JP3124613B2 - 薄膜抵抗器 - Google Patents
薄膜抵抗器Info
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- JP3124613B2 JP3124613B2 JP04052749A JP5274992A JP3124613B2 JP 3124613 B2 JP3124613 B2 JP 3124613B2 JP 04052749 A JP04052749 A JP 04052749A JP 5274992 A JP5274992 A JP 5274992A JP 3124613 B2 JP3124613 B2 JP 3124613B2
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- Japan
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- film resistor
- thin film
- electrode portion
- thin
- resistance value
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- Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)
- Non-Adjustable Resistors (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、薄膜抵抗器に関し、
特に抵抗値を不連続的に調整することのできる薄膜抵抗
器に関する。
特に抵抗値を不連続的に調整することのできる薄膜抵抗
器に関する。
【０００２】
【従来の技術】各種の抵抗値を有する薄膜抵抗器を製造
する場合、従来は、各抵抗値に応じた抵抗体パターンや
電極パターンを用意しておく必要があった。図２の
（ａ）〜（ｃ）は、用意されるべき各種の電極パター
ン、抵抗パターンを例示したものである。各薄膜抵抗器
２１，２２，２３は、それぞれ電極部２４-1，２４
-2と、薄膜抵抗体２５とで構成されるが、薄膜抵抗体２
５の電極部間の長さが異なるので、各抵抗値は相違した
値となる。
する場合、従来は、各抵抗値に応じた抵抗体パターンや
電極パターンを用意しておく必要があった。図２の
（ａ）〜（ｃ）は、用意されるべき各種の電極パター
ン、抵抗パターンを例示したものである。各薄膜抵抗器
２１，２２，２３は、それぞれ電極部２４-1，２４
-2と、薄膜抵抗体２５とで構成されるが、薄膜抵抗体２
５の電極部間の長さが異なるので、各抵抗値は相違した
値となる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記した従来
の薄膜抵抗器には種々の問題点がある。すなわち、数種
類の抵抗パターンと電極パターンが必要となるので、露
光用マスク等の部材の手持ちが多くなるという問題点が
ある。また、前工程のロット数が多くなるという問題点
もある。
の薄膜抵抗器には種々の問題点がある。すなわち、数種
類の抵抗パターンと電極パターンが必要となるので、露
光用マスク等の部材の手持ちが多くなるという問題点が
ある。また、前工程のロット数が多くなるという問題点
もある。
【０００４】また、ロット内の抵抗値のばらつきが大き
い場合、これをトリミングによって調整することは困難
であったので、従来の薄膜抵抗器においては、抵抗値の
ばらつきを所定範囲内に抑えねばならないという必要性
もあった。この発明は、この問題点に着目してなされた
ものであって、抵抗パターンや電極パターンの種類を増
やさなくても、広い範囲で抵抗値を任意に設定できる薄
膜抵抗器を提供することを目的とする。
い場合、これをトリミングによって調整することは困難
であったので、従来の薄膜抵抗器においては、抵抗値の
ばらつきを所定範囲内に抑えねばならないという必要性
もあった。この発明は、この問題点に着目してなされた
ものであって、抵抗パターンや電極パターンの種類を増
やさなくても、広い範囲で抵抗値を任意に設定できる薄
膜抵抗器を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、この発明に係る薄膜抵抗器は、一対の主電極部と、
この主電極部間に形成される薄膜抵抗体とで構成される
薄膜抵抗器において、一方の主電極部の薄膜抵抗体の横
断方向における末端部より薄膜抵抗体に沿って延設され
た基部と、この基部の複数箇所からそれぞれ薄膜抵抗体
上の途中まで延びて抵抗体を短絡させる支部とからなる
延設電極部と、この延設電極部の基部に設けられ、必要
に応じて当該延設電極部の電極パターンを切断するトリ
ミング部とを備えることを特徴とする。
め、この発明に係る薄膜抵抗器は、一対の主電極部と、
この主電極部間に形成される薄膜抵抗体とで構成される
薄膜抵抗器において、一方の主電極部の薄膜抵抗体の横
断方向における末端部より薄膜抵抗体に沿って延設され
た基部と、この基部の複数箇所からそれぞれ薄膜抵抗体
上の途中まで延びて抵抗体を短絡させる支部とからなる
延設電極部と、この延設電極部の基部に設けられ、必要
に応じて当該延設電極部の電極パターンを切断するトリ
ミング部とを備えることを特徴とする。
【０００６】
【作用】この薄膜抵抗器では、延設電極部の基部からの
支部がそれぞれ薄膜抵抗体上の途中まで延びて抵抗体を
短絡させているので、複数のトリミング部の中から適宜
のものを切断することによって、任意の抵抗値を有する
薄膜抵抗器を製造することができる。
支部がそれぞれ薄膜抵抗体上の途中まで延びて抵抗体を
短絡させているので、複数のトリミング部の中から適宜
のものを切断することによって、任意の抵抗値を有する
薄膜抵抗器を製造することができる。
【０００７】
【実施例】以下、実施例に基づいて、この発明を更に詳
細に説明する。図１は、この発明の一実施例である薄膜
抵抗器の概略図を図示したものである。この薄膜抵抗器
は、左右に設けられた一対の主電極部１-1，１-2と、こ
の主電極部１-1，１-2間に形成された薄膜抵抗体２と、
左側の主電極部１-1 の薄膜抵抗体２の横断方向における
末端部より延設された延設電極部３と、この延設電極部
３の途中に複数箇所設けられ必要に応じて当該延設電極
部３の電極パターンを切断するトリミング部３-1〜３-4
とを備える。
細に説明する。図１は、この発明の一実施例である薄膜
抵抗器の概略図を図示したものである。この薄膜抵抗器
は、左右に設けられた一対の主電極部１-1，１-2と、こ
の主電極部１-1，１-2間に形成された薄膜抵抗体２と、
左側の主電極部１-1 の薄膜抵抗体２の横断方向における
末端部より延設された延設電極部３と、この延設電極部
３の途中に複数箇所設けられ必要に応じて当該延設電極
部３の電極パターンを切断するトリミング部３-1〜３-4
とを備える。
【０００８】図１から明らかなように、延設電極部３
は、主電極部１-1より薄膜抵抗体２に沿って延設された
基部３０と、この基部３０の複数箇所（ここでは４箇
所）からそれぞれ薄膜抵抗体２上の途中まで延びて抵抗
体２を短絡させる支部３１〜３４とからなる。延設電極
部３は櫛歯状であり、その支部３１〜３４が抵抗体２を
完全には短絡していない。この延設電極部３の基部３０
（支部３１，３２間、支部３２，３３間、支部３３，３
４間、支部３４と主電極部１-1との間）には、それぞれ
前記トリミング部３-1〜３-4が設けられている。
は、主電極部１-1より薄膜抵抗体２に沿って延設された
基部３０と、この基部３０の複数箇所（ここでは４箇
所）からそれぞれ薄膜抵抗体２上の途中まで延びて抵抗
体２を短絡させる支部３１〜３４とからなる。延設電極
部３は櫛歯状であり、その支部３１〜３４が抵抗体２を
完全には短絡していない。この延設電極部３の基部３０
（支部３１，３２間、支部３２，３３間、支部３３，３
４間、支部３４と主電極部１-1との間）には、それぞれ
前記トリミング部３-1〜３-4が設けられている。
【０００９】この主電極部１-1，１-2と延設電極部３と
を合わせた電極パターンと、薄膜抵抗体２の抵抗体パタ
ーンとによって製造された薄膜抵抗器は、上記トリミン
グ部３-1〜３-4を適宜に切断することによって抵抗値が
調整される。例えば、トリミング部３-1〜３-4を全て切
断すると、完成する薄膜抵抗器の抵抗値は、主電極部１
-1，１-2間の抵抗値になる。一方、トリミング部３-1〜
３-4を全く切断しない状態での抵抗値は、主電極部１-2
と支部３１との間の抵抗値になる。即ち、この薄膜抵抗
器では、主電極部１-2と支部３１との間の抵抗＋支部３
１，３２間の抵抗＋支部３２，３３間の抵抗＋支部３３
＋３４間の抵抗＋支部３４と主電極部１-1との間の抵抗
の範囲で不連続的に任意に設定できることになる。ま
た、延設電極部３の支部３１〜３４によって区分される
薄膜抵抗体２の部分の面積は任意に設定できるので、上
記トリミング処理による抵抗値の切上げ率を自由に設定
することもできる。
を合わせた電極パターンと、薄膜抵抗体２の抵抗体パタ
ーンとによって製造された薄膜抵抗器は、上記トリミン
グ部３-1〜３-4を適宜に切断することによって抵抗値が
調整される。例えば、トリミング部３-1〜３-4を全て切
断すると、完成する薄膜抵抗器の抵抗値は、主電極部１
-1，１-2間の抵抗値になる。一方、トリミング部３-1〜
３-4を全く切断しない状態での抵抗値は、主電極部１-2
と支部３１との間の抵抗値になる。即ち、この薄膜抵抗
器では、主電極部１-2と支部３１との間の抵抗＋支部３
１，３２間の抵抗＋支部３２，３３間の抵抗＋支部３３
＋３４間の抵抗＋支部３４と主電極部１-1との間の抵抗
の範囲で不連続的に任意に設定できることになる。ま
た、延設電極部３の支部３１〜３４によって区分される
薄膜抵抗体２の部分の面積は任意に設定できるので、上
記トリミング処理による抵抗値の切上げ率を自由に設定
することもできる。
【００１０】このような延設電極部３を設けることで、
支部３１〜３４が薄膜抵抗体２を端から端まで完全に横
断する場合に比べて、主電極部１-1，１-2間の薄膜抵抗
体２のうち電極パターンで短絡される部分が少ない分だ
け、調整可能な最低抵抗値と最高抵抗値との値が共に大
きくなるので、より一層の抵抗値の微調整が可能であ
る。
支部３１〜３４が薄膜抵抗体２を端から端まで完全に横
断する場合に比べて、主電極部１-1，１-2間の薄膜抵抗
体２のうち電極パターンで短絡される部分が少ない分だ
け、調整可能な最低抵抗値と最高抵抗値との値が共に大
きくなるので、より一層の抵抗値の微調整が可能であ
る。
【００１１】
【発明の効果】以上説明したように、この発明に係る薄
膜抵抗器は、一方の主電極部の薄膜抵抗体の横断方向に
おける末端部より薄膜抵抗体に沿って延設された基部
と、この基部の複数箇所からそれぞれ薄膜抵抗体上の途
中まで延びて抵抗体を短絡させる支部とからなる延設電
極部を設けてあるので、基部に設けられたトリミング部
を任意に切断すれば、抵抗値を調整することができ、従
来よりも広い抵抗値の範囲で抵抗値調整が可能となり、
ロット内の抵抗値ばらつきは従来より大きくても良いこ
とになる。また、延設電極部の支部が薄膜抵抗体上の途
中までしか延びていないので、即ち支部（電極パター
ン）が薄膜抵抗体を完全に短絡していないので、支部が
薄膜抵抗体を端から端まで完全に横断する場合に比べ
て、調整可能な最低抵抗値と最高抵抗値との値が共に大
きくなる結果、より一層の抵抗値の微調整が可能とな
る。
膜抵抗器は、一方の主電極部の薄膜抵抗体の横断方向に
おける末端部より薄膜抵抗体に沿って延設された基部
と、この基部の複数箇所からそれぞれ薄膜抵抗体上の途
中まで延びて抵抗体を短絡させる支部とからなる延設電
極部を設けてあるので、基部に設けられたトリミング部
を任意に切断すれば、抵抗値を調整することができ、従
来よりも広い抵抗値の範囲で抵抗値調整が可能となり、
ロット内の抵抗値ばらつきは従来より大きくても良いこ
とになる。また、延設電極部の支部が薄膜抵抗体上の途
中までしか延びていないので、即ち支部（電極パター
ン）が薄膜抵抗体を完全に短絡していないので、支部が
薄膜抵抗体を端から端まで完全に横断する場合に比べ
て、調整可能な最低抵抗値と最高抵抗値との値が共に大
きくなる結果、より一層の抵抗値の微調整が可能とな
る。
【００１２】また、多数の電極パターンを用意する必要
がないので、フォトリソ工程の露光時に使用するマスク
を減らすことが可能となり、部材費の低減と共にロット
管理作業の低減を図ることができる。更に、延設電極部
は一方の主電極部の薄膜抵抗体の横断方向における末端
部から延びているため、この種の抵抗値調整用の延設電
極部を有する薄膜抵抗器の小型化に向いている。 更にま
た、薄膜抵抗器の小型化を損なうことなく、延設電極部
の基部と薄膜抵抗体との間隔を大きく取ることができる
ので、基部に設けられたトリミング部を切断するのが容
易で、トリミングに時間が掛からない。
がないので、フォトリソ工程の露光時に使用するマスク
を減らすことが可能となり、部材費の低減と共にロット
管理作業の低減を図ることができる。更に、延設電極部
は一方の主電極部の薄膜抵抗体の横断方向における末端
部から延びているため、この種の抵抗値調整用の延設電
極部を有する薄膜抵抗器の小型化に向いている。 更にま
た、薄膜抵抗器の小型化を損なうことなく、延設電極部
の基部と薄膜抵抗体との間隔を大きく取ることができる
