DE3876004T2 - Tintenstrahldruckkopf und substrat dafuer. - Google Patents
Tintenstrahldruckkopf und substrat dafuer.Info
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Description
- Die Erfindung betrifft ein Substrat für einen Tintenstrahl- Aufzeichnungskopf, einen Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf, in dem das vorgenannte Substrat enthalten ist, sowie eine Tintenstrahl-Aufzeichnungsvorrichtung mit dem Tintenstrahl- Aufzeichnungskopf.
- Das Trägerelement eines Tintenstrahl-Aufzeichnungskopfes wurde bisher aus Silicium, Glas oder Kermaiken wie Aluminiumoxid hergestellt (siehe z.B. die JP-A-5456453). Ein Trägerelement aus Silicium leidet nicht unter Eignungsproblemen, ist jedoch unter Verwendung der besteheden Techniken schwierig herzustellen. Ein Siliciumwafer zum Beispiel, der lang genug ist, um sich auf eine Länge einer Seite eines A3- oder A4- Aufzeichnungspapiers (Japanischer Standard) zu erstrecken, ist in der Herstellung teuer. Ein Trägerelement aus Glass weist eine geringe Wärmeleitfähigkeit auf, so daß sich Hitze in ihm ansammeln kann, wenn die Betriebsfrequenz erhöht wird, was die Bildung von Bläschen in der Aufzeichnungsflüssigkeit verursachen kann, welche gelegentlich das Problem verursachen können, daß der Austritt der Aufzeichnungsflüssigkeit unmöglich wird. Im Falle eines keramischen Trägerelementes können Oberflächendefekte während dessen Herstellungsverfahrens entstehen. Diese Oberflächendefekte können Nadellöcher oder Auswurfe von mehreren um bis mehreren -zig um, welche durch visuelle oder mikroskopische Inspektion sehr schwer zu finden sind, und welche nicht ermittelt werden können, bis nachdem die Filmbildung beendet worden ist und der auf den Defekten vorliegende Film sich ablöst, und dies führte zu dem Problem, daß viele Defekte während der Filmbildung auftraten.
- Keramische Trägerelemente weisen auch den Nachteil auf, daß es schwierig ist, eine Spiegeloberfläche mit einer Oberflächenrauheit von mehreren -zig Å oder weniger zu erhalten, und gewöhnlich werden sie mit einer auf deren ganzen Oberfläche aufgebrachten Glasurschicht verwendet. Die Glasurschicht kann jedoch aus Gründen der Herstellung nicht dünner als 40 bis 50 um gemacht werden, wodurch diese unter dem gleichen Problem leiden wie ein Glasträgerelement, nämlich der Hitzeasammlung.
- Die vorliegende Erfindung stellt ein Substrat für einen Tintenstrahlaufzeichnungskopf zu Verfügung, umfassend ein Trägerelement, einen elektrothermischen Konverter auf dem Trägerelement mit einer hitzeerzeugenden Widerstandsschicht und einem mit der hitzeerzeugenden Widerstandsschicht verbundenen Elektrodenpaar, und eine Glasurschicht, die zwischen dem Trägerelement und dem elektrothermischen Konverter außer in einem hitzeerzeugenden Teilstück, welches zwischen dem Elektrodenpaar definiert ist, ausgestaltet ist.
- Das oben genannte Substrat führt Hitze ausreichend schnell ab, so daß eine mit ihm in Kontakt befindliche Flüssigkeit durch die während des Aufzeichnens verwendete Energie nicht auf unerwünschte Weise erhitzt wird. Es kann ebenso relativ frei sein von Oberflächendefekten, so daß während des anschließenden Filmbildungsschrittes erscheinende Defekte vermindert werden. Zudem kann es ausreichend lang und groß gemacht werden, um einen Tintenstrahl-Druckkopf zu bilden.
- Die Erfindung wird nun lediglich beispielhaft unter Bezugnahme auf die beiliegenden Abbildungen näher erläutert.
- Figuren 1 und 3 sind schematische Grundrisse, die jeweils eine Ausführungsform des Substrats für den erfindungsgemäßen Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf zeigen.
- Figur 2 ist eine schematische Querschnittsansicht des Substrats für den Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf von Figur 1, aus der Figur 1 herausgegriffen entlang der Linie A-A'.
- Figur 4 ist eine schematischer perspektivische Ansicht, die ein Beispiel des wesentlichen Teilstücks des erfindungsgemäßen Tintenstrahl-Aufzeichnungskopfes zeigt.
- Figur 5 ist eine schematische perspektivische Ansicht einer Tintenstrahl-Aufzeichnungsvorrichtung, die mit dem erfindungsgemäßen Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf ausgestattet ist.
- Figur 6 ist ein Diagramm, welches das Ergebnis einer Experiments zeigt, welches in Bezug auf das Hitzestrahlungsvermögen durchgeführt wurde unter Verwendung des Substrates für einen Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf gemäß einer Ausführungsform vorliegender Erfindung und des Substrates für einen Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf gemäß eines Vergleichsbeispiels.
- Einige Auführungsformern vorliegender Erfindung werden nachstehend im Detail unter Bezugnahme auf die Abbildungen beschrieben.
- Figur 1 ist ein schematischer Grundriß, der das charakteristische Teilstück einer bevorzugten Ausführungsform des Substrates für den Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf gemäß vorliegender Erfindung zeigt, und Figur 2 ist eine schematische Querschnittsansicht, aus der Figur 1 herausgegriffen entlang der Linie A-A'. In diesem Substrat für den Tintenstrahl- Aufzeichnungskopf ist eine Glasurschicht 2 mit einer Apertur in der Form eines Fensters auf einem Trägerelement 1 aufgetragen, und eine Hitzeansammlungsschicht 3 und eine hitzeerzeugende Widerstandsschicht 4 sind so aufgetragen, daß sie mindestens auf dem Teilstück des Trägerelements 1 angeordnet sind, auf dem die Glasurschicht 2 abwesend ist (das unglasierte Teilstück). Ein Paar Elektroden 5 sind mit der hitzeerzeugenden Widerstandsschicht 4 verbunden, so daß dieser Strom zugeführt werden kann. Das heißt, im Substrat für den Tintenstrahl- Aufzeichnungskopf bildet die hitzeerzeugende Widerstandsschicht 4 auf dem unglasierten Teilstück bin hitzeerzeugendes Teilstück, welches ein Teilstück ist, das eine Hitze erzeugt, die zum Entladen von Tinte verfügbar ist.
- In einem solchen Substrat für einen Tintenstrahl- Aufzeichnungskopf kann der Wärmestrom in der Richtung der Dicke eines Teilstücks X, auf dem das Hitzeerzeugungsteilstück gebildet ist, auf geeignete Weise eingestellt werden durch die Hitzeansammlungsschicht 3, deren gewünswchte thermische Eigenschaft durch die Auswahl zum Beispiel eines Materials (z.B. ein anorganisches Oxid, wie SiO&sub2;) und der Dicke gewählt werden kann. Deshalb kann ein gutes Hitzestrahlungsvermögen in dem Bereich X gewährleistet werden, und das zuvor beschriebene Problem der Hitzeansammlung tritt nicht auf. Darüberhinaus kann, da die Glasurschicht 2 den größten Teil des Trägerelementes 1 überdeckt und dessen 0berflächendefekte darin begräbt, eine Spiegeloberfläche erhalten werden. Deshalb treten geringe oder keine Defekte in dem gebildeten Film auf, und Defekte bei der Filmbildung sind sehr stark herabgesetzt. Das heißt, das hitzeerzeugende Teilstück eines elektrothermischen Konvertierteils, der auf dem Trägerelement 1 gebildet ist und eine hitzeerzeugende Widerstandsschicht und ein mit der hitzeerzeugenden Widerstandsschicht verbundes Elektrodenpaar aufweist, belegt keine große Fläche, von der Fläche des gesamten Trägerteils aus gesehen (oder der Fläche des Teilstückes des Trägerteils, auf dem mindestens das elektrothermische Konvertierteil ausgestaltet ist), und deshalb kann die durch den defekten Bereich des Trägerteils verursachte Verminderung der Ausbeute stark herabgesetzt werden.
- Ein anderes Ausführungsform vorliegender Erfindung ist in Figur 3 gezeigt. In diesem Substrat für den Tintenstrahl- Aufzeichnungskopf ist ein nichtglasiertes Teilstück Y, welches Elektroden 5 zwischen benachbarten hitzeerzeugenden Teilstücken umfaßt, in Form eines Bandes ausgestaltet. Das heißt, unter einigen der Elektroden 5 gibt es ebenso Stellen, wo die Glsaurschicht 2 nicht aufgetragen ist. In diesem Falle ist die Einfachheit, mit der der Aufzeichnungskopf hergestellt wird, verbessert. Diese Ausführungsformen sollten gewählt werden durch den Ausgleich oder dergleichen zwischen dem Ausmaß des Erfordernisses für die Wirkung beim Betrieb unter Berücksichtigung des Hitzestrahlungsvermögens und der Glätte sowie dem Fall und den Kosten, unter denen der Aufzeichnungskopf hergestellt wird.
- In der vorliegenden Erfindung wird es ausreichen, wenn die Glasurschicht 2 im wesentlichen mindestens in dem Teilstück X, auf dem das hitzeerzeugende Teilstück gebildet ist, nicht existiert, und es bestehen keine besonderen Beschränkungen hinsichtlich der Größe der hitzeezeugenden Widerstandsschicht 4, der Beschaffenheit der Verbindung der Elektroden 5 und der hitzeerzeugenden Widerstandsschicht 4, dem Material jeden Teilstücks usw., und die ehemals bekannten Faktoren können sicher angewandt werden. Zum Beispiel kann die hitzeerzeugende Widerstandsschicht 4 von der im wesentlichen gleichen Größe wie die Größe des Teilstücks X sein, in dem das hitzeerzeugende Teilstück gebildet wird. Im Hinblick auf die im Zusammenhang mit dem Stand der Technik aufgezählten Probleme kann ein keramisches Material, wie Al&sub2;O&sub3;, SiC oder AlN, als ein geeignetes Material für den Trägertelement genannt werden.
- In der vorliegenden Erfindung wird es ebenfalls bevorzugt, daß die Hitzeansammlungsschicht 3 wie oben beschrieben vorliegt, die Hitzeansammlungsschicht 3 kann jedoch, in Abhängigkeit der Eigenschaft oder dergleichen des Materials des Trägerelementes, weggelassen werden. Zudem kann selbstverständlich in der vorliegenden Erfindung eine Schutzschicht auf der äußeren Oberfläche oder dergleichen des Teilstücks X, in dem das hitzeerzeugende Teilstück gebildet ist, ausgestaltet sein.
- Um die Glasurschicht 2 auf einem Teil des Trägerelementes 1 während der Herstellung des Substrates für den Tintenstrahl- Aufzeichnungskopf gemäß vorliegender Erfindung zu bilden, kann von einem selektiven Überziehverfahren unter Verwendung des Siebdruckes, einem Verfahren zur Durchführung des selektiven Ätzens nach dem Überziehen der Glasurschicht 2 oder dergleichen Gebrauch gemacht werden. Die Hitzeansammlungsschicht 3 und die hitzeerzeugende Widerstandsschicht 4 kann mittels bekannter Verfahren gebildet werden. Was die Hitzeansammlungsschicht 3 betrifft, so kann diese auf dem Trägerelement 1 gebildet werden, bevor die Glasurschicht 2 auf dem Trägerelement 1 gebildet wird. Das heißt, die Hitzeansammlungsschicht 3 kann zwischen dem Trägerelement 1 und der Glasurschicht 2 ausgestaltet werden.
- Um die Glasurschicht gemäß vorliegender Erfindung zu bilden, kann konventionelles Material für Schmelzglas- oder Glasurschichten verwendet werden.
- Eine solche Glasurschicht weist eine Durchschnittszusammensetzung wie folgt auf.
- SiO&sub2; 50 - 68 Gew.-%
- BaO 5 - 18 Gew.-%
- Al&sub2;O&sub3; 5 - 13 Gew.-%
- Andere Rest
- Folgendes kann zur Bildung der Glasurschicht verwendet werden.
- GS-2, GS-3, GS-5 (Kyocera Corporation)
- GS-8, G-21, XG-903 (Nippon Tokushu Togyo Corporation)
- HKG-1052 (Hitachi Chemical Corporation)
- Ein wesentliches Teilstück des erfindungsgemäßen Tintenstrahl- Aufzeichnungskopfes ist von einer solchen Struktur, wie sie zum Beispiel in der Figur 4 gezeigt ist. Der in Figur 4 gezeigte Aufzeichnungskopf ist ausgestaltet mit Auslaßöffnungen 6, die zum Entladen von Flüssigkeit dienen und die Flüssigkeit dazu veranlassen, als Flüssigkeitströpfchen zu fliegen, Flüssigkeitsbahnen 7, die mit den Auslaßöffnungen in Verbindung stehen, hitzeerzeugenden Teilstücken 4a, welche Teilstücke sind, die in den Flüssigkeitsbahnen ausgestaltet sind, und welche Energie erzeugen, die zum Entladen der Flüssigkeit verfügbar ist und die Flüssigkeit zu Flüssigkeitströpfchen werden lassen, einer Flüssigkeitskammer 8, die mit den Flüssigkeitsbahnen 7 in Verbindung steht, sowie Versorgungsöffnungen 9 zum Zuführen der Flüssigkeit zu der Flüssigkeitskammer 8.
- In dem in Figur 4 gezeigten Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf sind die Richtung, in der die Tinte von den Auslaßöffnungen entladen wird, und die Richtung, in der die Tinte von der Tintenkammer zu den Flüssigkeitsbahnen zugeführt wird, im wesentlichen parallel zueinander, worauf die vorliegende Erfindung jedoch nicht eingeschränkt ist. Die vorliegende Erfindung kann zum Beispiel ein Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf von der Art sein, in dem die besagten zwei Richtungen im wesentlichen senkrecht zueinander sind.
- Figur 5 ist eine schematische perspektivische Ansicht einer Tintenstrahl-Aufzeichnungsvorrichtung, die den zuvor beschriebenen, erfindungsgemäßen Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf trägt. In der Figur 5 bezeichnet die Bezugszahl 1000 den Körper der Vorrichtung, die Bezugszahl 1100 bezeichnet einen Hauptschalter, und die Bezugszahl 1200 bezeichnet eine Bedienungsplatte.
- Der Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf nach einer erfindungsgemäßen Ausführungsform, dessen charakteristisches Teilstück in den Figuren 1 und 2 gezeigt ist und dessen wesentliches Teilstück in Figur 4 gezeigt ist, wurde auf folgende Weise hergestellt.
- Eine Schicht aus Glaspaste (GS-5, Kyocera Corporation), die mit einer Vielzahl von Aperturen in Form von Fenstern gebildet war, wurde auf einem Trägerelement 1 aus Al&sub2;O&sub3; (ein glattes Aluminiumoxid-Substrat A-491, Kyocera Corporation, mit 35 x 37 x Dicke von 0,635) mittels Siebdruckmethode gebildet, und dann, nach dem Trocknen, wurde eine Glasurschicht 2 (Dicke: 45 um) durch Kalzinieren bei 1200ºC gebildet. Eine Hitzeansammlungsschicht 3 (Dicke: 2,75 um) aus SiO&sub2; und eine hitzeerzeugende Widerstandsschicht 4 (Dicke: 1500 Å) aus HfB&sub2; wurden auf der Glasurschicht 2 durch die Verwendung der RF- Zerstäubungsmethode aufgebracht. Anschließend wurde eine Schicht Al-Elektrodenmaterials (Dicke: 6000 Å) durch die Elektronenstrahl-Abscheidungsmethode gebildet (ein erster Schritt).
- Elektroden 5 von vorbestimmtem Muster wurden durch die Photolithographietechnik gebildet, wonach ein Tintenschutzfilm (nicht gezeigt) aus SiO&sub2; durch die RF-Zerstäubungsmethode gebildet wurde, und ein Substrat 10 für einen Tintenstrahl- Aufzeichnungskopf gemäß vorliegender Ausführungsform wurde gebildet.
- Ein Wandelement 11 wurde dann auf diesem Substrat durch die Verwendung von Photoresist ausgestaltet, und ein Deckelement 12 wurde darauf durch die Verwendung von Photoresist ausgestaltet, wodurch Flüssigkeitsbahnen 7 und eine Tintenbahn mit einer Flüssigkeitskammer 8 hergestellt wurden. Schließlich wurden die Endteilstücke des Substrats 10, das Wandelement 11 und das Deckelement 12 entlang einer diese Bestandteile enthaltenden Ebene geschnitten, um Tintenauslaßöffnungen 6 zu bilden, welche die Öffnungsteilstücke der Flüssigkeitsbahnen 7 im Querschnitt sind, wodurch ein in Figur 4 gezeigter Tintenstrahl- Aufzeichnungskopf fertiggestellt wurde (ein zweiter Schritt).
- Ein Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf wurde in derselben Art wie in dem Beispiel hergestellt, außer daß das Trägerelement ein Glas-Trägerelement, ein Aluminiumoxid-Trägerelement mit einer auf deren ganzen Oberfläche gebildeten Glasurschicht, oder ein Aluminiumoxid-Trägerelement war.
- Die Substrate für die Tintenstrahl-Aufzeichnungsköpfe im Verlauf der Herstellung der Tintenstrahl-Aufzeichnungsköpfe des Beispiels und jedes Vergleichsbeispiels (nach deren Fertigstellung nach dem ersten Schritt) wurden getrennt von dem Kopf hergestellt, und sie wurden bei jeder Betriebsfrequenz betrieben, und danach wurden die Oberflächentemperaturen der hitzeerzeugenden Teilstücke bestimmt im Gleichgewichtszustand zwischen Hitzeansammlung und Hitzeabführung, als der Betriebsimpuls nicht angelegt war, und die wesentlichen Hitzestrahlungseigenschaften der fertiggestellten Tintenstrahl- Aufzeichnungsköpfe wurden untersucht.
- Das Ergebnis ist in Figur 6 gezeigt. Die Betriebsbedingungen waren wie folgt:
- Größe des hitzeerzeugenden Teilstücks: 20 x 100 um
- Betriebsspannung: 1,2 V
- Pulsabstand: 10 us.
- Wie in Figur 6 gezeigt, war das Hitzestrahlungsvermögen des Substrates für eine Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf gemäß vorliegender Erfindung (1) im Vergleich zu einem Substrat für einen Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf gemäß Vergleichsbeispiel (2), bei dem ein Glas-Trägerelement oder ein Aluminiumoxid- Trägerelement mit einer auf deren ganzen Oberfläche gebildeten Glasurschicht verwendet wurde, stark verbessert und ein notwendiges ausreichendes Hitzestrahlungsvermögen konnte für den im allgemeinen am gebräuchlichsten Frenquenzbereich in der Größenordnung von 0 bis 7 oder 8 KHz sichergestellt werden.
- Was die Anzahl von Oberflächendefekten angeht, wurde eine Schätzung durchgeführt mittels Untersuchung der Rate der Herstellung defekter Erzeugnisse nach der Bildung der hitzeerzeugenden Widerstandsschicht. Einhundert Substrate, von denen jedes siebenundachtzig hitzeerzeugende Teilstücke aufwiesen, wurden für jedes Beispiel bzw. Vergleichsbeispiel hergestellt, und die Substrate mit einer Drahtunterbrechung oder einer schwachen Verbindung wurden als ungeeignete Erzeugnisse gewertet.
- Bezüglich des Substrates für den Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf des Vergleichsbeispiels unter Verwendung eines Aluminiumoxid- Trägerelementes betrug die Rate der Herstellung abweichender Erzeugnisse etwa 80%, während sie bezüglich des Substrates für einen Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf gemäß vorliegender Ausfürhungsform stark herabgesetzt war, nämlich auf etwa 0,4%.
- Wie oben im Detail beschrieben, können gemäß vorliegender Erfindung ein Substrat für ein Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf, ein Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf sowie eine mit einem solchen Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf versehene Tintenstrahl- Aufzeichnungsvorrichtung zur Verfügung gestellt werden, welche der Ausdehnung und Voluminosität des Aufzeichnungskopfes gewachsen sind, während sie ein ausreichendes Wärmestrahlungsvermögen sicherstellen, welches zur Aufrechterhaltung der Druckqualität erforderlich ist. Darüberhinaus können erfindungsgemäß ein Substrat für einen Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf, ein Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf sowie eine mit einem solchen Tintenstrahl- Aufzeichnungskopf versehene Tintenstrahl-Aufzeichnungsvorrichtung zur Verfügung gestellt werden, bei welchen das Auftreten von Defekten während der Bildung der Elektroden und der hitzeerzeugenden Widerstandsschicht minimiert werden kann, Keramiken oder dergleichen für das Trägerelement verwendet werden können, und zusätzlich die Ausbeute auf ein sehr hohes Niveau gebracht werden kann. Weiterhin können erfindungsgemäß ein Substrat für einen Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf, ein Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf sowie eine mit einem solchen Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf versehene Tintenstrahl- Aufzeichnungsvorrichtung zur Verfügung gestellt werden, in welchen eine Spiegeloberfläche gebildet ist durch eine Glasurschicht, und deshalb ist es einfach, eine Orientierungsmarkierung während der Musterbildung zu erkennen, und die Genauigkeit der Orientierung ist gut.
Claims (21)
1. Substrat für einen Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf,
umfassend ein Trägerelement (1), einen elektrothermischen
Konverter auf dem Trägerelement (1) mit einer hitzeerzeugenden
Widerstandsschicht (4) und einem mit der hitzeerzeugenden
Widerstandsschicht (4) verbundenen Elektrodenpaar (5), und eine
Glasurschicht (2), die zwischen dem Trägerelement (1) und dem
elektrothermischen Konverter außer in einem hitzeerzeugenden
Teilstück, welches zwischen dem Elektrodenpaar (5) definiert
ist, ausgestaltet ist.
2. Substrat für einen Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf,
umfassend ein Trägerelement (1), eine Vielzahl an
elektrothermischen Konvertern auf dem Trägerelement (1), von
denen jeder durch eine hitzeerzeugende Widerstandsschicht (4)
und ein jeweiliges, mit der hitzeerzeugenden Widerstandsschicht
(4) verbundenes Elektrodenpaar (5) definiert ist, und eine
Glasurschicht (2), die zwischen dem Trägerelement (1) und dem
elektrothermischen Konverter außer in den hitzeerzeugenden
Teilstücken zwischen jeweiligen Elektrodenpaaren und außer in
gürtelartigen, zwischen jedem Paar von hitzeerzeugenden
Teilstücken definierten Bereichen (Y) ausgestaltet ist.
3. Substrat nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch
gekennzeichnet, daß das Trägerelement (1) aus keramischem
Material gebildet ist.
4. Substrat nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß das
keramische Material mindestens eines der - aus Al&sub2;O&sub3;, SiC oder
AlN ausgewählten Materialien enthält.
5. Substrat nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, daß eine Hitzeansammlungsschicht (3) zwischen
der Glasurschicht (2) und dem elektrothermischen Konverter (4,
5) ausgestaltet ist.
6. Substrat nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die
Hitzeansammlungsschicht (3) durch ein anorganisches Oxid
gebildet ist.
7. Substrat nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß das
anorganische Oxid SiO&sub2; enthält.
8. Substrat nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, daß eine Hitzeansammlungsschicht zwischen der
Glasurschicht (2) und dem Trägerelement (1) ausgestaltet ist.
9. Substrat nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die
Hitzeansammlungsschicht ein anorganisches Oxid enthält.
10. Substrat nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß das
anorganische Oxid SiO&sub2; enthält.
11. Substrat nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, daß eine Schutzschicht auf dem
elektrothermischen Konverter ausgebildet ist.
12. Substrat nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die
Schutzschicht aus SiO&sub2; gebildet ist.
13. Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf, umfassend:
ein Substrat nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
ein Element (11, 12), welches mit einer Aussparung (6, 8)
versehen ist und mit einem innerhalb der Aussparung (6, 8)
definierten Tintenraum verbunden ist, wobei der Tintenraum mit
einer Auslaßöffnung (6) zum Entladen von Tinte in Verbindung
steht.
14. Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf nach Anspruch 13, dadurch
gekennzeichnet, daß der Tintenraum einen Bereich, der eine
Flüssigkeitskammer (8) definiert, und eine Vielzahl von
Bereichen (7), die Flüssigkeitsbahnen von der Kammer (8) zu den
Auslaßöffnungen (6) definieren, umfaßt.
15. Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf nach einem der Ansprüche 13
oder 14, dadurch gekennzeichnet, daß das Element mit einer
Aussparung als ein Einheitselement gebildet ist.
16. Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf nach einem der Ansprüche 13
oder 14, dadurch gekennzeichnet, daß das Element mit einer
Aussparung ein Wandelement (11), welches eine Wand für die
Flüssigkeitsbahn (7, 8) bildet, und ein Deckelement (12) zum
Abdecken des Wandelements (11) aufweist.
17. Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf nach Anspruch 16, dadurch
gekennzeichnet, daß das Element (11) mit einer Aussparung aus
einem photoempfindlichen Material gebildet ist.
18. Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf nach Anspruch 17, dadurch
gekennzeichnet, daß das photoempfindliche Material
photoempfindliches Harz enthält.
19. Tintenstrahl-Aufzeichnungsvorrichtung mit einem
Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf nach einem der Ansprüche 13 bis 16.
20. Tintenstrahl-Aufzeichnungsvorrichtung nach Anspruch 19,
dadurch gekennzeichnet, daß sie zusätzlich einen Schalter
(1100) zum Einstellen einer elektrischen Stromquelle umfaßt.
21. Tintenstrahl-Aufzeichnungsvorrichtung nach Anspruch 19,
dadurch gekennzeichnet, daß sie zusätzlich eine
Bedienungsplatte (1200) umfaßt.
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