DE69906751T2

DE69906751T2 - Tintenstrahldruckkopf

Info

Publication number: DE69906751T2
Application number: DE69906751T
Authority: DE
Inventors: Enrico Manini
Original assignee: Olivetti Tecnost SpA
Current assignee: Olivetti Tecnost SpA
Priority date: 1998-06-29
Filing date: 1999-06-25
Publication date: 2004-03-04
Anticipated expiration: 2019-06-26
Also published as: DE69906751D1; EP1098771A1; JP2002519215A; US6412921B1; ITTO980562A1; EP1098771B1; ES2197648T3; ATE236793T1; JP4749546B2; WO2000000354A1; ITTO980562A0; DK1098771T3

Description

Anwendungsgebiet
Die Erfindung betrifft allgemein Tintenstrahldruckköpfe und insbesondere, jedoch nicht ausschließlich, Dünnschichtköpfe, auch „top-shooters" genannt, welche die thermische Tintenstrahl-Drucktechnologie verwenden, d. h. solche, bei denen der Tintentropfen in einer Richtung senkrecht zur Emissionskammer ausgestoßen wird, in der sich der Widerstand befindet, der, wenn er erhitzt wird, eine Dampfblase erzeugt, die unmittelbar das Ausstoßen eines Tropfens zur Folge hat.
Stand der Technik
Tintenstrahldruckköpfe des oben beschriebenen Typs, sowohl monochromatische als auch farbige, sind bereits nach dem Stand der Technik bekannt und umfassen eine Aktuator-Anordnung, die typischerweise aus

– einem Siliziumchip oder -plättchen, an dessen Oberseite mehrere Schichten unter Verwendung bekannter Technologien aufgebracht sind, um die Emissionswiderstände und die Verbindungen zu bilden, und auf der aktive elektronische Komponenten, wie z. B. die MOS-Transistoren, welche die Emissionswiderstände steuern, gebildet sind,
– einer auf die Oberseite des Siliziumplättchens aufgetragenen Photopolymerschicht, in der die Emissionskammern, die in Übereinstimmung mit den Emissionswiderständen und den Tintenkanälen angeordnet sind, unter Verwendung bekannter photolithographischer Technologien gebildet sind; und
– einer auf die Photopolymerschicht aufgetragenen Düsenplatte, in der die Düsen, durch welche die Tintentropfen ausgestoßen werden, in Übereinstimmung mit den Emissionskammern unter Verwendung bekannter Technologien gebildet sind,

Es ist ebenfalls allgemein bekannt, dass die Tintenstrahldruckköpfe des oben beschriebenen Typs einen Tintenbehälter, der an der Unterseite des Siliziumplättchens befestigt ist, aufweisen, und dass die Tintenzufuhr vom Behälter zu den oben angegebenen Kanälen und Emissionskammem über einen Durchgangsschlitz erfolgt, der in der Mitte des Siliziumplättchens, z. B. durch Einschneiden mittels Sandstrahlen gebildet ist. Typischerweise hat das Siliziumplättchen eine rechteckige Form, und die Emissionswiderstände, die Emissionskammern und die Düsen sind in zwei zur größeren Seite des Rechtecks parallelen Reihen und auf zwei gegenüberliegenden Seiten des mittleren Schlitzes angeordnet. Der Schlitz hat üblicherweise eine Langlochform und eine Gesamtlänge, die etwas geringer als die der größeren Seite des Rechteckes ist, um die Tinte gleichmäßig allen Emissionskammern zuführen zu können.
Durch den Schlitz ist das Siliziumplättchen mechanisch schwächer, und diese erhöhte Zerbrechlichkeit ist die Ursache von Brüchen sowohl während des Einschneidens des Schlitzes selbst als auch während der nachfolgenden Schritte zum Herstellen des Kopfes, und zwar um so mehr je größer die Anzahl der Düsen im Kopf und folglich je länger die größere Seite des Siliziumplättchens ist. Nachteilhafterweise tendiert die gegenwärtige Technologie dazu, Köpfe mit einer noch größeren Anzahl von Düsen herzustellen, da dadurch die Druckdauer verkürzt und der Durchsatz des Druckers entsprechend verbessert wird.