ので、基部に設けられたトリミング部を切断するのが容
易で、トリミングに時間が掛からない。
【図１】この発明の一実施例である薄膜抵抗器の概略図
である。
である。
【図２】従来の製法における薄膜抵抗器の抵抗パターン
と電極パターンを例示した図である。
と電極パターンを例示した図である。
【符号の説明】 １-1，１-2 主電極部 ２ 薄膜抵抗体 ３ 延設電極部 ３-1〜３-4 トリミング部 ３０ 基部 ３１〜３４ 支部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01C 17/22 H01C 7/00
Claims (1)
- 【請求項１】一対の主電極部と、この主電極部間に形成
される薄膜抵抗体とで構成される薄膜抵抗器において、一 方の主電極部の薄膜抵抗体の横断方向における末端部
より薄膜抵抗体に沿って延設された基部と、この基部の
複数箇所からそれぞれ薄膜抵抗体上の途中まで延びて抵
抗体を短絡させる支部とからなる延設電極部と、 この延設電極部の基部に設けられ、必要に応じて当該延
設電極部の電極パターンを切断するトリミング部とを備
えることを特徴とする薄膜抵抗器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04052749A JP3124613B2 (ja) | 1992-03-11 | 1992-03-11 | 薄膜抵抗器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04052749A JP3124613B2 (ja) | 1992-03-11 | 1992-03-11 | 薄膜抵抗器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05258925A JPH05258925A (ja) | 1993-10-08 |
| JP3124613B2 true JP3124613B2 (ja) | 2001-01-15 |
Family
ID=12923560
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04052749A Expired - Fee Related JP3124613B2 (ja) | 1992-03-11 | 1992-03-11 | 薄膜抵抗器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3124613B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009231359A (ja) * | 2008-03-19 | 2009-10-08 | Hitachi Ltd | 厚膜抵抗器 |
| US8569861B2 (en) | 2010-12-22 | 2013-10-29 | Analog Devices, Inc. | Vertically integrated systems |
| JP6184088B2 (ja) * | 2012-01-27 | 2017-08-23 | ローム株式会社 | チップ抵抗器の製造方法 |
| JP2017204653A (ja) * | 2012-01-27 | 2017-11-16 | ローム株式会社 | チップ抵抗器の製造方法 |
| JP5999315B2 (ja) * | 2012-03-30 | 2016-09-28 | 三菱マテリアル株式会社 | フィルム型サーミスタセンサ及びその製造方法 |
| US10730743B2 (en) | 2017-11-06 | 2020-08-04 | Analog Devices Global Unlimited Company | Gas sensor packages |
| US11587839B2 (en) | 2019-06-27 | 2023-02-21 | Analog Devices, Inc. | Device with chemical reaction chamber |
-
1992
- 1992-03-11 JP JP04052749A patent/JP3124613B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05258925A (ja) | 1993-10-08 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |