JP3229472B2 - インクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録装置 - Google Patents
インクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、インクジェット記録装
置および該装置に適用可能なインクジェット記録ヘッド
に係り、特にその記録ヘッドにおける熱エネルギ発生素
子とその配線の構造に関する。なお、ここで、記録と
は、布、糸、紙、シート材等のインク付与を受けるイン
ク支持体全てへのインク付与等（プリント）を含むもの
で、記録装置は、各種情報処理装置全てあるいはその出
力器としてのプリンタを含むもので、本発明はこれらへ
の用途が可能なものである。
置および該装置に適用可能なインクジェット記録ヘッド
に係り、特にその記録ヘッドにおける熱エネルギ発生素
子とその配線の構造に関する。なお、ここで、記録と
は、布、糸、紙、シート材等のインク付与を受けるイン
ク支持体全てへのインク付与等（プリント）を含むもの
で、記録装置は、各種情報処理装置全てあるいはその出
力器としてのプリンタを含むもので、本発明はこれらへ
の用途が可能なものである。
【０００２】
【従来の技術】プリンタ、複写機、ファクシミリ等の機
能を有する記録装置、あるいはコンピュータやワードプ
ロセッサ等を含む複合型電子機器やワークステーション
の出力機器として用いられる記録装置は、画像情報に基
づいて用紙やプラスチック薄板等の被記録材（記録媒
体）に画像を記録するように構成されている。このよう
な記録装置に用いられる記録方式としては、例えばイン
クジェット記録方式が知られている。この方式は、他の
記録方式よりも高精細な画像記録が可能であり、比較的
高速かつ低騒音の記録も可能である点で注目されてい
る。
能を有する記録装置、あるいはコンピュータやワードプ
ロセッサ等を含む複合型電子機器やワークステーション
の出力機器として用いられる記録装置は、画像情報に基
づいて用紙やプラスチック薄板等の被記録材（記録媒
体）に画像を記録するように構成されている。このよう
な記録装置に用いられる記録方式としては、例えばイン
クジェット記録方式が知られている。この方式は、他の
記録方式よりも高精細な画像記録が可能であり、比較的
高速かつ低騒音の記録も可能である点で注目されてい
る。
【０００３】このインクジェット記録方式の記録ヘッド
（以下、単に記録ヘッドという。）としては、従来、シ
リコン等からなる基板（配線基板）上にほぼ正方形また
は長方形のヒータ（熱エネルギ発生素子）を複数配列し
た上、各ヒータに配線を接続し、かつ、基板上に各ヒー
タ毎にインク液路を形成した構成が知られている。この
場合においては、例えば基板の一端縁近傍にヒータを配
設し、その一端縁が上記インク液路から吐出されるイン
クの吐出口面の一部を構成するような構造となってい
る。
（以下、単に記録ヘッドという。）としては、従来、シ
リコン等からなる基板（配線基板）上にほぼ正方形また
は長方形のヒータ（熱エネルギ発生素子）を複数配列し
た上、各ヒータに配線を接続し、かつ、基板上に各ヒー
タ毎にインク液路を形成した構成が知られている。この
場合においては、例えば基板の一端縁近傍にヒータを配
設し、その一端縁が上記インク液路から吐出されるイン
クの吐出口面の一部を構成するような構造となってい
る。
【０００４】このような構造の記録ヘッドにおいては、
ヒータに数μ秒程度のパルス状の電流を与え、これによ
って発生する気泡の作用によりインクを吐出するものが
一般的である。ヒータに流れる電流は瞬間的には極めて
大きいので、複数のヒータに対して共通の配線を用いる
と、その配線の抵抗により各ヒータの駆動電流が画像に
応じて変化してしまう。これを避けるため、共通の配線
を用いずに、少なくともヒータ近傍における配線をヒー
タ毎に２本ずつ設ける構成としていた。
ヒータに数μ秒程度のパルス状の電流を与え、これによ
って発生する気泡の作用によりインクを吐出するものが
一般的である。ヒータに流れる電流は瞬間的には極めて
大きいので、複数のヒータに対して共通の配線を用いる
と、その配線の抵抗により各ヒータの駆動電流が画像に
応じて変化してしまう。これを避けるため、共通の配線
を用いずに、少なくともヒータ近傍における配線をヒー
タ毎に２本ずつ設ける構成としていた。
【０００５】ところが、このような構成では、基板の面
積が一定のままで、配線の本数が多くなるので、各配線
の幅を細くせざるを得ず、このため配線部分の抵抗値が
高くなり、これにより電力損失が大きくなるばかりか、
記録ヘッドの昇温を招き、記録特性が変化するなどの不
都合がある。
積が一定のままで、配線の本数が多くなるので、各配線
の幅を細くせざるを得ず、このため配線部分の抵抗値が
高くなり、これにより電力損失が大きくなるばかりか、
記録ヘッドの昇温を招き、記録特性が変化するなどの不
都合がある。
【０００６】このような不都合を改善する方法として
は、複数のノズル全体を例えば４つ程度のブロックに分
割し、隣接したノズルを別ブロックとして各ブロック別
に異なるタイミングで駆動することにより、隣接したノ
ズルの同時駆動を避け、４本程度のヒータの共通電極を
１つの配線で接続する方法がある。
は、複数のノズル全体を例えば４つ程度のブロックに分
割し、隣接したノズルを別ブロックとして各ブロック別
に異なるタイミングで駆動することにより、隣接したノ
ズルの同時駆動を避け、４本程度のヒータの共通電極を
１つの配線で接続する方法がある。
【０００７】このような改善方法を採用したとしても、
従来の記録ヘッドにおいては、実際に吐出されるインク
滴のもつ運動エネルギは、そのノズルのヒータに投入さ
れる電力のエネルギの一万分の一程度と、極めて効率の
悪いものであった。これは、ノズル内において吐出に寄
与しない多量のインクをも運動させているためであり、
これを改善することは前述の配線部分による電力損失の
低減よりも重要な課題であるということができる。
従来の記録ヘッドにおいては、実際に吐出されるインク
滴のもつ運動エネルギは、そのノズルのヒータに投入さ
れる電力のエネルギの一万分の一程度と、極めて効率の
悪いものであった。これは、ノズル内において吐出に寄
与しない多量のインクをも運動させているためであり、
これを改善することは前述の配線部分による電力損失の
低減よりも重要な課題であるということができる。
【０００８】上記の熱エネルギ変換効率を高めるには、
ノズルの構造を適正化することが不可避と考えられる。
例えば、ヒータ面と平行にインクを吐出するタイプの記
録ヘッドでは、そのヒータからインク吐出口までの距離
を短くして、その間に充填されるインク量を最少限に設
定することにより、吐出に寄与しないインク、即ち熱エ
ネルギを受けても実際には吐出されないインクの量を少
なくすることが可能である。なお、この場合において、
発生した泡が吐出口を通じて大気に連通する構成とする
ことも可能である。
ノズルの構造を適正化することが不可避と考えられる。
例えば、ヒータ面と平行にインクを吐出するタイプの記
録ヘッドでは、そのヒータからインク吐出口までの距離
を短くして、その間に充填されるインク量を最少限に設
定することにより、吐出に寄与しないインク、即ち熱エ
ネルギを受けても実際には吐出されないインクの量を少
なくすることが可能である。なお、この場合において、
発生した泡が吐出口を通じて大気に連通する構成とする
ことも可能である。
【０００９】しかしながら、上述のようにヒータと吐出
口との距離の短縮化を図ろうとすると、複数のヒータの
電極を共通に配線するための接続配線部を、ヒータと吐
出口との間に設けることがスペース面で困難となる。こ
のため、上記接続配線部の形成を諦め、その代り、各ヒ
ータに対し２本の個別の配線を形成することになる。こ
の場合、前述のように、配線の本数が多くなり、配線の
線中を細くせざるを得ず、かつ、配線間のスペースも狭
くする必要もあるため、配線部分の抵抗が高くなると共
に、微細な配線構造を形成する必要から高精度のマスク
アライナー等の製造装置を用いるとすると、製造コスト
の高騰を招くという欠点があった。
口との距離の短縮化を図ろうとすると、複数のヒータの
電極を共通に配線するための接続配線部を、ヒータと吐
出口との間に設けることがスペース面で困難となる。こ
のため、上記接続配線部の形成を諦め、その代り、各ヒ
ータに対し２本の個別の配線を形成することになる。こ
の場合、前述のように、配線の本数が多くなり、配線の
線中を細くせざるを得ず、かつ、配線間のスペースも狭
くする必要もあるため、配線部分の抵抗が高くなると共
に、微細な配線構造を形成する必要から高精度のマスク
アライナー等の製造装置を用いるとすると、製造コスト
の高騰を招くという欠点があった。
【００１０】また、従来の配線の構造では、インクの吐
出方向と平行に電流を流す場合に好適であり、上記吐出
方向に沿って長い形状のヒータを駆動する場合に適して
いるが、上記吐出方向に対して直交する方向に沿って長
い形状のヒータを駆動する場合には不適当である。後者
の場合において、インクの吐出方向と平行に電流を流す
と、前者の場合と比べてヒータの抵抗値が低くなり、同
一の電力で駆動するためには大きな電流を流す必要が生
じ、配線による電力損失が大きくなるからである。
出方向と平行に電流を流す場合に好適であり、上記吐出
方向に沿って長い形状のヒータを駆動する場合に適して
いるが、上記吐出方向に対して直交する方向に沿って長
い形状のヒータを駆動する場合には不適当である。後者
の場合において、インクの吐出方向と平行に電流を流す
と、前者の場合と比べてヒータの抵抗値が低くなり、同
一の電力で駆動するためには大きな電流を流す必要が生
じ、配線による電力損失が大きくなるからである。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上述の技術
的課題を解消すべくなされたもので、その目的とすると
ころは配線抵抗による電力損失の小さい配線構造を有す
る、省電力化がなされたインクジェット記録ヘッドおよ
び該記録ヘッドを具備した記録装置を提供することにあ
る。
的課題を解消すべくなされたもので、その目的とすると
ころは配線抵抗による電力損失の小さい配線構造を有す
る、省電力化がなされたインクジェット記録ヘッドおよ
び該記録ヘッドを具備した記録装置を提供することにあ
る。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに、請求項１記載の発明は、複数の熱エネルギ発生素
子は、隣接する２つの熱エネルギ発生素子を対とし、該
対をなす２つの熱エネルギ発生素子に共通して接続され
た共通配線部と、個別に接続された個別配線部とによっ
て各々挟まれており、前記対をなす２つの熱エネルギ発
生素子を異なるブロックとして複数のブロックに分割さ
れ、該ブロック毎に異なるタイミングで前記熱エネルギ
を発生するものであり、前記対をなす２つの熱エネルギ
発生素子の各々と前記共通配線部との接続部同士が前記
共通配線部を介して対向していることを特徴とする。
めに、請求項１記載の発明は、複数の熱エネルギ発生素
子は、隣接する２つの熱エネルギ発生素子を対とし、該
対をなす２つの熱エネルギ発生素子に共通して接続され
た共通配線部と、個別に接続された個別配線部とによっ
て各々挟まれており、前記対をなす２つの熱エネルギ発
生素子を異なるブロックとして複数のブロックに分割さ
れ、該ブロック毎に異なるタイミングで前記熱エネルギ
を発生するものであり、前記対をなす２つの熱エネルギ
発生素子の各々と前記共通配線部との接続部同士が前記
共通配線部を介して対向していることを特徴とする。
【００１３】請求項２記載の発明は、請求項１記載のイ
ンクジェット記録ヘッドにおいて、前記複数の熱エネル
ギ発生素子はインク吐出面の一部を構成する前記配線基
板の一端縁の近傍に配設され、かつ、該熱エネルギ発生
素子の配列方向は前記基板の一端縁と平行であってもよ
い。
ンクジェット記録ヘッドにおいて、前記複数の熱エネル
ギ発生素子はインク吐出面の一部を構成する前記配線基
板の一端縁の近傍に配設され、かつ、該熱エネルギ発生
素子の配列方向は前記基板の一端縁と平行であってもよ
い。
【００１４】請求項３記載の発明は、請求項２記載のイ
ンクジェット記録ヘッドにおいて、前記複数の熱エネル
ギ発生素子の列と前記配線基板の一端縁との間の前記配
線基板上に、前記隣接する熱エネルギ発生素子対の各々
の前記共通配線部同士を接続するための接続配線部を設
けたものでもよい。
ンクジェット記録ヘッドにおいて、前記複数の熱エネル
ギ発生素子の列と前記配線基板の一端縁との間の前記配
線基板上に、前記隣接する熱エネルギ発生素子対の各々
の前記共通配線部同士を接続するための接続配線部を設
けたものでもよい。
【００１５】請求項４記載の発明は、請求項１記載のイ
ンクジェット記録ヘッドにおいて、前記インクの吐出方
向は前記配線基板の上面に直交する方向であってもよ
い。
ンクジェット記録ヘッドにおいて、前記インクの吐出方
向は前記配線基板の上面に直交する方向であってもよ
い。
【００１６】請求項５記載の発明は、請求項１〜４のい
ずれかの項に記載のインクジェット記録ヘッドにおい
て、前記熱エネルギ発生素子は、前記インクに膜沸騰を
生じさせる熱エネルギを発生する電気熱変換体であるこ
とを特徴とする。
ずれかの項に記載のインクジェット記録ヘッドにおい
て、前記熱エネルギ発生素子は、前記インクに膜沸騰を
生じさせる熱エネルギを発生する電気熱変換体であるこ
とを特徴とする。
【００１７】請求項６記載の発明は、インクジェットカ
ートリッジであって、請求項５記載のインクジェット記
録ヘッドに、該インクジェット記録ヘッドに供給される
インクを貯留するインクタンクが着脱自在に取り付けら
れてなるものであってもよい。
ートリッジであって、請求項５記載のインクジェット記
録ヘッドに、該インクジェット記録ヘッドに供給される
インクを貯留するインクタンクが着脱自在に取り付けら
れてなるものであってもよい。
【００１８】請求項７記載の発明は、インクジェット記
録装置であって、請求項６記載のインクジェットカート
リッジと、該インクジェットカートリッジを着脱自在に
搭載するキャリッジと、該キャリッジを記録媒体の搬送
方向に直交する主走査方向に往復移動させるための駆動
手段とを含むことを特徴する。
録装置であって、請求項６記載のインクジェットカート
リッジと、該インクジェットカートリッジを着脱自在に
搭載するキャリッジと、該キャリッジを記録媒体の搬送
方向に直交する主走査方向に往復移動させるための駆動
手段とを含むことを特徴する。
【００１９】
【作用】請求項１記載の発明においては、対となった熱
エネルギ発生素子間に共通配線部を設けたことにより、
配線の本数を削減して配線の抵抗による電力損失を低減
することができる上、複数の熱エネルギ発生素子のう
ち、対をなす２つの熱エネルギ発生素子が互いに異なる
ブロックに分けられ、各熱エネルギ発生素子がそのブロ
ック毎に異なるタイミングで熱エネルギを発生するもの
であること、さらには、対をなす２つの熱エネルギ発生
素子の各々と共通配線部との接続部同士が共通配線部を
介して対向していることにより、従来達成し得なかった
レベルの省電力化を達成することができる。
エネルギ発生素子間に共通配線部を設けたことにより、
配線の本数を削減して配線の抵抗による電力損失を低減
することができる上、複数の熱エネルギ発生素子のう
ち、対をなす２つの熱エネルギ発生素子が互いに異なる
ブロックに分けられ、各熱エネルギ発生素子がそのブロ
ック毎に異なるタイミングで熱エネルギを発生するもの
であること、さらには、対をなす２つの熱エネルギ発生
素子の各々と共通配線部との接続部同士が共通配線部を
介して対向していることにより、従来達成し得なかった
レベルの省電力化を達成することができる。
【００２０】請求項２記載の発明においては、インク吐
出面の一部を構成する配線基板の一端縁の近傍に熱エネ
ルギ発生素子を配列したので、熱エネルギを受けたイン
クの内、実際の吐出に係るインク量の割合を多くして熱
エネルギ変換効率を高めることも可能である。
出面の一部を構成する配線基板の一端縁の近傍に熱エネ
ルギ発生素子を配列したので、熱エネルギを受けたイン
クの内、実際の吐出に係るインク量の割合を多くして熱
エネルギ変換効率を高めることも可能である。
【００２１】請求項３記載の発明においては、接続配線
部を設けたことにより、共通配線部および個別配線部の
他に接続配線部にも電流を流せるので、配線部の電気抵
抗値を若干低下させることもできる。
部を設けたことにより、共通配線部および個別配線部の
他に接続配線部にも電流を流せるので、配線部の電気抵
抗値を若干低下させることもできる。
【００２２】請求項４記載の発明は、熱エネルギ発生素
子が形成された上記配線基板の上面に直交する方向にイ
ンクを吐出するタイプの記録ヘッドであるが、請求項１
記載の発明とほぼ同様の作用を奏する。
子が形成された上記配線基板の上面に直交する方向にイ
ンクを吐出するタイプの記録ヘッドであるが、請求項１
記載の発明とほぼ同様の作用を奏する。
【００２３】請求項５記載の発明においては、熱エネル
ギ発生素子としてインクに膜沸騰を生じさせる熱エネル
ギを発生する電気熱変換体を用いたので、応答性に優れ
たインクの吐出を達成できる。
ギ発生素子としてインクに膜沸騰を生じさせる熱エネル
ギを発生する電気熱変換体を用いたので、応答性に優れ
たインクの吐出を達成できる。
【００２４】請求項６記載の発明においては、記録ヘッ
ドへ供給されるインクの補給をインクタンクの交換等に
より簡単に行うことができる。
ドへ供給されるインクの補給をインクタンクの交換等に
より簡単に行うことができる。
【００２５】請求項７記載の発明においては、主走査方
向に往復移動可能なキャリッジに対してインクジェット
カートリッジが着脱可能であるので、カートリッジの交
換等を容易に行うことができる。
向に往復移動可能なキャリッジに対してインクジェット
カートリッジが着脱可能であるので、カートリッジの交
換等を容易に行うことができる。
【００２６】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細
に説明する。
に説明する。
【００２７】（実施例１）図１は、本発明のインクジェ
ット記録ヘッドの一実施例におけるインク吐出面近傍の
配線基板上の配線構造の要部を示す平面図であり、図２
は、図１に示した配線基板上の配線構造の全体を示す平
面図である。
ット記録ヘッドの一実施例におけるインク吐出面近傍の
配線基板上の配線構造の要部を示す平面図であり、図２
は、図１に示した配線基板上の配線構造の全体を示す平
面図である。
【００２８】図１において符号１はシリコン等の半導体
基板（以下、単に基板とする）であり、２はホウ化ハフ
ニウム（ＨｆＢ２）等の材料からなる熱エネルギ発生素
子または電気熱変換体としてのヒータである。本実施例
における略長方形のヒータ２は、基板１の一端縁１ａの
近傍の位置に、その一端縁１ａと平行な方向に沿って列
状に所定の間隔をもって複数個、形成されている。本発
明においては、隣接する２個のヒータを対としている。
図１においては、ヒータ２ａと２ｂとは一対をなしてい
る。各対をなした２個のヒータ２同士の間には、両ヒー
タの一方の電極に共通して接続されたアルミニウム等の
材料からなる共通配線部３が形成されている。両ヒータ
の他方の電極には、各ヒータごとにアルミニウム等の材
料からなる個別配線部４が形成されている。各個別配線
部４は、図２に示すように、その線幅を広げながら、基
板１の一端縁１ａの反対側の他端部１ｂの近傍位置まで
延びて、ボンディングパッド５に接続されている。
基板（以下、単に基板とする）であり、２はホウ化ハフ
ニウム（ＨｆＢ２）等の材料からなる熱エネルギ発生素
子または電気熱変換体としてのヒータである。本実施例
における略長方形のヒータ２は、基板１の一端縁１ａの
近傍の位置に、その一端縁１ａと平行な方向に沿って列
状に所定の間隔をもって複数個、形成されている。本発
明においては、隣接する２個のヒータを対としている。
図１においては、ヒータ２ａと２ｂとは一対をなしてい
る。各対をなした２個のヒータ２同士の間には、両ヒー
タの一方の電極に共通して接続されたアルミニウム等の
材料からなる共通配線部３が形成されている。両ヒータ
の他方の電極には、各ヒータごとにアルミニウム等の材
料からなる個別配線部４が形成されている。各個別配線
部４は、図２に示すように、その線幅を広げながら、基
板１の一端縁１ａの反対側の他端部１ｂの近傍位置まで
延びて、ボンディングパッド５に接続されている。
【００２９】また、各対のヒータは、他の対のヒータと
は電気的に分離されており、離間寸法は後述するように
基板１の一端縁１ａの近傍位置と、その反対側の他端部
１ｂの近傍位置とでは異なっている。
は電気的に分離されており、離間寸法は後述するように
基板１の一端縁１ａの近傍位置と、その反対側の他端部
１ｂの近傍位置とでは異なっている。
【００３０】さらに、全ての共通配線部３は、図２に示
すように上記ボンディングパッド５の後方にあたる基板
１の他端部１ｂの共通接続部６に接続されている。基板
１の外部においては、配線の抵抗を十分に小さくするこ
とが可能であるので共通であってもよい。
すように上記ボンディングパッド５の後方にあたる基板
１の他端部１ｂの共通接続部６に接続されている。基板
１の外部においては、配線の抵抗を十分に小さくするこ
とが可能であるので共通であってもよい。
【００３１】ここで、上記ヒータと各配線部を基板上に
形成する方法の一例を説明する。
形成する方法の一例を説明する。
【００３２】まず、厚さ約２μｍのＳｉＯ2 の表面酸化
層を有するシリコンウエハ上に厚さ約０．１μｍのＨｆ
Ｂ２の抵抗金属膜をスパッタリングにより成膜する。次
に、このヒータを構成する上記金属膜上に厚さ約０．５
μｍのＡｌの配線金属膜をやはりスパッタリングにより
成膜する。次に、上記抵抗金属膜および配線金属膜を所
定形状とすべく、フォトリソグラフィによりそれぞれパ
ターニングして、図１に示すような配線構造を得る。こ
のようにしてパターニングされたヒータ２、共通配線部
３および個別配線部４の上に、これら各金属層を保護す
るために厚さ約１μｍのＳｉＯ2 、次いで厚さ約０．５
μｍのＴａの保護膜（各々図示略）を順次スパッタリン
グにより成膜する。次に、これら２層の保護膜の不要部
分をフォトリソグラフィにより取り除く。
層を有するシリコンウエハ上に厚さ約０．１μｍのＨｆ
Ｂ２の抵抗金属膜をスパッタリングにより成膜する。次
に、このヒータを構成する上記金属膜上に厚さ約０．５
μｍのＡｌの配線金属膜をやはりスパッタリングにより
成膜する。次に、上記抵抗金属膜および配線金属膜を所
定形状とすべく、フォトリソグラフィによりそれぞれパ
ターニングして、図１に示すような配線構造を得る。こ
のようにしてパターニングされたヒータ２、共通配線部
３および個別配線部４の上に、これら各金属層を保護す
るために厚さ約１μｍのＳｉＯ2 、次いで厚さ約０．５
μｍのＴａの保護膜（各々図示略）を順次スパッタリン
グにより成膜する。次に、これら２層の保護膜の不要部
分をフォトリソグラフィにより取り除く。
【００３３】このようにしてヒータおよび各配線部を備
えた基板１を得る。この基板１は後に詳述するように図
５および図６に示すインクジェット記録ヘッドに組み込
むことが可能であり、これにより得られたインクジェッ
ト記録ヘッドを図７に示す記録装置に組み込むことも可
能である。なお、上記基板１は、図６におけるヒータボ
ード１００および配線基板２００に相当する。
えた基板１を得る。この基板１は後に詳述するように図
５および図６に示すインクジェット記録ヘッドに組み込
むことが可能であり、これにより得られたインクジェッ
ト記録ヘッドを図７に示す記録装置に組み込むことも可
能である。なお、上記基板１は、図６におけるヒータボ
ード１００および配線基板２００に相当する。
【００３４】上記基板１における列状のヒータ２と一端
縁１ａとの距離は、上記基板１に対する実装中の切断工
程において上記一端縁１ａを切断することにより所定寸
法に設定することができる。
縁１ａとの距離は、上記基板１に対する実装中の切断工
程において上記一端縁１ａを切断することにより所定寸
法に設定することができる。
【００３５】なお、上記実施例では、一対のヒータ２に
ついての配線本数を、１本の共通配線部３および２本の
個別配線部４の合計３本としたが、これは４本の配線部
を必要としていた従来の場合と比べて配線部の電気抵抗
値を格段に低減することができる点で本発明が従来より
有利であり、このことは配線抵抗による電力損失が小さ
いことを意味する。すなわち、本実施例での配線抵抗値
が約２５Ωであるのに対し、４本の配線を有する従来の
場合には約４０Ω程度と明らかに抵抗値に差異が見られ
る。
ついての配線本数を、１本の共通配線部３および２本の
個別配線部４の合計３本としたが、これは４本の配線部
を必要としていた従来の場合と比べて配線部の電気抵抗
値を格段に低減することができる点で本発明が従来より
有利であり、このことは配線抵抗による電力損失が小さ
いことを意味する。すなわち、本実施例での配線抵抗値
が約２５Ωであるのに対し、４本の配線を有する従来の
場合には約４０Ω程度と明らかに抵抗値に差異が見られ
る。
【００３６】また、本実施例では、図１に示すように配
線のピッチが細かい場合には、隣接する配線との間での
ショートを防ぐため、配線間に一定の隙間をあける必要
があるので、電気抵抗値は配線本数の比よりも大きく変
化する。ここで、図２に示すようにヒータ２の大きさは
電気実装のためのボンディングパッド５等の大きさと比
べて非常に小さいものであるので、両者間を接続するた
めの配線部の大きさを、例えばボンディングパッド５側
からヒータ２側へと徐々に小さくしなければならず、長
い配線部を必要とする。このため、その配線部の抵抗値
が大きくなる。抵抗値を小さくするためには配線部の本
数を減らすことが重要であるが、そのためには配線間の
隙間を狭くし、その分、配線部の幅を拡げることが有効
である。しかし、基板１上の配線全体において配線間の
隙間を狭くしようとすると、製造上の不良を発生させ易
い。そこで、本実施例では、配線の幅を広くすることが
困難である限られた位置においてのみ、配線間の隙間を
狭く設定し、それ以外の部分における配線間の隙間を広
く設定した。具体的には、図１に示すようにヒータ２に
近づくに従って配線間の隙間が狭くなっていくのがわか
る。このように限られた範囲においてのみ配線間の隙間
を狭くするのであれば、比較的精度の低いマクスアライ
ナーを用いても不良の発生率が低く、高い歩留りで生産
することが可能である。
線のピッチが細かい場合には、隣接する配線との間での
ショートを防ぐため、配線間に一定の隙間をあける必要
があるので、電気抵抗値は配線本数の比よりも大きく変
化する。ここで、図２に示すようにヒータ２の大きさは
電気実装のためのボンディングパッド５等の大きさと比
べて非常に小さいものであるので、両者間を接続するた
めの配線部の大きさを、例えばボンディングパッド５側
からヒータ２側へと徐々に小さくしなければならず、長
い配線部を必要とする。このため、その配線部の抵抗値
が大きくなる。抵抗値を小さくするためには配線部の本
数を減らすことが重要であるが、そのためには配線間の
隙間を狭くし、その分、配線部の幅を拡げることが有効
である。しかし、基板１上の配線全体において配線間の
隙間を狭くしようとすると、製造上の不良を発生させ易
い。そこで、本実施例では、配線の幅を広くすることが
困難である限られた位置においてのみ、配線間の隙間を
狭く設定し、それ以外の部分における配線間の隙間を広
く設定した。具体的には、図１に示すようにヒータ２に
近づくに従って配線間の隙間が狭くなっていくのがわか
る。このように限られた範囲においてのみ配線間の隙間
を狭くするのであれば、比較的精度の低いマクスアライ
ナーを用いても不良の発生率が低く、高い歩留りで生産
することが可能である。
【００３７】上記のような構成を有する基板１を組み込
んだインクジェット記録ヘッドにあっては、駆動にあた
っては隣接する２個のヒータ２ａと２ｂとを対とし、こ
の対のヒータ２ａと２ｂとに共通する共通配線部３を有
するので、同じ対のヒータ２ａと２ｂとを同時に駆動す
ることは不適当であるため、異なるタイミングで駆動す
る。従って、２つ以上のブロックに分けて駆動すること
となる。実用的には、記録ヘッド全体における最大電流
を小さくするため、さらに多くのブロックに分けて、ブ
ロック別に異なるタイミングで駆動することが望まし
い。
んだインクジェット記録ヘッドにあっては、駆動にあた
っては隣接する２個のヒータ２ａと２ｂとを対とし、こ
の対のヒータ２ａと２ｂとに共通する共通配線部３を有
するので、同じ対のヒータ２ａと２ｂとを同時に駆動す
ることは不適当であるため、異なるタイミングで駆動す
る。従って、２つ以上のブロックに分けて駆動すること
となる。実用的には、記録ヘッド全体における最大電流
を小さくするため、さらに多くのブロックに分けて、ブ
ロック別に異なるタイミングで駆動することが望まし
い。
【００３８】（実施例２）図３は、本発明のインクジェ
ット記録ヘッドの他の実施例における配線基板上の積層
構造を示す断面図である。
ット記録ヘッドの他の実施例における配線基板上の積層
構造を示す断面図である。
【００３９】図３において符号１０は金属製の支持体で
ある。支持体１０の上部には実施例１とほぼ同様な方法
により形成した基板１が載置されている。本実施例で
は、ヒータ２および配線部３および４上に形成されたＳ
ｉＯ2 およびＴａからなる保護膜１１が示されており、
また基板１上のＳｉＯ2 膜１２も示されている。
ある。支持体１０の上部には実施例１とほぼ同様な方法
により形成した基板１が載置されている。本実施例で
は、ヒータ２および配線部３および４上に形成されたＳ
ｉＯ2 およびＴａからなる保護膜１１が示されており、
また基板１上のＳｉＯ2 膜１２も示されている。
【００４０】また、支持体１０の上部には、フレキシブ
ルプリント基板１３が設けられており、このフレキシブ
ルプリント基板１３の端子と基板１の配線部３および４
の各端子とはボンディングワイヤ１４により接続されて
いる。
ルプリント基板１３が設けられており、このフレキシブ
ルプリント基板１３の端子と基板１の配線部３および４
の各端子とはボンディングワイヤ１４により接続されて
いる。
【００４１】さらに、上記基板１のヒータ２の直上に
は、インクの吐出口１５が設けられ、この吐出口１５を
介してインクが吐出されるようになっている。図３にお
いてインクは矢印Ａ方向からヒータ２の直上の空間へ供
給され、駆動電流の印加により矢印Ｂ方向へ吐出され
る。
は、インクの吐出口１５が設けられ、この吐出口１５を
介してインクが吐出されるようになっている。図３にお
いてインクは矢印Ａ方向からヒータ２の直上の空間へ供
給され、駆動電流の印加により矢印Ｂ方向へ吐出され
る。
【００４２】本実施例では、ヒータ２から吐出口１５ま
での距離は配線等により制限されることはない。しか
し、吐出した後に、インクが再びヒータ２と吐出口１５
までの空間に満たされるまでの時間を可能な限り短くす
る必要がある。このためには、本実施例においても、ヒ
ータ２から基板１の一端縁１ａまでの距離を短くするこ
とが有効である。
での距離は配線等により制限されることはない。しか
し、吐出した後に、インクが再びヒータ２と吐出口１５
までの空間に満たされるまでの時間を可能な限り短くす
る必要がある。このためには、本実施例においても、ヒ
ータ２から基板１の一端縁１ａまでの距離を短くするこ
とが有効である。
【００４３】（実施例３）図４は、本発明のインクジェ
ット記録ヘッドのさらに他の実施例における配線基板上
の配線構造の要部を示す平面図である。
ット記録ヘッドのさらに他の実施例における配線基板上
の配線構造の要部を示す平面図である。
【００４４】本実施例におけるヒータ２は正方形であ
り、基板１の一端縁１ａに対して４５度傾けて配置され
ている。また、ヒータ２の群と基板１の一端縁１ａとの
間には、ヒータ２の群の近傍に隣接する対の共通配線部
３同士を接続する接続配線部２０が設けられている。狭
いスペースに形成されているため、接続配線部２０の線
幅は極めて細いものである。なお、接続配線部２０がヒ
ータ２の群寄りに設けられた理由は、実装中の基板端部
に対する切断工程でクラックの発生が考えられる基板端
部から離れる必要があったからである。
り、基板１の一端縁１ａに対して４５度傾けて配置され
ている。また、ヒータ２の群と基板１の一端縁１ａとの
間には、ヒータ２の群の近傍に隣接する対の共通配線部
３同士を接続する接続配線部２０が設けられている。狭
いスペースに形成されているため、接続配線部２０の線
幅は極めて細いものである。なお、接続配線部２０がヒ
ータ２の群寄りに設けられた理由は、実装中の基板端部
に対する切断工程でクラックの発生が考えられる基板端
部から離れる必要があったからである。
【００４５】本実施例では、隣接する対の共通配線部３
同士が接続配線部２０により接続されているため、隣接
する対に含まれる４個のヒータ２をそれぞれ異なるタイ
ミングで駆動する必要がある。このようにして駆動され
た場合に、１個のヒータ２に電流が流れる時、その電流
の大部分はそのヒータ２に接続された共通配線部３およ
び個別配線部４を流れる。しかし、接続配線部２０を通
しても電流が流れるので、共通配線部３の抵抗値が若干
低下する利点がある。なお、通常、アルミニウム等を用
いた細い配線に大電流を流した場合、マイグレーション
によって配線が破壊されるという問題があるが、本実施
例においては接続配線部２０を流れる電流はヒータ２等
を流れる電流の半分以下であるので、上記問題は発生し
ない。
同士が接続配線部２０により接続されているため、隣接
する対に含まれる４個のヒータ２をそれぞれ異なるタイ
ミングで駆動する必要がある。このようにして駆動され
た場合に、１個のヒータ２に電流が流れる時、その電流
の大部分はそのヒータ２に接続された共通配線部３およ
び個別配線部４を流れる。しかし、接続配線部２０を通
しても電流が流れるので、共通配線部３の抵抗値が若干
低下する利点がある。なお、通常、アルミニウム等を用
いた細い配線に大電流を流した場合、マイグレーション
によって配線が破壊されるという問題があるが、本実施
例においては接続配線部２０を流れる電流はヒータ２等
を流れる電流の半分以下であるので、上記問題は発生し
ない。
【００４６】本実施例では、図１に示した実施例１の場
合と異なり、共通配線部３および各個別配線部４の縁に
ヒータ材が露出していない。これは、ヒータ２と共通配
線部３および各個別配線部４とを一回のフォトリソグラ
フィにより同時にパターニングすることによりヒータ材
の露出を避けるようにしたもので、本実施例においても
ヒータ材が配線部の脇から露出していても差し支えな
い。
合と異なり、共通配線部３および各個別配線部４の縁に
ヒータ材が露出していない。これは、ヒータ２と共通配
線部３および各個別配線部４とを一回のフォトリソグラ
フィにより同時にパターニングすることによりヒータ材
の露出を避けるようにしたもので、本実施例においても
ヒータ材が配線部の脇から露出していても差し支えな
い。
【００４７】なお、上記各実施例において、各配線部を
ボンディングワイヤを通して基板外に接続しているが、
これに限定されることなく、例えば通常のＩＣの製造方
法によりシリコンの基板内に駆動回路を作成し、上記各
配線部を当該駆動回路に接続してもよい。
ボンディングワイヤを通して基板外に接続しているが、
これに限定されることなく、例えば通常のＩＣの製造方
法によりシリコンの基板内に駆動回路を作成し、上記各
配線部を当該駆動回路に接続してもよい。
【００４８】図５は、以上の構成のインクジェットヘッ
ドが適用されるインクジェットカートリッジＩＪＣの斜
視図、図６はその分解斜視図を示す。これらの図におい
て、１００はＳｉ基板上に複数の列状に配された電気熱
変換体とこの電気熱変換体に電力を供給するＡｌ等の電
気配線とが成膜技術により形成されてなるヒータボー
ド、２００はヒータボード１００に対する配線基板であ
り、配線基板２００はヒータボード１００の配線に対応
する配線およびこの配線の端部に位置して本体装置から
の電気信号を受けるパッド２１０を有する。３００は複
数のインク流路およびこれらに連通する共通液室それぞ
れ区分するための隔壁等を設けた天板、４００は共通液
室に連通するインク受け口、５００は吐出口を複数個有
するオリフィスプレートであり、これらは例えばポリサ
ルフォンにより一体成形される。６００は配線基板２０
０の裏面を平面で支持する例えば金属製の支持体であ
り、インクジェットユニットの底板となる。７００は天
板３００およびヒータボード１００を支持体６００に圧
着固定する押さえばねであり、この押さえばね７００の
足部は支持体６００の穴６１０に係合されている。８０
０はインク供給部材であり、このインク供給部材８００
には後述するインクタンクＩＴの供給口１０２０を介し
てインク吸収体１１００に一端が圧接されるインク供給
管８１０と、このインク供給管８１０の他端に一端が連
続しかつ他端が前記インク受け口４００に圧接されるイ
ンク導管８２０とが形成されている。９００はインク供
給管８１０のタンク側端部に設けたれたフィルタであ
る。なお、支持体６００の供給口１０２０に対応する位
置には、インク供給管８１０が貫通する穴６２０が形成
されている。
ドが適用されるインクジェットカートリッジＩＪＣの斜
視図、図６はその分解斜視図を示す。これらの図におい
て、１００はＳｉ基板上に複数の列状に配された電気熱
変換体とこの電気熱変換体に電力を供給するＡｌ等の電
気配線とが成膜技術により形成されてなるヒータボー
ド、２００はヒータボード１００に対する配線基板であ
り、配線基板２００はヒータボード１００の配線に対応
する配線およびこの配線の端部に位置して本体装置から
の電気信号を受けるパッド２１０を有する。３００は複
数のインク流路およびこれらに連通する共通液室それぞ
れ区分するための隔壁等を設けた天板、４００は共通液
室に連通するインク受け口、５００は吐出口を複数個有
するオリフィスプレートであり、これらは例えばポリサ
ルフォンにより一体成形される。６００は配線基板２０
０の裏面を平面で支持する例えば金属製の支持体であ
り、インクジェットユニットの底板となる。７００は天
板３００およびヒータボード１００を支持体６００に圧
着固定する押さえばねであり、この押さえばね７００の
足部は支持体６００の穴６１０に係合されている。８０
０はインク供給部材であり、このインク供給部材８００
には後述するインクタンクＩＴの供給口１０２０を介し
てインク吸収体１１００に一端が圧接されるインク供給
管８１０と、このインク供給管８１０の他端に一端が連
続しかつ他端が前記インク受け口４００に圧接されるイ
ンク導管８２０とが形成されている。９００はインク供
給管８１０のタンク側端部に設けたれたフィルタであ
る。なお、支持体６００の供給口１０２０に対応する位
置には、インク供給管８１０が貫通する穴６２０が形成
されている。
【００４９】このように構成されるインクジェットユニ
ットＩＪＵにインクを供給するインクタンクＩＴは、カ
ートリッジ本体１０００と、インクを含浸させるための
インク吸収体１１００と、このインク吸収体１１００を
カートリッジ本体１０００に上記インクジェットユニッ
トＩＪＵ取付面とは反対側から挿入した後これを封止す
るためのするための蓋部材１２００とで構成されてい
る。カートリッジ本体１０００には、インクタンクＩＴ
内に空気を供給するための大気連通口１０１０が形成さ
れており、この大気連通口１０１０には、この大気連通
口１０１０からのインク漏れを防止するための撥液材１
３００が挿入されている。また、カートリッジ本体１０
００には、インク供給口１０２０が形成されており、こ
のインク供給口１０２０には、パッキン１４００が設け
られている。なお、上述したインクジェットユニットＩ
ＪＵは、カートリッジ本体１０００のインク吸収体１１
００挿入側とは反対側の側面支持体６００を固定するこ
とにより取り付けられ、蓋部材１５００で覆われてい
る。
ットＩＪＵにインクを供給するインクタンクＩＴは、カ
ートリッジ本体１０００と、インクを含浸させるための
インク吸収体１１００と、このインク吸収体１１００を
カートリッジ本体１０００に上記インクジェットユニッ
トＩＪＵ取付面とは反対側から挿入した後これを封止す
るためのするための蓋部材１２００とで構成されてい
る。カートリッジ本体１０００には、インクタンクＩＴ
内に空気を供給するための大気連通口１０１０が形成さ
れており、この大気連通口１０１０には、この大気連通
口１０１０からのインク漏れを防止するための撥液材１
３００が挿入されている。また、カートリッジ本体１０
００には、インク供給口１０２０が形成されており、こ
のインク供給口１０２０には、パッキン１４００が設け
られている。なお、上述したインクジェットユニットＩ
ＪＵは、カートリッジ本体１０００のインク吸収体１１
００挿入側とは反対側の側面支持体６００を固定するこ
とにより取り付けられ、蓋部材１５００で覆われてい
る。
【００５０】図７は、以上のように構成されるインクジ
ェットカートリッジＩＪＣが搭載されるインクジェット
記録装置の一例の概観図を示す。このインクジェット記
録装置ＩＪＲＡは、駆動モータの２０１０の正逆回転に
連動して駆動力伝達ギア２０２０，２０３０を介して回
転するリードスクリュー２０４０を有する。インクジェ
ットカートリッジＩＪＣが載置されるキャリッジＨＣ
は、キャリッジ軸２０５０およびリードスクリュー２０
４０に支持され、リードスクリュー２０４０のら線溝２
０４１に対して係合するピン（不図示）を有しており、
リードスクリュー２０４０の回転に伴って、矢印ａ，ｂ
方向に往復移動される。２０６０は紙押え板であり、キ
ャリッジ移動方向にわたって紙Ｐをプラテンローラ２０
７０に対して押圧する。２０８０および２０９０はフォ
トカプラで、これらは、キャリッジＨＣに設けられたレ
バー２１００のこの域での存在を確認してモータ２０１
０の回転方向切換等を行うためのホームポジション検知
手段として動作する。２１１０は記録ヘッドの前面をキ
ャップするキャップ部材であり、支持部材２１２０によ
り支持されている。２１３０はこのキャップ内を吸引す
る吸引手段であり、キャップ内開口を介して記録ヘッド
の吸引回復を行う。記録ヘッドの端面をクリーニングす
るクリーニングブレード２１４０は、前後方向に移動可
能に部材２１５０に設けられており、これらは本体支持
板２１６０に支持されている。ブレード２１４０はこの
形態に限定されず、周知のクリーニングブレードが本例
に適用できることはいうまでもない。また、２１７０は
吸引回復の吸引を開始するためのレバーであり、キャリ
ッジＨＣと係合するカム２１８０の移動に伴って移動す
るようになっており、これにより駆動モータ２０１０か
らの駆動力がクラツチ切換等の公知の伝達手段で移動制
御される。
ェットカートリッジＩＪＣが搭載されるインクジェット
記録装置の一例の概観図を示す。このインクジェット記
録装置ＩＪＲＡは、駆動モータの２０１０の正逆回転に
連動して駆動力伝達ギア２０２０，２０３０を介して回
転するリードスクリュー２０４０を有する。インクジェ
ットカートリッジＩＪＣが載置されるキャリッジＨＣ
は、キャリッジ軸２０５０およびリードスクリュー２０
４０に支持され、リードスクリュー２０４０のら線溝２
０４１に対して係合するピン（不図示）を有しており、
リードスクリュー２０４０の回転に伴って、矢印ａ，ｂ
方向に往復移動される。２０６０は紙押え板であり、キ
ャリッジ移動方向にわたって紙Ｐをプラテンローラ２０
７０に対して押圧する。２０８０および２０９０はフォ
トカプラで、これらは、キャリッジＨＣに設けられたレ
バー２１００のこの域での存在を確認してモータ２０１
０の回転方向切換等を行うためのホームポジション検知
手段として動作する。２１１０は記録ヘッドの前面をキ
ャップするキャップ部材であり、支持部材２１２０によ
り支持されている。２１３０はこのキャップ内を吸引す
る吸引手段であり、キャップ内開口を介して記録ヘッド
の吸引回復を行う。記録ヘッドの端面をクリーニングす
るクリーニングブレード２１４０は、前後方向に移動可
能に部材２１５０に設けられており、これらは本体支持
板２１６０に支持されている。ブレード２１４０はこの
形態に限定されず、周知のクリーニングブレードが本例
に適用できることはいうまでもない。また、２１７０は
吸引回復の吸引を開始するためのレバーであり、キャリ
ッジＨＣと係合するカム２１８０の移動に伴って移動す
るようになっており、これにより駆動モータ２０１０か
らの駆動力がクラツチ切換等の公知の伝達手段で移動制
御される。
【００５１】これらのキヤツピング、クリーニング、吸
引回復は、キャリッジＨＣがホームポジシヨン側領域に
きたときにリードスクリユー２０４０の作用によってそ
れらの対応位置で所望の処理が行えるように構成されて
いるが、周知のタイミングで所望の作動を行うようにす
れば、本例には何れも適用できる。上述における各構成
は単独でも複合的に見ても優れた発明であり、本発明に
とって好ましい構成例を示している。
引回復は、キャリッジＨＣがホームポジシヨン側領域に
きたときにリードスクリユー２０４０の作用によってそ
れらの対応位置で所望の処理が行えるように構成されて
いるが、周知のタイミングで所望の作動を行うようにす
れば、本例には何れも適用できる。上述における各構成
は単独でも複合的に見ても優れた発明であり、本発明に
とって好ましい構成例を示している。
【００５２】（その他）なお、本発明は、特にインクジ
ェット記録方式の中でも、インク吐出を行わせるために
利用されるエネルギとして熱エネルギを発生する手段
（例えば電気熱変換体やレーザ光等）を備え、前記熱エ
ネルギによりインクの状態変化を生起させる方式の記録
ヘッド、記録装置において優れた効果をもたらすもので
ある。かかる方式によれば記録の高密度化，高精細化が
達成できるからである。
ェット記録方式の中でも、インク吐出を行わせるために
利用されるエネルギとして熱エネルギを発生する手段
（例えば電気熱変換体やレーザ光等）を備え、前記熱エ
ネルギによりインクの状態変化を生起させる方式の記録
ヘッド、記録装置において優れた効果をもたらすもので
ある。かかる方式によれば記録の高密度化，高精細化が
達成できるからである。
【００５３】その代表的な構成や原理については、例え
ば、米国特許第４７２３１２９号明細書，同第４７４０
７９６号明細書に開示されている基本的な原理を用いて
行うものが好ましい。この方式は所謂オンデマンド型，
コンティニュアス型のいずれにも適用可能であるが、特
に、オンデマンド型の場合には、液体（インク）が保持
されているシートや液路に対応して配置されている電気
熱変換体に、記録情報に対応していて核沸騰を越える急
速な温度上昇を与える少なくとも１つの駆動信号を印加
することによって、電気熱変換体に熱エネルギを発生せ
しめ、記録ヘッドの熱作用面に膜沸騰を生じさせて、結
果的にこの駆動信号に一対一で対応した液体（インク）
内の気泡を形成できるので有効である。この気泡の成
長，収縮により吐出用開口を介して液体（インク）を吐
出させて、少なくとも１つの滴を形成する。この駆動信
号をパルス形状とすると、即時適切に気泡の成長収縮が
行われるので、特に応答性に優れた液体（インク）の吐
出が達成でき、より好ましい。このパルス形状の駆動信
号としては、米国特許第４４６３３５９号明細書，同第
４３４５２６２号明細書に記載されているようなものが
適している。なお、上記熱作用面の温度上昇率に関する
発明の米国特許第４３１３１２４号明細書に記載されて
いる条件を採用すると、さらに優れた記録を行うことが
できる。
ば、米国特許第４７２３１２９号明細書，同第４７４０
７９６号明細書に開示されている基本的な原理を用いて
行うものが好ましい。この方式は所謂オンデマンド型，
コンティニュアス型のいずれにも適用可能であるが、特
に、オンデマンド型の場合には、液体（インク）が保持
されているシートや液路に対応して配置されている電気
熱変換体に、記録情報に対応していて核沸騰を越える急
速な温度上昇を与える少なくとも１つの駆動信号を印加
することによって、電気熱変換体に熱エネルギを発生せ
しめ、記録ヘッドの熱作用面に膜沸騰を生じさせて、結
果的にこの駆動信号に一対一で対応した液体（インク）
内の気泡を形成できるので有効である。この気泡の成
長，収縮により吐出用開口を介して液体（インク）を吐
出させて、少なくとも１つの滴を形成する。この駆動信
号をパルス形状とすると、即時適切に気泡の成長収縮が
行われるので、特に応答性に優れた液体（インク）の吐
出が達成でき、より好ましい。このパルス形状の駆動信
号としては、米国特許第４４６３３５９号明細書，同第
４３４５２６２号明細書に記載されているようなものが
適している。なお、上記熱作用面の温度上昇率に関する
発明の米国特許第４３１３１２４号明細書に記載されて
いる条件を採用すると、さらに優れた記録を行うことが
できる。
【００５４】記録ヘッドの構成としては、上述の各明細
書に開示されているような吐出口，液路，電気熱変換体
の組合せ構成（直線状液流路または直角液流路）の他に
熱作用部が屈曲する領域に配置されている構成を開示す
る米国特許第４５５８３３３号明細書，米国特許第４４
５９６００号明細書を用いた構成も本発明に含まれるも
のである。加えて、複数の電気熱変換体に対して、共通
するスリットを電気熱変換体の吐出部とする構成を開示
する特開昭５９−１２３６７０号公報や熱エネルギの圧
力波を吸収する開孔を吐出部に対応させる構成を開示す
る特開昭５９−１３８４６１号公報に基いた構成として
も本発明の効果は有効である。すなわち、記録ヘッドの
形態がどのようなものであっても、本発明によれば記録
を確実に効率よく行うことができるようになるからであ
る。
書に開示されているような吐出口，液路，電気熱変換体
の組合せ構成（直線状液流路または直角液流路）の他に
熱作用部が屈曲する領域に配置されている構成を開示す
る米国特許第４５５８３３３号明細書，米国特許第４４
５９６００号明細書を用いた構成も本発明に含まれるも
のである。加えて、複数の電気熱変換体に対して、共通
するスリットを電気熱変換体の吐出部とする構成を開示
する特開昭５９−１２３６７０号公報や熱エネルギの圧
力波を吸収する開孔を吐出部に対応させる構成を開示す
る特開昭５９−１３８４６１号公報に基いた構成として
も本発明の効果は有効である。すなわち、記録ヘッドの
形態がどのようなものであっても、本発明によれば記録
を確実に効率よく行うことができるようになるからであ
る。
【００５５】さらに、記録装置が記録できる記録媒体の
最大幅に対応した長さを有するフルラインタイプの記録
ヘッドに対しても本発明は有効に適用できる。そのよう
な記録ヘッドとしては、複数記録ヘッドの組合せによっ
てその長さを満たす構成や、一体的に形成された１個の
記録ヘッドとしての構成のいずれでもよい。
最大幅に対応した長さを有するフルラインタイプの記録
ヘッドに対しても本発明は有効に適用できる。そのよう
な記録ヘッドとしては、複数記録ヘッドの組合せによっ
てその長さを満たす構成や、一体的に形成された１個の
記録ヘッドとしての構成のいずれでもよい。
【００５６】加えて、上例のようなシリアルタイプのも
のでも、装置本体に固定された記録ヘッド、あるいは装
置本体に装着されることで装置本体との電気的な接続や
装置本体からのインクの供給が可能になる交換自在のチ
ップタイプの記録ヘッド、あるいは記録ヘッド自体に一
体的にインクタンクが設けられたカートリッジタイプの
記録ヘッドを用いた場合にも本発明は有効である。
のでも、装置本体に固定された記録ヘッド、あるいは装
置本体に装着されることで装置本体との電気的な接続や
装置本体からのインクの供給が可能になる交換自在のチ
ップタイプの記録ヘッド、あるいは記録ヘッド自体に一
体的にインクタンクが設けられたカートリッジタイプの
記録ヘッドを用いた場合にも本発明は有効である。
【００５７】また、本発明の記録装置の構成として、記
録ヘッドの吐出回復手段、予備的な補助手段等を付加す
ることは本発明の効果を一層安定できるので、好ましい
ものである。これらを具体的に挙げれば、記録ヘッドに
対してのキャッピング手段、クリーニング手段、加圧或
は吸引手段、電気熱変換体或はこれとは別の加熱素子或
はこれらの組み合わせを用いて加熱を行う予備加熱手
段、記録とは別の吐出を行なう予備吐出手段を挙げるこ
とができる。
録ヘッドの吐出回復手段、予備的な補助手段等を付加す
ることは本発明の効果を一層安定できるので、好ましい
ものである。これらを具体的に挙げれば、記録ヘッドに
対してのキャッピング手段、クリーニング手段、加圧或
は吸引手段、電気熱変換体或はこれとは別の加熱素子或
はこれらの組み合わせを用いて加熱を行う予備加熱手
段、記録とは別の吐出を行なう予備吐出手段を挙げるこ
とができる。
【００５８】また、搭載される記録ヘッドの種類ないし
個数についても、例えば単色のインクに対応して１個の
みが設けられたものの他、記録色や濃度を異にする複数
のインクに対応して複数個数設けられるものであっても
よい。すなわち、例えば記録装置の記録モードとしては
黒色等の主流色のみの記録モードだけではなく、記録ヘ
ッドを一体的に構成するか複数個の組み合わせによるか
いずれでもよいが、異なる色の複色カラー、または混色
によるフルカラーの各記録モードの少なくとも一つを備
えた装置にも本発明は極めて有効である。
個数についても、例えば単色のインクに対応して１個の
みが設けられたものの他、記録色や濃度を異にする複数
のインクに対応して複数個数設けられるものであっても
よい。すなわち、例えば記録装置の記録モードとしては
黒色等の主流色のみの記録モードだけではなく、記録ヘ
ッドを一体的に構成するか複数個の組み合わせによるか
いずれでもよいが、異なる色の複色カラー、または混色
によるフルカラーの各記録モードの少なくとも一つを備
えた装置にも本発明は極めて有効である。
【００５９】さらに加えて、以上説明した本発明実施例
においては、インクを液体として説明しているが、室温
やそれ以下で固化するインクであって、室温で軟化もし
くは液化するものを用いてもよく、あるいはインクジェ
ット方式ではインク自体を３０℃以上７０℃以下の範囲
内で温度調整を行ってインクの粘性を安定吐出範囲にあ
るように温度制御するものが一般的であるから、使用記
録信号付与時にインクが液状をなすものを用いてもよ
い。加えて、熱エネルギによる昇温を、インクの固形状
態から液体状態への状態変化のエネルギとして使用せし
めることで積極的に防止するため、またはインクの蒸発
を防止するため、放置状態で固化し加熱によって液化す
るインクを用いてもよい。いずれにしても熱エネルギの
記録信号に応じた付与によってインクが液化し、液状イ
ンクが吐出されるものや、記録媒体に到達する時点では
すでに固化し始めるもの等のような、熱エネルギの付与
によって初めて液化する性質のインクを使用する場合も
本発明は適用可能である。このような場合のインクは、
特開昭５４−５６８４７号公報あるいは特開昭６０−７
１２６０号公報に記載されるような、多孔質シート凹部
または貫通孔に液状又は固形物として保持された状態
で、電気熱変換体に対して対向するような形態としても
よい。本発明においては、上述した各インクに対して最
も有効なものは、上述した膜沸騰方式を実行するもので
ある。
においては、インクを液体として説明しているが、室温
やそれ以下で固化するインクであって、室温で軟化もし
くは液化するものを用いてもよく、あるいはインクジェ
ット方式ではインク自体を３０℃以上７０℃以下の範囲
内で温度調整を行ってインクの粘性を安定吐出範囲にあ
るように温度制御するものが一般的であるから、使用記
録信号付与時にインクが液状をなすものを用いてもよ
い。加えて、熱エネルギによる昇温を、インクの固形状
態から液体状態への状態変化のエネルギとして使用せし
めることで積極的に防止するため、またはインクの蒸発
を防止するため、放置状態で固化し加熱によって液化す
るインクを用いてもよい。いずれにしても熱エネルギの
記録信号に応じた付与によってインクが液化し、液状イ
ンクが吐出されるものや、記録媒体に到達する時点では
すでに固化し始めるもの等のような、熱エネルギの付与
によって初めて液化する性質のインクを使用する場合も
本発明は適用可能である。このような場合のインクは、
特開昭５４−５６８４７号公報あるいは特開昭６０−７
１２６０号公報に記載されるような、多孔質シート凹部
または貫通孔に液状又は固形物として保持された状態
で、電気熱変換体に対して対向するような形態としても
よい。本発明においては、上述した各インクに対して最
も有効なものは、上述した膜沸騰方式を実行するもので
ある。
【００６０】さらに加えて、本発明インクジェット記録
装置の形態としては、コンピュータ等の情報処理機器の
画像出力端末として用いられるものの他、リーダ等と組
合せた複写装置、さらには送受信機能を有するファクシ
ミリ装置の形態を採るもの等であってもよい。
装置の形態としては、コンピュータ等の情報処理機器の
画像出力端末として用いられるものの他、リーダ等と組
合せた複写装置、さらには送受信機能を有するファクシ
ミリ装置の形態を採るもの等であってもよい。
【００６１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
複数の熱エネルギ発生素子が、隣接する２つの熱エネル
ギ発生素子を対とし、この対をなす２つの熱エネルギ発
生素子に共通して接続された共通配線部と、個別に接続
された個別配線部とによって各々挟まれており、この対
をなす２つの熱エネルギ発生素子を異なるブロックとし
て複数のブロックに分割され、このブロック毎に異なる
タイミングで熱エネルギを発生するものである構成とす
ることにより、配線本数を削減して配線抵抗による電力
損失を小さくすることができる上、共通配線部で生じる
電圧降下を抑えることができるとともに、低い印加電圧
で安定したインク吐出を行うことができるインクジェッ
ト記録ヘッドおよび、その記録ヘッドを具備した記録装
置を提供することができる。
複数の熱エネルギ発生素子が、隣接する２つの熱エネル
ギ発生素子を対とし、この対をなす２つの熱エネルギ発
生素子に共通して接続された共通配線部と、個別に接続
された個別配線部とによって各々挟まれており、この対
をなす２つの熱エネルギ発生素子を異なるブロックとし
て複数のブロックに分割され、このブロック毎に異なる
タイミングで熱エネルギを発生するものである構成とす
ることにより、配線本数を削減して配線抵抗による電力
損失を小さくすることができる上、共通配線部で生じる
電圧降下を抑えることができるとともに、低い印加電圧
で安定したインク吐出を行うことができるインクジェッ
ト記録ヘッドおよび、その記録ヘッドを具備した記録装
置を提供することができる。
【００６２】また、本発明によれば、対をなす２つの熱
エネルギ発生素子の各々と共通配線部との接続部同士が
共通配線部を介して対向している構成とすることによ
り、複数の熱エネルギ発生素子をインク吐出面の一部を
構成する配線基板の一端縁の近傍に配設することができ
るので、熱エネルギを受けても実際には吐出されるに至
らなかったインクの量を可能な限り減らして熱エネルギ
変換効率を高めることができるインクジェット記録ヘッ
ドおよび、その記録ヘッドを具備した記録装置を提供す
ることができる。
エネルギ発生素子の各々と共通配線部との接続部同士が
共通配線部を介して対向している構成とすることによ
り、複数の熱エネルギ発生素子をインク吐出面の一部を
構成する配線基板の一端縁の近傍に配設することができ
るので、熱エネルギを受けても実際には吐出されるに至
らなかったインクの量を可能な限り減らして熱エネルギ
変換効率を高めることができるインクジェット記録ヘッ
ドおよび、その記録ヘッドを具備した記録装置を提供す
ることができる。
【図１】本発明のインクジェット記録ヘッドの一実施例
における配線基板上の配線構造の要部を示す平面図であ
る。
における配線基板上の配線構造の要部を示す平面図であ
る。
【図２】図１に示した配線基板上の配線構造の全体を示
す平面図である。
す平面図である。
【図３】本発明のインクジェット記録ヘッドの他の実施
例における配線基板上の積層構造を示す断面図である。
例における配線基板上の積層構造を示す断面図である。
【図４】本発明のインクジェット記録ヘッドのさらに他
の実施例における配線基板上の配線構造の要部を示す平
面図である。
の実施例における配線基板上の配線構造の要部を示す平
面図である。
【図５】本発明のインクジェット記録ヘッドの実施例の
外部構成を示す斜視図である。
外部構成を示す斜視図である。
【図６】図５に示したインクジェット記録ヘッドの内部
構成を示す分解斜視図である。
構成を示す分解斜視図である。
【図７】本発明のインクジェット記録ヘッドを装着した
記録装置の一実施例の外部構成を示す斜視図である。
記録装置の一実施例の外部構成を示す斜視図である。
１ 基板 ２ ヒータ（熱エネルギ発生素子） ３ 共通配線部 ４ 個別配線部 ５ ボンディングパッド ６ 共通接続部 １０ 支持体 １１ 保護膜 １２ ＳｉＯ2 膜 １３ フレキシブルプリント基板 １４ ボンディングワイヤ １５ 吐出口 ２０ 接続配線部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B41J 2/05
Claims (7)
- 【請求項１】 配線基板上に列状に配設された複数の熱
エネルギ発生素子が発生する熱エネルギによってインク
に状態変化を生じさせ、該状態変化によって生じた気泡
によってインクを吐出するインクジェット記録ヘッドに
おいて、 前記複数の熱エネルギ発生素子は、隣接する２つの熱エ
ネルギ発生素子を対とし、該対をなす２つの熱エネルギ
発生素子に共通して接続された共通配線部と、個別に接
続された個別配線部とによって各々挟まれており、前記
対をなす２つの熱エネルギ発生素子を互いに異なるブロ
ックとして複数のブロックに分割され、該ブロック毎に
異なるタイミングで前記熱エネルギを発生するものであ
り、前記対をなす２つの熱エネルギ発生素子の各々と前
記共通配線部との接続部同士が前記共通配線部を介して
対向していることを特徴とするインクジェット記録ヘッ
ド。 - 【請求項２】 請求項１記載のインクジェット記録ヘッ
ドにおいて、前記複数の熱エネルギ発生素子はインク吐
出面の一部を構成する前記配線基板の一端縁の近傍に配
設され、かつ、該熱エネルギ発生素子の配列方向は前記
基板の一端縁と平行であることを特徴とするインクジェ
ット記録ヘッド。 - 【請求項３】 請求項２記載のインクジェット記録ヘッ
ドにおいて、前記複数の熱エネルギ発生素子の列と前記
配線基板の一端縁との間の前記配線基板上に、前記隣接
する対の各々の前記共通配線部同士を接続するための接
続配線部を設けたことを特徴とするインクジェット記録
ヘッド。 - 【請求項４】 請求項１記載のインクジェット記録ヘッ
ドにおいて、前記インクの吐出方向は前記配線基板の上
面に直交する方向であることを特徴とするインクジェッ
ト記録ヘッド。 - 【請求項５】 請求項１〜４のいずれかの項に記載のイ
ンクジェット記録ヘッドにおいて、前記熱エネルギ発生
素子は、前記インクに膜沸騰を生じさせる熱エネルギを
発生する電気熱変換体であることを特徴とするインクジ
ェット記録ヘッド。 - 【請求項６】 請求項５記載のインクジェット記録ヘッ
ドに、該インクジェット記録ヘッドに供給されるインク
貯留するインクタンクが着脱自在に取り付けられてなる
ものであることを特徴とするインクジェットカートリッ
ジ。 - 【請求項７】 請求項６記載のインクジェットカートリ
ッジと、該インクジェットカートリッジを着脱自在に搭
載するキャリッジと、該キャリッジを記録媒体の搬送方
向に直交する主走査方向に往復移動させるための駆動手
段とを含むことを特徴とするインクジェット記録装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32474393A JP3229472B2 (ja) | 1993-12-22 | 1993-12-22 | インクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録装置 |
| EP94120286A EP0659563B1 (en) | 1993-12-22 | 1994-12-21 | Ink jet recording head and ink jet recording apparatus |
| DE69430110T DE69430110T2 (de) | 1993-12-22 | 1994-12-21 | Tintenstrahlaufzeichnungskopf und Tintenstrahlaufzeichnungsgerät |
| US08/927,801 US6183066B1 (en) | 1993-12-22 | 1997-09-11 | Ink jet recording head having a common wiring structure and ink jet recording apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32474393A JP3229472B2 (ja) | 1993-12-22 | 1993-12-22 | インクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07178910A JPH07178910A (ja) | 1995-07-18 |
| JP3229472B2 true JP3229472B2 (ja) | 2001-11-19 |
Family
ID=18169195
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32474393A Expired - Fee Related JP3229472B2 (ja) | 1993-12-22 | 1993-12-22 | インクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6183066B1 (ja) |
| EP (1) | EP0659563B1 (ja) |
| JP (1) | JP3229472B2 (ja) |
| DE (1) | DE69430110T2 (ja) |
Families Citing this family (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3573539B2 (ja) * | 1995-09-18 | 2004-10-06 | 富士写真フイルム株式会社 | インク噴射記録ヘッド |
| JP3618960B2 (ja) * | 1996-05-13 | 2005-02-09 | キヤノン株式会社 | インクジェット記録ヘッド及び該ヘッドを搭載するインクジェット装置 |
| JPH1044416A (ja) * | 1996-07-31 | 1998-02-17 | Canon Inc | インクジェット記録ヘッド用基板及びそれを用いたインクジェットヘッド、インクジェットヘッドカートリッジおよび液体吐出装置 |
| JPH1170658A (ja) * | 1997-06-20 | 1999-03-16 | Canon Inc | 記録素子ユニット、インクジェット記録素子ユニット、インクジェットカートリッジ、及びインクジェット記録装置 |
| JP2001038904A (ja) * | 1999-08-02 | 2001-02-13 | Casio Comput Co Ltd | インクジェットプリンタヘッド |
| JP3844188B2 (ja) * | 2000-06-30 | 2006-11-08 | セイコーエプソン株式会社 | アクチュエータユニット及びインクジェット式記録ヘッド |
| JP3844187B2 (ja) * | 2000-06-30 | 2006-11-08 | セイコーエプソン株式会社 | アクチュエータユニット及びインクジェット式記録ヘッド |
| KR100456029B1 (ko) * | 2002-11-14 | 2004-11-08 | 삼성전자주식회사 | 연성인쇄기판 |
| US6995355B2 (en) * | 2003-06-23 | 2006-02-07 | Advanced Optical Technologies, Llc | Optical integrating chamber lighting using multiple color sources |
| US9895888B2 (en) * | 2014-04-22 | 2018-02-20 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Fluid flow structure |
| JP6190837B2 (ja) * | 2015-03-23 | 2017-08-30 | 東芝テック株式会社 | インクジェットヘッドおよびインクジェット記録装置 |
| JP6789764B2 (ja) * | 2016-11-04 | 2020-11-25 | 東芝テック株式会社 | 液滴噴射装置 |
| JP7009081B2 (ja) * | 2017-05-17 | 2022-01-25 | キヤノン株式会社 | 像加熱装置及び画像形成装置 |
| JP6431963B2 (ja) * | 2017-08-07 | 2018-11-28 | 東芝テック株式会社 | インクジェット記録装置 |
Family Cites Families (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CA1127227A (en) | 1977-10-03 | 1982-07-06 | Ichiro Endo | Liquid jet recording process and apparatus therefor |
| JPS5936879B2 (ja) | 1977-10-14 | 1984-09-06 | キヤノン株式会社 | 熱転写記録用媒体 |
| US4330787A (en) | 1978-10-31 | 1982-05-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid jet recording device |
| US4345262A (en) | 1979-02-19 | 1982-08-17 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink jet recording method |
| AU531269B2 (en) * | 1979-03-06 | 1983-08-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink jet printer |
| US4463359A (en) | 1979-04-02 | 1984-07-31 | Canon Kabushiki Kaisha | Droplet generating method and apparatus thereof |
| US4313124A (en) | 1979-05-18 | 1982-01-26 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid jet recording process and liquid jet recording head |
| US4558333A (en) | 1981-07-09 | 1985-12-10 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid jet recording head |
| JPS59123670A (ja) | 1982-12-28 | 1984-07-17 | Canon Inc | インクジエツトヘツド |
| JPS59138461A (ja) | 1983-01-28 | 1984-08-08 | Canon Inc | 液体噴射記録装置 |
| JPS59194860A (ja) * | 1983-04-19 | 1984-11-05 | Canon Inc | 液体噴射記録ヘツド |
| JPS6071260A (ja) | 1983-09-28 | 1985-04-23 | Erumu:Kk | 記録装置 |
| JPS60208251A (ja) | 1984-03-31 | 1985-10-19 | Canon Inc | 液体噴射記録ヘツド |
| JPS60219075A (ja) * | 1984-04-16 | 1985-11-01 | Hitachi Ltd | サ−マルヘツド |
| GB2176443B (en) * | 1985-06-10 | 1990-11-14 | Canon Kk | Liquid jet recording head and recording system incorporating the same |
| JP2815146B2 (ja) * | 1987-03-27 | 1998-10-27 | キヤノン株式会社 | インクジェット記録ヘッド用基体及びインクジェット記録ヘッド並びに該記録ヘッドを具備するインクジェット記録装置 |
| JPH02150356A (ja) * | 1988-12-01 | 1990-06-08 | Ricoh Co Ltd | インクジェット記録装置 |
| JP2810755B2 (ja) * | 1990-02-26 | 1998-10-15 | キヤノン株式会社 | インクジェット記録ヘッドの吐出駆動方法およびインクジェット記録装置 |
| ATE142563T1 (de) * | 1990-11-30 | 1996-09-15 | Canon Kk | Tintenstrahldruckkopf mit steuerschaltung dafür |
| IT1250371B (it) * | 1991-12-24 | 1995-04-07 | Olivetti & Co Spa | Testina di stampa a getto d'inchiostro perfezionata. |
-
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