JP3344153B2 - インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法 - Google Patents
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Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、インクジェット記録ヘ
ッド、およびその製造方法に関するものである。
ッド、およびその製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】インクジェット記録ヘッドでは、インク
タンクに収容されているインクをノズルに導き、ノズル
に配設されている発熱体を発熱させて気泡を発生させ、
発生した気泡の圧力によってノズルからインクを飛翔さ
せ、記録を行なう。インクタンクからノズルに至るイン
クの流路は、複数の部品によって構成されており、通
常、これらの部品の接合部からインクが漏れ出さないよ
うに、液的に密閉された流路を形成している。
タンクに収容されているインクをノズルに導き、ノズル
に配設されている発熱体を発熱させて気泡を発生させ、
発生した気泡の圧力によってノズルからインクを飛翔さ
せ、記録を行なう。インクタンクからノズルに至るイン
クの流路は、複数の部品によって構成されており、通
常、これらの部品の接合部からインクが漏れ出さないよ
うに、液的に密閉された流路を形成している。
【０００３】図９は、従来のインクジェット記録ヘッド
の一例における噴射素子およびマニホールド近傍の斜視
図、図１０は、同じくＡ断面図である。図中、１は接着
剤、２はヒートシンク、３は噴射素子、４はノズル、５
はマニホールド、６はインク液室、７はエネルギー発熱
体、８は配線基板、９はボンディングワイヤ、１０は封
止剤である。
の一例における噴射素子およびマニホールド近傍の斜視
図、図１０は、同じくＡ断面図である。図中、１は接着
剤、２はヒートシンク、３は噴射素子、４はノズル、５
はマニホールド、６はインク液室、７はエネルギー発熱
体、８は配線基板、９はボンディングワイヤ、１０は封
止剤である。
【０００４】噴射素子３には、複数のノズル４が形成さ
れており、外部に開口している。複数のノズル４は、内
部でインク液室６と連通している。複数のノズル４の途
中には、それぞれエネルギー発熱体７が設けられてい
る。このエネルギー発熱体７の発熱によってノズル４内
に気泡が発生し、発生した気泡の圧力によってインク液
滴をノズル４の開口から吐出して、記録を行なう。
れており、外部に開口している。複数のノズル４は、内
部でインク液室６と連通している。複数のノズル４の途
中には、それぞれエネルギー発熱体７が設けられてい
る。このエネルギー発熱体７の発熱によってノズル４内
に気泡が発生し、発生した気泡の圧力によってインク液
滴をノズル４の開口から吐出して、記録を行なう。
【０００５】ヒートシンク２には、噴射素子３が配設さ
れており、エネルギー発熱体７において発生する熱を逃
がす。また、ヒートシンク２には配線基板８も配設され
ており、記録装置本体から供給される電力や信号をボン
ディングワイヤ９を介して噴射素子３に伝えるととも
に、噴射素子３に設けられている各種のセンサの信号等
を記録装置本体へ伝える。
れており、エネルギー発熱体７において発生する熱を逃
がす。また、ヒートシンク２には配線基板８も配設され
ており、記録装置本体から供給される電力や信号をボン
ディングワイヤ９を介して噴射素子３に伝えるととも
に、噴射素子３に設けられている各種のセンサの信号等
を記録装置本体へ伝える。
【０００６】マニホールド５は、図示しないインクタン
クから供給されるインクを噴射素子３へ供給するための
連通路を有している。マニホールド５は、その連通路の
開口が、噴射素子３のインク液室６の開口と連通するよ
うに、噴射素子３と結合される。
クから供給されるインクを噴射素子３へ供給するための
連通路を有している。マニホールド５は、その連通路の
開口が、噴射素子３のインク液室６の開口と連通するよ
うに、噴射素子３と結合される。
【０００７】このインクジェット記録ヘッドを製造する
際には、まず、複数のノズル４と、ノズル４に連通する
インク液室６とを形成した第１の基板と、ノズル４に対
応してインク液滴を吐出させるためのエネルギー発熱体
７を形成した第２の基板を作成して接着し、噴射素子３
を作成する。この２枚の基板の接着には、例えば、特開
平６−３４４５５５号公報に記載されているような低分
子量のエポキシ樹脂系接着剤などを用いることができ
る。
際には、まず、複数のノズル４と、ノズル４に連通する
インク液室６とを形成した第１の基板と、ノズル４に対
応してインク液滴を吐出させるためのエネルギー発熱体
７を形成した第２の基板を作成して接着し、噴射素子３
を作成する。この２枚の基板の接着には、例えば、特開
平６−３４４５５５号公報に記載されているような低分
子量のエポキシ樹脂系接着剤などを用いることができ
る。
【０００８】そして、配線基板８を配設したベース部材
であるヒートシンク２の一端側に噴射素子３を固定し、
噴射素子３と配線基板８とをボンディングワイヤ９によ
って電気的に結合する。また、噴射素子３のヒートシン
ク５との接着面と、その接着面に対応するヒートシンク
５に接着剤１を塗布し、インク漏れがないように接着、
結合する。この部分に水密シールを施すことは、特開平
６−８４１９号公報等に記載されており、接着剤を用い
る旨の記載が特開平５−１４７２２６号公報等にある。
また、特開平６−２１０８５５号公報には、シリコンゴ
ムをシーラントとして使用する旨の記載がある。これら
の文献は、インク流路の密閉性を向上し、インク漏れを
防止するという観点から、流路部材の結合に接着剤等を
用いている。
であるヒートシンク２の一端側に噴射素子３を固定し、
噴射素子３と配線基板８とをボンディングワイヤ９によ
って電気的に結合する。また、噴射素子３のヒートシン
ク５との接着面と、その接着面に対応するヒートシンク
５に接着剤１を塗布し、インク漏れがないように接着、
結合する。この部分に水密シールを施すことは、特開平
６−８４１９号公報等に記載されており、接着剤を用い
る旨の記載が特開平５−１４７２２６号公報等にある。
また、特開平６−２１０８５５号公報には、シリコンゴ
ムをシーラントとして使用する旨の記載がある。これら
の文献は、インク流路の密閉性を向上し、インク漏れを
防止するという観点から、流路部材の結合に接着剤等を
用いている。
【０００９】この接着剤１は、塗布時の厚さに誤差が生
じるため、薄く塗布すると塗布むらなどが発生しやす
い。塗布が不十分な部分では、インク漏れにつながり、
塗布量が多すぎる部分ではインク流路内にはみ出して流
路を狭める結果となる。そのために、接着剤１はある程
度の厚さを有するように塗布し、誤差が生じた場合の影
響を軽減している。
じるため、薄く塗布すると塗布むらなどが発生しやす
い。塗布が不十分な部分では、インク漏れにつながり、
塗布量が多すぎる部分ではインク流路内にはみ出して流
路を狭める結果となる。そのために、接着剤１はある程
度の厚さを有するように塗布し、誤差が生じた場合の影
響を軽減している。
【００１０】さらに、ボンディングワイヤ９の保護と、
噴射素子３とマニホールド５の接着補強のために、噴射
素子３のノズル４の開口を有する面の反対面と、マニホ
ールド５とヒートシンク２で囲まれる空間に、封止剤１
０を注入する。この封止剤１０としては、例えば、特開
平５−２９３９６４号公報にも述べられているように、
室温硬化型のシリコン樹脂を用いることが公知として知
られている。この室温硬化型のシリコン樹脂は、インク
密閉性に優れており、ゴム状態で硬化するため熱衝撃に
よる部材の破損を防止するという特徴がある。
噴射素子３とマニホールド５の接着補強のために、噴射
素子３のノズル４の開口を有する面の反対面と、マニホ
ールド５とヒートシンク２で囲まれる空間に、封止剤１
０を注入する。この封止剤１０としては、例えば、特開
平５−２９３９６４号公報にも述べられているように、
室温硬化型のシリコン樹脂を用いることが公知として知
られている。この室温硬化型のシリコン樹脂は、インク
密閉性に優れており、ゴム状態で硬化するため熱衝撃に
よる部材の破損を防止するという特徴がある。
【００１１】このようにして作成されたインクジェット
記録ヘッドには、図示しないインクタンクからインクが
供給される。インクタンクから供給されたインクは、マ
ニホールド５の連通路を通り、噴射素子３のインク液室
６に供給され、各ノズル４へと供給される。各ノズル４
はその開口で大気に解放されているので、そのままでは
インクがノズル４の開口から漏れ出す。そのため、イン
ク流路内部は、インクタンク内のインク含浸部材や負圧
発生機構によって、常時−３０ｍｍＨ2 Ｏ〜−１３０ｍ
ｍＨ2 Ｏの負圧状態に保たれている。
記録ヘッドには、図示しないインクタンクからインクが
供給される。インクタンクから供給されたインクは、マ
ニホールド５の連通路を通り、噴射素子３のインク液室
６に供給され、各ノズル４へと供給される。各ノズル４
はその開口で大気に解放されているので、そのままでは
インクがノズル４の開口から漏れ出す。そのため、イン
ク流路内部は、インクタンク内のインク含浸部材や負圧
発生機構によって、常時−３０ｍｍＨ2 Ｏ〜−１３０ｍ
ｍＨ2 Ｏの負圧状態に保たれている。
【００１２】上述のようにして製作したインクジェット
記録ヘッドは、インクを充填して数日放置すると、マニ
ホールド５内に気泡が発生、成長し、この気泡が流路を
閉塞してインク供給を阻害することによる印字不良が頻
発していた。
記録ヘッドは、インクを充填して数日放置すると、マニ
ホールド５内に気泡が発生、成長し、この気泡が流路を
閉塞してインク供給を阻害することによる印字不良が頻
発していた。
【００１３】図１１は、従来のインクジェット記録ヘッ
ドにおける問題点の説明図である。１１は気泡である。
図１１に示す構成は、図１０と同様である。マニホール
ド５と噴射素子３とを接合した接着剤１は、それのみで
インク流路の一部を形成している。すなわち、インク流
路のうち図１１に破線で示す断面を有するインク流路の
部分では、周囲がすべて接着剤１であり、接着剤１によ
るインク流路が形成されているとみなすことができる。
上述のように接着剤１はある程度の厚さに塗布される。
そのため、接着剤１によって構成されるインク流路も無
視できない流路長を有することになる。
ドにおける問題点の説明図である。１１は気泡である。
図１１に示す構成は、図１０と同様である。マニホール
ド５と噴射素子３とを接合した接着剤１は、それのみで
インク流路の一部を形成している。すなわち、インク流
路のうち図１１に破線で示す断面を有するインク流路の
部分では、周囲がすべて接着剤１であり、接着剤１によ
るインク流路が形成されているとみなすことができる。
上述のように接着剤１はある程度の厚さに塗布される。
そのため、接着剤１によって構成されるインク流路も無
視できない流路長を有することになる。
【００１４】マニホールド５内で発生、成長する気泡の
原因を詳細に検討した結果、インク流路内が常に負圧に
保たれているインクジェット記録ヘッドにおいては、図
１１のように、噴射素子３とマニホールド５の接合に用
いられている接着剤１を介しての空気の透過が原因であ
ることが分かった。この空気の透過によって、インク流
路内には気泡１１が発生し、この気泡１１によってイン
ク流路が狭められ、あるいは閉塞して、インク供給が阻
害され、印字不良が頻発していた。
原因を詳細に検討した結果、インク流路内が常に負圧に
保たれているインクジェット記録ヘッドにおいては、図
１１のように、噴射素子３とマニホールド５の接合に用
いられている接着剤１を介しての空気の透過が原因であ
ることが分かった。この空気の透過によって、インク流
路内には気泡１１が発生し、この気泡１１によってイン
ク流路が狭められ、あるいは閉塞して、インク供給が阻
害され、印字不良が頻発していた。
【００１５】気体透過のメカニズムについて詳しく説明
する。図１２は、気体が透過する系の模式図である。接
着剤１に隔てられた気体ａと気体ｂの系において、気体
ａの方が気体ｂよりも圧力が高くなっており、気体ａと
気体ｂの間には圧力差がある。即ち、「気体−接着剤−
気体」の系で、なおかつ圧力差がある系であれば、圧力
差が充分微小であっても、また、負圧側の気体が充分微
量であっても気体の透過が起こることが知られている。
ちなみに「気体−接着剤−液体」の系では、液体が気体
より圧力が低くても気体透過は起こらない。
する。図１２は、気体が透過する系の模式図である。接
着剤１に隔てられた気体ａと気体ｂの系において、気体
ａの方が気体ｂよりも圧力が高くなっており、気体ａと
気体ｂの間には圧力差がある。即ち、「気体−接着剤−
気体」の系で、なおかつ圧力差がある系であれば、圧力
差が充分微小であっても、また、負圧側の気体が充分微
量であっても気体の透過が起こることが知られている。
ちなみに「気体−接着剤−液体」の系では、液体が気体
より圧力が低くても気体透過は起こらない。
【００１６】つまり、インク流路が大気圧よりも常時負
圧に設定されているインクジェット記録ヘッドの系にお
いては、マニホールド内の気泡が接着剤に接触し、「気
体−接着剤−気体」の系が形成されると、気体の透過が
発生してインク流路内に気体が侵入することになる。ま
た、この気体の透過は、気泡が接着剤の接触する面積が
大きいほど、透過する気体の量も多くなる。接着剤の層
の厚さを薄くすれば気泡と接着剤の接触面積を減らせる
ので、透過する気体の量を減らせるが、上述のように、
接着剤の塗布むらによる影響を軽減するため、ある程度
の厚さが必要である。
圧に設定されているインクジェット記録ヘッドの系にお
いては、マニホールド内の気泡が接着剤に接触し、「気
体−接着剤−気体」の系が形成されると、気体の透過が
発生してインク流路内に気体が侵入することになる。ま
た、この気体の透過は、気泡が接着剤の接触する面積が
大きいほど、透過する気体の量も多くなる。接着剤の層
の厚さを薄くすれば気泡と接着剤の接触面積を減らせる
ので、透過する気体の量を減らせるが、上述のように、
接着剤の塗布むらによる影響を軽減するため、ある程度
の厚さが必要である。
【００１７】逆に、気体透過率が同等であっても、気泡
が付着しにくい接着剤の方が、「気体−接着剤−気体」
の系が形成されにくく、気体透過量は少ないといえる。
特開平６−１３４９８７号公報においては、記録ヘッド
のインク流路内のインクに対するヌレ性を向上させるこ
とにより、前記流路内壁に気泡が付着しなくなるという
ことが開示されている。しかし、この技術を接着剤の端
面に適用するためには、部品の組み付け後にヌレ性を向
上させるための処理を施す必要があるが、この処理は非
