JPH0831623A - 微細薄膜抵抗の作成方法 - Google Patents
微細薄膜抵抗の作成方法Info
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- JPH0831623A JPH0831623A JP6189860A JP18986094A JPH0831623A JP H0831623 A JPH0831623 A JP H0831623A JP 6189860 A JP6189860 A JP 6189860A JP 18986094 A JP18986094 A JP 18986094A JP H0831623 A JPH0831623 A JP H0831623A
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- JP
- Japan
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- resistance
- resistor
- width
- top hat
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- Non-Adjustable Resistors (AREA)
- Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 位置決め誤差が存在してもトップハット抵抗
の長さを長くする必要が無く、トップハット抵抗の面積
を広くしなくても必要とする抵抗値が得られる加工方法
を得ることを目的としている。 【構成】 次の順序で抵抗を形成する。トップハット
型レーザトリミング用抵抗３０において、本来必要な抵
抗幅Ａに位置決め誤差ΔＷの２倍の幅だけ広く抵抗パタ
ーンを形成する。本来必要な抵抗幅Ｗを残すため、一
端をトップハットの上部よりレーザートリミング１０す
る。トップハットの下部より、本来必要な抵抗幅Ｗを
残してレーザートリミング１０する。本来必要な抵抗
幅Ｗを残して、もう一端をトップハットの上部よりレー
ザートリミング１０する。
の長さを長くする必要が無く、トップハット抵抗の面積
を広くしなくても必要とする抵抗値が得られる加工方法
を得ることを目的としている。 【構成】 次の順序で抵抗を形成する。トップハット
型レーザトリミング用抵抗３０において、本来必要な抵
抗幅Ａに位置決め誤差ΔＷの２倍の幅だけ広く抵抗パタ
ーンを形成する。本来必要な抵抗幅Ｗを残すため、一
端をトップハットの上部よりレーザートリミング１０す
る。トップハットの下部より、本来必要な抵抗幅Ｗを
残してレーザートリミング１０する。本来必要な抵抗
幅Ｗを残して、もう一端をトップハットの上部よりレー
ザートリミング１０する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザートリミング
（Laser Trimming）装置を使用して作成する微細薄膜抵
抗の作成方法に関するものである。
（Laser Trimming）装置を使用して作成する微細薄膜抵
抗の作成方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図２（ａ）のようなトップハット（Top
Hat ）型のレーザトリミング用抵抗においては、斜線部
分にレーザーによる切り込みを入れ、抵抗幅Ｗと抵抗長
Ｌの比率を変化させることにより抵抗値を変化させてい
る。一般に薄膜抵抗の抵抗値Ｒは、シート（Sheet ）抵
抗Ｒｓ、抵抗幅Ｗ、抵抗長Ｌとして、Ｒ＝Ｒｓ×Ｌ／Ｗ
で求められる。レーザートリミングにより抵抗値を変
化させる抵抗のパターン設計においては、形成された抵
抗の品質を確保するために、消費電力に対応した抵抗の
最小幅を維持する必要がある。図２（ｂ）は、位置決め
誤差ΔＷのために抵抗の最小幅を確保できない場合を示
している。位置決め誤差ΔＷの要因としては、マスク作
成時の位置決め誤差、抵抗パターン作成時の位置決め誤
差、レーザートリミング装置の位置ずれ誤差がある。こ
れら位置決め誤差が生じても抵抗の最小幅を維持するた
めには、図２（ｃ）のように抵抗パターンの幅を、本来
必要な幅Ａに対し２ΔＷだけ広くしておく必要がある。
Hat ）型のレーザトリミング用抵抗においては、斜線部
分にレーザーによる切り込みを入れ、抵抗幅Ｗと抵抗長
Ｌの比率を変化させることにより抵抗値を変化させてい
る。一般に薄膜抵抗の抵抗値Ｒは、シート（Sheet ）抵
抗Ｒｓ、抵抗幅Ｗ、抵抗長Ｌとして、Ｒ＝Ｒｓ×Ｌ／Ｗ
で求められる。レーザートリミングにより抵抗値を変
化させる抵抗のパターン設計においては、形成された抵
抗の品質を確保するために、消費電力に対応した抵抗の
最小幅を維持する必要がある。図２（ｂ）は、位置決め
誤差ΔＷのために抵抗の最小幅を確保できない場合を示
している。位置決め誤差ΔＷの要因としては、マスク作
成時の位置決め誤差、抵抗パターン作成時の位置決め誤
差、レーザートリミング装置の位置ずれ誤差がある。こ
れら位置決め誤差が生じても抵抗の最小幅を維持するた
めには、図２（ｃ）のように抵抗パターンの幅を、本来
必要な幅Ａに対し２ΔＷだけ広くしておく必要がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】以上の方法で抵抗を作
成すると、位置決め誤差ΔＷが無い場合に比べ抵抗幅が
増加し、抵抗長を一定としたとき、抵抗長／抵抗幅の比
率が低下し、本来必要とした抵抗値より低い抵抗値にな
る。そこで、本来必要とした抵抗値を得るためには、ト
ップハット型のレーザトリミング用抵抗の長さを長くす
る必要がある。つまり、位置決め誤差により、トップハ
ット抵抗の面積を広くとる必要があり、結果として、単
位面積当たりに形成できる抵抗数が少なくなる。本発明
は、位置決め誤差が存在してもトップハット抵抗の長さ
を長くする必要が無く、トップハット抵抗の面積を広く
しなくても必要とする抵抗値が得られる加工方法を得る
ことを目的としている。
成すると、位置決め誤差ΔＷが無い場合に比べ抵抗幅が
増加し、抵抗長を一定としたとき、抵抗長／抵抗幅の比
率が低下し、本来必要とした抵抗値より低い抵抗値にな
る。そこで、本来必要とした抵抗値を得るためには、ト
ップハット型のレーザトリミング用抵抗の長さを長くす
る必要がある。つまり、位置決め誤差により、トップハ
ット抵抗の面積を広くとる必要があり、結果として、単
位面積当たりに形成できる抵抗数が少なくなる。本発明
は、位置決め誤差が存在してもトップハット抵抗の長さ
を長くする必要が無く、トップハット抵抗の面積を広く
しなくても必要とする抵抗値が得られる加工方法を得る
ことを目的としている。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明においては、次の順序で抵抗を形成する。 トップハット型レーザトリミング用抵抗において、
本来必要な幅Ａに位置決め誤差ΔＷの２倍の幅だけ広く
抵抗パターンを形成する。 本来必要な抵抗幅Ｗを残すため、一端をトップハッ
トの上部よりレーザートリミングする。 トップハットの下部より、本来必要な抵抗幅Ｗを残
してレーザートリミングする。 本来必要な抵抗幅Ｗを残して、もう一端をトップハ
ットの上部よりレーザートリミングする。
に、本発明においては、次の順序で抵抗を形成する。 トップハット型レーザトリミング用抵抗において、
本来必要な幅Ａに位置決め誤差ΔＷの２倍の幅だけ広く
抵抗パターンを形成する。 本来必要な抵抗幅Ｗを残すため、一端をトップハッ
トの上部よりレーザートリミングする。 トップハットの下部より、本来必要な抵抗幅Ｗを残
してレーザートリミングする。 本来必要な抵抗幅Ｗを残して、もう一端をトップハ
ットの上部よりレーザートリミングする。
【０００５】
【作用】以上の方法により、位置決め誤差は、レーザー
トリミング装置による誤差２．５μｍから５μｍ程度に
低減でき、トリミング装置以外の位置決め誤差が存在し
ても目的とする抵抗幅Ｗを少ない誤差で実現でき、トッ
プハット抵抗の長さを長くする必要がなく、トップハッ
ト抵抗の面積を広くする必要がない。
トリミング装置による誤差２．５μｍから５μｍ程度に
低減でき、トリミング装置以外の位置決め誤差が存在し
ても目的とする抵抗幅Ｗを少ない誤差で実現でき、トッ
プハット抵抗の長さを長くする必要がなく、トップハッ
ト抵抗の面積を広くする必要がない。
【０００６】
【実施例】トップハット抵抗の長さを長くすることなく
目的とする抵抗を得る加工方法として、図１に本発明の
実施例を示す。従来のレーザートリミングはの位置に
のみ実施されていたが、本発明においては、の位
置にレーザトリミング装置の精度で決まる位置で、目的
とする幅Ｗの抵抗を残してトリミングを実施する。この
結果、位置決め誤差を見込んで増加した抵抗幅の領域２
ΔＷをトリミングすることができる。抵抗幅は本来必要
な抵抗幅Ｗになり、抵抗長／抵抗幅の比率低下が発生せ
ず、抵抗の長さを長くして、抵抗の面積を広くとる必要
がない。この方法は、抵抗幅に対し位置決め誤差による
抵抗幅増加分２ΔＷが無視できないような微細な抵抗、
例えば、ΔＷが５０μｍに対し抵抗幅が５０μｍ以下の
ような場合に有効である。また、抵抗形状については、
以上説明したトップハット型抵抗において、この方法が
有効である。
目的とする抵抗を得る加工方法として、図１に本発明の
実施例を示す。従来のレーザートリミングはの位置に
のみ実施されていたが、本発明においては、の位
置にレーザトリミング装置の精度で決まる位置で、目的
とする幅Ｗの抵抗を残してトリミングを実施する。この
結果、位置決め誤差を見込んで増加した抵抗幅の領域２
ΔＷをトリミングすることができる。抵抗幅は本来必要
な抵抗幅Ｗになり、抵抗長／抵抗幅の比率低下が発生せ
ず、抵抗の長さを長くして、抵抗の面積を広くとる必要
がない。この方法は、抵抗幅に対し位置決め誤差による
抵抗幅増加分２ΔＷが無視できないような微細な抵抗、
例えば、ΔＷが５０μｍに対し抵抗幅が５０μｍ以下の
ような場合に有効である。また、抵抗形状については、
以上説明したトップハット型抵抗において、この方法が
有効である。
【０００７】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように微細薄膜
抵抗を作成するため、位置決め誤差による抵抗値の値の
低下を防ぐことができる。また、抵抗値を目的とする値
にするためトップハット型抵抗の長さを長くする必要が
なく、抵抗に必要とする面積の増加を防ぐことができ
る。
抵抗を作成するため、位置決め誤差による抵抗値の値の
低下を防ぐことができる。また、抵抗値を目的とする値
にするためトップハット型抵抗の長さを長くする必要が
なく、抵抗に必要とする面積の増加を防ぐことができ
る。
【図１】本発明のレーザートリミングの順序を示す説明
図である。
図である。
【図２】従来のレーザートリミングを示す説明図であ
る。
る。
１０ レーザートリミング ２０ 電極 ３０ 抵抗
Claims (1)
- 【請求項１】 トップハット型レーザトリミング用抵抗
において、 本来必要な抵抗幅Ａに位置決め誤差ΔＷの２倍の幅を加
えて広くトップハット抵抗パターンを形成し、 本来必要な抵抗幅Ｗを残すため一端をトップハットの上
部よりレーザートリミングし、 続いて、トップハットの下部より、本来必要な抵抗幅Ｗ
を残してレーザートリミングし、 最後に、本来必要な抵抗幅Ｗを残して残りの一端をトッ
プハットの上部よりレーザートリミングする、 以上を特徴とする微細薄膜抵抗の作成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18986094A JP3524587B2 (ja) | 1994-07-20 | 1994-07-20 | 微細薄膜抵抗の作成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18986094A JP3524587B2 (ja) | 1994-07-20 | 1994-07-20 | 微細薄膜抵抗の作成方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0831623A true JPH0831623A (ja) | 1996-02-02 |
| JP3524587B2 JP3524587B2 (ja) | 2004-05-10 |
Family
ID=16248400
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18986094A Expired - Fee Related JP3524587B2 (ja) | 1994-07-20 | 1994-07-20 | 微細薄膜抵抗の作成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3524587B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005027150A1 (ja) * | 2003-09-17 | 2005-03-24 | Rohm Co.,Ltd. | チップ抵抗器とその製造方法 |
-
1994
- 1994-07-20 JP JP18986094A patent/JP3524587B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005027150A1 (ja) * | 2003-09-17 | 2005-03-24 | Rohm Co.,Ltd. | チップ抵抗器とその製造方法 |
| US7286039B2 (en) | 2003-09-17 | 2007-10-23 | Rohm Co., Ltd. | Chip resistor and method of manufacturing the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3524587B2 (ja) | 2004-05-10 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040113 |
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| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040210 |
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