JPH09127554A - 透過型液晶表示装置 - Google Patents
透過型液晶表示装置Info
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Abstract
て液晶表示の開口率の向上および液晶の配向不良の抑制
を図ることができるとともに製造工程が簡略化でき、か
つ各配線と画素電極との間の容量成分が表示に与えるク
ロストークなどの影響をより低減して良好な表示を得る
ことができ、しかも、3次元画像表示時に発生するクロ
ストークを無くし、広視野角化で良好な表示を得ると共
に液晶表示素子の利用分野拡大を図る。 【解決手段】スイッチング素子34、走査配線および信
号配線33の上部に、透光性の有機薄膜からなり、入射
光に対して偏光機能および位相差機能のうち少なくとも
偏光機能を有する層間絶縁膜48が設けられ、この層間
絶縁膜48上に透明導電膜からなる画素電極31が設け
られている。
Description
ン装置、ゲーム機器、パーソナルコンピュータ、CAD
装置および医療用モニター装置などに使用され、2次元
表示画像および、立体感のある3次元表示画像を提供可
能な透過型液晶表示装置に関する。
しては、液晶表示装置(LCD)、陰極線管(CRT)
およびプラズマディスプレイ装置などがあり、画像、文
字および図形などの表示に用いられている。特に近年、
アドレス素子として薄膜トランジスタ(以下TFTとい
う)などのスイッチング素子を備えたアクティブマトリ
クス駆動方式の透過型液晶表示装置が、薄型で軽量さら
に携帯性が良く表示品位の高い点が注目され、ノート型
パーソナルコンピュータ、携帯テレビジョン装置、カー
ナビゲーション装置などの用途に採用されている。
ィブマトリクス駆動方式の透過型液晶表示装置の構成
を、図12の回路図に示している。
たアクティブマトリクス基板には、複数の画素電極1が
マトリクス状に形成されており、この画素電極1には、
スイッチング素子であるTFT2が接続されて設けられ
ている。このTFT2のゲート電極には走査配線として
のゲート信号配線3が接続され、ゲート電極に入力され
るゲート信号によってTFT2が駆動制御される。ま
た、TFT2のソース電極には信号配線としてのソース
信号配線4が接続され、TFT2の駆動時に、TFT2
を介してデータ(表示)信号が画素電極1に入力され
る。各ゲート信号配線3とソース信号配線4とは、マト
リクス状に配列された画素電極1の周囲を通り、互いに
直交差するように設けられている。さらに、TFT2の
ドレイン電極は画素電極1および付加容量5に接続され
ており、この付加容量5の対向電極はそれぞれ共通配線
6に接続されている。
ティブマトリクス基板のTFT部分の断面図である。
に、図12のゲート信号配線3に接続されたゲート電極
12が形成され、その上を覆ってゲート絶縁膜13が形
成されている。さらにその上にはゲ一ト電極12と重畳
するように半導体層14が形成され、その中央部上にチ
ャネル保護層15が形成されている。このチャネル保護
層15の両端部および半導体層14の一部を覆い、チャ
ネル保護層15上で分断された状態で、ソース電極16
aおよびドレイン電極16bとなるn+Si層が形成さ
れている。一方のn+Si層であるソース電極16a上
には、図12のソース信号配線4となる金属層17aが
形成され、他方のn+Si層であるドレイン電極16b
上には、ドレイン電極16bと画素電極1とを接続する
金属層17bが形成されている。さらに、これらのTF
T2、ゲート信号配線3およびソース信号配線4上部を
覆って層間絶縁膜18が形成されている。
となる透明導電膜が形成され、この透明導電膜は、層間
絶縁膜18を貫くコンタクトホール19を介して、TF
T2のドレイン電極16bと接続した金属層17bと接
続されている。
ス信号配線4と、画素電極1となる透明導電膜との間に
層間絶縁膜18が形成されているので、各配線3,4に
対して画素電極1をオーバーラップさせることができ
る。このような構造は、例えば特開昭58−17268
5号公報に開示されており、これによって液晶表示装置
の開口率を向上させることができると共に、各配線3,
4に起因する電界をシールドしてディスクリネーション
を抑制することができる。
シリコン(SiN)などの無機膜をCVD法を用いて膜
厚5000オングストローム程度に形成していた。
装置を用いて、3次元画像表示を実現する手段として
は、偏光板を液晶表示素子の外部に密着させて配置し、
偏光眼鏡を装着して液晶表示素子を見る方式がある。図
14に従来の偏光眼鏡を用いた3次元画像表示方式の概
念図を示している。
すように、右眼用画素と左眼用画素を有する液晶表示素
子21の両面に、右眼用画素の前と左眼用画素の前にそ
れぞれの偏光軸が互いに直交する偏光素子22a,22
bを配置した偏光板22を密着させることで液晶表示装
置23を構成し、観察者は右眼と左眼の前に対応する画
素の偏光軸方向と一致する偏光板24a,24bを配置
した偏光眼鏡24を装着することで、左右の眼はそれぞ
れに対応する画像のみを観察することができる。これに
より、立体感のある3次元画像を見ることができる。
84929号公報「立体視装置」に開示されており、こ
れにより、従来、2次元表示を行っていた液晶表示装置
で、3次元画像表示を実現している。また、特開昭62
−135810号公報「液晶表示素子」には上記偏光板
22を液晶表示素子21のガラス基板内側に配置する方
式が開示されている。
たような偏光板22を液晶表示素子21の外部に配置し
た場合には、図15に示すように、液晶表示素子21の
右眼用画素25aおよび左眼用画素25bと、右目用偏
光素子22aおよび左目用偏光素子22bとの間にガラ
ス基板26が介在している。このため、正面方向から偏
光眼鏡24を装着して液晶表示装置23を観察する場合
に比べて、斜め方向から液晶表示装置23を観察する
と、左眼用画素25bの画像が右目用偏光素子22aを
介して、また、右眼用画素25aの画像が左目用偏光素
子22bを介して、表示画面を観察するようになる。こ
れにより、左眼には右眼用画像が入射し、また、右眼に
は左眼用画像が入射するためにクロストークが発生し、
遠近感の逆転した画像を観察することになる。このよう
に、偏光板22を液晶表示素子21の外側に配置した構
成では、3次元画像を見ることができる範囲が限定さ
れ、視野角が狭い3次元表示画像となる。例として、ガ
ラス基板が屈折率1.52、厚み1.1mmで縦方向画
素ピッチが330μm(約10型のVGAパネルに相
当)の場合では、表示画面より50cm離れた位置で、
正面方向より上または下方向に約12cm移動した位置
においては、両眼に左右の画像が2重に見えるクロスト
ークが生じてしまい、さらに12cm移動すると完全に
逆転した画像が見えてしまう。
特開昭62−135810号公報「液晶表示素子」に開
示されている方式では、偏光層を液晶表示素子のガラス
基板内側に配置している。この場合には、液晶表示素子
の左眼用画素および右眼用画素と、左目用偏光素子およ
び右目用偏光素子とが隣接しているために、液晶表示素
子を観察する方向が上下方向に移動しても、上記したよ
うなクロストークの発生はない。したがって、上記した
ように、3次元画像を見ることができる範囲が制限され
ることはなく、視野角の広い3次元表示可能な液晶表示
装置を得ることができる。
板や偏光層は、耐熱温度が低いため、180℃以上の高
温環境下に置かれるとヨウ素などが抜け出して偏光能が
消失してしまうという問題があった。上記アクティブマ
トリクス駆動方式の液晶表示素子内部に偏光層を形成す
る場合、アクティブマトリクス基板側と、カラーフィル
ターを形成する対向基板側への配置が考えられる。アク
ティブマトリクス基板側に偏光層を形成する場合、偏光
層を画素電極と液晶層の間に配置すると液晶層を駆動す
るときに偏光層による電圧ロスが生じて液晶層を十分駆
動することができないため、偏光層はガラス基板と画素
電極との間に配置する必要がある。しかし、偏光層はス
イッチング素子を形成する過程で180℃以上の高温プ
ロセスを経過することになり、実際には、アクティブマ
トリクス基板側に偏光層を形成することは困難であっ
た。したがって、偏光層は対向基板側に配置する方法の
み使用でき、3次元画像表示でクロストークを改善する
ためは、対向基板側を表示画面として観察者に向けて使
用されることになる。このような液晶表示素子において
は、照明光の入射側がアクティブマトリクス基板側に限
定されることになるため、液晶表示素子の利用分野に大
きな制限があった。
ーなどに使用する場合、光源の光強度が強いことでスイ
ッチング素子のスイッチング特性が変化するのを防止す
るため、対向基板側を光源側に配置して使用している。
したがって、プロジェクターなどに使用するアクティブ
マトリクス駆動方式の液晶表示素子では、視覚側のアク
ティブマトリクス基板の外側に偏光層を設ければクロス
トークが生じ、その内部に偏光層を形成しようとすれば
熱処理で偏光能が消失して、使用することがでなかっ
た。
晶表示装置においては、層間絶縁膜18上に透明絶縁膜
であるSiNX、SiO2、TaOXなどをCVD法また
はスパッタ法により成膜した場合、その下地膜の膜厚に
よる凹凸を反映するので、画素電極1をこの上に形成し
たときに下地膜の段差によりその表面に段差が形成され
て液晶の配向不良を引き起こすという問題があった。
ゲート信号配線3およびソース信号配線4と、画素電極
1との間に層間絶縁膜18を形成すると、各配線3,4
に対して画素電極1をオーバーラップさせることがで
き、液晶表示装置の開口率を向上させることができる。
ところが、このように、各配線3,4と画素電極1とを
オーバーラップさせる構造とした場合、各配線3,4と
画素電極1との間の容量が増加するという問題を有して
いた。特に、窒化シリコン膜などの無機膜は比誘電率が
8と高く、CVD法を用いて成膜しており、5000オ
ングストローム程度の膜厚となる。この程度の膜厚では
各配線3,4と画素電極1との間の容量の増加が大きく
なり、以下の(a)に示すような問題があった。なお、
窒化シリコン膜などの無機膜をそれ以上の膜厚に成膜し
ようとすると、製造プロセス上、時間がかかりすぎると
いう問題を有していた。
オーバーラップさせる構造とした場合、ソース信号配線
4と画素電極1との間の容量が大きくなって信号透過率
が大きくなり、保持期間の間に画素電極1に保持されて
いるデータ信号は、データ信号の電位によって揺動を受
けることになる。このため、その画素の液晶に印加され
る実効電圧が変動し、実際の表示において特に縦方向の
隣の画素に対して縦クロストークが観察されるという問
題があった。
のもので、平坦な画素電極と各配線をオーバーラップさ
せて液晶表示の開口率の向上および液晶の配向不良の抑
制を図ることができるとともに製造工程が簡略化でき、
かつ各配線と画素電極との間の容量成分が表示に与える
クロストークなどの影響をより低減して良好な表示を得
ることができ、しかも、3次元画像表示時に発生するク
ロストークを無くし、広視野角化で良好な表示を得ると
共に液晶表示素子の利用分野拡大を図ることができる透
過型液晶表示装置を提供することを目的とする。
装置は、走査配線と信号配線の交差部近傍にスイッチン
グ素子が設けられ、該スイッチング素子の走査電極に該
走査配線が接続され、該走査電極以外の一方電極に該信
号配線が接続され、他方電極に直接または接続配線を介
して画素電極が接続され、該スイッチング素子、走査配
線、信号配線および接続配線の上部に、透光性の有機薄
膜からなり、入射光に対して偏光機能および位相差機能
のうち少なくとも該偏光機能を有する層間絶縁膜が設け
られ、該層間絶縁膜上に透明導電膜からなる該画素電極
が設けられた素子側基板と、該素子側基板に対向して配
設され、入射光に対して偏光機能および位相差機能のう
ち少なくとも該偏光機能を持つ層および、該画素電極に
対向して設けられた対向電極を有する対向側基板とを備
えたものであり、そのことにより上記目的が達成され
る。
は、基板上に、走査配線と信号配線とが互いに交差する
ように設けられ、該走査配線と信号配線の交差部近傍位
置にスイッチング素子が設けられ、該スイッチング素子
の走査電極に該走査配線が接続され、該スイッチング素
子の走査電極以外の一方電極に該信号配線が接続され、
該スイッチング素子の走査電極以外の他方電極に直接ま
たは接続配線を介して画素電極が接続され、該スイッチ
ング素子、走査配線、信号配線および接続配線の上部
に、透光性の有機薄膜からなり、入射光に対して偏光機
能および位相差機能のうち少なくとも該偏光機能を有す
る層間絶縁膜が設けられ、該層間絶縁膜上に、透明導電
膜からなる画素電極が、該走査配線および信号配線のう
ち少なくともいずれかと、少なくとも一部が重なるよう
に設けられ、該層間絶縁膜を貫くコンタクトホールを介
して該接続配線と画素電極とが接続された素子側基板
と、該素子側基板に対向して配設され、入射光に対して
偏光機能を持つ偏光層および、該画素電極に対向して設
けられた対向電極を有する対向側基板とを備えている。
示装置は、基板上に、走査配線と信号配線とが互いに交
差するように設けられ、該走査配線と信号配線の交差部
近傍位置にスイッチング素子が設けられ、該スイッチン
グ素子の走査電極に該走査配線が接続され、該スイッチ
ング素子の走査電極以外の一方電極に該信号配線が接続
され、該スイッチング素子の走査電極以外の他方電極に
直接または接続配線を介して画素電極が接続され、該ス
イッチング素子、走査配線、信号配線および接続配線の
上部に、透光性の有機薄膜からなり、入射光に対して偏
光機能を有する層間絶縁膜が設けられ、該層間絶縁膜上
に、透明導電膜からなる画素電極が、該走査配線および
信号配線のうち少なくともいずれかと、少なくとも一部
が重なるように設けられ、該層間絶縁膜を貫くコンタク
トホールを介して該接続配線と画素電極とが接続された
素子側基板と、該素子側基板に対向して配設され、入射
光に対して位相差機能を持つ位相差層、入射光に対して
偏光機能を持つ偏光層、および、該画素電極に対向して
設けられた対向電極を有する対向側基板とを備えてい
る。
型液晶表示装置は、両基板に偏光層および位相差層を配
置した組み合わせも含んでいる。
いて、右目用画素と左目用画素が設けられており、少な
くとも1画素からなる、偏光機能および位相差機能のう
ち少なくとも該偏光機能を有する領域が複数集まって構
成されており、該偏光機能を有する領域と少なくとも上
下に隣接する該偏光機能を有する領域との偏光方向(偏
光軸方向だけではなく円偏光も利用する。)が、該右目
用画素と左目用画素に対応して互いに異なっており、好
ましくは、該偏光方向が同一の領域がそれぞれ、横方向
のストライプ状またはモザイク状である。
る。
場合、TFT作製時の熱処理で偏光能が消失していた
が、本発明においては、素子側基板内の層間絶縁膜に偏
光機能を持たせることで、TFT作製時の熱処理の後に
偏光層を作製可能となって偏光能の消失もなくなり、ま
た、従来発生していた3次元画像表示時のクロストーク
をもなくすことが可能となって、視野角の広い画像を得
るとともに、表示品位の向上が図られる。また、層間絶
縁膜に偏光機能を付加できるので、偏光層を別途形成す
る場合に比べて製造プロセスが短縮可能となる。
素からなる偏光機能を有する領域が複数集まって構成さ
れており、この偏光機能を有する領域と隣接する領域の
偏光軸方向は互いに異なるようにすることで、アクティ
ブマトリクス基板側を観察者側に配置しても、光源側に
配置してもよいため、プロジェクターなどの用途にも使
用可能となり、透過型液晶表示装置の利用分野が拡大可
能となる。
有する位相差層と偏光機能を有する偏光層から構成する
ことで、液晶表示装置からの出射光を円偏光にすること
ができるので、偏光眼鏡を装着した観察者が頭を斜めに
した場合であっても、3次元画像表示時のクロストーク
が発生しない。このため、3次元画像表示時の表示品位
を一層向上させることが可能となる。
行う場合には、偏光眼鏡を装着した観察者のみが表示内
容を認識することが可能となり、偏光眼鏡を装着してい
ない観察者は2重像となったぼけた画像しか見えないの
で、表示内容が認識されない。したがって、秘守性が要
求される画像を表示した場合に、本方式では偏光眼鏡を
装着することで観察者が制限可能となり秘守性が向上す
る。
素子、走査配線および信号配線の上部に層間絶縁膜が設
けられ、その上に画素電極が設けられて、層間絶縁膜を
貫くコンタクトホールを介して接続配線によりTFTの
他方電極と接続されている。このように、層間絶縁膜が
設けられることにより、各配線と画素電極とをオーバー
ラップさせることができて、開口率を向上することが可
能となると共に液晶の配向不良が抑制可能となる。しか
も、この層間絶縁膜は、有機薄膜からなっているので、
従来、用いられていた窒化シリコンなどの無機薄膜に比
べて比誘電率が低い良質な膜を生産性よく得られるの
で、膜厚を厚くすることが可能となって、各配線と画素
電極との間の容量分が低減されて信号透過率も抑制さ
れ、これにより、各配線と画素電極との間の容量成分が
表示に与えるクロストークなどの影響をより低減してよ
り良好な表示が得られることになる。
説明する。
側に偏光層を設けたアクティブマトリクス基板側から光
照射し、基板内側に偏光層および位相差層を設けた対向
側基板から、左眼用画素および右眼用画素に対応した異
なる偏光状態を出射する場合である。
表示装置におけるアクティブマトリクス基板の1画素部
分の構成を示す平面図である。
ィブマトリクス基板には、複数の画素電極31がマトリ
クス状に設けられており、これらの画素電極31の周囲
を通り、互いに直交差するように、走査配線としての各
ゲート信号配線32と信号配線としてのソース信号配線
33が設けられている。これらのゲート信号配線32と
ソース信号配線33はその一部が画素電極31の外周部
分とオーバーラップしている。また、これらのゲート信
号配線32とソース信号配線33の交差部分において、
画素電極31に接続されるスイッチング素子としてのT
FT34が設けられている。このTFT34のゲート電
極にはゲート信号配線32が接続され、ゲート電極に入
力される信号によってTFT34が駆動制御される。ま
た、TFT34のソース電極にはソース信号配線33が
接続され、TFT34のソース電極にデータ信号が入力
される。さらに、TFT34のドレイン電極は、接続配
線35さらにコンタクトホール36を介して画素電極3
1と接続されるとともに、接続配線35を介して付加容
量の一方の電極35aと接続されている。この付加容量
の他方の電極37は共通配線に接続されている。
アクティブマトリクス基板のA−A’断面図である。
図1のゲート信号配線32に接続されたゲート電極42
が設けられ、その上を覆ってゲート絶縁膜43が設けら
れている。その上にはゲート電極42と重畳するように
半導体層44が設けられ、その中央部上にチャネル保護
層45が設けられている。このチャネル保護層45の両
端部および半導体層44の一部を覆い、チャネル保護層
45上で分断された状態で、ソース電極46aおよびド
レイン電極46bとなるn+Si層が設けられている。
一方のn+Si層であるソース電極46aの端部上に
は、透明導電膜47aと金属層47bとが設けられて2
層構造のソース信号配線33となっている。また、他方
のn+Si層であるドレイン電極46bの端部上には、
透明導電膜47a’と金属層47b’とが設けられ、透
明導電膜47a’は延長されて、ドレイン電極46bと
画素電極31とを接続するとともに付加容量の一方の電
極35aに接続される接続配線35となっている。さら
に、TFT34、ゲー卜信号配線32およびソース信号
配線33、接続配線35の上部を覆って、透光性の有機
薄膜からなり、入射光に対して偏光機能を有する偏光膜
よりなる層間絶縁膜48が設けられている。この層間絶
縁膜48の上には画素電極31となる透明導電膜が設け
られ、層間絶縁膜48を貫くコンタクトホール36を介
して接続配線35である透明導電膜47a’により、画
素電極31とTFT34のドレイン電極46bとが接続
されている。さらに、この画素電極31の上には配向膜
(図示せず)が必要により設けられる。以上により、本
実施形態1の透過型液晶表示装置におけるアクティブマ
トリクス基板49が構成される。
図3および図4に従って説明する。図3は本実施形態1
の透過型液晶表示装置における対向側基板の断面図であ
り、後述する図4のB−B’断面図である。
F(カラーフィルタ)層52が設けられ、その上を位相
差が半波長分であり、その光学軸が互いに異なる位相差
層53,54が交互に並んで設けられている。さらに、
これらの位相差層53,54の上には画面全面に渡って
所定方向に統一された偏光軸を持つ偏光層55が設けら
れ、さらにその上に、透明な対向電極56が設けられて
いる。この対向電極56の上には配向膜(図示せず)が
必要により設けられる。以上により、本実施形態1の透
過型液晶表示装置における対向側基板57が構成され、
この対向側基板57と図2のアクティブマトリクス基板
49とを対向させて組み合わせ、透過型液晶表示装置を
構成したときには、図2の画素電極31側と図3の対向
電極56側とが互いに内側になる。
を対向側基板57側からみたときの画素構造を示す平面
図である。
52が画面の縦方向に長い長方形状で配列されている。
このCF層52において、ゲート信号配線32に平行な
横ライン方向には、赤・緑・青(図4中ではそれぞれR
・G・Bで示している)の光の三原色で画素が周期的に
並んでおり、これらの三原色の画素が周期的に並んだ横
ライン毎に、光学軸が互いに異なる位相差層53,54
が交互に並んで設けられている。つまり、これらの位相
差層53,54は画素配列に対応して配置されており、
画面横1画素ライン毎に交互にストライプ状に配列して
いる。また、ソース信号配線33に平行な画面縦方向に
は同色の画素が並んでいる。
画面縦方向に対して斜め45度の方向であり、アクティ
ブマトリクス基板中の偏光層である層間絶縁膜48の偏
光軸48aとは直交している。また、位相差層53の光
学軸53aは偏光層55の偏光軸55aに平行であり、
位相差層54の光学軸54aは偏光軸55aに対して4
5度回転した方向にあり、画面縦方向に対して垂直であ
る。
9と対向側基板57が適切な間隙で貼合わされ、その間
隙には、TN(ツイストネマティック型)液晶が充填さ
れて本実施形態1の透過型液晶表示装置が構成される。
このアクティブマトリクス基板49上の画素電極31と
対向側基板57上の対向電極56との間に印加される表
示電圧の電界によって画素単位で液晶の配向が制御され
て光変調され表示される。
おいては、アクティブマトリクス基板49側から照明光
を当てて、対向側基板57側から表示画面を見る形で使
用することができる。
は、アクティブマトリクス基板49中の偏光層である層
間絶縁膜48によって、その偏光軸48aに平行な直線
偏光にされ、さらに、画素電極31と対向電極56間の
電界に従って配向が制御されたTN液晶によって偏光状
態が変調された光58は、対向側基板57側の偏光層5
5によって検光され、その偏光軸55aに平行な成分だ
けが偏光層55を通過し、非平行成分はここで遮断され
ることになる。
過した光58は、位相差層53,54を通過するが、位
相差層53に対応した画素領域においては、偏光層55
の偏光軸55aと平行な光学軸を持っているので、この
偏光軸55aの方向を保ったまま通過し、また、偏光層
55の偏光軸55aから45度回転した光学軸の位相差
層54に対応した画素領域においては、半波長分の位相
差を受けて光の偏光軸が90度回転する。
画素は普通に駆動されるが、3次元画像を表示するとき
には、横ライン毎に左眼用の画像と右眼用の画像を表示
し、この透過型液晶表示装置を透過する2種類の光の偏
光軸に平行で、かつ互いの偏光軸が直交する偏光板を有
する偏光眼鏡をかけることで立体視が可能となる。この
とき、透過型液晶表示装置に供給される画像信号の形態
は、左眼用と右眼用の2系統の信号が入力され、それぞ
れに対応する横ライン毎に信号を選択してゲート信号配
線およびソース信号配線が駆動される場合の他に、左眼
用と右眼用の画像が前もって1系統の画像信号に合成さ
れて供給され、通常の2次元画像と同様にゲート信号配
線およびソース信号配線を駆動する場合が考えられる。
示装置が構成され、以下のようにして製造することがで
きる。
造方法を説明する。
に、ゲート電極42、ゲート絶縁膜43、半導体層4
4、チャネル保護層45、ソース電極46aおよびドレ
イン電極46bとなるn+Si層を順次成膜して形成す
る。ここまでの作製プロセスは、従来のアクティブマト
リクス基板の製造方法と同様にして行うことができる。
線35を構成する透明導電膜47a,47a’および金
属層47b,47b’を、スパッタ法により順次成膜し
て所定形状にパターニングする。
ル)などの高分子フィルムを加熱し、これをローラーで
一軸延伸しながらアクティブマトリクス基板に圧着し、
同時に偏光用の2色性色素の染料または沃化物で染色し
て直線偏光の偏光膜である層間絶縁膜48を、例えば8
μmの膜厚で形成する。この偏光膜に対して、感光性レ
ジストを塗布し所望のパターンに従って露光・現像して
露呈されたパターン部をドライエッチングするかまた
は、アルカリ性の熱水溶液によってエッチングする。レ
ジストを除去すると偏光膜である層間絶縁膜48を貫通
するコンタクトホール36が形成されることになる。
スパッタ法により形成し、パターニングする。これによ
り、画素電極31は、偏光膜である層間絶縁膜48を貫
くコンタクトホール36を介して、TFT34のドレイ
ン電極46bと接続されている透明導電膜47a’と接
続されることになる。このようにして、本実施形態1の
アクティブマトリクス基板49を製造することができ
る。
る。
アクリル系ポリマーや光感光性樹脂を用いてフォトリソ
グラフィー技術により、R・G・B三原色のCF層52
をストライプ状に形成する。さらに、液晶性高分子を所
定の膜厚で塗布し画素形状に従って横ライン毎に開口パ
ターンの開いたマスクを重ね、直線偏光を持つ紫外(U
V)光を照射して照射光の偏光軸に沿った光学軸を持つ
半波長分の位相差層53,54を設ける。これらの位相
差層53,54の光学軸の方向は先に述べた通りであ
る。
ティブマトリクス基板49の偏光膜である層間絶縁層4
8と同様の製法により、所定の偏光軸を持つ偏光層55
さらにその上に、透明な対向電極56を設ける。
は、この他に、ポリイミドなどの配向膜を塗布してパタ
ーニングと配向処理により横ライン毎に所定の方向に配
向を持たせた後、液晶性高分子を塗布して加熱または光
照射にて配向膜の配向方向に沿った光学軸を持つ位相差
層を形成してもよい。
クス基板49と対向側基板57を対向させて組み合わせ
た透過型液晶表示装置においては、アクティブマトリク
ス基板49において、ゲート信号配線32、ソース信号
配線33およびTFT34と、画素電極31との間に膜
厚の大きい偏光層である層間絶縁層48を形成すること
で、各配線32,33およびTFT34に対して画素電
極31をオーバーラップさせることができるとともに、
その表面を平坦化させることにより、開口率を向上させ
ることができ、かつ各配線32,33に起因する電界を
画素電極31でシールドしてディスクリネーションを抑
制することができる。
縁層48を、各配線32,33と画素電極31の間に設
け、透過型液晶表示装置を構成するのに必要な偏光板と
して機能させることにより、透過型液晶表示装置の製造
工程全体に渡って考慮した場合の工程数および部品点数
を減らすことができる。
状態を用いて3次元表示を行う方式において、偏光層を
アクティブマトリクス基板49および対向側基板57の
内側に設けることによって、視差による左右画像のクロ
ストークの低減を目的とした場合、アクティブマトリク
ス基板49の製作工程において、比較的高温プロセスで
あるゲート絶縁膜43の製膜プロセスの終了後に、偏光
層である層間絶縁層48の製造プロセスを行うことがで
きるので、従来起こっていた偏光能の消失がなくなっ
て、透過型液晶表示装置の製造実現性が従来に比較して
格段に高められることになる。
側に偏光層を設けた対向側基板に光照射し、基板内側に
偏光層および位相差層を設けたアクティブマトリクス基
板から、左眼用画素および右眼用画素に対応した異なる
偏光状態を出射する場合である。つまり、本実施形態2
の透過型液晶表示装置では、上記実施形態1のアクティ
ブマトリクス基板49において、TFT34、各配線3
2,33および接続配線35の上部を覆い、画素電極3
1との層間隔を広げる厚膜部(実施形態1では偏光層で
ある層間絶縁層48に相当)の構造が異なっている。な
お、本実施形態2の透過型液晶表示装置の表示部を、C
F層52のある対向側基板からみた構成は、紙面垂直方
向における配置が実施形態1の図4とみかけ上はほぼ同
様になる。
マトリクス基板側の構造について説明する。
B’位置に相当するアクティブマトリクス基板の断面図
である。なお、B−B’線上にないために、図5には現
れてはいないが、上記実施形態1の場合と同様に、透明
絶性縁基板41上にTFT34およびソース信号配線3
3、接続配線35、コンタクトホール36が設けられて
いる。
2、ソース信号配線33および接続配線35を覆う厚膜
部として、上記実施形態1の偏光層である層間絶縁層4
8の代わりに、図5に示すように、位相差が半波長分で
あり、その光学軸が互いにストライプ状に異なる位相差
層61,62が画素の画面横1ライン毎に交互に配列さ
れた状態で設けられ、その上に、画面全体で統一された
偏光軸を持つ偏光層63が設けられている。即ち、透明
絶性縁基板41上にはゲート信号配線32およびゲート
絶縁膜43が設けられており、それらの上に位相差層6
1,62さらに偏光層63が設けられている。さらに、
この偏光層63の上には画素電極31となる透明導電膜
が設けられている。
63の製造方法は、上記実施形態1のアクティブマトリ
クス基板49および対向側基板57の製造で用いた製造
プロセスと全く同等の手法で行うことができる。ただ
し、位相差層61,62や偏光層63の製膜後に、これ
らの位相差層61,62および偏光層63に対して、コ
ンタクトホール36を貫通させて画素電極31と接続配
線35を電気的に接続させる。以上により本実施形態2
のアクティブマトリクス基板64が構成される。次に、
対向基板側の構造について説明する。
B’位置に相当する対向側基板の断面図である。
CF層52さらに対向電極56が設けられ、透明絶縁性
基板51の下側には、画面全体に渡って統一した偏光軸
を持つ偏光層55が設けられている。これによって、本
実施形態2の対向側基板65が構成され、偏光層55は
透過型液晶表示装置として完成されたときに、対向側基
板65の外側に位置することになる。
は、照明光66は対向側基板65の偏光層55側から入
り、アクティブマトリクス基板64の透明絶性縁基板4
1側から画像を見る形で使用される。この偏光層55を
通った光は直線偏光となり、CF層52を通過して液晶
で変調を受けた後、偏光層63によって検光される。そ
の後、位相差層61の領域を通過した光66’は、偏光
軸と位相差層の光学軸が45度傾いているために偏光軸
が90度回転を受け、また、位相差層62の領域を通過
した光66’は、偏光軸と光学軸が垂直であるためにそ
のままの偏光軸で通過する。
態1と同様に、2次元画像はそのまま見ることが可能で
あり、3次元画像を表示したいときには、対応する2方
向の偏光軸を持つ偏光眼鏡をかけることによって立体視
が可能となる。
差層61,62および偏光層63を用いたことにより、
少なくとも1画素からなる偏光機能および位相差機能を
有する領域が複数集まって構成されており、この偏光機
能および位相差機能を有する領域と隣接する領域の偏光
軸方向は互いに異なるようにすることで、クロストーク
なく3次元画像を表示でき、アクティブマトリクス基板
側を観察者側に配置することができる。このように、対
向側基板から光照射しているため、プロジェクターなど
の用途(従来は照射光が強くTFTが誤動作する)にも
使用可能となり、透過型液晶表示装置の利用分野を拡大
することができる。
3,55の光学軸および偏光軸はそれぞれ、図4で示し
た光学軸53a,54b、偏光軸48a,55aに一致
している。
側の偏光層55については、対向側基板の外側に配置し
たが、対向側基板の内側に配置することもでき、その場
合には、対向側基板上においてCF層と対向電極との間
にくることになる。
に左右の眼に画像を振り分けるための2種類の偏光状態
になるように、互いに直交する偏光軸を持つ直線偏光を
用いたが、この他にも円偏光を用いることが可能であ
る。この場合の透過型液晶表示装置の構造としては、位
相差層の光学軸と位相差層が与える位相差が適時変更さ
れる。例えば図7に示すように、ガラス基板81の外側
に偏光層82を設けた対向基板83から光照射し、ガラ
ス基板84の内側に偏光層85および位相差層86を設
けたアクティブマトリクス基板87から出射するように
配置してもよい。ここで、88は配向膜、89は液晶
層、90は右目用画素電極、91は左目用画素電極、9
2はCF層、93は対向電極である。この場合、位相差
層86の偏光軸は一方の領域が光の進行方向に対して4
5度傾けられ、もう一方の領域は変更板の変更軸に対し
て前者の領域とは逆方向に45度傾けられた配向とす
る。従って、これらの両領域は互いに直交する光学軸を
持つことになり、位相差は1/4波長分となるように調
整されている。
クス基板87の偏光層85を通過して直線偏光に検光さ
れた光は、位相差層86の各領域でそれぞれ相反する回
転方向を持つ円偏光に変換させられる。例えば、右目用
画素電極90に対応した右目用位相差層からは右円偏光
が、左目用画素電極91に対応した左目用位相差層から
は左円偏光が出射されることになり、これらの各領域の
偏光状態に対応した円偏光板を備えた偏光眼鏡を左右の
目の前に装着することにより、左目には左目用の画像だ
けが、右目には右目用の画像だけが目に入るようにな
る。この場合、観察者が頭を上下に移動したり頭を斜め
にした場合であっても、両方の目のそれぞれに左右の画
像が入射し、画像が2重に見えるクロストークが発生し
ないので、いっそう表示品位が良好な立体視を行うこと
ができる。
層がなく、アクティブマトリクス基板および対向両基板
に偏光層を設けた場合である。
における表示画面を対向基板側から眺めたときの画素構
造を示す平面図である。
に、画素配列はストライプ状であり、アクティブマトリ
クス基板側に偏光層71,72が設けられ、対向基板側
に偏光層73,74が設けられており、これらはそれぞ
れ横1画素ライン毎に90度直交した偏光軸を持ってい
る。また、アクティブマトリクス基板の偏光層71,7
2はそれぞれ偏光軸71a、72aを持ち、対向基板側
の偏光層73,74はそれぞれ偏光軸73a,74aを
持っている。これらの偏光層71と偏光層73が光学的
に重なっており、偏光軸71aと偏光軸73aが90度
直交し、また、偏光層72と偏光層74が光学的に重な
っており、偏光軸72aと偏光軸74aが90度直交し
いる。
ティブマトリクス基板の断面図である。なお、C−C’
線上にないために、図9には現れてはいないが、上記実
施形態1の場合と同様に、透明絶性縁基板41上にTF
T34およびソース信号配線33、接続配線35、コン
タクトホール36が設けられている。
は、ゲート信号配線32およびゲート絶縁膜43が設け
られており、それらの上に、信号配線32,33および
TFT24と画素電極31との層間隔を広げる厚膜部と
して、偏光層75が設けられている。この偏光層75に
は偏光層71,72が設けられており、これらの偏光層
71,72はそれぞれ偏光軸71a、72aを持ってい
る。これらの偏光軸71a、72aは横1画素ライン毎
に90度直交している。そのために偏光層75は2層構
造になっており、それぞれは所定の偏光軸を持った領域
と偏光能を持たない領域とを上下に有している。つま
り、この偏光層75が、偏光能を持った領域と、もう一
層の偏光能のない領域が互いに重なるように構成されて
いる。
実施形態1のように、PVA(ポリビニルアルコール)
などの高分子フィルムを加熱してローラで一軸延伸しな
がらアクティブマトリクス基板に圧着し、同時に2色性
色素の染料または沃化物で所定のパターンに染色して部
分偏光層を作り、もう一層の部分偏光層も同様に作られ
る。その後、コンタクトホール36を設けて画素電極3
1を製膜し、パターニングする。
向側基板の断面図である。
CF層52、異なる偏光軸を持つ偏光層73,74を有
する偏光層76、さらに対向透明電極56がその順に積
層されて構成されている。この偏光層76の製造方法と
しては、アクティブマトリクス基板側の偏光層75と同
様である。
過型液晶表示装置においては、アクティブマトリクス基
板と対向側基板を対向させて配置した場合、照明光から
の光は横1画素ライン毎に偏光軸の直交した光が透過し
て画面表示を行うので、アクティブマトリクス基板と対
向側基板のどちら側から見ても2次元画像表示を行うこ
とができ、また、3次元画像を表示するときには、対応
する偏光眼鏡をかければ立体視を行うことができ、透過
型液晶表示装置の適用範囲が広がるという効果がある。
2における2領域の位相差層の製造プロセスと同様に、
光配向の技術を用いて光硬化性高分子1層に相異なる偏
光軸を持つ2つの領域を持った偏光層を作ることも可能
である。
る要素の一つであるので、膜厚を均一に制御することが
望ましい。そこで、ソース信号配線およびゲート信号配
線、スイッチング素子部などによる凸凹を平担化するた
めに、まず、透明なアクリル系樹脂をスピナーで塗布し
て熱硬化させ、その後に、配向層および位相差層の製膜
プロセスに入ると良い。このとき、最初に設ける樹脂層
は透明度が高く耐熱性に優れているものなら何でも使用
することができ、熱硬化の他にも紫外(UV)光などで
硬化させる樹脂も使うことができる。
ため、膜厚制御の条件の緩い偏光層の製造プロセスのみ
で製造することができる。
Cs領域上に設け、ホール部の凸凹による液晶の配向不
良による光漏れ等をCs配線上の遮光部によって隠すこ
ともできるし、画素電極と配線コンタクト部との密着性
を高めるために位相差層および偏光層製膜の前に窒化チ
タン層などを前もって製膜パターニングしておいても良
い。
右目用の画像の表示形態としては、偏光パターンを横1
ライン毎にストライプ状に構成したが、縦1ライン毎の
偏光パターンや、偏光パターンを縦横1絵素毎に振り分
けるモザイク状(千鳥状)、さらには上記複数ライン毎
