JP2008062463A - 液体吐出ヘッドおよび記録装置 - Google Patents

液体吐出ヘッドおよび記録装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2008062463A
JP2008062463A JP2006241391A JP2006241391A JP2008062463A JP 2008062463 A JP2008062463 A JP 2008062463A JP 2006241391 A JP2006241391 A JP 2006241391A JP 2006241391 A JP2006241391 A JP 2006241391A JP 2008062463 A JP2008062463 A JP 2008062463A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
recording element
element substrate
auxiliary opening
bank body
recording
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2006241391A
Other languages
English (en)
Inventor
Akira Goto
顕 後藤
Ryoichiro Kurobe
亮一郎 黒部
Hironori Tajima
裕基 但馬
Minoru Nozawa
実 野澤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP2006241391A priority Critical patent/JP2008062463A/ja
Publication of JP2008062463A publication Critical patent/JP2008062463A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

【課題】記録素子基板と電気配線基板との電気的な接続部分の封止構造を改善し、画像性能および吐出動作の信頼性、生産性を向上させる。
【解決手段】電気配線基板1001は、ノズル1103を露出させるデバイスホール102と、このデバイスホール102に近接する位置に設けられた補助開口101と、補助開口101とデバイスホール102とを仕切る堤体部103と、補助開口101内に突出されて延ばされ補助開口101内で記録素子基板1003の電気接続パッド1207に電気的に接続されるインナーリード1102とを有する。インナーリード1102は補助開口101内で封止剤1101によって被覆される。そして、堤体部103は、ノズル部材1208の少なくとも一部を覆うようにノズル部材1208の積層方向に対してノズル部材1208に近接して配置される。
【選択図】図2

Description

本発明は、インク等の液体を吐出して記録を行う記録装置に搭載される液体吐出ヘッドおよび記録装置に関する。
インクジェットプリンタ等の液体吐出方式の記録装置は、いわゆるノンインパクト記録方式の記録装置である。この記録装置は、高速な記録や、様々な記録メディアに対する記録が可能であるとともに、記録時における騒音がほとんど生じないという特徴を有するため、プリンタ、ワードプロセッサ、ファクシミリ、複写機等の記録装置として広く採用されている。
図8は、このようなインクジェット記録ヘッドの主要部を示し、図8(a)が、吐出面(フェイス面)側から示す斜視図、図8(b)が、フェイス面の反対側であるインクタンク側から示す斜視図である。図8に示すように、インクジェット記録ヘッド1000は、発熱抵抗体である電気熱変換体によってインクを加熱し、膜沸騰の作用によりインク滴を吐出させる記録素子基板1003を備えている。記録素子基板1003には、インクを吐出する複数のノズルを有するノズル部材が積層されて設けられている。また、インクジェット記録ヘッド1000は、記録素子基板1003に記録装置側の制御部(不図示)からの駆動信号等を印加する電気配線基板1001と、記録素子基板1003にインクを供給するインクタンク1010とを備えている。
インクタンク1010は、インクを保持して負圧を発生させる負圧発生機構(不図示)を有している。また、インクタンク1010には、インクジェット記録ヘッド1000を記録装置側に装着するときのガイド1002、突き当て基準1005、1006、1007がそれぞれ形成されている。また、蓋部材1011には、記録装置側のヘッドセットレバーが係合されることによって、キャリッジに装着された状態で固定するための係合部1008が設けられている。
図9は、フェイス面の周辺を拡大して示す平面図である。図9を参照してインクジェット記録ヘッドの製造方法の一例を述べる。インクタンク1010は、熱可塑性樹脂を射出成型することによって形成されている。インクタンク1010には、インク中の塵埃をろ過するステンレス繊維で形成されたフィルタ(不図示)を溶着する。一方、電気熱変換体、ノズルおよびインク供給口がパターニングされた記録素子基板1003の電気接続パッドと、電気配線基板1001のインナーリード1102とが電気的に接続された記録素子ユニットを用意する。インクタンク1010の記録素子基板1003が接合される面と、電気配線基板1001が貼り付けられる面にそれぞれ接着剤を塗布し、記録素子ユニットを所定の位置に貼り付ける。
次に、第1の封止剤1101をディスペンサーで、記録素子基板1003とインクタンク1010、電気配線基板1001によって構成された空間に塗布する。この空間内に第1の封止剤1101が充分に回り込んだ後、第2の封止剤1004で、記録素子基板1003の電気接続パッドと電気配線基板1001のインナーリード1102との接続部を封止する。接着剤や封止剤の種類によっては、熱キュアによって硬化させる。その後、インクを保持して負圧を発生させる多孔質樹脂材からなるインク吸収体(不図示)を挿入し、このインク吸収体にインクを所定量注入し、蓋部材1011を接合する。
図10は、図9におけるA−A断面図である。図10に示すように、電気配線基板1001は、インナーリード1102、ベースフィルム1201、配線1203を接着する接着剤1202、カバーフィルム1205を接着するための接着剤1204を備えている。また、記録素子基板1003は、シリコン基板1210、シリコン基板1210上にパターニングされた電気接続パッド1207、シリコン基板1210上にパターニングされたノズル部材1208の密着向上層1209を備えている。また、記録素子基板1003および電気配線基板1001は、それぞれ接着層1211、1206によって、インクタンク1010に接合されている。
ところで、この構成では、記録素子基板1003の側面周囲に充填する第1の封止剤1101としては、直接塗布することができないインナーリード1102の裏面側にも浸透するように、粘度が比較的小さい封止剤が使用される。これに対してインナーリード1102の表面側を封止する第2の封止剤1004としては、複数のノズル1004を有するノズル部材1208のフェイス面上に過度に広がらないように、粘度が比較的高く、流動性が比較的低い封止剤が使用される。加えて、第2の封止剤1004には、外力に対する剛性も必要とされている。
このように、記録素子基板と電気配線基板との電気的な接続部分を封止剤等で被覆する構成としては、特許文献1、2、3に開示されている。
特開平10−000776号公報 特開2001−130001号公報 特開平08−048042号公報
ところで、記録装置において、記録ヘッド1000と被記録材との間隔は、両者が接触しないように、一般的に2mm程度の間隔を空けている。しかしながら、電気配線基板1001上に設けられた第2の封止剤1004のノズル部材1208の積層方向の膨出量が大きくなるほど、ノズル部材1208と被記録材の主面との間隔を大きく確保する必要があり、これに伴って画像性能の低下を招く。
また、2種類の封止剤を用いる構成では、材料コストの増加を招くという未解決の課題があった。
また、第2の封止剤は、粘度が比較的高く、流動性が比較的低い封止剤であっても、封止剤がノズル部材1208のフェイス面上を流れ込んで硬化する位置を制御するのは困難である。記録ヘッドの吐出特性を回復する際に、ノズル近傍に付着したインクを拭き取るワイパー部材が動作する領域にまで封止剤が流れてしまった場合には、インクの拭き残しが生じ、特出特性の信頼性を損なってしまう。
また、工程条件等で第2の封止剤がノズル部材1208側に流れ込んで停止する位置を制御しようとした場合、条件の設定等に大幅な時間を要し、生産性の低下を招く。
そこで、本発明は、記録素子基板と電気配線基板との電気的な接続部分の封止構造を改善し、画像性能および吐出動作の信頼性、生産性を向上させることができる液体吐出ヘッドおよび記録装置を提供することを目的とする。
上述した目的を達成するため、本発明に係る液体吐出ヘッドは、液体を吐出するノズルを有するノズル部材が積層された記録素子基板と、この録素子基板と電気的に接続される電気配線基板とを備える。電気配線基板は、ノズルを露出させる開口部と、この開口部に近接する位置に設けられた補助開口と、この補助開口と開口部とを仕切る堤体部と、補助開口内に突出されて延ばされ補助開口内で記録素子基板の電極部に電気的に接続される配線部材とを有する。配線部材は補助開口内で封止剤によって被覆される。そして、堤体部は、ノズル部材の少なくとも一部を覆うようにノズル部材の積層方向に対してノズル部材に近接して配置される。
本発明によれば、電気配線基板に、ノズルが露出される開口部と、記録素子基板と電気配線基板の電気的な接続部分に対応して形成された補助開口とが互いに独立して設けられることで、封止剤の塗布性、接着性が改善され、ノズル部材の積層方向に対する封止剤の膨出量を小さくすることができる。したがって、本発明によれば、記録品位を大幅に向上させることができる。
また、本発明は、開口部と補助開口とを仕切る堤体部を、記録素子基板側に近づく方向に湾曲させることによって、記録素子基板と堤体部との間隙による毛細管現象を利用して堤体部の下方に封止剤を確実に充填させることができ、電気的な接続部分の信頼性を向上させることができる。
以下、本発明の具体的な実施形態について、図面を参照して説明する。
(第1の実施形態)
図1に、本実施形態のインクジェット記録ヘッドの平面図を示す。図1に示すように、インクジェット記録ヘッド1000は、インクを吐出する複数のノズル(吐出口)1103を有するノズル部材1208およびインクを吐出するためのエネルギー発生素子(不図示)が設けられた記録素子基板1003を備えている。また、インクジェット記録ヘッド1000は、インクが収容されたインクタンク1010を備えている。また、このインクジェット記録ヘッド1000は、記録素子基板1003と記録装置側の制御部(不図示)との電気信号の送受信に係わる電気配線基板1001を備えている。
電気配線基板1001には、記録素子基板1003における複数のノズル1103が配列された吐出面(以下、フェイス面と称する。)の大部分を露出させる開口部としてのデバイスホール102が設けられている。また、電気配線基板1001には、電気配線基板1001と記録素子基板1003との電気的な接合部分に対応する位置に補助開口101が設けられている。電気配線基板1001には、デバイスホール102と補助開口101とが隣接して設けられており、これらデバイスホイール102と補助開口101とを仕切る帯状の堤体部103が設けられている。
補助開口101内には、電気配線基板1001の配線部材としてのインナーリード1102が突出されて延ばされており、このインナーリード1102の一端が、記録素子基板1003の電極部としての電気接続パッド1207に接合されている。
図2は、図1に示したインクジェット記録ヘッドを示す斜視図である。デバイスホール102と補助開口101とを仕切る堤体部103は、図2に示すように、記録素子基板1003側に近づく方向に湾曲されている。
図3は、図1におけるB−B断面図であり、B−B断面図が示す中央部で、電気配線基板1001のベースフィルム1201からなる堤体部103は、記録素子基板1003側に近づく方向に湾曲されている。図3に示すように、堤体部103の長手方向の中央部は、シリコン基板1210上にパターニングされたノズル部材1208に近接されており、封止剤1101が堤体部103の長辺方向に平行に側端部で精度良く停止される。
Figure 2008062463
ここで、図3に示した堤体部103とノズル部材1208との間の、ノズル部材1208の積層方向に対する隙間をKとし、封止剤1101の堤体部103の側端部からデバイスホール102内への最大はみ出し量をLとする。表1に、隙間Kとはみ出し量Lとの関係を示す。表1に示すように、隙間Kが小さいほど封止剤1101の最大はみ出し量Lを抑えることができ、かつ精度良くはみ出し量Lを制御することができる。
さらに、本実施形態は、従来のインクジェット記録ヘッドと異なり、粘度が比較的高い封止剤を用いていないので、本実施形態では、封止剤1101が、図10に示した第2の封止剤1004のように盛り上がっていない。このため、本実施形態によれば、記録装置側のキャリッジに装着した際に、インクジェット記録ヘッドのフェイス面と被記録材の主面との間の距離を小さく抑えることが可能となる。
そして、堤体部103は、記録素子基板1003のフェイス面上に接着されている。また、記録素子基板1003のフェイス面は、必要に応じて撥水処理が施されていても良い。さらに、記録素子基板1003の周囲、および記録素子基板1003とインナーリード1102の一端との電気的な接合部分は、同じ封止剤1101で封止されている方が好ましい。
以下、インクジェット記録ヘッドの製造方法について説明する。記録素子基板1003の電気接続パッド1207と、電気配線基板1001のインナーリード1102の一端とを電気的に接続された記録素子ユニットを用意する。インクタンク1010には、記録素子基板1003が接合される面、および電気配線基板1001が貼り付けられる面にそれぞれ接着剤1211,1206が塗布され、記録素子ユニットが所定の位置に貼り付けられる。
次に、例えばディスペンサー等を用いて、封止剤1101をデバイスホール102内の、記録素子基板1003とインクタンク1010、電気配線基板1001によって構成される空間に塗布する。封止剤1101の塗布量と、塗布後の放置時間を管理することで、補助開口101内の記録素子基板1003の電気接続パッド1207と、電気配線基板1001のインナーリード1102の一端との電気的な接合部も封止剤1101で満たされて覆われる。
なお、比較的短時間で補助開口101内も封止剤1101で封止する必要がある場合には、補助開口101内に封止剤1101を塗布しても良い。接着剤や封止剤の種類によっては、塗布した後に、熱キュアリング処理によって硬化させる。その後、インクタンク1010内には、インクを保持して負圧を発生させる多孔質樹脂材からなるインク吸収体(不図示)が挿入され、このインク吸収体に所定量のインクを注入し、蓋部材1011が接合される。
本実施形態のインクジェット記録ヘッドによれば、電気配線基板1001に、ノズルが露出されるデバイスホール102と、記録素子基板1003と電気配線基板1001との電気的な接続部分に対応して形成された補助開口101とが互に独立して設けられる。これによって、このインクジェット記録ヘッドによれば、封止剤1101の塗布性、接着性が改善され、また、ノズル部材1208の積層方向に対する封止剤1101の膨出量を小さくすることができる。このため、本実施形態は、インクジェット記録ヘッドのフェイス面と被記録材の主面との間の距離を小さくすることが可能になり、記録品位を大幅に向上させることができる。
また、本実施形態によれば、デバイスホール102と補助開口101とを仕切る堤体部103が、記録素子基板1003側に近づく方向に湾曲されている。これによって、本実施形態は、記録素子基板1003と堤体部103との間隙による毛細管現象を利用して堤体部103の下方に封止剤1101を確実に充填させることができ、電気的な接合部分の信頼性を向上させることができる。
さらに、本実施形態によれば、デバイスホール102と補助開口101とを仕切る堤体部103を記録素子基板1003側に湾曲させた形状に形成することによって、毛細管現象を利用して堤体部103の下方に封止剤1101が充填される。このため、本実施形態は、相対的に大きな空間であるデバイスホール102で封止剤1101の流れ込みが良好に停止する。したがって、ノズル部材1208上における封止剤1101の位置が厳密に定まり、塗布工程の稼働率、ひいては製造コストの削減につながる。さらに、本実施形態によれば、ノズル部材1208上をノズル付近まで流れ込んだ封止剤によってワイパー部材による拭き取りが妨げられることもなく、吐出特性の信頼性を向上することができる。
また、本実施形態によれば、従来より用いられていた2つの封止剤を、1つの封止剤のみで良好に封止することが可能となり、材料コストを削減することができる。
(第2の実施形態)
上述した実施形態では、堤体部103が、記録素子基板1003の主面側に近づく方向に湾曲された構造に形成されていることを前提とした。しかしながら、実際には堤体部103の幅と長さ、電気配線基板1001のベースフィルムの厚さや、製造条件などによって、必ずしも上述のように堤体部103が湾曲されない場合がある。
このような場合には、堤体部103を記録素子基板1003側に近づく方向に強制的に湾曲させた形状に構成する必要がある。
図4は、第2の実施形態を示す斜視図である。図4に示すように、インナーリード402は、堤体部103から補助開口101内に突出されて延ばされ、一端が記録素子基板1003上の電気接続パッド401に接合されている。この構成によって、堤体部103を、記録素子基板1003側に湾曲させた形状に構成することが可能になる。この構成の場合、電気接続パッド401としては、インクジェット記録ヘッドの駆動や信号のやり取りとは関係がない、電気的に孤立したダミーの接続パッドであってもよく、また、実際に信号をやり取りする接続パッドであってもよい。
図5は、図4におけるC−C断面図である。図5に示すように、堤体部103は、ベースフィルム1201と、配線1203を接着する接着剤1202と、堤体部103から補助開口101内に延ばされたインナーリード402とを有して構成されている。インナーリード402の一端と電気接続パッド401が接合されることによって、堤体部103は、インナーリード402に引っ張られ、記録素子基板1003側に近づく方向に湾曲された形状になる。この構成の場合も、デバイスホール102側に流れ込む封止剤1101は、堤体部103の側端部で精度良く停止する。
堤体部103から補助開口101内に突出されて延ばされて記録素子基板1003上の電気接続パッド401に接合されるインナーリード402は、堤体部103の長辺方向の略中央部に1本だけ設けられる構成でもよい。また、このインナーリード402は、堤体部103の長辺方向の略中央部に対して、長手方向に略対称な位置にそれぞれ一対のインナーリードが偶数本設けられる構成であってもよい。また、堤体部103の長辺方向の略中央部に1本のインナーリードが設けられるとともに略中央部に対して長手方向に略対称な位置に各一対のインナーリードが偶数本設けられる構成であってもよい。
また、堤体部103から補助開口101内に突出されて延ばされた記録素子基板1003上の電気接続パッド401に接合されるインナーリード402は、実際に電気信号をやり取りに用いられるものでもよい。なお、この構成の場合、インナーリード402は、記録素子基板1003の接地電極に電気的に接続される共通のグランド信号線であるのが好ましい。
(第3の実施形態)
堤体部103を強制的に記録素子基板1003側に湾曲させた形状に構成することができる、他の実施形態について説明する。図6は、第3の実施形態を示す斜視図である。図7は、図6におけるD―D断面図である。
図6および図7に示すように、インナーリード602は、通常のインナーリードと同様に、補助開口101を跨いで延ばされており、その一端が堤体部103に接合されている。また、インナーリード602の中途部は、記録素子基板1003上の電気接続パッド601に電気的に接続されている。図7に示すように、堤体部103は、ベースフィルム1201、配線1203を接着する接着剤1202と、堤体部103に一端が接合されているインナーリード602とを有して構成されている。
したがって、堤体部103は、インナーリード602の一端に連結されているため、インナーリード602を介して、記録素子基板1003側に引っ張られている。これによって堤体部103を記録素子基板1003側に近づく方向に湾曲させた形状に構成することが可能となる。この構成の場合も、デバイスホール102側に流れ込む封止剤1101は、堤体部103の側端部で精度良く停止する。
なお、堤体部103に接合される複数のインナーリード602の全てが、上述した構成のように、中途部が記録素子基板1003側に接合される構成が採られてもよく、複数のインナーリード602の一部のみに上述した構成が採られてもよい。
なお、本発明に係るインクジェット記録ヘッドは、一般的な記録装置の他に、複写機、通信システムを有するファクシミリや、プリント部の他に画像読取機構部等を有する複合機の記録装置に用いられて好適である。さらに、本発明に係るインクジェット記録ヘッドは、各種処理装置と複合的に組み合わされた産業用の記録装置に用いられても好適である。
本実施形態のインクジェット記録ヘッドを示す平面図である。 第1の実施形態のインクジェット記録ヘッドを示す斜視図である。 図2におけるB−B断面図である。 第2の実施形態のインクジェット記録ヘッドを示す斜視図である。 図4におけるC−C断面図である。 第3の実施形態のインクジェット記録ヘッドを示す斜視図である。 図6におけるD−D断面図である。 従来のインクジェット記録ヘッドを示す斜視図である。 従来のインクジェット記録ヘッドをフェイス面側から示す平面図である。 図9におけるA−A断面図である。
符号の説明
101 補助開口
102 デバイスホール
103 堤体部
1000 インクジェット記録ヘッド
1001 電気配線基板
1003 記録素子基板
1101 封止剤
1102 インナーリード
1103 ノズル
1207 電気接続パッド
1208 ノズル部材

Claims (12)

  1. 液体を吐出するノズルを有するノズル部材が積層された記録素子基板と、該録素子基板と電気的に接続される電気配線基板とを備え、
    前記電気配線基板は、前記ノズルを露出させる開口部と、該開口部に近接する位置に設けられた補助開口と、該補助開口と前記開口部とを仕切る堤体部と、前記補助開口内に突出されて延ばされ前記補助開口内で前記記録素子基板の電極部に電気的に接続される配線部材とを有し、前記配線部材が前記補助開口内で封止剤によって被覆され、
    前記堤体部は、前記ノズル部材の少なくとも一部を覆うように前記ノズル部材の積層方向に対して前記ノズル部材に近接して配置されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
  2. 前記堤体部は、前記記録素子基板側に近づく方向に湾曲されている請求項1に記載の液体吐出ヘッド。
  3. 前記配線部材の少なくとも1つは、前記堤体部から前記補助開口内に突出されて延ばされて、前記記録素子基板に電気的に接続され、該配線部材によって前記堤体部が前記記録素子基板側に近づく方向に湾曲されている、請求項1または2に記載の液体吐出ヘッド。
  4. 前記堤体部から前記補助開口内に突出されて延ばされた前記配線部材は、前記記録素子基板の前記電極部に電気的に接続されている、請求項3に記載の液体吐出ヘッド。
  5. 前記堤体部から前記補助開口内に突出されて延ばされた前記配線部材が電気的に接続される前記記録素子基板の前記電極部の少なくとも1つは、電気的に孤立している、請求項1ないし4のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。
  6. 前記堤体部から前記補助開口内に突出されて延ばされた前記配線部材の少なくとも1つは、前記記録素子基板の接地電極に接続されている、請求項1ないし4のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。
  7. 前記配線部材の少なくとも1つは、前記補助開口を跨いで前記堤体部まで延ばされて前記堤体部に接合され、該堤体部まで延ばされた該配線部材の中途部が前記記録素子基板に電気的に接続され、該配線部材によって前記堤体部が前記記録素子基板側に近づく方向に湾曲されている、請求項1に記載の液体吐出ヘッド。
  8. 前記補助開口を跨いで前記堤体部まで延ばされた前記配線部材は、前記記録素子基板の前記電極部に電気的に接続されている、請求項7に記載の液体吐出ヘッド。
  9. 前記補助開口を跨いで前記堤体部まで延ばされた前記配線部材が電気的に接続される前記記録素子基板の前記電極部の少なくとも1つは、電気的に孤立している、請求項1または7に記載の液体吐出ヘッド。
  10. 前記補助開口を跨いで前記堤体部まで延ばされた前記配線部材の少なくとも1つは、前記記録素子基板の接地電極に接続されている、請求項1、7、8のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。
  11. 前記堤体部は、帯状に形成され、長辺方向の中央部、または中央部に対して前記長手方向の対称な一対の位置の少なくともいずれか一方で、前記配線部材の一端が前記堤体部に接合されている、請求項1ないし10のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。
  12. 請求項1ないし11のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドを備え、前記液体吐出ヘッドによって被記録材にインクを吐出して記録を行う記録装置。
JP2006241391A 2006-09-06 2006-09-06 液体吐出ヘッドおよび記録装置 Pending JP2008062463A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006241391A JP2008062463A (ja) 2006-09-06 2006-09-06 液体吐出ヘッドおよび記録装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006241391A JP2008062463A (ja) 2006-09-06 2006-09-06 液体吐出ヘッドおよび記録装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2008062463A true JP2008062463A (ja) 2008-03-21

Family

ID=39285588

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006241391A Pending JP2008062463A (ja) 2006-09-06 2006-09-06 液体吐出ヘッドおよび記録装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2008062463A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2010143565A1 (en) * 2009-06-09 2010-12-16 Canon Kabushiki Kaisha Liquid discharge recording head and method of manufacturing the same
CN104228346A (zh) * 2013-06-18 2014-12-24 佳能株式会社 液体排出头
JP2015123673A (ja) * 2013-12-26 2015-07-06 ブラザー工業株式会社 液体吐出ヘッド

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2010143565A1 (en) * 2009-06-09 2010-12-16 Canon Kabushiki Kaisha Liquid discharge recording head and method of manufacturing the same
JP2010284813A (ja) * 2009-06-09 2010-12-24 Canon Inc 液体吐出記録ヘッドおよびその製造方法
JP4732535B2 (ja) * 2009-06-09 2011-07-27 キヤノン株式会社 液体吐出記録ヘッドおよびその製造方法
CN102458862A (zh) * 2009-06-09 2012-05-16 佳能株式会社 液体排出记录头及其制造方法
US8678556B2 (en) 2009-06-09 2014-03-25 Canon Kabushiki Kaisha Liquid discharge recording head and method of manufacturing the same
CN102458862B (zh) * 2009-06-09 2014-10-01 佳能株式会社 液体排出记录头及其制造方法
CN104228346A (zh) * 2013-06-18 2014-12-24 佳能株式会社 液体排出头
US9487004B2 (en) 2013-06-18 2016-11-08 Canon Kabushiki Kaisha Liquid discharge head
JP2015123673A (ja) * 2013-12-26 2015-07-06 ブラザー工業株式会社 液体吐出ヘッド

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3592172B2 (ja) インクジェット記録ヘッドの製造方法、該製法によって製造されたインクジェット記録ヘッド及び該インクジェット記録ヘッドを搭載したインクジェット記録装置
TWI273982B (en) Droplet ejection head and droplet ejection apparatus
JP3151903B2 (ja) インクジェット記録ヘッド、及び記録装置
JP3728210B2 (ja) インクジェットヘッドおよびその製造方法、インクジェット記録装置
US20080291243A1 (en) Ink jet print head, method for manufacturing ink jet print head, and printing apparatus
JP2010023341A (ja) インクジェット記録ヘッド
JP5495504B2 (ja) インクジェット記録へッドの製造方法
JP4620955B2 (ja) 液体流路部材および液体噴出装置
JP4994967B2 (ja) インクジェット記録ヘッドの製造方法
JP2010046853A (ja) インクジェット記録ヘッド
JP2008062463A (ja) 液体吐出ヘッドおよび記録装置
EP2815883B1 (en) Liquid discharge head
JP2007301886A (ja) インクジェット式プリントヘッドおよびその製造方法
JP3679740B2 (ja) インクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録装置
JP2007190684A (ja) ヘッドユニットおよび液体吐出装置
US8998380B2 (en) Liquid ejecting head, liquid ejecting apparatus
JP4457583B2 (ja) インクジェットヘッド及びそれを使用した液滴吐出装置
JPH09300633A (ja) インクジェットヘッド
JP5284488B2 (ja) 記録ヘッドおよびその製造方法
JP2009143014A (ja) 液滴吐出ヘッド、インクカートリッジおよびインクジェット装置
JP2003237073A (ja) 液体吐出ヘッド、液体吐出ヘッドの製造方法、および液体吐出記録装置
JP4455555B2 (ja) 液体吐出記録ヘッド及びその製造方法
JP2006082269A (ja) 液体吐出記録ヘッドおよび液体吐出記録装置
JP2008049521A (ja) 液体吐出記録ヘッド
JPH1044442A (ja) 液体吐出ヘッド、液体吐出ヘッドの製造方法、液体吐出装置、および記録システム