常に困難である。
が付着しにくい接着剤の方が、「気体−接着剤−気体」
の系が形成されにくく、気体透過量は少ないといえる。
特開平６−１３４９８７号公報においては、記録ヘッド
のインク流路内のインクに対するヌレ性を向上させるこ
とにより、前記流路内壁に気泡が付着しなくなるという
ことが開示されている。しかし、この技術を接着剤の端
面に適用するためには、部品の組み付け後にヌレ性を向
上させるための処理を施す必要があるが、この処理は非
常に困難である。
【００１８】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、長期間放置
してもインク流路内に気泡が発生することなく、常に良
好な印字画質が得られるインクジェット記録ヘッドを提
供することを目的とするものである。
してもインク流路内に気泡が発生することなく、常に良
好な印字画質が得られるインクジェット記録ヘッドを提
供することを目的とするものである。
【００１９】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、複数のノズルと該ノズルからインク液滴を吐出させ
るためのエネルギー発熱体と前記ノズルに連通するイン
ク液室を有する噴射素子部材と、該噴射素子部材にイン
クを供給するためのマニホールドとが、接着剤によって
結合されているとともに、前記マニホールドから前記ノ
ズルに至るインクの流路の内圧が大気圧よりも負圧に保
持され、かつ、該接着剤がインクの流路の一部を構成す
るインクジェット記録ヘッドにおいて、前記接着剤の前
記インクに対するヌレ性が前記マニホールドの前記イン
クに対するヌレ性と同等以上であることを特徴とするも
のである。
は、複数のノズルと該ノズルからインク液滴を吐出させ
るためのエネルギー発熱体と前記ノズルに連通するイン
ク液室を有する噴射素子部材と、該噴射素子部材にイン
クを供給するためのマニホールドとが、接着剤によって
結合されているとともに、前記マニホールドから前記ノ
ズルに至るインクの流路の内圧が大気圧よりも負圧に保
持され、かつ、該接着剤がインクの流路の一部を構成す
るインクジェット記録ヘッドにおいて、前記接着剤の前
記インクに対するヌレ性が前記マニホールドの前記イン
クに対するヌレ性と同等以上であることを特徴とするも
のである。
【００２０】請求項２に記載の発明は、複数のノズルと
該ノズルからインク液滴を吐出させるためのエネルギー
発熱体と前記ノズルに連通するインク液室を有する噴射
素子部材と、該噴射素子部材にインクを供給するための
マニホールドとが、接着剤によって結合されているとと
もに、前記マニホールドから前記ノズルに至るインクの
流路の内圧が大気圧よりも負圧に保持され、かつ、該接
着剤がインクの流路の一部を構成するインクジェット記
録ヘッドの製造方法において、前記接着剤として、その
インクに対するヌレ性が前記マニホールドの前記インク
に対するヌレ性と同等以上である接着剤を用いることを
特徴とするものである。
該ノズルからインク液滴を吐出させるためのエネルギー
発熱体と前記ノズルに連通するインク液室を有する噴射
素子部材と、該噴射素子部材にインクを供給するための
マニホールドとが、接着剤によって結合されているとと
もに、前記マニホールドから前記ノズルに至るインクの
流路の内圧が大気圧よりも負圧に保持され、かつ、該接
着剤がインクの流路の一部を構成するインクジェット記
録ヘッドの製造方法において、前記接着剤として、その
インクに対するヌレ性が前記マニホールドの前記インク
に対するヌレ性と同等以上である接着剤を用いることを
特徴とするものである。
【００２１】
【００２２】
【００２３】
【００２４】
【００２５】
【００２６】
【００２７】
【００２８】
【００２９】
【００３０】
【作用】請求項１または請求項２に記載の発明によれ
ば、インクの流路を構成する接着剤として、接着剤のイ
ンクに対するヌレ性が、マニホールドのインクに対する
ヌレ性と同等以上となるような接着剤を用いているの
で、接着剤に気泡が付着することを低減することができ
る。これにより、気体のインクの流路内への侵入を低減
することができ、インクジェット記録ヘッドを長期間放
置しても、インク流路内における気泡の発生が減少し、
良好な印字画質を得ることができる。
ば、インクの流路を構成する接着剤として、接着剤のイ
ンクに対するヌレ性が、マニホールドのインクに対する
ヌレ性と同等以上となるような接着剤を用いているの
で、接着剤に気泡が付着することを低減することができ
る。これにより、気体のインクの流路内への侵入を低減
することができ、インクジェット記録ヘッドを長期間放
置しても、インク流路内における気泡の発生が減少し、
良好な印字画質を得ることができる。
【００３１】
【実施例】図１は、本発明のインクジェット記録ヘッド
の第１の実施例を示す噴射素子およびマニホールド近傍
の斜視図、図２は、同じくＡ断面図である。図中、図９
と同様の部分には同じ符号を付して説明を省略する。２
１は接着剤である。図９、図１０に示した構成と同様
に、噴射素子３は、インクを噴射する複数のノズル４
と、図示しないインク液滴を吐出させるためのエネルギ
ー発熱体と、ノズル４に連通するインク液室とを有して
いる。ノズル４は、例えば、３６０ＤＰＩのドットピッ
チで１２８本設ける構成とすることができる。各ノズル
を駆動する駆動周波数は、４．０ｋＨｚ程度とすること
ができる。もちろん、これらの数値に限定されることな
く、ドットピッチの粗密、ノズル本数の増減、駆動周波
数の高低が可能である。エネルギー発熱体としては、電
気熱変換体を用いることができ、インクを吐出させるエ
ネルギーとして電気を使用している。
の第１の実施例を示す噴射素子およびマニホールド近傍
の斜視図、図２は、同じくＡ断面図である。図中、図９
と同様の部分には同じ符号を付して説明を省略する。２
１は接着剤である。図９、図１０に示した構成と同様
に、噴射素子３は、インクを噴射する複数のノズル４
と、図示しないインク液滴を吐出させるためのエネルギ
ー発熱体と、ノズル４に連通するインク液室とを有して
いる。ノズル４は、例えば、３６０ＤＰＩのドットピッ
チで１２８本設ける構成とすることができる。各ノズル
を駆動する駆動周波数は、４．０ｋＨｚ程度とすること
ができる。もちろん、これらの数値に限定されることな
く、ドットピッチの粗密、ノズル本数の増減、駆動周波
数の高低が可能である。エネルギー発熱体としては、電
気熱変換体を用いることができ、インクを吐出させるエ
ネルギーとして電気を使用している。
【００３２】この実施例では、噴射素子３にインクを供
給するための前室であるマニホールド５を、接着剤２１
によって噴射素子３と結合している。インクは、図示し
ないインクタンクから連通路を通ってマニホールド５を
経て噴射素子３に供給される。この実施例で用いる接着
剤２１としては、気体透過率が２×１０-6ｃｍ3 ・ｃｍ
／ｃｍ2 ・ｓｅｃ・ａｔｍより小さいものが用いられ
る。望ましくは、気体透過率が２×１０-7ｃｍ3 ・ｃｍ
／ｃｍ2 ・ｓｅｃ・ａｔｍ以下のものを用いるとよい。
給するための前室であるマニホールド５を、接着剤２１
によって噴射素子３と結合している。インクは、図示し
ないインクタンクから連通路を通ってマニホールド５を
経て噴射素子３に供給される。この実施例で用いる接着
剤２１としては、気体透過率が２×１０-6ｃｍ3 ・ｃｍ
