JPS59143650A - 液体噴射記録ヘツド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 記録を行なう液体噴射記録ヘッドに関する。

インクジェット記録法（液体噴射記録法）は、配録時に
おける騒音の発生が無視し得る程度に極めて小さいとい
う点高速記録が可能であり、而も所謂普通紙に定着とい
う特別な処理を必要とせずに記録の行なえる点において
最近関心を集めている。

その中で、例えば特開昭３−ダー３’　／　ｇ　３　７
号公報、ドイツ公開（ＤＯＬＳ）第．２ｇグ３θ乙グ号
公報に記載されである液体噴射記録法は、熱エネルギー
を液体に作用させて、液滴吐出の為の原動力を得るとい
う点において、他の液体噴射記録法とは、異なる特徴を
有している。

即ち、上記の公報に開示されである記録法は、熱エネル
ギーの作用を受けた液体が急峻な体積の増大を伴う状態
変化を起こし、該状態変化に基づく作用力によって、記
録ヘッド部先端のオリフィスより液体が吐出されて、飛
翔的液滴が形成され、該液滴が被記録部材に付着し記録
が行なわれるという特徴である。

殊に、ＤＣ，ＬＳ　　、２ｇグ３０６グ号公報に開示さ
れている液体噴射記録法は、所謂ｄｒｏｐ−ａｎ　ｄｅ
ｍａｎｄ記録法に極めて有効に適用されるばかりではな
く、記録ヘッド部をｆｕｌｌ　１ｉｎｅ　　タイプで高
密度マルチオリフィス化された記録ヘッドが容易に具現
化出来るので、高解像度、高品質の画像を高速で得られ
るという特徴を有している。

」二記の記録法に適用される装置の記録ヘッド部は、液
体を吐出する為に設けられたオリフィスと、該オリフィ
スに連通し、液滴を吐出する為の熱エネルギーが液体に
作用する部分である熱作用部を構成の一部とする液流路
とを有する液吐出部と、熱エネルギーを発生する手段と
しての電気熱変換体とを具備している。

そして、この電気熱変換体は、一対の電極と、これ等の
電極に接続し、これ等の電極の間に発熱する領域（熱発
生部）を有する発熱抵抗層とを具備している。

この様な液体噴射記録ヘッドの構造を示す典型的な例が
第１図（ａ）、及び第１図（ｂ）　Ｋ示される。

第１図（ａ）は、本発明に係わる液体噴射記録ヘッドの
オリフィス測から見た正面部分図、第１図（ｂ）は、第
１図（ａ）　Ｋ一点鎖線ＸＹで示す部分で切断した場合
の切断面部分図である。

図に示される記録ヘッド／θ／は、その表面に電気熱変
換体／θ３が設けられている基板／θ３の表面に、所定
の線密度で所定の巾と深さの溝が所定敷設けられ、てい
る溝付板／θグで覆う様に接合することによって、オリ
フィス／θｊと液吐出部／θ乙が形成された構造を有し
ている。図（で示す記録ヘッドの場合、オリフィス／θ
ｊを複数有するものとして示されであるが、勿論本発明
においては、これて限定されるものではなく単一オリフ
ィスの場合の記録ヘッドも本発明の範噴に這入るもので
ある。

液吐出部／θ６は、その終端に液体を吐出させる為のオ
リフィス／θｊと、電気熱変換体／θ２より発生される
熱エネルギーが液体に作用して気泡を発生し、その体積
の膨張上収縮に依る急激な状態変化を引起こす処である
熱作用部／θ７とを有する。

熱作用部／θ７は、電気熱変換体／θ２の熱発生部、７
９ｇの上部に位置し、熱発生部／θにの液体と接触する
面としての熱作用面／θ２をその底面としている。

熱発生部／θには、基板／θ３上に設けられた下部層／
／θ、該下部層／／θ上に設けられた発熱抵抗層／／／
、’該発熱抵抗層／／／上に設けられた上部層／／２と
で構成される。発熱抵抗層／／／には、熱を発生させる
為に該層／／／に通電する為の電極／／３、／／’ｌが
その表面に設けられである。電極／／３は、各液吐出部
の熱発生部に共通の電極であり、電極／／りは、各液吐
出部の熱発生部を選択して発熱させる為の選択電極であ
って、液吐出部の液流路に沿って設けられである。

上部層／／、２は、熱発生部７０とに於いては発熱抵抗
層／／／を、使用する液体から化学的・物理的に保護す
る為に発熱抵抗層／／／と液吐出部／θ乙の液流路を満
たしている液体とを隔絶すると共Ｋ、液体を通じて電極
／／３．７１７間が短絡するのを防止する、発熱抵抗層
／／／の保護的機能を有している。

又、上部層／／２は、隣接する電極間に於ける電気的リ
ークを防止する役目も荷っている。

殊に、各選択電極間に於ける電気的リークの防止、或は
各液流路下にある電極が伺等かの理由で電極と液体とが
接触し、これに通電することによって起る電蝕の防止は
、重要であって、この為にこの様な保護層的機能を有す
る上部層／／、２が少なくとも液流路下に於ける電極−
ヒに設けられている。

更に、各液吐出部に設けられである液流路は、各液吐出
部の上流に於いて、液流路の一部を構成する共通液室を
介して連通されているが、各液吐出部に設けられた電気
熱変換体に接続されている電極は、その設計上の都合に
より、熱作用部の上流側に於いて前記共通液室下を通る
様に設けられている。

従って、この部分に於いても電極が液体と接触するのを
防止すべく前記した上部層が設けられているのが一般的
である。

ところで上記の上部層／／、２は、設けられる場所に依
って要求される特性が各々異なる。

即ち、例えば熱発生部／θｇＫ於いては、■耐熱性、■
耐液性、■液浸透防止性、■熱伝導性、■酸化防止性及
び■耐破傷性に優れていることが要求され、熱発生部／
θに以外の領域に於いては熱的条件で緩和されるが液浸
透防止性、耐液性及び耐破傷性には充分優れていること
が要求される。

ところが、上記の■〜■の特性の総てを所望通りに充分
満足する上部層を構成する材料は、今のところなく■〜
■の特性の幾つかを緩和して使用しているのが現状であ
る。

即ち、熱発生部／θｇに於いては、■、■及び■に優先
が置かれて材料の選択が成され、他方熱発生部／θと以
外の例えば電極部に於いては、■、■及び■に優先が置
かれて材料の選択が成されて、夫々の該当する領域面上
に各相当する材料を以って上部層が形成されている。

他方、これ等とは別に、マルチオリフィス化タイプの液
体噴射記録ヘッドの場合には、基板上に多数の微細な電
気熱変換体を同時に形成する為に、製造過程に於いて、
基板上では各層の形成と、形成された層の一部除去の繰
返しが成され、上部層が形成される段階では、上部層の
形成されるその表面はスラツプウエツヂ部（段差部）の
ある微細な凹凸状となっているので、この段差部に於け
る上部層の被覆性Ｃ５ｔｅｐ　ｃｏｖｅｒａｇｅ性）が
重要となっている０ 詰り、この段差部の被覆性が悪いと、その部分での液体
の浸透が起り、電蝕或は電気的絶縁破壊を起す誘引とな
る。

又、形成される上部層がその製造法上て於いて欠陥部の
生ずる確率が少なくない場合には、その欠陥部を通じて
、液体の浸透が起り、電気熱変換体の寿命を著しく低下
させる要因となっている。

これ等の為に、」二部層は、段差部に於ける被覆性が良
好であること、形成される層にピンホール等の欠陥の発
生する確率が低く、発生しても実用上無視し得る程度或
はそれ以上に少ないことが要求される０ 面乍ら、従来に於いては、これ等の要求の総てを満足し
、総合的な使用耐久性に優れた液体噴射記録ヘッドは提
案されてない。

本発明は上記の諸点に鑑み成されたものであって、頻繁
なる繰返し使用や長時間の連続使用に於いて総合的な耐
久性に優れ、初期の良好な液滴形成特性を長期に亘って
安定的に維持し得る液体噴射記録ヘッドを提供すること
を主たる目的とする。

又、本発明の別の目的は、製造加工上に於ける信頼性の
高い液体噴射記録ヘッドを提供することでもある。

更には、マルチオリフィス化した場合ても製造歩留りの
高い液体噴射記録ヘッドを提供することでもある。

本発明の液体噴射記録ヘッドは、液体を吐出して飛翔的
液滴を形成する為に設けられた第１ノフイスと、該オリ
フィスに連通し、前記液滴を形成する為の熱エネルギー
が液体に作用する部分である熱作用部を構成の一部とす
る液流路とを有する液吐出部と、基板上に設けられた発
熱抵抗層に電気的に接続して、少なくとも一対の対置す
る電極が設けられ、これ等電極の間に熱発生部が形成さ
れている電気熱変換体とを具備する液体噴射記録ヘッド
において、該電極表面を変質させることによって形成さ
れ、且無機絶縁材料化された保護層を有することを特徴
とする液体噴射記録ヘッドである。

以下、図面に従って本発明を具体的に説明する。

第２図（ａ）　ＶＣは、本発明の液体噴射記録ヘッドの
好適々実施態様例！θθの構造の主要部を説明する為の
オリフィス側から見た正面部分図が、第２図（ｂ）には
、第２図（ａ）　Ｋ一点鎖線ＡＡ’で示した部分で切断
した場合の切断面部分図が示されており、第３図（ａ）
は、第１図（ａ）て相当し、第２図（ｂ）は第１図（ｂ
）に相当するものである。

図に示される液体噴射記録ヘッド３θθは、所望数の電
気熱変換体２θ／が設けられた熱を液吐出に利用する液
体噴射記録（サーマルインクジェット：Ｔ　／　Ｊと略
記する）用の基板２θ２と、前記電気熱変換体２θ／π
対応して設けられた溝を所望敷布する溝付板ノθ、３と
でその主要部が構成されている。

Ｔ　／　Ｊ　　基板３θ３と溝付板ノθ３とは、所定個
所で接着剤等で接合されることでＴ／Ｊ基板３θ３の電
気熱変換体３θ／の設けられている部分と、溝付板２θ
３の溝の部分とによって液流路！θグを形成しており、
該液流路２θグは、その構成の一部（（熱作用部βθＳ
を有する。

Ｔ、／Ｊ基板２θ３ば、／リコン、ガラス、セラミック
ス等で構成されている支持体２θ乙、該支持体βθ乙上
（て５ｉ０２等で構成される下部層！θ７、発熱抵抗層
３θと、発熱抵抗層！θにの表面の両側には、液流路β
θグに沿って電極！θ？、、２／θ、及び発熱抵抗層２
θにの電極で被覆されてない部分と、電極２θ？、、２
／θの部分とを覆う様に無機質材料で構成された保護層
（上部層）３／／とを具備している。

電気熱変換体２θ／は、その主要部として熱発生部、２
／、２を有し、熱発生部、、２／、、２は支持体！θ乙
上に支持体ρθ乙側より順次下部層２θ７、発熱抵抗層
３θｇ、上層部、２／／とが積層されて構成されており
、上部層！／／の表面（熱作用面）フ／３は、液流路β
θダグ中満たす液体と直に接触している。

第３図に示す液体嘴体記録ヘッド２θθの場合には、上
部層、２／／は、該層、２／／の機械的な強度を一層高
める為て、層２／乙１層、２／７を設けた二重層構造と
されていて、層、、２／乙は、例えばＳ　ｉ　０２等の
無機酸化物やＳｉ３Ｎ４等の無機窒化物等の比較的電気
絶縁性、熱伝導性、及び耐熱性１（優れた無機質材料で
構成され、層、、２／７は粘りがあって、比較的機械的
強度に優れ層、２／乙に対して密着性のある、例えば層
β／乙が５ｉ０２で形成されている場合にばＴａ等の金
属材料で構成される。

この様に土部層、２／／の表面層を金属等の比較的粘り
があって機械的強度のある無機質材料で構成することに
よって、熱作用面２八３て於いて、液体吐出の際に生ず
るキャビデーンヨン作用からのショックを充分吸収する
ことが出来、電気熱変換体ρθ／の寿命を格段に延ばす
効果がある。

百年ら、上部層、？／／の表面層として設けられる層、
、２／７は、本発明π於いては、必ずしも要するもので
はない１） 本発明は電極３θ２および、２１０の表面に無機絶縁材
料化された保護層、２７グを、電極表面を変質させるこ
とによって設けることを特徴とするものである。該保護
層２７グは不図示ではあるが電極、２．／θの延長上の
、液流路βθグの上流に設けられる共通液室の底面部分
にも少なくとも設けられる。

保護層、２／４１は電極部表面に設けられ、その主なる
役目は、液浸透防止と耐液作用にある。そしてさらには
、共通液室より後方の電極配線部をも被覆する様に設け
るととＫよって、電極配線部を製造工程中（・て起こる
電極配線部のキズの発生、断線の発生等を防止すること
が出来る。

保護層、、２／／ｌｔは上記の役目を果すことが出来る
ような無機絶縁利料で構成されるが、更匠該保護層は （１）　　成膜囲が良いこと。

（２）緻密な構造でかつピンホールやクラックがないこ
と。

（３）使用インクに対して変質、溶解しないこと。

（４）成膜したときの絶縁性がよいこと。

（５）耐熱性が高いこと。

等の物性を具備していることが望ましい。その様・な無
機絶縁材料として例えば、Ａ４　Ｔ　ａ　＋　Ｔ　ｌ＋
　Ｚ　ｒ　＋　Ｈｆ　＋Ｖ、　Ｎｂ、　Ｍｇ、　Ｓｉ、
　Ｍｏ、　Ｗ、　Ｙ、　Ｌａ　　等の金属およびそれら
合金の酸ｆヒ物、炭化物、窒化物、硼化物等が挙げられ
、電極部表面て緻密でクラックやピンホール等を生じな
いような無機絶縁材別層が形成されるものであれば良い
。

保護層、２７ダを電極部表面に設ける方法として好まし
い方法は後述の実施例に示すように、電極部を陽極酸化
すること（でよって電極表面に酸化物の被膜層を形成さ
せることである０、この方法で形成された金属の酸化物
層は保護層として要求される上述の物性を満足する理想
的な被膜層を与える。

酸化物層の形成は、電極表面の空気又は酸素中での加熱
酸化や酸化剤による化学的酸化によって行なってもよい
。又表面の変質は酸ｆヒによる酸化物上部層β／／を構
成する材料としては、上記した無機質材料の他て酸化チ
タン、酸化バナジウム、酸化ニオブ、酸化モリブデン、
酸化タンタル、酸化タングステン、酸化クロム、酸化ジ
ルコニウム、酸化ハフニウム、酸化ランタン、酸［ヒイ
ットリウノ・、酸ｆヒマンガン等の遷移金属酸化物、更
に酸化アルミニウム、酸化カルシウム、酸化ストロンチ
ウム、酸ｆヒバリウム、酸化シリコン、等の金属酸化物
及びそｆｔらの複合体、窒化シリコン、窒化アルミニウ
ム、窒化ボロン、窒化タンタル等高抵抗窒化物及びこれ
ら酸化物、窒化物の複合体、更にアモルファスノリコン
、アモルファスセレン等の半導体などバルクでは低抵抗
であってもスパッタリング法、ＣＶＤ法、蒸着法、気相
反応法、液体コーティング法等の製造過程で高抵抗化し
得る薄膜飼料を挙げることが出来、その層厚としては一
般にθ／　ｌｔｍ〜−９μｍ、好ましくはθ２μｍ〜３
　、（７ｍとさ〕上るのが望ましい。

第２図（ａ）及び（ｂ）　Ｋ示した実施態様の場合は、
保護層、：２．／ｌｌと上層部、２／／とが共（（設け
られているが、本発明においては上部層、２／／は必ず
しも積層されている必要はなく、電極の表面に形成され
た保護層２／４ｔによって電極が液体から保護されてい
れば前述した本発明の目的・効果を達成することが出来
る。

第３図（ａ）及び（ｂ）に示した実施態様は本発明の好
ましい実施態様であって、上部層と保護層との組合わせ
で構成される被覆層は、後記する他の部分の諸構成と相
俟って、総合的な使用耐久性にすぐれ、製造加“１丁上
に於ける信頼性の高い、且マルチオリフィス化した場合
にも製造歩留りの高い液体噴射記録ヘッドを提供するこ
とが出来る。

下部層２０７は、主（（熱発生部、２／、、２より発生
する熱の支持体３θ６側への流れを制御する層として設
けられるもので、熱作用部、２０３に於いて液体て熱エ
ネルギーを作用させる場合には、熱発生部、２／、２よ
り廃生ずる熱が熱作用部、２θｊ側１（よシ多く流れる
ようにし、電気熱変換体、２０／への通電がＯＦＦされ
だ際（（は、熱発生部、２／、、２に残存している熱が
、支持体−〇４側に速やか（で流れる様（て構成材料の
選択と、その層厚の設シ］が成される。下部層３θ７を
構成する材料としては、先に挙げたＳｉＯ２の他に酸化
ジルコニウム、酸化タンタル、酸化マグネシウム、酸ｆ
ヒアルミニラム等の金属酸化物に代表される無機質材料
が挙げられる。

発熱抵抗層２θとを構成する材料は、通電されることに
よって、所望通りの熱が発生するものであれば大概のも
のが採用され得る。

その様な材料としては、具体的ｊでは例えば窒化タンタ
ル、ニクロム、銀−パラジウム合金、シリ’３７半４体
、或は、ハフニウム、ランタン、ジルコニウム、チタン
、メンタル、タングステン、モリブデン、ニオブ、クロ
ム、バナジウム等の金属の硼化物等が好゛ましいものと
して挙げられる。

これ等の発熱抵抗層３θにを構成する材料の中、殊に金
属硼化物が優れたものとして挙げることが出来、その中
でも最も特性の優れているのが硼化ハフニウムであり、
次いで硼化ジルコニウム、硼化ランタン、硼化メンタル
、硼化バナジウム、硼ｆヒニオブの順となっている。

発熱抵抗層３θとは、上記した材料を使用して、電子ビ
ーム蒸着やスパッターリング等の手法を用いて形成する
ことが出来る。

電極！θ２及び、２／θを構成する材料としては、その
表面に稠密でピンホールの々い無機絶縁材料層を形成す
ることが可能な導電材料、例えば、Ａ４Ｔａ、　Ｔｉ、
　Ｍｇ、　１Ｈ，Ｚｒ、　Ｖ、　Ｗ、　Ｍｏ、　Ｎｂ、
　Ｓｉ、等及びそれらの合金が挙げられ、これらを使用
して、蒸着等の手法で所定位置に、所定の大きさ、形状
厚さで設けられる。

溝付板βθ３及び熱作用部２θ５の上流側に設けられる
共通液室構成部材を構成する材料としては、記録ヘッド
の工作時の、或は使用時の環境下に於いて形状に熱的影
響を受けないか或は殆ど受けないものであって微細精密
加工が容易に適用され得ると共に面精度が所望通りに容
易に出、更には、それ等によって形成される流路中を液
体がスムーズに流れ得る様に加工し得るものであれば、
大概のものが有効である。

第３図（ｃ）は、第２図（ｂ）　Ｋ示す一点鎖線ＢＢ’
で切断した場合の切断面部分図である。

第２図に示した液体噴射記録ヘッド！θθは、第２図（
ｄ）Ｋ示す様に保護層２７グは、液流路２θグの熱作用
面、２／３ＶＣ接して設けられているが、変形例として
熱作用面、２７３から離して保護層、２７グを設けても
左程差し支えないものである。

以下、本発明を実施例に従って説明する。

〈実施例〉 Ｓｉウェハを熱酸化によりＳμｍ厚の５ＩＯ２膜を形成
し基板とした。基板にスパッタによシ発熱抵抗層として
Ｈｆ　Ｂ２　ｆ　／　３θθＡ０の厚みに形成し、続い
て電子ビーム蒸着によりＴｉ層３；ＯＡｏ、Ａ、を層／
θθθθＡ０を連続的に堆積した。

フォトリソ工程により第３図（ｄ）の如きパターンを形
成、熱作用面のサイズは３θμｍ幅、／ｊθμｍ長でＡ
ｔ電極の抵抗を含めて／ｊθオームであった。

次Ｋ　Ａｔ電極部のみをボンディング取出し部を除いて
ＳθθθＡ°陽極酸化した。

以下にＡｔ電極部の陽極酸化工程を示す。

発熱抵抗層及び電極が所定のパターンに形成された支持
体を洗浄、乾燥後、ホトレジス）　ＯＭＲ−ｇ３（東京
応化製）をスピンナーで塗布し、乾燥後マスクアライナ
−を用いて露光し、現像処理を行ない所望の陽極酸化用
パターンを得た。

次Ｋ、７６％　Ｈ３ＰＯ４溶液を用い、浴温／θ℃で、
電流密度３　ｍＡ／ｃｍ”　、対電極をｐｔとして、５
分間陽極酸化した。（陽極酸化中は試料は固定し、電解
浴は充分スターラーにより攪拌を行った。）水洗、乾燥
後ＯＭＲ用剥離剥離液トレジストを剥離した後、充分洗
浄、乾燥し、酸化層の形成工程を終えた。

陽極酸化層の形成に続いて５ｉ０２スパッタ層を、ハイ
レートスパッタにより！１．？μｍ堆積させ、更にＴａ
の６５μｍスパッタによりＴａ層を積層した。

このｌ基板上に溝付ガラス板を所定通シに接着した。即
ち、第３図（ｂ）に示しであるのと同様にＴ／Ｊ基板に
インク導入流路と熱作用部を形成する為の溝付ガラス板
（５θμｍＸｊθμｍ長さ２　ａｒｍ　）が接着されて
いる。

このようにして、液体噴射記録ヘッドを作成した。

この様にして作成した記録ヘッドの電気熱変換体に／゛
θμｓの３θ■の矩形電圧をにθθＨｚで印加すると印
加信号に応じて液体がオリフィスから吐出されて、飛翔
的液滴が安定的に形成された。

この様な液滴の形成を繰り返すと製造不良のヘッドに於
いてはＡｔ電極の電蝕やＴａ保護層とＡ７電極間の絶縁
破壊などにより断線が生じインクを吐出しなくなる。こ
の時点での繰返し数を耐久回数という。

この耐久回数と、製品歩留りを （ａ）　　本実施例の構成による記録ヘッド（ｂ）　　
本実施例πおいて、陽極酸化層を形成させることなく作
製した記録ヘッド（比較例）（ｃ）４：発明の実施例の
一つであるが、本実施例において、陽極酸化層を熱作用
面から離して形成した記録ヘッド の３例について求めた結果（各々サンプル数／θθθに
ついて評価した）を第１表に示す。但し、歩留りはＴａ
層と配線部とのショートチェックの結果である。

第　　／　　表 第１表の結果から明らかなように本発明のヘッドでは耐
久回数７８９回を安定して達成出来る。

従ってマルチヘッドとしての使用に適している。

（ｂ）の構成ではＳｉＯ□、Ｔａのスノくツタ層のピン
ホールを通しての記録液の浸透によるＡｔ電極の電蝕及
びＡｔ電極とＴａ層との絶縁破壊による耐久性及び歩留
り劣化が顕著であった。

（ｃ）の構成のヘッドでは（ａ）の場合よりも歩留り、
耐久回数ともや＼劣った。その内容は発熱抵抗体と配線
部境界部での断線が多く、この部分でのＳ　ｉｏｚのス
テップカッ（−レージが悪いことによる。

これは、配線部の膜質を減少させることにより、（ａ）
構成ヘッドの耐久信頼度へ近づけることが可能である。

即ち、本発明の様に電極部表面を無機絶縁材料に変える
ことによシ保護層を形成することで信頼性、歩留り等が
極端に向上する。この傾向は無機質層としてＴａ等の良
好な導電度を有する保護層を上部に用いたヘッドの信頼
性向」−ニおいては更に顕著であり、Ａｔ’）−ド電極
とＴａ導電性保護層間の絶縁破壊による耐久性の低下は
皆無となる。

本実施例においては、電気化学的な陽極酸化を用いて酸
化層を形成を行々つだが、他の部分への悪影響がなけれ
ば、加熱酸化によって酸化層を形成しても良く、また膜
質に問題がなければ、酸化剤てよる表面処理等による化
学的な酸化てよって酸化層を形成してもかまわない。

さらに、無機絶縁材料、２／りは、酸化物に限らず窒化
、硼化、炭化等によって、窒化物、硼化物、炭化物等を
形成しても良い。

また、本実施例においては、陽極酸化する際熱作用面２
７３の酸化を防ぐためその部分をパターニングしたが、
発熱抵抗体βθにの酸化が無視しうる場合、捷たは発熱
抵抗体３θにの膜厚を厚くする等の基板設計上無視しう
るよってした場合は、パターニングの必要性はない。第
３図は熱作用面３７３部をパターニングせずに陽極酸化
した場合の切断面部分図であり、第３図（ｂ）　Ｋ相当
するものである。

さらに、本実施例における陽極酸化法においてはりん酸
浴による、陽極酸化法であるが、これは陽極化成が可能
で、前記の特性をもつ保護膜を形成できる電解浴なら何
でも良く、例えば硫酸、しゆう酸、クエン酸、酒石酸、
クロム酸、ホウ酸等があげられ、それらの混浴でもかま
わない。また電解条件は成膜された２／グ層が先述の特
性を得る条件であれば良く、さらに、ピンホールを減少
させるために、封孔処理、もしくは、ホウ酸十ホウ酸ナ
トリウム等の中性浴で二次電解することによるＰｏｒｅ
　ｆｉｌｌｉｎｇ　した場合はさらに良い膜厚となる。

また、本発明における該保護層の形成方法は、Ａｕ、　
Ｐｔ、、　Ａｇ等の酸化物を形成しにくい配線材料の上
部に酸化膜を容易て形成する材料を蒸着、スパッタリン
グ、ＣＶＤ等によって層を形成し、その後その層だけを
酸化することによって保護層を形成することをも含む。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａＬ　（ｂ）は夫々、従来の記録ヘッドを説明
する為のもので、第１図（ａ）は模式的正面部分図、第
１図（ｂ）は第１図（ａ）のｘｘ’一点鎖線での切断面
部分図、第２図（ａ）、　（ｂ）、　（ｃ）、　（ｄ）
は夫々本発明の記録ヘッドの実施態様の７つを説明する
為のもので、第３図（ａ）は模式的正面部分図、第２図
（ｂ）は第２図（ａ）に示すＡＡ’一点鎖線での切断面
部分図、第２図（Ｃ）は第２図（ｂ）に示すＢＢ’一点
鎖線での切断面部分図、第２図（ｄ）はＴ／Ｊ基板の模
式的平面部分図、第３図は本発明の他の実施例を示す模
式的断面図である０／θ／２，２θθ記録ヘツド ／θ３，２θ／　電気熱変換体 ／θ３２．２θ２基板 ／θグ５．２θ３溝付板 ／θｓ、　２／ｇ　　オリフィス ／θ乙１．２θグ　液流路 ／θ７１．２θ５熱作用部 ／θに２．２／コ熱発生部 ／θ’ｉ’、：２／３　熱作用面 ！θ乙支持体 ／／θ５．２θ７下部層 ／／／、、２θに発熱抵抗層 ／／、、２．．２／／　　上部層 、２／乙　　〃 ２／７　　〃 一？／ｌｌ保護層 ／／３．．２θ２　電極（共通） ／／’ｌ、　２／θ　〃　（選択） 、２／ｊ発熱抵抗層の酸化物層 Ｉ！！１　　　図　（ａ） 第　　１　　図　　（ｂ）

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）　　液体を吐出して飛４１的液滴を形成する為に
   設けら１１だオリフィスと、該オリフィスに連通し、Ａ
   ｉｌ記液滴を形成する為の熱エネルギーが液体に作用す
   る部分である熱作用部を構成の一部とする液流路とを有
   する液吐出部と、基板上に設けらｉ’した発熱抵抗層に
   電気的に接続して、少なくとも一対の対置する電極が設
   けられ、これ等電極の間に熱発生部が形成されている電
   気熱変換体とを具備する液体噴射記録ヘッドにおいで、
   該電極表面を変質させることによって形成され、且無機
   絶縁材料化された保護層を一部することを特徴とする液
   体噴射記録ヘッド。
2. （２）該保護層が酸化物、窒化物、硼化物又は炭化物層
   である特許請求の範囲第１項記載の液体噴射記録ヘット
   。
3. （３）該保護層が酸化物層である特許請求の範囲第３項
   記載の液体噴射記録ヘッド。