JPH11286112A - インクジェットヘッド - Google Patents
インクジェットヘッドInfo
- Publication number
- JPH11286112A JPH11286112A JP8966598A JP8966598A JPH11286112A JP H11286112 A JPH11286112 A JP H11286112A JP 8966598 A JP8966598 A JP 8966598A JP 8966598 A JP8966598 A JP 8966598A JP H11286112 A JPH11286112 A JP H11286112A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ink
- ink jet
- jet head
- silicon substrate
- heating element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】平滑なインク吐出面を有し樹脂部材に悪影響を
与える高温を用いることのなく発熱素子と外部信号線を
接続したインクジェットヘッドを提供する。 【解決手段】インクジェットヘッド１０はシリコン基板
１１の裏面にインクカートリッジ１２を装着し、表面に
駆動回路、端子、電極と共に発熱素子をアレー状に形成
され、隔壁部材１３を積層されてインク室とインク通路
が形成され、更にオリフィス板とフレキシブルケーブル
を兼ねる可撓性のポリイミド基材１４が積層される。オ
リフィス板部分１４−１には発熱素子との対応箇所にオ
リフィス１５が形成され、右方に延設されたフレキシブ
ルケーブル部分１４−２には装置本体の駆動制御回路に
接続されるリード１６とパット１６−１が配線され、上
記積層処理と同時にリード１６がパット１６−１、異方
導電性コネクタ１８、パット１６−１を介してシリコン
基板１１の発熱素子駆動回路の端子に接続される。
与える高温を用いることのなく発熱素子と外部信号線を
接続したインクジェットヘッドを提供する。 【解決手段】インクジェットヘッド１０はシリコン基板
１１の裏面にインクカートリッジ１２を装着し、表面に
駆動回路、端子、電極と共に発熱素子をアレー状に形成
され、隔壁部材１３を積層されてインク室とインク通路
が形成され、更にオリフィス板とフレキシブルケーブル
を兼ねる可撓性のポリイミド基材１４が積層される。オ
リフィス板部分１４−１には発熱素子との対応箇所にオ
リフィス１５が形成され、右方に延設されたフレキシブ
ルケーブル部分１４−２には装置本体の駆動制御回路に
接続されるリード１６とパット１６−１が配線され、上
記積層処理と同時にリード１６がパット１６−１、異方
導電性コネクタ１８、パット１６−１を介してシリコン
基板１１の発熱素子駆動回路の端子に接続される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ワイヤーボンディ
ングも高熱も用いずに発熱体とプリンタ装置本体間の電
気的接続を実現したインクジェットヘッドに関する。
ングも高熱も用いずに発熱体とプリンタ装置本体間の電
気的接続を実現したインクジェットヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、サーマルインクジェット方式を用
いたプリンタが主流を占めてきている。このサーマルイ
ンクジェット方式は、基板上にアレー状に配列された複
数の発熱素子を有する印字ヘッド（インクジェットヘッ
ド）を備え、この印字ヘッドの発熱素子を印字情報に応
じて選択的に発熱させ、この発熱素子上に供給されるイ
ンクを加熱し、インクと発熱素子の界面に瞬時に気泡を
発生させる膜沸騰現象を利用することにより各発熱素子
に対応して配置されているオリフィス（一般には導波管
等の側壁や終端に設けられエネルギーの伝送口となる開
口や窓のことをいい、この場合はインク吐出口のことを
いう）より微細なインク滴を吐出して記録用紙に印字を
行う。
いたプリンタが主流を占めてきている。このサーマルイ
ンクジェット方式は、基板上にアレー状に配列された複
数の発熱素子を有する印字ヘッド（インクジェットヘッ
ド）を備え、この印字ヘッドの発熱素子を印字情報に応
じて選択的に発熱させ、この発熱素子上に供給されるイ
ンクを加熱し、インクと発熱素子の界面に瞬時に気泡を
発生させる膜沸騰現象を利用することにより各発熱素子
に対応して配置されているオリフィス（一般には導波管
等の側壁や終端に設けられエネルギーの伝送口となる開
口や窓のことをいい、この場合はインク吐出口のことを
いう）より微細なインク滴を吐出して記録用紙に印字を
行う。
【０００３】図４は、そのようなインクジェットプリン
タの印字ヘッドの構造を模式的に示す側断面図である。
一般に、印字ヘッドはシリコンＬＳＩ技術と薄膜技術と
を利用して製造される。同図に示す印字ヘッド１は、シ
リコン基板２の上（同図では下面）に複数の発熱素子
（不図示）をアレー状に形成され、インク通路を形成す
る隔壁部材３を積層され、更にオリフィス板４を積層さ
れて、このオリフィス板４には上記発熱素子に対応する
位置にインク吐出口（オリフィス）５が形成されてい
る。
タの印字ヘッドの構造を模式的に示す側断面図である。
一般に、印字ヘッドはシリコンＬＳＩ技術と薄膜技術と
を利用して製造される。同図に示す印字ヘッド１は、シ
リコン基板２の上（同図では下面）に複数の発熱素子
（不図示）をアレー状に形成され、インク通路を形成す
る隔壁部材３を積層され、更にオリフィス板４を積層さ
れて、このオリフィス板４には上記発熱素子に対応する
位置にインク吐出口（オリフィス）５が形成されてい
る。
【０００４】上記の発熱体の配置密度は、例えば解像度
が３６０ｄｐｉ（ドット／インチ）とすれば、１ｍｍ
（ミリメータ）当り約１４個である。これらの発熱素子
を発熱駆動する上記シリコン基板２上に形成されている
発熱駆動回路の配線は、プリンタ装置本体側の駆動制御
回路と接続する外部配線６に、細線７を用いてワイヤー
ボンディングされている。その細線７の保護と接続の補
強を兼ねて、封止剤８が細線７を包み込むようにして覆
っている。封止剤８は、一般的にはエポキシ系の接着剤
やシリコン系の接着剤が使用される。
が３６０ｄｐｉ（ドット／インチ）とすれば、１ｍｍ
（ミリメータ）当り約１４個である。これらの発熱素子
を発熱駆動する上記シリコン基板２上に形成されている
発熱駆動回路の配線は、プリンタ装置本体側の駆動制御
回路と接続する外部配線６に、細線７を用いてワイヤー
ボンディングされている。その細線７の保護と接続の補
強を兼ねて、封止剤８が細線７を包み込むようにして覆
っている。封止剤８は、一般的にはエポキシ系の接着剤
やシリコン系の接着剤が使用される。
【０００５】この印字ヘッド１にはインクカートリッジ
９が取り付けられ、その内部に収納されているインクが
印字ヘッド１の発熱体へ供給される。この印字ヘッド１
が記録用紙の送り方向（副走査方向）に対して直交する
方向（主走査方向）に走査して印字するシリアル方式の
プリンタでは、印字ヘッド１の移動に追随できるよう
に、一般に外部配線６にはＦＰＣなどの可撓性のあるフ
ラットケーブルが用いられている。
９が取り付けられ、その内部に収納されているインクが
印字ヘッド１の発熱体へ供給される。この印字ヘッド１
が記録用紙の送り方向（副走査方向）に対して直交する
方向（主走査方向）に走査して印字するシリアル方式の
プリンタでは、印字ヘッド１の移動に追随できるよう
に、一般に外部配線６にはＦＰＣなどの可撓性のあるフ
ラットケーブルが用いられている。
【０００６】上記のインクをインク吐出口５から吐出す
る際のインク加熱速度は１０8 ℃／ｓ以上にも達する。
そして、図４に示す印字ヘッド１は、インク滴が吐出さ
れる方向が、シリコン基板表面上に形成された発熱素子
の面に対して垂直方向になるので、一般にトップシュー
タ型インクジェットへツドと呼ばれている。
る際のインク加熱速度は１０8 ℃／ｓ以上にも達する。
そして、図４に示す印字ヘッド１は、インク滴が吐出さ
れる方向が、シリコン基板表面上に形成された発熱素子
の面に対して垂直方向になるので、一般にトップシュー
タ型インクジェットへツドと呼ばれている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記のワイ
ヤーボンディングによる電気接続方法を用いると、図４
に示すように、ボンディングされた細線７がシリコン基
板２の面に対して０．５ｍｍ〜１ｍｍ程度の山なりに盛
り上がって配線される。そして、これを更に庇護し補強
するために設けられる封止剤８がシリコン基板２の面に
更なる盛り上がりを形成する。
ヤーボンディングによる電気接続方法を用いると、図４
に示すように、ボンディングされた細線７がシリコン基
板２の面に対して０．５ｍｍ〜１ｍｍ程度の山なりに盛
り上がって配線される。そして、これを更に庇護し補強
するために設けられる封止剤８がシリコン基板２の面に
更なる盛り上がりを形成する。
【０００８】一方、一般にはインクジェットヘッドのイ
ンクは数ｍｍ程度の距離まで吐出が可能であるが、実用
的な画質が要求される場合には記録用紙とインク吐出口
５との距離は１ｍｍ程度の近距離に設定されなければな
らない。
ンクは数ｍｍ程度の距離まで吐出が可能であるが、実用
的な画質が要求される場合には記録用紙とインク吐出口
５との距離は１ｍｍ程度の近距離に設定されなければな
らない。
【０００９】ところが、上記のようにトップシュータ型
のインクジェットヘッドでは、インク吐出口５を、この
インク吐出口５に対向して配置される記録用紙との適切
な距離である１ｍｍの距離に配置しようとすると、盛り
上がった封止剤８が記録用紙に接触して擦れ、やがては
細線７が切断されるという危険性が生じてくる。
のインクジェットヘッドでは、インク吐出口５を、この
インク吐出口５に対向して配置される記録用紙との適切
な距離である１ｍｍの距離に配置しようとすると、盛り
上がった封止剤８が記録用紙に接触して擦れ、やがては
細線７が切断されるという危険性が生じてくる。
【００１０】もっとも、この危険を避けるため、ＴＡＢ
実装技術（特公平７−７３９１５）を用いた配線方法が
提案されてはいる。しかしながら、このＴＡＢ方式は、
配線接続時に３５０℃程度の高い温度を必要とするか
ら、このためにシリコン基板２の表面にインク室やイン
ク流路を形成している樹脂部材（隔壁部材３）が熱破壊
される危険性を伴っており、製品歩留まりが低下する虞
がある。
実装技術（特公平７−７３９１５）を用いた配線方法が
提案されてはいる。しかしながら、このＴＡＢ方式は、
配線接続時に３５０℃程度の高い温度を必要とするか
ら、このためにシリコン基板２の表面にインク室やイン
ク流路を形成している樹脂部材（隔壁部材３）が熱破壊
される危険性を伴っており、製品歩留まりが低下する虞
がある。
【００１１】本発明の課題は、上記従来の実情に鑑み、
インク吐出口と記録用紙との適切な距離に障害となる盛
り上がりをシリコン基板上に形成すること無く且つ樹脂
部材を熱破壊する虞のある高温を用いること無く発熱素
子と外部信号線とを接続したインクジェットヘッドを提
供することである。
インク吐出口と記録用紙との適切な距離に障害となる盛
り上がりをシリコン基板上に形成すること無く且つ樹脂
部材を熱破壊する虞のある高温を用いること無く発熱素
子と外部信号線とを接続したインクジェットヘッドを提
供することである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】以下に、本発明のインク
ジェットヘッドの構成を述べる。本発明のインクジェッ
トヘッドは、基板上に複数の発熱素子をアレー状に配列
した発熱ヘッドを設け、上記発熱素子上に供給されるイ
ンクを発熱素子にて加熱し、該インクと上記発熱素子の
界面に気泡を発生させることによりオリフィスよりイン
ク滴を吐出するインクジェットヘッドであって、上記オ
リフィスを形成する可撓性の樹脂基板を上記基板から延
設して設け、該樹脂基板に上記発熱素子に信号を供給す
る信号供給線を設けて構成される。そして、上記信号供
給線は、例えば請求項２記載のように、異方導電性コネ
クタを介して上記発熱ヘッドに上記信号を供給するよう
に構成される。
ジェットヘッドの構成を述べる。本発明のインクジェッ
トヘッドは、基板上に複数の発熱素子をアレー状に配列
した発熱ヘッドを設け、上記発熱素子上に供給されるイ
ンクを発熱素子にて加熱し、該インクと上記発熱素子の
界面に気泡を発生させることによりオリフィスよりイン
ク滴を吐出するインクジェットヘッドであって、上記オ
リフィスを形成する可撓性の樹脂基板を上記基板から延
設して設け、該樹脂基板に上記発熱素子に信号を供給す
る信号供給線を設けて構成される。そして、上記信号供
給線は、例えば請求項２記載のように、異方導電性コネ
クタを介して上記発熱ヘッドに上記信号を供給するよう
に構成される。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照しながら説明する。図１(a) は、一実施の形態に
おけるインクジェットヘッドを模式的に示す側面図であ
り、同図(b) は、その底面（ヘッドの表面）図である。
同図(a),(b) に示すように、インクジェットヘッド１０
は、シリコン基板１１の背面（同図(a) では上面）に、
そのシリコン基板１１よりも幅、長さ共に大きなインク
カートリッジ１２を着脱自在に装着される。
を参照しながら説明する。図１(a) は、一実施の形態に
おけるインクジェットヘッドを模式的に示す側面図であ
り、同図(b) は、その底面（ヘッドの表面）図である。
同図(a),(b) に示すように、インクジェットヘッド１０
は、シリコン基板１１の背面（同図(a) では上面）に、
そのシリコン基板１１よりも幅、長さ共に大きなインク
カートリッジ１２を着脱自在に装着される。
【００１４】シリコン基板１１の表面（同図(a) では下
面）には、同図では隠れて見えないが、ＬＳＩ形成処理
により駆動回路とその端子が形成されており、また、こ
れらに接続して、薄膜技術によりＮｉなどによる電極、
Ｔａ−Ｓｉ−ＳｉＯなどの複数の微細抵抗（発熱素子）
がアレー状に配列されて４列形成されている。
面）には、同図では隠れて見えないが、ＬＳＩ形成処理
により駆動回路とその端子が形成されており、また、こ
れらに接続して、薄膜技術によりＮｉなどによる電極、
Ｔａ−Ｓｉ−ＳｉＯなどの複数の微細抵抗（発熱素子）
がアレー状に配列されて４列形成されている。
【００１５】そして、ウェットエッチングまたはサンド
ブラスト法などにより上記シリコン基板１１にインク供
給路とインク供給孔が形成されており、その上に、感光
性ポリイミドなどの有機材料からなり上記発熱素子を取
り囲むようにインク室及びインク通路をエッチングなど
により櫛の歯状に切り欠かれて形成された隔壁部材１３
が積層されている。これにより、隔壁部材の櫛の歯状の
歯の谷部分のインク室に発熱素子が配置され、櫛の歯部
分は隣接する発熱素子間の仕切りとなり、その谷から歯
先までの間がインク通路となって上記シリコン基板面に
穿設されているインク供給路に連通して配置される。
ブラスト法などにより上記シリコン基板１１にインク供
給路とインク供給孔が形成されており、その上に、感光
性ポリイミドなどの有機材料からなり上記発熱素子を取
り囲むようにインク室及びインク通路をエッチングなど
により櫛の歯状に切り欠かれて形成された隔壁部材１３
が積層されている。これにより、隔壁部材の櫛の歯状の
歯の谷部分のインク室に発熱素子が配置され、櫛の歯部
分は隣接する発熱素子間の仕切りとなり、その谷から歯
先までの間がインク通路となって上記シリコン基板面に
穿設されているインク供給路に連通して配置される。
【００１６】更にその上に、オリフィス板とフレキシブ
ルケーブルの両方を兼備える可撓性のポリイミド基材１
４が、予め設けられている例えばエポキシ樹脂接着剤な
どの適宜な接着剤層によって接着して積層され、これに
より上記隔壁部材１１によって形成されているインク室
及びインク通路が蓋をされ、各発熱素子ごとの個別の微
細インク案内路が形成されている。
ルケーブルの両方を兼備える可撓性のポリイミド基材１
４が、予め設けられている例えばエポキシ樹脂接着剤な
どの適宜な接着剤層によって接着して積層され、これに
より上記隔壁部材１１によって形成されているインク室
及びインク通路が蓋をされ、各発熱素子ごとの個別の微
細インク案内路が形成されている。
【００１７】このポリイミド基材１４は、およそ５０μ
ｍの厚さのフィルムであり、上記の隔壁部材１３上に積
層された部分（オリフィス板部分１４−１）には、積層
処理に先立って、上記隔壁によって囲まれた発熱素子の
インク室に対応する箇所に、例えばドライエッチングあ
るいはＹＡＧレーザ又はエキシマレーザなどによって直
径２０μｍφ〜３０μｍφの孔からなるオリフィス１５
が形成されている。
ｍの厚さのフィルムであり、上記の隔壁部材１３上に積
層された部分（オリフィス板部分１４−１）には、積層
処理に先立って、上記隔壁によって囲まれた発熱素子の
インク室に対応する箇所に、例えばドライエッチングあ
るいはＹＡＧレーザ又はエキシマレーザなどによって直
径２０μｍφ〜３０μｍφの孔からなるオリフィス１５
が形成されている。
【００１８】また、ポリイミド基材１４の上記オリフィ
ス板部分１４−１から図の右方に延設されたフレキシブ
ルケーブル部分１４−２には、その片面（同図(a) では
上面、同図(b) では図の向こう側）に所定の本数の例え
ば銅などのリード１６が予めプリント配線されており、
このリード１６の先端（図の左端）にはパット１６−１
が形成されている。
ス板部分１４−１から図の右方に延設されたフレキシブ
ルケーブル部分１４−２には、その片面（同図(a) では
上面、同図(b) では図の向こう側）に所定の本数の例え
ば銅などのリード１６が予めプリント配線されており、
このリード１６の先端（図の左端）にはパット１６−１
が形成されている。
【００１９】一方、シリコン基板１１の上述した駆動回
路の端子にはバンプ１７が形成されており、このバンプ
１７と上記のリード１６先端のパット１６−１が異方導
電性コネクタ１８を介して接続される。この接続は、ポ
リイミド基材１４をシリコン基板１１上に積層する際に
同時に行われる。
路の端子にはバンプ１７が形成されており、このバンプ
１７と上記のリード１６先端のパット１６−１が異方導
電性コネクタ１８を介して接続される。この接続は、ポ
リイミド基材１４をシリコン基板１１上に積層する際に
同時に行われる。
【００２０】このように構成することにより、同図(a)
に示すように、インクジェットヘッド１０のオリフィス
１５が形成されている面は平滑であって何等の盛り上が
り部材も配置されていない。したがって、これと対向し
て配置される記録用紙との間には何等の距離的制約を設
けることなく、間隔の充分に狭い適切な距離を設定でき
る。
に示すように、インクジェットヘッド１０のオリフィス
１５が形成されている面は平滑であって何等の盛り上が
り部材も配置されていない。したがって、これと対向し
て配置される記録用紙との間には何等の距離的制約を設
けることなく、間隔の充分に狭い適切な距離を設定でき
る。
【００２１】図２は、上記インクジェットヘッド１０の
動作状態を示す図である。同図は図１に示した構成をや
や省略して示している。図２に示すように、インクジェ
ットヘッド１０は、記録用紙１９との間に充分に狭い適
切な距離Ａを設定されて不図示のプリンタ装置本体に配
設され、ポリイミド基材１４の上記オリフィス板部分１
４−１から延設されＵ字型に反転して図外左方に延びる
フレキシブルケーブル部分１４−２の他端がプリンタ装
置本体の駆動制御回路に接続されている。
動作状態を示す図である。同図は図１に示した構成をや
や省略して示している。図２に示すように、インクジェ
ットヘッド１０は、記録用紙１９との間に充分に狭い適
切な距離Ａを設定されて不図示のプリンタ装置本体に配
設され、ポリイミド基材１４の上記オリフィス板部分１
４−１から延設されＵ字型に反転して図外左方に延びる
フレキシブルケーブル部分１４−２の他端がプリンタ装
置本体の駆動制御回路に接続されている。
【００２２】このインクジェットヘッド１０は、図の両
方向矢印Ｂ及び破線１０′で示すように、記録用紙１９
の幅方向に走査して印字を行う。この印字走査するイン
クジェットヘッド１０の移動に追従して、ポリイミド基
材１４の延長部分であるフレキシブルケーブル部分１４
−２が移動する。
方向矢印Ｂ及び破線１０′で示すように、記録用紙１９
の幅方向に走査して印字を行う。この印字走査するイン
クジェットヘッド１０の移動に追従して、ポリイミド基
材１４の延長部分であるフレキシブルケーブル部分１４
−２が移動する。
【００２３】また、このように、プリンタ装置本体から
の駆動制御信号線を、直接、インクジェットヘッドの発
熱駆動回路へ配線できるので、リード抵抗及び接合抵抗
を低く抑えることができ、その分、使用電力の効率が向
上する。
の駆動制御信号線を、直接、インクジェットヘッドの発
熱駆動回路へ配線できるので、リード抵抗及び接合抵抗
を低く抑えることができ、その分、使用電力の効率が向
上する。
【００２４】図３(a) は、他の実施の形態におけるイン
クジェットヘッドを模式的に示す側面図であり、同図
(b) は、その底面（ヘッドの表面）図である。この例で
は、発熱体を形成するシリコン基板２０（２０ａ、２０
ｂ、２０ｃ、２０ｄ）が、カラーインク毎に分かれてい
る場合の例を示している。このように、シリコン基板を
複数の基板に分割していても、１枚のポリイミド基材２
１上に形成されているオリフィス列２２（２２ａ、２２
ｂ、２２ｃ、２２ｄ）のオリフィス板部分の上記複数基
板への接合と、同じくポリイミド基材２１上に形成され
ている配線ケーブル２３の上記複数のインクジェットヘ
ッドの発熱素子配線端子への接続とを、１回の工程で行
うことができて便利である。
クジェットヘッドを模式的に示す側面図であり、同図
(b) は、その底面（ヘッドの表面）図である。この例で
は、発熱体を形成するシリコン基板２０（２０ａ、２０
ｂ、２０ｃ、２０ｄ）が、カラーインク毎に分かれてい
る場合の例を示している。このように、シリコン基板を
複数の基板に分割していても、１枚のポリイミド基材２
１上に形成されているオリフィス列２２（２２ａ、２２
ｂ、２２ｃ、２２ｄ）のオリフィス板部分の上記複数基
板への接合と、同じくポリイミド基材２１上に形成され
ている配線ケーブル２３の上記複数のインクジェットヘ
ッドの発熱素子配線端子への接続とを、１回の工程で行
うことができて便利である。
【００２５】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明によ
れば、インクジェットヘッドのインク吐出口を形成する
オリフィス板と装置本体への配線用の可撓性ケーブルと
を一体化して可撓性ケーブルの配線とヘッド側の発熱駆
動回路とを異方導電コネクタで接続するので、インク吐
出口と記録用紙との適切な距離に障害となる盛り上がり
をシリコン基板から除去でき、したがって、印字性向の
良いインクジェットヘッドを提供することが可能とな
る。また、同様に可撓性ケーブルの配線とヘッド側の発
熱駆動回路とを異方導電コネクタで接続するので、電気
接続に高温を用いる必要がなく、したがって、樹脂部材
の熱破壊が防止されて製品歩留まりが向上する。また、
オリフィス板と可撓性ケーブルとを一体化するので、一
体化した分だけ部品点数を削減でき、したがって、製造
コスト削減に貢献する。また、同様にオリフィス板と可
撓性ケーブルとが一体であるので、インクジェットヘッ
ドへの電気配線工程とオリフィス板の接着工程とを一回
の加工工程で行うことができ、したがって、工程が簡略
され作業能率が向上する。
れば、インクジェットヘッドのインク吐出口を形成する
オリフィス板と装置本体への配線用の可撓性ケーブルと
を一体化して可撓性ケーブルの配線とヘッド側の発熱駆
動回路とを異方導電コネクタで接続するので、インク吐
出口と記録用紙との適切な距離に障害となる盛り上がり
をシリコン基板から除去でき、したがって、印字性向の
良いインクジェットヘッドを提供することが可能とな
る。また、同様に可撓性ケーブルの配線とヘッド側の発
熱駆動回路とを異方導電コネクタで接続するので、電気
接続に高温を用いる必要がなく、したがって、樹脂部材
の熱破壊が防止されて製品歩留まりが向上する。また、
オリフィス板と可撓性ケーブルとを一体化するので、一
体化した分だけ部品点数を削減でき、したがって、製造
コスト削減に貢献する。また、同様にオリフィス板と可
撓性ケーブルとが一体であるので、インクジェットヘッ
ドへの電気配線工程とオリフィス板の接着工程とを一回
の加工工程で行うことができ、したがって、工程が簡略
され作業能率が向上する。
【図１】(a) は一実施の形態におけるインクジェットヘ
ッドを模式的に示す側面図、(b) はその底面（ヘッドの
表面）図である。
ッドを模式的に示す側面図、(b) はその底面（ヘッドの
表面）図である。
【図２】一実施の形態におけるインクジェットヘッドの
動作状態を示す図である。
動作状態を示す図である。
【図３】(a) は他の実施の形態におけるインクジェット
ヘッドを模式的に示す側面図、(b) はその底面（ヘッド
の表面）図である。
ヘッドを模式的に示す側面図、(b) はその底面（ヘッド
の表面）図である。
【図４】従来のインクジェットプリンタの印字ヘッドの
構造を模式的に示す側断面図である。
構造を模式的に示す側断面図である。
１ 印字ヘッド ２ シリコン基板 ３ 隔壁部材 ４ オリフィス板 ５ インク吐出口（オリフィス） ６ 外部配線 ７ 細線 ８ 封止剤 ９ インクカートリッジ １０ インクジェットヘッド １１ シリコン基板 １２ インクカートリッジ １３ 隔壁部材 １４ ポリイミド基材 １４−１ オリフィス板部分 １４−２ フレキシブルケーブル部分 １５ インク吐出口（オリフィス） １６ リード １６−１ パット １７ バンプ １８ 異方導電性コネクタ １９ 記録用紙 ２０（２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄ） シリコン基
板 ２１ ポリイミド基材 ２２（２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄ） オリフィス
列 ２３ 配線ケーブル
板 ２１ ポリイミド基材 ２２（２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄ） オリフィス
列 ２３ 配線ケーブル
Claims (2)
- 【請求項１】 基板上に複数の発熱素子をアレー状に配
列した発熱ヘッドを設け、前記発熱素子上に供給される
インクを発熱素子にて加熱し、該インクと前記発熱素子
の界面に気泡を発生させることによりオリフィスよりイ
ンク滴を吐出するインクジェットヘッドにおいて、 前記オリフィスを形成する可撓性の樹脂基板を前記基板
から延設して設け、該樹脂基板に前記発熱素子に信号を
供給する信号供給線を設けたことを特徴とするインクジ
ェットヘッド。 - 【請求項２】 前記信号供給線は、異方導電性コネクタ
を介して前記発熱ヘッドに前記信号を供給することを特
徴とする請求項１記載のインクジェットヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8966598A JPH11286112A (ja) | 1998-04-02 | 1998-04-02 | インクジェットヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8966598A JPH11286112A (ja) | 1998-04-02 | 1998-04-02 | インクジェットヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11286112A true JPH11286112A (ja) | 1999-10-19 |
Family
ID=13977052
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8966598A Pending JPH11286112A (ja) | 1998-04-02 | 1998-04-02 | インクジェットヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11286112A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009000904A (ja) * | 2007-06-21 | 2009-01-08 | Canon Inc | インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法 |
-
1998
- 1998-04-02 JP JP8966598A patent/JPH11286112A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009000904A (ja) * | 2007-06-21 | 2009-01-08 | Canon Inc | インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4878070A (en) | Thermal ink jet print cartridge assembly | |
| US6682180B2 (en) | Ink jet head and printing apparatus | |
| JP2018051898A (ja) | アクチュエータ装置、液体吐出装置、及び、配線部材の接続構造 | |
| JP3229472B2 (ja) | インクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録装置 | |
| JPH11291465A (ja) | インクジェットヘッド | |
| JP4344116B2 (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
| WO2003078167A1 (fr) | Tete et dispositif de projection de liquide | |
| JP2003072042A (ja) | インクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録装置 | |
| JP4129614B2 (ja) | インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置 | |
| JPH11286112A (ja) | インクジェットヘッド | |
| US11345147B2 (en) | Liquid ejection head | |
| JP3295169B2 (ja) | インクジェット記録ヘッド及び該インクジェット記録ヘッドを備えたインクジェット記録装置 | |
| JP2004074428A (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
| JP3514062B2 (ja) | インクジェット式記録ヘッド | |
| JPH09286103A (ja) | インクジェット式記録ヘッド | |
| JPH10250053A (ja) | インク噴射装置およびその製造方法 | |
| JP4059509B2 (ja) | インクジェット記録ヘッド用基板およびインクジェット記録ヘッドならびにインクジェット記録装置 | |
| JP2019166739A (ja) | 液体吐出ヘッド及びインクジェットプリンタ | |
| JP2009166334A (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
| JP2004017600A (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
| JPH10230603A (ja) | インクジェット記録ヘッドおよびその組立方法ならびにそのヘッドを用いたインクジェット記録装置 | |
| CN110962457B (zh) | 液体喷射头 | |
| JP2004216581A (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
| JPH09109394A (ja) | 記録ヘッド | |
| JP2000071448A (ja) | インクジェット記録装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040903 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040914 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041112 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050329 |