JPH01251601A - 薄膜抵抗素子 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、例えばレーザビームの走査などにより抵抗値
の調節（以下トリミングと称する）を行なう抵抗体調整
パターンを有する薄膜抵抗素子に関するものである。

〔従来の技術〕

第３図ないし第６図は、この種の薄膜抵抗素子の一例を
示す要部拡大平面図である。同図において、１は絶縁性
基板、２，３は抵抗体パターンの抵抗値測定用端子とし
て用いられる導体パターン、４は抵抗値を不連続的に調
節する抵抗値不連続調節パターン、５は抵抗値の調節が
行なわれない抵抗値非調節パターンでアシ、この不連続
調節パターン４と非調節パターン５とは、互いにパター
ンの長さ（抵抗値）が異なるとともに電気的に並列接続
されて抵抗値調節用の抵抗体調整パターン６が形成され
、前述した導体パターン２．３間に多数個連続して直列
接続されている。なお、前述した各禰のパターン２．３
，４．５は絶縁性基板１上に例えば白金等の金属薄膜を
形成し、この金属薄膜をフォトエツチング等により加工
して形成される。

このように構成される薄膜抵抗素子において、抵抗値調
節は、同図に示すように不連続調節パターン４の一部に
矢印Ａ、Ｂ、Ｃのいずれかの方向もしくはそれらの逆方
向から例えばＹＡＧレーザのレーザビームを走査させる
ことにより焼切シ、切断部γを形成することにより、抵
抗体調整パターン６の電気的通路を長くシ、抵抗値を上
昇させ、導体パターン２，３間に所望の抵抗値を得てい
る。

また、このように構成される薄膜抵抗素子において、不
連続調節パターン４にデジタルトリミングを行なうため
には、粗調から微調まで複数種類の抵抗体調整パターン
６が必要とされ、通常、１種類の増分に対して１種類の
パターンを必要としている。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、このように構成される薄膜抵抗素子にお
いて、第３図に示す抵抗体調整パターン６では、矢印Ａ
方向、矢印Ｂ方向もしくはその逆方向からトリミングを
行なうことができ、１つのパターン増分の違うトリミン
グを行なえるが、目的の増分を得てしかもトリミング精
度およびレーザビームの走査によるダメージを考慮する
と、抵抗体調整パターン６のパターンループ内に広いス
ペースＳが必要となる。また、第４図〜第６図に示す抵
抗体調整パターン６では、パターン外部からパターン内
部に向う矢印Ａ、Ｂ、Ｃの方向にトリミングするのが通
常であυ、ある１つの増分を得ることしかできず、この
場合も第３図と同様にパターンループ内に広いスペース
Ｓが必要となる。

また、例えばパターン幅を約２０μｍとし、レーザビー
ムのダメージ径を約７０μｍ程度とした場合、第４図に
示す不連続調節パターン４０周辺部にパターンが存在し
ていないことから、無駄なスペースとなる。また、この
種の薄膜抵抗素子は、抵抗体調整パターン６が全体の７
０〜８０係の面積を占めていることから、これらの抵抗
体調整パターン６の縮少は極めて重要な課題となってい
る。

したがって本発明は、前述した従来の問題に鑑みてなさ
れたものであシ、その目的は、抵抗体調整パターンの占
有面積を最小限に抑えかつ１つのパターンで２種類の増
分を得ることができる薄膜抵抗素子を提供することにあ
る。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は、互いに展開長の異なる抵抗値不連続調節パタ
ーンおよび抵抗値非調節パターンを互いにジグザグ状に
°屈曲する曲折パターンにより形成するものである。

〔作用〕

本発明においては、抵抗値不連続調節パターンおよび抵
抗値非調節パターンが曲折パターンで形成されるので、
デッドスペースが小さくなる。

〔実施例〕

以下、図面を用いて本発明の実施例を詳細に説明する。

第１図は本発明による薄膜抵抗素子の一実施例を示す要
部平面図であシ、前述の図と同一部分には同一符号を付
しその説明は省略する。同図において、抵抗体パターン
の抵抗値測定用端子として用いられる導体パターン２，
３間には、パターンルーズのほぼ中央部において交互に
屈曲するジグザグ状の曲折パターン４ａを有する抵抗値
不連続調節パターン４Ａと、同様にパターンルーズのほ
ぼ中央部において交互に屈曲するジグザグ状の曲折パタ
ーン５＆を有する抵抗値非調節パターン５Ａとを並列接
続させた抵抗体調整パターン６Ａが多数個連続して直列
接続されて形成されている。この場合、曲折パターン４
＆が形成された抵抗値不連続調節パターン４Ａと、曲折
パターン５ａが形成された抵抗値非調節パターン５Ａと
は、抵抗体調整パターン６Ａの中心ｍｃに対して左右の
展開長を互いに異る値に組合されて形成されている。

なお、これらの抵抗体調整パターン６Ａは、例えば白金
等の金属薄膜をフォトエツチング法などにより加工して
形成されておシ、互いにパターン幅およびパターン長（
抵抗値）がそれぞれほぼ同等値を有して形成されている
。

このように構成された薄膜抵抗素子は、抵抗値不連続調
節パターン４Ａおよび抵抗値非調節パターン５Ａにそれ
ぞれパターンループが内側方向に凹状に折曲る曲折パタ
ーン４＆および曲折パターン５ａを形成したことにより
、パターンループ内に無駄なスペースがなくなり、抵抗
体調整パターン６人の全体形状を小さくすることができ
るとともにトリミングポイントの終点を中央部から後方
部に変更させることにより、パターンは既に何本か切断
されておシ、仮にブリッジ（パターンが完全に切断され
ず、一部が非切断部となって残る部分）が最後のパター
ンに発生したとしても同等影響を受けることはなくなる
。また、矢印入方向が切断された場合と、矢印Ｂ方向が
切断された場合とを比較すると、左右のパターン４Ａ、
５Ａの展開長が異なるので、各々異彦る抵抗値の増分が
得られる。

第２図は本発明による薄膜抵抗素子の他の実施例を示す
要部平面図であυ、前述の図と同一部分には同一符号を
付しである。同図において、第１図と異なる点は、抵抗
値不連続調節パターン４Ｂおよび抵抗値非調節パターン
５Ｂがそれぞれパターンルーズのほぼ中央部において交
互に複数回屈曲するジグザグ状の折曲パターン４ｂおよ
び５ｂを有して抵抗体調整パターン６Ｂが形成されてい
る。

このような構成によると、他のパターンに影響を与える
ことなく、矢印入方向もしくは矢印Ｂ方向にレーザビー
ムを走査してパターン内でトリミングを終了すること殊
できる。例えば、パターン幅を２０μｍ、レーザビーム
によるダメージ径を７０μｍとしても、同図に一点破線
で示す領域の影響を受ける範囲内には切断されたパター
ンのみ入っておらず、しかも無駄なくパターンで埋って
おシ、ゲットスペースを少なくすることができる。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明によれば、抵抗値不連続調節
パターンおよび抵抗値非調節パターンを互いにジグザグ
状に屈曲する曲折パターンにより形成したので、トリミ
ング精度およびレーザのダメージ径によ）最小の寸法を
決めることができ、目的の増分による無駄なスペースを
省くことができる。また、２ｓ類の増分の１つを選択す
ることができるため、所望の抵抗値に合ったパターンを
切断することができ、抵抗体調整パターンの種類を少な
くて今までと同等の抵抗値調節を行なうことができ、ス
ペースを省くことができるなどの極めて優れた効果が得
られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による薄膜抵抗素子の一実施例を示す要
部平面図、第２図仲本発明による薄膜抵抗素子の他の実
施例を示す要部平面図、第３図〜第６図は従来の薄膜抵
抗素子を説明する要部平面図である。 １・・・・絶縁性基板、２，３・・・・導体パターン、
４Ａ、４Ｂ　・・・・抵抗値不連続調節パターン、４ａ
、４ｂ・・・・曲折パターン、５Ａ、５Ｂ・・・・抵抗
値非調節パターン、５ａ、５ｂ　ａ・−・曲折パターン
、６Ａ、６Ｂ・・・・抵抗体調整パターン、１・・・・
切断部。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 抵抗値調節を不連続的に行なう抵抗値不連続調節パター
   ンと抵抗値調節の行なわない抵抗値非調節パターンとを
   並列接続させてなる抵抗体調整パターンが抵抗値測定用
   端子パターン間に複数組直列接続されて絶縁性基板上に
   導電性薄膜により配列して形成された薄膜抵抗素子にお
   いて、前記抵抗値不連続調節パターンおよび抵抗値非調
   節パターンを互いにジグザグ状に屈曲する曲折パターン
   により形成することを特徴とした薄膜抵抗素子。