／ｃｍ2 ・ｓｅｃ・ａｔｍより小さいものが用いられ
る。望ましくは、気体透過率が２×１０-7ｃｍ3 ・ｃｍ
／ｃｍ2 ・ｓｅｃ・ａｔｍ以下のものを用いるとよい。
【００３３】インクジェット記録ヘッドに対する接着剤
２１の気体透過率の影響について説明する。図３は、接
着剤の気体透過率と印字不良が発生したヘッド数との関
係の説明図である。ここでは、接着剤の気体透過率と印
字不良の相関を調べるために、次のような４つの気体透
過率を有する接着剤を図１の接着剤２１として用いた。
２×１０-5ｃｍ3 ・ｃｍ／ｃｍ2 ・ｓｅｃ・ａｔｍ ２×１０-6ｃｍ3 ・ｃｍ／ｃｍ2 ・ｓｅｃ・ａｔｍ ２×１０-7ｃｍ3 ・ｃｍ／ｃｍ2 ・ｓｅｃ・ａｔｍ ２×１０-8ｃｍ3 ・ｃｍ／ｃｍ2 ・ｓｅｃ・ａｔｍ それぞれの接着剤を用いたインクジェット記録ヘッドを
従来と同様の製造方法で１０個づつ作製した。ヘッドに
インクを充填し、１週間、１か月放置した後、印字評価
を行なった結果を図３に示している。
２１の気体透過率の影響について説明する。図３は、接
着剤の気体透過率と印字不良が発生したヘッド数との関
係の説明図である。ここでは、接着剤の気体透過率と印
字不良の相関を調べるために、次のような４つの気体透
過率を有する接着剤を図１の接着剤２１として用いた。
２×１０-5ｃｍ3 ・ｃｍ／ｃｍ2 ・ｓｅｃ・ａｔｍ ２×１０-6ｃｍ3 ・ｃｍ／ｃｍ2 ・ｓｅｃ・ａｔｍ ２×１０-7ｃｍ3 ・ｃｍ／ｃｍ2 ・ｓｅｃ・ａｔｍ ２×１０-8ｃｍ3 ・ｃｍ／ｃｍ2 ・ｓｅｃ・ａｔｍ それぞれの接着剤を用いたインクジェット記録ヘッドを
従来と同様の製造方法で１０個づつ作製した。ヘッドに
インクを充填し、１週間、１か月放置した後、印字評価
を行なった結果を図３に示している。
【００３４】図３からわかるように、接着剤の気体透過
率が２×１０-6ｃｍ3 ・ｃｍ／ｃｍ2 ・ｓｅｃ・ａｔｍ
より小さければ印字不良の発生が少なくなることがわか
る。特に、気体透過率が２×１０-7ｃｍ3 ・ｃｍ／ｃｍ
2 ・ｓｅｃ・ａｔｍ以下では、１か月放置後でも印字不
良は発生していない。このように、接着剤の気体透過率
が２×１０-6ｃｍ3 ・ｃｍ／ｃｍ2 ・ｓｅｃ・ａｔｍよ
り小さく、望ましくは２×１０-7ｃｍ3 ・ｃｍ／ｃｍ2
・ｓｅｃ・ａｔｍ以下であれば、インクの流路内への気
体の侵入を低減でき、気泡による印字不良の発生を抑え
ることができることが分かる。ちなみに、従来使用して
いる低温硬化型シリコン系接着剤の気体透過率は、２×
１０-6ｃｍ3 ・ｃｍ／ｃｍ2 ・ｓｅｃ・ａｔｍ以上であ
る。気体透過率が２×１０-7ｃｍ3 ・ｃｍ／ｃｍ2 ・ｓ
ｅｃ・ａｔｍ以下の接着剤としては、例えば、低温硬化
型のエポキシ系接着剤を用いることができる。また、一
般のゴムの気体透過率は、シリコンゴムの１／１０〜１
／２０程度であり、このようなゴム系の接着剤も使用可
能である。
率が２×１０-6ｃｍ3 ・ｃｍ／ｃｍ2 ・ｓｅｃ・ａｔｍ
より小さければ印字不良の発生が少なくなることがわか
る。特に、気体透過率が２×１０-7ｃｍ3 ・ｃｍ／ｃｍ
2 ・ｓｅｃ・ａｔｍ以下では、１か月放置後でも印字不
良は発生していない。このように、接着剤の気体透過率
が２×１０-6ｃｍ3 ・ｃｍ／ｃｍ2 ・ｓｅｃ・ａｔｍよ
り小さく、望ましくは２×１０-7ｃｍ3 ・ｃｍ／ｃｍ2
・ｓｅｃ・ａｔｍ以下であれば、インクの流路内への気
体の侵入を低減でき、気泡による印字不良の発生を抑え
ることができることが分かる。ちなみに、従来使用して
いる低温硬化型シリコン系接着剤の気体透過率は、２×
１０-6ｃｍ3 ・ｃｍ／ｃｍ2 ・ｓｅｃ・ａｔｍ以上であ
る。気体透過率が２×１０-7ｃｍ3 ・ｃｍ／ｃｍ2 ・ｓ
ｅｃ・ａｔｍ以下の接着剤としては、例えば、低温硬化
型のエポキシ系接着剤を用いることができる。また、一
般のゴムの気体透過率は、シリコンゴムの１／１０〜１
／２０程度であり、このようなゴム系の接着剤も使用可
能である。
【００３５】また、別にインクジェット記録ヘッドの噴
射素子４とマニホールド５の結合に用いる接着剤２１と
して、気体透過率が２×１０-7ｃｍ3 ・ｃｍ／ｃｍ2 ・
ｓｅｃ・ａｔｍである低温硬化型エポキシ系接着剤を用
いたインクジェット記録ヘッドを２０個作製した。これ
らのインクジェット記録ヘッドの気体透過量調査と印字
評価を行なった結果、印字不良は発生しなかった。ま
た、インク流路内に気体は発生しなかった。
射素子４とマニホールド５の結合に用いる接着剤２１と
して、気体透過率が２×１０-7ｃｍ3 ・ｃｍ／ｃｍ2 ・
ｓｅｃ・ａｔｍである低温硬化型エポキシ系接着剤を用
いたインクジェット記録ヘッドを２０個作製した。これ
らのインクジェット記録ヘッドの気体透過量調査と印字
評価を行なった結果、印字不良は発生しなかった。ま
た、インク流路内に気体は発生しなかった。
【００３６】上述のインクジェット記録ヘッドの第１の
実施例の製造方法について説明する。この第１の実施例
に示したインクジェット記録ヘッドは、従来の製造方法
とほぼ同様であり、ここでは噴射素子３とマニホールド
５の結合の工程を説明する。
実施例の製造方法について説明する。この第１の実施例
に示したインクジェット記録ヘッドは、従来の製造方法
とほぼ同様であり、ここでは噴射素子３とマニホールド
５の結合の工程を説明する。
【００３７】まず、シリンジに接着剤２１を適量入れ、
遠心分離器にかけて接着剤２１を脱泡する。接着剤２１
の具体例としては、液性熱硬化型エポキシ接着剤（エポ
キシ樹脂はビスフェノールＦ型、潜在硬化剤はイミダゾ
ール型）であり、フィラーとしてアルミナおよびシリカ
を混入したものを用いることができる。この硬化前粘度
は１５０００００ｍＰａｓであり、硬化条件は１５０℃
×３０分である。
遠心分離器にかけて接着剤２１を脱泡する。接着剤２１
の具体例としては、液性熱硬化型エポキシ接着剤（エポ
キシ樹脂はビスフェノールＦ型、潜在硬化剤はイミダゾ
ール型）であり、フィラーとしてアルミナおよびシリカ
を混入したものを用いることができる。この硬化前粘度
は１５０００００ｍＰａｓであり、硬化条件は１５０℃
×３０分である。
【００３８】脱泡後の接着剤２１の入ったシリンジにニ
ードルを取り付け、ディスペンサー付３軸制御ロボット
にセットする。そして、ディスペンサーとロボットをコ
ントロールし、噴射素子３の所定位置に所定量の接着剤
を塗布する。具体的な塗布範囲は、２５０〜３５０μｍ
×１２０〜１７０μｍ程度である。
ードルを取り付け、ディスペンサー付３軸制御ロボット
にセットする。そして、ディスペンサーとロボットをコ
ントロールし、噴射素子３の所定位置に所定量の接着剤
を塗布する。具体的な塗布範囲は、２５０〜３５０μｍ
×１２０〜１７０μｍ程度である。
【００３９】接着剤２１の塗布後、マニホールド５を噴
射素子３の上にマウントし、接着剤２１をマニホールド
５と噴射素子３でサンドイッチする形で流路を形成す
る。このときの接着剤２１の厚さは、具体的には５０〜
１００μｍ程度である。そして、そのままオーブンで加
熱し、接着剤２１を硬化させる。
射素子３の上にマウントし、接着剤２１をマニホールド
５と噴射素子３でサンドイッチする形で流路を形成す
る。このときの接着剤２１の厚さは、具体的には５０〜
１００μｍ程度である。そして、そのままオーブンで加
熱し、接着剤２１を硬化させる。
【００４０】このようにして、噴射素子３とマニホール
ド５の結合を行なうことができる。上述のエポキシ系接
着剤を用いた場合でも、従来のシリコン系接着剤を用い
た場合と同様、密閉性に優れており、また、硬化時の熱
衝撃による部材の破損も発生しなかった。上述の接着剤
の塗布方法は一例であって、他の塗布方法を用いること
も可能である。また、噴射素子３側に接着剤２１を塗布
する代わりに、マニホールド５側に塗布するようにして
もよい。
ド５の結合を行なうことができる。上述のエポキシ系接
着剤を用いた場合でも、従来のシリコン系接着剤を用い
た場合と同様、密閉性に優れており、また、硬化時の熱
衝撃による部材の破損も発生しなかった。上述の接着剤
の塗布方法は一例であって、他の塗布方法を用いること
も可能である。また、噴射素子３側に接着剤２１を塗布
する代わりに、マニホールド５側に塗布するようにして
もよい。
【００４１】次に、本発明のインクジェット記録ヘッド
の第２の実施例について説明する。構成は第１の実施例
と同様である。この第２の実施例では、接着剤のインク
に対する接触角が４５゜以下であるような接着剤２１を
用いている。図４は、接触角と付着する泡の量の関係の
説明図である。図４では、シリコンウェハ上に接着剤を
塗布し、インクに対する接触角の異なるサンプルを作成
し、インクに浸して泡の付き方を評価した。その結果を
図４に示している。図４に示した結果から、インクに対
する接触角が４５゜以下ならば、泡が付着しないことが
分かる。
の第２の実施例について説明する。構成は第１の実施例
と同様である。この第２の実施例では、接着剤のインク
に対する接触角が４５゜以下であるような接着剤２１を
用いている。図４は、接触角と付着する泡の量の関係の
説明図である。図４では、シリコンウェハ上に接着剤を
塗布し、インクに対する接触角の異なるサンプルを作成
し、インクに浸して泡の付き方を評価した。その結果を
図４に示している。図４に示した結果から、インクに対
する接触角が４５゜以下ならば、泡が付着しないことが
分かる。
【００４２】上述の第１の実施例で用いたエポキシ系の
接着剤は、インクとの接触角が４０゜程度であり、接触
角が４５゜以下という条件を満たしている。そのため、
インクの流路内で接着剤２１に気泡が付きにくく、接着
剤を介して侵入する気泡を低減することができる。ま
た、製造工程で泡付着を抑制するための処理を行なう必
要がないため、コストを低減することができる。
接着剤は、インクとの接触角が４０゜程度であり、接触
角が４５゜以下という条件を満たしている。そのため、
インクの流路内で接着剤２１に気泡が付きにくく、接着
剤を介して侵入する気泡を低減することができる。ま
た、製造工程で泡付着を抑制するための処理を行なう必
要がないため、コストを低減することができる。
【００４３】接着剤としてはエポキシ系接着剤に限ら
ず、インクとの接触角が４５゜以下のものであればよ
く、例えば、気体透過率が従来と同様の２×１０-6ｃｍ
3 ・ｃｍ／ｃｍ2 ・ｓｅｃ・ａｔｍ程度である接着剤で
あっても、接触角が小さければ用いることができる。
ず、インクとの接触角が４５゜以下のものであればよ
く、例えば、気体透過率が従来と同様の２×１０-6ｃｍ
3 ・ｃｍ／ｃｍ2 ・ｓｅｃ・ａｔｍ程度である接着剤で
あっても、接触角が小さければ用いることができる。
【００４４】また、接着剤２１のヌレ性がマニホールド
５のヌレ性と同等あるいはそれ以上であれば、インク中
の気泡は接着剤２１よりもマニホールド５の壁面に付着
しやすい。そのため、接着剤２１のヌレ性がマニホール
ド５のヌレ性と同等以上とすることによって、気泡の付
着を低減することができる。ここで、ヌレ性を接触角で
代用すれば、接着剤２１のインクに対する接触角がマニ
ホールド５のインクに対する接触角以下であればよい。
５のヌレ性と同等あるいはそれ以上であれば、インク中
の気泡は接着剤２１よりもマニホールド５の壁面に付着
しやすい。そのため、接着剤２１のヌレ性がマニホール
ド５のヌレ性と同等以上とすることによって、気泡の付
着を低減することができる。ここで、ヌレ性を接触角で
代用すれば、接着剤２１のインクに対する接触角がマニ
ホールド５のインクに対する接触角以下であればよい。
【００４５】上述の接触角に関する条件は、それぞれ独
立した条件であるが、２つの条件をともに満たすような
インクに対する接触角を有する接着剤を用いることによ
って、より効果的に気泡の付着を低減し、インク流路へ
の気体の侵入を防ぐことができる。
立した条件であるが、２つの条件をともに満たすような
インクに対する接触角を有する接着剤を用いることによ
って、より効果的に気泡の付着を低減し、インク流路へ
の気体の侵入を防ぐことができる。
【００４６】次に、本発明のインクジェット記録ヘッド
の第３の実施例について説明する。例えば、上述の第１
の実施例として示した構成のインクジェット記録ヘッド
を作成し、気泡の付着を観察すると、接着剤のエッジ部
や、凹凸部に泡が付着しやすいことがわかった。このこ
とから、インクジェット記録ヘッドにおいては、接着結
合部がなめらかに接続されている方が、接着剤部分に泡
が残りにくいということがわかった。
の第３の実施例について説明する。例えば、上述の第１
の実施例として示した構成のインクジェット記録ヘッド
を作成し、気泡の付着を観察すると、接着剤のエッジ部
や、凹凸部に泡が付着しやすいことがわかった。このこ
とから、インクジェット記録ヘッドにおいては、接着結
合部がなめらかに接続されている方が、接着剤部分に泡
が残りにくいということがわかった。
【００４７】接着結合部の形状について説明する。図５
は、インクジェット記録ヘッドにおける噴射素子とマニ
ホールドの接合部分近傍の形状の相違による気泡の付着
の違いの説明図、図６は、接着結合部付近の形状と印字
不良が発生したヘッド数との関係の説明図である。図中
の符号は図１と同様である。図５（Ａ）は従来と同様の
形状を示しており、図５（Ｂ）は、マニホールド５の組
み付け時にマニホールド５を一度噴射素子３に近づけて
から離し、接着剤２１の表面に凹部を形成した形状を示
している。この２種類のヘッドを従来接着剤を用いて従
来と同様の製造方法で１０個づつ作製し、上述の気体透
過率の検討と同様の方法で、接着剤の形状と印字不良の
相関を調べた。
は、インクジェット記録ヘッドにおける噴射素子とマニ
ホールドの接合部分近傍の形状の相違による気泡の付着
の違いの説明図、図６は、接着結合部付近の形状と印字
不良が発生したヘッド数との関係の説明図である。図中
の符号は図１と同様である。図５（Ａ）は従来と同様の
形状を示しており、図５（Ｂ）は、マニホールド５の組
み付け時にマニホールド５を一度噴射素子３に近づけて
から離し、接着剤２１の表面に凹部を形成した形状を示
している。この２種類のヘッドを従来接着剤を用いて従
来と同様の製造方法で１０個づつ作製し、上述の気体透
過率の検討と同様の方法で、接着剤の形状と印字不良の
相関を調べた。
【００４８】その結果、図６に示すような結果が得られ
た。形状ａは図５（Ａ）に示した形状の場合であり、形
状ｂは図５（Ｂ）に示した形状の場合である。この結果
からわかるように、接着部の段差が小さくなめらかに接
合されている方が印字不良が発生しにくいことが分か
る。
た。形状ａは図５（Ａ）に示した形状の場合であり、形
状ｂは図５（Ｂ）に示した形状の場合である。この結果
からわかるように、接着部の段差が小さくなめらかに接
合されている方が印字不良が発生しにくいことが分か
る。
【００４９】図７は、本発明の第３の実施例における噴
射素子とマニホールドの接合部分の具体例を示す一部拡
大断面図である。図中の符号は図１と同様である。図７
において、マニホールド５に形成されているインクの流
路の端部は面取りがなされており、幅２００μｍ程度の
斜面が形成されている。接着剤２１は、その斜面まで付
着し、固化している。図７に示す構成では、図５（Ａ）
に見られるような溝状の間隙も存在せず、噴射素子３の
インク液室６の入り口部を除き、この結合部には直角ま
たは鋭角の凸部は存在しない。そのため、この接着剤２
１による結合部において、インク流路はなめらかとな
り、気泡の付着を軽減することができる。
射素子とマニホールドの接合部分の具体例を示す一部拡
大断面図である。図中の符号は図１と同様である。図７
において、マニホールド５に形成されているインクの流
路の端部は面取りがなされており、幅２００μｍ程度の
斜面が形成されている。接着剤２１は、その斜面まで付
着し、固化している。図７に示す構成では、図５（Ａ）
に見られるような溝状の間隙も存在せず、噴射素子３の
インク液室６の入り口部を除き、この結合部には直角ま
たは鋭角の凸部は存在しない。そのため、この接着剤２
１による結合部において、インク流路はなめらかとな
り、気泡の付着を軽減することができる。
【００５０】図８は、各種の条件と印字不良が発生した
ヘッド数との関係の説明図である。上述の第１ないし第
３の実施例で示した条件をそれぞれ変えたインクジェッ
ト記録ヘッドを１０個ずつ作成し、インクを充填後、１
日、１週間、１か月放置したとき、印字不良が発生した
ヘッド数を調べた。ここでは、接着剤の気体透過率とし
て２×１０-5ｃｍ3 ・ｃｍ／ｃｍ2 ・ｓｅｃ・ａｔｍの
ものと２×１０-6ｃｍ3 ・ｃｍ／ｃｍ2 ・ｓｅｃ・ａｔ
ｍのもの、インクとの接触角が６０゜のものと４０゜の
もの、形状が図５（Ａ）に示すものと図５（Ｂ）に示す
ものについて調べている。
ヘッド数との関係の説明図である。上述の第１ないし第
３の実施例で示した条件をそれぞれ変えたインクジェッ
ト記録ヘッドを１０個ずつ作成し、インクを充填後、１
日、１週間、１か月放置したとき、印字不良が発生した
ヘッド数を調べた。ここでは、接着剤の気体透過率とし
て２×１０-5ｃｍ3 ・ｃｍ／ｃｍ2 ・ｓｅｃ・ａｔｍの
ものと２×１０-6ｃｍ3 ・ｃｍ／ｃｍ2 ・ｓｅｃ・ａｔ
ｍのもの、インクとの接触角が６０゜のものと４０゜の
もの、形状が図５（Ａ）に示すものと図５（Ｂ）に示す
ものについて調べている。
【００５１】上述の第１の実施例で述べたように、接着
剤の気体透過率が２×１０-6ｃｍ3・ｃｍ／ｃｍ2 ・ｓ
ｅｃ・ａｔｍよりも小さい場合には、それだけでもイン
ク流路内への気体の侵入を防ぐことができた。しかし、
２×１０-6ｃｍ3 ・ｃｍ／ｃｍ2 ・ｓｅｃ・ａｔｍ程度
の気体透過率を有する接着剤を用いた場合でも、他の条
件によってはインク流路内への気体の侵入を低減するこ
とができることがわかる。すなわち、図８において、気
体透過率が２×１０-6ｃｍ3 ・ｃｍ／ｃｍ2 ・ｓｅｃ・
ａｔｍで、接触角が６０゜、形状が図５（Ａ）に示す形
状の場合には、１か月放置後も１０個中、３個のみが印
字不良を起こしたのみである。例えば、図７に示すよう
な結合部の形状を構成すれば、さらなる印字不良の低減
を期待できる。
剤の気体透過率が２×１０-6ｃｍ3・ｃｍ／ｃｍ2 ・ｓ
ｅｃ・ａｔｍよりも小さい場合には、それだけでもイン
ク流路内への気体の侵入を防ぐことができた。しかし、
２×１０-6ｃｍ3 ・ｃｍ／ｃｍ2 ・ｓｅｃ・ａｔｍ程度
の気体透過率を有する接着剤を用いた場合でも、他の条
件によってはインク流路内への気体の侵入を低減するこ
とができることがわかる。すなわち、図８において、気
体透過率が２×１０-6ｃｍ3 ・ｃｍ／ｃｍ2 ・ｓｅｃ・
ａｔｍで、接触角が６０゜、形状が図５（Ａ）に示す形
状の場合には、１か月放置後も１０個中、３個のみが印
字不良を起こしたのみである。例えば、図７に示すよう
な結合部の形状を構成すれば、さらなる印字不良の低減
を期待できる。
【００５２】また、接着剤のインクとの接触角を４０゜
のものを用いると、気体透過率および形状が同じでも、
印字不良が発生するインクジェット記録ヘッドの数の増
加が緩やかになっている。このことから、接触角を小さ
くしたことによって気体の侵入を低減できていることが
わかる。同様に、結合部の形状をなるべく平坦にするこ
とによっても、印字不良が発生するインクジェット記録
ヘッドの数の増加が緩やかになっており、結合部の形状
をなるべく平坦にすることによって気体の侵入を低減で
きていることがわかる。
のものを用いると、気体透過率および形状が同じでも、
印字不良が発生するインクジェット記録ヘッドの数の増
加が緩やかになっている。このことから、接触角を小さ
くしたことによって気体の侵入を低減できていることが
わかる。同様に、結合部の形状をなるべく平坦にするこ
とによっても、印字不良が発生するインクジェット記録
ヘッドの数の増加が緩やかになっており、結合部の形状
をなるべく平坦にすることによって気体の侵入を低減で
きていることがわかる。
【００５３】上述の説明では、特に噴射素子とマニホー
ルドの接合部について説明したが、接着剤がインクの流
路の一部を形成するような部分、例えば、マニホールド
を構成する各部品間の接合部等においても、上述のよう
な接着剤の選択および流路構造を実現することによっ
て、気体の侵入を低減することができる。
ルドの接合部について説明したが、接着剤がインクの流
路の一部を形成するような部分、例えば、マニホールド
を構成する各部品間の接合部等においても、上述のよう
な接着剤の選択および流路構造を実現することによっ
て、気体の侵入を低減することができる。
【００５４】上述の説明においては、液体インクを用い
て説明しているが、本発明では室温で固体状であるイン
クであっても、室温で軟化状態になるインクであっても
用いることができる。
て説明しているが、本発明では室温で固体状であるイン
クであっても、室温で軟化状態になるインクであっても
用いることができる。
【００５５】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、インクジェット記録ヘッドにおいて、気体透
過率が２×１０-6ｃｍ3 ・ｃｍ／ｃｍ2 ・ｓｅｃ・ａｔ
ｍより小さい接着剤を使用することにより、長期間放置
してもインク流路内に気泡が発生することなく、良好な
印字画質が得られるインクジェット記録ヘッドを得るこ
とができ、インクジェット記録ヘッドの信頼性を向上さ
せ、かつ、工程での歩留まりを上げることができるとい
う効果がある。また、接着剤のインクに対する接触角を
４５゜以下とし、あるいは接着剤のヌレ性をインク流路
部材のヌレ性と同等以上とし、あるいは結合部における
インク流路をなるべく平坦にして、接着剤に気泡が付き
にくくすることによって、接着剤を介して侵入する空気
を低減し、同様の効果を得ることができる。
によれば、インクジェット記録ヘッドにおいて、気体透
過率が２×１０-6ｃｍ3 ・ｃｍ／ｃｍ2 ・ｓｅｃ・ａｔ
ｍより小さい接着剤を使用することにより、長期間放置
してもインク流路内に気泡が発生することなく、良好な
印字画質が得られるインクジェット記録ヘッドを得るこ
とができ、インクジェット記録ヘッドの信頼性を向上さ
せ、かつ、工程での歩留まりを上げることができるとい
う効果がある。また、接着剤のインクに対する接触角を
