JPH09321356A - 熱電モジュール及びその製造方法 - Google Patents

熱電モジュール及びその製造方法

Info

Publication number
JPH09321356A
JPH09321356A JP8157677A JP15767796A JPH09321356A JP H09321356 A JPH09321356 A JP H09321356A JP 8157677 A JP8157677 A JP 8157677A JP 15767796 A JP15767796 A JP 15767796A JP H09321356 A JPH09321356 A JP H09321356A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
thermoelectric element
thermoelectric
electrode
bonding
manufacturing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP8157677A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3956405B2 (ja
Inventor
Nobuteru Maekawa
展輝 前川
Hiroaki Okada
浩明 岡田
Michimasa Tsuzaki
通正 津崎
Yuri Sakai
優里 坂井
Katsuyoshi Shimoda
勝義 下田
Teruaki Komatsu
照明 小松
Shinya Murase
慎也 村瀬
Hiroyuki Inoue
宏之 井上
Masayuki Sagawa
昌幸 佐川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Electric Works Co Ltd
Original Assignee
Matsushita Electric Works Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority to JP15767796A priority Critical patent/JP3956405B2/ja
Application filed by Matsushita Electric Works Ltd filed Critical Matsushita Electric Works Ltd
Priority to CN97190403A priority patent/CN1104746C/zh
Priority to EP97922202A priority patent/EP0843366B1/en
Priority to RU97120995/28A priority patent/RU2154325C2/ru
Priority to PCT/JP1997/001797 priority patent/WO1997045882A1/ja
Priority to DE69735589T priority patent/DE69735589T2/de
Priority to US08/973,095 priority patent/US5950067A/en
Publication of JPH09321356A publication Critical patent/JPH09321356A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3956405B2 publication Critical patent/JP3956405B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 製造が容易であるとともに良好な性能を得る
ことができる。 【解決手段】 2枚の電極プレート2,2の接合電極3
0にP型熱電素子1とN型熱電素子1とが接合電極30
に接合されて両種熱電素子1が電気的に交互に接続され
た熱電モジュールである。熱電素子1は複数の接合電極
に跨がって取り付けられた熱電素子材1a,1bの切断
で各接合電極30上に配されている。電極プレート2上
に複数の接合電極30に跨がる熱電素子材1a,1bを
取り付けた後、熱電素子材を切断して各接合電極上の熱
電素子相互間を切り離す。この後、複数の接合電極が所
要の配列で設けられた他の電極プレートを熱電素子の他
面側に取り付ける。電極プレート2の接合電極30に熱
電素子材1a,1bを接合することで熱電素子材を所要
の間隔で整列させ、この状態で熱電素子材の切断を行
う。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は複数の熱電素子を熱
的に並列に接続した熱電モジュールとその製造方法に関
するものである。
【0002】
【従来の技術】熱電モジュールにおいては、一対の電極
プレート間に複数個の熱電素子(ペルチェ素子)を並置
配設するとともに各電極プレートに設けた接合電極に熱
電素子を接合することで各熱電素子を電気的に直列に且
つP型の熱電素子とN型の熱電素子とを交互に接続する
とともに、これら熱電素子が熱的には並列になるように
接続配置して、通電時に一方の電極プレートを吸熱側、
他方の電極プレートを放熱側として作用させる。
【0003】この時の各熱電素子の接合電極への接合
は、各熱電素子を電極プレート上の各接合電極上に置い
て行っていた。この場合、多数のP型とN型との熱電素
子を配置を間違えることなく各接合電極上に正確に載せ
て接合しなくてはならず、製造が困難であるとともに歩
留まりが非常に悪い。このために特開昭58−6407
5号公報においては、棒状の熱電素子材を用いてP型の
熱電素子材とN型の熱電素子材とを交互に並べてその間
を耐熱絶縁物質で固着して板状とし、その上下面を電気
的に直列となるように蒸着等でメタライズし、さらにメ
タライズされた面上に銅板等を半田などで溶着し、棒状
方向と直角をなす方向に切断することが示されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】この場合、個々の熱電
素子の位置決めを考えずにすむためにこの点で製造が容
易ではあるが、切断後も熱電素子間に残る耐熱絶縁物質
が吸熱部と放熱部との熱的短絡を招いて性能を低下させ
てしまうために良好な性能を得ることができないという
大きな問題点を有している。また銅板の半田付け精度や
切断後の銅板の平面性等の管理が困難である。
【0005】本発明はこのような点に鑑み為されたもの
であり、その目的とするところは製造が容易であるとと
もに良好な性能を得ることができる熱電モジュールとそ
の製造方法を提供するにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】しかして本発明に係る熱
電モジュールは、熱電素子が接合される多数の接合電極
が所要のパターンで配列されているとともに接合電極が
隣接する接合電極に電気的に接続されている電極プレー
トと、熱電素子とからなり、2枚の電極プレート間にP
型熱電素子とN型熱電素子とが接合電極に接合されて電
気的に交互に接続された熱電モジュールであり、上記熱
電素子は複数の接合電極に跨がって取り付けられた熱電
素子材の切断で各接合電極上に配されたものであること
に特徴を有している。
【0007】また本発明に係る熱電モジュールの製造方
法は、複数の接合電極が所要の配列で設けられた電極プ
レート上に、複数の接合電極に跨がる熱電素子材を取り
付けた後、熱電素子材を切断して各接合電極上の熱電素
子相互間を切り離し、この後、複数の接合電極が所要の
配列で設けられた他の電極プレートを熱電素子の他面側
に取り付けることに特徴を有している。電極プレートの
接合電極に熱電素子材を接合することで熱電素子材を所
要の間隔で整列させ、この状態で熱電素子材の切断を行
うのである。
【0008】この時、上記電極プレートとして、熱電素
子が接合される接合電極を多数備えた1枚の導電性金属
板からなり、所要のパターンで配列されている接合電極
が隣接する接合電極に電気的接続用ブリッジと切除対象
である機械的接続専用ブリッジとのうちの少なくとも一
方によって接続されて全接合電極が上記ブリッジによっ
て一体となっている金属パターンプレートを用いること
が好ましく、さらに金属パターンプレートとして熱応力
吸収部を備えたものを用いることが好ましい。
【0009】上記金属パターンプレートにおける機械的
接続専用ブリッジは、熱電素子材の切断時に同時に切断
することが好ましいが、機械的接続専用ブリッジの切断
の前または後に熱電素子材の接合と切断を行ってもよ
い。熱電素子材としては棒状のものを好適に用いること
ができ、P型とN型の棒状熱電素子材を交互に並べて両
種の熱電素子材を同時に切断するとよい。
【0010】いずれにしても熱電素子材はその長手方向
に劈開面が走るものを用いるとともに劈開面と直角な面
を接合電極への接合面とすることが好ましく、また劈開
面と交叉する角度で切断することが好ましい。そして切
断線が直線となるように接合電極の配列パターンを作成
しておくことが好ましく、この場合、複数の切断線があ
る場合は、多数の刃にて同時に切断するとよい。
【0011】棒状熱電素子材の接合にあたっては、治具
を用いて棒状熱電素子材を所要の間隔で並べて接合する
とよく、棒状熱電素子材としてその幅が接合電極の幅以
下のものを用いるとよい。複数の棒状の熱電素子材を絶
縁材にて予め一体に連結しておいてもよい。
【0012】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態の一例につい
て説明すると、図1〜図4に示す熱電モジュールMは、
ペルチェ素子である熱電素子1を一対の電極プレート
2,2間に多数配置するとともに、P型の熱電素子1と
N型の熱電素子1とを電極プレート2,2の対向面に夫
々設けた接合電極30によって交互に接続することで、
全熱電素子1を電気的に直列に且つ熱的に並列に接続し
たもので、電極プレート2における接合電極30と熱電
素子1とで構成される上記直列回路の両端は、各電極プ
レート2の対向面に形成されているとともに外部接続用
の端子部36,36を介してリード線38,38に接続
されている。また上記両電極プレート2,2間には筒状
のシール枠4も配されており、両端が電極プレート2,
2に接合されるとともに上記の全熱電素子1の配置部を
囲んでいるシール枠4と電極プレート2,2とによっ
て、熱電素子1の配置空間が密閉されている。
【0013】ここにおいて、上記熱電素子1は、図1か
ら明らかなように、格子状に整列配置されているのであ
るが、図1における列(縦方向)においては、図2に示
すようにP型の熱電素子1とN型の熱電素子1とが交互
に並び、図1における行(横方向)においては図3に示
すように、N型の熱電素子1のみが、あるいはP型の熱
電素子1のみが並ぶようにその配置が定められている。
【0014】P型熱電素子1及びN型熱電素子1の配置
をこのようにしているのは、次に述べる製造法から明ら
かなように、各熱電素子1の接合電極30への接合を個
々に行うのではなく、棒状のP型熱電素子材及びN型熱
電素子材を夫々複数の接合電極30に跨がるものとして
取り付けた後、棒状の熱電素子材を切断して各接合電極
30上の熱電素子1に切り離しているからである。
【0015】上記熱電モジュールMの製造法について説
明する。まず電極プレート2から説明すると、ここで用
いている電極プレート2には、接合電極30を有する金
属パターンプレート3をセラミック系の基板20の表面
に接合したものを用いている。図4〜図7にセラミック
系基板20への接合前の金属パターンプレート3を示
す。接合電極30は各行(横方向)において機械的接続
専用ブリッジ32によって相互に接続されており、各列
(縦方向)において一つおきに電気的接続用ブリッジ3
1によって接続されるとともに隣接する行においては電
気的接続用ブリッジ31の位置がずらされて略格子状の
パターンを有するものとなっている。なお、熱電素子1
の電気的な接続パターンの関係で、図中上下両端の行で
は接合電極30が間引かれている上に、電気的接続用ブ
リッジ31が横方向にも延びるものとなっている。
【0016】ここで上記両ブリッジ31,32は、図8
に示すようにその厚みが接合電極30部分の厚みの半分
以下とされており、しかも機械的接続専用ブリッジ32
は接合電極30における熱電素子1が接合される表面側
に、電気的接続用ブリッジ31は背面側に設けられてお
り、また接合電極30表面と機械的接続専用ブリッジ3
2表面とが面一に、接合電極30裏面と電気的接続用ブ
リッジ31裏面とが面一に形成されている。さらに機械
的接続専用ブリッジ32は上述のように厚みが薄くなっ
ていることに加えて、孔33または溝が設けられること
でその断面積が小さくされている。
【0017】上記電気的接続用ブリッジ31は、P型の
熱電素子1とN型の熱電素子1とを交互に接続するため
のものであるのに対して、機械的接続専用ブリッジ32
は、基板20への接合前の状態での各接合電極30の位
置を保つためのものであって熱電素子1間の電気的接続
には関与しておらず、基板20に接合されることで各接
合電極30の位置が基板20によって保たれるようにな
った後は不要な存在であり、従って機械的接続専用ブリ
ッジ32は金属パターンプレート3の基板20への接合
後には切除してしまうものである。ただし、この切除は
基板20の接合後に直ちに行うのではなく、後述するよ
うに上記熱電素子材の切断時に同時に行うようにしてい
る。
【0018】さらに金属パターンプレート3は、電気的
接続用ブリッジ31及び機械的接続専用ブリッジ32に
よって一体につながっている全接合電極30を囲む外周
電極35を一体に備えるとともに、この外周電極35の
外側に前記外部接続用の端子部36と、センサー接続用
端子部37とを一体に備えたものとなっている。そして
一つおきの行の左右両端に位置する接合電極30,30
と外周電極35との間が細幅の機械的接続専用ブリッジ
32によって接続され、また一角にある接合電極30が
電気的接続用ブリッジ31と外周電極35とを介して端
子部36に接続されている。
【0019】なお、機械的接続専用ブリッジ32で接合
電極30同士が前述のように横方向に連結されているの
であるが、上下両端の行を除く他の行においては、左右
方向中央部において機械的接続専用ブリッジ32による
接続は行わず、複数のブロックに区画している。これは
機械的接続専用ブリッジ32に孔33を設けて断面積を
小さくしているのと同様に、基板20への接合時におけ
る熱応力吸収をして反りを防ぐためである。また銅ある
いは銅合金のような導電性金属板からなる金属パターン
プレート3は、全接合電極30の高さを揃えて熱電素子
1の接合を隙間なく行うことができるようにするために
一枚の金属板に対するエッチング処理で図に示す形態の
ものにされており、両ブリッジ31,32も金属板に対
する表裏からのハーフエッチングで形成しているが、他
の加工法、たとえば加熱による軟化状態でのプレス加工
や打ち抜き、表裏の打ち抜きパターンを脱酸素状態で加
熱加圧して一体化するなどによって形成されたものであ
ってもよい。いずれにしても酸化防止のためのNiめっ
きや、半田ぬれ性向上のためのSn,Auめっきを設け
ておくとよい。
【0020】そして上記金属パターンプレート3は図9
に示すようにアルミナやベリリアなどの絶縁性を有する
とともに熱伝導性能の良いセラミック系の基板20の表
面に接合固定されて電極プレート2が構成される。この
時、各接合電極30の裏面や電気的接続用ブリッジ31
の裏面、外周電極35の裏面、端子部36,37の裏面
が基板20に接触接合され、機械的接続専用ブリッジ3
2は基板20の表面から浮いた状態となる。
【0021】上記接合には基板20がアルミナであり且
つ金属パターンプレート3が銅板である場合、DBC法
と称されている共晶を形成することによる接合方法を好
適に用いることができる。接合時に金属パターンプレー
ト3が1000℃以上の高温になることから硬度が低下
し、熱電素子1を柔らかく支持することになるために熱
電素子1への応力緩和の効果を期待することができるか
らである。ちなみに通常1%程度の歪みで使用されるの
で、この時の銅の応力は焼純前の1/2近くに低減して
おり、これは実用上ヤング率が1/2の材料で指示する
ことにほぼ等しい。なお、上記のような温度となるため
に金属パターンプレート3と基板20との熱膨張率の差
が接合後に基板20に反りを生じさせてしまうことにな
るが、前述の応力緩和部の存在がこの反りを低減させて
いる。金属パターンプレート3と基板20との接合はD
BC法に限定するものではなく、ろう付けなどによって
接合してもよい。
【0022】次いで一方の電極プレート2の接合電極3
0に棒状のP型熱電素子材1aと棒状のN型熱電素子材
1bとを接合する。この時、接合電極30の各行に図1
0に示すように両熱電素子材1a,1bを交互に接合す
る。接合には半田付けが好適であり、このために熱電素
子材1a,1bにおける接合面にはめっきや蒸着によっ
て電極を形成しておくことが好ましい。
【0023】図11は上記両熱電素子材1a,1bの接
合に際して用いる治具9を示しており、両種熱電素子材
1a,1bを接合電極30のピッチと同じピッチではめ
込むことができる長孔93a,93bを備えた第1プレ
ート91と、倍のピッチで長孔94が設けられた第2プ
レート92とで構成されて第1プレート91上に第2プ
レート92が重ねられている。第1プレート91の長孔
93aと第2プレート92の長孔94とを重ねた状態で
P型の熱電素子材1bを長孔94を通じて長孔93a内
に収めた後、第2プレート92をスライドさせて長孔9
4を長孔93bに重ね、この状態でN型の熱電素子材1
