JPH01108702A - 薄膜抵抗素子 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はレーザビームにより抵抗値の調節（以下トリミ
ングと称する）を行なう抵抗体調整パターンを有する薄
膜抵抗素子に関するものである。

〔従来の技術〕

第４図線この種の薄膜抵抗素子の一例を示す要部拡大平
面図である。同図において、１は絶縁性基板、２，３は
抵抗体パターンの抵抗値測定用端子として用いられる導
体パターン、４は抵抗値を゛不連続的に調節する抵抗値
不連続調節パターン、５は抵抗値の調節が行なわれない
抵抗値非調節パターンであシ、この不連続調節パターン
４と非調節パターン５とは、互いＩ／Ｃパターンの長さ
（抵抗値）が異なるとともに電気的に並列接続されて抵
抗値調節用の抵抗体調整パターン６が形成され、前述し
た導体パターン３，４間に多数個連続して直列接続され
ている。なお、前述した各種のパターン２，３，４．５
は絶縁性基板１上Ｋ例えば白金等の金属薄膜を形成し、
この金属薄膜をフォトエツチング等により加工して形成
される。

このように構成される薄Ｊ［抵抗素子において、抵抗値
調節は、同ｗＪＫ示すように不連続調節パターン４の一
部に矢印Ａ方向にレーザビームを走査させるととくよ）
切断し、切断部７を形成するととｋより、抵抗体調整パ
ターン６の電気的通路を長くシ、抵抗値を上昇させ、導
体パタ゛−７２，３間に所望の抵抗値を得ている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら、このようＫ１１ｌ成される薄膜抵抗素子
は、不連続調節パターン４の一部をレーザトリ之ングす
る場合、レーザビームのスポット径が大きいと、縦方向
に隣接する不連続調節パターン４および横方向に隣接す
る非調節パターン部と近接しているためにこれらのパタ
ーン４．５′等を損傷させ、信頼性を低下させてしまう
という問題がめった。また、信頼性を向上させるために
不連続調節パターン４０２個所を切断するには、レーザ
ビームを長い距離走査させなければならず、その六めＫ
は抵抗体調整パターン６相互間および隣接する抵抗体調
整パターンＣとの間のスペースを広く確保する必要が生
じ、シ六がって無駄なスペースが多くなシ、抵抗体調整
パターン６の高集積化もしくは薄膜抵抗素子の小型化へ
の整置となる。

さらに信頼性を向上させるためにレーザビームのスポッ
ト径を小さくすると、第５図に示すように切断部７が完
全に切断されないパターン部８が生じる場合が発生し、
信頼性の向上にはつながらなかりた。

し六がって本発明は、前述した従来の問題に鑑みてなさ
れ大もので８シ、その目的は、レーザトリミングの信頼
性の向上および空きスペースの有効利用を実現可能とし
た薄膜抵抗素子を提供することにある。

Ｃ問題点を解決するための手段〕 本発明による薄膜抵抗素子は、抵抗値非調節パターンに
パターン形状が内側に突出する凹部を設は大ものである
。

〔作用〕

本発明においては、不連続調節パターンに、パターン形
状が内側に突出する凹部を設けたことＫより、同等の抵
抗値を得るのに少ない面積で可能となる。

〔実施例〕

以下、図面を用いて本発明の実施例を詳細に説明する。

第１図は本発明による薄膜抵抗素子の一実施例を示す要
部平面図でアリ、前述の図と同一部分には同一符号を付
しその説明は省略する。同図において、抵抗体調整パタ
ーンの抵抗測定用端子としての導体パターン２，３間に
は、切断部となるパターン形状が内側に突出する凹部４
ａを有する抵抗値不連続調節パターン４人と、抵抗値非
調節パターン５Ａとを並列接続して形成された抵抗体調
整パターン６Ａが多数個連続して直列接続されている。

なお、これらの不連続調節パターン４Ａおよび非調節パ
ターン５Ａは、例えば白金等の金属薄膜をフォトエツチ
ング等により加工して形成さレテおシ、互いにパターン
幅がほぼ同等でパターンの長さ（抵抗値）が異な夛、不
連続調節パターン４Ａは抵抗値を大きく、非調節パター
ン５Ａは抵抗値を小さくして形成されている。

このように構成された薄膜抵抗素子は、不連続調節パ、
ターフ４Ａの切断部にパターン凹部４ａを形成したこと
Ｋよシ、この凹部４ａ　Ｋよシ形成されな第１の凸部４
ｂおよび第２の凸部４Ｃのうち、第１の凸部４ｂがレー
ザビームの距離の短かい１回の走査によりバターンの２
個所が連続して切断されるので、確実なレーザトリミン
グが可能となる。また、不連続調節パターン４Ａ　Ｋパ
ターン凹部４ａを設けたことにより、これらの凸部４ｂ
、４ｃの周辺部に広い空きスペースが形成されるので、
この空きスペースに新たく各種の抵抗体パターンを形成
することが可能となシ、無駄なスペースをなくすること
ができ、また、その分、絶縁性基板１０面積を小さくす
ることもできる。

なお、前述しな実施例においては、不連続調節パターン
４Ａ　Ｋ設けたパターン凹部４ａの折す込み深さを浅く
した場合について説明したが、第２図に示すようにパタ
ーン凹部４ｊの折９込み深さを深くして不連続調節パタ
ーン４Ｂの抵抗値を高くして抵抗体調整パターン６Ｂを
構成しても前述と全く同様の効果が得られ、さらに第３
図に示すように非調節パターン５Ｂの長さを短かくして
抵抗値を低くして抵抗体調整パターン６Ｃを構成しても
前述と全く同様の効果が得られる。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明によれば、抵抗値不連続調節
パターンにパターン形状が内側に突出するパターン凹部
を設けたことｋより、レーザトリミングの信頼性が向上
できるとともにスペースを有効に利用できるなどの極め
て優れ大効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による薄膜抵抗素子の一実施例を示す要
部平面図、第２図および第３図は本発明による薄膜抵抗
素子の他の実施例を示す要部平面図、第４０は従来の薄
膜抵抗素子を示す要部平面図、第５図はレーザトリミン
グによる問題点を説明する図である。 １・・・・絶縁性基板、２，３・・・・導体パターン、
４Ａ、４Ｂ　　・・・・抵抗値不連続パターン、４ｍ、
４ｍ’　　・・・・パターン凹部、４ｂ、４ｃ　　・・
・・パターン凸部、５Ａ、５Ｂ　　・・・・抵抗値非調
節パターン、６Ａ、６Ｂ、６Ｃ・・・・抵抗体調整パタ
ーン、７・・・・切断部。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　抵抗値調節を不連続的に行なう抵抗値不連続調節パタ
   ーンと抵抗値調節の行なわない抵抗値非調節パターンと
   からなる複数の抵抗体調整パターンを抵抗値測定用端子
   パターン間に直列接続させ絶縁性基板上に導電性薄膜に
   より配列形成された薄膜抵抗素子において、前記不連続
   調節パターンにパターン形状が内側に突出する凹部を設
   けたことを特徴とする薄膜抵抗素子。