４５゜以下とし、あるいは接着剤のヌレ性をインク流路
部材のヌレ性と同等以上とし、あるいは結合部における
インク流路をなるべく平坦にして、接着剤に気泡が付き
にくくすることによって、接着剤を介して侵入する空気
を低減し、同様の効果を得ることができる。
【図１】 本発明のインクジェット記録ヘッドの第１の
実施例を示す噴射素子およびマニホールド近傍の斜視図
である。
実施例を示す噴射素子およびマニホールド近傍の斜視図
である。
【図２】 本発明のインクジェット記録ヘッドの第１の
実施例における噴射素子およびマニホールド近傍のＡ断
面図である。
実施例における噴射素子およびマニホールド近傍のＡ断
面図である。
【図３】 接着剤の気体透過率と印字不良が発生したヘ
ッド数との関係の説明図である。
ッド数との関係の説明図である。
【図４】 接触角と付着する泡の量の関係の説明図であ
る。
る。
【図５】 インクジェット記録ヘッドにおける噴射素子
とマニホールドの接合部分近傍の形状の相違による気泡
の付着の違いの説明図である。
とマニホールドの接合部分近傍の形状の相違による気泡
の付着の違いの説明図である。
【図６】 接着結合部付近の形状と印字不良が発生した
ヘッド数との関係の説明図である。
ヘッド数との関係の説明図である。
【図７】 本発明の第３の実施例における噴射素子とマ
ニホールドの接合部分の具体例を示す一部拡大断面図で
ある。
ニホールドの接合部分の具体例を示す一部拡大断面図で
ある。
【図８】 各種の条件と印字不良が発生したヘッド数と
の関係の説明図である。
の関係の説明図である。
【図９】 従来のインクジェット記録ヘッドの一例にお
ける噴射素子およびマニホールド近傍の斜視図である。
ける噴射素子およびマニホールド近傍の斜視図である。
【図１０】 従来のインクジェット記録ヘッドの一例に
おける噴射素子およびマニホールド近傍のＡ断面図であ
る。
おける噴射素子およびマニホールド近傍のＡ断面図であ
る。
【図１１】 従来のインクジェット記録ヘッドにおける
問題点の説明図である。
問題点の説明図である。
【図１２】 気体が透過する系の模式図である。
１，２１…接着剤、２…ヒートシンク、３…噴射素子、
４…ノズル、５…マニホールド、６…インク液室、７…
エネルギー発熱体、８…配線基板、９…ボンディングワ
イヤ、１０…封止剤、１１…気泡。
４…ノズル、５…マニホールド、６…インク液室、７…
エネルギー発熱体、８…配線基板、９…ボンディングワ
イヤ、１０…封止剤、１１…気泡。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平６−183000（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−81068（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−106527（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−122551（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B41J 2/05 B41J 2/16
Claims (2)
- 【請求項１】 複数のノズルと該ノズルからインク液滴
を吐出させるためのエネルギー発熱体と前記ノズルに連
通するインク液室を有する噴射素子部材と、該噴射素子
部材にインクを供給するためのマニホールドとが、接着
剤によって結合されているとともに、前記マニホールド
から前記ノズルに至るインクの流路の内圧が大気圧より
も負圧に保持され、かつ、該接着剤がインクの流路の一
部を構成するインクジェット記録ヘッドにおいて、前記
接着剤の前記インクに対するヌレ性が前記マニホールド
の前記インクに対するヌレ性と同等以上であることを特
徴とするインクジェット記録ヘッド。 - 【請求項２】 複数のノズルと該ノズルからインク液滴
を吐出させるためのエネルギー発熱体と前記ノズルに連
通するインク液室を有する噴射素子部材と、該噴射素子
部材にインクを供給するためのマニホールドとが、接着
剤によって結合されているとともに、前記マニホールド
から前記ノズルに至るインクの流路の内圧が大気圧より
も負圧に保持され、かつ、該接着剤がインクの流路の一
部を構成するインクジェット記録ヘッドの製造方法にお
いて、前記接着剤として、そのインクに対するヌレ性が
前記マニホールドの前記インクに対するヌレ性と同等以
上である接着剤を用いることを特徴とするインクジェッ
ト記録ヘッドの製造方法。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09932695A JP3344153B2 (ja) | 1995-04-25 | 1995-04-25 | インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法 |
| TW085103199A TW324693B (en) | 1995-04-25 | 1996-03-18 | Ink jet recording head and method of manufacturing the same |
| US08/631,091 US5774152A (en) | 1995-04-25 | 1996-04-12 | Ink jet recording head and method manufacturing thereof |
| EP96106425A EP0739735B1 (en) | 1995-04-25 | 1996-04-24 | Ink jet recording head and method manufacturing thereof |
| DE69623167T DE69623167T2 (de) | 1995-04-25 | 1996-04-24 | Tintenstrahlaufzeichnungskopf und sein Herstellungsverfahren |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09932695A JP3344153B2 (ja) | 1995-04-25 | 1995-04-25 | インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法 |
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|---|---|
| JPH08290573A JPH08290573A (ja) | 1996-11-05 |
| JP3344153B2 true JP3344153B2 (ja) | 2002-11-11 |
Family
ID=14244519
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP09932695A Expired - Fee Related JP3344153B2 (ja) | 1995-04-25 | 1995-04-25 | インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法 |
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| EP (1) | EP0739735B1 (ja) |
| JP (1) | JP3344153B2 (ja) |
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| DE69800782T2 (de) | 1997-03-28 | 2001-09-20 | Brother Ind Ltd | Tintenstrahldruckkopf mit Tintenzuführkanal |
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| JP2002240289A (ja) * | 2001-02-21 | 2002-08-28 | Fuji Xerox Co Ltd | インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法、ならびにインクジェット記録装置 |
| US6948801B2 (en) * | 2002-04-04 | 2005-09-27 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Fluid interconnect with sealant |
| KR20070097178A (ko) * | 2006-03-28 | 2007-10-04 | 삼성전자주식회사 | 역류 억제 수단을 구비한 잉크젯 프린트 헤드 |
| JP5239242B2 (ja) * | 2007-07-25 | 2013-07-17 | 凸版印刷株式会社 | 樹脂積層体および転写シート |
| JP6964975B2 (ja) * | 2016-01-08 | 2021-11-10 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置 |
| GB2575871A (en) | 2018-07-27 | 2020-01-29 | Xaar Technology Ltd | Droplet ejection head, manifold component therefor, and design method |
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|---|---|---|---|---|
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| JPS62251150A (ja) * | 1986-04-25 | 1987-10-31 | Fuji Xerox Co Ltd | 熱静電インクジエツト記録ヘツド |
| US4947184A (en) * | 1988-02-22 | 1990-08-07 | Spectra, Inc. | Elimination of nucleation sites in pressure chamber for ink jet systems |
| JP2573661B2 (ja) * | 1988-07-09 | 1997-01-22 | キヤノン株式会社 | 感光感熱型接着剤 |
| JPH02204044A (ja) * | 1989-02-03 | 1990-08-14 | Canon Inc | インクジェットヘッド |
| JP2608806B2 (ja) * | 1990-11-29 | 1997-05-14 | シルバー精工株式会社 | インクジェットプリンタにおけるレジストレーション調整装置 |
| EP0756934B1 (en) * | 1991-01-18 | 2000-08-02 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink jet head unit, ink jet head cartridge and ink jet recording apparatus |
| JPH05208497A (ja) * | 1991-10-17 | 1993-08-20 | Xerox Corp | インクジェット印字ヘッド |
| JPH05147226A (ja) * | 1991-11-28 | 1993-06-15 | Fuji Xerox Co Ltd | インクジエツト記録装置 |
| US5258781A (en) * | 1992-04-08 | 1993-11-02 | Xerox Corporation | One-step encapsulation, air gap sealing and structure bonding of thermal ink jet printhead |
| JP2980451B2 (ja) * | 1992-04-22 | 1999-11-22 | キヤノン株式会社 | インクジェット記録ヘッド、その製造方法、及びインクジェット記録ヘッドを備えた記録装置 |
| JPH06134987A (ja) * | 1992-09-11 | 1994-05-17 | Fuji Electric Co Ltd | インクジェット記録ヘッドユニット |
| US5515089A (en) * | 1992-12-08 | 1996-05-07 | Xerox Corporation | Ink jet printhead with sealed manifold and printhead die |
| JPH06234216A (ja) * | 1993-02-10 | 1994-08-23 | Brother Ind Ltd | インク噴射装置 |
| JPH06344555A (ja) * | 1993-06-11 | 1994-12-20 | Ricoh Co Ltd | インクジェットヘッド |
-
1995
- 1995-04-25 JP JP09932695A patent/JP3344153B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1996
- 1996-03-18 TW TW085103199A patent/TW324693B/zh not_active IP Right Cessation
- 1996-04-12 US US08/631,091 patent/US5774152A/en not_active Expired - Fee Related
- 1996-04-24 EP EP96106425A patent/EP0739735B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1996-04-24 DE DE69623167T patent/DE69623167T2/de not_active Expired - Fee Related
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|---|---|
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| EP0739735A2 (en) | 1996-10-30 |
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| US5774152A (en) | 1998-06-30 |
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