Eine Möglichkeit zur Lösung des Problems, diese entgegengesetzten Erfordernisse zu erfüllen, ist im US-Patent Nr. US 5,317,346 angegeben, bei dem der Durchgangsschlitz zum Zuführen der Tinte in eine bestimmte Anzahl von kürzeren Durchgangsschlitzen aufgeteilt sind, die alle auf einer zur größeren Seite des Siliziumplättchens parallelen Linie und in dessen Mitte angeordnet sind und in einer einzigen Vertiefung, die in der Oberseite des Siliziumplättchens selbst gebildet ist, münden. Die Form der Vertiefung ist symmetrisch in einer analogen Ausnehmung gespiegelt, die im Photopolymer gebildet ist, von der die Kanäle, die die Tinte zuführen, und die Emissionskammern ausgehen.
Folglich erfolgt die Tintenzufuhr vom Behälter zu den Emissionskammern über einen Kanal, bestehend aus der Kombination des im Siliziumplättchen gebildeten Schlitzes (z. B. mittels Einschneiden durch Sandstrahlen), beginnend von der Unterseite des letzteren, und eine Vertiefung, die ebenfalls im Siliziumplättchen mittels eines chemischen Ätzverfahrens, beginnend von der Oberseite des Plättchens gebildet ist. Das letztere Verfahren ist z. B. in einem zweiten US-Patent Nr. US 5,387,314 beschrieben, das auf denselben Anmelder wie das zuvor angegebene ausgestellt ist und sich darauf bezieht, wobei das Verfahren als ein Trockenätzverfahren spezifiziert ist, welches dem Fachmann auf dem Gebiet bekannt ist und auf der Verwendung von CF₄ + O₂, SF₆ oder einer Mischung von Edelgasen und Fluorokarbon-Verbindungen basieren.
In der Praxis hat sich jedoch gezeigt, dass das angegebene Verfahren, obwohl es strenggenommen vom theoretischen Standpunkt aus betrachtet, Gültigkeit hat, nicht bei der Herstellung in einem industriellen Rahmen (d. h. mit geringem Zeitaufwand und geringen Kosten) einer Vertiefung an der Oberseite des Siliziumplättchens mit der erforderlichen Tiefe, d. h. 25–100 μm, anwendbar ist.
Darüber hinaus besteht neben der Zerbrechlichkeit des Siliziumplättchens auch eine zweite Problematik, die in den aufgefundenen Patentschriften nicht gelöst ist, jedoch häufig in diesem Fachgebiet vorkommt. Diese Problematik betrifft das Erreichen einer optimalen Ausnutzung der Oberfläche der Oberseite des Plättchens im Falle eines Farbdruckkopfes oder zumindest eines nicht-monochromatischen Druckkopfes.
Es ist bereits bekannt, dass Farbköpfe typischerweise drei verschiedene Gruppen von Düsen aufweisen, die jeweils mit einem Behälter, der verschiedene Farbtinten (üblicherweise Zyan, Magenta und Gelb) enthält, verbunden sind und von diesem über einen separaten Durchgangsschlitz, der in der üblichen Siliziumplatte gebildet ist, gespeist werden. Die drei Gruppen von Düsen sind wechselweise in einer Richtung parallel zur größeren Seite des Rechteckes des Siliziumplättchens ausgerichtet und die Düsen jeder Gruppe sind wiederum in zwei Reihen, die jeweils parallel zur größeren Seite des rechteckigen Siliziumplättchens sind, wie im Falle des monochromatischen Kopfes, angeordnet.
Um zu verhindern, dass sich benachbarte Düsen, die verschiedenen Farbgruppen angehören, gegenseitig „verschmutzen", und auch eine geeignete physikalischen Trennung zwischen den verschiedenen Tintenbehältern zu ermöglichen, sind die drei Gruppen von Düsen um einen Abstand üblicherweise von in etwa 30 Elementarschritten von einem 600stel eines Inches (= 1,27 mm; der 300ste und 600ste Teil eines Inches sind Maßeinheiten, die in diesem Fachgebiet weit verbreitet sind) voneinander beabstandet angeordnet, so dass ein nicht vernachlässigbarer Bereich des Siliziumplättchens genutzt wird, und die Kosten der Aktuator-Anordnung steigen.
Während das Problem der gegenseitigen „Verschmutzung" zwischen benachbarten Düsen, die unterschiedlichen Farbgruppen angehören, durch Anordnen der drei Gruppen von Düsen in einem Abstand von nur 10–15 Elementarschritten eines 600stels eines Inches (≅ 0,4–0,6 mm) gelöst werden könnte, muss jedoch aufgrund der Toleranzen der Positioniergenauigkeit der Dichtungsteile zwischen den Behältern eine physikalische Trennung zwischen den verschiedenen Tintenbehältern derart beibehalten werden, dass der Abstand zwischen benachbarten Gruppen von Düsen nicht geringer sein kann als der oben angegebene Wert von in etwa 30 Elementarschritten von einem 600stel eines Inches, wodurch das Problem der optimalen Ausnutzung der Plättchenfläche ungelöst bleibt.
