JP4994967B2 - インクジェット記録ヘッドの製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、インク等の液体を吐出して記録を行う記録装置に搭載されるインクジェット記録ヘッドの製造方法に関する。

インクジェットプリンタ等の液体吐出方式を採るインクジェット記録装置は、いわゆるノンインパクト記録方式の記録装置であり、高速な記録や、様々な被記録材に記録が可能であると共に、記録時における騒音がほとんど生じないという特徴を有している。このため、インクジェット記録装置は、プリンタ、ワードプロセッサ、ファクシミリ、複写機等の記録装置として広く採用されている。

この種のインクジェット記録装置が備えるインクジェット記録ヘッドについて説明する。図６に、インクジェット記録ヘッドを説明するための斜視図を示す。図６（ａ）は、吐出面（以下、フェイス面と称する）側から示す斜視図であり、図６（ｂ）は、図６（ａ）における反対面側から示す斜視図である。

図６に示すように、インクジェット記録ヘッド１０００は、インク滴を吐出する記録素子基板１００３を備えている。また、このインクジェット記録ヘッド１０００は、記録素子基板１００３に記録装置内の制御部（不図示）からの駆動信号等を印加する電気配線基板１００１と、記録素子基板１００３にインクを供給するインクタンク１０１０とを備えている。

記録素子基板１００３は、発熱抵抗体である電気熱変換体によってインクを加熱し、膜沸騰の作用によりインク滴を吐出する。インクタンク１０１０は、インクを保持して負圧を発生させる負圧発生機構（不図示）を有している。インクタンク１０１０には、インクジェット記録ヘッド１０００を記録装置内部の装着部に装着するときのガイド部１００２、突き当て基準１００５、１００６、１００７が設けられている。また、インクタンク１０１０の蓋部材１０１１には、記録装置内部に設けられたヘッドセットレバー（不図示）によって、インクタンク１０１０をキャリッジ（不図示）に装着して固定するための係合部１００８が設けられている。

図７は、フェイス面の周辺を拡大した平面図である。図７を参照してインクジェット記録ヘッドの製造方法の一例を説明する。インクタンク１０１０は、熱可塑性樹脂材を射出成型することによって形成されている。このように形成されたインクタンク１０１０には、インク中のゴミを濾過するために、ステンレス繊維で形成されたフィルタ（不図示）が溶着される。一方、電気熱変換体とノズル１１０３、インク供給口とをパターニングした記録素子基板１００３の電気接続パッドと、電気配線基板１００１のインナーリード１１０２とを電気的に接続して構成された記録素子ユニットを用意する。

図７に示すように、記録素子基板１００３には、シアン、マゼンタ、イエローの各色のインクに対応したノズル１１０３からなるノズル列群１１０６，１１０７，１１０８がそれぞれ設けられている。また、記録素子基板１００３には、ノズル列群１１０６，１１０７，１１０８にそれぞれ対応して図示しないインク供給路およびフィルタが設けられている。インクタンク１０１０の記録素子基板１００３が接合される面と、電気配線基板１００１が貼り付けられる面とに接着剤をそれぞれ塗布し、記録素子ユニットを所定の位置に取り付ける。

次に、第１の封止剤１１０１をディスペンサで、記録素子基板１００３とインクタンク１０１０、電気配線基板１００１が作る空間に塗布する。第１の封止剤１１０１が空間内に充分に回り込んだ後、第２の封止剤１００４で、記録素子基板１００３の電気接続パッドと電気配線基板１００１のインナーリード１１０２との電気接続部を封止する。例えば、熱硬化性の接着剤や封止剤を用いた場合には、熱キュアによって硬化させる。その後、各色のインクに対応して、インクを保持して負圧を発生させる多孔質樹脂体（不図示）を挿入し、この多孔質樹脂体にインクをそれぞれ所定量注入し、蓋部材１０１１を接合する。

