längsrichtung dicht angeordnet sind.
• 2. Da die Flüssigkeitsstrahlöffnungen sehr nahe an den Energieerzeugungselementen für die Flüssigkeitsstrahlen und mit hoher Dichte ange­ ordnet sind, können diese Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungsköpfe sehr dünn und kompakt ausgebildet werden.
• 3. Da es relativ einfach ist, die Flüssigkeits­ strahlöffnungen mit hoher Dichte fein auszubilden, können die Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungsköpfe selbst in einfacher Weise mit hoher Ausbeute hergestellt werden.

Das in Fig. 4 dargestellte System kann bei den in den Fig. 1 und 3 ge­ zeigten Systemen Anwendung finden.

Zuerst können die in den Fig. 1 und 3 gezeigten Ausführungsformen derart modifiziert werden, daß eine Vielzahl von Flüssigkeitsstrahlöffnungen einem Energieerzeugungselement entspricht, wie in Fig. 4B gezeigt ist. Beispielsweise kann in Fig. 1 jede Flüssigkeitsstrahlöffnung weiter in eine Vielzahl von Öffnungen aufgeteilt werden.

Ferner können die in den Fig. 1 und 3 gezeigten Ausführungsformen derart modifiziert werden, daß eine Vielzahl von Energieerzeugungselementen der gleichen Anzahl von Flüssigkeitsstrahlöffnungen wie die der Energieerzeugungselemente in einer Flüssigkeitskammer (d. h. in jedem Zweigkanal) entspricht, wie in Fig. 4C gezeigt ist.

Claims (5)

1. Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf mit einer Grundplatte (1, 901), die eine Vielzahl von in minde­ stens einer Reihe angeordneten Energieerzeugungselemen­ ten (2, 902) aufweist, sowie in Durchgangsöffnungen (3-1, 3-2) mündende Zuleitungen (4-1, 4-2, 20-1, 20-2, 905) für verschiedenfarbige Flüssigkeiten aufweist, Zwischenplatten (5, 11, 12, 903), wobei pro farbiger Flüs­ sigkeit mindestens eine Zwischenplatte (5, 11, 12, 903) vorgesehen ist, die auf der Grundplatte (1, 901) aufbau­ end schichtweise übereinander laminiert sind, und wobei die mindestens eine Zwischenplatte (5, 11, 12, 903) eine Aussparung zur Bildung einer Flüssigkeitskammer (6, 13, 904) und deren Verbindung mit den zugehö­ rigen Energieerzeugungselementen (2, 902) und der zugehörigen Zuleitung (4-1, 4-2, 905) aufweist, sowie Durchtrittsöffnungen (8-1, 8-2, 9-1, 9-2) für die Ver­ bindung der restlichen Flüssigkeiten mit den ver­ bleibenden Energieerzeugungselementen (2, 902) und soweit notwendig weitere Durchtrittsöffnungen (7, 10) für die Versorgung der restlichen Flüssig­ keitskammern (6, 13, 904) mit Flüssigkeit aufweist, und einer auflaminierten Öffnungsplatte (14, 906), die Flüssig­ keitsstrahlöffnungen (8-3, 9-3, 21-3, 22-3, 907a, 907b) aufweist, die über die Durchtrittsöffnungen (8-1, 8-2, 9-1, 9-2) den Energieerzeugungselementen (2, 902) zuge­ ordnet sind.

2. Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Energieerzeugungselemente (2, 902) als wärmeerzeugende Elemente ausgebildet sind.

3. Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf nach einem der vorange­ henden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Zwischenplatten (5, 11, 12, 903) aus Kunststoff und die Aussparungen oder Durchtrittsöffnungen (8-1, 8-2, 9-1, 9-2, 7, 10) mit Hilfe eines Photoresists hergestellt sind.

4. Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf nach einem der vorange­ henden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens zwei Flüssigkeitsstrahlöffnungen (8-3, 9-3, 21-3, 22-3, 907a, 907b) einem Energieerzeugungselement (2, 902) zugeordnet sind.

5. Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf nach einem der vorange­ henden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß eine weitere Zwischenplatte (11) pro farbiger Flüssigkeit vorsehbar ist, die nur die Durchtrittsöffnungen (8-1, 8-2, 9-1, 9-2, 7, 10) aufweist und der Zwischenplatte (5, 12) zur Bildung der Flüssigkeitskammern (6, 13) nachgeschaltet ist.