Zusammenfassung der Erfindung
Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Tintenstrahldruckkopf zu schaffen, der eine optimale Ausnutzung der Oberfläche des Oberseite des Siliziumplättchens auch im Falle eines nicht-monochromatischen Kopfes mit zahlreichen verschiedenen runden Behältern ermöglicht. Für jeden Tintenbehälter hat der Kopf gemäß der Erfindung einen Durchgangsschlitz, der sich von der Unterseite des Siliziumplättchens erstreckt und in eine breitere Vertiefung, die in der Oberseite unter Verwendung einer chemischen ätzartigen Einschneidetechnik, bekannt als ICP (Inductively Coupled Plasma) gebildeten ist, mündet, so dass der Abstand zwischen den Behältern der verschiedenen Tinten vergrößert wird und gleichzeitig der Abstand zwischen den verschiedenen Gruppen von Düsen auf der Oberseite des Plättchens verkleinert wird. Ein zusätzlicher Vorteil ist, dass der Kopf gemäß der vorliegenden Erfindung das Risiko eines Bruches des Siliziumsubstrates während der verschiedenen Herstellungsstufen erheblich verringert.
Es ist eine weitere Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren zur Herstellung eines Tintenstrahldruckkopfes zu schaffen, durch welches die Kosten der Aktuator-Anordnung reduziert werden können, die Ausnutzung der Oberfläche der Oberseite des Siliziumplättchens, auch im Falle von Druckköpfen mit verschiedenen Farbtintenbehältern, optimiert werden kann, und die Anzahl der Herstellungsfehler infolge von Brüchen im Siliziumsubstrat bei der Herstellung eines Durchgangsschlitzes, der sich von der Unterseite des Plättchens aus erstreckt und in einer in der Oberseite unter Verwendung einer ICP-chemischen ätzartigen Einschneidetechnik gebildeten breiteren Vertiefung mündet, reduziert werden kann.
Die obigen Aufgaben werden mittels eines Tintenstrahldruckkopfes, wie im Hauptanspruch festgelegt, und dem dazugehörigen Herstellungsverfahren gelöst.
Figurenliste
1 ist eine schematische Darstellung einer nicht maßstabsgetreuen teilweisen Draufsicht auf die Oberseite der Aktuator-Anordnung eines Farb-Tintenstrahldruckkopfes gemäß der Erfindung;
2 ist eine schematische Darstellung einer nicht maßstabsgetreuen Draufsicht auf die Unterseite der Aktuator-Anordnung eines Farb-Tintenstrahldruckkopfes gemäß der Erfindung;
3 ist eine schematische Darstellung einer nicht maßstabsgetreuen Ansicht im Querschnitt des Siliziumplättchens der Aktuator-Anorndung eines Farb-Tintenstrahldruckkopfes gemäß der Erfindung; und
4 ist eine schematische Darstellung des Flußdiagramms des Herstellungsverfahrens der Schlitze und Vertiefungen im Siliziumplättchen einer Aktuator-Anordnung eines Farb-Tintenstrahldruckkopfes gemäß der Erfindung.
Beschreibung der bevorzugten Ausführungsform
1 ist eine nicht maßstabsgetreue teilweise Draufsicht auf die Oberseite einer Aktuator-Anordnung 10 eines Farb-Tintenstrahldruckkopfes gemäß der Erfindung, in der eine Düsenplatte 12 mit mehreren Düsen 13 zum Ausstoßen von Tintentröpfchen in einer Anzahl von 100 bis 500 vorgesehen sind und gemäß einer Schrittweite 16, z. B. ein 300stel eines Inches (≅ 0,085 mm), angeordnet sind, und in der eine darunterliegende, nicht in der Figur gezeigte Photopolymerschicht, die mit Tintenzufuhrkanälen und Emissionskammern versehen ist, teilweise weggelassen wurde, um eine Oberseite 20 eines rechteckförmigen Siliziumplättchens 11 zu zeigen, das eine größere Seite 29 und eine kleinere Seite 28 hat. Die Düsen 13 sind in drei Gruppen 13', 13'' und 13''' (nicht gezeigt), die um einen Abstand 33 voneinander beabstandet sind, angeordnet.
Drei verschiedene Schlitze 15', 15'' und 15''' sind im Siliziumplättchen 11 gebildet und münden in drei entsprechenden Vertiefungen 14', 14'' und 14'''. Die drei Schlitze 15', 15'' und 15''' sind in der Mitte des Plättchens 11, längs einer Richtung parallel zur größeren Seite 29 des Substrates 11 selbst ausgerichtet angeordnet.
Eine Unterseite 21 des Siliziumplättchens 11 ist in 2 dargestellt. Die größere Seite 29 des Siliziumplättchens 11 hat eine Länge 27 von typischerweise 10 bis 30 mm und die kürzere Seite 28 hat eine Länge 22 von typischerweise 3 bis 5 mm. Die Schlitze 15', 15'' und 15''' sind in einem ersten an der Unterseite 21 gemessenen relativen Abstand 18, typischerweise 25–35 Schritte eines 600stels eines Inches (≅ 1,06–1,48 mm) voneinander beabstandet und haben eine erste Breite 24 von z. B. 4/300stel eines Inches (≅ 0,34 mm).
Die Vertiefungen 14', 14'' und 14''' sind in Bezug auf die entsprechenden Schlitze 15', 15'' und 15''' in einem zweiten, an der Oberseite 20 gemessenen relativen Abstand 17, typischerweise 10–15 Schritte eines 600stel eines Inches (≅ 0,42– 0,64 mm) konzentrisch angeordnet und haben eine zweite Breite 25 von z. B. 5/300stel eines Inches (≅ 0,42 mm).
Eine Ansicht im Querschnitt des Plättchens 11 längs der Linie III-III ist in 3 dargestellt. Das Plättchen 11 hat eine Dicke 23 von typischerweise 0,4 bis 0,8 mm, vorzugsweise gleich 0,625 mm. Im letzteren Fall hat der Schlitz 15''' eine erste Tiefe 19 von typischerweise 300 bis 775 μm, vorzugsweise gleich in etwa 575 μm, und die Vertiefung 14''' hat eine zweite Tiefe 26 von typischerweise 25 bis 100 μm, vorzugsweise gleich in etwa 50 μm.
In Bezug auf 4 wird im folgenden das Verfahren zur Herstellung der Schlitze 15', 15'' und 15''' und der Vertiefungen 14', 14'' und 14''' beginnend vom Siliziumplättchen 11, an dessen Oberseite 20 sowohl das Aufbringen der verschiedenen Schichten, die die Ausstoßwiderstände und die Verbindungen bilden, als auch das Integrieren der aktiven elektronischen Komponenten, z. B. MOS-Transistoren zur Steuerung der Ausstoßwiderstände, unter Verwendung bekannter Techniken bereits erfolgt ist.
Ein erster Schritt 30 des Verfahrens betrifft das Aufbringen auf die Oberseite 20 des Siliziumplättchens 11 einer Ätzmaske in Form einer photoresistenten Schicht der bekannten Art, die die Bereiche des Plättchens 11 entsprechend den Flächen der Vertiefungen 14', 14'' und 14' frei läßt. Ein zweiter Schritt 31 des Fahrens betrifft das Herstellen eines anisotropen Einschnitts mittels chemischen Ätzens der Bereiche der Vertiefungen 14', 14'' und 14''', die nicht durch die photoresistente Schicht entsprechend einer ICP (Inductively Coupled Plasma) Technik, die dem Fachmann auf diesem Gebiet bekannt ist und hierin nicht näher beschrieben werden, da sie bereits ausführlich im US-Patent Nr. US 5,501,893 beschrieben sind. Ein dritter Schritt 32 des Verfahrens betrifft das Herstellen der Schlitze 15', 15'' und 15''' durch Einschneiden mittels Sandstrahlen, eine bekannte Vorgehensweise, die beginnend von der Unterseite 21 des Plättchens 11 ausgeführt wird.
Der Kanal, bestehend aus der Schlitz-Vertiefungs-Kombination, der so erreicht wird, hat den doppelten Vorteil, dass erstens ein beträchtlicher erster relativer Abstand 18 an der Unterseite 21 des Plättchens 11 zwischen den Behältern mit den verschiedenen Farbtinten besteht, wodurch das Problem einer unzureichenden Genauigkeit bei der Positionierung der Dichtungselemente zwischen den Behältern vermieden wird, während gleichzeitig das Plättchen 11 eine beträchtliche mechanische Festigkeit aufweist, und zweitens ein geringerer zweiter relativer Abstand 17 an der Oberseite 20 des Plättchens 11 besteht, so dass der Platz, der zwischen den benachbarten Gruppen von Düsen 13 ungenutzt bleibt, sich in Grenzen hält.
Selbstverständlich können bei der oben beschriebenen Erfindung Veränderungen vorgenommen werden, ohne den Schutzbereich der Erfindung zu verlassen.
Z. B. können die Schlitze 15', 15'' und 15''' im dritten Schritt 32 des Verfahrens durch ein anisotropes Einschneiden mittels eines chemischen Ätzverfahrens entsprechend der selben ICP-Technik wie bei der Unterseite 21 des Plättchens 11 im zweiten Schritt 31 hergestellt werden, nachdem eine geeignete photoresistente Schutzmaske, wie im ersten Schritt 30, aufgebracht wurde, welche die für die Schlitze 15', 15'' und 15''' selbst vorgesehenen Flächen freiläßt.
Oder es können „Inseln" oder „Stellen" im zweiten Schritt des zuvor beschriebenen Verfahrens in den Bereichen der Vertiefungen 14', 14'' und 14''', die die entsprechenden Schlitze 15', 15'' und 15''' umgeben, gebildet werden, die, wie dem Fachmann auf diesem Gebiet bekannt ist, die die Funktion haben, irgendwelche in der Tinte enthaltenen Verunreinigungen oder Luftblasen aufzufangen, so dass diese davon abgehalten werden, den funktionalen Betrieb der Düsen zu beeinträchtigen.
Eine weitere Möglichkeit besteht darin, anstatt der Bildung der Schlitze 15', 15'' und 15'' an ihren Stellen eine Reihe von runden Löchern mit einem Durchmesser von z. B. 0,3 mm, die in einer Richtung parallel zur größeren Seite 29 des Siliziumplättchens 11 ausgerichtet sind und in einer Schrittweite von typischerweise 1 bis 1,5 mm angeordnet sind, zu bilden.
Schließlich kann vor dem zweiten Schritt 31 des Verfahrens eine Opfer-Siliziumschicht an der Oberseite 20 mit einer Tiefe von z. B. 50 μm in dem Abschnitt, in dem das anisotrope Einschneiden mittels chemischen Ätzens durchgeführt wird, porös gebildet werden, um den letzten Arbeitsschritt zu beschleunigen.

Claims

Tintenstrahldruckkopf, aufweisend – eine Aktuator-Anordnung (10) umfassend ein Siliziumplättchen (11) mit einer Oberseite (20), einer Unterseite (21) und einer Dicke (23); eine Photopolymerschicht, die auf der Oberseite (20) des Siliziumplättchens (11) abgelagert ist; und eine Düsenplatte (12), die auf der Photopolymerschicht an einer Seite, die der des Siliziumplättchens gegenüberliegt, haftet, wobei die Düsenplatte (12) wenigstens eine erste Gruppe von Düsen (13') und eine zweite Gruppe von Düsen (13'') aufweist, die um eine Strecke (33) voneinander beabstandet sind, und – wenigstens zwei Tintenbehälter, die an der Unterseite (21) des Siliziumplättchens (11) befestigt sind, wobei ein erster Behälter der beiden Behälter eine erste Tinte enthält, die mit der ersten Gruppe von Düsen (13') durch einen innerhalb der Dicke des Siliziumplättchens (11) gebildeten ersten Kanal in Flüssigkeitsverbindung steht, und wobei ein zweiter Behälter eine erste Tinte enthält, die mit der zweiten Gruppe von Düsen (13') durch einen innerhalb der Dicke des Siliziumplättchens (11) gebildeten zweiten Kanal in Flüssigkeitsverbindung steht, dadurch gekennzeichnet, dass der erste Kanal einen ersten Schlitz (15') aufweist, der sich von der Unterseite (21) des Siliziumplättchens (11) aus erstreckt und in eine erste Vertiefung (14') mündet, die an der Oberseite (20) des Siliziumplättchens (11) gebildet ist, und der zweite Kanal einen zweiten Schlitz (15'') aufweist, der sich von der Unterseite (21) des Siliziumplättchens (11) aus erstreckt und in eine zweite Vertiefung (14'') mündet, die an der Oberseite (20) des Siliziumplättchens (11) gebildet ist, wobei ein erster Abstand (18) zwischen dem ersten Schlitz (15') und dem zweiten Schlitz (15'') an der Unterseite (21) größer ist als ein zweiter Abstand (17) zwischen der ersten Vertiefung (14') und der zweiten Vertiefung (14'') an der Oberseite (20) des Siliziumplättchens (11).
Druckkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Vertiefung (14') und die zweite Vertiefung (14'') an der Oberseite (20) des Siliziumplättchens (11) durch anisotropes Einschneiden mittels eines induktiv gekoppelten chemischen Plasma-Ätzvertahrens gebildet werden.
Druckkopf nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass der erste Schlitz (15') und der zweite Schlitz (15'') innerhalb der Dicke des Siliziumplättchens (11) durch Einschneiden mittels Sandstrahlen gebildet werden.
Druckkopf nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass der erste Schlitz (15') und der zweite Schlitz (15'') innerhalb der Dicke (23) des Siliziumplättchens (11) durch anisotropes Einschneiden mittels eines induktiv gekoppelten chemischen Plasma-Ätzverfahrens gebildet werden.
Druckkopf nach Anspruch 1, bei dem die erste Vertiefung (14') und die zweite Vertiefung (14'') eine Tiefe (26) haben, dadurch gekennzeichnet, dass die Tiefe zwischen 25 und 100 μm beträgt.
Druckkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der erste Abstand (18) zwischen dem ersten Schlitz (15') und dem zweiten Schlitz (15'') an der Unterseite (21) des Siliziumplättchens (11) zwischen 1058 μm (25/600 Inch) und 1482 μm (35/600 Inch) beträgt, und der zweite Abstand (17) zwischen der ersten Vertiefung (14') und der zweiten Vertiefung (14'') an der Oberfläche (20) des Siliziumplättchens (11) zwischen 423 μm (10/600 Inch) und 635 μm (15/600 Inch) beträgt.
Druckkopf nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Abstand (33), der die erste Gruppe von Düsen (13') und die zweite Gruppe von Düsen (13'') trennt, im wesentlichen gleich dem zweiten Abstand (17) zwischen der ersten Vertiefung (14') und der zweiten Vertiefung (14'') an der Oberseite (20) des Siliziumplättchens (11) ist.
Druckkopf nach Anspruch 1, bei dem das Siliziumplättchen (11) eine rechteckige Form mit einer größeren Seite (29) und einer kleineren Seite (28) hat, dadurch gekennzeichnet, dass die größere Seite (29) zwischen 10 und 30 mm lang ist und die kleinere Seite (28) zwischen 3 und 5 mm lang ist.
Druckkopf nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Dicke (23) des Siliziumplättchens (11) zwischen 0,4 und 0,8 mm beträgt.
Druckkopf nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Gruppe von Düsen (13') und die zweite Gruppe von Düsen (13'') in zwei zur größeren Seite (29) parallelen Reihen angeordnet sind.
Druckkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass sich die erste Tinte von der zweiten Tinte durch ihre Farbe unterscheidet.
Druckkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass sich die erste Tinte von der zweiten Tinte dadurch unterscheidet, dass sie eine andere Trockengeschwindigkeit hat.
Druckkopf nach Anspruch 11, weiterhin aufweisend eine dritte Gruppe von Düsen (13'''), die mit einem dritten Tintenbehälter, der eine dritte Tinte enthält, in Flüssigkeitsverbindung steht, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Tinte eine Zyan-Farbtinte ist, die zweite Tinte eine Magenta-Farbtinte ist und die dritte Tinte eine Gelb-Farbtinte ist.
Druckkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der erste Schlitz (15') und der zweite Schlitz (15'') eine rechteckige Form mit einer kleineren Seite (24), die eine Länge von 340 μm (4/300 Inch) hat, aufweisen.
Druckkopf nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Vertiefung (14') und die zweiten Vertiefung (14'') eine rechteckige Form mit einer kleineren Seite (25), die eine Länge gleich 423 μm (5/300 Inch) hat, haben und jeweils konzentrisch um den ersten Schlitz (15') und den zweiten Schlitz (15'') angeordnet ist.
Druckkopf nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Vertiefung (14') und die zweite Vertiefung (14'') innen wenigstens einen Schlitz (15), der durch anisotropes Einschneiden mittels eines induktiv gekoppelten chemischen Plasma-Ätzverfahrens gebildet wird, aufweisen.