JPH1170658A

JPH1170658A - 記録素子ユニット、インクジェット記録素子ユニット、インクジェットカートリッジ、及びインクジェット記録装置

Info

Publication number: JPH1170658A
Application number: JP10165024A
Authority: JP
Inventors: Ikutomo Watabe; 育朋渡部
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1997-06-20
Filing date: 1998-06-12
Publication date: 1999-03-16
Also published as: EP0885723B1; EP0885723A2; DE69827702D1; EP0885723A3; US6149265A; DE69827702T2

Abstract

(57)【要約】【課題】高密度のインクジェット記録素子ユニットを
製造する際に、信号配線のスペースを確保する。【解決手段】基板１００上に、個別電極１０２、電気
熱変換体１０６、共通電極１０３、折り返し電極１０９
で構成される記録素子を多数配列し、インクジェット記
録素子ユニットを製造するに際し（図１（ａ））、折り
返し電極１０９に隣接する電気熱変換体１０６の外側縁
部に切り欠き部１１０を形成する（図１（ｃ））。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、発熱抵抗体を個別
電極と共通電極を用いて駆動する記録素子ユニット、イ
ンクジェット記録素子ユニット、インクジェットカート
リッジ及びインクジェット記録装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、インクジェット記録装置に用いら
れる記録素子ユニットとしては、例えば図１０に示すも
のが知られている。図１０中、（ａ）は記録素子ユニッ
トの平面図、（ｂ）は（ａ）中のＢ−Ｂ線に沿った断面
図、（ｃ）は（ａ）中のＣ部分の部分拡大図である。

【０００３】この記録素子ユニット３０において、２０
は基板、１は発熱抵抗層、２は個別電極（配線）、３は
絶縁層、４は保護層、５は共通電極（配線）、６は電気
熱変換体（発熱抵抗体）、７は外部接続電極部、８は折
り返し電極（配線）、９は外部接続電極部である。通
常、配線は配線抵抗を減らしたいという要求から配線幅
を広くし、発熱抵抗体は抵抗値および発熱面積等を考慮
して発熱抵抗体幅を狭くしている。そして、（ｃ）に示
すように、発熱抵抗体６は発熱抵抗層１に切り欠き部１
１、１２をほぼ対称に形成することにより、個別電極１
の中心軸１５と電気熱変換体６の中心軸１６とがほぼ一
致するように形成している。

【０００４】通常、上記記録素子ユニット３０には、発
熱抵抗体６、共通電極５、個別電極２、外部接続電極部
７、９等が複数配列されている。

【０００５】上記記録素子ユニット３０は、発熱抵抗層
１に形成された発熱抵抗体６に電流を流すことにより、
熱エネルギーを発熱抵抗体６に発生させるものである。

【０００６】即ち、駆動電流を外部接続電極部７、個別
電極２、電気熱変換体６、共通電極５、折り返し電極８
に順次流し、外部接続電極部９から取り出すことによっ
て、電気熱変換体６に熱エネルギーを発生させることが
できる。なお、インクジェット記録素子ユニットは、こ
の熱エネルギーを利用してインクを吐出させることによ
り記録を行うものである。そして、複数の電気熱変換体
を有するインクジェット記録素子ユニットを用いること
により、複数ドットの記録を同時におこなうインクジェ
ット記録装置を製造することができ、これによって記録
を高速に行うことができる。

【０００７】特に、高密度、高速記録の要請が高い今日
においては、主走査ラインの記録を同時に行うことが一
般化している。更に、文字データに限らず、画像データ
や、カラーで記録を行うことに対する需要の増大に伴っ
て、この目的に合致するものとして、多数の電気熱変換
体を高密度に配列した記録素子ユニットも登場してい
る。

【０００８】しかし、電気熱変換体を高密度に配列した
記録素子ユニットを製造する場合、電気熱変換体は等間
隔で配列する必要がある。電気熱変換体を高密度で配列
すると、個別電極も高密度に配列することになり、この
ため個別電極の間に折り返し電極を配置する余地が無く
なる。即ち、折り返し電極の配線形成が非常に困難にな
る問題がある。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】本発明は上記事情に鑑
みてなされたもので、その目的とするところは、超高密
度に電気熱変換体を配列すると共に、折り返し電極を確
実に形成することを可能とした記録素子ユニット、イン
クジェット記録素子ユニット、インクジェットカートリ
ッジ及びインクジェット記録素子ユニットを組み込んだ
インクジェット記録装置を提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明は、複数の発熱抵抗体と、前記発熱抵抗体の各
々の一端に接続された個別配線と、前記発熱抵抗体の各
々の他端に共通に接続され共通配線と、該共通配線に接
続され前記個別配線に沿って配された折り返し配線と、
基板上に配列した記録素子ユニットにおいて、前記折り
返し配線に隣接して配された前記発熱抵抗体の中心線
が、該発熱抵抗体に接続される個別配線の中心線より、
前記折り返し配線側にシフトして配されていることを特
徴とする記録素子ユニットである。

【００１１】また、前記折り返し配線に近い位置に配さ
れた発熱抵抗体ほど、前記シフトの程度が大きいことを
特徴とする上述の記録素子ユニットである。

【００１２】または、折り返し配線は、複数配列された
個別配線の間に配されていることを特徴とする上述の記
録素子ユニットである。

【００１３】また、前記折り返し配線は、複数配列され
た個別配線の外に配されていることを特徴とする上述の
記録素子ユニットであっても良く、前記複数の発熱抵抗
体と、前記個別配線と、前記共通配線と、前記折り返し
配線の組みが複数組み前記基板上に配されている上述の
記録素子ユニットである。

【００１４】また、上述のいずれかに記載の記録素子ユ
ニットと、前記発熱抵抗体に対応して、設けられた流路
と、該流路に配されたインクを吐出するための吐出口と
を有することを特徴とするインクジェット記録素子ユニ
ットである。

【００１５】また、上述のインクジェット記録素子ユニ
ットと、該インクジェット記録素子ユニットに供給され
るインクを保持したインク容器とを有するインクジェッ
トカートリッジである。

【００１６】また、上述のインクジェット記録素子ユニ
ットと、該インクジェット記録素子ユニットに駆動信号
を供給するための駆動信号供給手段とを有するインクジ
ェット記録装置である。

【００１７】以上のような構成によると各個別配線幅を
細くすることで生じる配線抵抗の上昇を招くことなく、
発熱抵抗体の配置密度を高くすることができる。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明を詳
細に説明する。

【００１９】（第１の実施形態）図１（ｂ）において、
１５０は記録素子ユニットである。１００は絶縁性の基
板で、材質としてはガラス、セラミック、シリコン、金
属等の導電性基板表面を絶縁した基板等が例示される。
上記基板１００には発熱抵抗層１０１が形成されてい
る。発熱抵抗層１０１は一般には真空成膜によって形成
されることが好ましいが、厚膜印刷法等のいずれの方法
でも良い。発熱抵抗層の材料としては耐熱性に優れ、均
一に形成できるものが好ましい。具体的にはＡｌＮ，Ｔ
ｉＮ，Ｔａ等を用いることができる。

【００２０】前記発熱抵抗層１０１の一部が電気熱変換
体（発熱抵抗体）１０６を構成しており、発熱抵抗層１
０１の上面には個別電極（個別配線）１０２、共通電極
（共通配線）１０３が積層されている。つまり各電気熱
変換体の一端には、個別電極が接続されており、他端に
は共通電極が接続されている。これらは、Ａｌ，Ｃｕ，
Ａｕ，Ａｇ等の導電性の高い金属が好ましい。

【００２１】１０４は発熱抵抗層１０１、個別電極１０
２、共通電極１０３を保護するための、耐蝕性、耐酸化
性、耐キャビテーション性の酸化膜である。この酸化膜
１０４は電極１０２、１０３の表面を酸化して形成する
ことが好ましい。

【００２２】更に、これらの上面には有機保護膜１０５
が形成されている。この保護膜１０５は電気熱変換体
（発熱抵抗体）１０６及び後述する外部接続電極部１０
７、１０８を除く基板１００の全面に形成されている。
保護膜１０５の材料としてはポリエーテルアミドやポリ
イミド等の耐熱性、耐水性に優れたものが好ましい。

【００２３】図１（ａ）は記録素子ユニット１５０の平
面図で、前記共通電極１０３は折り返し電極（配線）に
接続されておりこの折り返し電極１０９によって前述の
外部接続電極部１０８に接続されている。折り返し電極
は、各個別電極に沿う位置に配されており、Ａｌ，Ｃ
ｕ，Ａｕ，Ａｇ等の導電性の高い金属で構成されること
が好ましい。

【００２４】図１（ｃ）は図１（ａ）に示す記録素子ユ
ニット１５０のＣ部分の部分拡大図である．電気熱変換
体１０６は発熱抵抗層１０１の縁部に略台形状の切り欠
き部１１０を形成することによってこの部分の発熱抵抗
体の幅を狭くし、これによってこの電気熱変換体１０６
の電気抵抗を増加させ、この部分で発熱するようにして
ある。そして図１の場合は、切り欠き部１１０を一方の
縁部だけに非対称に形成することによって、電気熱変換
体１０６の中心軸（中心線）１２０を個別電極１０２の
中心軸（中心線）１３０から折り返し電極の方へシフト
している。。即ち、折り返し電極１０９を対称軸（中心
軸）として折り返し電極１０９の右側の電気熱変換体１
０６は発熱抵抗体１０１を折り返し電極１０９側に偏在
させるように形成されている。図１（ｃ）はこのような
状態を示している。

【００２５】同様に、折り返し電極を対称軸（中心軸）
として他方（折り返し電極１０９の左側）の電気熱変換
体は切り欠き部を折り返し電極１０９を対称軸して外側
（本図では左側）の方の縁部に形成することによって、
発熱抵抗体を折り返し電極側に偏在させている。

【００２６】本発明においては、上記のように電気熱変
換体の中心を折り返し電極側に偏在させることにより、
折り返し電極を電気熱変換体間に配置するような構造で
あっても電気熱変換体の配置ピッチを維持しつつ、また
折り返し電話と個別電極の幅を狭くすることなく、電気
熱変換体、折り返し電極、個別電極を配置することがで
きる。

【００２７】具体的に数字を用いて説明する。

【００２８】例えば、発熱抵抗体の幅が２０μｍ、個別
電極の幅が３０μｍの記録素子ユニットを６００ｄｐ
ｉ、即ち４２．５μｍのピッチで形成する場合、従来の
電気熱変換体の場合は、個別電極の間隔は１２．５μｍ
となり、この間に折り返し電極を形成することは困難で
ある。

【００２９】これに対し、上述のように発熱抵抗体を偏
在させると、折り返し電極を形成する部分では２２．５
μｍの間隔が確保される。したがって、折り返し電極を
電極幅を狭くすることなく形成することができるように
なるものである。

【００３０】本発明においては、折り返し電極用の間隔
を確保する効果は、記録素子ユニットの高密度化が進む
程大きくなるものである。

【００３１】上記説明においては、切り欠き部１１０を
発熱抵抗体の外側（折り返し電極より遠い側）の縁部に
のみ形成するようにしたがこれに限られず、発熱抵抗体
の両側に形成してもよく、この場合は発熱抵抗体の外側
の方が内側（折り返し電極に近い側）の方よりも大きく
（深く）切り欠き部を形成するものである。なお、切り
欠き部１１０の形状を含む発熱抵抗体の形状は、上記説
明において全て同一のものとした。更に、本発明におい
て記録素子としては、熱エネルギーを発生する電気熱変
換体が好ましいが、これに限られないものである。

【００３２】図１に示す記録素子ユニットを以下に述べ
るようにして製造した。

【００３３】ガラス基板の上にスパッタリング法によっ
て、ＴａＡｌを３０００オングストローム成膜した。次
いで、ＴａＡｌをパターニングするため、フォトリソグ
ラフィ法によってＴａＡｌのパターンを形成した。ま
ず、ＴａＡｌ上にポジレジスト（東京応化製ＯＦＰＲ
８００）をロールコート法で塗布した。なお、スピンコ
ート法等も同様に用いることができる。上記形成したレ
ジストを９０℃３０分間プリベークした後、個別電極、
発熱抵抗体等のパターン露光を行った。

【００３４】次いで、パターン化したレジストをマスク
としてドライエッチングをした。エッチングガスとして
ＢＣｌ₃とＣｌ₂を用いてエッチングし、その後上記レジ
ストを専用の剥離液によって剥離した。

【００３５】その後、Ａｌをスパッタによって１μｍの
厚さに成膜した。このＡｌは導電性の電極とするもので
あるので、膜厚は製造上支障のない範囲で厚くすること
が好ましい。

【００３６】前記成膜されたＡｌはフォトリソグラフィ
法によってパターン形成された。このパターンは先に形
成されたＴａＡｌのパターン上に形成されているが、発
熱抵抗体となる部分には形成されていない。

【００３７】更に、外部接続電極部を除く、発熱抵抗体
及び各電極の表面を陽極酸化し、これらの表面に酸化膜
１０４による保護皮膜を形成した。耐酸化性、耐蝕性、
耐キャビテーション性を向上させるためのものである。
陽極酸化は酒石酸アンモニウム、エチレングリコール、
水の混合溶液中で、上記パターンを陽極としてこれに電
圧を印加することによって行った。

【００３８】更に耐蝕性を完璧なものにするために、上
記パターン上にポリエーテルアミドの有機保護膜１０５
を電気熱変換体及び外部接続電極部１０７、１０８を除
く全面に形成して、本発明の記録素子ユニットを完成し
た。

【００３９】（第２の実施態様）先の実施態様例では、
電気熱変換体の中心軸と個別電極の中心線とのずれは全
ての電気熱変換体で同じ例を示したが、個別電極の配置
密度も過密な場合には、それぞれの配置が困難となる場
合が有る。本実施態様では個別電極の中心軸に対する電
気熱変換体の中心軸のシフトが、折り返し電極に近い電
気熱変換体ほど大きくなるように配置している。

【００４０】図２はこのような例を示すもので、符号は
先の実施態様と同じとしている。折り返し電極１０９を
中心として、折り返し電極に近い位置の電気熱変換体１
０６ほど個別電極の中心軸１０２より折り返し電極側に
大きく偏在している。このような構成により、電気熱変
換体１０６間に折り返し電極１０９を配置した場合であ
っても電気熱変換体の配置ピッチを乱すことなく、個別
電極の配置ピッチより高いピッチで配することができま
す。折り返し電極を設けた場合であっても言い換えるな
ら個別電極の幅を細くすることなく、電気熱変換体を高
密度に配置することができます。また、電気熱変換体の
製造も容易になる。

【００４１】（第３の実施態様）先の各実施例では、複
数の電気熱変換体の間に折り返し電極を配置した構成を
示していますが、本実施例では複数の電気熱変換体の配
置領域の外に折り返し電極を配置し、複数の電気熱変換
体と、これに対応した個別電極と、共通電極、折り返し
電極の組みが複数基板上に配された場合の例を説明す
る。

【００４２】図３はこのような例を示したもので、基板
１００上には、５つの電気熱変換体と、この５つの電気
熱変換体のそれぞれに接続された個別電極１０２と、こ
の５つの電気熱変換体に共通に接続され電気熱変換体の
配置領域の外側に配された折り返し電極の組みを２つ基
板１００上に配した例を示している。

【００４３】ここでは、折り返し電極１０９に隣接する
２つの電気熱変換体は別の組みの電気熱変換体である
が、組みを超えて各電気熱変換体はより近い折り返し電
極側にシフトしている。

【００４４】このような配置にすることで、電気熱変換
体の間に折り返し電極を配置した場合でも、各電極の配
置場所を確保しつつ電気熱変換体の配置ピッチを高くす
ることができる。

【００４５】（第４の実施形態）図４は記録ユニット２
５０を示すもので、この記録ユニット２５０は本実施例
で製造した記録素子ユニット２００と、記録素子ユニッ
ト２００を駆動する記録素子ユニット駆動基体２０２
と、及び駆動ＩＣ２０３とを支持体２０１に取り付けた
ものである。この記録ユニット２５０は液路、吐出口等
を形成していないものであり、インクジェット記録用以
外にサーマルヘッド等の各種の用途に利用できるもので
ある。

【００４６】なお、上記記録素子ユニットにインクを吐
出させる吐出口と，これと連通する液路等を形成する
と、本発明のインクジェット記録素子ユニットになる。
また、インクジェットユニットは上記インクジェット記
録素子ユニットに記録素子駆動基体を取り付けたもので
ある。

【００４７】（第５の実施形態）次に、図５および図６
を用いて、本発明が実施もしくは適用される好適なイン
クジェット記録素子ユニットＩＪＵ、インクジェットカ
ートリッジＩＪＣの説明図である。以下これらの図面を
用いて各部構成の説明を行う。

【００４８】本例でのインクジェットカートリッジＩＪ
Ｃは、図６の斜視図でわかるように、インクジェットヘ
ッドユニットとインクタンクとが一体化されたものであ
り、インクの収納割合が大きくなっているものである。
このインクジェットカートリッジＩＪＣは、インクジェ
ット記録装置本体に載置されているキャリッジの位置決
め手段及び電気的接点とによって固定支持されると共
に、該キャリッジに対して着脱可能なディスポーザブル
タイプである。

【００４９】インクジェット記録素子ユニットＩＪＵ
は、電気信号に応じて膜沸騰をインクに対して生じせし
めるための熱エネルギーを生成する電気熱変換体を用い
て記録を行うバブルジェット方式のユニットである。

【００５０】図５において、１００はＳｉ基板上に複数
の列状に配された電気熱変換体（吐出ヒータ）と、これ
に電力を供給するＡｌ等の電気配線とが成膜技術により
形成されて成る前述したヒータボード（第１の基体）で
ある。２００はヒータボード１００に対する配線基板で
ある。

【００５１】１３００は複数のインク流路を夫々区分す
るための隔壁（溝）や各インク流路（液流路）へインク
を与えるためにインクを収納するための共通液室等を設
けた溝付天板で、各インク流路に対応した吐出口を複数
有するオリフィスプレート４００を一体成型したもので
ある。これらの一体成型材料としてはポリサルフォン樹
脂が好ましいが、他の成型用樹脂材料でも良い。

【００５２】３００は配線基板２００の裏面を平面で支
持する例えば金属製の支持体で、インクジェットユニッ
トの底板となる。５００は押圧部材である押えばねであ
り、Ｍ字形状でそのＭ字の中央で共通液室を軽圧で押圧
すると共に前だれ部５０１で液路の一部、好ましくは吐
出口近傍の領域を線圧で集中押圧する。ヒータボード１
００および天板１３００を押えばねの足部が支持体３０
０の穴３１２１を通って支持体３００の裏面側に係合す
ることでこれらを挟み込んだ状態で両者を係合させるこ
とにより、押えばね５００とその前だれ部５０１の集中
付勢力によってヒータボード１００と天板１３００とを
圧着固定されている。

【００５３】インクタンクは、カートリッジ本体１００
０と、インク吸収体９００とインク吸収体９００をカー
トリッジ本体１０００の上記ユニットＩＪＵ取付面とは
反対側の側面から挿入した後、これを封止する蓋部材１
１００とで構成されている。１２００はユニットＩＪＵ
に対してインクを供給するための供給口である。１４０
１はカートリッジ内部を大気に連通するために蓋部材に
設けられた大気連通口である。

【００５４】尚、本実施例においては天板１３００は耐
インク性に優れたポリサルフォン、ポリエーテルサルフ
ォン、ポリフェニレンオキサイド、ポリプロピレンなど
の樹脂を用い、ポリフィスプレート部４００と共に金型
内で一体に同時成型してある。

【００５５】上述のように一体成型部品は、インク供給
部材６００、天板・オリフィスプレート一体、インクタ
ンク本体１０００としたので組立て精度が高水準になる
ばかりでなく、大量生産の品質向上に極めて有効であ
る。又部品点数の個数は従来に比較して減少できている
ので、優れた所望特性を確実に発揮できる。

【００５６】（第６の実施形態）図７に示すインクジェ
ットユニット３５０を製造した。このユニット３５０は
支持体３００に、インクジェット記録素子ユニット３６
０と、記録素子駆動基体３０２と、駆動ＩＣ３０３とを
取り付けたものである。インクジェット記録素子ユニッ
ト３６０は記録素子ユニット３０１と、この上面に組み
立てられたインク液路及び吐出口等とからなる液路部３
０４とからなる。

【００５７】次に、上記インクジェットユニットを用い
て、図８に示すインクジェット記録装置を製造した。

【００５８】図８において、記録シート４０３は給紙ロ
ーラ４０２によって上方に設けられたシート送りローラ
４０１に搬送され、更に図４中、矢印Ａで示される方向
にシート送りされる。上記記録シート４０３の前方に
は、ガイド軸４１３に沿って移動するキャリッジ４１０
が設けられている。前記キャリッジ４１０上には上記の
インクジェットユニット４１２が載置されている。な
お、前記キャリッジ４１０は、ベルト伝達機構４０９を
介してキャリッジ駆動モータ（不図示）により往復駆動
される。

【００５９】記録に際しては、インクジェットユニット
に対して装置本体に設けられた駆動信号供給手段から供
給される駆動信号に基づいて記録シート４０３の幅方向
に移動する前記キャリッジ４１０と同期して、前記イン
クジェットユニット４１２の吐出口（不図示）から記録
シート４０３に向かってインク液滴を吐出して記録を行
うものである。

【００６０】インクジェットユニット４１２には、吐出
口が記録シートに向けて形成されており、駆動ＩＣから
の信号に対応して、吐出口からインク液滴が吐出される
ものである。

【００６１】図９にインクジェット記録装置の他の実施
例を示した。実施例２の記録装置と相違するところは、
本例のインクジェットユニット５１２は記録シート５０
３の記録幅に相当する幅のインクジェット記録素子ユニ
ットを用いていることにある。この場合、キャリッジを
往復駆動させる必要がないため、記録装置の構成が単純
化され、かつ高速記録ができる。

【００６２】

【発明の効果】本発明によれば、電気熱変換体を高密度
に配置するのに伴い高密度配線をする場合でも折り返し
電極を形成する余地を確保できる。従って市場において
求められている記録密度の高度化が容易に行え、記録画
像の高精細化、高画質化に大きく寄与する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の記録素子ユニットの概念図で、（ａ）
は平面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ線に沿った断面図、
（ｃ）は（ａ）のＣ部分の拡大図である。

【図２】本発明の他の記録素子ユニットを示す平面図で
ある。

【図３】本発明の他の記録素子ユニットを示す平面図で
ある。

【図４】本発明の記録ユニットの一例を示す概略構成図
である。

【図５】本発明のインクジェットカートリッジを説明す
るための図である。

【図６】本発明のインクジェットカートリッジを説明す
るための図である。

【図７】本発明のインクジェットユニットの一例を示す
概略構成図である。

【図８】本発明のインクジェット記録装置の一例を示す
模式的斜視図である。

【図９】本発明のインクジェット記録装置の他の例を示
す模式的斜視図である。

【図１０】従来の記録素子ユニットの概念図で、（ａ）
は平面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ線に沿った断面図、
（ｃ）は（ａ）のＣ部分の拡大図である。

【符号の説明】

１００基板１０１発熱抵抗体１０２個別電極１０３共通電極１０４酸化膜１０５有機保護膜１０６電気熱変換体１０７外部接続電極部１０８外部接続電極部１０９折り返し電極１１０切り欠き部１２０発熱抵抗体の中心軸１３０個別電極の中心軸１５０記録素子ユニット

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】複数の発熱抵抗体と、前記発熱抵抗体の
各々の一端に接続された個別配線と、前記発熱抵抗体の
各々の他端に共通に接続され共通配線と、該共通配線に
接続され前記個別配線に沿って配された折り返し配線
と、基板上に配列した記録素子ユニットにおいて、前記折り返し配線に隣接して配された前記発熱抵抗体の
中心線が、該発熱抵抗体に接続される個別配線の中心線
より、前記折り返し配線側にシフトして配されているこ
とを特徴とする記録素子ユニット。
【請求項２】前記折り返し配線に近い位置に配された
発熱抵抗体ほど、前記シフトの程度が大きいことを特徴
とする請求項１に記載の記録素子ユニット。
【請求項３】前記折り返し配線は、複数配列された個
別配線の間に配されていることを特徴とする請求項１に
記載の記録素子ユニット。
【請求項４】前記折り返し配線は、複数配列された個
別配線の外に配されていることを特徴とする請求項１に
記載の記録素子ユニット。
【請求項５】前記複数の発熱抵抗体と、前記個別配線
と、前記共通配線と、前記折り返し配線の組みが複数組
み前記基板上に配されていることを特徴とする請求項１
に記載の記録素子ユニット。
【請求項６】請求項１乃至５のいずれかに記載の記録
素子ユニットと、前記発熱抵抗体に対応して、設けられ
た流路と、該流路に配されたインクを吐出するための吐
出口とを有することを特徴とするインクジェット記録素
子ユニット。
【請求項７】請求項６のインクジェット記録素子ユニ
ットと、該インクジェット記録素子ユニットに供給され
るインクを保持したインク容器とを有するインクジェッ
トカートリッジ。
【請求項８】請求項６のインクジェット記録素子ユニ
ットと、該インクジェット記録素子ユニットに駆動信号
を供給するための駆動信号供給手段とを有するインクジ
ェット記録装置。