このようにして製造されたインクジェット記録ヘッド１０００は、記録装置内部に組み付けられると、記録信号が入力されていない休止状態のときにノズル１１０３が乾燥するのを防ぐために、記録装置内に設けられたキャップ機構によって覆われる。また、インクジェット記録ヘッド１０００は、ノズルが配列された吐出面に付着したゴミの除去や、流路内やノズル１１０３内に生じた気泡などによる不吐出の状態から回復させる場合、キャップ機構によって気密に覆われる。そして、インクジェット記録ヘッド１０００は、キャップ機構のキャップで密閉された状態で、キャップ内を負圧状態にすることによって、ノズル１１０３からインクを吸引される。図７中に示す四角形の枠状の領域が、インクジェット記録ヘッド１０００のキャップ当接部位１１０５を示している。このキャップ当接部位１１０５は、電気配線基板１００１の単一部材の表面であり、平面度が保たれているために、キャップの当接状態でキャップ当接部位１１０５における空気の漏れがほとんどない。

そして、上述したインクジェット記録ヘッドが搭載された記録装置は、近年、写真調画質の向上が図られた製品が目立ってきている。このような写真調画質を得ることは、飛翔するインク滴の大きさが小さくなっていることと、記録画像の解像度が向上していることに起因している。インク滴が小さくなることに伴って、被記録材に、より多くのインク滴を打ち込む必要が生じ、記録速度の低下を招いてしまう。

この問題の対策として、１個のインクジェット記録ヘッドのノズル数を増やす、すなわち特にノズル配列方向に対する記録素子基板のサイズを大きくするという構成が提案されている。しかしながら、この構成の場合には、記録素子基板が大きくなることによる製造コストの増加はもちろん、ノズルを覆うためのキャップ当接部位を兼ねる電気配線基板が大きくなることによる製造コストの増加も見逃せない。

また、従来技術としては、電気配線基板が大きくなることを回避するために、記録素子基板の一端側だけに電気接続パッドが設けられることで、電気配線基板の小型化を図る構成が開示されている（特許文献１参照）。
特表２００５−５０６９１７号

しかしながら、上述した特許文献１の構成では、電気配線基板を小さくすることは達成できるが、キャップ当接部位の平面度を保つために、（電気配線基板を覆う）キャッピングシュラウドという追加部品が設けられている。このため、特許文献１の構成では、製造コストの削減の効果が半減してしまう問題がある。

そこで、本発明は、製造コストの低減を図ると共に、吐出口群を気密に覆う際の信頼性を確保することができるインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。

上述した目的を達成するため、本発明に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法は、インクを吐出する吐出口群と該吐出口群にインクを供給するためのインク供給口とを有する記録素子基板と、該記録素子基板の外周部の一端側に設けられた電気接続部に一端部が電気的に接続される電気配線基板と、前記記録素子基板が収容されて固定される素子固定部が設けられると共に前記電気配線基板の前記一端部が固定される配線固定部が設けられた支持部材と、前記電気配線基板が電気的に接続された前記電気接続部を被覆する封止部材と、を備え、
前記素子固定部は前記記録素子基板が固定される第１の平面部を有し、前記配線固定部は前記電気配線基板が接着層を介して固定される第２の平面部を有し、前記支持部材の外周面には第３の平面部が形成され、前記記録素子基板の厚さ方向において前記第１、前記第２、前記第３の平面部の順に配置され、
前記第２の平面部は、幅が前記電気配線基板の前記一端部の幅よりも大きく、前記第３の平面部からの深さが前記電気配線基板の厚さよりも大きくされたインクジェット記録ヘッドの製造方法であって、
前記記録素子基板の前記電気接続部と前記電気配線基板の前記一端部とを接合して記録素子ユニットを構成する工程と、
前記素子固定部および前記配線固定部に前記接着剤を塗布する工程と、
前記記録素子基板および前記電気配線基板の前記一端部を保持手段で保持して前記素子固定部および前記配線固定部に対してそれぞれ位置決めする工程と、
前記記録素子ユニットを前記保持手段で保持した状態で前記支持部材の前記素子固定部および前記配線固定部に仮止めする工程と、
前記電気接続部を前記封止部材で被覆して封止すると共に、前記配線固定部に配置された前記電気配線基板の幅方向の側端面と前記配線固定部の側壁との隙間に、前記封止部材を充填させる工程と、
前記接着剤を硬化させる工程と、
前記封止部材を硬化させる工程と、を有する。

本発明によれば、配線固定部に固定された電気配線基板の表面と支持部材の第３の平面部とに良好な平面度を確保することができる。したがって、本実施形態によれば、製造コストの低減を図り、吐出口群を気密に覆う際の信頼性を確保することができる。

