DE19611194A1

DE19611194A1 - Taktgenerator für mehrere Referenztakte

Info

Publication number: DE19611194A1
Application number: DE19611194A
Authority: DE
Inventors: Hiroyasu Nakayama; Masayuki Itoh
Original assignee: Advantest Corp
Current assignee: Advantest Corp
Priority date: 1994-09-22
Filing date: 1996-03-21
Publication date: 1997-09-25
Anticipated expiration: 2016-03-22
Also published as: JPH0894725A; DE19611194C2; US5903745A; JP3524967B2

Description

Die Erfindung betrifft einen Taktgenerator zum Festle gen zeitlicher Beziehungen von Takten in einem Halbleiter- Prüfsystem und insbesondere einen Taktgenerator zum Erzeugen vorgegebener Takte, wobei Zeitdaten nicht geändert werden müssen, wenn eine Frequenz eines Referenztaktoszillators ge ändert wird.

Beim Prüfen von Halbleiter-IC-Bausteinen durch ein Halbleiter-Prüfsystem, wie beispielsweise ein IC-Prüfgerät, werden geeigneten Anschlüssen des zu prüfenden Halbleiter- IC-Bausteins Prüfsignale mit einer vorgegebenen Prüfimpuls folge, d. h. eine Prüfgerättaktfolge bzw. ein Prüfgerättakt, zugeführt. Das IC-Prüfgerät empfängt in Antwort auf die Prüfsignale erzeugte Ausgangssignale des geprüften IC-Bau steins. Die Ausgangssignale werden bezüglich des Prüfgerät taktes mit vorgegebenen Verzögerungszeiten gestrobt bzw. ab getastet, so daß sie mit erwarteten Daten verglichen werden können, um festzustellen, ob der Halbleiterbaustein korrekt arbeitet.

Die Taktsignale, durch die der Prüfgerättakt gebildet wird, und die Verzögerungszeiten werden allgemein durch einen hochstabilisierten Referenztaktoszillator, wie bei spielsweise einen Kristalloszillator, erzeugt. Wenn die er forderliche Zeitauflösung eines IC-Prüfgerätes einem ganz zahligen Vielfachen der kürzesten Taktfolge (einer Periode) eines Referenztaktoszillators gleich oder größer als diese ist, können Taktsignale erzeugt werden, indem einfach der Referenztakt durch einen Zähler untersetzt und das unter setzte Ausgangssignal mit dem Referenztakt synchronisiert wird.

Bei einem modernen IC-Prüfgerät ist jedoch eine höhere Zeitauflösung erforderlich als die kürzeste Taktfolge (Periode eines Taktzyklus) des Referenztaktoszillators. Wenn die Taktperiode eines Referenztaktoszillators beispielsweise 10 ns (Nanosekunden) beträgt, kann für das IC-Prüfgerät ein Prüfgerätimpulsabstand von 32.5 ns und eine Verzögerungszeit von 6.2 ns vom Beginn des Prüfzyklus erforderlich sein. Au ßerdem ändert ein modernes IC-Prüfgerät diese Zeitintervalle auf einer zyklusbezogenen Basis basierend auf einem Pro gramm, d. h. einem Softwareprogramm, dynamisch.

Um solche Taktsignale mit einer Zeitauflösung zu er zeugen, die höher ist als der Taktimpulsabstand bzw. die Taktrate, kann herkömmlich eine Kombination aus einem Zähler und einem Akkumulator verwendet werden, um solche Taktsi gnale zu erzeugen, während basierend auf einem Softwarepro gramm dynamisch Interpolationsdaten erzeugt werden.

Fig. 10 zeigt ein Blockdiagramm zum Darstellen eines Beispiels eines herkömmlichen Halbleiter-Prüfsystems, das insbesondere einen Taktgenerator mit Koinbinationen aus Zäh lern und Akkumulatoren aufweist. Der in Fig. 10 darge stellte Taktgenerator wird allgemein aus einem Impuls- oder Taktfolgengenerator bzw. Impulsratengenerator 2 und mehreren Verzögerungseinrichtungen 3 gebildet. Eine Mustererzeu gungseinrichtung 1 führt dem Impulsratengenerator 2 Adres sendaten zu, um Takte für jeden Prüfmusterzyklus fest zulegen. Obwohl nicht dargestellt, erzeugt die Musterer zeugungseinrichtung 1 auch Musterdaten zum Festlegen eines Prüfsignaltyps und erwartete Daten, die mit erhaltenen Aus gangssignalen vom geprüften Baustein verglichen werden.

Der Impulsratengenerator 2 führt der Verzögerungs einrichtung 3 einen Prüfgerättakt RA und Interpolationsdaten RMD zu. Die Verzögerungseinrichtung 3 verzögert den Prüfge rättakt RA um eine durch die Interpolationsdaten RMD defi nierte Verzögerungszeit. Die Verzögerungseinrichtung 3 er zeugt ferner eine Verzögerungszeit auf der Basis von in ei nem darin angeordneten Takt- oder Impulsabstandspeicher ge speicherten Zeitdaten. Das Prüfsignal, dessen Takteinstel lung oder -beziehung durch die Verzögerungseinrichtung 3 be stimmt ist; wird durch eine Wellenformatiereinrichtung 38 wellengeformt und über eine Pin-Elektronik 39, durch die das IC-Prüfgerät mit jedem Anschluß des IC-Bausteins 4 verbunden ist, einem Halbleiterbaustein 4 zugeführt. Bei einem in der Praxis verwendeten IC-Prüfgerät sind entsprechend der Anzahl der Eingangsanschlüsse eines zu prüfenden IC-Bausteins meh rere Verzögerungseinrichtungen vorgesehen.

Nachstehend wird unter Bezug auf die Fig. 10-12 ein herkömmlicher Taktgenerator ausführlich beschrieben. Der Im pulsratengenerator 2 weist einen Referenzoszillator 20, einen Impulsabstandspeicher 21, einen Akkumulator 22, Regi ster 23 und 24, einen Zähler 25 und eine Verzögerungsschal tung 26 auf. Der Referenzoszillator 20 oszilliert mit einer Frequenz f_Hz, z. B. 100 MHz, wodurch ein Referenztakt Ck bereitgestellt wird, und stellt den Referenztakt im gesamten Taktgenerator und für andere Blöcke bzw. Abschnitte des IC- Prüfgeräts bereit. Der Impulsabstandspeicher 21 speichert Zeitdaten, um den Prüfgerättakt RA für jeden Prüfzyklus festzulegen. Die Zeitdaten für das Prüfsignal werden durch eine Softwareverarbeitung unter Berücksichtigung verschiede ner Faktoren bzw. Kenngrößen oder -linien umgebender Schal tungselemente erzeugt.

Der Zähler empfängt einen Teil der Zeitdaten, der grö ßer ist als die Referenztaktperiode T (= 1/f_Hz) des Refe renztaktes Ck. Der Akkumulator 22 empfängt einen Teil F der Zeitdaten (Teildaten), der kleiner ist als die Referenz taktperiode T. Der Akkumulator 22 akkumuliert die vom Regi ster 23 bereitgestellten Interpolationsdaten RMD für den vorangehenden Takt Ck, die den Teildaten F vom Impulsabstandspeicher 21 entsprechen. Wenn der gewünschte Prüfgerättaktabstand für diesen Zyklus beispielsweise 32.5 Nanosekunden (ns) beträgt und die Referenztaktperiode 10 ns beträgt, wird dem Zähler 25 das Datenelement 30 ns (oder ein fach 3 als ganzzahliges Vielfaches von 10 ns) und dem Akkumulator 22 das Teildatenelement 2.5 ns zugeführt.

Der Zähler 25 ist beispielsweise ein programmladbarer Zähler, der die Anzahl der Impulse des Referenztaktes Ck zählt. Wenn der Zählwert mit dem Datenelement vom Impulsabstandspeicher übereinstimmt, erzeugt der Zähler 25 ein Koinzidenzsignal, das durch die Verzögerungsschaltung 26 empfangen wird. Wenn durch den Zähler 25, wie im vorangehen den Beispiel, ein den Wert 30 ns anzeigendes Datenelement empfangen wird, lädt der Zähler das Datenelement durch Zäh len der Anzahl von Referenztaktimpulsen und erzeugt ein Ko inzidenzsignal, wenn er drei Referenztaktimpulse gezählt hat.

Wenn die akkumulierten Daten die Referenztaktperiode T überschreiten, gibt der Akkumulator 22 ein Übertragssignal aus, das über das Register 24 der Verzögerungsschaltung 26 zugeführt wird. Wenn die akkumulierten Daten die Referenz taktperiode T nicht überschreiten, werden die erhaltenen Da ten im nächsten Zyklus des Referenztaktes Ck zum Teildaten element F vom Impulsabstandspeicher 21 addiert. Dieser Akkumulierprozeß wird während des gesamten Vorgangs zum Er zeugen der Taktsignale im IC-Prüfgerät wiederholt.

Wenn das Übertragssignal durch die Verzögerungsschal tung 26 empfangen wird, erzeugt diese einen Prüfgerättakt RA synchron mit dem unmittelbar nach dem Übertragssignal kom menden Referenztakt Ck. Daher verzögert die Verzögerungs schaltung immer dann, wenn das Übertragssignal durch den Ak kumulator erzeugt wird, das Ausgangssignal vom Zähler 25 um einen Zyklus. Der Prüfgerättakt RA wird der Verzögerungsein richtung 3 zugeführt, um die Operation der Verzögerungsein richtung 3 zu starten. Der Prüfgerättakt RA wird außerdem der Mustererzeugungseinrichtung 1 zugeführt, um auf die nächste Adresse des Impulsabstandspeichers 21 zuzugreifen. Außerdem werden durch die Verzögerungseinrichtung 3 zusätz lich zum Prüfgerättakt RA die Interpolationsdaten RMD vom Register 23 empfangen.

Es wird kein Übertragssignal erzeugt, bis der akkumu lierte Wert im Akkumulator 22 niedriger ist als die Refe renztaktperiode T. Daher wird das Ausgangssignal des Zählers 25 als Prüfgerättakt RA ohne Verzögerung übertragen.

Die Verzögerungseinrichtung 3 ist ähnlich aufgebaut wie der Impulsratengenerator 2. Die Verzögerungseinrichtung 3 weist einen Zeitdatenspeicher 31, einen Akkumulator 32, Re gister 33 und 34, einen Zähler 35, eine Verzögerungsschal tung 36 und eine variable Verzögerungsschaltung 37 auf. Der Referenztakt Ck wird diesen Schaltungselementen der Verzöge rungseinrichtung 3 zugeführt, um Operationen im IC-Prüfgerät zu synchronisieren. Der Zeitdatenspeicher 31 speichert Zeit daten, um unter zusätzlicher Verwendung des Prüfgerättaktes RA und der Interpolationsdaten RMD vom Impulsratengenerator 2 Takte, wie beispielsweise Prüfsignale und Strobesignale festzulegen. Die Zeitdaten für den Impulsabstandspeicher 21 werden unter Berücksichtigung verschiedener Faktoren bzw. Kenngrößen oder -linien umgebender Schaltungselemente durch eine Softwareverarbeitung erzeugt.

Der Zähler empfängt einen Teil der Zeitdaten, der grö ßer ist als die Referenztaktperiode T (= 1/f_Hz) des Referenz taktes Ck auf die gleiche Weise wie der Zähler des Impuls ratengenerators 2. Der Akkumulator 32 empfängt einen Teil der Zeitdaten (Teildaten), der kleiner ist als die Referenztaktperiode T. Der Akkumulator 32 addiert die vom Register 33 bereitgestellten Interpolationsdaten RMD für den vorangehenden Takt Ck zu den Teildaten vom Impulsabstand speicher 21. Wie vorstehend unter Bezug auf den Impulsraten generator erwähnt, wird dem Zähler 35, wenn die gewünschte Zeitdauer für den Zyklus 32.5 ns und die Referenztaktperiode 10 ns beträgt, das Datenelement 30 ns und dem Akkumulator 32 das Teildatenelement 2.5 ns zugeführt.

Der Zähler 35 ist beispielsweise ein programmladbarer Zähler, der die Anzahl von Impulsen des Referenztaktes Ck zählt. Wenn das gezählte Datenelement mit dem Datenelement vom Zeitdatenspeicher 31 übereinstimmt, erzeugt der Zähler 35 ein Koinzidenzsignal, das durch die Verzögerungsschaltung 36 empfangen wird. Wenn daher, wie im vorstehenden Beispiel, das den Wert 30 ns anzeigende Datenelement durch den Zähler 36 empfangen wird, erzeugt der Zähler 36 ein Ausgangssignal, wenn er drei Impulse des Referenztaktes Ck gezählt hat.

Wenn die akkumulierten Daten die Referenztaktperiode T überschreiten, gibt der Akkumulator ein Übertragssignal aus, das der Verzögerungsschaltung 36 über das Register 34 zuge führt wird. Wenn die akkumulierten Daten die Referenztaktpe riode T nicht überschreiten, werden die erhaltenen Daten beim nächsten Referenztakt Ck zum Teildatenelement F vom Im pulsabstandspeicher 21 addiert. Dieses Akkumulierverfahren wird wiederholt, bis das Übertragssignal durch den Akkumula tor innerhalb des Prüfgerättaktes erzeugt wird.

Wenn das Übertragssignal durch die Verzögerungsschal tung 36 empfangen wird, stellt diese eine Verzögerungszeit bereit, die einem Referenztaktzyklus gleich ist. Es wird kein Übertragssignal erzeugt, bis der akkumulierte Wert im Akkumulator 32 kleiner ist als die Referenztaktperiode T. Dann wird das Ausgangssignal des Zählers 35 von der Verzöge rungsschaltung 36 als Taktsignal ohne zusätzliche Verzöge rung übertragen.

Das Ausgangssignal von der Verzögerungsschaltung 36 wird durch die variable Verzögerungsschaltung 37 zusätzlich verzögert. Die durch die variable Verzögerungsschaltung 37 erzeugte Verzögerungszeit ist durch die Summe aus dem Teil datenelement vom Zeitdatenspeicher 31 und dem Interpolati onsdatenelement RMD vom Impulsratengenerator 2 bestimmt.

Im Taktgenerator sind mehrere Verzögerungseinrichtungen 3 vorgesehen, denen jeweils ein entsprechendes Prüf- oder Strobesignal zugewiesen ist, die zum Prüfen des IC-Bausteins verwendet werden. Nachstehend wird die Arbeitsweise des Taktgenerators von Fig. 10 unter Bezug auf Impulsdiagramme ausführlicher beschrieben.

Unter Bezug auf die Fig. 11-13 wird die Arbeitsweise des Taktgenerators von Fig. 10 für einen Fall beschrieben, bei dem mehrere Taktsignale für einen IC-Prüfvorgang erzeugt werden. Bei diesem Beispiel wird vorausgesetzt, daß Signale mit in Fig. 11 dargestellten Taktfolgen bzw. zeitlichen Be ziehungen zum Prüfen eines IC-Bausteins erzeugt werden sol len. Dem IC-Baustein sollen Prüfsignale (Anregungs-Taktsi gnale) CLK1 und CLK2 zugeführt werden, während ein Strobesi gnal STRB zum Abtasten des erhaltenen Ausgangssignals vom IC-Baustein verwendet wird. Die zeitlichen Beziehungen bzw. Taktbeziehungen zwischen den Prüfsignalen CLK1, CLK2 und STRB sind in Fig. 11 dargestellt. Bei diesem Beispiel wird außerdem vorausgesetzt, daß die Periode des Referenztaktes CK 10 Nanosekunden beträgt.

Wie vorstehend erwähnt, werden im Taktgenerator mehrere Verzögerungsschaltungen 3 verwendet. Um diese Taktsignale von Fig. 11 unter Verwendung des Taktgenerators von Fig. 10 zu erzeugen, wird einer Verzögerungseinrichtung 3₁ das Signal CLK1, einer Verzögerungseinrichtung 3₂ das Signal CLK2 und einer Verzögerungseinrichtung 3₃ das Signal STRB zugeordnet. Durch diese Einstellung speichert jeder Speicher im Taktgenerator die Zeitdaten gemäß Fig. 12. Der Impulsab standspeicher 21 ist ein im Impulsratengenerator 2 ange ordneter Speicher und die Zeitdatenspeicher 31₁-31₃ sind den Taktgeneratoren 3₁-3₃ zugeordnet. Die Adresse wird dem Im pulsabstandspeicher und den Zeitdatenspeichern in der Rei henfolge #0, #1, #2 . . . zugeführt, wie in Fig. 12 darge stellt.

Weil das Signal CLK1 in diesem Beispiel ein Referenzsi gnal für die anderen Takte ist, werden dem Impulsabstand speicher die Zeitdaten 35 ns, 38 ns und 30 ns für die Adressen #0, #1 bzw. #2 zugeführt. Der Zeitdatenspeicher 31₁ zum Er zeugen des Signals CLK1 speichert die den Adressen #0, #1, #2 zugeordneten Zeitdaten 0 ns, 0 ns bzw. 0 ns. Der Zeitdatenspeicher 31₂ zum Erzeugen des Signals CLK2 spei chert die Zeitdaten 7 ns, 5 ns und 8 ns für die entsprechenden Adressen #0, #1 bzw. #2. Der Zeitdatenspeicher 31₃ zum Er zeugen des Strobesignals STRB speichert die Zeitdaten 30 ns, 15 ns bzw. 22 ns. Wie vorstehend erwähnt, betragen die Teilda ten F für den Akkumulator 22 im Impulsratengenerator 2 3 ns, 8 ns bzw. 0 ns, wobei diese Werte den Differenzen zwischen ei nem ganzzahligen Vielfachen der Referenztaktperiode von 10 ns und den Zeitdaten entsprechen.

Die Fig. 13-17 zeigen Impulsdiagramme zum Darstellen von Operationen im Impulsratengenerator 2 und in den Verzögerungseinrichtungen 3₁-3₃ zum Erzeugen der Signale CLK1, CLK2 und STRB mit den in Fig. 11 dargestellten zeit lichen Beziehungen bzw. Taktbeziehungen. Fig. 13 zeigt ein Impulsdiagramm des Impulsratengenerators 2, und die Fig. 14-16 zeigen Impulsdiagramme der Verzögerungseinrichtungen 3₁-3₃. Der Impulsabstandspeicher 21 und die Zeitdatenspei cher 31₁-31₃ speichern die Zeitdaten, die vorstehend er wähnt, basierend auf einem Softwareprogramm.

Wie in Fig. 13A dargestellt, beträgt die Zeitperiode T des Referenztaktes Ck 10 ns. Der Zähler 25 im Impulsratenge nerator 2 empfängt die Daten vom Impulsabstandspeicher 21 und zählt den Referenztakt Ck. Das Datenelement beträgt in diesem Fall 30 ns, so daß, wenn der Zähler 25 drei Impulse gezählt hat, dieser immer nach 30 ns ein Koinzidenzsignal ausgibt, wie in Fig. 13B dargestellt. Weil der Akkumulator 22 ein Übertragssignal erzeugt, wenn er die Teildaten 5 ns und 8 ns akkumuliert, erzeugt die Verzögerungsschaltung 26 den Prüfgerättakt RA, der durch die Referenztaktperiode T um einen Taktzyklus verzögert ist, wie in Fig. 13C darge stellt. Dadurch beträgt der Impulsabstand des Prüfgerättak tes RA in diesem Beispiel 30 ns für den ersten Prüfzyklus und 40 ns für den nächsten Prüfzyklus.

Das Interpolationsdatenelement RMD im zweiten Zyklus von Fig. 13D zeigt 5 ns an, weil durch den Akkumulator 22 und das Register 23 das Teildatenelement von 5 ns bereitge stellt wird, das um einen Zyklus verzögert ist. Im zweiten Zyklus wird das nächste Teildatenelement von 8 ns zum vorhe rigen Datenelement RMD von 5 ns addiert, das vom Register 23 zugeführt wird. Dadurch erzeugt der Akkumulator 22 das den Wert 10 ns anzeigende Übertragssignal, wie vorstehend be schrieben, und das Restdatenelement von 3 ns wird als Inter polationsdatenelement RMD am Ausgang des Registers 23 be reitgestellt. Auf diese Weise werden die Interpolationsdaten RMD durch den Akkumulator 22 basierend auf den Teildaten im Impulsabstandspeicher 21 dynamisch geändert.

Der Prüfgerättakt RA wird über die Verzögerungsein richtung 3₁ dem Zähler 35 zugeführt, wie in Fig. 14A darge stellt. Wie vorstehend unter Bezug auf Fig. 12 erwähnt, speichert der Zeitdatenspeicher 31₁ die die Werte 0 ns, 0 ns, 0 ns für die zugeordneten drei Zyklen darstellenden Zeitda ten, wie in Fig. 14B dargestellt. Durch den Akkumulator 32 wird kein Übertragssignal erzeugt, weil durch die Addition der Zeitdaten und der Interpolationsdaten RMD in diesem Fall die Referenztaktperiode von 10 ns nicht überschritten wird. Daher gibt die Verzögerungsschaltung 36 ein Signal aus, das die gleiche Taktbeziehung aufweist, wie der durch den Zähler 35 empfangene Prüfgerättakt, wie in Fig. 14C dargestellt.

Das Ausgangssignal der Verzögerungsschaltung 36 wird durch die variable Verzögerungsschaltung 37 empfangen, die durch Verzögerungsdaten vom Register 33 gesteuert wird. Weil das im Zeitdatenspeicher 31 gespeicherten Zeitdatenelement, wie vorstehend erwähnt, 0 ns beträgt, bleibt das Ausgangssi gnal des Akkumulators 32 unverändert als Interpolations datenelement RMD erhalten und wird im nächsten Taktzyklus dem Register 33 zugeführt. Daher entsprechen die in Fig. 14D dargestellten Verzögerungsdaten vom Register 33 den Interpolationsdaten RMD.

Die variable Verzögerungsschaltung 37 führt dem Aus gangssignal der Verzögerungsschaltung 36 eine hochaufgelöste Verzögerungszeit basierend auf den Verzögerungsdaten vom Re gister 33 zu. Für den ersten Prüfzyklus wird die Verzöge rungszeit von 5 ns zum zweiten Impuls addiert, und für den zweiten Prüfzyklus wird die Verzögerungszeit von 3 ns zum dritten Impuls addiert. Daher wird durch die Verzögerungs einrichtung 3 das in Fig. 14E dargestellte Prüfsignal CLK1 erzeugt.

Ähnlicherweise wird der Prüfgerättakt RA von der Verzögerungseinrichtung 32 über den Zähler 35 empfangen, wie in Fig. 15A dargestellt. Wie unter Bezug auf Fig. 12 erwähnt, speichert der Zeitdatenspeicher 31₂ die die Werte 7 ns, 5 ns und 8 ns für die entsprechenden drei Zyklen darstel lenden Zeitdaten, wie in Fig. 15B dargestellt. Durch den Akkumulator 32 wird für den ersten Prüfzyklus kein Über tragssignal erzeugt, weil durch Addieren des RMD-Datenele ments von 0 ns und des Zeitdatenelements von 7 ns die Refe renztaktperiode von 10 ns nicht überschritten wird. Daher führt der Akkumulator 32 dem Register 33 die Verzögerungsda ten in der vorliegenden Form zu. Das Register 33 überträgt das den Wert 7 ns anzeigende Datenelement synchron mit dem nächsten Referenztakt Ck an die variable Verzögerungsschal tung, wie in Fig. 15D dargestellt.

Im zweiten Zyklus erzeugt der Akkumulator 32, weil durch Addieren des Zeitdatenelements von 5 ns und des Inter polationsdatenelements RMD von 5 ns der Wert 10 ns erhalten wird, ein Übertragssignal, das über das Register 34 der Ver zögerungsschaltung 36 zugeführt wird. Daher wird der zweite Impuls von der Verzögerungsschaltung 36 um einen Taktzyklus verzögert, wie in Fig. 15C dargestellt. Das Verzögerungsda tenelement vom Register 33 zeigt 0 ns an, wie in Fig. 15D dargestellt, und wird der variablen Verzögerungsschaltung 37 zugeführt.

Ähnlich werden im nächsten Prüfzyklus das Zeitdatenele ment von 8 ns und das Datenelement RMD von 3 ns addiert, wobei der Summenwert die Referenztaktperiode von 10 ns überschrei tet. Dadurch wird ein Übertragssignal erzeugt, durch das der dritte Impuls von der Verzögerungsschaltung 36 wiederum um einen Taktzyklus verzögert wird. Das Verzögerungsdaten element vom Register 33 zeigt 1 ns an und ergibt sich aus der Differenz von 11 ns (8 ns + 3 ns) und der Referenztaktperiode von 10 ns und wird der variablen Verzögerungsschaltung 37 zu geführt, wie in Fig. 15D dargestellt.

Das Ausgangssignal der Verzögerungsschaltung 36 wird durch die variable Verzögerungsschaltung 37 empfangen, die durch die Verzögerungsdaten vom Register 33 gesteuert wird. Weil das Verzögerungsdatenelement vom Register 33 im ersten Prüfzyklus 7 ns beträgt, wird die Verzögerungszeit von 7 ns zum ersten Impuls von der Verzögerungsschaltung 36 addiert, wodurch der erste Impuls des Prüfsignals CLK2 von Fig. 15E erhalten wird. Für den nächsten Impuls beträgt die Verzöge rungszeit 0 ns. Für den dritten Impuls wird durch die va riable Verzögerungsschaltung 37 die Verzögerungszeit von 1 ns addiert. Dadurch wird das in Fig. 15E dargestellte Prüfsi gnal CLK2 erzeugt.

Hinsichtlich des Strobesignals STRB wird der Prüfge rättakt RA über die Verzögerungseinrichtung 3₂ durch den Zähler 35 empfangen, wie in Fig. 16A dargestellt. Wie vorstehend unter Bezug auf Fig. 12 erwähnt, speichert der Zeitdatenspeicher 31₂ die die Werte 30 ns, 15 ns und 22 ns für die entsprechenden drei Zyklen anzeigenden Zeitdaten, wie in Fig. 16B dargestellt. Weil das Zeitdatenelement 30 ns größer ist als die Referenztaktperiode von 10 ns, wird dem Zähler 35 das Datenelement 30 ns zugeführt, wobei der Zähler die Anzahl von Referenztakten Ck rückwärtszählt.

Dadurch wird das Ausgangssignal des Zählers 35 für den ersten Impuls, der am Ausgang der Verzögerungsschaltung 36 ausgegeben wird, um 30 ns verzögert, wie in Fig. 16C darge stellt. Für den zweiten Impuls wird dem Zähler 35 das Zeit datenelement 10 ns zugeführt, während das Teildatenelement von 5 ns dem Akkumulator 22 zugeführt wird. Daher erzeugt der Zähler 35 ein Ausgangssignal, das bezüglich dem zweiten Im puls des Prüfgerättaktes RA um 10 ns verzögert ist. Das Teildatenelement von 5 ns wird durch den Akkumulator 32 zum Datenelement RMD von 5 ns addiert, wodurch der Akkumulator ein Übertragssignal erzeugt. Durch das Übertragssignal vom Register 34 wird in der Verzögerungsschaltung 36 eine zu sätzliche Verzögerung um einen Zyklus veranlaßt, wie in Fig. 16C dargestellt.

Für den dritten Impuls wird dem Zähler 35 das Zeitda tenelement 20 ns und dem Akkumulator 22 das Teildatenelement 2 ns zugeführt. Daher wird der dritte Impuls von der Verzöge rungsschaltung 36 um 20 ns verzögert, und das Verzögerungs datenelement, das der Summe aus dem Datenelement RMD von 3 ns und dem Teildatenelement von 2 ns entspricht, wird am Ausgang des Registers 33 erzeugt, wie in Fig. 16D dargestellt. Das Strobesignal STRB wird durch Kombinieren der Verzögerungs zeit vom Register 33 und des Ausgangssignals von der Verzögerungsschaltung 36 erzeugt, wie in Fig. 16E darge stellt.

Fig. 17 zeigt ein Impulsdiagramm zum ausführlicheren Darstellen der Arbeitsweise des Impulsratengenerators 2, das in vielen Details mit dem in Fig. 13 dargestellten Impulsdiagramm übereinstimmt. Der in Fig. 17A dargestellte Referenztakt Ck hat eine Periode von 10 ns. Der Impulsab standspeicher 21 speichert die Impulsabstanddaten 35 ns, 38 ns und 30 ns für die ersten drei Prüfzyklen, wie in Fig. 17B dargestellt und in Fig. 12 aufgelistet. Der Im pulsabstandspeicher 21 speichert die Impulsabstanddaten 35 ns, 38 ns und 30 ns für die ersten drei Zyklen in Fig. 17B, und dem Zähler 25 wird ein Datenelement zugeführt, das den Wert 30 ns bzw. drei Zählimpulse für jeden Prüfzyklus an zeigt, wie in Fig. 17C dargestellt. Daher zählt der Zähler 25 den Referenztakt Ck rückwärts, wie in Fig. 17D darge stellt, und erzeugt das Koinzidenzsignal nach jeweils 30 ns, wie in Fig. 17E dargestellt.

Die Teildaten F betragen in diesem Fall 5 ns, 8 ns und 0 ns, wie in Fig. 17F dargestellt, und werden dem Akkumula tor 22 vom Impulsabstandspeicher 21 zugeführt. Im ersten Prüfzyklus wird, weil das Teildatenelement kleiner ist als die Referenzperiode T (10 ns), durch den Akkumulator kein Übertragssignal erzeugt, und das in Fig. 17G dargestellte Teildatenelement von 5 ns am Ausgang des Akkumulators wird im nächsten Taktzyklus am Ausgang des Registers 23 bereitge stellt, wie in Fig. 17H dargestellt.

Im zweiten Prüfzyklus empfängt der Akkumulator 22 das Teildatenelement von 8 ns, das zum vom Register 23 zu geführten Interpolationsdatenelement von 5 ns addiert wird. Daher beträgt das Additionsergebnis 13 ns und überschreitet die Referenzperiode von 10 ns. Der Akkumulator 22 erzeugt ein Übertragssignal, das im nächsten Taktzyklus, wie in Fig. 17I dargestellt, über das Register 24 durch die Verzöge rungsschaltung 26 empfangen wird. Außerdem wird im nächsten Taktzyklus das Restdatenelement von 3 ns vom Akkumulator 22 an das Register 23 übertragen, wie in Fig. 17G dargestellt.

Die Verzögerungsschaltung 26 gibt das vom Zähler 25 er haltene Eingangssignal mit der gleichen Taktbeziehung wie diejenige des Prüfgerättaktes RA synchron mit dem Referenz takt Ck aus. Wenn die Verzögerungsschaltung das Übertragssi gnal vom Register 24 empfängt, verzögert sie das Eingangssi gnal um 10 ns, so daß der Prüfgerättakt RA für den entspre chenden Prüfzyklus um 10 ns gedehnt wird.

Daher beträgt das Zeitintervall im ersten Prüfzyklus, wie in Fig. 17J dargestellt, 30 ns, während das Zeitinter vall im zweiten Prüfzyklus aufgrund des Übertragssignals vom Akkumulator 22 40 ns beträgt. Die Interpolationsdaten RMD werden im Register 23 erzeugt, wie in Fig. 17K dargestellt. Wie im Beispiel der Fig. 13-16 werden der Prüfgerättakt RA und die Interpolationsdaten RMD den Verzögerungseinrich tungen 3₁-3₃ zugeführt, um die erforderlichen Prüf- und Strobesignale zu erzeugen.

Fig. 18 zeigt ein anderes Beispiel eines Schaltungs aufbaus zum Bilden eines Taktgenerators der in Fig. 10 dar gestellten Art basierend auf dem Akkumulator und dem Zähler. Ein Zeitdatenelement, das größer ist als die Referenztaktpe riode T, wird einem Zähler 125 zugeführt, während ein Teil datenelement, das kleiner ist als die Referenztaktperiode einem Akkumulator 122 zugeführt wird. Wenn die Summe aus dem Teildatenelement und einem von einem Register 123 zu geführten vorhergehenden Datenelement größer ist als die Re ferenztaktperiode T, die beispielsweise 10 ns beträgt, führt der Akkumulator 122 dem Zähler 125 ein Übertragssignal zu.

Wenn der Zähler 125 das Übertragssignal empfängt, un terbricht er den Zählvorgang für den entsprechenden Refe renztaktzyklus. Das Ausgangssignal des Zählers 125 wird durch eine variable Verzögerungsschaltung 137 empfangen, in der zum Zählerausgangssignal, das durch einen Koinzidenzde tektor 126 bereitgestellt wird, eine durch das Verzögerungsdatenelement vom Register 123 definierte Verzö gerungszeit addiert wird. Das Ausgangssignal der variablen Verzögerungsschaltung 137 wird als Prüfsignal oder Strobesi gnal verwendet, wie vorstehend beschrieben.

Der vorstehend beschriebene herkömmliche Taktgenerator kann jedoch nicht identische Taktsignale erzeugen, wenn die Referenztaktperiode geändert wird. Wenn der Referenztakt ge ändert wird, müssen die im Impulsabstandspeicher oder im Zeitdatenspeicher gespeicherten Daten entsprechend durch eine Softwareverarbeitung geändert werden. D.h., beim her kömmlichen Taktgenerator ist die Software nicht kompatibel, wenn die Frequenz des Referenzoszillators geändert wird. Eine solche Frequenzänderung des Referenztaktes ist bei spielsweise erforderlich, wenn zwei oder mehr IC-Prüfgeräte mit verschiedenen Referenzfrequenzen parallel verwendet wer den sollen, während die gleichen Taktsignale verwendet wer den.

Bei den in den Fig. 10 oder 11 dargestellten Taktge neratoren können, weil der Stellenwert bzw. Wert der den Zählern und den Akkumulatoren zuzuführenden Daten sich än dert, wenn die Referenzfrequenz sich ändert, keine identi schen Taktsignale für die neue Referenzfrequenz erzeugt wer den, ohne daß die Daten im Impulsabstandspeicher oder in den Zeitdatenspeichern geändert werden müssen. D.h., wenn die Referenzfrequenz oder -periode von Tn auf Tm geändert wird, müssen die Impulsabstanddaten und die Zeitdaten für die Referenzperiode Tm bezüglich denjenigen der Referenzperiode Tn in einem durch Tn/Tm bestimmten Verhältnis geändert wer den. D.h., daß die Software in diesem Fall nicht kompatibel ist, weil die Impulsabstanddaten und die Zeitdaten durch eine Softwareverarbeitung festgelegt werden.

Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Taktgenerator bereitzustellen, der auch dann identische Taktsignale erzeugen kann, wenn die Referenztaktfrequenz ge ändert wird, ohne daß die Daten in den Datenspeichern des Taktgenerators geändert werden müssen.

Ferner wird ein Taktgenerator bereitgestellt, der iden tische Taktsignale erzeugen kann, wenn die Referenztakt frequenz geändert wird, ohne daß das Programm zum Erzeugen der in den Datenspeichern des Taktgenerators gespeicherten Daten geändert werden muß.

Ferner wird ein Taktgenerator bereitgestellt, durch den Kompensationsdaten bereitgestellt werden können, um die durch eine Änderung der Referenztaktfrequenz verursachten Änderungen zu korrigieren.

Ferner wird ein Taktgenerator bereitgestellt, der iden tische Taktsignale für mehrere IC-Prüfgeräte mit verschie denen Referenztaktsignalen erzeugen kann.

Der erfindungsgemäße Taktgenerator kompensiert die Dif ferenz zwischen den Referenztaktfrequenzen, indem der Basis wert zum Erzeugen der Taktsignale entsprechend dem Verhält nis der Referenztaktfrequenzen umgewandelt wird, wobei die durch die Softwareverarbeitung bereitgestellten Zeitdaten nicht geändert werden.

Der erfindungsgemäße Taktgenerator weist auf: einen Da tenspeicher zum dynamischen Empfangen der Zeitdaten durch eine Softwareverarbeitung, um die Zeitlänge der Taktsignale festzulegen, wobei die Zeitdaten aus einem Datenelement, das einem Quotienten entspricht, der durch Dividieren der Zeit länge durch eine Periode eines Referenztaktes erzeugt wird, und einem Teildatenelement gebildet werden, das dem Divisi onsrest entspricht und kleiner ist als die Periode des Refe renztaktsignals; einen Zähler zum Zählen der Anzahl von Im pulsen eines Referenztaktsignals und zum Erzeugen eines Aus gangssignals, wenn die Anzahl der Zählimpulse mit dem vom Datenspeicher erhaltenen Quotienten übereinstimmt; einen Akkumulator zum Akkumulieren des Teildatenelements und des Teildatenelements eines vorangehenden Zyklus des Referenz taktsignals und zum Erzeugen eines Übertragssignals, wenn der akkumulierte Wert die Periode des Referenztaktsignals überschreitet; eine Zahlenumwandlungseinrichtung, durch den die durch die Softwareverarbeitung basierend auf einer er sten Referenztaktperiode Tn erhaltenen Zeitdaten im Verhält nis der ersten Referenztaktperiode Tn zu einer zweiten Referenztaktperiode Tm umgerechnet werden; und eine Einrich tung zum Zuführen eines Komplementärwertes - Tm der zweiten Referenztaktperiode Tm zum Akkumulator.

Eine andere Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Taktgenerators weist auf: einen Datenspeicher zum dynami schen Empfangen der Zeitdaten durch eine Softwareverarbei tung, um die Zeitlänge der Taktsignale festzulegen, wobei die Zeitdaten aus einem Datenelement, das einem Quotienten entspricht, der durch Dividieren der Zeitlänge durch eine Periode eines Referenztaktsignals erzeugt wird, und einem Teildatenelement gebildet werden, das dem Divisionsrest ent spricht und kleiner ist als die Periode des Referenztaktsi gnals; einen Zähler zum Zählen der Anzahl von Impulsen eines Referenztaktsignals und zum Erzeugen eines Ausgangssignals, wenn die Anzahl der gezählten Impulse mit dem vom Daten speicher erhaltenen Quotient übereinstimmt; einen Akku mulator zum Akkumulieren des Teildatenelements zum Teildatenelement des vorangehenden Zyklus des Referenztakt signals und zum Erzeugen eines Übertragssignals, wenn der akkumulierte Wert die Periode des Referenztaktsignals über schreitet, wobei der Akkumulator einen Differenzakkumulator, der für jeden Taktzyklus eines zweiten Referenztaktes eine Zeitdifferenz zwischen einer ersten Referenztaktperiode und einer zweiten Referenztaktperiode akkumuliert, und einen Phasenakkumulator aufweist, der Teildaten vom Differenzakkumulator akkumuliert, die kleiner sind als die erste Referenztaktperiode; wobei der Zähler einen zu sätzlichen Zählimpuls zählt, wenn er ein Übertragssignal vom Differenzakkumulator empfängt, und seinen Zählvorgang unter bricht, wenn er ein Übertragssignal vom Phasenakkumulator empfängt.

Der erfindungsgemäße Taktgenerator kann auch dann iden tische Taktsignale erzeugen, wenn die Referenztaktfrequenz geändert wird, ohne daß die durch das Softwareprogramm für die Datenspeicher des Taktgenerators bereitgestellten Daten geändert werden müssen. Daher kann der erfindungsgemäße Taktgenerator auch dann identische Taktsignale erzeugen, wenn die Referenztaktfrequenz geändert wird, ohne daß das Programm zum Erzeugen der in den Speichern des Taktgenera tors zu speichernden Daten geändert werden muß.

Die Erfindung wird nachstehend anhand der beigefügten Zeichnungen ausführlich erläutert; es zeigen:

Fig. 1 ein Blockdiagramm einer ersten Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Taktgenerators für mehrere Referenz taktoszillatoren;

Fig. 2 ein Blockdiagramm zum Darstellen eines Bei spiels eines Schaltungsaufbaus eines im Taktgenerator von Fig. 1 verwendeten Akkumulators;

Fig. 3 ein Impulsdiagramm zum Darstellen einer Ar beitsweise des erfindungsgemäßen Taktgenerators, wenn die Referenztaktfrequenz auf einen Wert f′ geändert wird;

Fig. 4 ein Blockdiagramm zum Darstellen einer zweiten Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Taktgenerators für mehrere Referenztaktoszillatoren;

Fig. 5 ein Impulsdiagramm zum Darstellen einer Ar beitsweise eines bei der Ausführungsform von Fig. 4 verwen deten Differenzakkumulators 51;

Fig. 6 ein Impulsdiagramm zum Darstellen einer Ar beitsweise eines in der Ausführungsform von Fig. 4 verwendeten Phasenakkumulators 52;

Fig. 7 ein Blockdiagramm zum Darstellen einer Modifi kation der zweiten Ausführungsform des Taktgenerators von Fig. 4, wobei der Zähler 53 aus einem Rückwärtszähler ge bildet wird;

Fig. 8 ein schematisches Diagramm zum Darstellen einer Bitstruktur von den Datenspeichern zuzuführenden Zeitdaten;

Fig. 9 ein Impulsdiagramm zum Darstellen einer Ar beitsweise der zweiten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Taktgenerators;

Fig. 10 ein Blockdiagramm zum Darstellen eines Schal tungsaufbaus eines herkömmlichen Taktgenerators mit einer Kombination aus Akkumulatoren und Zählern;

Fig. 11 ein Impulsdiagramm zum Darstellen eines Bei spiels von Taktbeziehungen zwischen Prüfsignalen und Strobe signalen zum Erläutern der Arbeitsweise des Taktgenerators von Fig. 10;

Fig. 12 ein Diagramm zum Darstellen der in den Impuls abstandspeichern und in den Zeitdatenspeichern des Taktgenerators von Fig. 10 zu speichernden Daten;

Fig. 13 ein Impulsdiagramm zum Darstellen einer Ar beitsweise des im Taktgenerator von Fig. 10 vorgesehenen Impulsratengenerators zum Erzeugen der in Fig. 11 darge stellten Taktsignale;

Fig. 14 ein Impulsdiagramm zum Darstellen einer Ar beitsweise der im Taktgenerator von Fig. 10 vorgesehenen ersten Verzögerungseinrichtung zum Erzeugen des in Fig. 11 dargestellten Prüfsignals CLK1;

Fig. 15 ein Impulsdiagramm zum Darstellen einer Ar beitsweise der im Taktgenerator von Fig. 10 vorgesehenen zweiten Verzögerungseinrichtung zum Erzeugen des in Fig. 11 dargestellten Prüfsignals CLK2;

Fig. 16 ein Impulsdiagramm zum Darstellen einer Ar beitsweise der im Taktgenerator von Fig. 10 vorgesehenen dritten Verzögerungseinrichtung zum Erzeugen des in Fig. 11 dargestellten Strobesignals STRB;

Fig. 17 ein Impulsdiagramm zum ausführlicheren Dar stellen einer Arbeitsweise des im Taktgenerator von Fig. 10 vorgesehenen Impulsratengenerators zum Erzeugen der Taktsi gnale von Fig. 11;

Fig. 18 ein Blockdiagramm zum Darstellen eines anderen Beispiels eines herkömmlichen Taktgenerators mit einer Kom bination aus Akkumulatoren und Zählern; und

Fig. 19 ein Impulsdiagramm zum Darstellen der Wirkun gen der vorliegenden Erfindung zum Erzeugen des in Fig. 11A dargestellten Taktsignals, wenn die Referenztaktfrequenz von einem Wert f_n auf einen Wert f_m geändert wird, wobei die Da ten im Softwareprogramm nicht geändert werden.

Fig. 1 zeigt ein Blockdiagramm zum Darstellen einer ersten Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Taktgenera tors für mehrere Referenztaktoszillatoren. In Fig. 1 wird der Taktgenerator allgemein aus einem Impulsratengenerator 2 und mehreren Verzögerungseinrichtungen 3 gebildet. Durch einen Mustergenerator 1 werden dem Impulsratengenerator Adressendaten zugeführt, um Taktbeziehungen für jeden Prüf musterzyklus festzulegen. Obwohl nicht dargestellt, erzeugt der Mustergenerator 1 auch Musterdaten zum Festlegen eines Prüfsignaltyps und erwartete Daten, die mit erhaltenen Aus gangssignalen vom geprüften Baustein verglichen werden.

Der Impulsratengenerator 2 führt den Verzögerungs einrichtungen 3 einen Prüfgerättakt RA und Interpolations daten RMD zu. Jede der Verzögerungseinrichtungen 3 verzögert den Prüfgerättakt RA vom Impulsratengenerator 2 um eine durch die Interpolationsdaten RMD definierte Verzö gerungszeit. Das Prüfsignal, dessen Takt durch die Verzöge rungseinrichtung 3 derart festgelegt wurde, wird durch eine Wellenformatiereinrichtung 38 wellengeformt und einem Halb leiterbaustein 4 über eine Pin-Elektronik 39 zugeführt, die als Schnittstelle zwischen dem IC-Prüfgerät und den An schlüssen des Bausteins 4 angeordnet ist. Bei einem in der Praxis verwendeten IC-Prüfgerät sind entsprechend der Anzahl der Eingangsanschlüsse eines zu prüfenden IC-Bausteins meh rere Verzögerungseinrichtungen 3 vorgesehen.

Der in Fig. 1 dargestellte Impulsratengenerator 2 weist wie der in Fig. 10 dargestellte herkömmliche Taktge nerator einen Referenzoszillator 20, einen Impulsabstand speicher 21, einen Akkumulator 22, Register 23 und 24, einen Zähler 25 und eine Verzögerungsschaltung 26 auf. Bei der vorliegenden Erfindung weist der Impulsratengenerator au ßerdem eine Zahlenumwandlungseinrichtung 201 zum Speichern von Basiswertdaten, durch die eine neue Referenztaktperiode dargestellt wird, und zum Umrechnen der Impulsabstanddaten M basierend auf dem Basiswert auf. Die Impulsabstanddaten M werden in der Zahlenumwandlungseinrichtung 201 basierend auf den Basiswertdaten umgerechnet und dem Impulsabstandspeicher 21 zugeführt. Außerdem wird einem Eingangsanschluß des Akku mulators 22 ein Kompensationssignal COMP zugeführt.

Jede der in Fig. 1 dargestellten Verzögerungseinrich tungen 3 weist wie beim in Fig. 10 dargestellten herkömmli chen Taktgenerator einen Zeitdatenspeicher 31, einen Akkumu lator 32, Register 33 und 34, einen Zähler 35, eine Verzögerungsschaltung 26 und eine variable Verzögerungs schaltung 37 auf. Ähnlich wie der Impulsratengenerator 2 weist die Verzögerungseinrichtung 3 bei der vorliegenden Er findung außerdem eine Zahlenumwandlungseinrichtung 301 zum Speichern von Basiswertdaten, durch die eine neue Referenz taktperiode dargestellt wird, und zum Umwandeln der Zeitda ten M2 auf der Basis des Basiswertes auf. Das Zeitdatenele ment M2 wird in der Zahlenumwandlungseinrichtung 201 auf der Basis der Basiswertdaten umgewandelt und dem Zeitdatenspei cher 31 zugeführt. Außerdem wird einem zusätzlichen Ein gangsanschluß des Akkumulators 32 ein Kompensationssignal COMP zugeführt.

Der Referenztakt Ck wird diesen Schaltungselementen der Verzögerungseinrichtung 3 zugeführt, um die Operationen des IC-Prüfgeräts zu synchronisieren. Der Zeitdatenspeicher 31 speichert Zeitdaten, um in Kombination mit den Interpolationsdaten RMD vom Impulsratengenerator 2 die Takte, wie beispielsweise die Prüfsignale für den zu prüfen den IC-Baustein oder die Strobesignale zum Abtasten der er haltenen Signale vom geprüften Baustein, für jeden Prüfzy klus festzulegen.

Wenn im Taktgenerator von Fig. 1 die Referenzfrequenz von fn auf fm geändert wird, wird das den Wert Tm=1/fm anzeigende Basiswertdatenelement in den Registern 201 bzw. 301 gesetzt. Außerdem wird ein Datenelement -Tm, das den Komplementärwert von Tm darstellt, den Eingängen der Akkumu latoren 22 und 32 als Kompensationssignal COMP zugeführt.

Wenn das Impulsabstanddatenelement M dem Impulsabstand speicher 21 im Impulsratengenerator 2 durch eine Software verarbeitung zugeführt wird, wird das Impulsab standdatenelement M in der Zahlenumwandlungseinrichtung 201 durch den Basiswert Tm dividiert, d. h. der Wert M/Tm er zeugt. Daher speichert der Impulsabstandspeicher 21 einen Quotienten Im und einen durch die Division erhaltenen Rest Fm. Bei diesen Einstellungen werden, obwohl der Zähler 25 den Referenztakt mit der Periode Tm zählt, das durch den Zähler 25 empfangene Datenelement Im und das durch den Akku mulator 22 empfangene Datenelement Fm basierend auf der Pe riode Tm umgerechnet. Daher wird durch den Akkumulator 22 ein Übertragssignal erzeugt, wenn der akkumulierte Wert an statt des Wertes Tn die Zeitperiode Tm überschreitet, wo durch die Änderung der Referenztaktfrequenz von fn auf fm kompensiert werden kann.

Ähnlich wird, wenn das Zeitdatenelement M2 durch die Softwareverarbeitung dem Zeitdatenspeicher 31 der Verzö gerungseinrichtung 3 zugeführt wird, das Zeitdatenelement M2 in der Zahlenumwandlungseinrichtung 201 durch den Basiswert Tm dividiert, d. h. ein Wert M2/Tm erzeugt. Daher speichert der Zeitdatenspeicher 31 den Quotienten Im und den durch die Division erhaltenen Rest Fm. Bei dieser Einstellung werden, obwohl der Zähler 35 den Referenztakt mit der Periode Tm zählt, das durch den Zähler 35 empfangene Datenelement I2m und das durch den Akkumulator 32 empfangene Datenelement F2m basierend auf der Periode Tm umgewandelt. Daher wird durch den Akkumulator 32 ein Übertragssignal erzeugt, wenn der ak kumulierte Wert anstatt den Wert Tn die Periode Tm über schreitet, wodurch die Änderung der Referenztaktfrequenz von fn auf fm kompensiert wird.

Nachstehend werden die Wirkungen der vorliegenden Erfindung gemäß dem Impulsdiagramm von Fig. 19 erläutert, wobei ein Fall dargestellt ist, bei der die vorliegende Erfindung auf den Impulsratengenerator 2 angewendet wird. Im Beispiel von Fig. 19 ist die Wirkung der vorliegenden Er findung dargestellt, wobei das Prüfsignal CLK1 von Fig. 11A erzeugt wird, wenn die Referenztaktperiode von 10 ns auf 12 ns geändert wird. Der Impulsabstand in Fig. 19A beträgt nicht wie in den Beispielen der Fig. 13-17 10 ns sondern 12 ns. Eines der Merkmale der vorliegenden Erfindung ist, daß iden tische Taktsignale erzeugt werden, ohne daß das Softwa reprogramm zum Festlegen der Taktbeziehungen geändert werden muß.

In Fig. 19B betragen die durch die Softwareverarbei tung bereitgestellten Impulsabstand- bzw. Ratendaten M für den Impulsabstandspeicher 21 ebenso wie im Beispiel von Fig. 12 35 ns, 38 ns und 30 ns. Die Daten M werden in der Zahlenumwandlungseinrichtung 201 durch 12 ns dividiert, wie vorstehend beschrieben, so daß die Daten I (der durch die Division erhaltene Quotient) für den Impulsabstandspeicher 21 für die ersten drei Prüfzyklen 2, 3 bzw. 3 betragen, wie in Fig. 19C dargestellt. Die Daten I werden dem Zähler 25 zugeführt, so daß der Zähler 25 gemäß Fig. 19D den Referenztakt zählt und ein Ausgangssignal erzeugt, wie in Fig. 19E dargestellt.

Die Teildaten betragen in diesem Fall für den ersten Zyklus 11 ns (35 ns-24 ns), für den zweiten Zyklus 2 ns (38 ns-36 ns) und für den dritten Zyklus 6 ns (30 ns-24 ns), wie in Fig. 19F dargestellt. Daher beträgt das Ausgangssignal des Akkumulators 22 11 ns, 13 ns und 7 ns, wie in Fig. 19G darge stellt, wobei im folgenden Taktzyklus das Übertragssignal für den zweiten Zyklus am Ausgang des Registers 24 erzeugt wird. Das Ausgangssignal des Registers 23 ist in Fig. 19H dargestellt und stellt das Teildatenelement des Akkumulator- Ausgangssignals dar.

Daher erzeugt der Impulsratengenerator den in Fig. 19J dargestellten Prüfgerättakt RA und die in Fig. 19K dar gestellten Interpolationsdaten, die ähnlich verarbeitet sind wie im Impulsdiagramm von Fig. 14 dargestellt. Basierend auf dem Prüfgerättakt RA und den Interpolationsdaten RMD vom Impulsratengenerator kann die Verzögerungseinrichtung mit den in Fig. 14B dargestellten Zeitdaten 0 ns, 0 ns, 0 ns das Taktsignal CLK1 von Fig. 12A reproduzieren.

Fig. 2 zeigt ein Beispiel eines Schaltungsaufbaus des im erfindungsgemäßen Taktgenerator verwendeten Akkumulators 22. In diesem Beispiel weist der Akkumulator 22 zwei Akku mulatoren 221 und 222 und einen Multiplexer 223 auf. Ein ODER-Gatter 224 ist vorgesehen, um Übertragssignale von den Akkumulatoren 221 und 222 zu empfangen. Der Ausgang des ODER-Gatters ist mit dem Auswahlanschluß des Multiplexers 223 und mit dem Register 24 verbunden.

Im in Fig. 2 dargestellten Impulsratengenerator wird, wenn die Frequenz des Referenzoszillators fn beträgt, das Kompensationssignal COMP auf "0" gesetzt. Die Zahlenumwand lungseinrichtung 201 wird ebenfalls auf "0" gesetzt. Im Akkumulator 221 werden die im vorangehenden Zyklus erzeugten Interpolationsdaten RMD_n-1 und die Teildaten F_n akkumuliert. Ein Übertragssignal wird erzeugt, wenn das akkumulierte Er gebnis die Referenztaktperiode Tn überschreitet. Im Akkumu lator 222 sind, weil das Signal COMP "0" ist, die Ausgangs daten DB des Akkumulators 222 immer die gleichen wie die Ausgangsdaten DA des Akkumulators 221. Wenn das Übertragssi gnal durch den Akkumulator 221 nicht erzeugt wird, werden die Daten DA durch den Multiplexer 223 ausgewählt und über das Register 23 wieder dem Akkumulator 221 zugeführt.

Die vorstehende Arbeitsweise wird durch die nachfolgen den Gleichungen dargestellt:

RMD_n = DA_n
Carry = CA_n
RMD_n = F_n+RMD_n-1

Wenn die Frequenz des Referenzoszillators von fn auf fm ge ändert wird, wird der Komplementärwert -Tm als Signal COMP gesetzt und in der Zahlenumwandlungseinrichtung 201 die Pe riode Tm gesetzt. Im Akkumulator 221 wird das Interpolationsdatenelement RMD_n-1 des vorangehenden Zyklus zum Teildatenelement F_m addiert. Wenn die Summe der Daten die Periode Tm überschreitet, wird am Ausgang CA des Akkumu lators 221 ein Übertragssignal erzeugt. Im Akkumulator 222 werden die akkumulierten Daten DA vom Akkumulator 221 zum Komplementärwert -Tm addiert. Wenn die Summe der Daten die Periode Tm überschreitet, wird am Ausgang CB des Akkumula tors 222 ein Übertragssignal erzeugt.

Wenn das Übertragssignal CA_n oder CB_n durch den Akkumu lator 221 oder 222 erzeugt wird, wählt der Multiplexer 223 das Datenelement DB vom Akkumulator 222 aus. Wenn kein Über tragssignal erzeugt wird, wählt der Multiplexer 223 das Da tenelement DA vom Akkumulator 221 aus, das dem Interpolati onsdatenelement RMD am Ausgang des Registers 23 gleich ist.

RMD_n = (CA_n+CB_n) × DB_n + (*CA_n+CB_n) × DA_n
Carry = CA_n+CB_n

wobei * ein invertiertes Signal bezeichnet.

Die vorstehende Arbeitsweise erfüllt außerdem die folgenden Beziehungen:

RMD_n = F_m + RMD_n-1 -Tm (für F_m + RMD_n-1 Tm)
RMD_n = F_m + RMD_n-1 -Tm (für F_m + RMD_n-1 < Tm)

Carry (Übertragssignal) wird erzeugt, wenn F_m + RMD_n-1z < Tm ist.

Durch die vorstehende Beziehung müssen die den Speichern im Taktgenerator durch die Softwareverarbeitung zugeführten Da ten nicht geändert werden.

Fig. 3 zeigt ein Impulsdiagramm zum Darstellen der Ar beitsweise der in Fig. 2 dargestellten vorliegenden Erfin dung, wenn die Frequenz des Referenzoszillators von f auf f′ geändert wird. Der in Fig. 3I dargestellte Referenztakt Ck wird den Schaltungskomponenten von Fig. 2 zugeführt. Das in Fig. 3B dargestellte Übertragssignal CA vom Akkumulator 221 wird erzeugt, wenn der akkumulierte Wert die Periode T (=1/f) überschreitet, während das in Fig. 3C dargestellte Übertragssignal CB vom Akkumulator 222 erzeugt wird, wenn der akkumulierte Wert die Periode T′ (=1/f′) überschreitet.

Wenn weder vom Akkumulator 221 noch vom Akkumulator 222 ein Übertragssignal erzeugt wird, werden die in Fig. 3A dargestellten akkumulierten Daten DA vom Akkumulator 221 die in Fig. 3H dargestellten Interpolationsdaten RMD für die Verzögerungseinrichtung 3, und das in Fig. 3F dargestellte Ausgangssignal des Zählers 25 wird der in Fig. 3G darge stellte Prüfgerättakt RA. Wenn das Übertragssignal durch einen der Akkumulatoren 221 und 222 erzeugt wird, wird die Differenz zwischen DA und der Periode T′ das Interpola tionsdatenelement RMD, und das Ausgangssignal des Zählers 25 wird durch die Verzögerungsschaltung 26 um einen Taktzyklus T′ verzögert und als Prüfgerättakt RA erzeugt.

Fig. 4 zeigt ein Blockdiagramm einer zweiten Ausfüh rungsform des erfindungsgemäßen Taktgenerators. In Fig. 4 ist ein Differenzakkumulator 51 zum Akkumulieren der Diffe renz zwischen dem ersten Referenztakt und dem zweiten Refe renztakt vorgesehen. Außerdem ist ein Phasenakkumulator 52 zum Akkumulieren des Ausgangssignals des Differenzakkumula tors 51 vorgesehen. Ein Zähler 53 wird durch die Akkumulati onsergebnisse der beiden Akkumulatoren 51 und 52 gesteuert.

Fig. 4 zeigt einen Fall, bei dem der erfindungsgemäße Taktgenerator die Tasktsignale basierend auf der Referenz frequenz fm (Periode Tm) erzeugt, wobei die gleichen Daten wie für die Referenzfrequenz fn (Periode Tn) verwendet wer den. Im Beispiel von Fig. 4 ist die Referenztaktperiode (Basiswert) Tn kleiner als die Referenztaktperiode (Basiswert) Tm, obwohl durch eine ähnliche Schal tungsanordnung das gleiche Ergebnis erhalten werden kann, wenn der Basiswert Tn dem Basiswert Tm gleich oder größer als dieser ist.

Bezüglich den durch die Softwareverarbeitung erhaltenen Zeitdaten TDA_Tn wird ein Teil der Daten I, der größer ist als die Periode Tn, dem Zähler 53 zugeführt, während die Teildaten F, die kleiner sind als die Periode Tn, dem Diffe renzakkumulator 51 zugeführt werden. Der Differenzakkumula tor 51 akkumuliert die Differenz zwischen den Referenztakt perioden Tn und Tm.

Wenn der durch den Differenzakkumulator 51 akkumulierte Wert d größer ist als das Teildatenelement F, d. h., wenn das Teildatenelement F minus dem akkumulierten Wert d kleiner ist als Null, erzeugt der Differenzakkumulator 51 ein Über trags(Borg)-signal basierend auf der Periode Tn, um den Wert im Zähler 53 um Eins zu vermindern. D.h., weil der Zäh ler 53 ein Rückwärtszähler ist und den Zählwert immer dann vermindert, wenn er einen Referenztakt mclk empfängt, ver mindert der Zähler 53, wenn er das Übertragssignal vom Dif ferenzakkumulator 51 empfängt, den Zählwert anstatt um Eins um den Wert Zwei, um die Referenzfrequenzänderung zu kompensieren.

Fig. 5 zeigt ein Impulsdiagramm zum Darstellen einer Arbeitsweise des Differenzakkumulators 51 von Fig. 4. Wie im Fall von Fig. 4 sollen gemäß Fig. 5 durch den erfin dungsgemäßen Taktgenerator Taktsignale basierend auf der Re ferenzfrequenz fm (Periode Tm) unter Verwendung der glei chen Daten erzeugt werden, die für die Referenzfrequenz fn (Periode Tn) verwendet werden. Im Beispiel von Fig. 5 wei sen die in Fig. 5A dargestellten Zeitdaten TDA_Tn die Daten I(n), die dem durch die Division TDA/Tn erhaltenen Quotien ten entsprechen, und die dem Divisionsrest entsprechenden Teildaten F(n) auf. Dadurch ergibt sich für den Referenztakt Tn die in Fig. 5B dargestellte Prüfgerättaktfolge.

Der Referenztakt mit der Periode Tn ist in Fig. 5C dargestellt, während der Referenztakt mit der Periode Tm in Fig. 5E dargestellt ist. Die Differenz zwischen den Refe renztaktperioden Tn und Tm wird für jeden Taktzyklus auf die in Fig. 5D dargestellte Weise durch den Differenzakkumula tor 51 akkumuliert. Die Fig. 5H und 5I zeigen die zeitli che Beziehung bzw. Taktbeziehung des Prüfgerättaktes basie rend auf den Daten TDA_Tm ohne Kompensation, während die Fig. 5F und 5G die zeitliche Beziehung bzw. Taktbeziehung des Prüfgerättaktes basierend auf den Daten TDA_Tm mit Kom pensation durch die Schaltung von Fig. 4 zeigen. Wie in Fig. 5G dargestellt, ist der durch die Schaltung von Fig. 4 erzeugte Prüfgerättakt mit dem in Fig. 5B dargestellten Prüfgerättakt identisch.

Das in Fig. 5 dargestellte Beispiel von Zeitdaten wird durch die nachstehende Gleichung dargestellt:

I(n) + F(n) = Tn × 4 + F(n)

Wenn die Referenztaktperiode Tm ohne Kompensation verwendet wird, werden andere, ungeeignete Taktsignale erzeugt. Daher wird die Differenz d zwischen den Referenztaktperioden Tn und Tm für jeden Taktzyklus gemäß den folgenden Schritten kompensiert:

(1) F(n) - d 0
(2) F(n) -d -d 0
(3) F(n) -d -d -d< 0
(4) Der Zählwert des Zählers 53 wird in Schritt (3) zusätzlich um Eins vermindert, wenn er das Übertragssi gnal vom Differenzakkumulator 51 empfängt, wodurch der Zähl vorgang des Zähler abgeschlossen wird.

Dadurch wird die Zeitdifferenz zwischen den Referenz taktperioden Tn und Tm kompensiert, um den gleichen Prüftakt zu erzeugen wie in den Fig. 5B und 5G dargestellt. Dies kann auch durch die folgende mathematische Beziehung darge stellt werden:

TDA_Tm × Tm = TDA_Tn × Tn
= TDA_Tn × (Tm - d)
= TDA_Tn × Tm - TDA_Tn × d

Nachstehend wird die Arbeitsweise des in Fig. 4 dargestell ten Phasenakkumulators 52 unter Bezug auf das Impulsdiagramm von Fig. 6 beschrieben. Der Phasenakkumulator 52 akkumu liert die durch den Akkumulator 51 erzeugten Teildaten F(m), um die Interpolationsdaten P(m) zu erzeugen. Fig. 6A zeigt den Referenztakt mclk und Fig. 6B das zu erzeugende Taktsi gnal. Die Fig. 6C und 6D zeigen die Interpolationsdaten P(m)₁ für den ersten Prüfzyklus und P(m)₂ für den zweiten Prüfzyklus. Die Interpolationsdaten P(m) sind Teildaten mit einem Wert, der kleiner ist als die Referenztaktperiode Tm.

Im Phasenakkumulator 52 wird, immer wenn die akkumu lierten Teildaten die Periode Tm überschreiten, ein Über tragssignal erzeugt, das dem Zähler 53 zugeführt wird. Der Zähler unterbricht, wenn er das Übertragssignal vom Phasenakkumulator 52 empfängt, seinen Zählvorgang für einen Taktzyklus, wodurch das Ausgangssignal des Zählers um Tm verzögert wird.

Das über die Koinzidenzschaltung 136 erhaltene Aus gangssignal des Zählers 53 wird als Taktsignal S von Fig. 6B verwendet. Das Ausgangssignal des Phasenakkumulators 52 wird als Interpolationsdatenelement RMD verwendet. Das Takt signal S (Prüfgerättakt RA) und das Interpolationsdatenele ment RMD können durch die in Fig. 1 dargestellten Verzöge rungseinrichtungen weiterverarbeitet werden. Wie vorstehend erwähnt, kann der erfindungsgemäße Taktgenerator Taktsi gnale, die mit den bei der Referenztaktperiode Tn erzeugten Taktsignalen identisch sind, auch dann erzeugen, wenn die Referenztaktperiode von Tn auf Tm geändert wird.

Fig. 7 zeigt ein ausführlicheres Schaltungsdiagramm der Akkumulatoren 51-52 und des Zählers 53 von Fig. 4. Die Zeitdaten TDA_Tn für die Referenzperiode Tn werden durch eine in Fig. 8 dargestellte Bitstruktur dargestellt. Die obere Bitgruppe (L) wird dem Zähler 53 zugeführt, während die un tere Bitgruppe (K) dem Differenzakkumulator 51 zugeführt wird.

In einem Register 511 des Differenzakkumulators 51 wird ein Wert -d gespeichert, der dem Komplementärwert der Diffe renz d zwischen den Zeitperioden Tn und Tm entspricht. In einem Register 521 des Phasenakkumulators 52 wird ein Wert -Tm gespeichert, der dem Komplementärwert der Referenz taktperiode Tm entspricht.

Fig. 9 zeigt ein Impulsdiagramm zum Darstellen der Ar beitsweise der in den Fig. 4-8 dargestellten zweiten Aus führungsform der Erfindung, durch die das Taktsignal unter Verwendung der Referenztaktperiode Tm und der der Referenz taktperiode Tn zugeordneten Zeitdaten erzeugt wird. Durch das Taktsignal S wird ein Startsignal bereitgestellt. Das Zeitdatenelement TDA_Tn wird aus dem Datenelement I(n), das einem Quotient der Division TDA/Tn entspricht, und dem einem Divisionsrest entsprechenden Teildatenelement F(n) gebildet. Das Datenelement I(n) beträgt in diesem Fall 4, während das Teildatenelement F(n) den Wert 2d hat, wobei d die Differenz zwischen den Referenztaktperioden Tn und Tm ist. Das in Fig. 9K dargestellte Taktsignal wird durch die Re ferenztaktperiode Tm erzeugt, und weist die gleiche zeitli che Beziehung bzw. Taktbeziehung wie das durch die Referenztaktperiode Tn erzeugte Taktsignal von Fig. 9B auf.

Wie vorstehend beschrieben, kann der erfindungsgemäße Taktgenerator auch dann identische Taktsignale erzeugen, wenn die Referenztaktfrequenz geändert wird, ohne daß die durch ein Softwareprogramm für die Datenspeicher des Taktgenerators erzeugten Zeitdaten geändert werden müssen. Daher kann der erfindungsgemäße Taktgenerator auch dann identische Taktsignale erzeugen, wenn die Referenztakt frequenz geändert wird, ohne daß das Programm zum Erzeugen der in den Speichern des Taktgenerators zu speichernden Da ten geändert werden muß.

Claims

1. Taktgenerator zum Erzeugen von Taktsignalen, die Prüf signale und Strobesignale umfassen, mit vorgegebenen zeitlichen Beziehungen basierend auf durch eine Softwa reverarbeitung erzeugten Zeitdaten zum Prüfen von IC- Bausteinen durch ein IC-Prüfgerät, wobei der Taktge nerator aufweist:
einen Datenspeicher zum dynamischen Empfangen der Zeitdaten durch die Softwareverarbeitung, um die Zeit länge der Taktsignale festzulegen, wobei die Zeitdaten aus einem Datenelement, das einem Quotienten ent spricht, der durch Dividieren der Zeitlänge durch eine Periode eines Referenztaktsignals erzeugt wird, und ei nem Teildatenelement gebildet werden, das dem Divisi onsrest entspricht und kleiner ist als die Periode des Referenztaktsignals;
einen Zähler zum Zählen der Anzahl von Impulsen eines Referenztaktsignals und zum Erzeugen eines Aus gangssignals, wenn die Anzahl der Zählimpulse mit dem vom Datenspeicher erhaltenen Quotienten übereinstimmt;
einen Akkumulator zum Akkumulieren des Teildatenelements und des Teildatenelements eines vor angehenden Zyklus des Referenztaktsignals und zum Er zeugen eines Übertragssignals, wenn der akkumulierte Wert die Periode des Referenztaktsignals überschreitet;
einer Zahlenumwandlungseinrichtung, durch die die durch die Softwareverarbeitung basierend auf einer er sten Referenztaktperiode (Tn) erhaltenen Zeitdaten im Verhältnis der ersten Referenztaktperiode (Tn) zu einer zweiten Referenztaktperiode (Tm) umgewandelt werden; und
eine Einrichtung zum Zuführen eines Komplementär wertes (-Tm) der zweiten Referenztaktperiode (Tm) zum Akkumulator.

2. Taktgenerator nach Anspruch 1, wobei der Akkumulator aufeist:
einen ersten Akkumulator, der die Teildaten vom Datenspeicher und Ausgangsdaten des vorangehenden Taktzyklus empfängt und die Teildaten und die Ausgangs daten akkumuliert;
einen zweiten Akkumulator, der Ausgangsdaten vom ersten Akkumulator und den Komplementärwert (-Tm) der zweiten Referenztaktperiode (Tm) empfängt und die Aus gangsdaten und den Komplementärwert akkumuliert;
ein ODER-Gatter, dem Übertragssignale vom ersten und vom zweiten Akkumulator zugeführt werden; und
einen Multiplexer, der basierend auf einem Signal vom ODER-Gatter die Ausgangsdaten des ersten Akkumula tors oder die Ausgangsdaten des zweiten Akkumulators auswählt.

3. Taktgenerator nach Anspruch 1 oder 2, wobei der Taktge nerator gebildet wird aus: einem Impulsratengenerator, der den Datenspeicher, einen Zähler und einen Akkumu lator aufweist, um ein Prüfgerättaktsignal und Interpolationsdaten zu erzeugen, und einer Verzöge rungseinrichtung, die den Datenspeicher, einen Zähler, einen Akkumulator und eine variable Verzögerungsschal tung aufweist, um basierend auf im Datenspeicher be reitgestellten Zeitdaten, dem Prüfgerättaktsignal und den Interpolationsdaten ein Taktsignal zu erzeugen.

4. Taktgenerator zum Erzeugen von Taktsignalen, die Prüf signale und Strobesignale umfassen, mit vorgegebenen zeitlichen Beziehungen basierend auf durch eine Softwa reverarbeitung erzeugten Zeitdaten zum Prüfen von IC- Bausteinen durch ein IC-Prüfgerät, wobei der Taktge nerator aufweist:
einen Datenspeicher zum dynamischen Empfangen der Zeitdaten durch eine Softwareverarbeitung, um die Zeit länge der Taktsignale festzulegen, wobei die Zeitdaten aus einem Datenelement, das einem Quotienten ent spricht, der durch Dividieren der Zeitlänge durch eine Periode eines Referenztaktsignals erzeugt wird, und ei nem Teildatenelement gebildet wird, das dem Divisions rest entspricht und kleiner ist als die Periode des Referenztaktsignals;
einen Zähler zum Zählen der Anzahl von Impulsen eines Referenztaktsignals und zum Erzeugen eines Aus gangssignals, wenn die Anzahl der Zählimpulse mit dem im Datenspeicher gespeicherten Quotienten überein stimmt;
einen Akkumulator zum Akkumulieren des Teildatenelements und des Teildatenelements des voran gehenden Zyklus des Referenztaktsignals und zum Erzeu gen eines Übertragssignals, wenn der akkumulierte Wert die Periode des Referenztaktsignals überschreitet, wo bei der Akkumulator einen Differenzakkumulator, der für jeden Taktzyklus eines zweiten Referenztaktes eine Zeitdifferenz zwischen einer ersten Referenztaktperiode und der zweiten Referenztaktperiode akkumuliert, und einen Phasenakkumulator aufweist, der Teildaten vom Differenzakkumulator akkumuliert, die kleiner sind als die erste Referenztaktperiode;
wobei der Zähler einen zusätzlichen Zählimpuls zählt, wenn er ein Übertragssignal vom Differenzakkumu lator empfängt, und seinen Zählvorgang unterbricht, wenn er ein Übertragssignal vom Phasenakkumulator emp fängt.

5. Taktgenerator nach Anspruch 4, wobei der Taktgenerator gebildet wird aus: einem Impulsratengenerator, der den Datenspeicher, einen Zähler und einen Akkumulator auf weist, um ein Prüfgerättaktsignal und Interpolations daten zu erzeugen, und einer Verzögerungseinrichtung, die den Datenspeicher, einen Zähler, einen Akkumulator und eine variable Verzögerungsschaltung aufweist, um ein Taktsignals basierend auf den durch den Datenspei cher bereitgestellten Zeitdaten, dem Prüfgerättaktsi gnal und den Interpolationsdaten zu erzeugen.