JPH09187912A - 印刷装置、ワーク、凹版及び画像表示装置の製造方法 - Google Patents

印刷装置、ワーク、凹版及び画像表示装置の製造方法

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JPH09187912A
JPH09187912A JP231696A JP231696A JPH09187912A JP H09187912 A JPH09187912 A JP H09187912A JP 231696 A JP231696 A JP 231696A JP 231696 A JP231696 A JP 231696A JP H09187912 A JPH09187912 A JP H09187912A
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detected
blanket cylinder
blanket
printing apparatus
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JP231696A
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English (en)
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Yoshihiro Yanagisawa
芳浩 柳沢
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Original Assignee
Canon Inc
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  • Cold Cathode And The Manufacture (AREA)
  • Inking, Control Or Cleaning Of Printing Machines (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 印刷装置の寸法精度が悪いと印刷精度が劣化
し、平面型表示装置の素子電極を作製する際に画素欠陥
やクロストークの要因となってしまう。 【解決手段】 凹版5及びワーク6の両側に相対位置被
検出手段である導電性加工部17a,17bをそれぞれ
設け、ブランケット胴11のブランケット15が装着さ
れている両側近傍に相対位置検出手段である静電容量モ
ニタプローブ18a,18bを設ける。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、印刷装置に関し、
特に、画像表示装置の素子基板の印刷を高精度に行う印
刷装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来より、オフセット印刷は、グラフィ
ックス印刷用として主に人間の視覚に感知されるパター
ンの印刷に多く用いられている。
【0003】また、近年、電子機器への応用として記録
用サーマルヘッドの電極や液晶表示装置のカラーフィル
ター等を作製するための技術開発がなされている。
【0004】図14は、従来の平台校正機型オフセット
印刷装置の一構成例を示す斜視図である。
【0005】本従来例は図14に示すように、インキ1
007を展開するインキローラ1004及びインキ練り
台1001と、凹版1005を固定する版定盤1002
と、被印刷物であるワーク1006を固定するワーク定
盤1003と、ブランケット1015が巻かれた円筒状
のブランケット胴1011と、ブランケット胴1011
の両端にそれぞれ設けられたピニオンギア1010a,
1010bと、ピニオンギア1010a,1010bの
それぞれと噛み合うように本体フレーム1008に設け
られたラックギア1009a,1009bと、ブランケ
ット胴1011の軸の両端を固定するキャリッジ101
2a,1012bと、本体フレーム1008上において
ブランケット胴1011を移動させるためにキャリッジ
1012a,1012bにそれぞれ接続されたサイドベ
アリング1013a,1013bと、本体フレーム10
08に設けられサイドベアリング1013a,1013
bが回転しながら移動するためのレール1014a,1
014bとから構成されており、インキ練り台100
1,版定盤1002及びワーク定盤1003は、本体フ
レーム1008上に一列に並べられ、この列の両側にラ
ックギア1009a,1009bが設けられている。
【0006】上記のように構成された平台校正機型オフ
セット印刷装置においては、本体フレーム1008下部
から延びたクランクアーム(不図示)のクランク動作に
よって、キャリッジ1012a,1012bが移動し、
ブランケット胴1011が、インキ練り台1001,凹
版1005及びワーク1006の上を順次回転慴動す
る。
【0007】以下に、上述した平台校正機型オフセット
印刷装置におけるオフセット印刷工程について説明す
る。
【0008】図15は、図14に示した平台校正機型オ
フセット印刷装置におけるオフセット印刷工程を示す図
である。
【0009】まず、インキ練り台1001上において、
インキローラ1004によってインキ1007が練ら
れ、凹版1005上に転移される。
【0010】次に、ブランケット胴1011が凹版10
05上に移動し、凹版1005上のインキがブランケッ
ト胴1011に巻かれたブランケット1015に転移す
る。ここで、ブランケット胴1011の移動方向前方に
はドクターブレード1016が設けられており、凹版1
005上の凹部に充填されているもの以外のインキがか
きとられる(図15(a))。
【0011】その後、ブランケット胴1011がワーク
1006上に移動し、凹版1005のパターンに従って
ブランケット1011に転移したインキがワーク100
6に転移する(図15(b))。
【0012】上記工程が繰返し行われることにより(図
15(c),(d))、印刷工程が終了する。
【0013】ここで、印刷工程に用いられるインキ10
07においては、作成するパターンの機能によって適宜
選択することができる。即ち、記録用サーマルヘッド等
の電極には主にAuレジネートペーストと呼ばれる有機
Au金属から成るインキが用られ、また、カラーフィル
ターであればR、G、B各色の顔料を分散したインキや
有機色素を含んだインキ等が用いられる。
【0014】また、従来より、平面型表示装置を実現す
る表示技術としては、液晶表示装置(LCD)、プラズ
マディスプレイ(PDP)、低速電子線蛍光表示管(V
FD)、マルチ電子源フラットCRT等の平面型表示装
置技術がある。
【0015】上述した表示技術の一例として、電子源を
用いた平面型表示装置について説明する。
【0016】従来より、簡単な構造で電子の放出が得ら
れる素子として、M.I.Elinson、Radio
Eng. Electron Phys.、10、
(1965)等によって開示されている表面伝導形電子
放出素子が知られている。
【0017】これは、基板状に形成された小面積の薄膜
に、膜面に平行に電流を流すことにより、電子放出が生
ずる現象を利用するものである。
【0018】この表面伝導形電子放出素子としては、前
記エリンソン等によるSnO2薄膜を用いたもの、Au
薄膜によるもの[G.Dittmer:”Thin S
olid Films”、9、317(1972)]、
In203/SnO2薄膜によるもの[M.Hartw
ell and C.G.Fonstad:”IEEE
Trans.ED Conf.”、519(197
5)]、カーボン薄膜によるもの[荒木久 他:真空、
第26巻、第1号、22頁(1983)]等が報告され
ている。
【0019】上記の表面伝導型電子放出素子の典型的な
素子構成としてM.ハートウェルの素子構成について説
明する。
【0020】図16は、表面伝導型電子放出素子の一構
成例を示す図である。
【0021】図16に示した素子においては、絶縁性基
板401上に電子放出部形成のための薄膜402〜40
4が形成され、薄膜404上に電子放出部405が形成
されている。
【0022】従来、図16に示したような表面伝導型電
子放出素子においては、電子放出を行う前に予め薄膜4
02〜404に対して通電フォーミングと呼ばれる通電
処理が行われ、電子放出部405が形成されるのが一般
的であった。ここで、フォーミングとは、薄膜402,
403の両端に電圧を印加通電し、薄膜404を局所的
に破壊、変形もしくは変質せしめ、電気的に高抵抗な状
態にした電子放出部405を形成することである。尚、
電子放出部405においては、薄膜404の一部に亀裂
が発生しその亀裂付近から電子放出が行われる場合もあ
る。
【0023】また、本発明者等は、USP5,066,
883において、素子電極間に電子を放出せしめる微粒
子を分散配置した新規な表面伝導形電子放出素子を技術
開示した。この電子放出素子は図16に示した従来の表
面伝導形電子放出素子に対し、電子放出位置を精密に制
御でき、より高精密に電子放出素子を配列する事ができ
る。
【0024】図17は、表面伝導型電子放出素子の他の
構成例を示す図である。
【0025】図17に示した素子においては、絶縁性基
板501上に金属膜よりなる素子電極502及び503
が合い対向して所定の間隔を有して配設されており、素
子電極502及び503に渡って微粒子からなる薄膜5
04が配置され、さらに、薄膜504内には導電性微粒
子からなる電子放出部505が設けられている。
【0026】また、素子電極502と素子電極503と
の間隔においては、0.01〜100μm、電子放出部
505のシート抵抗においては、1×103〜1×109
Ω/□が適当である。
【0027】以上説明した表面伝導形電子放出素子を電
子放出素子として用いる際には、電子ビームを飛翔させ
るために素子を真空容器内に配置する必要がある。素子
を真空容器内に配置し、素子の略垂直上にフェースプレ
ートを設けて電子放出装置とし、電極間に電圧を印加し
て、電子放出部から得られた電子線を蛍光体に照射する
ことによって蛍光体を発光させ、発光素子や平面形表示
装置として用いることができる。
【0028】以上の平面型表示装置の素子電極において
は、微粒子電子放出材からなる薄膜とのステップカバレ
ッジを考慮して、より薄い膜厚の素子電極が望まれる。
また、平面型表示装置の大画面化に対応するために、大
面積基板対応のプロセス導入が必要である。このため、
より簡易な方法で精密かつ大面積化を実現する薄膜素子
電極の製造方法としてオフセット印刷機を用いた方法が
ある。
【0029】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図14
に示したような従来の平台校正機型オフセット印刷装置
を用いて平面型表示装置の素子電極を製造するには以下
の様な問題点がある。
【0030】ブランケット胴1011の移動において
は、ブランケット胴1011の軸の両端を固定している
キャリッジ1012a,1012bに接続されたサイド
ベアリング1013a,1013bが本体フレーム10
08に設けられたレール1014a,1014bを沿う
ように移動することにより行われるため、印刷時におけ
るブランケット胴1011の直進性は、印刷装置本体の
寸法精度の影響を受ける。
【0031】ここで、印刷に高い精度が要求される印刷
装置においては、印刷装置本体の寸法精度を向上させる
ため、一般に本体フレーム1008が鋳物により作製さ
れているが、鋳物により作製された本体フレーム100
8においては、自重により部分的に沈み込みが生じてし
まい、版定盤1002あるいはワーク定盤1003の水
平度の狂いや印刷装置構成品の寸法の狂いが発生しやす
くなってしまう。
【0032】上記のような水平度及び寸法の狂いは、印
刷時においてブランケット胴1011の軸方向のドリフ
トの原因となり、係るドリフトを伴った印刷は、結果と
して印刷パターンの位置精度が悪化してしまう。さら
に、印刷パターンの位置精度の悪化は、平面型表示装置
の素子電極を作製する際、取り出し配線や微粒子電子放
出材からなる薄膜とのアライメントを悪くし、画素欠陥
やクロストークの一因となる虞れがある。
【0033】上述したアライメントの悪化においては、
設計マージンを大きくすることによって逃れることがで
きないほど高精度な画素を形成する際、特に問題であっ
た。
【0034】本発明は、上述したような従来の技術が有
する問題点に鑑みてなされたものであって、オフセット
印刷の印刷精度を向上させることができる印刷装置を提
供することを目的とする。
【0035】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、ワークを固定するためのワーク定盤と、凹
版を固定するための版定盤と、前記ワーク及び前記凹版
上に付着させるインキが練られるインキ練り台と、前記
ワーク定盤、版定盤及びインキ練り台上を回転移動する
ブランケット胴と、該ブランケット胴の周囲に巻かれ、
前記ブランケットの回転移動により前記インキ練り台上
のインキを前記ワーク及び前記版定盤上に付着させるブ
ランケットとを有してなる印刷装置において、前記ブラ
ンケット胴は、前記ブランケットの両側に前記ワーク及
び前記凹版との相対位置を検出するために軸方向に巻か
れた相対位置検出手段を具備し、前記相対位置検出手段
により検出された相対位置に基づいて前記ブランケット
胴の軸方向の向きを補正するドリフト補正手段を有する
ことを特徴とする。
【0036】また、前記印刷装置で印刷されるワークで
あって、前記ブランケット胴が移動する際に前記相対位
置検出手段と接する位置に前記ブランケットとの相対位
置が検出されるための相対位置被検出手段を具備するこ
とを特徴とする。
【0037】また、前記印刷装置で使用される凹版であ
って、前記ブランケット胴が移動する際に前記相対位置
検出手段と接する位置に前記ブランケットとの相対位置
が検出されるための相対位置被検出手段を具備すること
を特徴とする。
【0038】また、前記相対位置検出手段は、静電容量
モニタプローブであることを特徴とする。
【0039】また、前記相対位置被検出手段は、導電性
加工部であることを特徴とする。
【0040】また、前記相対位置検出手段は、ホール素
子であることを特徴とする。
【0041】また、前記相対位置被検出手段は、磁性加
工部であることを特徴とする。
【0042】また、前記相対位置検出手段は、凸部であ
ることを特徴とする。
【0043】また、前記相対位置被検出手段は、凹部で
あることを特徴とする。
【0044】また、前記ドリフト補正手段は、前記ブラ
ンケット胴を移動させるサイドベアリングであることを
特徴とする。
【0045】また、前記印刷装置を用いた画像形成装置
の製造方法であって、前記画像形成装置を構成する素子
基板上の前記相対位置検出手段に対向する位置に前記相
対位置検出手段により検出される被検出手段を設け、前
記素子基板を前記ワーク定盤上に装着し、前記ブランケ
ット胴を前記インキ練り台及び前記素子基板上において
回転移動させることにより前記素子基板上に印刷を施す
ことを特徴とする。
【0046】(作用)上記のように構成された本発明に
おいては、ブランケット胴がワーク及び凹版上を移動す
ることにより印刷が行われる際に、ブランケット胴のブ
ランケットの両側に巻かれた相対位置検出手段によっ
て、ワーク及び凹版に設けられた相対位置被検出手段が
検出され、検出結果に基づいてドリフト補正手段により
ブランケット胴の向きが制御され、ブランケット胴の軸
方向のドリフトの補正が行われる。
【0047】
【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施の形態につ
いて図面を参照して説明する。
【0048】まず、本発明の印刷装置により作製される
基板の一形態について説明する。
【0049】本発明の印刷装置によるオフセット印刷
は、一般には紙上にインキを転写するグラフィック印刷
に用いられるが、オフセット印刷は、厚膜電子回路の形
成に用いられるスクリーン印刷に比べてインキの転写膜
厚を薄くすることができるという特徴がある。
【0050】ここで、高精細印刷を実施するためには、
印刷原版の精細化、印刷工程におけるインキ転写パター
ンの維持等の実現が必要であるが、転写するインキの厚
みが薄い程、解像度を向上させることができる。これ
は、インキのパターン幅に対する厚さのアスペクト比が
小さい程、転写後のインキのダレ、にじみによるパター
ン幅の太りを小さくできるためである。従って、転写膜
厚を薄くすることができるオフセット印刷は高精細印刷
のためのパターン太りに対する制御の可能性を有してい
る。
【0051】図11は、表面伝導型電子放出素子を用い
た平面表示装置の一構成例を示す図であり、(a)はフ
ェースプレートを示す断面図、(b)は表面伝導型電子
放出素子を示す図である。
【0052】本形態におけるフェースプレートは図11
(a)に示すように、ガラス基板109と、ガラス基板
109上に積層された蛍光体110及びメタルバック1
11とから構成されている。
【0053】一方、本形態における表面伝導型放出素子
は図11(b)に示すように、絶縁体から成る基板10
1と、電気的接続を得るための素子電極102,103
と、分散配置された微粒子電子放出材からなる薄膜10
4と、素子電極102,103と各々接続される印刷配
線105,106とから構成されており、薄膜104の
中央部には、電子放出部112が形成され、また、電子
放出部112上に開口部を有するように、素子電極10
2,103が複数接続された配線に対して直行したグリ
ッド電極113が設けられている。
【0054】ここで、素子電極102,103の電極間
隔は数μm〜数百μm、膜厚は数百Å〜数千Å、また、
薄膜104の膜厚は数十Å〜数千Åの範囲が好ましく、
適宜設定することができる。さらに、印刷配線105,
106の膜厚は、通常、印刷ペーストインキの焼成によ
って得られる厚みで良く、数μm〜数十μmの範囲であ
る。
【0055】上述した表面伝導型電子放出素子基板及び
フェースプレートにより平面型表示装置を作製するため
には、まず、表面伝導型電子放出素子基板を真空容器内
に配置し、素子基板の略垂直上にフェイスプレートを設
ける。
【0056】次に、素子電極102,103間に電圧を
印加してメタルバック111を+側電位として電圧を加
え、素子電極102,103間の薄膜104において電
子放出部112を形成する。
【0057】その後、電子放出部112から蛍光体11
0に電子が照射されることによって蛍光体110が発光
し、発光素子や平面型表示装置とすることができる。
【0058】複数の電子放出素子を用いる場合は、素子
電極102,103が複数接続された配線に対して直行
して電子放出部112上に開口部を有するグリッド電極
113を配置し、電子放出部112を配線とグリッド電
極113との交点としたマトリックスが構成される。
【0059】そして、グリッド電極113、印刷配線1
05,106及び電子放出部112に電圧を印加するこ
とによって選択的に電子放出部112から電子が取り出
され蛍光体110に照射され、任意の蛍光体110が発
光して画像を得ることができる。
【0060】以下に、図11に示した表面伝導型電子放
出素子の製造工程について説明する。
【0061】図12は、図11に示した表面伝導型電子
放出素子の製造工程を説明するための図である。
【0062】まず、洗浄した基板101上に、オフセッ
ト印刷法により有機金属から成るレジネートペーストを
印刷・焼成して素子電極102,103を形成する(図
12(a))。
【0063】次に、スクリーン印刷法により導電性ペー
ストインキを印刷し、焼成することによって印刷配線1
05,106を形成する(図12(b))。この際、印
刷配線105,106は、素子電極102,103上に
積層され、電気的に接続されている。
【0064】その後、素子電極105,106の間に電
子放出材から成る薄膜104をリバースエッチング法に
よって形成する(図12(c))。なお、電子放出材料
の成膜は、有機金属溶液の塗布焼成や、真空蒸着法、ス
パッタ法、化学的気相堆積法、電子放出材から成る超微
粒子の分散塗布焼成等によって行われる。
【0065】ここで、基板101としては、石英ガラ
ス、Na等の不純物含有量が減少したガラス、青板ガラ
ス、青板ガラスにスパッタ法等により形成したSiO2
を積層したガラス基板等、及びアルミナ等のセラミック
等が挙げられる。
【0066】また、対向する素子電極105,106の
材料としては導電性を有するものであればどのような物
であっても構わないが、例えば、Ni、Cr、Au、M
o、W、Pt、Ti、Al、Cu、Pd等の金属あるい
は合金、及びPd、Ag、Au、RuO2、Pd−Ag
等の半導体導体材料、及びポリシリコン等の半導体材
料、及びIn203−SnO2等の透明導電対等があげ
られる。
【0067】さらに、電子放出部112を含む薄膜10
4を構成する材料の具体例を挙げるならば、Pt、R
u、Ag、Au、Ti、In、Cu、Cr、Fe、Z
n、Sn、Ta、W、Pb等の金属、PdO、SnO
2、In203、PbO、Sb203等の酸化物、Hf
B2,ZrB2,LaB6、CeB6、YB4、GdB
4等のホウ化物、TiC、ZrC、HfC、TaC、S
iC,WC等の炭化物、TiN,ZrN,HfN等の窒
化物、Si、Ge等の半導体、カーボン、AgMg、N
iCu、Pb、Sn等があり、微粒子膜からなる。な
お、ここで述べる微粒子膜とは、複数の微粒子が集合し
た膜であり、その微細構造として、微粒子が個々に分散
配置した状態のみならず、微粒子が互いに隣接、あるい
は重なり合った状態(島状も含む)の膜を指す。
【0068】以下に、図11に示したフェースプレート
の製造工程について説明する。
【0069】図13は、図11に示したフェースプレー
トの製造工程を説明するための図である。
【0070】まず、良く洗浄したガラス基板109上
へ、蛍光体にPVA(ポリビニールアルコール)等の樹
脂とこれを感光化させる感光剤を加えた蛍光体スラリー
114をベタ状に塗布し、乾燥させる(図13
(a))。ここで、塗布法においては、スピンナー、デ
ィッピング、スプレーコート、ロールコート、スクリー
ン印刷、オフセット印刷等の方法が用いられる。
【0071】次に、塗工された蛍光体スラリー114に
フォトマスク(不図示)を用いて必要部分にのみ光を照
射露光し、その後、現像して不要部分の蛍光体スラリー
114を取り除き焼成する。これにより感光性樹脂は酸
化焼失し、パターニングされた蛍光体110が形成され
る(図13(b))。
【0072】次に、表示装置をカラー化するために、赤
(R)、緑(G)、青(B)の3原色カラー蛍光体が必
要な場合は、上述した図13(a)(b)における工程
を各色について繰り返し、ガラス基板109上に蛍光体
を塗り分けるようにパターニングする。
【0073】次に、蛍光体110を溶液中の水に浸漬さ
せ、水面にクリアーラッカー等の樹脂薄膜117を展開
させる。その後、溶液中の水を拭き取り、展開された樹
脂薄膜117を蛍光体110上に展開配置した後、乾燥
させる(図13(c))。この行程をフィルミングと呼
ぶ。
【0074】次に、フィルミングが施された蛍光体11
0の上に、真空堆積法によってAl等の金属薄膜を数百
Åの厚さで成膜し、メタルバック111を形成する(図
13(d))。
【0075】次に、樹脂薄膜117を焼失させ、フェー
スプレート上から取り除く。この際、メタルバック11
1は、平坦化されて、切断の無い連続した膜とした蛍光
体110の上に配置される(図13(e))。
【0076】上記工程において作製された平面表示装置
においては、電子放出素子、蛍光体をマルチに配列させ
た場合、その大きさは画像表示装置として必要とされる
画素数と画面の大きさによって決定される。例えば、画
面長さ40cmに対し、560本の解像度を持たせよう
とすると1画素当たり約720μmピッチとなる。更に
これをカラー化するには1絵素をR、G、Bの3原色分
割する必要があり、単純に3分割すれば、ピッチは24
0μmとなる。
【0077】ここで、電子放出部112(図11参照)
と対応する蛍光体110(図11参照)との位置は1対
1で配置されることが望ましい。上述した平面表示装置
においては、電子放出部112(図11参照)はフォト
リソグラフィー法によって得られた素子電極102,1
03によって精密に基板101(図11参照)上に配置
される。また、電子放出部112(図11参照)に対応
する蛍光体110(図11参照)も、やはりフォトリソ
グラフィー法によって精密にガラス基板109(図11
参照)上に配置される。
【0078】一般に、フォトリソグラフィー法によるパ
ターニングの位置精度は高く、マスク露光装置の仕様に
よって精度は変わるものの、40cm角内でパターン位
置精度を4μm以内におさえることができる。従って、
電子放出部112(図11参照)と蛍光体110(図1
1参照)中心位置とは各部品精度で4μm以内の位置精
度誤差内に設定することができる。もし、この位置誤差
が大きな場合、例えば、画素ピッチ約240μmに対し
て40μmのズレが発生すると、画素ピッチに対して約
6分の1の寸法範囲で電子放出部112(図11参照)
から放出された電子が隣接した蛍光体110(図11参
照)に照射され、蛍光輝点のクロストークが発生するこ
とになる。
【0079】なお、上記の表示装置を用いて長さ40c
mのアレイ状発光素子を作製し、感光性ドラム上に配置
することにより、電子写真記録装置を構成することがで
きた。さらには、電子写真記録装置にアレイ状発光素子
を作製した場合においても同様の効果を得ることができ
る。
【0080】(第1の実施の形態)図1は、本発明の印
刷装置の実施の一形態を示す斜視図である。
【0081】本形態は図1に示すように、インキ7を展
開するインキローラ4及びインキ練り台1と、凹版5を
固定する版定盤2と、被印刷物であるワーク6を固定す
るワーク定盤3と、ブランケット15が巻かれた円筒状
のブランケット胴11と、ブランケット胴11の両端に
それぞれ設けられたピニオンギア10a,10bと、ピ
ニオンギア10a,10bのそれぞれと噛み合うように
本体フレーム8に設けられたラックギア9a,9bと、
ブランケット胴11の軸の両端を固定するキャリッジ1
2a,12bと、キャリッジ12a,12bにそれぞれ
固着され、ブランケット胴11の向きを調節するための
ブランケット胴修正機構16a,16bと、本体フレー
ム8上においてブランケット胴11を移動させるために
ブランケット胴修正機構16a,16bにそれぞれ接続
されたサイドベアリング13a,13bと、本体フレー
ム8に設けられサイドベアリング13a,13bが回転
しながら移動するためのレール14a,14bとから構
成されており、インキ練り台1,版定盤2及びワーク定
盤3においては、本体フレーム8上に一列に並べられ、
この列の両側にラックギア9a,9bが設けられてい
る。また、凹版5及びワーク6上のブランケット胴11
の移動方向とは垂直方向の両側には相対位置被検出手段
である導電性加工部17a,17bがそれぞれ設けら
れ、ブランケット胴11のブランケット15が装着され
ている両側にはブランケット胴11が移動する際に導電
性加工部17a,17bとそれぞれ接するように相対位
置検出手段である静電容量モニタプローブ18a,18
bが設けられている。
【0082】上記のように構成された印刷装置において
は、本体フレーム8下部から延びたクランクアーム(不
図示)のクランク動作によって、キャリッジ12a,1
2bが移動し、ブランケット胴11が、インキ練り台
1,凹版5及びワーク6の上を順次回転慴動する。
【0083】図2は、図1に示した印刷装置における静
電容量モニタプローブ18a,18bの構成について説
明するための図である。
【0084】静電容量モニタプローブ18a,18bは
図2に示すように、先端(先端大きさ0.1mm角サイ
ズ)がブランケット胴11の周囲に沿って1mmピッチ
で並べられ、導電性加工部17a,17bのそれぞれに
対向して形成されている。また、各静電容量モニタプロ
ーブ18a,18bに対しては信号を取り出すための配
線(不図示)が接続されている。
【0085】図3は、図1に示した静電性加工部17
a,17bの構成について説明するための図である。
【0086】図3に示すように、静電性加工部17a,
17bのそれぞれには、静電容量モニタプローブ18
a,18b内のプローブにおいて、検出される領域とな
る静電容量モニタ部19a,19bが設けられており、
静電容量モニタプローブ18a,18bが導電性加工部
17a,17bに接することにより、静電容量モニタプ
ローブ18a,18b内のプローブにおいて、最近接の
静電容量モニタ部19a,19bが検出される。なお、
静電容量モニタ部19a,19bは、導電性加工部17
a,17bのブランケット15が装着された側とは反対
側の端に設けられている。
【0087】図4は、図2に示した静電容量モニタプロ
ーブにおいて検出される静電容量の時間変化を示した図
である。
【0088】図4に示すように、静電容量モニタプロー
ブ18a,18b内のプローブにおいて静電容量モニタ
部19a,19bがそれぞれ検出された場合に静電容量
が大きくなり(図中A部)、検出されない場合に静電容
量が小さくなる(図中B点)。
【0089】以下に、上記のように構成された印刷装置
により印刷を行った場合について述べる。
【0090】図5は、図1に示した印刷装置のブランケ
ット胴の軸方向のドリフトの修正機構を示すブロック図
である。
【0091】まず、センサ部である静電容量モニタプロ
ーブ18a,18bにおいて検出された信号が、マイコ
ンに送られる。
【0092】すると、マイコン内において、送られてき
た信号に基づいてブランケット胴11の向きに対する修
正すべき量が算出され、駆動部であるブランケット胴修
正機構16a,16bに対して出力される。
【0093】その後、ブランケット胴修正機構16a,
16bにおいて、マイコンから出力された値に基づいて
ブランケット胴11が適当量作動する。
【0094】以下に、上述した一連の動作について図1
〜図4を参照して詳細に説明する。
【0095】ブランケット胴11がラックギア9a,9
bとピニオンギア10a,10bとの機構によって回転
移動すると、静電容量モニタプローブ18a,18bに
おいて、導電性加工部17a,17bから最近接の静電
容量モニタ部19a,19bが順次検出される。
【0096】それにより、ブランケット胴15の回転に
伴って静電容量モニタプローブ18a,18bから出力
される信号が図4に示すようになる。
【0097】最近接の静電容量モニタプローブ18a,
18bの選択の操作は図4に示すB部のような極小値の
検出後に隣り合う静電モニタプローブ18a,18bに
静電容量のモニタを切り替えることにより容易に達成で
きる。
【0098】静電容量モニタ部19a,19bは、導電
性加工部17a,17bと図3に示すような位置関係に
あるため、例えばブランケット胴11の進行方向が10
μm左に振れた場合、静電容量モニタプローブ18bか
らの出力は静電容量モニタプローブ18aからの出力に
対して1%減少する。
【0099】上記出力の変位が、ブランケット胴修正機
構16a,16bにフィードバックされ、ブランケット
胴11の進行方向の補正が行われる。
【0100】上記の場合、ブランケット胴修正機構16
bによりサイドベアリング13bが印刷装置本体に押し
付けられるように移動し、ブランケット胴修正機構16
aによりサイドベアリング13aが印刷装置本体から離
れる方向に移動する。
【0101】係る動作は、キャリッジ12a,12bを
介してブランケット胴11の軸方向のドリフトの修正の
動作となる。
【0102】また、ブランケット胴11の軸方向のドリ
フトを補正する手段としては電磁力を利用したアクチュ
ーターを駆動させたり、あるいはガス圧によってサイド
ベアリングを押し付ける力を本体の左右で変えることに
よる手段がある。
【0103】以上説明したように本発明によれば、導電
性加工部17a,17bと静電容量モニタプローブ18
a,18bとによってブランケット胴11の軸方向のド
リフトが検知され、さらにブランケット胴修正機構16
a,16bによりサイドベアリング9a,9bが移動
し、キャリッジ12a,12bの進行方向が補正され
る。なお、本形態においては静電容量モニタプローブ1
8a,18bと導電性加工部17a,17bと間隔は
0.1mmに設定した。
【0104】以下に、上述した印刷装置を用いて作製さ
れた画像形成装置について説明する。
【0105】図6は、本発明の印刷装置を用いて作製さ
れた画像形成装置の素子基板の製造工程を示した上面図
である。
【0106】図6に示した画像形成装置は、青板ガラス
基板(不図示)上に対して、電子放出素子を3個×3
個、計9個のマトリックス状に配線と共に形成した例で
あり、下層印刷配線201と、下層印刷配線201と並
列に、下層印刷配線201と同一工程での印刷金属ペー
ストの焼成によって形成された印刷パッド202と、下
層印刷配線201に対して直交し、印刷ガラスペースト
の焼成によって形成された短冊状の絶縁層203と、印
刷パッド202と絶縁層203との交差中央部に設けら
れた開口部となるコンタクトホール204と、絶縁層2
03上に短冊状に印刷金属ペーストの焼成によって形成
され、コンタクトホール204によって印刷パッド20
2と電気的に接続された上層印刷配線205と、レジネ
ートペーストインキのオフセット印刷、焼成によって形
成され、下層印刷配線201と印刷パッド202とに各
々接続された素子電極207,208と、素子電極20
7,208及び電極間隔に配置形成され、電子放出材で
あるPd微粒子から成る薄膜209と、電子放出部とな
る電子放出部位210とから構成されており、素子電極
207,208は相互の隣接部で電極間隔30μm電極
幅200μmの形状を構成している。
【0107】以下に、上記のように構成された素子基板
の製造方法について説明する。
【0108】まず、洗浄した青板ガラスから成る基板上
にレジネートペーストインキのオフセット印刷、焼成に
よって厚さ1000ÅのAu素子電極207,208を
パターン形成した(図6(a))。
【0109】次に、Agペーストインキをスクリーン印
刷し、焼成して幅300μm、厚さ7μmの下層印刷配
線201及び印刷パッド202を形成した。この時、下
層印刷配線201及び印刷パッド202は素子電極20
7,208と各々電気的に接続される(図6(b))。
【0110】次に、ガラスペーストインキをスクリーン
印刷し、焼成して幅500μm、厚さ約20μmの絶縁
層203と、開口寸法100μm角のコンタクトホール
204とを形成した(図6(c))。
【0111】次に、絶縁層203上にAgペーストイン
キをスクリーン印刷し、焼成して幅300μm、厚さ1
0μmの上層印刷配線205を形成した。この時コンタ
クトホール204を通じて上層印刷配線205と印刷パ
ッド202とは電気的に導通する(図6(d))。
【0112】上述した工程においては、下層印刷配線2
01及び上層印刷配線203の印刷焼成前に素子電極2
07,208が作製されるが、素子電極207,208
においては、印刷焼成工程を一度経ているため、同様な
印刷配線焼成では熱ダメージは発生しなかった。また、
下層印刷配線201と印刷パッド202とは、基板上の
同一形成層であり、素子電極207,208とのコンタ
クトにおいては素子電極207,208が段差の無い基
板上で形成され、下層印刷配線201及び上層印刷配線
203と印刷パッド202とを接続するために途中で断
線することは無かった。
【0113】次に、スパッタ法によるCr成膜及びホト
リソエッチング法によって、薄膜209を配置しない部
分にマスクとなるCrパターンを作製し、その後、有機
パラジュウム溶液(奥野製薬(株)キャタペーストCC
P4230)を塗布、焼成してPd微粒子膜を得る。更
に、Crパターンのリバースエッチングにより薄膜20
9を素子電極207,208と電極間隔部にパターニン
グ形成し、電子放出部が形成される(図6(e))。
【0114】上記工程において作製された素子基板にお
いては、本発明の印刷装置により高精度に印刷されてい
たため、フォトリソグラフィー法で作製された薄膜20
9を、素子電極207,208の所定の部位に形成する
ことができた。
【0115】上記工程により作製された素子基板を、4
0cm角基板上に350個×350個の電子放出素子を
マトリックス状に配置してR、G、Bに対応する各蛍光
体を有するフェイスプレートと共に真空外囲器内に配置
した。
【0116】なお、本形態において、インキは有機金属
から成るAuレジネートペーストを用いている。ガラス
基板上に転移されたインキは約70℃の乾燥と約580
℃の焼成によってAuからなる素子電極として利用でき
る。印刷乾燥後のガラス基板上のインキ転写厚さは約2
μm程度と小さく、印刷電極パターン幅の太りは非常に
小さかった。さらに、焼成後のAu電極厚みは約100
0Åと薄く形成することができた。ここで、素子電極の
パターン形状としては電子放出材を配置する素子電極間
隔の寸法を約30μmに設定した。
【0117】この後、電子放出素子の通電処理を行い、
素子基板の上層印刷配線には14Vの任意の電圧信号
を、下層印刷配線には0Vの電位を順次印加、走査し、
それ以外の下層印刷配線は7Vの電位とした。そして、
フェースプレートのメタルバックに3kVのアノード電
圧を印加したところ、任意の画像を表示することができ
た。この時の電子放出素子と蛍光体の位置ズレによって
生ずる蛍光輝点のクロストークは無かった。
【0118】また、導電性加工部と静電容量モニタプロ
ーブとをお互い逆の位置に設けてもよい。
【0119】図7は、図2に示した導電性加工部と静電
モニタプローブとを逆に設けた構成を示す図である。
【0120】(第2の実施の形態)第2の実施の形態
は、第1の実施の形態において示したものに対して、静
電容量モニタプローブの代わりにホール素子が設けら
れ、また、導電性加工部の代わりに磁性加工部が設けら
れたものである。その他の構成については、第1の実施
の形態において示したものと同様である。また、静電容
量モニタ部の代わりに磁力モニタ部が設けられている。
【0121】ホール素子の先端径、ピッチは、第1の実
施の形態において示した静電容量モニタプローブと同様
である。また、磁性加工部は、第1の実施の形態におい
て示した導電性加工部と同様に幅1mmで版定盤及びワ
ーク定盤に形成した。
【0122】磁性加工部においては、例えば磁化したテ
ープを張ることにより容易に形成可能である。また、ホ
ール素子には信号が取り出されるためのケーブルが接続
されている。
【0123】図8は、ホール素子において検出される磁
力の時間変化を示した図である。
【0124】図8に示すように、ホール素子において磁
力モニタ部がそれぞれ検出された場合に磁力が大きくな
り(図中A部)、検出されない場合に磁力が小さくなる
(図中B点)。
【0125】本形態の印刷装置を用いて精密印刷を行っ
た。この際、磁性加工部の磁力は1kGであり、ホール
素子に流した電流は10mAに設定した。
【0126】その結果、第1の実施の形態において示し
たものと同様にブランケット胴のドリフトの修正が可能
であった。
【0127】係る方法によって印刷された素子電極は、
第1の実施の形態において示したものと同様に良好な位
置精度を達成し、更にこの基板を用いて作成された平面
型表示素子は第1の実施の形態において示したものと同
様に良好な特性を示した。
【0128】(第3の実施の形態)図9及び図10は、
本発明の印刷装置の第3の実施の形態における特徴を説
明するための図である。
【0129】第3の実施の形態は、第1の実施の形態に
おいて示したものに対して、静電容量モニタプローブの
代わりに凸部20が設けられ、また、導電性加工部の代
わりに凹部21が設けられたものである。その他の構成
については、第1の実施の形態において示したものと同
様である。また、凸部は図10に示すように、ブランケ
ット胴の進行方向に対してテーパー部22が設けられて
いる。
【0130】本形態における凹部は開口幅1.2mm、
深さ1mm、凸部は開口幅1mm、高さ1mmで形成さ
れている。
【0131】凸部20及び凹部21の加工は、ブランケ
ット胴に対しては通常の機械加工によって容易に形成で
き、凹版及びワークに対しては通常のエッチングによっ
て容易に作成できる。
【0132】凸部20と凹部21とが合わさる際は図9
に示すように、凹部21の側壁に凸部20の先端角が突
き当たり、ブランケット胴と凹版及びワークとの相対位
置が精度良く保たれたまま印刷が行われる。
【0133】また、ブランケットが上昇することによっ
て凸部20と凹部21とのはめ合いが外れた場合におい
ても、凸部21にテーパー部22が設けられているた
め、再びブランケット胴が下降した際に容易に凸部20
と凹部21とのはめ合いの再現がなされる。
【0134】以上説明したように、本形態によれば、凸
部20と凹部21とのはめ合いによってブランケット軸
方向のドリフトの検知と補正が行われる。
【0135】係る方法によって印刷された素子電極は、
第1の実施の形態において示したものと同様に良好な位
置精度を達成し、更にこの基板を用いて作成された平面
型表示素子は第1の実施の形態において示したものと同
様に良好な特性を示した。
【0136】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、ブランケ
ット胴のブランケットの両側にワーク及び凹版のブラン
ケットに対する相対位置を検出する相対位置検出手段を
設け、また、ワーク及び凹版にブランケットに対する相
対位置が検出される相対位置被検出手段を設けたため、
ブランケット胴の移動における向きのずれが検出され、
ブランケット胴の軸方向のドリフトの補正が行われる。
【0137】それにより、オフセット印刷の印刷寸法精
度を向上させることができる。
【0138】また、本発明の印刷装置を画像形成装置の
製造に用いることで良好な特性を有する画像形成装置を
製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の印刷装置の実施の一形態を示す斜視図
である。
【図2】図1に示した印刷装置における静電容量モニタ
プローブの構成について説明するための図である。
【図3】図1に示した静電性加工部の構成について説明
するための図である。
【図4】図2に示した静電容量モニタプローブにおいて
検出される静電容量の時間変化を示した図である。
【図5】図1に示した印刷装置のブランケット胴の軸方
向のドリフトの修正機構を示すブロック図である。
【図6】本発明の印刷装置を用いて作製された画像形成
装置の素子基板の製造工程を示した上面図である。
【図7】図2に示した導電性加工部と静電モニタプロー
ブとを逆に設けた構成を示す図である。
【図8】ホール素子において検出される磁力の時間変化
を示した図である。
【図9】本発明の印刷装置の第3の実施の形態における
特徴を説明するための図である。
【図10】本発明の印刷装置の第3の実施の形態におけ
る特徴を説明するための図である。
【図11】表面伝導型電子放出素子を用いた平面表示装
置の一構成例を示す図であり、(a)はフェースプレー
トを示す断面図、(b)は表面伝導型電子放出素子を示
す図である。
【図12】図11に示した表面伝導型電子放出素子の製
造工程を説明するための図である。
【図13】図11に示したフェースプレートの製造工程
を説明するための図である。
【図14】従来の平台校正機型オフセット印刷装置の一
構成例を示す斜視図である。
【図15】図14に示した平台校正機型オフセット印刷
装置におけるオフセット印刷工程を示す図である。
【図16】表面伝導型電子放出素子の一構成例を示す図
である。
【図17】表面伝導型電子放出素子の他の構成例を示す
図である。
【符号の説明】
1 インキ練り台 2 版定盤 3 ワーク定盤 4 インキローラ 5 凹版 6 ワーク 7 インキ 8 フレーム 9a,9b ラックギア 10a,10b ピニオンギア 11 ブランケット胴 12a,12b キャリッジ 13a,13b サイドベアリング 14a,14b レール 15 ブランケット 16a,16b ブランケット胴修正機構 17a,17b 導電性加工部 18a,18b 静電容量モニタプローブ 19a,19b 静電容量モニタ部 20a,20b 凸部 21a,21b 凹部 22a,22b テーパー部 101 基板 102,103,207,208 素子電極 104,209 薄膜 105,106 印刷配線 109 ガラス基板 110 蛍光体 111 メタルバック 112 電子放出部 113 グリッド電極 114 蛍光体スラリー 117 樹脂薄膜 201 下印刷配線 202 印刷パッド 203 絶縁層 204 コンタクトホール 205 上層印刷配線 210 電子放出部位

Claims (14)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ワークを固定するためのワーク定盤と、 凹版を固定するための版定盤と、 前記ワーク及び前記凹版上に付着させるインキが練られ
    るインキ練り台と、 前記ワーク定盤、版定盤及びインキ練り台上を回転移動
    するブランケット胴と、 該ブランケット胴の周囲に巻かれ、前記ブランケットの
    回転移動により前記インキ練り台上のインキを前記ワー
    ク及び前記版定盤上に付着させるブランケットとを有し
    てなる印刷装置において、 前記ブランケット胴は、前記ブランケットの両側に前記
    ワーク及び前記凹版との相対位置を検出するために軸方
    向に巻かれた相対位置検出手段を具備し、 前記相対位置検出手段により検出された相対位置に基づ
    いて前記ブランケット胴の軸方向の向きを補正するドリ
    フト補正手段を有することを特徴とする印刷装置。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載の印刷装置で印刷される
    ワークであって、 前記ブランケット胴が移動する際に前記相対位置検出手
    段と接する位置に前記ブランケットとの相対位置が検出
    されるための相対位置被検出手段を具備することを特徴
    とするワーク。
  3. 【請求項3】 請求項1に記載の印刷装置で使用される
    凹版であって、 前記ブランケット胴が移動する際に前記相対位置検出手
    段と接する位置に前記ブランケットとの相対位置が検出
    されるための相対位置被検出手段を具備することを特徴
    とする凹版。
  4. 【請求項4】 請求項1に記載の印刷装置において、 前記相対位置検出手段は、静電容量モニタプローブであ
    ることを特徴とする印刷装置。
  5. 【請求項5】 請求項4に記載の印刷装置で印刷される
    ワークであって、 前記ブランケット胴が移動する際に前記相対位置検出手
    段と接する位置に前記ブランケットとの相対位置が検出
    されるための相対位置被検出手段を具備し、 前記相対位置被検出手段は、導電性加工部であることを
    特徴とするワーク。
  6. 【請求項6】 請求項4に記載の印刷装置で使用される
    凹版であって、 前記ブランケット胴が移動する際に前記相対位置検出手
    段と接する位置に前記ブランケットとの相対位置が検出
    されるための相対位置被検出手段を具備し、 前記相対位置被検出手段は、導電性加工部であることを
    特徴とする凹版。
  7. 【請求項7】 請求項1に記載の印刷装置において、 前記相対位置検出手段は、ホール素子であることを特徴
    とする印刷装置。
  8. 【請求項8】 請求項7に記載の印刷装置で印刷される
    ワークであって、 前記ブランケット胴が移動する際に前記相対位置検出手
    段と接する位置に前記ブランケットとの相対位置が検出
    されるための相対位置被検出手段を具備し、 前記相対位置被検出手段は、磁性加工部であることを特
    徴とするワーク。
  9. 【請求項9】 請求項7に記載の印刷装置で使用される
    凹版であって、 前記ブランケット胴が移動する際に前記相対位置検出手
    段と接する位置に前記ブランケットとの相対位置が検出
    されるための相対位置被検出手段を具備し、 前記相対位置被検出手段は、磁性加工部であることを特
    徴とする凹版。
  10. 【請求項10】 請求項1に記載の印刷装置において、 前記相対位置検出手段は、凸部であることを特徴とする
    印刷装置。
  11. 【請求項11】 請求項10に記載の印刷装置で印刷さ
    れるワークであって、 前記ブランケット胴が移動する際に前記相対位置検出手
    段と接する位置に前記ブランケットとの相対位置が検出
    されるための相対位置被検出手段を具備し、 前記相対位置被検出手段は、凹部であることを特徴とす
    るワーク。
  12. 【請求項12】 請求項10に記載の印刷装置で使用さ
    れる凹版であって、 前記ブランケット胴が移動する際に前記相対位置検出手
    段と接する位置に前記ブランケットとの相対位置が検出
    されるための相対位置被検出手段を具備し、 前記相対位置被検出手段は、凹部であることを特徴とす
    る凹版。
  13. 【請求項13】 請求項1または請求項4または請求項
    7または請求項10に記載の印刷装置において、 前記ドリフト補正手段は、前記ブランケット胴を移動さ
    せるサイドベアリングであることを特徴とする印刷装
    置。
  14. 【請求項14】 請求項1または請求項4または請求項
    7または請求項10または請求項13に記載の印刷装置
    を用いた画像形成装置の製造方法であって、 前記画像形成装置を構成する素子基板上の前記相対位置
    検出手段に対向する位置に前記相対位置検出手段により
    検出される被検出手段を設け、 前記素子基板を前記ワーク定盤上に装着し、 前記ブランケット胴を前記インキ練り台及び前記素子基
    板上において回転移動させることにより前記素子基板上
    に印刷を施すことを特徴とする画像形成装置の製造方
    法。
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