JPH0894725A - 複数基準発振器用タイミング発生器 - Google Patents

複数基準発振器用タイミング発生器

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JPH0894725A
JPH0894725A JP6254354A JP25435494A JPH0894725A JP H0894725 A JPH0894725 A JP H0894725A JP 6254354 A JP6254354 A JP 6254354A JP 25435494 A JP25435494 A JP 25435494A JP H0894725 A JPH0894725 A JP H0894725A
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浩康 中山
Masayuki Ito
正幸 伊藤
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    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/317Testing of digital circuits
    • G01R31/3181Functional testing
    • G01R31/319Tester hardware, i.e. output processing circuits
    • G01R31/31917Stimuli generation or application of test patterns to the device under test [DUT]
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 基準発振器の周波数に変更が生じた場合で
も、タイミングデータの変更無しで使用することのでき
るタイミング発生器を提供する。 【構成】 第1の基準発振器20の周期値Tnから第2
の周期値Tmに変更する場合に、設定値MについてM/
Tmの除算を行う基数変換回路201を設け、補数値
(−Tm)を印加するCOMP信号入力端を加算器22
に設けて複数基準発振器用タイミング発生器を構成す
る。また、第1基数nと、第2基数mの差分値を累積す
る差分アキュムレータ51を設け、当該差分アキュムレ
ータ51で生成された累積値のTn未満値を累積するフ
ェイズアキュムレータ52を設ける。そして、当該差分
アキュムレータ51のキャリー出力信号により2値シフ
ト動作し、当該フェイズアキュムレータ52のキャリー
出力信号によりホールド動作するカウンタ53を設けて
構成しても良い。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体試験装置のタイ
ミング発生器に関し、特に、源発の周波数を定める基準
発振器の周波数に変更が生じた場合でも、タイミングデ
ータの変更無しで使用することのできるタイミング発生
器に関する。
【0002】
【従来の技術】半導体試験装置に用いられるタイミング
発生器の従来例を図10に示す。図10に示すように、
周期発生部2は、基準発振器20の発振周波数に基づい
て、パターン発生器1により設定された周期値メモリの
データの通りに、テスタ周期(RA)を発生する。遅延
発生部3は、このテスタ周期毎に、タイミングメモリ3
1に設定されたデータの通りに、遅延信号を発生する。
そして、この遅延信号は、遅延波形整形部38で所望の
波形に整形し、ピンエレクトロニクス39で所望の振幅
波形を与えて、DUT4に印加される。この遅延発生部
3は、DUT4に必要なチャンネル数が用意される。
【0003】一般に、タイミング発生器で、カウンタを
用いて基準発振信号を分周する場合、カウンタのLSB
の重み、すなわちカウンタの分解能と基準発振信号の周
期を一致させれば、カウンタ1個で実現が可能である。
しかし、基準発振信号の周期未満を取り扱うには、フェ
イズアキュームレータと組み合わせて、補完データを発
生しながら用いられる。
【0004】図10に加算器22とカウンタ25等によ
るフェイズアキュームレータの構成例を示す。周期発生
部2では、基準発振周波数をfHzとすると、カウンタ
の周期分解能はT(sec)=1/fとなるので、Ts
ec未満の周期値(F)は加算器22で累積加算を行
い、その累積値がTsec以上なら、キャリーを発生
し、このキャリーによりカウンタ25の一致出力を遅延
回路26で遅延処理を行い、テスタ周期(RA)を発生
している。
【0005】遅延発生部3では、周期発生部2から、テ
スタ周期(RA)と、RMD値すなわち、 RMD=mod(累積値/T) で示される端数値を受け取る。そして、テスタ周期(R
A)で、タイミングメモリ31からカウンタ35へデー
タを読み込む。このとき、Tsec未満の値は加算器3
2でRMD値と加算を行い、その結果がTsec以上な
らキャリーを発生し、そのキャリーにより遅延回路36
でカウンタ35の一致出力を遅延させ、その出力信号を
微小遅延回路37で微小遅延データの値だけ遅らせて取
り出す。そして、遅延波形整形部38とピンエレクトロ
ニクス39を通してDUT4に印加する。
【0006】図11に加算器122とカウンタ125等
によるフェイズアキュームレータの他の構成例を示す。
基準発振周波数をfnHzとすると、カウンタの周期分
解能はTn(sec)=1/fnとなるので、Tnse
c未満の周期値は加算器122で累積加算を行い、その
累積値がTnsec以上なら、キャリーを発生し、この
キャリーによりカウンタ125でホールド動作を行う。
カウンタ125の出力信号は一致検出136を通り、遅
延回路137で端数値だけ遅延させ、タイミング信号S
として取り出している。
【0007】上述の従来のタイミング発生器に於いて、
基準発振周波数がTnからTmに変更が生じる場合があ
る。これは、基準発振器の発振周波数が微妙に相違する
複数の半導体試験装置に、共通なタイミングデータを設
定して使用したい場合等に生じる。この場合、カウンタ
125や加算器122に設定されるデータの重みづけが
変わってしまうために、ソフトウェアで設定する周期値
メモリ21やタイミングメモリ31の値を基準発振器の
周波数が変わる毎に変更しなければならなくなる。すな
わち、 TDATm=(TDATn×Tn)/Tm の演算処理が必要となることになる。これは、タイミン
グ発振器の基準発振周波数を変更するとソフトウェアの
互換が保てないことになり、大きな欠点である。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】この発明の目的はこれ
らの欠点を一掃し、フェイズアキュムレータの前段に基
数の変動に応じた補正部を設けて、源発の周波数を定め
る基準発振器の周波数に変更が生じた場合でも、タイミ
ングデータの変更無しで使用することのできるタイミン
グ発生器を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】データメモリ21の設定
値に基づき、基準発振器20の発振信号を分周するカウ
ンタ25と、周期値未満の端数値を累積する加算器22
を有するタイミング発生部2において、第1の基準発振
器20の周期値Tnから第2の基準発振器20の周期値
Tmに変更する場合に、設定値MについてM/Tmの除
算を行う基数変換回路201を設ける。そして、補数値
(−Tm)を印加するCOMP信号入力端を加算器22
に設けて複数基準発振器用タイミング発生器を構成す
る。
【0010】次のように構成しても良い。データメモリ
21の設定値に基づき、基準発振器20の発振信号を分
周するカウンタ125と、周期値未満の端数値を累積す
る加算器122を有するタイミング発生部2において、
第1の基準発振器20の周期値Tnに対応する第1基数
nと、第2の基準発振器20の周期値Tmに対応する第
2基数mの差分値を累積する差分アキュムレータ51を
設ける。そして、当該差分アキュムレータ51で生成さ
れた累積値のTn未満値を累積するフェイズアキュムレ
ータ52を設ける。そして、当該差分アキュムレータ5
1のキャリー出力信号により2値シフト動作し、当該フ
ェイズアキュムレータ52のキャリー出力信号によりホ
ールド動作するカウンタ53を設けて複数基準発振器用
タイミング発生器を構成する。
【0011】また、上述の加算器22の構成として、次
のように構成しても良い。設定データ値と前回の出力値
とを入力信号とする第1加算器221を設ける。そし
て、当該第1加算器221の出力値と当該COMP値と
を入力信号とする第2加算器222を設ける。そして、
当該第1加算器221のキャリー出力信号と当該第2加
算器222のキャリー出力信号とを印加するオアゲート
224を設ける。そして、当該オアゲート224の出力
信号により、当該第1加算器221の端数出力信号か当
該第2加算器222の端数出力信号かを選択出力するマ
ルチプレクサ223を設けて複数基準発振器用タイミン
グ発生器を構成する。
【0012】また、上述の各アキュムレータ部を使用し
て次のように構成しても良い。上述のアキュムレータ部
から成る、周期発生部2を設ける。そして、当該アキュ
ムレータ部から成る複数の遅延発生部3を設けて複数基
準発振器用タイミング発生器を構成する。
【0013】
【作用】基数変換回路201のレジスタには(Tm)を
設定し、COMP信号には周期値Tmの補数である(−
Tm)を設定しておく。加算器221では、RMDn−
1と周期値メモリ21から読み出されたTmsec未満
の値Fmとの加算を行い、加算した値がTnsec以上
になったときキャリーが発生する。加算器222では、
加算器221の演算結果DAと補数値(−Tm)の加算
を行い、加算した値がTm以上になったとき、キャリー
が発生する。ここで、加算器221又は加算器222の
キャリー(CAn又はCBn)が発生した場合には、マ
ルチプレクサ223では加算器222の演算結果DBが
選択され、発生しなかった場合には加算器221の演算
結果DAが選択され、これがRMDnとなる。以上によ
り、この加算器は、基準発振周波数を任意に変更しても
ソフトウェアでメモリに設定する値は変更しなくて良
い。
【0014】
【実施例】本発明の実施例について図面を参照して説明
する。
【0015】(実施例1)図1は本発明の1実施例を示
す複数基準発振器用タイミング発生器である。図1に示
すように、周期発生部2の周期値メモリ21の前段に基
数変換回路201を設ける。そして、加算器22の入力
段にCOMP信号入力端を追加する。同様に、遅延発生
部3のタイミングメモリ31の前段に基数変換回路30
1を設ける。そして、加算器32の入力段にCOMP信
号入力端を追加する。
【0016】ここで、基準発振器の発振周波数をfnか
らfmに変更する場合には、基数変換回路(201、3
01)のレジスタに Tm=1/fm を設定する。そして、加算器(22、32)のCOMP
信号の値としてTmの補数である(−Tm)を設定す
る。
【0017】周期発生部2内の周期値メモリ21に設定
値Mを設定する場合、周期値Mは基数変換回路201に
おいて除算(M/Tm)が行われて、商Imと余りFm
として周期値メモリ21に書き込まれる。この結果、カ
ウンタの周期分解能はTmとなるが、カウンタが読み込
む値もTmを基数としたImとなり、加算器22もTn
secキャリーからTmsecキャリーを発生するよう
になる。同様に、遅延発生部3内のタイミングメモリ3
1に設定値M2を設定する場合、周期値M2は基数変換
回路301において除算(M2/Tm)が行われて、商
I2mと余りF2mとしてタイミングメモリ31に書き
込まれる。従って、図1に示す構成をとれば、任意の周
波数の基準発振器を使用しても加算器と基数変換器のレ
ジスタに設定する値を変えるだけで良く、ソフトウェア
から設定する各メモリへの設定値を変更する必要がなく
なる。
【0018】図2に、図1の周期発生部2における加算
器22の構成例を示す。図2に示すように、この加算器
22は、2段の加算器(221、222)と1つのマル
チプレクサ223から成っている。
【0019】はじめに、基準発振器の発振周波数がfn
である場合には、COMP信号には”0”を設定し、基
数変換器201のレジスタにも”0”を設定しておく。
加算器221では、RMDn−1と周期値メモリ21か
ら読み出されたTnsec未満の値Fnとの加算を行
い、加算した値がTnsec以上になったときキャリー
が発生する。加算器222では、COMPが”0”なの
で、加算は行われないので各演算器の端数値について、
DA=DBが成り立つ。そして加算器221でキャリー
が発生しない場合にはマルチプレクサ223によりDA
の値が選択される。以上の動作を論理式を用いると次式
で表すことができる。 RMDn=DAn Carry=CAn また、次式を満たしている。 RMDn=Fn+RMDn−1
【0020】次に、基準発振器の発振周波数がfnから
fmに変わった場合の動作を示す。COMP信号には周
期値Tmの補数である(−Tm)を設定し、基数変換回
路201のレジスタには(Tm)を設定しておく。加算
器221では、RMDn−1と周期値メモリ21から読
み出されたTmsec未満の値Fmとの加算を行い、加
算した値がTnsec以上になったときキャリーが発生
する。加算器222では、加算器221の演算結果DA
と補数値(−Tm)の加算を行い、加算した値がTm以
上になったとき、キャリーが発生する。ここで、加算器
221又は加算器222のキャリー(CAn又はCB
n)が発生した場合には、マルチプレクサ223では加
算器222の演算結果DBが選択され、発生しなかった
場合には加算器221の演算結果DAが選択され、これ
がRMDnとなる。以上の動作を論理式を用いると次式
で表すことができる。 RMDn=(CAn+CBn)・DBn+(*CAn+
*CBn)・DAn Carry=CAn+CBn ここで、*印は反転信号を表す。また、次式を満たして
いる。 RMDn=Fm+RMDn−1−Tm (Fm+RMD
n−1≧Tmの場合) RMDn=Fm+RMDn−1 (Fm+RMD
n−1<Tmの場合) CarryはFm+RMDn−1≧Tmの場合に発生す
る。以上により、この加算器は、基準発振周波数を任意
に変更してもソフトウェアでメモリに設定する値は変更
しなくて良い。
【0021】図3に周波数がf’Hzの時のタイミング
チャートを示す。加算器221のキャリー(CA)は演
算結果がTsec(=1/f)以上の時に発生し、加算
器222のキャリー(CB)は演算結果がT’sec
(=1/f’)以上のときに発生する。そして、加算器
221、222のどちらでもキャリーが発生しない場合
には、加算器221の演算結果DAがRMDとなり、カ
ウンターの一致出力がそのままテスタ周期RAとなる。
また、加算器221、222のどちらかでキャリーが発
生した場合には、加算器221の演算結果DAからT’
sec引かれた値がRMDとなり、カウンタの一致出力
が遅延回路によってT’sec周期分だけ遅れて、テス
タ周期RAとなる。
【0022】(実施例2)図4は発明の他の実施例を示
す複数基準発振器用タイミング発生器である。図4に示
すように、第1基数nと第2基数mの基準クロックの差
分を累積する差分アキュムレータ51を設ける。そし
て、当該差分アキュムレータ51で生成されたmod値
を累積するフェイズアキュムレータ52を設ける。そし
て、それらの出力値で制御されるカウンタ53を設け
る。
【0023】図4の構成は、基準周波数fmHz(Tm
=1/fm)で動作するタイミング発生器すなわち基数
mのタイミング発生器であり、基数nのデータ(TDA
Tn)をそのまま使用して、タイミング発生を行う例を
示す。但し、ここではn<mの場合の実施例を示す。な
おn≧mの場合についても同様な回路で実現できる。
【0024】まず、基数nのTDATnは、その基数n
以上の重み付けの部分、すなわちTn以上の部分Iがカ
ウンタ53へ印加され、その基数n未満の部分Fが差分
アキュムレータ51に印加される。差分アキュムレータ
51は、基数nと基数mの基準クロックの差分を累積
し、その累積値をdとしたとき、 F−d<0 となったときにボロー出力を発生し、カウンタ53の値
を”1”減じる。ここでカウンタ53はダウンカウンタ
で構成しているものとする。つまり、カウンタ53は通
常−1ダウンを行っているが、このボロー条件の時のみ
−2ダウンを行い、差分によるずれを補正する。
【0025】図5に差分アキュムレータ51での差分動
作の例を示す。基数nでは、 I(n)+F(n)=Tn×4+F(n) で表されている。もし、これをそのまま基数mで使用す
れば目的とは違うタイミングを発生してしまう。そこ
で、基数mの基準タイミング毎に差分dを補正してゆけ
ば、次のように正しく発生することができる。 (1):F(n)−d≧0 (2):F(n)−d−d≧0 (3):F(n)−d−d−d<0 (4):カウンタは(3)でボローを受けてさらに”
1”減じるため、 終了している。 これは、 TDATm×Tm=TDATn×Tn=TDATn×
(Tm−d)=TDATn×Tm−TDATn×d であることからも明らかである。
【0026】次に、フェイズアキュムレータ52は、差
分アキュムレータ51で生成されたF(m)を累積する
動作を行う。図6は、フェイズアキュムレータ52での
累積値の様子を示す。連続して信号発生を行う場合に、
基数mの基準クロックからの補完データP(m)を生成
する。このP(m)は、基数m未満の時間データ、すな
わち基数mの基準クロックの周期Tm未満の時間データ
である。このとき、累積値P(m)が基数m以上になる
毎に、すなわち基数mのキャリー信号発生毎にカウンタ
53をホールドさせ、カウンタの動作を1基準クロック
分遅らせる。
【0027】カウンタ53の出力信号は一致検出回路1
36に印加し、一致検出回路136で一致が取れたらタ
イミング信号Sを出力する。また、そのときのフェイズ
アキュムレータ52の出力も補完データRMDとして出
力する。上述のように、基数nのデータをそのまま使用
して、周波数fmHz(Tm=1/fm)で動作するタ
イミング発生器を実現できる。
【0028】図7に、カウンタ53をダウンカウンタで
構成した実施例を示す。一般に、タイミングデータTD
ATnは基数nに関して、n以上のビットとn未満のビ
ットで示すことができる。図8に、基数nのタイミング
データTDATnのビット配置例を示す。このTDAT
nの上位Lビットがカウンタ53へ設定され、下位kビ
ットが差分アキュムレータ51へ設定される。
【0029】差分アキュムレータ51のレジスタ511
には基数nとmとの差分dの補数を設定しておく。ま
た、フェイズアキュムレータ52のレジスタ521には
基数mのキャリーを発生するためにmの補数を設定して
おく。
【0030】図9に、本実施例2による動作例をタイミ
ングチャートで示す。スタート信号がタイミング信号S
により印加される。TDATnはI(n)=4intと
し、F(n)=2fracとする。基数nとmとの差分
はd=1fracとする。この場合、補完データRMD
とタイミング信号Sを図示のように発生する。
【0031】
【発明の効果】以上説明したように本発明は構成されて
いるので、次に記載する効果を奏する。フェイズアキュ
ムレータの前段に基数の変動に応じた補正部を設けて、
源発の周波数を定める基準発振器の周波数に変更が生じ
た場合でも、タイミングデータの変更無しで使用するこ
とのできるタイミング発生器を提供できた。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の1実施例を示す複数基準発振器用タイ
ミング発生器である。
【図2】周期発生部2における加算器22の構成例を示
す。
【図3】周波数がf’Hzの時のタイミングチャートを
示す。
【図4】発明の他の実施例を示す複数基準発振器用タイ
ミング発生器である。
【図5】差分アキュムレータ51での差分動作の例を示
す。
【図6】フェイズアキュムレータ52での累積値の様子
を示す。
【図7】カウンタ53をダウンカウンタで構成した実施
例を示す。
【図8】基数nのタイミングデータTDATnのビット
配置例を示す。
【図9】本実施例2による動作例をタイミングチャート
で示す。
【図10】加算器22とカウンタ25等によるフェイズ
アキュームレータの構成例を示す
【図11】加算器122とカウンタ125等によるフェ
イズアキュームレータの他の構成例を示す。
【符号の説明】
1 パターン発生器 2 周期発生部 3 遅延発生部 4 DUT 20 基準発振器 21 周期値メモリ 22、32、122、221、222 加算器 23、24、33、34、123 フリップフ
ロップ 25、35、53、125 カウンタ 26、36 遅延回路 31 タイミングメモリ 37 微小遅延回路 38 遅延波形整形部 39 ピンエレクトロニクス 51 差分アキュムレータ 52 フェイズアキュムレータ 201、301 基数変換回路 223 マルチプレクサ 224 オアゲート

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 データメモリ(21)の設定値に基づ
    き、基準発振器(20)の発振信号を分周するカウンタ
    (25)と、周期値未満の端数値を累積する加算器(2
    2)を有するタイミング発生部(2)において、 第1の基準発振器(20)の周期値Tnから第2の基準
    発振器(20)の周期値Tmに変更する場合に、設定値
    MについてM/Tmの除算を行う基数変換回路(20
    1)を設け、 補数値(−Tm)を印加するCOMP信号入力端を加算
    器(22)に設け、たことを特徴とする複数基準発振器
    用タイミング発生器。
  2. 【請求項2】 データメモリ(21)の設定値に基づ
    き、基準発振器(20)の発振信号を分周するカウンタ
    (125)と、周期値未満の端数値を累積する加算器
    (122)を有するタイミング発生部(2)において、 第1の基準発振器(20)の周期値Tnに対応する第1
    基数nと、第2の基準発振器(20)の周期値Tmに対
    応する第2基数mの差分値を累積する差分アキュムレー
    タ(51)を設け、 当該差分アキュムレータ(51)で生成された累積値の
    Tn未満値を累積するフェイズアキュムレータ(52)
    を設け、 当該差分アキュムレータ(51)のキャリー出力信号に
    より2値シフト動作し、当該フェイズアキュムレータ
    (52)のキャリー出力信号によりホールド動作するカ
    ウンタ(53)を設け、たことを特徴とする複数基準発
    振器用タイミング発生器。
  3. 【請求項3】 当該加算器(22)の構成として、 設定データ値と前回の出力値とを入力信号とする第1加
    算器(221)と、 当該第1加算器(221)の出力値と当該COMP値と
    を入力信号とする第2加算器(222)と、 当該第1加算器(221)のキャリー出力信号と当該第
    2加算器(222)のキャリー出力信号とを印加するオ
    アゲート(224)を設け、 当該オアゲート(224)の出力信号により、当該第1
    加算器(221)の端数出力信号か当該第2加算器(2
    22)の端数出力信号かを選択出力するマルチプレクサ
    (223)を設けた請求項1記載の複数基準発振器用タ
    イミング発生器。
  4. 【請求項4】 請求項1、2又は3記載のアキュムレー
    タ部から成る、周期発生部(2)を設け、 当該アキュムレータ部から成る複数の遅延発生部(3)
    を設け、て構成したことを特徴とする複数基準発振器用
    タイミング発生器。
JP25435494A 1994-09-22 1994-09-22 複数基準発振器用タイミング発生器 Expired - Fee Related JP3524967B2 (ja)

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