以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。

図１に示すように、インクジェット記録ヘッド１０１は、インクを吐出する吐出口としてのノズル１１３とこのノズル１１３からインクを吐出させるためのエネルギー発生素子とが設けられた記録素子基板１１０を備えている。また、このインクジェット記録ヘッド１０１は、記録素子基板１１０にインクを供給するインクタンク１０８と、記録素子基板１１０とインクジェット記録装置内の制御部（不図示）との電気信号の送受信に係わる電気配線基板１０５とを備えて構成されている。

記録素子基板１１０には、複数のノズル１１３が配列されてなるノズル列群（吐出口群）１０２、１０３、１０４が、シアン、マゼンタ、イエローの各色のインクに対応してそれぞれ設けられている。これらノズル列群（吐出口群）１０２、１０３、１０４は、記録素子基板１１０の吐出面（フェイス面）に、記録素子基板１１０の長手方向に沿って設けられている。また、記録素子基板１１０のフェイス面は、必要に応じて、撥水処理が施されていても良い。

また、記録素子基板１１０には、ノズル列群１０２，１０３，１０４にそれぞれ対応して図示しないインク供給路およびフィルタが設けられている。また、記録素子基板１１０の外周部には、長手方向の一端側に、電気配線基板１０５が電気的に接続される電気接続部としての電気接続パッド（不図示）が設けられている。

電気配線基板１０５の一端部には、内部配線としてのインナーリード１１１が露出されている。このインナーリード１１１は、記録素子基板１１０の外周部の四辺のうちの一辺だけに設けられた電気接続パッドに接合され、電気的に接続されている。

また、電気配線基板１０５のインナーリード１１１が接合された電気接合パッドは、封止部材としての封止剤１１２で被覆されて封止されている。

インクタンク１０８には、図示しないが、記録素子基板１１０に供給するインクを吸収保持するための多孔質樹脂体が配置されたインク収容部が設けられており、このインク収容部と記録素子基板１１０とがインク流路を介して連通されている。また、インクタンク１０８の外周部には、インクジェット記録ヘッド１０１をインクジェット記録装置内部の装着部（不図示）に装着するときのガイド部１２０が設けられている。

そして、このインクタンク１０８は、記録素子基板１１０および電気配線基板１０５をそれぞれ支持する支持部材としても機能している。インクタンク１０８には、図２および図３に示すように、記録素子基板１１０が収容されて固定される素子固定部２０９が設けられると共に電気配線基板１０５のインナーリード１１１が露出された一端部が固定される配線固定部２１０が設けられている。

素子固定部２０９は、記録素子基板１１０が固定される第１の平面部２１１を有している。配線固定部２１０は、電気配線基板１０５が接着層２０６を介して固定される第２の平面部２１２を有している。インクタンク１０８の外周面には、第３の平面部２１３が形成されている。記録素子基板１１０の厚さ方向に対してインクタンクの外周面に向かって第１の平面部２１１、第２の平面部２１２、第３の平面部２１３の順に配置されている。

第２の平面部２１２は、ノズル列群１０２，１０３，１０４の配列方向に直交する方向の幅が電気配線基板１０５の一端部の幅よりも大きく、第３の平面部２１３からの深さが電気配線基板１０５の厚さよりも大きくされている。また、配線固定部２１０に配置された電気配線基板１０５の幅方向の側端面と配線固定部２１０の側壁との隙間には、封止部材１１２が充填されている。

本実施形態のインクジェット記録ヘッドの製造方法は、以下のとおりである。

まず、記録素子基板１１０の電気接続パッドと、電気配線基板１０５のインナーリード１１１とを電気的に接続して構成された記録素子ユニットを用意する。また、幅が電気配線基板１０５の幅よりも僅かに大きくされ、かつ、インクタンク１０８の外周面である第３の平面部２１３からの深さが、電気配線基板１０５の厚さよりも僅かに大きく形成された第２の平面部２１２を有するインクタンク１０８を用意する。

インクタンク１０８の、記録素子基板１１０が固定される第１の平面部２１１と、電気配線基板１０５が固定される第２の平面部２１２とに光硬化熱硬化性樹脂からなる接着剤をそれぞれ塗布し、ＵＶ（紫外線）光を照射して活性化させる。

続いて、保持手段としての保持フィンガー（不図示）で記録素子ユニットを保持した状態で、記録素子ユニットをインクタンク１０８の所定の位置に位置決めして貼り付け、記録素子基板１１０に部分的に熱を与えて仮止めする。そして、この仮止め状態で、電気配線基板１０５を、熱圧着ツール（熱圧着ホーン）が有する平坦面を用いて、インクタンク１０８の第３の平面部２１３をストッパーにして所定時間だけ押圧する。これによって、インクタンク１０８の第３の平面部２１３と、配線固定部２１０に固定された電気配線基板１０５の表面とを略同一平面上に位置するように形成することができる。そして、電気配線基板１０５は、配線固定部２１０内に光硬化熱硬化性樹脂からなる接着剤によって完全に接合される。

次に、電気配線基板１０５の一端が接合された電気接続パッドが露出しないように、ディスペンサを用いて電気接続パッドに封止剤１１２を塗布し、この電気接続パッドを被覆する。流動性が比較的低い封止剤を用いる場合には、記録素子ユニットをインクタンク１０８に固定する前に、封止剤を塗布しておいても良い。電気配線基板１０５の幅方向の両側端には、電気配線基板１０５の側端面と、電気配線基板１０５が固定される配線固定部２１０の側壁との間に、寸法ａの隙間１０６がそれぞれ形成されている。この隙間１０６には、毛細管現象によって封止剤１１２が浸入し、隙間１０６が埋められる。最後に、電気配線基板１０５が固定される第２の平面部２１２に塗布した光硬化熱硬化性樹脂からなる接着剤や、封止剤１１２を完全に硬化させるために、熱キュアを行なう。熱キュアの後、インクタンクのインク収容部内に、インクを保持して負圧を発生させる多孔質樹脂体を挿入し、この多孔質樹脂体にインクを所定量注入し、インク収容部の開口に蓋部材を接合して閉じ、インクジェット記録ヘッドが完成する。

なお、熱キュアを行なった後、隙間１０６を埋めた封止剤１１２は、高さが数％程度だけ熱収縮する。しかしながら、本実施例で用いた電気配線基板１０５の厚さは０．１ｍｍ程度であり、インクタンク１０８の外周面をなす第３の平面部２１３および電気配線基板１０５の表面から数μｍ程度低くなるだけであった。したがって、記録素子基板１０５がキャップによって気密に覆われた状態で、キャップ当接部位１０７における空気の漏れがほとんど生じなかった。

上述したように、本実施形態によれば、インクタンク１０８に、電気配線基板１０５の幅よりも大きく、この電気配線基板１０５の厚さよりも深い配線固定部２１０が設けられた。本実施形態は、この構成によって、配線固定部２１０に固定された電気配線基板１０５の表面とインクタンク１０８の外周面である第３の平面部２１３とに良好な平面度を確保することができる。

そして、本実施形態によれば、電気配線基板１０５の側端面と配線固定部２１０の側壁との隙間は、電気接続パッドを被覆する封止剤１１２の毛細管現象によって自然に埋まる。このため、本実施形態は、追加部品を別途に設ける必要がなく、すなわち製造コストの低減を図り、キャップ当接部位１０７の平面度を良好に確保することができる。したがって、本実施形態によれば、インクジェット記録ヘッドの回復動作等で、キャップによってノズル列群１０２，１０３，１０４を気密に覆う際の信頼性を確保することができる。

また、本実施形態によれば、記録素子基板１１０の長手方向の一端側に電気接続パッドが設けられたことによって、記録素子基板１１０のフェイス面を外部に露出するための開口部を電気配線基板１０５に設ける必要がなくなる。このため、本実施形態は、記録素子基板１１０の長手方向の寸法が大きくなった場合であっても、記録素子基板１１０の大きさにかかわらずに、比較的小さな電気配線基板１０５を用いて電気信号の送受信が可能になる。

（第１の実施例）
図２は、図１におけるＡ−Ａ断面図であり、第１の実施例を示す図である。図３は、図１におけるＢ−Ｂ断面図である。本実施例では、厚さｔが０．１０ｍｍの電気配線基板１０５を用いた。電気配線基板１０５が固定される配線固定部２１０は、第２の平面部２１２の幅を電気配線基板１０５の幅よりも０．２ｍｍ程度大きく形成し、第３の平面部２１３からの深さｄを、０．２０ｍｍ程度に形成し、電気配線基板１０５の厚みよりも大きく形成した。また、インクタンク１０８は、熱可塑性樹脂材である例えば熱変形温度が１２０℃程度の変性ＰＰＥ樹脂材を用いて射出成型によって形成した。インクタンク１０８は、後述する接着層を硬化させる温度よりも熱変形温度が高い熱可塑性樹脂材によって形成されており、接着剤を硬化させる際にインクタンク１０８の変形が生じることない。

電気配線基板１０５の接着層２０６は、ゴム版による転写によって光硬化熱硬化樹脂からなる接着剤を塗布した。塗布時の光硬化熱硬化性樹脂からなる接着剤の厚さを０．１５ｍｍとした。続いて、ＵＶ光を照射して活性化させ、記録素子ユニットをインクタンク１０８の所定の位置に貼り付け、記録素子基板１１０に部分的に熱を与えて仮止めする。このように仮止めされた時点では、電気配線基板１０５の表面の高さは、インクタンク１０８の第３の平面部２１３よりもやや高くなっている。このような仮止め状態で、電気配線基板１０５を、平面度が確保された熱圧着ツールでインクタンク１０８の第３の平面部２１３をストッパーにして、接着層２０６での温度が８０℃になるように所定の温度に加熱された熱圧着ツールで数秒間だけ押圧した。これによって、インクタンク１０８の第３の平面部２１３と、配線固定部２１０に固定された電気配線基板１０５の表面とを実質的に同一面とみなせる、略同一面上に位置させるように形成することができた。同時に、配線固定部２１０と電気配線基板１０５とが光硬化熱硬化性樹脂からなる接着剤によって完全に接合された。

次に、ディスペンサを用いて電気接続パッドが露出しないように封止剤１１２を塗布した。流動性が比較的低い封止剤を用いる場合には、記録素子ユニットをインクタンク１０８に貼り付ける前に、封止剤を塗布しておいても良い。電気配線基板１０５の側端面と、配線固定部２１０の側壁との隙間１０６には、毛細管現象によって封止剤１１２が浸入し、隙間１０６が埋められた。最後に、電気配線基板１０５が固定される第２の平面部２１２に塗布された光硬化熱硬化性樹脂からなる接着剤や、封止剤１１２を完全に硬化させるために、１００℃で１時間の熱キュアを行った。

このようにして作製されたインクジェット記録ヘッド１０１のキャップ当接部位１０７は、上述したように平面度が良好に確保されていた。

（第２の実施例）
図４は、第２の実施例を示す断面図である。第２の平面部２１２には、図４に示すように、熱圧着ツールの平坦面を第３の平面部２１３に突き当てて、電気配線基板１０５を押圧したときに、配線固定部２１０内から溢れ出す接着層２０６が収容され充填される線状の溝３０１が設けられている。この溝３０１は、配線固定部２１０に配置された電気配線基板１０５の側端面と、配線固定部２１０の側壁との間隙１０６に対応する位置にそれぞれ設けられている。

本実施例は、第２の平面部２１２に溝３０１が設けられたことによって、インクジェット記録ヘッドの製造時に、配線固定部２１０から接着剤が溢れ出すことが抑えられる。このため、本実施例によれば、熱圧着ツールに付着した接着剤を除去するためのメンテナンス作業が不要となり、製造コストをさらに下げることが可能になる。

（第３の実施例）
図５は、第３の実施例を示す平面図である。図５に示すように、記録素子基板１１０の長手方向に直交する幅方向の両側の側面部と、記録素子基板１１０が固定される素子固定部２０９の側壁との間隙には、第２の封止剤４０１が充填され、素子固定部２０９が埋められている。本実施例の構成の場合には、電気接続パッドを被覆して封止する第１の封止剤（第１の封止部材）１１２には粘度が比較的高いものを用いて、第２の封止剤（第２の封止部材）４０１には粘度が比較的低いものを用いるのが好ましい。

本実施例のインクジェット記録ヘッドの製造方法は、以下のとおりである。記録素子基板１１０の電気接続パッドと、電気配線基板１０５のインナーリード１１１とを電気的に接続して構成された記録素子ユニットを用意する。また、幅が電気配線基板１０５の幅よりも僅かに大きくされ、かつ、インクタンク１０８の外周面である第３の平面部２１３からの深さが、電気配線基板１０５の厚さよりも僅かに大きく形成された第２の平面部２１２を有するインクタンク１０８を用意する。

インクタンク１０８の記録素子基板１１０が固定される第１の平面部２１１と、電気配線基板１０５が固定される第２の平面部２１２とに光硬化熱硬化性樹脂からなる接着剤をそれぞれ塗布し、この接着剤にＵＶ光を照射して活性化させる。

続いて、保持フィンガーで記録素子ユニットを保持した状態で、記録素子ユニットをインクタンク１０８の所定の位置に位置決めして、記録素子基板１１０に部分的に熱を与えて仮止めする。そして、この仮止め状態で、電気配線基板１０５を、加熱された熱圧着ツールが有する平坦面で、インクタンク１０８の第３の平面部２１３をストッパーにして所定時間だけ押圧した。これによって、インクタンク１０８の第３の平面部２１３と、配線固定部２１０に固定された電気配線基板１０５の表面とを略同一面上に位置させるように形成することができた。同時に、インクタンク１０８と電気配線基板１０５が光硬化熱硬化性樹脂からなる接着剤によって完全に接合された。

次に、ディスペンサを用いて第２の封止剤４０１を記録素子基板１１０の外周部の周囲にわたって塗布し、続いて第１の封止剤１１２を、同様にディスペンサを用いて、電気接続パッドが露出しないように塗布した。電気配線基板１０５の幅方向の側端面と、配線固定部２１０の側壁との隙間１０６には、毛細管現象によって第２の封止剤４０１が浸入し、この隙間１０６が埋められた。

最後に、電気配線基板１０５が固定される第２の平面部２１２に塗布した光硬化熱硬化性樹脂からなる接着剤や、第１および第２の封止剤１１２，４０１を完全に硬化させるため、１００℃で１時間の熱キュアを行なった。その後、インクタンク１０８のインク収容部内に、インクを保持して負圧を発生させる多孔質樹脂体を挿入し、この多孔質樹脂体にインクを所定量注入し、インク収容部の開口に蓋部材を接合して、インクジェット記録ヘッドが完成した。

このように作製されたインクジェット記録ヘッド１０１のキャップ当接部位１０７は、上述したように平面度が良好に保たれていた。

以上、３つの実施例で示した製造方法によって製造されたインクジェット記録ヘッドは、記録装置に搭載して各種の信頼性試験を行なったが、キャップの当接状態の不具合は全く発生せず、本発明の有効性が実証できた。

なお、本発明に係るインクジェット記録ヘッドは、一般的なインクジェット記録装置の他に、例えば、複写機、通信システムを有するファクシミリや、プリント部の他に画像読取機構部等を有する複合機の記録装置に適用することができる。さらに、本発明に係るインクジェット記録ヘッドは、各種処理装置と複合的に組み合わされた産業用の記録装置に適用することができる。

本実施形態のインクジェット記録ヘッドを示す平面図である。 実施形態のインクジェット記録ヘッドを示すＡ−Ａ断面図である。 実施形態のインクジェット記録ヘッドを示すＢ−Ｂ断面図である。 第２の実施例のインクジェット記録ヘッドを示す断面図である。 第３の実施例のインクジェット記録ヘッドを示す平面図である。 従来のインクジェット記録ヘッドを示す斜視図である。 従来のインクジェット記録ヘッドをフェイス面側から示す平面図である。

符号の説明

１０１ インクジェット記録ヘッド
１１３ ノズル
１０２，１０３，１０４ ノズル列群
１０５ 電気配線基板
１０６ 隙間
１０７ キャップ当接位置
１０８ インクタンク
１１０ 記録素子基板
１１２ 封止剤
２０６ 接着層
２０９ 素子固定部
２１０ 配線固定部
２１１ 第１の平面部
２１２ 第２の平面部
２１３ 第３の平面部
ｄ 深さ
ｔ 厚さ

Claims (3)

1. インクを吐出する吐出口群と該吐出口群にインクを供給するためのインク供給口とを有する記録素子基板と、該記録素子基板の外周部の一端側に設けられた電気接続部に一端部が電気的に接続される電気配線基板と、前記記録素子基板が収容されて固定される素子固定部が設けられると共に前記電気配線基板の前記一端部が固定される配線固定部が設けられた支持部材と、前記電気配線基板が電気的に接続された前記電気接続部を被覆する封止部材と、を備え、
   前記素子固定部は前記記録素子基板が固定される第１の平面部を有し、前記配線固定部は前記電気配線基板が接着剤を介して固定される第２の平面部を有し、前記支持部材の外周面には第３の平面部が形成され、前記記録素子基板の厚さ方向において前記第１、前記第２、前記第３の平面部の順に配置され、
   前記第２の平面部は、幅が前記電気配線基板の前記一端部の幅よりも大きく、前記第３の平面部からの深さが前記電気配線基板の厚さよりも大きくされた、インクジェット記録ヘッドの製造方法であって、
   前記記録素子基板の前記電気接続部と前記電気配線基板の前記一端部とを接合して記録素子ユニットを構成する工程と、
   前記素子固定部および前記配線固定部に前記接着剤を塗布する工程と、
   前記記録素子基板および前記電気配線基板の前記一端部を保持手段で保持して前記素子固定部および前記配線固定部に対してそれぞれ位置決めする工程と、
   前記記録素子ユニットを前記保持手段で保持した状態で前記支持部材の前記素子固定部および前記配線固定部に仮止めする工程と、
   前記電気接続部を前記封止部材で被覆して封止すると共に、前記配線固定部に配置された前記電気配線基板の幅方向の側端面と前記配線固定部の側壁との隙間に、前記封止部材を充填させる工程と、
   前記接着剤を硬化させる工程と、
   前記封止部材を硬化させる工程と、を有するインクジェット記録ヘッドの製造方法。
2. インクを吐出する吐出口群と該吐出口群にインクを供給するためのインク供給口とを有する記録素子基板と、該記録素子基板の外周部の一端側に設けられた電気接続部に一端部が電気的に接続される電気配線基板と、前記記録素子基板が収容されて固定される素子固定部が設けられると共に前記電気配線基板の前記一端部が固定される配線固定部が設けられた支持部材と、前記電気配線基板が電気的に接続された前記電気接続部を被覆する第１の封止部材と、前記素子固定部に配置された前記記録素子基板の側面と前記素子固定部の側壁との間に充填される第２の封止部材と、を備え、
   前記素子固定部は前記記録素子基板が固定される第１の平面部を有し、前記配線固定部は前記電気配線基板が接着剤を介して固定される第２の平面部を有し、前記支持部材の外周面には第３の平面部が形成され、前記記録素子基板の厚さ方向において前記第１、前記第２、前記第３の平面部の順に配置され、
   前記第２の平面部は、幅が前記電気配線基板の前記一端部の幅よりも大きく、前記第３の平面部からの深さが前記電気配線基板の厚さよりも大きくされた、インクジェット記録ヘッドの製造方法であって、
   前記記録素子基板の前記電気接続部と前記電気配線基板の前記一端部とを接合して記録素子ユニットを構成する工程と、
   前記素子固定部および前記配線固定部に前記接着剤を塗布する工程と、
   前記記録素子基板および前記電気配線基板の前記一端部を保持手段で保持して前記素子固定部および前記配線固定部に対してそれぞれ位置決めする工程と、
   前記記録素子ユニットを前記保持手段で保持した状態で前記支持部材の前記素子固定部および前記配線固定部に仮止めする工程と、
   前記接着剤を硬化させる工程と、
   前記配線固定部に配置された前記電気配線基板の幅方向の側端面と前記配線固定部の側壁との隙間に、前記第２の封止部材を充填させる工程と、
   前記電気接続部を前記第１の封止部材で被覆して封止する工程と、
   前記第１および第２の封止部材を硬化させる工程と、を有するインクジェット記録ヘッドの製造方法。
3. 前記接着剤を硬化させる工程は、加熱した熱圧着ツールが有する平坦面を、前記第３の平面部と前記電気配線基板とに跨って押し当てる、請求項１または２に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。

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