または数絵素単位毎に領域を分けて構成してもよい。こ
の場合(モザイク状)の偏光パターンを図11に示して
いる。
用と右目用の画像を表示させる場合の透過型液晶表示装
置における画素構造の平面図である。
素として、画素群93,94が千鳥状に配列して分けら
れており、それぞれの画素群93,94に左目用画像と
右目用画像を分配して表示している。このような画素構
造に対応したパターンで、上記実施形態1,2のような
偏光層および位相差層による異なる円偏光状態を互いに
異ならせ、または、上記実施形態3のような偏光軸の直
交した偏光層を配置して偏光状態を互いに異ならせるこ
とで、偏光眼鏡で立体視を行うことができる。
グ素子、走査配線および信号配線の上部に層間絶縁膜が
設けられ、その上に画素電極が設けられて、層間絶縁膜
を貫くコンタクトホールを介して接続配線によりTFT
の他方電極と接続されている。このように、層間絶縁膜
が設けられることにより、各配線と画素電極とをオーバ
ーラップさせることができて、開口率を向上することが
可能となると共に液晶の配向不良が抑制可能となる。し
かも、この層間絶縁膜は、有機薄膜からなっているの
で、従来、用いられていた窒化シリコンなどの無機薄膜
に比べて比誘電率が低い良質な膜を生産性よく得られる
ので、膜厚を厚くすることが可能となって、各配線と画
素電極との間の容量分が低減されて信号透過率も抑制さ
れ、これにより、各配線と画素電極との間の容量成分が
表示に与えるクロストークなどの影響をより低減してよ
り良好な表示が得られる。さらに、層間絶縁膜に偏光機
能を持たせることにより、3次元画像表示時にクロスト
ークを無くし視野角の広い画像を得ることができ、表示
品位の向上を図ることができる。また、層間絶縁膜に偏
光機能を付加できるので偏光層を別途形成する場合に比
べてプロセスを短縮することができ、コスト低減を図る
ことができる。
素からなる偏光機能を有する領域が複数個集まって構成
されており、この偏光機能を有する領域と隣接する領域
の偏光軸方向は互いに異なるようにすることで、アクテ
ィブマトリクス基板側を観察者側に配置しても、光源側
に配置してもよいため、プロジェクター等の用途に使用
でき、液晶表示装置の利用分野を拡大することができ
る。
有する位相差層と偏光機能を有する偏光層から構成する
ことで、液晶表示装置からの出射光を円偏光にすること
ができるため、偏光眼鏡を装着した観察者が頭を斜めに
した場合でもクロストークが発生しない。このため、3
次元画像表示時の表示品位を一層向上させることができ
る。
を行う場合には、偏光眼鏡を装着した観察者のみが表示
内容を認識することができ、偏光眼鏡を装着していない
観察者は2重像となったぼけた画像しか見えないため、
表示内容を認識することができない。このため、秘守性
が要求される画像を表示した場合に、本方式では偏光眼
鏡を装着することで観察者が制限できるので秘守性を高
めることができる。
けるアクティブマトリクス基板の1画素部分の構成を示
す平面図である。
マトリクス基板のA−A’断面図である。
向側基板の断面図である。
板57側からみたときの画素構造を示す平面図である。
けるアクティブマトリクス基板の断面図である。
ける対向側基板の断面図である。
である。
ける画素構造の平面図である。
けるアクティブマトリクス基板のC−C’断面図であ
る。
晶表示装置における対向側基板のC−C’断面図であ
る。
の画像を表示させる場合の透過型液晶表示装置における
画素構造の平面図である。
晶表示装置の構成を示す回路図である。
リクス基板のTFT部分の断面図である。
を示す概念図である。
る。
偏光軸 49,64 アクティブマトリクス基板 51 透明絶縁性基板 52 CF(カラーフィルタ)層 53,54,61,62 位相差層 53a,54a 光学軸 55,63,71,72,73,74,75,76
偏光層 56 対向電極 57,65 対向側基板
Claims (3)
- 【請求項1】 走査配線と信号配線の交差部近傍にスイ
ッチング素子が設けられ、該スイッチング素子の走査電
極に該走査配線が接続され、該走査電極以外の一方電極
に該信号配線が接続され、他方電極に直接または接続配
線を介して画素電極が接続され、該スイッチング素子、
走査配線、信号配線および接続配線の上部に、透光性の
有機薄膜からなり、入射光に対して偏光機能および位相
差機能のうち少なくとも該偏光機能を有する層間絶縁膜
が設けられ、該層間絶縁膜上に透明導電膜からなる該画
素電極が設けられた素子側基板と、 該素子側基板に対向して配設され、入射光に対して偏光
機能および位相差機能のうち少なくとも該偏光機能を持
つ層および、該画素電極に対向して設けられた対向電極
を有する対向側基板とを備えた透過型液晶表示装置。 - 【請求項2】 前記層間絶縁膜上に、前記画素電極が、
前記走査配線および信号配線のうち少なくともいずれか
と、少なくとも一部が重なるように設けられ、該層間絶
縁膜を貫くコンタクトホールを介して前記接続配線と画
素電極とが接続された請求項1記載の透過型液晶表示装
置。 - 【請求項3】 右目用画素と左目用画素が設けられてお
り、少なくとも1画素からなる、偏光機能および位相差
機能のうち少なくとも該偏光機能を有する領域が複数集
まって構成されており、該偏光機能を有する領域と隣接
する該偏光機能を有する領域との偏光方向が、該右目用
画素と左目用画素に対応して互いに異なっている請求項
1記載の透過型液晶表示装置。
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