bを長孔93bに収めるのである。このようにすること
で両種熱電素子材1a,1bを接合電極30の間隔に合
致した的確なピッチで配置することができる上に、P型
熱電素子材1aとN型熱電素子材1bとの配列を間違え
ることを避けることができる。誤用の排除に関しては、
棒状の熱電素子材1a,1bの両端面に異なるマークを
付けて区別しておくことも好ましい。
【0024】治具9の使用に代えて、熱電素子材1a,
1bを交互に所要の間隔で並べたものを絶縁材によって
一体化させることで板状のものを形成しておき、これを
一方の電極プレート2の接合電極30上に接合した後、
切断を行うようにしてもよい。この場合、絶縁材が熱電
素子材1a,1bの間を全て埋めていると切断後も絶縁
材が残ることになり、残った絶縁材による熱漏洩が問題
となりやすくなることから、図12に示すように、棒状
の熱電素子材1a,1bの両端部分でこれらを絶縁材1
4が一体化しているものを用いて、切断後には絶縁材1
4が外されてしまうものを用いるとよい。
【0025】また熱電素子材1a,1bには、図13に
も示すように、その幅Xが接合電極30の幅Yと同じか
やや小さいものを用いる。熱電素子1で発生する熱量を
接合電極30を通じて基板20側に確実に逃がすことが
できるようにすることで性能低下を避けるためであり、
もし熱電素子1の幅Xの方が接合電極Yの幅よりも大き
い場合には、熱電素子1における接合電極30に接して
いない部分で熱疲労が生じて素子破壊が生じてしまうか
らである。
【0026】なお、熱電素子材1aと熱電素子材1bと
は同じ幅でなくともよい。P型の熱電素子1とN型の熱
電素子1の材料特性を完全に合わせることはできないの
で、両熱電素子材1a,1bの幅を変えることが最も効
率のよい状態を得ることについての有効な方策となるか
らである。両熱電素子材1a,1bの高さが異なってい
てもよい。この場合は接合電極30の高さを行によって
変えることで応じることができる。
【0027】ところで熱電素子材1a,1bには劈開面
10が存在するが、棒状の熱電素子材1a,1bの切り
出しに際して、図14(a)または図14(b)に示すよう
に、劈開面10が熱電素子材1a,1bの短手方向と交
差するように切り出すものとする。後述する熱電素子材
1a,1bの切断に際して、切断線Cが劈開面10と一
致することがないようにしておくわけである。熱電素子
1は脆性材料であり、劈開面10と平行に切断すると、
欠けたりクラックが発生する虞れが非常に高く、歩留ま
りの低下を招くからである。なお、図14に示す2つの
ものを比較した場合、図14(b)に示すように、熱電素
子材1a,1bの長手方向に劈開面10が走るものが好
ましい。この点については後述する。図中11は接合電
極30への接合のために設けた電極部である。
【0028】一方の基板20への熱電素子材1a,1b
の接合装着が完了すれば、次いで棒状の熱電素子材1
a,1bの切断を行う。この切断はたとえば図15及び
図16に示すように、砥石(ダイシング・ソウ)15を
用いて行う。ここで示した実施の形態のものにおいて
は、熱電素子材1a,1bの各切断部が直線状に並ぶよ
うに接合電極30の配置パターンを決めており、全熱電
素子材1a,1bをまとめて直線状に切断すれば、各接
合電極30上に熱電素子1を個々に分離された状態で残
るようにしていることから、切断も容易であり、また図
示例のように、複数の砥石15で必要箇所をまとめて切
断することで切断作業に要する時間の短縮も図ることが
できる。棒状の熱電素子材1a,1bを接合した後に切
断することは、各熱電素子1の劈開面を揃えることがで
きることにもなり、耐久性のばらつきを少なくすること
ができる。
【0029】また、ここでは熱電素子材1a,1bの切
断にあたり、図16からも明らかなように、機械的接続
専用ブリッジ32の切断も同時に行うようにしている。
つまり熱電素子材1a,1bの切断をその切断箇所の下
方に位置している機械的接続専用ブリッジ32ごと切断
することで行うのである。機械的接続専用ブリッジ32
は基板20から浮いた状態にあるために、また外周電極
35や電気的接続用ブリッジ31はその厚みが薄くて基
板20側に寄っているために、砥石15が基板20に接
してしまう状態を招いたり外周電極35や両端の行の電
気的接続用ブリッジ31まで切断したりしてしまう状態
を招くことなく上記の切断を行うことができる。
【0030】なお、両端の行では、前述のように接合電
極30が間引かれている上に、他の行では接合電極30
が位置する部分が厚みの薄い電気的接続用ブリッジ31
の存在部分となっているために、上記切断によって接合
電極30上にのみ熱電素子1が残り、熱電素子材1aの
電気的接続用ブリッジ31の上方にあった部分は取り除
かれることになる。
【0031】図17にこうして切断作業を行った後の状
態を、図18に切除部分をハッチングで示したものを示
す。接合電極30の図中左右方向は、一端の行の中央部
の接合電極30,30間が電気的接続用ブリッジ31で
つながっているだけで、完全に分離されており、また外
周電極35との接続も端子部36との接続のための電気
的接続用ブリッジ31でつながっただけとなる。なお上
記切断に際しては、端子部36と端子部37との間の切
り離しや外周電極35と端子部37との切り離しもなさ
れる。また、端子部36,37に設けた電気的接続用ブ
リッジ31、つまり金属パターンプレート3の裏面側に
寄った厚みの薄い部分は、接合電極30部分とほぼ同じ
厚みに形成された端子部36,37に砥石15の通過部
を形成するために設けたものであり、このために接合電
極30を接続している機械的接続専用ブリッジ32と同
じ並びで設けてある。したがって切断線の目安ともなっ
ている。
【0032】熱電素子材1a,1bの接合の後、図19
に示すように、まず熱電素子材1a,1bのみを切断
し、次いで機械的接続専用ブリッジ32の切断を行うよ
うにしてもよい。この場合、熱電素子材1a,1bの切
断と機械的接続専用ブリッジ32の切断に夫々適した切
断部材を用いることができ、また幅の異なる切断部材を
用いることで熱電素子1の幅と接合電極1の幅とを夫々
好ましい値に設定することができる。
【0033】図20に示すように、電極プレート2の金
属パターンプレート3における機械的接続専用ブリッジ
32の切断を予め行っておき、その後に熱電素子材1
a,1bの接合とその切断を行ってもよい。この場合も
熱電素子材1a,1bの切断を機械的接続専用ブリッジ
32の切断負荷が加わらない状態で行うことができて、
熱電素子材1a,1bの切断を的確に行うことができ
る。もちろん切断作業の手間の点においては、熱電素子
材1a,1bの切断時に機械的接続専用ブリッジ32も
同時に切断することが最も好ましい。
【0034】切断線が直線となるように接合電極30の
配置と電気的接続用ブリッジ31による電気的接続のパ
ターンを決定しているものを示したが、回路パターンは
後述のように各種設定が可能である上に切断線が直線と
なるようにしなくてはならないものではない。しかし切
断線が直線となるようにしておくことが切断作業性の点
で最も優れたものとなる上に、複数の切断線を同時に切
断して切断に要する時間の削減を図ることにも容易に応
ずることができることになる。砥石15に代えてレーザ
ーや高圧水ジェット等を用いて切断を行ってもよい。
【0035】他方の電極プレート2については、上記電
極プレート2の金属パターンプレート3と同一のものを
基板20に接合して、その機械的接続専用ブリッジ32
の切断を行っておく。図21にこの切断を行った後の電
極プレート2を示す。切断箇所は上記一方の電極プレー
ト3で切断したところと同じである。切断が完了すれ
ば、図22に示すように、矩形筒状のシール枠4の接合
取付を一方の電極プレート2に対して行った後、上記他
方の電極プレート2を被せて他方の電極プレート2側の
接合電極30と熱電素子1との接合及びシール枠4と他
方の電極プレート2との接合を行う。シール枠4は前述
のように熱電素子1の配置部分を密封するためのもの
で、両端開口縁が各電極プレート2,2の金属パターン
プレート3,3における閉ループとなった外周電極35
部分に機械的及び電気的に接合されることで、電極プレ
ート2,2と併せて全熱電素子1の配置空間を密閉す
る。閉ループとなった外周電極35部分に接合すること
と、端子部36を外周電極35を介して引き出している
ことから、熱電素子1までの電源路を上記密封状態を維
持しつつ確保することができるものである。外周電極3
5の内側に配する場合、外周電極35から内側に伸びた
機械的接続専用ブリッジ32の切断残りの部分について
はシール枠4の該当部分に溝を設けてこれを避ける。
【0036】ここでシール枠4と外周電極35との接合
は、図24に示すように非金属製シール枠4における外
周電極35との接合に供する両端開口縁の部分に予め
銅、ニッケル、錫等の金属膜44をメッキや溶射などに
より形成しておき、そして外周電極35に半田付け48
やろう付けで接合している。これは長期的に見れば水分
の侵入を許しやすい接着剤の使用を避けて防湿性を高め
るためである。なお、各外周電極35が端子部36に接
続されている関係上、上記金属膜44は両端開口縁に個
々に設けて電気的に接続されないようにしておく。また
シール枠4は外周電極35の内側で電極プレート2に直
接接する部分を有する図23及び図24に示すような断
面形状のものとしておくことで、電極プレート2,2間
の間隔を規制することができるものとしておくことが好
ましい。この場合、半田付けやろう付け部分を見ること
ができるためにその良否の判別が容易である。金属膜4
4を設けていない部分や半田疲労時のクラックからの湿
気侵入防止については接着剤49の塗布の併用が好まし
い。なお、ここにおけるシール枠4は電極プレート2,
2の対向方向における荷重を担うものともなっている。
【0037】他方の電極プレート2側の接合電極30と
熱電素子1との接合は、シール枠4と他方の電極プレー
ト2との接合と同時に行うことになるが、これは次の点
においても好ましいものとなる。すなわちシール枠4に
よって両電極プレート2,2間の間隔を規制すると熱電
素子1の高さのばらつきは半田付けの半田の厚さで調節
されることになるとともに、電極プレート2にかかる荷
重はシール枠4の剛性と熱電素子1の剛性とにより分担
されることになり、熱電素子1にかかる荷重を低減する
ことができるからである。もっともシール枠4の剛性を
あげるためにシール枠4の厚さをあげると熱漏洩も増え
ることになるから、これを避けるために強度の必要部位
のみを厚くすることが重要であり、図25に示すような
四隅の肉厚を厚くしたものや中央部に耐荷重向上のため
の柱40を設けたものはこの点において効果的である。
【0038】さて、このように構成された熱電モジュー
ルは、全熱電素子1が両電極プレート2,2の金属パタ
ーンプレート3における接合電極30と電気的接続用ブ
リッジ31とによって電気的に直列に接続されるもので
あり、またP型熱電素子1とN型熱電素子1との組が熱
的に並列に接続され、一方の電極プレート2側の端子部
36と他方の電極プレート2側の端子部36とを通じて
電源に接続される。
【0039】ここで上端の行と下端の行とで熱電素子1
を間引いた状態としているのは、両電極プレート2,2
で同一の金属パターンプレート3を用いることができる
ようにすると同時に、P型熱電素子1同士あるいはN型
熱電素子1同士が連続して接続されることを避けるため
である。もっとも一端の行の中央部においては、2つの
P型熱電素子1,1を連続して接続している。このよう
な同型熱電素子1の連続は若干の効率低下を招くのであ
るが、敢えてこのようにしているのは接合電極30及び
熱電素子1の行数を奇数としたものにおいて、上記のよ
うに同一の金属パターンプレート3を両電極プレート
2,2で用いることができるようにするためと、前述の
熱応力緩和のために金属パターンプレート3を左右二つ
のブロックに分けることをできるようにするためであ
る。衝撃荷重の点からは全く間引かないようにしてもよ
い。
【0040】接合電極30及び熱電素子1の行数を奇数
としているのは、両端の行に同じ型の熱電素子1を配置
するためである。両端の行では前述のように熱電素子材
の一部を取り除くことになるが、同じ型のものであるた
めに取り除いたもののリサイクルについての対応が容易
となる。そして奇数行とする場合、両端の行にはP型の
熱電素子1を配置するとよい。P型の熱電素子1とN型
の熱電素子1とを比較した場合、P型のものの方が特性
が良くて管理しやすく、コストも安い。従ってN型熱電
素子材1bをP型熱電素子材1aよりも1本少なくでき
ることと、上述のように両端の行においては棒状の熱電
素子材1aを使用するにもかかわらず、熱電素子1を間
引いて配置するために切除部分が多くなることから、両
端の行にP型のものを配置するとよい。
【0041】電極プレート2としては、セラミック系の
基板20を有するものや上記金属パターンプレート3を
有するものに限定するものではない。図4〜図7に示し
た金属パターンプレート3を用いるとしても、接合電極
30間の空隙を射出成形や注型などによって熱特性が良
好である絶縁性樹脂25で埋めた図26及び図27に示
すものを電極プレート2として用いることができる。こ
の場合、金属パターンプレート3の表面を一旦酸化させ
た状態で絶縁製樹脂25の成形を行い、その後、金属パ
ターンプレート3の熱電素子材1a,1bが接合される
面の酸化膜の除去とNi処理を行うとよい。シール枠4
を一体に形成しておくこともできる。
【0042】このタイプの電極プレート2は、その裏面
を接合電極30の裏面と面一とするか凹面としておくこ
とで、接合電極30や電気的接続用ブリッジ31や外周
電極35の裏面を直接放熱部材や吸熱部材に接触させる
ことができるためにセラミック系のものに比して放熱特
性が良好であり、このために放熱側に用いると好適な結
果を得ることができる。もちろん吸熱側に用いてもよ
く、このタイプの2枚の電極プレート2,2と熱電素子
1とで熱電モジュールMを構成してもよい。
【0043】金属パターンプレート2の表側について
は、接合電極30の表面より絶縁性樹脂25が少し高く
なるようにしてもよい。半田付け時の異電極とのショー
トを防ぐことができる。なお、図26及び図27に示し
た電極プレート2を用いる場合、棒状熱電素子材1a,
1b及び金属パターンプレート3の機械的接続専用ブリ
ッジ32の切断は、絶縁性樹脂25も同時に切削するこ
とで行う。
【0044】また上記タイプの金属パターンプレート3
では、その表裏において絶縁性樹脂25の金属パターン
プレート3に対する比率がほぼ同じとなるようにしてお
くことが反りの防止の点で好ましく、また金属パターン
プレート3との化学結合性を有するとともに熱膨張係数
が金属パターンプレート3に近似した材質のものが好ま
しい。水蒸気の透過を防ぐことができるとともに隙間が
生じにくくなるからである。さらには金属パターンプレ
ート3よりも十分に低いヤング率の材質であることが好
ましい。これらの条件を満足するものとしては、金属パ
ターンプレート3が銅または銅合金であるならば、エポ
キシ樹脂、特にSiO2 を添加したものが好適である。
【0045】2枚の電極プレート2,2の接合電極3
0,30による熱電素子1,1の接続の回路パターン例
を図28及び図29に示す。図28(a)は上記の金属パ
ターンプレート3を用いた場合の回路パターンを示して
いる。図から明らかなように、端子部36の配置も含め
て各種のパターンを構成することができる。図30に示
すようなパターンも可能である。なお図30中の2本線
による接続は一方の電極プレート2による接続を、1本
線による接続は他方の電極プレート2による接続を示し
ている。
【0046】Bi−Te−Sb−Seを主成分とする熱
電素子1の接合電極30への接合は前述のように半田付
けで行っているが、熱電素子1側の接合面に図31に示
すようにMo層17及びNi層18をバリア層として設
けて電極11とすることが拡散防止の点で好ましい。ま
た図31に示すものでは、Ni層18の上に更にSn,
Bi,Ag,Auの中から選択した材料からなる層、た
とえばSn+Bi層19を設けている。この層19はN
i層18の酸化防止と半田付け性を良くするためであ
る。なおNi層18は1μ以上の厚みとし、Mo層17
はこれより薄くしておくことが望ましい。たとえばMo
層17を0.2μm、Ni層18を2μm、Sn+Bi
層19を2μmとする。
【0047】ところで熱電素子1には前述のように劈開
面10が存在しているわけであるが、熱電素子1におけ
る劈開面10は、熱電モジュールに通電して片面で吸熱
を、片面で放熱を行う時の両面での熱の差によって生じ
る伸縮方向に劈開面10が並ぶようにすることが最も好
ましい。つまり図32(a)に示すものとするのである。
熱電モジュールにはP型の熱電素子1とN型の熱電素子
1との接続方向である図中矢印で示す方向に伸縮が生じ
るわけであるが、この方向に劈開面10が並んでいる
と、熱電素子1は劈開面10における微小なずれによっ
て上記伸縮による応力を吸収してしまうからである。こ
の結果、伸縮による変位の許容範囲が大きくなり、応力
による熱電素子1の破壊を避けることができる。
【0048】そしてこのように劈開面10が並ぶように
することを、本発明にかかる熱電モジュールでは簡単に
得ることができる。すなわち、棒状の熱電素子材1a,
1bを用いてこれを電気的接続用ブリッジ31による電
気的接続方向と直交する方向に並べて切断していること
から、熱電素子材1a,1bとして図12(b)に示した
ように劈開面が長手方向に走るものを用いると同時に、
劈開面10と直角な面、図12(b)では上下の面に接合
電極30への接合のための電極11を設けることで、図
32(a)に示すものを得ることができる。ちなみに図3
2(b)に示すような劈開面10の並びであると上記伸縮
による応力を受けた時に壊れやすく、また図32(c)に
示すような劈開面10の並びであると性能がでないもの
となる。
【0049】さらに上記の例では、熱電素子材1a,1
bとして接合電極30の行の並びの全長にわたるものを
用いていたが、図33に示すように、1行について複数
本の熱電素子材1a,1bを用いるようにしてもよい。
熱電素子材1a,1bとして長さの短いものを用いるこ
とができるために熱電素子材1a,1bの材料利用効率
が高くなる上に、接合電極30への接合後の電極プレー
ト2の反りによる熱電素子材1a,1bへのストレスを
低減させることができる。
【0050】金属パターンプレート3における接合電極
30と外周電極35とを接続する電気的接続用ブリッジ
31は、複数設けておいてもよい。異なる接合電極30
が外周電極35に電気的接続用ブリッジ31によって接
続されているようにしておくのである。もちろん最終的
にはいずれかの電気的接続用ブリッジ31によっていず
れかの接合電極31のみが外周電極35に接続されるよ
うに、他の電気的接続用ブリッジ31は切除してしまう
のであるが、どの電気的接続用ブリッジ31を残すかに
よって、同じ金属パターンプレート3を用いても、熱電
素子1の実装数の異なるもの、つまり熱電モジュールの
性能の異なるものを選択して得ることができる。
【0051】もっとも、電気的接続用ブリッジ31によ
る接合電極30と外周電極35との接続箇所が増える
と、基板20への接合の際に反りを生じさせやすくなる
ことから、図4〜図7に示した金属パターンプレート3
においては、いくつかの接合電極30から外周電極35
に向けて延長片を延出しており、どの延長片を外周電極
35に接続するかによって外周電極35を通じて端子部
36に接続する接合電極30(回路パターンの一端とな
る接合電極30)を選択することができるようにしてあ
る。
【0052】上記のような熱電モジュールMは、図34
あるいは図35に示すように、片側の電極プレート2の
外面に吸熱部材5、他側の電極プレート2の外面に放熱
部材6が取り付けられて実用に供される。この時、電極
プレート2と吸熱部材5または放熱部材6との間の熱的
結合のために、吸熱部材5と放熱部材6とで熱電モジュ
ールMを挟持して熱的結合面に所要の荷重を加えるので
あるが、図に示すようなコイルばねや皿ばねのようなば
ね7によって上記荷重を加えることが好ましい。図中7
0は吸熱部材5と放熱部材6とを連結するビスであり、
ばね7はビス70の頭部とこのビス70が挿通される部
材5との間に配されている。ビス70,71には熱伝導
率の低い材質のものが用いられる。
【0053】図36により具体的な吸熱部材5及び放熱
部材6を示す。放熱部材6は多数の放熱フィン60を有
している。図中71は両部材5,6間の連結用であり且
つこのブロックの取付用を兼ねたビスである。吸熱部材
5及び放熱部材6の熱電モジュールMとの接触面の面積
を熱電モジュールMの表面積より小さくしているが、こ
れは熱漏れを低減するためである。
【0054】吸熱部材5及び放熱部材6には熱伝導率が
高くて加工が容易であるアルミニウムやその合金を用い
ており、その表面には腐食防止や絶縁のためにアルマイ
ト層が設けられている。アルミニウムに炭素繊維を入れ
たものや銅合金などで形成してもよい。吸熱部材5の表
面は冷却対象となる部材への取付面とするためにビス7
0,71の頭部はこの面より突出しないようにしてあ
る。
【0055】ここにおいて、熱電モジュールMと吸熱部
材5との接触面及び熱電モジュールMと放熱部材6との
接触面には通常数μmの厚みとなるシリコングリースを
介在させることで熱抵抗を低減させるのであるが、この
熱抵抗は荷重が大きくなるにつれて低下し、図37に示
すように1000〜1500Nの荷重でほぼ安定する。
図中ΔTは電極間温度差である。一方、熱電素子1その
ものは図38に示すように荷重が増大すれば耐久性が低
下するものであり、また電極間温度差ΔTを高くするに
つれてこの温度差によって生じるところの剪断力が作用
するために耐久性が低下する。接触熱抵抗を低減して性
能を上げるには取付荷重を大きくすればよいのである
が、民生用として使用されている熱電素子1では、取付
荷重を上げると信頼性が低下してしまうわけである。上
記特性から、一般に取付荷重はほぼ1000Nを最適荷
重としてこの最適荷重となるように取り付けを行ってい
るのであるが、ビス70の締付力によってこの値に取付
荷重を設定することは困難である。しかし、上述のよう
にばね7によって取付荷重を設定していることから、最
適荷重への設定が容易となっている。しかも、ここで用
いている熱電モジュールMは、シール枠4が取付荷重を
分担することによって熱電素子1にかかる荷重を低減し
ていることから、シール枠4の荷重分担比を1/2とし
ているならば、熱抵抗の軽減して性能を向上させるため
に取付荷重を1000〜1700Nにセットしても、熱
電素子1にかかる荷重は500〜850Nとなり、高い
耐久性を得ることができる。図39にシール枠4がある
場合Aと無い場合Bとにおける熱電素子1の変形量と取
付荷重との関係(シール枠4の荷重分担比は1/2)を
示す。
【0056】熱電素子1にかかる取付荷重を更に軽減す
るために、図40に示すように、シール枠4の外周に更
に荷重分担用の枠46を設けるようにしてもよい。図4
1は外周電極35の外側に更に上記の枠46の固定のた
めの環状金属部39を設けたものを示している。枠46
の固定はシール枠4の場合と同じとすればよいが、接着
材による固定であってもよい。
【0057】更にここで用いた熱電モジュールMは、熱
電素子1が接合される接合電極30が厚みのある銅また
は銅合金で形成されていて、熱電素子1そのものにかか
る剪断応力を低減させているために、さらに高い耐久性
を発揮するものとなっている。なお、剪断応力の低減は
接合電極30と熱電素子1とを接合している半田などに
よっても軽減を図ることができるが管理は困難である。
しかし、このものにおいては接合電極30の高さで管理
することができるために、所要の性能を確実に発揮させ
ることができる。図42に示すように、接合電極30の
表面に1本乃至複数本の溝33を設けて剛性を低下させ
ておけば、剪断応力の軽減をより図ることができること
になる。図中の矢印は図32(a)で示した矢印と同じ
く、伸縮方向を示しており、溝33はこの伸縮による剪
断応力の軽減に有効な方向に切削形成する。
【0058】図43はシール枠4の他例を示している。
ここにおけるシール枠4は、熱電素子1間の電気的絶縁
を保つための薄板片47を一体に備えている。熱電素子
1の一方の面と一方の電極プレート2の接合電極30と
の接合は、図43(b)に示す状態に熱電素子1間を薄板
片47が区画した状態で行われることから、接合のため
の半田による短絡の防止を図ることができ、熱電モジュ
ールの生産の歩留まり向上に有効である。
【0059】熱電モジュールMを多段に構成することに
も対応することができる。図44に示すものは、基板2
0の上下両面に金属パターンプレート3を接合したもの
を中央の電極プレート2として用いるとともに、この電
極プレート2の上下面に熱電素子材1a,1bを接合し
て切断を行い、他の2枚の電極プレート2,2を中央の
電極プレート2の上下に重ねるのである。熱電素子材1
a,1bの接合は、上下の電極プレート2の金属パター
ンプレート3の接合電極30に対して行い、熱電素子材
1a,1bの切断の後、上下両面に金属パターンプレー
ト3,3が接合された中央の電極プレート2を間にして
接合するようにしてもよいのはもちろんである。なお、
吸熱側となる方は、熱電素子1の数を少なくすることか
ら、ここでも中央の基板20下面と下方の基板20の上
面とに接合する図4〜図7に示したものと同じ金属パタ
ーンプレート3のほぼ半分の大きさの金属パターンプレ
ート3を上方の基板20の下面と中央の基板20の上面
とに接合している。
【0060】接合電極30を有する電極プレート2とし
て、接合電極30を備えた金属パターンプレート3を基
板20に接合したものや、金属パターンプレート3の隙
間に絶縁性樹脂25を埋め込んだものを示したが、上記
金属パターンプレート3を用いないもの、たとえば接合
電極30の電極パターンが設けられたプリント基板など
も電極プレート2として用いることができる。ここにお
ける電極パターンはエッチングのほか、基板20表面に
金属溶射を行うことで形成したものであってもよい。こ
のような電極プレート2を用いる場合、前記機械的接続
専用ブリッジ32は不要である。もっとも接合電極30
の厚みを十分にとることが困難であり、接合電極30の
厚みと柔らかさとを利用して熱電素子1への通電時に生
ずる熱応力の緩和を図ることは難しくなる。
【0061】また、接合電極30を備えた金属パターン
プレート3を基板20に接合したものや金属パターンプ
レート3の隙間に絶縁性樹脂25を充填したものを電極
プレート2とする場合、基板20や絶縁性樹脂と吸熱・
放熱部材5,6とを一体として電極プレート2が吸熱・
放熱部材5,6を兼ねるようにしてもよい。つまりは吸
熱部材5や放熱部材6に金属パターンプレート3が接合
されたものとするのである。部品点数の削減を図ること
ができる。
【0062】
【発明の効果】以上のように本発明における熱電モジュ
ールは、熱電素子は電極プレートの複数の接合電極に跨
がって取り付けられた熱電素子材の切断で各接合電極上
に配されたものであるために、各熱電素子に特性の揃っ
たものを用いることができる上に、熱漏洩の原因となる
ような絶縁物質が熱電素子間にないために良好な性能を
得ることができる。
【0063】また本発明に係る熱電モジュールの製造方
法においては、複数の接合電極が所要の配列で設けられ
た電極プレート上に、複数の接合電極に跨がる熱電素子
材を取り付けた後、熱電素子材を切断して各接合電極上
の熱電素子相互間を切り離し、この後、複数の接合電極
が所要の配列で設けられた他の電極プレートを熱電素子
の他面側に取り付けるものであり、複数の接合電極に跨
がる熱電素子材を用いるために個々の熱電素子の整列位
置決めが不要であって製造が容易なものであり、しかも
電極プレートの接合電極に熱電素子材を接合することで
熱電素子材を所要の間隔で整列させ、この状態で熱電素
子材の切断を行うために、前記従来例のような熱漏洩
(熱的短絡)の原因となる耐熱絶縁物質が熱電素子間に
残るようなことなく製造することができて、良好な性能
のものを簡単に且つ確実に得ることができる。また熱電
素子が接合されるとともに熱電素子間の電気的接続を担
う接合電極は電極プレートに設けられたものであるか
ら、精度や平面性等の管理が容易なものである。
【0064】そして熱電素子が接合される接合電極を多
数備えた1枚の導電性金属板からなり、所要のパターン
で配列されている接合電極が隣接する接合電極に電気的
接続用ブリッジと切除対象である機械的接続専用ブリッ
ジとのうちの少なくとも一方によって接続されて全接合
電極が上記ブリッジによって一体となっている金属パタ
ーンプレートを電極プレートとして用いたならば、接合
電極の位置精度を更に高くすることができる上にその取
り扱いも容易となるために、より性能の高いものをより
簡便に得ることができる。さらに金属パターンプレート
として熱応力吸収部を備えたものを用いたならば、熱電
素子材の接合時の熱や熱電素子への通電時の吸熱側と放
熱側との温度差などによる熱応力で熱電素子が破壊され
る虞れを低減させることができて歩留まりの向上と耐久
性とを得ることができる。
【0065】上記金属パターンプレートにおける機械的
接続専用ブリッジは、熱電素子材の切断時に同時に切断
することが切断作業の手間の削減の点で好ましいが、機
械的接続専用ブリッジの切断の前または後に熱電素子材
の接合と切断を行ってもよい。この場合、各切断を夫々
に適した状態で行うことができる。熱電素子材としては
棒状のものを用いることが製造効率の点で最も好まし
く、特にP型とN型の棒状熱電素子材を交互に並べて両
種の熱電素子材を同時に切断すると製造効率を高くする
ことができる。
【0066】いずれにしても熱電素子材は熱電素子材は
その長手方向に劈開面が走るものを用いるとともに劈開
面と直角な面を接合電極への接合面とすることが、熱電
素子の効率の点と熱電素子そのものが応力を吸収するこ
とができるものとなることによる耐久性の向上とを得ら
れる点で好ましい。また劈開面と交叉する角度で切断す
ることがクラックの発生の虞れが少なくなる点で好まし
い。
【0067】そして切断線が直線となるように接合電極
の配列パターンを作成しておくと、切断作業が容易とな
るものであり、この場合、複数の切断線は多数の刃にて
同時に切断すると切断作業にかかる時間を大幅に削減す
ることができてコストの低減を図ることができる。棒状
熱電素子材の接合にあたっては、治具を用いて棒状熱電
素子材を所要の間隔で並べて接合すると、各接合電極上
に熱電素子材を位置決めすることがさらに簡単となる。
棒状熱電素子材の幅は接合電極の幅以下とすることで、
熱電素子にかかる熱応力を低減して熱電素子の熱破壊の
虞れを少なくすることができる。
【0068】複数の棒状の熱電素子材を絶縁材にて予め
一体に連結しておいてもよい。電極プレートに対する複
数の熱電素子材の位置決めを一括して行うことができる
ために、位置決めがより簡単となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態の一例を示す破断平面図で
ある。
【図2】同上の縦断面図である。
【図3】同上の横断面図である。
【図4】同上に用いる金属パターンプレートの平面図で
ある。
【図5】同上に用いる金属パターンプレートの斜視図で
ある。
【図6】同上に用いる金属パターンプレートの背面図で
ある。
【図7】同上に用いる金属パターンプレートの背面側を
示す斜視図である。
【図8】同上に用いる金属パターンプレートの断面を示
しており、(a)は横断面図、(b)は縦断面図である。
【図9】同上に用いる電極プレートの加工前状態を示す
斜視図である。
【図10】同上に用いる電極プレートの熱電素子材の接
合後の斜視図である。
【図11】同上の熱電素子材の配設に用いる治具の断面
図である。
【図12】同上の熱電素子材の他例の斜視図である。
【図13】同上の接合電極と熱電素子材との断面図であ
る。
【図14】(a)(b)は同上に用いる熱電素子材の劈開面を
示す斜視図である。
【図15】同上の熱電素子材の切断を示す斜視図であ
る。
【図16】同上の熱電素子材の切断を示す断面図であ
る。
【図17】同上の熱電素子材の切断後の状態を示す斜視
図である。
【図18】同上の熱電素子材の切断部分を示す平面図で
ある。
【図19】同上の切断の他例を示すもので、(a)(b)は共
に断面図である。
【図20】同上の切断のさらに他例を示すもので、(a)
(b)は共に断面図である。
【図21】他方の電極プレートの斜視図である。
【図22】同上のシール枠の取付状態を示す斜視図であ
る。
【図23】同上のシール枠を示すもので、(a)は斜視
図、(b)は断面図である。
【図24】同上のシール枠の固定部分を示す拡大断面図
である。
【図25】同上のシール枠の他例を示す斜視図である。
【図26】他の電極プレートの斜視図である。
【図27】同上の電極プレートの背面側を示す斜視図で
ある。
【図28】(a)〜(f)は回路パターン例の説明図である。
【図29】(a)〜(f)は回路パターン例の説明図である。
【図30】別の回路パターンの説明図である。
【図31】同上の熱電素子材の断面図である。
【図32】同上の熱電素子の劈開面の方向例を示すもの
で、(a)(b)(c)は各々斜視図である。
【図33】電極プレートへの熱電素子材の接合の他例を
示す斜視図である。
【図34】吸熱部材及び放熱部材の装着例を示す断面図
である。
【図35】吸熱部材及び放熱部材の他の装着例を示す断
面図である。
【図36】吸熱部材及び放熱部材の別の装着例を示す断
面図である。
【図37】熱電素子の特性を示す説明図である。
【図38】熱電素子の他の特性を示す説明図である。
【図39】シール枠の有無による熱電モジュールの特性
を示す説明図である。
【図40】実施の形態の他例を示す縦断面図である。
【図41】同上の電極プレートの斜視図である。
【図42】接合電極の他例を示すもので、(a)は断面
図、(b)は斜視図である。
【図43】シール枠の別の例を示すもので、(a)は斜視
図、(b)は断面図である。
【図44】多段モジュールとする場合の分解斜視図であ
る。
【符号の説明】
M 熱電モジュール 1 熱電素子 2 電極プレート 30 接合電極 31 電気的接続用ブリッジ 32 機械的接続専用ブリッジ
フロントページの続き (72)発明者 坂井 優里 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株 式会社内 (72)発明者 下田 勝義 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株 式会社内 (72)発明者 小松 照明 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株 式会社内 (72)発明者 村瀬 慎也 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株 式会社内 (72)発明者 井上 宏之 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株 式会社内 (72)発明者 佐川 昌幸 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株 式会社内

Claims (15)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 熱電素子が接合される多数の接合電極が
    所要のパターンで配列されているとともに接合電極が隣
    接する接合電極に電気的に接続されている電極プレート
    と、熱電素子とからなり、2枚の電極プレート間にP型
    熱電素子とN型熱電素子とが接合電極に接合されて電気
    的に交互に接続された熱電モジュールであり、上記熱電
    素子は複数の接合電極に跨がって取り付けられた熱電素
    子材の切断で各接合電極上に配されたものであることを
    特徴とする熱電モジュール。
  2. 【請求項2】 複数の接合電極が所要の配列で設けられ
    た電極プレート上に、複数の接合電極に跨がる熱電素子
    材を取り付けた後、熱電素子材を切断して各接合電極上
    の熱電素子相互間を切り離し、この後、複数の接合電極
    が所要の配列で設けられた他の電極プレートを熱電素子
    の他面側に取り付けることを特徴とする熱電モジュール
    の製造方法。
  3. 【請求項3】 熱電素子が接合される接合電極を多数備
    えた1枚の導電性金属板からなり、所要のパターンで配
    列されている接合電極が隣接する接合電極に電気的接続
    用ブリッジと切除対象である機械的接続専用ブリッジと
    のうちの少なくとも一方によって接続されて全接合電極
    が上記ブリッジによって一体となっている金属パターン
    プレートを電極プレートとして用いることを特徴とする
    請求項2記載の熱電モジュールの製造方法。
  4. 【請求項4】 金属パターンプレートとして熱応力吸収
    部を備えたものを用いることを特徴とする請求項3記載
    の熱電モジュールの製造方法。
  5. 【請求項5】 熱電素子材の切断時に機械的接続専用ブ
    リッジを同時に切断することを特徴とする請求項3また
    は4記載の熱電モジュールの製造方法。
  6. 【請求項6】 機械的接続専用ブリッジの切断の前また
    は後に熱電素子材の接合と切断を行うことを特徴とする
    請求項3または4記載の熱電モジュールの製造方法。
  7. 【請求項7】 熱電素子材として棒状のものを用いるこ
    とを特徴とする請求項2〜6のいずれかに記載の熱電モ
    ジュールの製造方法。
  8. 【請求項8】 P型とN型の棒状熱電素子材を交互に並
    べて両種の熱電素子材を同時に切断することを特徴とす
    る請求項2〜7のいずれかに記載の熱電モジュールの製
    造方法。
  9. 【請求項9】 熱電素子材はその長手方向に劈開面が走
    るものを用いるとともに劈開面と直角な面を接合電極へ
    の接合面とすることを特徴とする請求項2〜8のいずれ
    かに記載の熱電モジュールの製造方法。
  10. 【請求項10】 熱電素子材はその劈開面と交叉する角
    度で切断することを特徴とする請求項2〜9のいずれか
    に記載の熱電モジュールの製造方法。
  11. 【請求項11】 切断線が直線となるように接合電極の
    配列パターンを作成していることを特徴とする請求項2
    〜10のいずれかに記載の熱電モジュールの製造方法。
  12. 【請求項12】 複数の切断線を多数の刃にて同時に切
    断することを特徴とする請求項11記載の熱電モジュー
    ルの製造方法。
  13. 【請求項13】 治具を用いて棒状熱電素子材を所要の
    間隔で並べて接合することを特徴とする請求項2〜11
    のいずれかに記載の熱電モジュールの製造方法。
  14. 【請求項14】 棒状熱電素子材としてその幅が接合電
    極の幅以下のものを用いることを特徴とする請求項7〜
    10のいずれかに記載の熱電モジュールの製造方法。
  15. 【請求項15】 複数の棒状熱電素子材は、絶縁材にて
    予め一体に連結しておくことを特徴とする請求項7〜1
    0のいずれかに記載の熱電モジュールの製造方法。
JP15767796A 1996-05-27 1996-05-28 熱電モジュールの製造方法 Expired - Fee Related JP3956405B2 (ja)

Priority Applications (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP15767796A JP3956405B2 (ja) 1996-05-28 1996-05-28 熱電モジュールの製造方法
EP97922202A EP0843366B1 (en) 1996-05-28 1997-05-27 Method for manufacturing thermoelectric module
RU97120995/28A RU2154325C2 (ru) 1996-05-28 1997-05-27 Способ изготовления термоэлектрического модуля
PCT/JP1997/001797 WO1997045882A1 (fr) 1996-05-28 1997-05-27 Procede de fabrication d'un module thermoelectrique
CN97190403A CN1104746C (zh) 1996-05-28 1997-05-27 热电组件的制造方法
DE69735589T DE69735589T2 (de) 1996-05-28 1997-05-27 Herstellungsverfahren für einen thermoelektrischen modul
US08/973,095 US5950067A (en) 1996-05-27 1997-06-03 Method of fabricating a thermoelectric module

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP15767796A JP3956405B2 (ja) 1996-05-28 1996-05-28 熱電モジュールの製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH09321356A true JPH09321356A (ja) 1997-12-12
JP3956405B2 JP3956405B2 (ja) 2007-08-08

Family

ID=15654978

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP15767796A Expired - Fee Related JP3956405B2 (ja) 1996-05-27 1996-05-28 熱電モジュールの製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3956405B2 (ja)

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10303472A (ja) * 1997-04-25 1998-11-13 Aisin Seiki Co Ltd 熱電変換素子及びその製造方法
JP2000354920A (ja) * 1999-06-14 2000-12-26 Toshiba Mach Co Ltd 工作機械構成部材の熱変位防止装置
JP2001007411A (ja) * 1999-06-25 2001-01-12 Matsushita Electric Works Ltd 熱電素子モジュール
JP2003318454A (ja) * 2002-04-24 2003-11-07 Kyocera Corp 熱電変換素子及び熱電モジュール
KR100426713B1 (ko) * 2000-12-15 2004-04-14 에스엠시 가부시키가이샤 비직사각형 열모듈 및 이것을 이용한 웨이퍼용 냉각장치
JP2009099864A (ja) * 2007-10-18 2009-05-07 Sumitomo Chemical Co Ltd 熱電変換素子、熱電変換素子を用いた熱電変換モジュール及び熱電変換モジュールの製造方法
NO20160298A1 (en) * 2016-02-22 2017-08-23 Tegma As Thermoelectric half-cell and method of production
JP2017525135A (ja) * 2014-06-02 2017-08-31 ハット テクノロジ アノニム シルケット 冷却アレイを有している集積回路
JP2017228610A (ja) * 2016-06-21 2017-12-28 パナソニックIpマネジメント株式会社 熱電変換器
JP2020074388A (ja) * 2019-10-10 2020-05-14 パナソニックIpマネジメント株式会社 熱電変換器

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5835991A (ja) * 1981-08-28 1983-03-02 Hitachi Ltd 高密度熱電素子
JPS59167077A (ja) * 1983-02-28 1984-09-20 エナ−ジ−・コンバ−シヨン・デバイセス・インコ−ポレ−テツド 熱電装置
JPH04299585A (ja) * 1991-03-27 1992-10-22 Nippon Ferrofluidics Kk 熱電変換モジュールの製造方法
JPH06275871A (ja) * 1993-03-19 1994-09-30 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 熱電発電モジュール
JPH0722657A (ja) * 1993-06-30 1995-01-24 Nippon Buroaa Kk サーモモジュール
WO1995011583A1 (en) * 1993-10-22 1995-04-27 Fritz Robert E An improved method of manufacture and resulting thermoelectric module
JPH0864875A (ja) * 1994-08-25 1996-03-08 Sharp Corp 熱電変換装置の製造方法
JPH0864876A (ja) * 1994-08-25 1996-03-08 Mitsui Mining & Smelting Co Ltd サーモモジュール
JPH0897472A (ja) * 1994-05-23 1996-04-12 Seiko Instr Inc 熱電変換素子とその製造方法

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5835991A (ja) * 1981-08-28 1983-03-02 Hitachi Ltd 高密度熱電素子
JPS59167077A (ja) * 1983-02-28 1984-09-20 エナ−ジ−・コンバ−シヨン・デバイセス・インコ−ポレ−テツド 熱電装置
JPH04299585A (ja) * 1991-03-27 1992-10-22 Nippon Ferrofluidics Kk 熱電変換モジュールの製造方法
JPH06275871A (ja) * 1993-03-19 1994-09-30 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 熱電発電モジュール
JPH0722657A (ja) * 1993-06-30 1995-01-24 Nippon Buroaa Kk サーモモジュール
WO1995011583A1 (en) * 1993-10-22 1995-04-27 Fritz Robert E An improved method of manufacture and resulting thermoelectric module
JPH09504140A (ja) * 1993-10-22 1997-04-22 フリッツ,ロバート・イー 熱電モジュールの改良された製造方法およびその結果として得られる熱電モジュール
JPH0897472A (ja) * 1994-05-23 1996-04-12 Seiko Instr Inc 熱電変換素子とその製造方法
JPH0864875A (ja) * 1994-08-25 1996-03-08 Sharp Corp 熱電変換装置の製造方法
JPH0864876A (ja) * 1994-08-25 1996-03-08 Mitsui Mining & Smelting Co Ltd サーモモジュール

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10303472A (ja) * 1997-04-25 1998-11-13 Aisin Seiki Co Ltd 熱電変換素子及びその製造方法
JP2000354920A (ja) * 1999-06-14 2000-12-26 Toshiba Mach Co Ltd 工作機械構成部材の熱変位防止装置
JP2001007411A (ja) * 1999-06-25 2001-01-12 Matsushita Electric Works Ltd 熱電素子モジュール
KR100426713B1 (ko) * 2000-12-15 2004-04-14 에스엠시 가부시키가이샤 비직사각형 열모듈 및 이것을 이용한 웨이퍼용 냉각장치
JP2003318454A (ja) * 2002-04-24 2003-11-07 Kyocera Corp 熱電変換素子及び熱電モジュール
JP2009099864A (ja) * 2007-10-18 2009-05-07 Sumitomo Chemical Co Ltd 熱電変換素子、熱電変換素子を用いた熱電変換モジュール及び熱電変換モジュールの製造方法
JP2017525135A (ja) * 2014-06-02 2017-08-31 ハット テクノロジ アノニム シルケット 冷却アレイを有している集積回路
NO20160298A1 (en) * 2016-02-22 2017-08-23 Tegma As Thermoelectric half-cell and method of production
NO341705B1 (en) * 2016-02-22 2018-01-02 Tegma As Thermoelectric half-cell and method of production
US11349058B2 (en) 2016-02-22 2022-05-31 Tegma As Thermoelectric half-cell and method of production
JP2017228610A (ja) * 2016-06-21 2017-12-28 パナソニックIpマネジメント株式会社 熱電変換器
US10600949B2 (en) 2016-06-21 2020-03-24 Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. Thermoelectric converter
JP2020074388A (ja) * 2019-10-10 2020-05-14 パナソニックIpマネジメント株式会社 熱電変換器

Also Published As

Publication number Publication date
JP3956405B2 (ja) 2007-08-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO1997045882A1 (fr) Procede de fabrication d'un module thermoelectrique
JP3982080B2 (ja) 熱電モジュールの製造法と熱電モジュール
EP0891630B1 (en) Laser diode array packaging
JP3787705B2 (ja) 半導体レーザダイオード装置およびその製造方法
JP5414644B2 (ja) 半導体装置
JPH09321356A (ja) 熱電モジュール及びその製造方法
JP2011049501A (ja) 熱電モジュール
JP3598660B2 (ja) 熱電ユニット
JPH04105572U (ja) レーザ装置
JP2000022224A (ja) 熱電素子及びその製造方法
JP2008098197A (ja) 熱電変換素子およびその製造方法
JP6010942B2 (ja) 半導体装置およびその製造方法
JP5413485B2 (ja) 回路基板の製造方法および回路基板
JPH09321352A (ja) 熱電モジュール
EP3550618B1 (en) Thermoelectric module
JPH09321354A (ja) 金属パターンプレート
JPH09321351A (ja) 電極プレート
US20040252735A1 (en) Semiconductor laser device
JPH1187787A (ja) 熱電モジュールの製造方法
JP2003017763A (ja) 熱電モジュール用基板およびその製造方法並びに熱電モジュール用基板を用いた熱電モジュール
JP5987634B2 (ja) パワー半導体モジュール
RU2757055C1 (ru) Двумерная матрица лазерных диодов и способ её сборки
JPH07321258A (ja) 半導体装置
JP3520607B2 (ja) ペルチェモジュール及びその製造方法
JPH05275795A (ja) 温度制御装置を具えた半導体レーザ装置とその製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20060322

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20060522

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20070417

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20070430

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100518

Year of fee payment: 3

S533 Written request for registration of change of name

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100518

Year of fee payment: 3

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100518

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110518

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120518

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120518

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130518

Year of fee payment: 6

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees