JP2815146B2 - インクジェット記録ヘッド用基体及びインクジェット記録ヘッド並びに該記録ヘッドを具備するインクジェット記録装置 - Google Patents

インクジェット記録ヘッド用基体及びインクジェット記録ヘッド並びに該記録ヘッドを具備するインクジェット記録装置

Info

Publication number
JP2815146B2
JP2815146B2 JP63069680A JP6968088A JP2815146B2 JP 2815146 B2 JP2815146 B2 JP 2815146B2 JP 63069680 A JP63069680 A JP 63069680A JP 6968088 A JP6968088 A JP 6968088A JP 2815146 B2 JP2815146 B2 JP 2815146B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
recording head
ink jet
jet recording
head according
layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP63069680A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH011553A (ja
JPS641553A (en
Inventor
晴彦 寺井
育明 渡部
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP63069680A priority Critical patent/JP2815146B2/ja
Priority to EP88302745A priority patent/EP0289139B1/en
Priority to US07/174,383 priority patent/US4887099A/en
Priority to DE8888302745T priority patent/DE3876004T2/de
Publication of JPH011553A publication Critical patent/JPH011553A/ja
Publication of JPS641553A publication Critical patent/JPS641553A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2815146B2 publication Critical patent/JP2815146B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2/14016—Structure of bubble jet print heads
    • B41J2/14088—Structure of heating means
    • B41J2/14112—Resistive element
    • B41J2/14129—Layer structure
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2002/14379—Edge shooter
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2202/00—Embodiments of or processes related to ink-jet or thermal heads
    • B41J2202/01—Embodiments of or processes related to ink-jet heads
    • B41J2202/03—Specific materials used

Landscapes

  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はインクジェット記録ヘッド用基体及びインク
ジェット記録ヘッド並びに該記録ヘッドを具備するイン
クジェット記録装置に関する。
［従来の技術］ インクジェット記録ヘッドの支持体として、従来か
ら、Si支持体、ガラス支持体、アルミナなどのセラミッ
ク支持体が用いられてきた。
［発明が解決しようとする課題］ Si支持体は性能的には問題がないものの、例えばA3や
A4サイズの記録紙の一辺の長さに対応した記録ヘッドの
長尺化、大型化に対応したSiウエハが現状技術では製造
することが困難であり、また価格的に高価であるという
問題があった。ガラス支持体は熱伝導性が悪いために、
駆動周波数を高くすると蓄熱し、記録液から溶存泡が析
出し、その結果記録液を吐出するのが不可能になるとい
う問題が生ずる場合があった。セラミック支持体は、製
造プロセス上、表面欠陥（すなわち、目視検査や顕微鏡
検査では非常に発見しにくく成膜した後に欠陥上の膜が
脱落して初めて発見できるような数〜数十μｍのピンホ
ール、突起などの表面欠陥）が発生しやすいため、発熱
抵抗層や電極、保護層の成膜時、不良が多くなってしま
うという問題点を有していた。特に保護層の場合にはピ
ンホール部分からインクが進入すると電気熱変換体の電
触を引き起こしてしまうことがある。そこでセラミック
支持体では表面粗度数十Å以下の鏡面を得るため、通常
その片主面上全体にグレーズ層を設けて使用されてい
る。しかしながら、グレーズ層は製造上40〜50μｍの厚
さ以下には薄くすることができないため、ガラス支持体
と同じように蓄熱の問題を生ずる場合があった。
本発明は前述の問題点を解決するためになされたもの
であり、その目的は、良好な記録を実施するのに必要な
放熱性（記録に用いられなかった熱エネルギーによっ
て、液体が不要に加熱されて前記問題点を生じないよう
にするために行なう放熱）が確保されると共に、表面欠
陥の発生を極力少なくして成膜時の不良品の発生を抑制
でき、加えて、ヘッドの長尺化、大型化に対応できるイ
ンクジェット記録ヘッド用基体及びインクジェット記録
ヘッド並びに該記録ヘッドを具備するインクジェット記
録装置を提供することにある。
［課題を解決するための手段］ 上記の目的は、 セラミック材料を用いて形成されている支持体と、該
支持体上に設けられ、発熱抵抗層と該発熱抵抗層に電気
的に接続された一対の電極とを有する電気熱変換体と、
該電気熱変換体上に設けられている保護層と、前記一対
の電極の間に形成される熱発生部を除いて、前記支持体
と前記電気熱変換体との間に設けられている溶融された
ガラス層と、を有することを特徴とするインクジェット
記録ヘッド用基体、及び このインクジェット記録ヘッド用基体と、凹部が設け
られている部材と、が接合されており、前記凹部により
インクを吐出する吐出口に連通するインク通路が形成さ
れていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド、
並びに このインクジェット記録ヘッドを具備するインクジェ
ット記録装置により達成できる。
以下、図面を参照して本発明の実施態様例を詳細に説
明する。
第１図は本発明のインクジェット記録ヘッド用基体の
好ましい実施態様例の一つの特徴部分を示す模式的平面
図であり、第２図は第１図のＡ−Ａ′での模式的断面図
である。このインクジェット記録ヘッド用基体では、支
持体１に、窓状に穴隙をもつグレーズ層２が積層されて
おり、蓄熱層３及び発熱抵抗層４は支持体１のグレーズ
層２のない部分（アングレーズ部）上に少なくとも配さ
れるように、積層されている。そして、発熱抵抗層４に
は電流を供給できるように一対の電極５が接続されてい
る。すなわち、このインクジェット記録ヘッド用基体で
は、アングレーズ部上の発熱抵抗層４が、インクを吐出
させるために利用される熱エネルギーを発生する部分で
ある熱発生部を形成している。
このようなインクジェット記録ヘッド用基体では、前
記熱発生部が形成されている部分Ｘの厚さ方向の熱伝導
については、例えば、材料（例えば、SiO2などの無機酸
化物）や厚さの選定によって所望の熱特性を選定できる
蓄熱層３によって適宜決定できる。このため、本実施態
様例によれば、該部分Ｘで良好な放熱性を確保でき、前
述したような蓄熱の問題が起こらない。しかも、グレー
ズ層２が支持体１の大部分を覆いその表面欠陥を埋め込
んでいるため、鏡面を得ることができる。このため、成
膜された膜にはほとんど欠陥が生ぜず、成膜時の不良が
極めて減少する。即ち、支持体１上に形成され、発熱抵
抗層と該発熱抵抗層に接続された一対の電極とを有する
電気熱変換体の熱発生部は、支持体全体の面積（或いは
少なくとも電気熱変換体が支持体上に設けられている部
分の面積）から見れば大きな領域を占めないので、支持
体の有する欠陥部位のために生ずる歩留りの低下は結果
的に激減させることができる。
第３図に本発明の他の実施態様例を示す。このインク
ジェット記録ヘッド用基体では、隣り合う発熱部間の電
極５をも含めて帯状にアングレース部Ｙが設けられてい
る。すなわち、電極５の一部の下方にもグレーズ層２が
積層されてないところがある。この場合、記録ヘッドの
製造のしやすさは向上する。これらの実施態様例は、上
記放熱性や平滑性に関する作用効果の要求程度と記録ヘ
ッドの製造のしやすさやコストとのかね合い等で、選定
されるべきものである。
本発明では、少なくとも発熱部が形成されている部分
Ｘにグレーズ層２が実質的に存在しなければ良いので、
発熱抵抗層４の大きさ、電極５と発熱抵抗層４との接続
状態、各部の材料等は特別に制限はなく従来より知られ
ているものを使用することで全くさしつかえない。例え
ば、発熱抵抗層４を発熱部が形成されている部分Ｘにほ
ぼ等しい大きさとすることもできる。ただし、従来技術
で挙げた問題点に鑑み、支持体の材料に好適なものとし
てAl2O3、SiC、AlN等のセラミック材料を挙げることが
できる。
また、本発明では、上述したように蓄熱層３があるこ
とが好ましいが、支持体の材質の特性等によっては、蓄
熱層３を省略することもできる。更に、本発明では、発
熱部が形成されているＸの上面等には保護層が設けられ
ている。
本発明のインクジェット記録ヘッド用基体の製造に際
して、支持体１上に部分的にグレーズ層２を形成するに
は、スクリーン印刷による選択被覆法や、グレーズ層２
の被覆後に選択的エッチングを実施する方法などが利用
できる。蓄熱層３や発熱抵抗層４は公知法により成膜す
ればよい。蓄熱層３に関しては、支持体１上にグレーズ
層２を形成する前に該支持体１上に形成してもよい。即
ち、蓄熱層３は支持体１とグレーズ層２との間に設けら
れていてもよい。
本発明においてグレーズ層を形成するためには、従来
グレーズ層、すなわち溶融されたガラス層として広く用
いられてきた材料を用いることができる。その様なグレ
ーズ層の一般的な組成としては、例えば、次に記す通り
である。
SiO2 50〜68重量％ BaO ５〜18重量％ Al2O3 ５〜13重量％ その他 残 グレーズ層を形成するためのものとしてより一層具体
的には、次の記すものを挙げることができる。
GS−2,GS−3,GS−５（以下商品名、京セラ社製） GS−8,G−21,XG−903（以下商品名、日本特殊陶業社
製） HKG−1052（以下商品名、日立化成社製） なお、本発明のインクジェット記録ヘッドの一つの主
要部は、例えば第４図に示すような構造をしている。第
４図に示す記録ヘッドは、液体を吐出して液滴として飛
翔させるために設けられた吐出口６と、吐出口６に連通
する液路７と、液路７に設けられ，液体を吐出して液滴
として飛翔させるために利用されるエネルギーを発生す
る部分である熱発生部4aと、液路７に連通する液室８
と、該液室８に液体を供給するための供給口９と、を具
備している。
第４図に示したインクジェット記録ヘッドでは、吐出
口からイクが吐出する方向と液室から液路にインクが供
給される方向とがほぼ平行であるが、本発明に於いては
これに限定されるものではない。例えば、前記した二つ
の方向がほぼ直角であるタイプのインクジェット記録ヘ
ッドであっても構わない。
第５図は、前記本発明に係るインクジェット記録ヘッ
ドを搭載したインクジェット記録装置の模式的斜視図で
ある。第５図において、符号1000は装置本体、1100は電
源スイッチ、1200は操作パネルである。
［実施例］ 実施例 第１図及び第２図に特徴部分が模式的に示され、第４
図に主要部が示される本発明の実施例に係るインクジェ
ット記録ヘッドを次のように作製した。
Al2O3支持体（京セラ社製アルミナスムース支持体Ａ
−491（商品名）、35×37×厚さ0.635）上にスクリーン
印刷法で窓状に複数の穴があいたガラスペースト層（京
セラ社製GS−５（商品名））を形成し、乾燥後、1200℃
で焼成してグレーズ層２（厚さ:45μｍ）を形成した。
その上に、RFスパッタ法を利用して、SiO2の蓄熱層３
（厚さ:2.75μｍ）とHfB2の発熱抵抗層４（厚さ:1500
Å）を成膜した。次いで、電子ビーム蒸着法により、Al
の電極材料の層（厚さ:6000Å）を成膜した（第１工
程）。
フォトリソグラフィ技術で所定のパターンの電極５を
形成後、SiO2からなるインク保護膜（不図示）をRFスパ
ッタ法で成膜し、本実施例に係るインクジェット記録ヘ
ッド用基体10を作製した。
次いで、フォトレジストを用いて壁部材11を前記基体
上に設け、その上にフォトレジストを用いて、覆い部材
12を設けることにより、液路７及び液室８を有するイン
ク通路を作製した。最後に、基体10、壁部材11、及び覆
い部材12を含む平面に沿ってそれらの端部を切断して切
断面における液路７の開口部であるインクの吐出口６を
形成して第４図のようなインクジェット記録ヘッドを完
成させた（第２工程）。
比較例 支持体をガラス支持体、グレーズ層が片主面上全体に
形成されたアルミナ支持体、あるいはアルミナ支持体に
した以外は実施例と同様にしてインクジェット記録ヘッ
ドを作製した。
（評価） 実施例及び各比較例のインクジェット記録ヘッドの作
製途中（第１工程まで作製後）のインクジェット記録ヘ
ッド用基体をヘッドとは別に作製し、それらを各駆動周
波数で駆動して蓄熱と放熱とが平衡した際の駆動パルス
が印加されてないときの発熱部の表面の温度を測定し、
完成品たるインクジェット記録ヘッドの実質的な放熱性
を調べた。結果を第６図に示す。なお、駆動条件は次の
通りであった。
発熱部サイズ:20×100μｍ、駆動電圧:1.2Vth パルス
巾:10Et 第６図に示すように、本実施例に係るインクジェット
記録ヘッド用基体（１）では、ガラス支持体やグレーズ
層が片主面全体に形成されたアルミナ支持体を用いた比
較例のインクジェット記録ヘッド用基体（２）に比べ
て、放熱性は大幅に改善され、一般に最も良く使用され
る周波数領域０〜7,8KHz程度で、必要充分な放熱性を確
保できた。
表面欠陥の多少については、発熱抵抗層及び電極の成
膜後の不良品の発生割合を調べることにより、評価し
た。具体的には、発熱部を87有する基体を実施例、比較
例それぞれ100個用意し、断線または接続不良が一ケ所
でもある基体については不良品と判断した。
アルミナ支持体を用いた比較例のインクジェット記録
ヘッド用基体は、約80％の不良品が発生したが、本実施
例に係るインクジェット記録ヘッド用基体では約0.4％
に大幅に減少した。
［発明の効果］ 以上詳細に説明したように、本発明によれば、印字品
質を保つために必要充分な放熱性を確保しつつ記録ヘッ
ドの長尺化、大型化にも対応できるインクジェット記録
ヘッド用基体及びインクジェット記録ヘッド並びに該記
録ヘッドを具備するインクジェット記録装置を提供する
ことができる。しかも、本発明によれば、電極や発熱抵
抗層等の成膜時の不良発生を押えることができ、支持体
にセラミック等を用いることができる上、保護層のピン
ホールを減少させ電気熱変換体の電蝕を抑えることもで
きるため歩留まりを極めて高くすることができるインク
ジェット記録ヘッド用基体及びインクジェット記録ヘッ
ド並びに該記録ヘッドを具備するインクジェット記録装
置を提供することができる。更に本発明によれば、グレ
ーズ層により鏡面が形成されているためにパータニング
時に位置合わせ用のマークを認識しやすく、位置合わせ
の精度も良くなるインクジェット記録ヘッド用基体及び
インクジェット記録ヘッド並びに該記録ヘッドを具備す
るインクジェット記録装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
第１図及び第３図は各々本発明のインクジェット記録ヘ
ッド用基体の実施態様例の一つを示す模式的平面図、第
２図は、第１図のインクジェット記録ヘッド用基体のＡ
−Ａ′での模式的断面図、第４図は本発明のインクジェ
ット記録ヘッドの主要部の一例を示す模式的斜視図であ
る。第５図は、本発明に係るインクジェット記録ヘッド
を具備するインクジェット記録装置の模式的斜視図であ
る。第６図は、本発明の実施例のインクジェット記録ヘ
ッド用基体と比較例のインクジェット記録ヘッド用基体
とを用いて放熱性に関して実験を行った結果を示すグラ
フである。 1:支持体、2:グレーズ層 3:蓄熱層、4:発熱抵抗層 5:電極
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B41J 2/05 B41J 2/16

Claims (29)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】セラミック材料を用いて形成されている支
    持体と、該支持体上に設けられ、発熱抵抗層と該発熱抵
    抗層に電気的に接続された一対の電極とを有する電気熱
    変換体と、該電気熱変換体上に設けられている保護層
    と、前記一対の電極の間に形成される熱発生部を除い
    て、前記支持体と前記電気熱変換体との間に設けられて
    いる溶融されたガラス層と、を有することを特徴とする
    インクジェット記録ヘッド用基体。
  2. 【請求項２】前記セラミック材料がAl2O3、SiC、及びAl
    Nから選択される少なくとも一つである請求項１記載の
    基体。
  3. 【請求項３】前記溶融されたガラス層と前記電気熱変換
    体との間に蓄熱層が設けられている請求項１記載の基
    体。
  4. 【請求項４】前記蓄熱層が無機酸化物を用いて形成され
    ている請求項３記載の基体。
  5. 【請求項５】前記無機酸化物がSiO2である請求項４記載
    の基体。
  6. 【請求項６】前記溶融されたガラス層と前記支持体との
    間に蓄熱層が設けられている請求項１記載の基体。
  7. 【請求項７】前記蓄熱層が無機酸化物を用いて形成され
    ている請求項６記載の基体。
  8. 【請求項８】前記無機酸化物がSiO2である請求項７記載
    の基体。
  9. 【請求項９】前記保護層がSiO2を用いて形成されている
    請求項１記載の基体。
  10. 【請求項１０】前記熱発生部が複数設けられており、該
    複数の熱発生部とそれらの間の部分とから形成される帯
    状の成分を除いて前記溶融されたガラス層が設けられて
    いる請求項１記載の基体。
  11. 【請求項１１】セラミック材料を用いて形成されている
    支持体と、該支持体上に設けられ、発熱抵抗層と該発熱
    抵抗層に電気的に接続された一対の電極とを有する電気
    熱変換体と、該電気熱変換体上に設けられている保護層
    と、前記一対の電極の間に形成される熱発生部を除い
    て、前記支持体と前記電気熱変換体との間に設けられて
    いる溶融されたガラス層と、を有するインクジェット記
    録ヘッド用基体と、凹部が設けられている部材と、が接
    合されており、前記凹部によりインクを吐出する吐出口
    に連通するインク通路が形成されていることを特徴とす
    るインクジェット記録ヘッド。
  12. 【請求項１２】前記セラミック材料がAl2O3、SiC、及び
    AlNから選択される少なくとも一つである請求項11記載
    のインクジェット記録ヘッド。
  13. 【請求項１３】前記溶融されたガラス層と前記電気熱変
    換体との間に蓄熱層が設けられている請求項11記載のイ
    ンクジェット記録ヘッド。
  14. 【請求項１４】前記蓄熱層が無機酸化物を用いて形成さ
    れている請求項13記載のインクジェット記録ヘッド。
  15. 【請求項１５】前記無機酸化物がSiO2である請求項14記
    載のインクジェット記録ヘッド。
  16. 【請求項１６】前記溶融されたガラス層と前記支持体と
    の間に蓄熱層が設けられている請求項11記載のインクジ
    ェット記録ヘッド。
  17. 【請求項１７】前記蓄熱層が無機酸化物を用いて形成さ
    れている請求項16記載のインクジェット記録ヘッド。
  18. 【請求項１８】前記無機酸化物がSiO2である請求項17記
    載のインクジェット記録ヘッド。
  19. 【請求項１９】前記保護層がSiO2を用いて形成されてい
    る請求項11記載のインクジェット記録ヘッド。
  20. 【請求項２０】前記熱発生部が複数設けられており、該
    複数の熱発生部とそれらの間の部分とから形成される帯
    状の成分を除いて前記溶融されたガラス層が設けられて
    いる請求項11記載のインクジェット記録ヘッド。
  21. 【請求項２１】前記インク通路が液路を有する請求項11
    記載のインクジェット記録ヘッド。
  22. 【請求項２２】前記インク通路が液室を有する請求項11
    記載のインクジェット記録ヘッド。
  23. 【請求項２３】前記インク通路が複数の液路とそれらに
    連通する液室とを有する請求項11記載のインクジェット
    記録ヘッド。
  24. 【請求項２４】前記吐出口が複数設けられている請求項
    11記載のインクジェット記録ヘッド。
  25. 【請求項２５】前記凹部を有する部材が一部材として形
    成されている請求項11記載のインクジェット記録ヘッ
    ド。
  26. 【請求項２６】前記凹部を有する部材が前記インク通路
    の壁を形成する壁部材と該壁部材を覆う覆い部材とを有
    している請求項11記載のインクジェット記録ヘッド。
  27. 【請求項２７】前記凹部を有する部材が感光性材料を用
    いて形成されている請求項11記載のインクジェット記録
    ヘッド。
  28. 【請求項２８】前記感光性材料が感光性樹脂である請求
    項27記載のインクジェット記録ヘッド。
  29. 【請求項２９】請求項11に記載のインクジェット記録ヘ
    ッドを具備するインクジェット記録装置。
JP63069680A 1987-03-27 1988-03-25 インクジェット記録ヘッド用基体及びインクジェット記録ヘッド並びに該記録ヘッドを具備するインクジェット記録装置 Expired - Fee Related JP2815146B2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP63069680A JP2815146B2 (ja) 1987-03-27 1988-03-25 インクジェット記録ヘッド用基体及びインクジェット記録ヘッド並びに該記録ヘッドを具備するインクジェット記録装置
EP88302745A EP0289139B1 (en) 1987-03-27 1988-03-28 Ink jet recording head and substrate therefor
US07/174,383 US4887099A (en) 1987-03-27 1988-03-28 Substrate for an ink jet recording head having electrodes formed on a glaze layer, and a recording head and apparatus using the substrate
DE8888302745T DE3876004T2 (de) 1987-03-27 1988-03-28 Tintenstrahldruckkopf und substrat dafuer.

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7172087 1987-03-27
JP62-71720 1987-03-27
JP63069680A JP2815146B2 (ja) 1987-03-27 1988-03-25 インクジェット記録ヘッド用基体及びインクジェット記録ヘッド並びに該記録ヘッドを具備するインクジェット記録装置

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JPH011553A JPH011553A (ja) 1989-01-05
JPS641553A JPS641553A (en) 1989-01-05
JP2815146B2 true JP2815146B2 (ja) 1998-10-27

Family

ID=26410851

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP63069680A Expired - Fee Related JP2815146B2 (ja) 1987-03-27 1988-03-25 インクジェット記録ヘッド用基体及びインクジェット記録ヘッド並びに該記録ヘッドを具備するインクジェット記録装置

Country Status (4)

Country Link
US (1) US4887099A (ja)
EP (1) EP0289139B1 (ja)
JP (1) JP2815146B2 (ja)
DE (1) DE3876004T2 (ja)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2664212B2 (ja) * 1988-07-15 1997-10-15 キヤノン株式会社 液体噴射記録ヘッド
JP2849399B2 (ja) * 1989-04-26 1999-01-20 株式会社リコー 液体噴射記録装置
JP2824123B2 (ja) * 1989-05-30 1998-11-11 キヤノン株式会社 インクジェットヘッド及び該ヘッドを形成するために用いるインクジェットヘッド用基体
EP0539804B1 (en) * 1991-10-15 1998-03-04 Canon Kabushiki Kaisha A substrate for a liquid jet recording head, a manufacturing method for such a substrate, a liquid jet recording head, and a liquid jet recording apparatus
JP3229472B2 (ja) 1993-12-22 2001-11-19 キヤノン株式会社 インクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録装置
US5901425A (en) 1996-08-27 1999-05-11 Topaz Technologies Inc. Inkjet print head apparatus
JPH1170658A (ja) * 1997-06-20 1999-03-16 Canon Inc 記録素子ユニット、インクジェット記録素子ユニット、インクジェットカートリッジ、及びインクジェット記録装置

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CA1127227A (en) * 1977-10-03 1982-07-06 Ichiro Endo Liquid jet recording process and apparatus therefor
JPS5456453A (en) * 1977-10-13 1979-05-07 Canon Inc Thermal head for thermal recorders
JPS564475A (en) * 1979-06-26 1981-01-17 Matsushita Electric Ind Co Ltd Thermal head
US4394670A (en) * 1981-01-09 1983-07-19 Canon Kabushiki Kaisha Ink jet head and method for fabrication thereof
JPS60116451A (ja) * 1983-11-30 1985-06-22 Canon Inc 液体噴射記録ヘツド
JPS6159913A (ja) * 1984-08-30 1986-03-27 Shin Kobe Electric Mach Co Ltd Ａｄ変換回路
JPS6198549A (ja) * 1984-10-19 1986-05-16 Canon Inc 液体噴射記録ヘツドの製造方法
JPS62294562A (ja) * 1986-06-13 1987-12-22 Ricoh Co Ltd サ−マルヘツド

Also Published As

Publication number Publication date
EP0289139A2 (en) 1988-11-02
DE3876004D1 (de) 1992-12-24
EP0289139A3 (en) 1989-06-07
DE3876004T2 (de) 1993-06-17
EP0289139B1 (en) 1992-11-19
JPS641553A (en) 1989-01-05
US4887099A (en) 1989-12-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS59143650A (ja) 液体噴射記録ヘツド
US4740800A (en) Liquid jet recording head
US4631555A (en) Liquid jet type recording head
JP2815146B2 (ja) インクジェット記録ヘッド用基体及びインクジェット記録ヘッド並びに該記録ヘッドを具備するインクジェット記録装置
JP3248964B2 (ja) 液体噴射記録ヘッド及び同ヘッドを備えた液体噴射記録装置
JPH011553A (ja) インクジェット記録ヘッド用基体及びインクジェット記録ヘッド並びに該記録ヘッドを具備するインクジェット記録装置
JPH03205155A (ja) インクジェットヘッド及び該ヘッドを形成するために用いるインクジェットヘッド用基体
JPH05131624A (ja) インクジエツト記録ヘツド及びインクジエツト記録装置
JPS59194868A (ja) インクジェットヘッド及び該インクジェットヘッドの製造方法
JP2001341309A (ja) サーマルインクジェットヘッド
JP3045793B2 (ja) インクジェットヘッド、該インクジェットヘッド用基体、インクジェット装置およびインクジェットヘッド用基体の製造方法
JP2001191532A (ja) サーマルインクジェットプリンタヘッド
US6238041B1 (en) Heat-generator supporting member for ink-jet head and ink-jet head employing the same
JP3231951B2 (ja) サーマルヘッドおよびその製造方法
JP3093030B2 (ja) インクジェット記録ヘッド、その製造方法及び該記録ヘッドを備えた記録装置
JP2505900B2 (ja) インク噴射記録ヘッド
JP3461246B2 (ja) インクジェット記録ヘッドの発熱体基板
JPS6131263A (ja) 液体噴射記録ヘツド
JP2001270120A (ja) サーマルインクジェットプリンタヘッド
JP3461245B2 (ja) インクジェット記録ヘッドの発熱体基板
JPS62264961A (ja) 液滴噴射記録装置
JPS60206655A (ja) 液体噴射記録ヘツド
JPS62220345A (ja) 液体噴射記録ヘツド
JP2000168088A (ja) 発熱抵抗体及びその製造方法
JP2002067325A (ja) インクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録装置

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees