JP4553348B2 - インクジェット記録ヘッド - Google Patents

Description

本発明はインクジェット記録ヘッドの構成に関し、特に、インクを吐出するエネルギー発生素子が配された基板の放熱に関する。

インクジェット記録装置の記録手段（インクジェット記録ヘッド）の前面にはインク滴を吐出するための大きさ数十μｍ程度の吐出口（通常複数個）が形成されている。そして、ホスト機から送られてくる記録データをもとに記録装置内で処理された吐出信号に基づいて、前記吐出口からインク滴が吐出され、被記録材上に画像（文字や記号も含む）が記録される。

インクジェット記録ヘッドの代表的なものとしては、電気熱変換素子を用いたものがある。この方式は、記録ヘッドにおけるインク吐出口近傍のインク路に電気熱変換素子を設け、これに記録信号に応じた電気パルスを印可することによって生ずる熱エネルギーを利用してインクに気泡を生じさせ、この気泡の圧力によってインク吐出口からインクを吐出するものである。

インクジェット記録ヘッドの構成としては特許文献１（特開平１０−１１９２９２号公報）に記載されるものがある。該公報には樹脂の支持部材にアルミニウム系合金材料をインサート成型することで放熱性の良いものが開示されている。また、特許文献２（米国特許第６００７１７６号）には電気熱変換素子を配置した記録素子基板を放熱フィン上にマウントすることで放熱性を高めたものが開示されている。さらに、特許文献３（特開２００２−１８７２７３号公報）には、フレキシブル配線シートに設けられたリード電極と記録素子が配された基板に設けられた基板側電極とをボンディングする構成で、記録信号の授受を行なわないダミーのリード電極と基板側電極とをボンディングすることで、基板へのフレキシブル配線シートの固定補強を行なう発明が開示されている。
特開平１０−１１９２９２号公報 米国特許第６００７１７６号 特開２００２−１８７２７３号公報

従来のインクジェット記録ヘッドの構成としては、放熱性が良いものとして挙げた特許文献１および特許文献２に記載されたものも含めて、いずれも、記録素子基板からの放熱は主に基板の接着面である裏面より接着材層を介して行われているが、通常、基板の接着剤の熱伝導性は金属よりも極めて劣る。

特許文献３に記載されたものでは、ダミーのリード電極を介しての放熱が行なわれるが、リード電極は、基板へのフレキシブル配線シートの固定補強を目的として設けられるものであり、放熱量が十分なものとはいえない。

一方、近年のインクジェット記録ヘッドはその高速化・高密度化により発熱量が増加しており、この発熱量の増加に対してインクジェット記録ヘッドにはさらなる放熱性の向上が望まれている。 本発明は上述したような従来技術が有する課題に対してなされたものであり、より放熱性が向上されたインクジェット記録ヘッドを実現することを目的とする。

本発明によるインクジェット記録ヘッドは、インク滴を吐出する複数のインク吐出口を含むインク吐出口列を備えるオリフィスプレートと、インク滴を吐出するために利用される熱エネルギーを発生する複数の電気熱変換素子が前記インク吐出口に対応して配された基板と、を有する記録素子基板を備えるインクジェット記録ヘッドにおいて、
前記基板の外周における対向する短辺の夫々に設けられた、前記複数の電気熱変換素子に対して電気信号を供給するための複数の電気配線電極と、
前記基板の外周における対向する長辺の夫々に、前記インク吐出口列に沿って設けられた、前記複数の電気熱変換素子に対しての電気信号の供給には使用されない複数のサブ電極と、
前記記録素子基板が覗く開口と、該開口の内周における対向する短辺の夫々に形成される、前記複数の電気配線電極と接続するための複数の電気配線電極端子と、該電気配線電極端子に電気的に導通する配線パターンを有する第１のシートと、
前記記録素子基板が覗く開口と、該開口の内周における対向する長辺の夫々に形成される、前記複数のサブ電極と接続するための複数のサブ電極端子と、該サブ電極端子に電気的に導通する配線パターンを有する第２のシートと、
を有し、
前記複数のサブ電極の総面積は前記複数の電気配線電極の総面積より大きく、
前記第２のシートの配線パターンを形成する導通領域の面積は、前記第１のシートの配線パターンを形成する導通領域の面積より大きく、前記第１のシートと前記第２のシートを上下に重ねるように配置された配線シートを備えたことを特徴とする。
上記のように構成される本発明において、吐出エネルギー発生素子が設けられる基板からの熱を、基板に設けられた電気配線電極とサブ電極とを介して上下に重ねるように配置された第１のシートと第２のシートとにそれぞれ伝えることにより、より一層放熱性が向上したものとなる。

上記のように構成される本発明によれば、記録動作によって発生した熱をより効率良く記録素子基板から逃がすことで安定した動作が可能なインクジェット記録ヘッドを提供することができる。

以下、図面を参照して本発明に係るインクジェット記録ヘッドの実施形態について説明する。

（第１実施形態）
図１は本発明の第１の実施形態のインクジェット記録ヘッド１０１を示す図である。記録素子基板１は支持部材である容器９に接着剤を介して固定されており、フレキシブル配線基板２と電気的に接続されている。記録素子基板１とフレキシブル配線基板２の接続部は封止剤３で保護されている。フレキシブル配線基板２も記録素子基板１と同様に支持部材である容器９に接着剤を介して固定されている。

図２（ａ），（ｂ）は記録素子基板１の概略構成を示す上面図および断面図であり、図２（ｂ）は図２（ａ）におけるＡ−Ａ矢視断面を拡大して示す図である。

記録素子基板１は、オリフィスプレート１１と基板１２との二層構造を成し、複数のインク路１４を形成している。オリフィスプレート１１には各インク路１４に対応してインク吐出口１７が設けられており、これらインク吐出口１７は１列あたり３００ｄｐｉで２列設けられている。基板１２は幅４.８ｍｍ×長さ１７ｍｍ×厚さ０.６２５ｍｍの大きさで、中央部には各インク路１４にインクを供給するための供給口１３、および各インク路１４に対応した電気熱変換素子（不図示）、更には外周に複数の電極１６ａおよび複数の電極１６ｂが設けられている。電気配線電極である複数の電極１６ａは正方形状でインクジェット記録装置本体側からの記録信号等の電気信号を入力するためのものであり、サブ電極である複数の電極１６ｂは長方形状で基板１２のベース層に接続したものであり、記録信号を受けて電気熱変換素子を駆動するためのものではない。これら電極１６ａおよび１６ｂはメッキのパターニング技術を用いて形成されている。

記録素子基板１は図示されるように長方形状とされているが、その対向する短辺には電極１６ｂのみが配置され、長辺には電極１６ｂの間に２つの電極１６ａが配置されるように等間隔かつ規則的に配設されている。

図３（ａ），（ｂ）はフレキシブル配線基板２の概略構成を示す上面図および断面図であり、図３（ｂ）は図３（ａ）におけるＢ−Ｂ矢視断面を示す図である。

開口２１は、フレキシブル配線基板２が記録素子基板１とともに容器９に取り付けられたときに（図１参照）、記録素子基板１が覗くように設けられたもので、開口２１の内周には記録素子基板１に設けられた複数の電極１６ａと接合する複数の端子（電気配線電極端子）２２ａと、同じく記録素子基板１に設けられた複数の電極１６ｂと接合する複数の端子（サブ電極端子）２２ｂとが突設されている。複数の電極パッド２３は複数の端子２２ａのそれぞれと個別に対応しており、インクジェット記録装置本体からの電気信号を受け取り、記録素子基板１へ伝える役割をする。端子２２ａは幅１００μｍ、端子２２ｂは幅２００μｍでどちらも長さは１ｍｍである。

図３（ｂ）に示すようにフレキシブル配線基板２は上下に重ねるように配置された２つの配線シートを備えた構成をしており、基材２４ａと基材２４ｂの間には第２の配線シート２５ｂを設けるためのスペースが形成され、更にそのスペースには配線シート２５ｂと接続した複数の端子２２ｂの他、記録の実行に用いる端子２２ａとその配線シート２５ａとの接続部近傍部分とが設けられている。そして、基材２４ａと基材２４ｂとを接着する接着剤２７がそのスペースを埋めている。また、基材２４ｂと保護材２６との間には第１の配線シート２５ａを設けるためのスペースが形成され、その隙間は基材２４ｂと保護材２６とを接着する接着剤２８が埋めている。基材２４ａおよび基材２４ｂはポリイミド樹脂からなり、それぞれ厚さが２５μｍおよび５０μｍである。上記の端子および配線パターンは銅箔からなり、厚さはそれぞれ第２の配線シート２５ｂが７０μｍ、第１の配線シート２５ａが３５μｍである。複数の電極端子２２ａ、２２ｂおよび複数の電極パッド２３表面の露出部は金メッキされている。ここで図示していないが、配線シート２５ｂはフレキシブル基板２内で配線シート２５ａに形成された配線パターンのうちの電源ＧＮＤラインと電気的に接続している。

図４は記録素子基板１とフレキシブル配線基板２の接続状態を模式的に示す断面図である。記録素子基板１は容器９にエポキシ樹脂の接着剤１０により接着されている。ここで本実施形態における放熱の仕組みについて説明する。

まずは、接着剤１０を経て記録素子基板１から容器９に熱が伝わる経路（１）を考える。接着剤１０の厚みは０.２ｍｍ、記録素子基板１の裏面の接着面積はおおよそ３２ｍｍ²であり、エポキシ樹脂の熱伝導率は０.２Ｗ/ｍＫ程度であるので、接着剤１０を経て記録素子基板１から容器９に伝わる経路の熱伝導度は０.０３２Ｗ/Ｋである。

次に、端子２２ｂを経てフレキシブル配線基板２に熱が伝わる経路（２）を考える。電極端子２２ｂの断面積は０.２ｍｍ×０.０７ｍｍ＝０.０１４ｍｍ²、記録素子基板１の電極１６ｂとの接点からフレキシブル配線基板２の配線シート２５ａまでの距離はおよそ１ｍｍ、端子２２ｂは合計１００本ある。銅の熱伝導度は４００Ｗ/ｍＫ程度なので、この経路での熱伝導度は０.５６Ｗ/Ｋとなり、経路（１）の１７.５倍となる。

経路（１）を伝わる熱は、熱伝導率１Ｗ/ｍＫ未満である樹脂部材の容器９を伝わっていかなければならないのに対し、経路（２）では熱伝導率４００Ｗ/ｍＫの銅の配線シート２５ｂに形成された配線パターンを伝わるので、すぐにフレキシブル配線基板２の全面に伝わり、基材２４ａを経て大気中に効率よく放熱される。このため、配線シート２５ｂについていうと、その全ての面をベタ配線とすることが好ましい。

その他の経路としては、封止剤３を経るものもあるが、これにより伝わる熱は経路（１）、経路（２）により伝わる熱と比較すると極端に値が小さいのでここでは述べる必要もない。また、電極端子２２ａを介してフレキシブル配線基板２に伝わる経路もあるので、実際にフレキシブル配線基板２からの放熱量は上記の見積もりよりもさらに大きな値となる。ただし、図３（ａ）に示されるように、配線シート２５ａにおける導通領域（配線パターン）は配線シート２５ｂに比較すると小さなものであり、配線シート２５ｂの全ての面をベタ配線とした場合には配線シート２５ｂの導通領域がはるかに大きなものとなり、経路（２）により伝わる熱が支配的となる。

本実施形態では、複数の電極１６ｂを長方形状とし、複数の端子２２ｂが接続しているが、各端子２２ｂに対応した正方形状のものでも同様の作用がある。また、長辺には電極１６ｂの間に２つの電極１６ａが配置されるように等間隔かつ規則的に配設されているが、必ずしも電極１６ｂの間に電極１６ａを２つ配置する必要はなく、しかも等間隔かつ規則的に配置していなくても同様の作用がある。

（第２実施形態）
次に、本発明の第２の実施形態について説明する。

本実施形態は、図１に示したインクジェット記録ヘッド１０１と同じ形態のものであり、フレキシブル配線基板の構成のみが異なる。図５（ａ），（ｂ）は本実施形態でのフレキシブル配線基板２’の概略構成を示す上面図および断面図であり、図５（ｂ）は図５（ａ）におけるＣ−Ｃ矢視断面を示す図である。

開口２１は、フレキシブル配線基板２’が記録素子基板１とともに容器９に取り付けられたときに（図１参照）、記録素子基板１が覗くように設けられたもので、開口２１’の内周には、記録素子基板１に設けられ記録信号等の電気信号の供給に関わる複数の電極１６ａと接合する複数の端子２２ａ’と、記録素子基板に設けられてはいるものの電気信号の供給には関わらない複数の電極１６ｂと接合する複数の端子２２ｂ’とが突設されている。複数の電極パッド２３’は複数の端子２２ａ’に個別に対応しており、インクジェット記録装置本体からの電気信号を受け取り、記録素子基板１へ伝える役割をする。端子２２ａ’は幅１００μｍ、端子２２ｂ’は幅２００μｍでどちらも長さは１ｍｍである。

図５（ｂ）に示すように、フレキシブル配線基板２’は上下に重ねるように配置された２つの配線シートを備えた構成をしており、基材２４ａ’と基材２４ｂ’の間には第２の配線シート２５ｂ’を設けるためのスペースが形成され、更にそのスペースには配線シート２５ｂ’と接続した複数の端子２２ｂ’が設けられている。そして、基材２４ａ’と基材２４ｂ’とを接着する接着剤２７’がそのスペースを埋めている。また、基材２４ｂ’と保護材２６’との間には第１の配線シート２５ａ’を設けるためのスペースが形成され、更にそのスペースには配線シート２５ａ’と接続した複数の端子２２ａ’が設けられている。そして、基材２４ｂ’と保護材２６’とを接着する接着剤２８’がそのスペースを埋めている。基材２４ａ’および基材２４ｂ’はポリイミド樹脂からなり、それぞれ厚さが２５μｍおよび５０μｍである。上記の端子、配線シートの配線パターンおよび電極パッドは銅箔からなり、厚さはそれぞれ第１の層が７０μｍ、第２の層が３５μｍである。複数の電極端子２２ａ、ｂおよび複数の電極パッド２３表面の露出部は金メッキされている。

図６は記録素子基板１とフレキシブル配線基板２’の接続状態を示す斜視図であり、封止剤３（図１参照）で覆う前の状態を示している。

図７は記録素子基板１とフレキシブル配線基板２’の接続状態を模式的に示す断面図である。

記録素子基板１は容器９にエポキシ樹脂の接着剤１０’で接着されている。本実施形態の放熱についても第１の実施形態で説明したのと同様に、経路（２）を通って、熱がすぐにフレキシブル配線基板２’の全面に伝達され、基材２４ａを経て大気中に効率よく放熱される。

本実施形態においても、配線シート２５ｂ’は、その全ての面をベタ配線とすることが好ましい。図５（ａ）に示されるように、配線シート２５ａ’における導通領域（配線パターン）は配線シート２５ｂ’に比較すると小さなものであり、配線シート２５ｂ’の全ての面をベタ配線とした場合には配線シート２５ｂ’の導通領域がはるかに大きなものとなり、経路（２）により伝わる熱が支配的となる。

（第３実施形態）
次に、本発明の第３の実施形態について説明する。

図８は本発明の第３の実施形態のインクジェット記録ヘッド１０３を示す図である。本実施形態が第１の実施形態と異なる点は、第１の実施形態においては図１に示されるように記録素子基板１およびフレキシブル配線基板２が支持部材である容器９に接着剤を介して固定されていたのに対し、本実施形態では記録素子基板４およびフレキシブル配線基板５が、支持部材６を介して容器８に固定されている点が異なっている。

図９は本発明の第３の実施形態の記録素子基板４の概略構成を示す上面図である。

記録素子基板４は、オリフィスプレート１１”と基板１２”との二層構造を成し、複数のインク路１４”を形成している。オリフィスプレート１１”には各インク路１４”に対応してインク吐出口１７”が設けられており、これらインク吐出口１７”は１列あたり３００ｄｐｉで２列設けられている。基板１２”は幅４.８ｍｍｘ長さ１７ｍｍｘ厚さ０.６２５ｍｍの大きさで、中央部には各インク路１４”にインクを供給するための供給口１３”、および各インク路１４”に対応した電気熱変換素子（不図示）、更には外周に記録信号等の電気信号の供給に際して使用される複数の電極１６ａ”と、電気信号の供給には使用されない複数の電極１６ｂ”および１６ｃ”とが設けられている。複数の電極１６ａ”は正方形状でインクジェット記録装置本体側からの記録信号等の電気信号を入力するためのものであり、複数の電極１６ｂ”および１６ｃ”は長方形状で基板１２”のベース層に接続したものであって、記録信号を受けるためのものではない。これら電極１６ａ”、１６ｂ”および１６ｃ”はメッキのパターニング技術を用いて形成されている。

記録素子基板４と図２に示した第１の実施形態および第２の実施形態における記録素子基板１との異なる点は、第１の実施形態および第２の実施形態では対向する短辺には電極１６ｂのみが配置され、長辺には電極１６ｂの間に２つの電極１６ａが配置されるように等間隔かつ規則的に配設されていたのに対し、本実施形態ではインクジェット記録装置本体側からの記録信号等の電気信号を入力するための複数の電極１６ａ”が記録素子基板４の外周の短辺上に並設され、電気信号を入力するためのものではない電極１６ｂ”と電極１６ｃ”とが外周の長辺上に配されて基板１２”の電源ＧＮＤのアルミ配線層に接続している。また、複数の電極１６ｂ”は基板１２”の片方の電源ＧＮＤのアルミ配線層に接続し、複数の電極１６ｃ”は基板１２”の他方の電源ＧＮＤのアルミ配線層に接続している。

図１０（ａ），（ｂ）はフレキシブル配線基板５の概略構成を示す上面図および断面図であり、図１０（ｂ）は図１０（ａ）におけるＤ−Ｄ矢視断面を示す図である。

開口２１”はフレキシブル配線基板５が記録素子基板４とともに支持部材６に取り付けられたときに（図８参照）記録素子基板４が覗くように設けられたもので、その開口２１”の内周には複数の電極１６ａ”と接合する複数の端子２２ａ”、複数の電極１６ｂ”と接合する複数の端子２２ｂ”、および複数の電極１６ｃ”と接合する複数の端子２２ｃ”が設けられている。複数の電極パッド２３は複数の電極端子２２ａ”に対応しており、インクジェット記録装置本体からの電気信号を受け取り、記録素子基板４へ伝える役割をする。

図１０（ｂ）に示すようにフレキシブル配線基板５は配線シートを上下２層に配した構成をしており、基材２４ａ”と基材２４ｂ”間には第1の配線シート２５ａ”を設けるためのスペースが形成されている。基材２４ｂ”と保護材２６”の間には第２の配線シート２５ｂ”および２５ｃ”を設けるためのスペースが形成され、更にそのスペースには配線シート２５ｂ”および２５ｃ”と接続した複数の端子２２ｂ”および２２ｃ”の他、記録の実行に用いる端子２２ａ”とその配線シート２５ａ”との接続部近傍部分とが設けられている。そして、基材２４ｂ”と保護材２６”とを接着する接着剤２８”がそのスペースを埋めている。ここで複数の端子２２ａ”は配線シート２５ａ”に接続している。また、配線シート２５ｂ”はフレキシブル基板５内で配線シート２５ａ”のうちの一方側の電源ＧＮＤライン接続し、配線シート２５ｃ”はフレキシブル基板５内で配線シート２５ａ”のうちの他方側の電源ＧＮＤラインと電気的に接続している。

図１１は記録素子基板４とフレキシブル配線基板５の接続状態を模式的に示す断面図である。記録素子基板４およびフレキシブル配線基板５の一部は支持部材６にエポキシ樹脂の接着剤１０”で接着されており、この支持部材６は容器８に固定されている。

本実施形態での放熱について第１および第２実施形態と異なる点は、支持部材６がアルミナで出来ており、熱伝導率が２０Ｗ/ｍＫ程度と比較的大きいため、放熱と蓄熱の作用を有するところである。記録素子基板４の裏面から接着剤１０”を介して支持部材６に伝わった熱が支持部材６全体に広がると同時に、複数の電極１６ｂ、１６ｃを介してフレキシブル配線基板５の配線シート２５ｂ”、２５ｃ”に伝わった熱も支持部材６にも伝わり、更に同時にフレキシブル配線基板５の表面から大気中に放熱される。その結果、記録素子基板４の放熱性が非常に高いものとなっている。

また、放熱作用の高い複数の電極１６ｂ”、電極１６ｃ”が記録素子基板４の外周の他方の長辺上に並設されている。このため、インクジェット記録装置本体側からの記録信号等の電気信号を入力するための複数の電極１６ａ”に熱が伝わることが少なくなり、熱的要素による信号伝達不良が発生しにくいものとなっている。

本実施形態においても、配線シート２５ｂ”、配線シート２５ｃ”は、その全ての面をベタ配線とすることが好ましい。図１０（ａ）に示されるように、配線シート２５ａ”における導通領域（配線パターン）は配線シート２５ｂ”と配線シート２５ｃ”とを合わせた面積に比較すると小さなものであり、配線シート２５ｂ”、配線シート２５ｃ”の全ての面をベタ配線とした場合には配線シート２５ｂ”、配線シート２５ｃ”の導通領域がはるかに大きなものとなり、これらを介して伝わる熱が支配的となる。

（第４実施形態）
次に、本発明の第４の実施形態について説明する。

図１２は本発明の第４の実施形態のインクジェット記録ヘッド１０４を示す図である。本実施形態においては図１に示した第１の実施形態と同様に記録素子基板１およびフレキシブル配線基板７が支持部材である容器９に接着剤を介して固定されているが、フレキシブル配線基板７に放熱パッド１８が設けられている点で第１の実施形態と異なるものとなっている。

図１３はフレキシブル配線基板７の概略構成を示す上面図である。図中の開口１２１、端子１２２ａ，１２２ｂ、電極パッド１２３、配線シート１２５ａおよび配線シート１２５ｂは図３に示した開口２１、端子２２ａ，２２ｂ、電極パッド２３、配線シート２５ａおよび配線シート２５ｂと同様のものである。放熱パッド１８は配線シート１２５ｂの一部を露呈させ表面に金メッキを施したものである。

放熱パッド１８は、インクジェット記録装置に装着された際にインクジェット記録装置側の放熱手段に直接接触させたり、インクジェット記録装置側に設けられた電動ファンの風を直接当てることによって、さらなる放熱を行なうことができる。

本発明の第１実施形態のインクジェット記録ヘッド。 本発明の第１実施形態の記録素子の説明図。 本発明の第１実施形態のフレキシブル配線基板の説明図。 本発明の第１実施形態の断面の模式図。 本発明の第２実施形態のフレキシブル配線基板の説明図。 本発明の第２実施形態の記録素子とフレキシブル配線基板の接続の説明図。 本発明の第２実施形態の断面の模式図。 本発明の第３実施形態のインクジェット記録ヘッド。 本発明の第３実施形態の記録素子の説明図。 本発明の第３実施形態のフレキシブル配線基板の説明図。 本発明の第３実施形態の断面の模式図。 本発明の第４実施形態のインクジェット記録ヘッド。 本発明の第４実施形態のフレキシブル配線基板の説明図。

符号の説明

１、４ 記録素子基板
２、５、７ フレキシブル配線基板
３ 封止剤
６ 支持部材
１０ 接着層
１１ オリフィスプレート
１２ 基板
１３ 開口
１４ インク流路
１５ 電気熱変換素子
１６ａ、１６ｂ、１６ｃ 電極
１７ 吐出口
１８ 放熱パッド
２１ 開口
２２ａ、２２ｂ 電極端子
２３ 電極パッド
２４ａ、２４ｂ 基材
２５ａ、２５ｂ、２５ｃ 配線シート
２６ 保護材
２７、２８ 接着剤

Claims (3)

1. インク滴を吐出する複数のインク吐出口を含むインク吐出口列を備えるオリフィスプレートと、インク滴を吐出するために利用される熱エネルギーを発生する複数の電気熱変換素子が前記インク吐出口に対応して配された基板と、を有する記録素子基板を備えるインクジェット記録ヘッドにおいて、
   前記基板の外周における対向する短辺の夫々に設けられた、前記複数の電気熱変換素子に対して電気信号を供給するための複数の電気配線電極と、
   前記基板の外周における対向する長辺の夫々に、前記インク吐出口列に沿って設けられた、前記複数の電気熱変換素子に対しての電気信号の供給には使用されない複数のサブ電極と、
   前記記録素子基板が覗く開口と、該開口の内周における対向する短辺の夫々に形成される、前記複数の電気配線電極と接続するための複数の電気配線電極端子と、該電気配線電極端子に電気的に導通する配線パターンを有する第１のシートと、
   前記記録素子基板が覗く開口と、該開口の内周における対向する長辺の夫々に形成される、前記複数のサブ電極と接続するための複数のサブ電極端子と、該サブ電極端子に電気的に導通する配線パターンを有する第２のシートと、
   を有し、
   前記複数のサブ電極の総面積は前記複数の電気配線電極の総面積より大きく、
   前記第２のシートの配線パターンを形成する導通領域の面積は、前記第１のシートの配線パターンを形成する導通領域の面積より大きく、前記第１のシートと前記第２のシートを上下に重ねるように配置された配線シートを備えたことを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
2. 前記複数のサブ電極は、電源のＧＮＤラインと接続することを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
3. 前記サブ電極端子と電気的につながる配線パターンの一部が、大気もしくは他の部材と直接接触が可能なように露呈していることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のインクジェット記録ヘッド。

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