JPH0643128B2 - インクジェットヘッド - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、液体を噴射し、飛翔液滴を形成して記録を行
なうインクジェットヘッドに関する。

インクジェット記録法（液体噴射記録法）は、記録時に
おける騒音の発生が無視し得る程度に極めて小さいとい
う点高速記録が可能であり、しかも、いわゆる普通紙に
定着という特別な処理を必要とせずに記録の行なえる点
において最近関心を集めている。

その中で、例えば特開昭５４−５１８３７号公報、ドイ
ツ公開（ＤＯＬＳ）第２８４３０６４号公報に記載され
てある液体噴射記録法は、熱エネルギーを液体に作用さ
せて、液滴吐出の為の原動力を得るという点において、
他の液体噴射記録法とは、異なる特徴を有している。

即ち、上記の公報に開示されてある記録法は、熱エネル
ギーの作用を受けた液体が急峻な体積の増大を伴う状態
変化を起こし、該状態変化に基づく作用応力によって、
記録ヘッド部先端のオリフィスより液体が吐出されて、
飛翔的液滴が形成され、該液滴が被記録部材に付着し記
録が行なわれるという特徴である。

殊に、ＤＯＬＳ ２８４３０６４号公報に開示されてい
る液体噴射記録法は、いわゆるドロップ・オン・デマン
ド記録法に極めて有効に適用されるばかりでなく、記録
ヘッド部をフルラインタイプで高密度マルチオリフィス
化された記録ヘッドが容易に具現化出来るので、高解像
度、高品質の画像を高速で得られるという特徴を有して
いる。

上記の記録法に適用される装置の記録ヘッド部は、液体
を吐出する為に設けられたオリフィスと、該オリフィス
に連通し、液滴を吐出する為の熱エネルギーが液体に作
用する部分である熱作用部を構成の一部とする液流路と
を有する液吐出部と、熱エネルギーを発生する手段とし
ての電気熱変換体とを具備している。

そして、この電気熱変換体は、一対の電極と、これ等の
電極に接続し、これ等の電極の間に発熱する領域（熱発
生部）を有する発熱抵抗層とを具備している。

この様なインクジェットヘッドの構造を示す典型的な例
が第１図（ａ）、及び第１図（ｂ）に示される。

第１図（ａ）は、本発明に係わるインクジェットヘッド
のオリフィス側から見た正面部分図、第１図（ｂ）は、
第１図（ａ）に一点鎖線ＸＹで示す部分で切断した場合
の切断面部分図である。図に示される記録ヘッド１０１
は、その表面に電気熱変換体１０２が設けられている基
板１０３の表面に、所定の線密度で所定の巾と深さの溝
が所定数設けられている溝付板１０４で覆う様に接合す
ることによって、オリフィス１０５と液吐出部１０６が
形成された構造を有している。図に示す記録ヘッドの場
合、オリフィス１０５を複数有するものとして示されて
いるが、勿論本発明においては、これに限定されるもの
ではなく単一オリフィスの場合の記録ヘッドも本発明の
範疇に入るものである。

液吐出部１０６は、その終端に液体を吐出させる為のオ
リフィス１０５と、電気熱変換体１０２より発生される
熱エネルギーが液体に作用して気泡を発生し、その体積
の膨張と収縮による急激な状態変化を引起こすところで
ある熱作用部１０７とを有する。熱作用部１０７は、電
気熱変換体１０２の熱発生部１０８の上部に位置し、熱
発生部１０８の液体と接触する面としての熱作用面１０
９をその底面としている。

熱発生部１０８は、基板１０３上に設けられた下部層１
１０、該下部層１１０上に設けられた発熱抵抗層１１
１、該発熱抵抗層１１１上に設けられた上部層１１２と
で構成される。発熱抵抗層１１１には、熱を発生させる
為に該層１１１に通電する為の電極１１３、１１４がそ
の表面に設けられてある。電極１１３は、各液吐出部の
熱発生部に共通の電極であり、電極１１４は、各液吐出
部の熱発生部を選択して発熱させる為の選択電極であっ
て、液吐出部の流通路に沿って設けられてある。

上部層１１２は、熱発生部１０８に於いては発熱抵抗層
１１を、使用する液体から化学的・物理的に保護する為
に発熱抵抗層１１１と液吐出部１０６の液流路を満たし
ている液体とを隔離すると共に、液体を通じて電極１１
３、１１４間が短絡するのを防止する、発熱抵抗層１１
１の保護的機能を有している。

又、上部層１１２は、隣接する電極間に於ける電気的リ
ークを防止する役目を荷っている。

殊に、各選択電極間に於ける電気的リークの防止、或は
各液流路下にある電極が何等かの理由で電極と液体とが
接触し、これに通電することによって起る電蝕の防止
は、重要であって、この為にこの様な保護層的機能を有
する上部層１１２が少なくとも液流路下に於ける電極上
に設けられている。更に、各液吐出部に設けられてある
液流路は、各液吐出部の上流に於いて、液流路の一部を
構成する共通液室を介して連通されているが、各液吐出
部に設けられた電気熱変換体に接続されている電極は、
その設計上の都合により、熱作用部の上流側に於いて前
記共通液室下を通る様に設けられている。

従って、この部分に於いても電極が液体と接触するのを
防止すべく前記した上部層が設けられているのが一般的
である。

ところで上記の上部層１１２は、設けられる場所に依っ
て要求される特性が各々異なる。

即ち、例えば熱発生部１０８に於いては、耐熱性、
耐液性、液浸透防止性、熱伝導性、酸化防止性及
び耐破傷性に優れていることが要求され、熱発生部１
０８以外の領域に於いては熱的条件で緩和されるが液浸
透防止性、耐液性及び耐破傷性には充分優れていること
が要求される。

ところが、上記の〜の特性の総てを所望通りに充分
満足する上部層を構成する材料は、今のところなく〜
の特性を幾つかを緩和して使用しているのが現状であ
る。

即ち、熱発生部１０８に於いては、，及びに優先
が置かれて材料の選択が成され、他方熱発生部１０８以
外の例えば電極部に於いては、，及びに優先が置
かれて材料の選択が成されて、夫々の該当する領域面上
に各相当する材料を以って上部層が形成されている。

他方、これ等とは別に、マルチオリフィス化タイプのイ
ンクジェットヘッドの場合には、基板上に多数の微細な
電気熱変換体を同時に形成する為に、製造過程に於い
て、基板上では各層の形成と、形成された層の一部除去
の繰返しが成され、上部層が形成される段階では、上部
層の形成されるその表面はスラップウエッヂ部（段差
部）のある微細な凹凸状となっているので、この段差部
に於ける上部層の被覆性（ステップカバレージ性）が重
要となっている。

つまり、この段差部の被覆性が悪いと、その部分での液
体の浸透が起り、電蝕或は電気的絶縁破壊を起す誘引と
なる。

又、形成される上部層がその製造法上に於いて欠陥部の
生じる確率が少なくない場合には、その欠陥部を通じ
て、液体の浸透が起り、電気熱変換体の寿命を著しく低
下させる要因となっている。

これ等の為に、上部層は、段差部に於ける被覆性が良好
であること、形成される層にピンホール等の欠陥の発生
する確率が低く、発生しても実用上無視し得る程度或は
それ以上に少ないことが要求される。

しかしながら、従来に於いては、これ等の要求の総てを
満足し、総合的な使用耐久性に優れたインクジェットヘ
ッドは提案されてない。

本発明は上記の諸点に鑑み成されたものであって、頻繁
なる繰返し使用や長時間の連続使用に於いて総合的な耐
久性に優れ、初期の良好な液滴形成特性を長期に亘って
安定的に維持し得るインクジェットヘッドを提供するこ
とを主たる目的とする。

又、本発明の別の目的は、製造加工上に於ける信頼性の
高いインクジェットヘッドを提供することでもある。

更には、マルチオリフィス化した場合にも製造歩留りの
高いインクジェットヘッドを提供することでもある。

本発明のインクジェットヘッドは、インクを吐出するオ
リフィスに連通するインク路と、 該インク路に対応して設けられ、発熱抵抗層と該発熱抵
抗層に電気的に接続する電極とを有する電気熱変換体
と、 を具備するインクジェットヘッドにおいて、 前記電極を陽極酸化させることにより形成される絶縁保
護層を有することを特徴とするインクジェットヘッド
（以下、液体噴射記録ヘッドともいう）である。

以下、図面に従って本発明を具体的に説明する。

第２図（ａ）には、本発明の液体噴射記録ヘッドの好適
な実施態様例２００の構造の主要部を説明する為のオリ
フィス側から見た正面部分図が、第２図（ｂ）には、第
２図（ａ）に一点鎖線ＡＡ′で示した部分で切断した場
合の切断面部分図が示されており、第２図（ａ）は、第
１図（ａ）に相当し、第２図（ｂ）は第１図（ｂ）に相
当するものである。

図に示された液体噴射記録ヘッド２００は、所望数の電
気熱変換体２０１が設けられた熱を液吐出に利用する液
体噴射記録（サーマルインクジェット：Ｔ／Ｊと略記す
る）用の基板２０２と、前記電気熱変換体２０１に対応
して設けられた溝を所望数有する溝付板２０３とでその
主要部が構成されている。

Ｔ／Ｊ基板２０２と溝付板２０３とは、所定個所で接着
剤等で接合されることでＴ／Ｊ基板２０２の電気熱変換
体２０１の設けられている部分と、溝付板２０３の溝の
部分とによってインク路（以下、液流路という）２０４
を形成しており、該液流路２０４は、その構成の一部に
熱作用部２０５を有する。

Ｔ／Ｊ基板２０２は、シリコン、ガラス、セラミックス
等で構成されている支持体２０６、該支持体２０６上に
ＳｉＯ_２等で構成される下部層２０７、発熱抵抗層２０
８、発熱抵抗層２０８の表面の両側には、液流路２０４
に沿って電極２０９，２１０、及び発熱抵抗層２０８の
電極で被覆されていない部分と、電極２０９，２１０の
部分とを覆う様に無機質材料等で構成された保護層（上
部層）２１１とを具備している。

電気熱変換体２０１は、その主要部として熱発生部２１
２を有し、熱発生部２１２は支持体２０６上に支持体２
０６側より順次下部層２０７、発熱抵抗層２０８、上部
層２１１とが積層されて構成されており、上部層２１１
の表面（熱作用面）２１３は、液流路２０４中を満たす
液体と直に接触している。

第２図（ｂ）に示す液体噴射記録ヘッド２００の場合に
は、上部層２１１は、該層２１１の機械的な強度を一層
高める為に、層２１６，層２１７の二重層構造とされて
いて、層２１６は、例えばＳｉＯ_２等の無機酸化物やＳ
ｉ_３Ｎ_４等の無機窒化物等の比較的電気絶縁性、熱伝導
性、及び耐熱性に優れた無機質材料で構成され、層２１
７は粘りがあって、比較的機械的強度に優れ層２１６に
対して密着性のある、例えば層２１６がＳｉＯ_２で形成
されている場合にはＴａ等の金属材料で構成される。

この様に上部層２１１の表面層を金属等の比較的粘りが
あって機械的強度のある無機質材料で構成することによ
って、熱作用面２１３に於いて、液体吐出の際に生ずる
キャビテーション作用からのショックを充分吸収するこ
とが出来、電気熱変換体２０１の寿命を格段に延ばす効
果がある。しかしながら、上部層２１１の表面層として
設けられる層２１７は、本発明に於いては、必ずしも要
するものではない。

本発明は電極２０９および２１０の表面に無機絶縁材料
化された保護層２１４を、電極表面を変質させることに
よって設けるものであるが、第３図に示すように、電極
だけでなく、発熱抵抗層も含めて、電気熱変換体の表面
を変質させることによって設けることもできる。該保護
層２１４は不図示ではあるが電極２１０の延長上の、液
流路２０４の上流に設けられる共通液室の底面部分にも
少なくとも設けられる。

保護層２１４は電極部の表面、もしくは電極部と発熱抵
抗層の表面に設けられ、その主なる役目は、液浸透防止
と耐液作用にある。そしてさらには、共通液室より後方
の電極配線部をも被覆する様に設けることによって、電
極配線部を製造工程中に起こる電極配線部のキズの発
生、断線の発生等を防止することが出来る。

保護層２１４は上記の役目を果すことが出来るような無
機絶縁材料で構成されるが、更に該保護層は （１）成膜性が良いこと。

（２）緻密な構造でかつピンホールやクラックがないこ
と。

（３）使用インクに対して変質、溶解しないこと。

（４）成膜したときの絶縁性がよいこと。

（５）耐熱性が高いこと。

等の物性を具備していることが望ましい。その様な無機
絶縁材料として例えば、Ａｌ，Ｔａ，Ｔｉ，Ｚｒ，Ｈ
ｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｍｇ，Ｓｉ，Ｍｏ，Ｗ，Ｙ，Ｌａ等の金
属およびそれら合金の酸化物、炭化物、窒化物、硼化物
等が挙げられ、電極部表面に緻密でクラックやピンホー
ル等を生じないような無機絶縁材料層が形成されるもの
であれば良い。

保護層２１４を電極部の表面に設ける方法として好まし
い方法は後述の実施例に示すように、電極部の表面を陽
極酸化することによって電極の表面に酸化物の被膜層を
形成させることである。この方法で形成された金属の酸
化物層は保護層として要求される上述の物性を満足する
理想的な被覆層を与える。酸化物層の形成は、電極表面
の空気又は酸素中での加熱酸化や酸化剤による化学的酸
化によって行なってもよい。又表面の変質は酸化による
酸化物層の形成に限らず、窒化、硼化、炭化等による窒
化物、硼化物、炭化物層の形成であってもよい。

上部層２１１を構成する材料としては、上記した無機質
材料の他に酸化チタン、酸化バナジウム、酸化ニオブ、
酸化モリブデン、酸化タンタル、酸化タングステン、酸
化クロム、酸化ジルコニウム、酸化ハフニウム、酸化ラ
ンタン、酸化イットリウム、酸化マンガン等の遷移金属
酸化物、更に酸化アルミニウム、酸化カルシウム、酸化
ストロンチウム、酸化バリウム、酸化シリコン、等の金
属酸化物及びそれらの複合体、窒化シリコン、窒化アル
ミニウム、窒化ボロン、窒化タンタル等高抵抗窒化物及
びこれら酸化物、窒化物の複合体、更にアモルファスシ
リコン、アモルファスセレン等の半導体などバルクでは
低抵抗であってもスパッタリング法、ＣＶＤ法、蒸着
法、気相反応法、液体コーティング法等の製造過程で高
抵抗化し得る薄膜材料を挙げることが出来、その層厚と
しては一般に０．１μｍ〜５μｍ、好ましくは０．２μ
ｍ〜３μｍとされるのが望ましい。

第２図（ａ）及び（ｂ）に示した実施態様の場合は、保
護層２１４と上部層２１１とが共に設けられているが、
本発明においては上部層２１１は必ずしも積層されてい
る必要はなく、電極の表面に形成された保護層２１４に
よって電極が液体から保護されていれば前述した本発明
の目的・効果を達成することが出来る。

第２図（ａ）及び（ｂ）に示した実施態様は本発明の好
ましい実施態様であって、上部層と保護層との組合せで
構成される被覆層は、後記する他の部分の諸構成と相俟
って、総合的な使用耐久性にすぐれ、製造加工上に於け
る信頼性の高い、且マルチオリフィス化した場合にも製
造歩留りの高い液体噴射記録ヘッドを提供することが出
来る。

下部層２０７は、主に熱発生部２１２より発生する熱の
支持体２０６側への流れを制御する層として設けられる
もので、熱作用部２０５に於いて液体に熱エネルギーを
作用させる場合には、熱発生部２１２より発生する熱が
熱作用部２０５側により多く流れるようにし、電気熱変
換体２０１への通電がＯＦＦされた際には、熱発生部２
１２に残存している熱が、支持体２０６側に速やかに流
れる様に構成材料の選択と、その層厚の設計が成され
る。下部層２０７を構成する材料としては、先に挙げた
ＳｉＯ_２の他に酸化ジルコニウム、酸化タンタル、酸化
マグネシウム、酸化アルミニウム等の金属酸化物に代表
される無機質材料が挙げられる。

発熱抵抗層２０８を構成する材料は、通電されることに
よって、所望通りの熱が発生するものであれば大概のも
のが採用され得る。

その様な材料としては、具体的には例えば窒化タンタ
ル、ニクロム、銀−パラジウム合金、シリコン半導体、
或は、ハフニウム、ランタン、ジルコニウム、チタン、
タンタル、タングステン、モリブデン、ニオブ、クロ
ム、バナジウム等の金属の硼化物等が好ましいものとし
て挙げられる。

これ等の発熱抵抗層２０８を構成する材料の中、殊に金
属硼化物が優れたものとして挙げることが出来、その中
でも最も特性の優れているのが硼化ハフニウムであり、
次いで硼化ジルコニウム、硼化ランタン、硼化タンタ
ル、硼化バナジウム、硼化ニオブの順となっている。

発熱抵抗層２０８は、上記した材料を使用して、電子ビ
ーム蒸着やスパッターリング等の手法を用いて形成する
ことが出来る。

電極２０９及び２１０を構成する材料としては、その表
面に稠密でピンホールのない無機絶縁材料層を形成する
ことが可能な導電材料、例えば、Ａｌ，Ｔａ，Ｔｉ，Ｍ
ｇ，Ｈｆ，Ｚｒ，Ｖ，Ｗ，Ｍｏ，Ｎｂ，Ｓｉ，等及びそ
れらの合金が挙げられ、これらを使用して、蒸着等の手
法で所定位置に、所定の大きさ、形状厚さで設けられ
る。

溝付板２０３及び熱作用部２０５の上流側に設けられる
共通液室構成部材を構成する材料としては、記録ヘッド
の工作時の、或は使用時の環境下に於いて形状に熱的影
響を受けないか或は殆ど受けないものであって微細精密
加工が容易に適用され得ると共に面精度が所望通りに容
易に出、更には、それ等によって形成される流路中を液
体がスムーズに流れ得る様に加工し得るものであれば、
大概のものが有効である。

第２図（ｃ）は、第２図（ｂ）に示す一点鎖線ＢＢ′で
切断した場合の切断面部分図である。

第２図に示した液体噴射記録ヘッド２００は、第２図
（ｄ）に示す様に保護層２１４は、液流路２０４の熱作
用面２１３に接して設けられているが、変形例として熱
作用面２１３から離して保護層２１４を設けても左程差
し支えないものである。

以下、本発明を実施例に従って説明する。

〈実施例〉 Ｓｉウエハを熱酸化により５μｍ厚のＳｉＯ_２膜を形成
し基板とした。基板にスパッタにより発熱抵抗層として
ＨｆＢ_２を１５００Åの厚みに形成し、続いて電子ビー
ム蒸着によりＴｉ層５０Å、Ａ１層１００００Åを連続
的に堆積した。

フォトリソ工程により第２図（ｄ）の如きパターンを形
成、熱作用面のサイズは３０μｍ幅、１５０μｍ長でＡ
１電極の抵抗を含めて１５０オームであった。

次にＡ１電極部のみをボンディング取出し部を除いて５
０００Å陽極酸化した。

以下にＡ１電極部の陽極酸化工程を示す。

発熱抵抗層及び電極が所定のパターンに形成された支持
体を洗浄、乾燥後、ホトレジストＯＭＲ−８３（東京応
化製）をスピンナーで塗布し、乾燥後マスクアライナー
を用いて露光し、現像処理を行ない所望の陽極酸化用パ
ターンを得た。

次に、１０％Ｈ_３ＰＯ_４溶液を用い、浴温１０℃で、電
流密度５ｍＡ／ｃｍ²、対電極をＰｔとして、５分間陽
極酸化した。（陽極酸化中は試料は固定し、電解浴は充
分スターラーにより撹拌を行った。）水洗、乾燥後ＯＭ
Ｒ用剥離液でホトレジストを剥離した後、充分洗浄、乾
燥し、上面と側面への酸化層の形成工程を終えた。

陽極酸化層の形成に続いてＳｉＯ_２スパッタ層を、ハイ
レースパッタにより２．２μｍ堆積させ、更にＴａの
０．５μｍスパッタによりＴａ層を堆積した。

このＴ／Ｊ基板上に溝付ガラス板を所定通りに接着し
た。即ち、第２図（ｂ）に示してあるのと同様にＴ／Ｊ
基板にインク導入流路と熱作用部を形成する為の溝付ガ
ラス板（５０μｍ×５０μｍ長さ２ｍｍ）が接着されて
いる。

このようにして、液体噴射記録ヘッドを作成した。

この様にして作成した記録ヘッドの電気熱変換体に１０
μｓの３０Ｖの矩形電圧を８００Ｈｚで印加すると印加
信号に応じて液体がオリフィスから吐出されて、飛翔的
液滴が安定的に形成された。

この様な液滴の形成を繰り返すと製造不良のヘッドに於
いてはＡ１電極の電蝕やＴａ保護層とＡ１電極間の絶縁
破壊などにより断線が生じインクを吐出しなくなる。こ
の時点での繰返し数を耐久回数という。

この耐久回数と、製品歩留りを （ａ）本実施例の構成による記録ヘッド （ｂ）本実施例において、陽極酸化層を形成させること
なく作製した記録ヘッド（比較例） （ｃ）本発明の実施例の一つであるが、本実施例におい
て、陽極酸化層を熱作用面から離して形成した記録ヘッ
ド の３例について求めた結果（各々サンプル数１０００に
ついて評価した）を第１表に示す。但し、歩留りはＴａ
層と配線部とのショートチェックの結果である。

第１表の結果から明らかなように本発明のヘッドでは耐
久回数１０^９回を安定して達成出来る。従ってマルチヘ
ッドとしての使用に適している。

（ｂ）の構成ではＳｉＯ_２、Ｔａのスパッタ層のピンホ
ールを通しての記録液の浸透によるＡ１電極の電蝕及び
Ａ１電極とＴａ層との絶縁破壊による耐久性及び歩留り
劣化が顕著であった。

（ｃ）の構成のヘッドでは（ａ）の場合よりも歩留り、
耐久回数ともやや劣った。その内容は発熱低抗体と配線
部境界部での断線が多く、この部分でのＳｉＯ_２のステ
ップカバレージが悪いことによる。これは、配線部の膜
質を減少させることにより、（ａ）構成ヘッドの耐久信
頼度へ近づけることが可能である。

即ち、本発明の様に電極部表面を無機絶縁材料に変える
ことにより保護層を形成することで信頼性、歩留り等が
極端に向上する。この傾向は無機質層としてＴａ等の良
好な導電度を有する保護層を上部に用いたヘッドの信頼
性向上においては更に顕著であり、Ａ１リード電極とＴ
ａ導電性保護層間の絶縁破壊による耐久性の低下は皆無
となる。

本実施例においては、電気化学的な陽極酸化を用いて酸
化層の形成を行なったが、他の部分への悪影響をなけれ
ば、加熱酸化によって酸化層を形成しても良く、また膜
質に問題がなければ、酸化剤による表面処理等による化
学的な酸化によって酸化層を形成してもかまわない。

さらに、無機絶縁材料２１４は、酸化物に限らず窒化、
硼化、炭化等によって、窒化物、硼化物、炭化物等を形
成しても良い。

また、本実施例においては、陽極酸化する際熱作用面２
１３の酸化を防ぐためその部分をパターニングしたが、
発熱抵抗体２０８の酸化が無視しうる場合、または発熱
抵抗体２０８の膜厚を厚くする等の基板設計上無視しう
るようにした場合は、パターニングの必要性はない。第
３図は熱作用面２１３部をパターニングせずに陽極酸化
した場合の切断面部分図であり、第２図（ｂ）に相当す
るが、この場合は電極部だけでなく、発熱抵抗層も含め
て、電気熱変換体の表面に酸化被膜の保護層が形成され
ている。

さらに、本実施例における陽極酸化法においてはりん酸
浴による、陽極酸化法であるが、これは陽極化成が可能
で、前記の特性をもつ保護膜を形成できる電解浴なら何
でも良く、例えば硫酸、しゅう酸、クエン酸、酒石酸、
クロム酸、ホウ酸等があげられ、それらの混浴でもかま
わない。また電解条件は成膜された２１４層が先述の特
性を得る条件であれば良く、さらに、ピンホールを減少
させるために、封孔処理、もしくは、ホウ酸＋ホウ酸ナ
トリウム等の中性浴で二次電解することによるポアフィ
リングした場合はさらに良い膜厚となる。

また、本発明における該保護層の形成方法は、Ａｕ，Ｐ
ｔ，Ａｇ等の酸化物を形成しにくい配線材料の上部に酸
化膜を容易に形成する材料を蒸着、スパッタリング、Ｃ
ＶＤ等によって層を形成し、その後その層だけを酸化す
ることによって保護層を形成することをも含む。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）、（ｂ）は夫々、従来の記録ヘッドを説明
する為のもので、第１図（ａ）は模式的正面部分図、第
１図（ｂ）は第１図（ａ）のＸＸ′一点鎖線での切断面
部分図、第２図（ａ），（ｂ），（ｃ），（ｄ）は夫々
本発明の記録ヘッドの実施態様の１つを説明する為のも
ので、第２図（ａ）は模式的正面部分図、第２図（ｂ）
は第２図（ａ）に示すＡＡ′一点鎖線での切断面部分
図、第２図（ｃ）は第２図（ｂ）に示すＢＢ′一点鎖線
での切断面部分図、第２図（ｄ）はＴ／Ｊ基板の模式的
平面部分図、第３図は本発明の他の実施例を示す模式的
断面図である。 １０１，２００……記録ヘッド １０２，２０１……電気熱変換体 １０３，２０２……基板 １０４，２０３……溝付板 １０５，２１８……オリフィス １０６，２０４……液流路 １０７，２０５……熱作用部 １０８，２１２……熱発生部 １０９，２１３……熱作用面 ２０６……支持体 １１０，２０７……下部層 １１１，２０８……発熱抵抗層 １１２，２１１……上部層 ２１６…… 〃 ２１７…… 〃 ２１４……保護層 １１３，２０９……電極（共通） １１４，２１０……〃 （選択） ２１５……発熱抵抗層の酸化物層

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 高橋 博人 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 庄司 辰美 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (56)参考文献 特開 昭58−11169（ＪＰ，Ａ) 特開 昭48−99080（ＪＰ，Ａ)

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】インクを吐出するオリフィスに連通するイ
   ンク路と、 該インク路に対応して設けられ、発熱抵抗層と該発熱抵
   抗層に電気的に接続する電極とを有する電気熱変換体
   と、 を具備するインクジェットヘッドにおいて、 前記電極を陽極酸化させることにより形成される絶縁保
   護層を有することを特徴とするインクジェットヘッド。