DE3340720C2

DE3340720C2 - Spannungsteiler mit mindestens einem stromlosen Abgriff und Verfahren zu seiner Herstellung

Info

Publication number: DE3340720C2
Application number: DE3340720A
Authority: DE
Inventors: Guy Bryan Wayland Mass. Praria
Original assignee: Analogic Corp
Current assignee: Analogic Corp
Priority date: 1983-06-27
Filing date: 1983-11-10
Publication date: 1986-01-23
Also published as: GB2142479A; GB8327491D0; US4475099A; DE3340720A1; FR2547963A1; FR2547963B1; GB2142479B; CA1199696A; JPS6011171A

Abstract

Es wird ein Spannungsteiler beschrieben, der zwei im Abstand voneinander angeordnete Klemmen, einen zwischen diesen angeordneten stromführenden Widerstand und mindestens einen Kompensations- oder Kelvinabgriff aufweist, also einen Abgriff, der praktisch keinen Strom führt. Der Kelvinabgriff wird durch einen leitfähigen, halbinselartigen Ansatz gebildet, der sich vom Spannungsteilerwiderstand zu einer weiteren Klemme erstreckt. Zur Einjustierung wird nur im stromlosen Ansatz ein Schnitt längs eines Weges gebildet, der eine Komponente parallel zu der Seite des Widerstandes aufweist, von der der Ansatz vorspringt. Der Schnitt schattiert die Verbindung zwischen dem Ansatz und der Seite des Spannungsteilerwiderstandes von der dritten Klemme ab, wodurch die Verbindung zwischen der dritten Klemme und dem Widerstand und damit die Ausgangsspannung ohne Veränderung des Widerstandswertes des Spannungsteilerwiderstandes eingestellt werden. Für eine zusätzliche Justierung kann der Schnitt in Richtung parallel zum Rand des Ansatzes verlängert werden.

Description

dieselbe Paste enthalten, mit dem gleichen Typ von Klemmen oder Anschlüssen versehen sein und durch das gleiche Herstellungsverfahren gleichzeitig gebildet werden. Selbst dann müssen im allgemeinen einer oder mehrere dieser Widerstände getrimmt oder justiert werden, um die richtigen Spannungsverhältnisse an den Abgriffen genau zu erreichen. Im Falle eines einzigen Abgriffes müssen mindestens einer der Widerstände, im allgemeinen jedoch beide justiert werden. Bei zwei Abgriffen müssen mindestens zwei Widerstände justiert werden usw. Das Justieren erfordert einen ersten Schnitt, um den Widerstand auf einen Wert innerhalb von etwa 1 % um den Sollwert zu bringen, dann muß der Widerstand erhitzt werden, um den üblicherweise vorhandenen Glasüberzug zu erweichen und dadurch die durch das Justieren erzeugten mechanischen Spannungen abzubauen, worauf dann eine zweite kleinere Justage im Schatten der ersten folgt Das Justieren oder Trimmen beeinflußt die Temperaturstabilität bis zu einem gewissen Grade, in wesentlich höherem Ausmaß jedoch die Langzeitstabilität Bei Verwendung mehrerer verschiedener Widerstände müssen diese genau aneinander angepaßt sein, um gleiche Temperaturkoeffizienten und Langzeitstabilitäts- oder Drift-Eigenschaften der Widerstände eines Spannungsteilers zu gewährleisten.

Durch die vorliegende Erfindung soll ein Spannungsteiler der eingangs genannten Art mit mindestens einem Abgriff geschaffen werden, der sich durch eine sehr kleine Temperaturabhängigkeit der abgegriffenen Spannung auszeichnet, der leicht mit einer nur durch die Meßeinrichtungen begrenzten Genauigkeit einjustiert werden kann, der einfach ist und der sich durch kleine Herstellungszeit und Herstellungskosten auszeichnet.

Diese Aufgabe wird durch den Spannungsteiler mit den kennzeichnenden Merkmalen des Patentanspruchs 1 und durch das Verfahren mit den kennzeichnenden Merkmalen des Anspruchs 11 gelöst.

Der Spannungsteiler gemäß der Erfindung zeichnet sich durch eine sehr hohe Temperaturstabilität, durch eine weitgehende Unabhängigkeit der Abgriffsspannung von der angelegten Spannung und durch praktisch vernachlässigbare Alterungseffekte aus. Es läßt sich beispielsweise eine Temperaturdrift der Abgriffsspannung von weniger als 1 ppm/°C und eine Langzeitstabilität von besser als 0,1 ppm/1000 Std. erreichen.

Bei einem erfindungsgemäßen Spannungsteiler mit mehreren stromlosen Abgriffen lassen sich aucli die einzelnen Abgriffe leicht unabhängig voneinander abgleichen. Der Spannungsteiler gemäß der Erfindung benötigt keine speziellen oder aneinander angepaßten Anschlösse oder Widerstandsmaterialien. Das Spannungsteilerverhältnis ist unabhängig vom Absolutwert des Widerstandes.

Die Erfindung beruht auf der Erkenntnis, daß bei einem stromlosen Spannungsteilerabgriff, der seitlich vom Strom durchflossenen Spannungsteilerwiderstand vorspringt, ein Schnitt und eine Abtragung, die quer verlaufen, die effektive Position des Anschlusses des Abgriffs am Widerstand ändern, ohne den Widerstandswert oder die Stabilität des Widerstandes zu beeinflussen.

Beim Abgleich des Spannungsteilers gemäß der Erfindung wird also nur in einem keinen Strom führenden halbinselartigen Absatz ein Schnitt längs eines Weg-is angebracht, der eins Komponente parallel zu derjenigen Seite des Spannungsteilerwiderstandes aufweist, von der sich der halbinselartige Ansatz wegerstreckt und der die Verbindung des Ansatzes mit der betreffenden Seite des Widerstandes bezüglich der am Ansatz angebrachten Klemme abschattiert oder abschirmt, so daß die Verbindung der Abgriffsklemme mit dem Widerstand justiert und die Ausgangsspannung ohne Änderung des Widerstandswertes des Widerstandes geändert wird. Der Schnitt kann parallel zum Rand des halbinselartigen Ansatzes verlängert werden, um die Wirkung der Justierung weiter zu vergrößern. Der halbinseiartige Ansatz kann ein Loch oder mehrere Löcher enthalten, um die Wirksamkeit der Justierung zu erhöhen.

Die Erfindung betrifft ferner ein Verfahren zum Herstellen eines solchen Spannungsteilers mit einem oder mehreren stromlosen Anschlußabgriffen und zwei beabstandeten Klemmen, zwischen denen ein stromführender Widerstand gebildet wird. Bei dem Verfahren werden ferner eine dritte Klemme im Abstand vom Widerstand und mindestens ein im Betrieb keinen Strom führender halbinselartiger Ansa''. des Widerstandes, der sich von einem Verbindungsbereicn an einer Seite des Widerstandes weg erstreckt und mit einer dritten Klemme unter Bildung eines stromlosen Abgriffes verbunden ist, gebildet Der Spannungsteiler wird dadurch abgeglichen, daß man nur in dem keinen Strom führenden halbinselförmigen Ansatz einen Einschnitt längs eines Weges bildet der eine Komponente parallel zu derjenigen Stelle des Widerstandes hat, von der sich der Ansatz weg erstreckt und der den Vsrbindungsbereich zwischen dem halbinselförmigen Ansatz und der genannten Seite von der dritten Klemme abschirmt, so daß die Verbindung der dritten Klemme mit dem Widerstand justiert und die Ausgangsspannung ohne Änderung des Widerstandswertes des Widerstandes abgeglichen wird. Der Widersiand kann eine Mehrzahl solcher keinen Strom führender Widerstände oder Ansätze sowie diesen zugeordnete dritte Klemmen aufweisen. Die Ansätze können alle von einer Seite des Widerstandes oder von beiden Seiten des Widerstandes aus vorspringen. Die halbinselartigen Ansätze können über ihre gan-■ee Länge schräg oder im wesentlichen senkrecht zur Seite des Widerstandes verlaufen oder nur in einem anfänglichen Teil schräg oder senkrecht und danach im wesentlichen parallel oder unter irgendeinem anderen Winkel schräg oder quer zur Seite des Widerstandes. Der halbinselartige Ansatz kann irgendeine gewünschte Form haben und beispielsweise dreieckig sein, wobei die Basis des Dreieckes sich an der Seite des Widerstandes befindet und die beiden Seiten oder Ränder des Dreiekkes zur dritten KJemme konvergieren. Der Ansatz kann ein oder mehrere Löcher enthalten, um die Effektivität der Justierung zu erhöhen.

Un folgenden werden Ausführungsbeispiele der Erfindung unter Bezugnahme auf die Zeichnungen näher erläutert. Es zeigt

F i g. 1 eine Ansicht eines bekannten Spannungsteilers;

Fig.2 eine Ansicht eines einen stromlosen Abgriff aufweisenden Spannungsteilers gemäß einer Ausfüh-

eo rungsform der Erfindung;

Fig.3 eine Ansicht eines Spannungsteilers ähnlich dem gemäß Fig.2 mit einer anderen Anordnung des stromlosen Abgriffes und einem dreieckigen Loch zur Erhöhung der Wirksamkeit eines Justierschnittes;

Fig.4 eine Ansicht einer Fig.2 ähnlichen Ausführungsform mit einer alternativen Konstruktion des stromlosen Abgriffes und mit einem runden Loch zur Erhöhung der Effektivität eines Justierschnittes;

Fig.5 eine Fig.2 ähnliche Ansicht einer Ausführungsform mit wieder einer anderen Konstruktion des stromlosen Abgriffes;

Fig.6 eine Ausführungsform ähnlich der Fig.2 mit einer weiteren Abwandlung des stromlosen Abgriffes;

Fig.7 eine Weiterbildung des Spannungsteilers gemäß F i g. 2 mit mehreren Abgriffen, sich auf der einen Seite des Spannungsteilers befinden;

Fig.8 eine Ansicht einer Ausführungsform eines

des zu vernachlässigen. Die Justierungen oder Schnitte werden nicht im Hauptkörper des Widerstandes gebildet; die Justierung beeinflußt daher den Widerstandswert des Widerstandes nicht und es ist nicht nötig, den Widerstand wiederholt zu justieren und zu tempern. Der eigentliche, stromdurchflossene Spannungsteilerwiderstand besteht im wesentlichen nur aus einem einzigen Widerstandselement, so daß ein Abgleich oder Gleichlauf automatisch gewährleistet ist. Der vorliegen-

Spannungsteilers mit mehreren Abgriffen auf beiden io de Spannungsteiler ist daher wesentlich stabiler und we-Seiten des Spannungsteilers und sentlich genauer einjustierbar ails die bekannten Wider-

Fig.9 eine Ansicht einer Ausführungsform des vor- stände, gleichgültig ob es sich um Dickschicht-, DÜnnliegenden Spannungsteilers mit mehr als einem stromführenden Abschnitt und stromlosen halbinselartigen

Ansätzen.

In F i g. 1 ist ein typischer bekannter Spannungsteiler 10 dargestellt, der aus zwei Widerständen 12, 14 gebildet ist, die in den Zwischenräumen zwischen Anschlüs-

_,._ ^J_n. t/l~_.~ *m *<c 1 «β i_:u_. _: ι rv? -

awl UUCI rvicillflicif U, IO UHU IO gCUIIUCl MIIU. LMC

Klemme 16 dient als Spannungsteilerabgriff. Der Ab- 20 Konventionelle Dickschicht-Widerstände sind auf eine griff befindet sich bei dem Spannungsteiler gemäß Genauigkeit von etwa 0,1% abgleich- oder einjustier-F i g. 1 etwa in der Mitte, er kann sich jedoch selbstver- · — · · - -ständlich irgendwo zwischen den Klemmen 15 und 18

schicht-, monolithische, Masseschicht- oder drahtgewikkelte Widerstände handelt.

Beispielsweise sind normale Kohle-Masse-Widerstände im allgemeinen nicht abgleich- oder justierbar. Sie haben einen Temperaturkoeffizienten von 1000 bis 2000ppm/°C, eine Langzeitsta.bilität von 20 000 ppm/ jähr und einen Gleichlauf von 5öö bis iööö PPmZ¹

befinden. Da der primäre stromführende Widerstand 20

bar. Sie haben einen Temperaturkoeffizient von 50 bis 100 ppm/" C, eine Langzeitstabilität nach dem Abgleich von 500 bis 1000 ppm Änderung pro Jahr und einen

des Spannungsteilers 10 tatsächlich aus zwei getrennten 25 Gleichlauffehler von 5 bis 50 ppm/" C. Dünnschicht-Wi-

Widerständen 12 und 14 besteht, muß bei der Herstel- derstände lassen sich ebenfalls auf 0,1% genau abglei-

lung und der Justierung oder dem Abgleich dieser Wi- .-.-■-

derstände große Sorgfalt aufgewendet werden. Das

Material, die Größe und die Form der Widerstände 12

chen. Sie haben einen Temperaturkoeffizient von 20 bis 60ppii.^:"C, eine Langzeitstabilität nach dem Abgleich von 200 bis 400 ppm Änderung pro Jahr und einen und 14 muß sorgfältig kontrolliert werden. Sie müssen 30 Gleichlauffehler von 2 bis 6 ppm/⁰C Im Gegensatz aus weitgehend ähnlichen Materialien und zur gleichen hierzu lassen sich Widerstandsverhältnisse unter AnZeit gebildet und hergestellt werden, um Unterschiede hinsichtlich des Temperaturkoeffizienten und Langzeit-

Instabilitäten möglichst klein zu halten. Da es sich um

Wendung der Lehren der vorliegenden Erfindung auf eine Genauigkeit von besser als 0,001% einstellen und die Genauigkeit ist anscheinend lediglich durch die Abzwei verschiedene Widerstände handelt, muß jede tem- 35 lese- oder Meßgenauigkeit der Meßeinrichtung beperatur- oder alterungsbedingte Änderung des Wider- grenzt Die Langzeitdrift des Widerstandsverhältnisses standswertes eines dieser Widerstände von einer gleich- ist kleiner als 0,! «"m/lO³ h und der Gleichlauf ist besser sinnigen und proportionalen Änderung des anderen Wi- als 1 ppm/°C. '

derstandes begleitet werden, wenn die Spannung am In Fig. 2 ist ein Spannungsteiler 50 gemäß einer Aus-

Abgriff 16 sich nicht ändern soll. Selbst bei sorgfältiger 40 führungsform der Erfindung dargestellt, der einen er-Hersteliung haben die Widerstände 12 und 14 gewöhn- sten und einen zweiten Anschluß oder Klemmen 52,54 lieh nicht ihren genauen Sollwert, so daß mindestens aufweist, zwischen denen sich ein stromführender einer, gewöhnlich beide Widerstände justiert oder ge- Hauptwiderstand 56 befindet. Von einer Seite 58 des trimmt werden müssen. Dies geschieht durch einen streifenförmigen Widerstandes 56 springt ein halbinsel-Querschnitt 22, durch den der Widerstandswert des Wi- 45 artiger Ansatz 60 seitlich vor, der aus dem gleichen Maderstandes 12 allmählich bis zum endgültigen richtigen terial wie der Widerstand 56 hergestellt ist Der Ansatz

60 steht mit einem Anschluß oder einer Klemme 62 in Verbindung und bildet einen Kelvinanschlußabgriff 64. Unter einem Kelvinanschluß (Kelvinverbindung, Kom-

scherweise im Schatten des ersten, der den Widerstand 50 pensationsanschluß) ist ein Anschluß zu Verstehin, in noch näher an d_-n Sollwert bringt Wenn ein Wider- dem kein oder praktisch kein Strom fließt Der Spannungsteilerstrom fließt im wesentlichen in Längsrichtung von der Klemme 52 zur Klemme 54 durch den Widerstand 56, oder von der Klemme 54 zur Klemme 52

sein. Dieses Trimmen, Schneiden oder Justieren verur- 55 und obgleich sich die Stromfäden beim Ansatz 60 etwas sacht eigene Instabilitäten dadurch, daß Widerstands- nach außen wölben, wie bei 66 dargestellt ist, fließt im material freigelegt wird, und man muß den üblicherwei- wesentlichen kein Strom durch den Ansatz 60 zur Klemse vorhandenen Glasüberzug erweichen, um die durch me 6Z Die Ausgangsspannung am Abgriff 64 wird eindie Einschnitte verursachten mechanischen Spannungen fach und stabil dadurch einjustiert, daß man einen zu beseitigen. Die Steuerung der Instabilitäten, der Ab- 60 Schnitt 68 anbringt, der eine Komponente aufweist, welgleich der Widerstände und das Justieren der Wider- ehe parallel zu der Seite 58 verläuft von der der Ansatz

Wert erhöht wird. Der erste Schnitt 22 bringt den Widerstandswert gewöhnlich innerhalb 1% vom Sollwert Anschließend wird ein zweiter Schnitt 24 gebildet, typi-

stand justiert wird, ist es oft erforderlich, den anderen Widerstand ebenfalls zu justieren und im Widerstand 14 können daher ähnliche Schnitte 26 und 28 notwendig

standswerte der Widerstände wird zunehmend komplizierter, wenn zusätzliche Widerstände 30, 32 und 34, denen Klemmen 36,38 bzw. 40 zugeordnet sind, vorgesehen sind, um zusätzliche Abgriffe zu boden.

Die vorliegende Erfindung ermöglicht es, bei der Einstellung eines vorgegebenen Spannungsverhältnisses oder Ausgangssignales den Absolutwert des Widerstan-

vorspringt Der Schnitt 68 unterbricht, wie dargestellt, den Weg zwischen einem schraffiert dargestellten unteren Teil 70 des Anschlusses oder der Klemme 62 und einem entsprechenden Bereich 72 des Widerstandes 56. Dies hat zur Folge, daß ein Weg zwischen der Klemme 62 und einem oberen, durch den Schnitt 68 nicht »abschattierten« Teil 74 des Widerstandes 56 eebildet

wird. Der Anschluß des Abgriffs 64 ist also durch den Schnitt 68 längs des Widerstandes 56 nach oben verschoben worden. Wenn der Schnitt 68 noch etwas länger gemacht wird, verschiebt sich der Abgriff noch weiter nach oben. Wäre der Schnitt 68 kürzer, so würde sich der Abgriff weiter unten befinden. Der Schnitt kann auch vom oberen Rand des Ansatzes nach unten verlaufen '_nd kann nicht nur bis fast zur gegenüberliegenden Seite des Ansatzes verlaufen, sondern sich auch zum Körper des Widerstandes wenden und parallel zum Rand des Ansatzes fast bis zum Körper des Widerstandes verlaufen. Auf diese Weise kann die Spannung in einem weiten Bereich geändert werden, ohne den Widerstandswert des Widerstandes 56 zu beeinflussen. Dies hat seinen Grund darin, daß im Ansatz 60, der zwar aus dem gleichen Material wie der Widerstand 56 besteht, kein Strom fließt und daher durch den Schnitt 68 keine Widerstandsänderung- oder Stabilitätsprobleme entstehen.

Die spezielle Form und Anordnung des Ansatzes kann variieren, wie der Spannungsteiler 50a in F i g. 3 beispielsweise zeigt, welcher einen Ansatz 60a mit einem ersten Teil 75, der quer zur Seit; 58 verläuft und einem zweiten Teil 76, der im rechter. Winkel zum Teil 75 und im wesentlichen parallel zum Widerstand 56a verläuft, enthält. Die Trimmstelle oder der Schnitt 68 muß jedoch immer so angebracht werden, daß er die Verbindung 78, wo der Ansatz 60 die Seite 58a des Widerstandes 56a trifft, abschattiert. Zu diesem Zweck erfolgt der Schnitt 68a längs eines Weges, der eine Komponente aufweist, die parallel zur Seite 58a des Widerstandes 56 verläuft, von der der halbinselartige Ansatz 60a sich weg erstreckt. Wenn beispielsweise der Schnitt bei 68aa angebracht würde, hotte er keine Wirkung auf die Verschiebung des Spannungs'eilerabgriffs, da der Schnitt 68aa allein den ganzen Verbindungsbereich 78 bezüglich der Klemme 62a tmabgedeckt oder unblockiert läßt. Auch der Schnitt 68aja würde die notwendige Abschattierung nicht bewirken, da die Klemme 62a immer noch die ganze Länge der Verbindung 78 »sehen« könnte.

Bei den bisher beschriebenen Ausführungsformen verliefen die Ansätze 60 und 60a senkrecht zu den betreffenden Seiten 58 bzw. 58a des Spannungsteilerwiderstandes, dies ist jedoch nicht notwendig. Der Ansatz kann beispielsweise auch schräg verlaufen, wie der Ansatz 60b in F i g. 4 zeigt. Der Ansatz 60b kann einen Schnitt 68b enthalten, der parallel zur Seite 5Sb und der Verbindung 786 verläuft, dies ist jedoch nicht notwendig; der Schnitt kann vielmehr auch unter einem Winkel, also schräg zur Verbindung 78i» verlaufen, wie es bei 6Sb dargestellt ist, solange er eine Komponente hat, die parallel zur Seite 58Ö und Verbindung 7Sb verläuft Der Ansatz 606 kann auch noch einen zweiten Teil 766 aufweisen, wie es in F i g. 4 gestrichelt dargestellt ist, oder sich auf irgendeine andere Weise weiter erstrecken. Die Justierungen oder Schnitte 68 müssen immer so angebracht werden, daß sie die Verbindung zwischen dem Ansatz und dem Spannungsteilerwiderstand von der dritten Klemme 62bb abschirmen. Ein Loch, wie das dreieckige Loch 77a in F i g. 3 oder das kreisförmige Loch 77b in Fig.4, kann verwendet werden, um die Wirksamkeit des Justierschnittes zu erhöhen. In den F i g. 2, 3 und 4 hat der Ansatz eine Breite, die etwa gleich einem Dritte! der Länge des Spannungsteilerwiderstandes ist In diesen Fällen kann man mit einem Justierschr.itt im Ansatz 60 eine Änderung der Abgriffspannung bis zu etwa 25% erreichen. Mit einem breiteren halbinselförmigen Ansatz 60c, we er in F i g. 5 dargestellt ist, kann man die Abgriffspannung bis zu 100% oder bis nahezu 100 Prozent ändern, während ein schmalerer Ansatz oder ein längerer Widerstand eine feinere Justierung gestattet.

Bei den Ausführungsbeispielen giemäß Fig. 2 bis 5 haben die Ansätze im wesentlichen gerade parallele Seiten. Dies ist jedoch kein notwendiges Merkmal der vorliegenden Erfindung, da sie mit den verschiedensten

ίο Formen realisiert werden kann. Beispielsweise kann man, wie es in F i g. 6 dargestellt ist. einen dreieckigen oder trapezförmigen Ansatz 6Od verwenden, dessen Ränder 80, 82 zur Klemme 62c/ konvergieren, während die Basis im wesentlichen mit der Verbindungslinie 7Sd zusammenfällt.

Der vorliegende Spannungsteiler ist auch nicht auf Konstruktionen mit nur einem einzigen Abgriff beschränkt, er kann vielmehr eine beliebige Anzahl von Ansätzen aufweisen, z. B. drei Ansä! ze 6Oe, 60ee, 60eee mit zugehörigen dritten Klemmen 62t, 62ee, 62eee, wie es in F i g. 7 dargestellt ist, und die Abgriffe können sich, wie bei F i g. 7, alle auf der einen Seite des Spannungsteilerwiderstandes befinden oder auch auf beiden Seiten, wie es in Fig.8 dargestellt ist, wo vier Kelvinanschlußabgriffe 64/, 64//, 64/// und 64//// von der einen Seite 58/vorspringen und vier weitere Kelvinanschlußabgriffe 64'/; 64'// 64'/// und 64'//// von der anderen Seite 90 vorspringen.
Wie in Fig.9 dargestellt ist, kann ein erfindungsgemäßer Spannungsteiler 50g noch einen weiteren stromführenden Widerstand 100 mit sowohl stromführenden Ansätzen bzw. Abgriffen 56gg, 56ggg, 56gggg als auch leitfähigen, jedoch stromlosen Abgriffen 6Og^r, 60ggg. 60gggg enthalten, wobei der erste stromführende Widerstand 56^ keinen oder einen stromlosen Ansatz 60g oder mehrere solcher Ansätze enthalten kann.

Die Spannungsteilerwiderstände haben vorteilhafterweise die Form von geraden oder gegebenenfalls abgewinkelten Streifen mit parallelen Seiten.

Die Ansätze der Kelvinanschluß- oder Kompensationsabgriffe werden im allgemeinen vorteilhafterweise gleichzeitig, einstückig und aus dem gleichen Material wie der stromführende Hauptwiderstand gebildet.

Hierzu 2 Blatt Zeichnungen

Claims

1 2 ausschließlich in den keinen Strom führenden AnPatentansprüche: satz ein Einschnitt längs eines Weges gebildet wird, welcher eine Komponente parallel zu der Seite des

1. Spannungsteiler mit zwei im Abstand voneinan- Widerstandes, von der der Ansatz vorspringt, aufder angeordneten Anschlußklemmen (52, 54), zwi- 5 weist, um die Verbindung der dritten Klemme mit sehen denen sich ein stromführender Hauptwider- dem Widerstand und dadurch die Ausgangsspanstand (56) befindet, und mit mindestens einem eine nung ohne Änderung des Widerstandswertes einzudritte Klemme (62) aufweisenden stromlosen Ab- justieren.

griff (64) am Hauptwiderstand, dadurch ge- 12. Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennkennzeichnet, daß die Klemme (62) an einem 10 zeichnet, daß der Widerstand und der Ansatz einAnsatz (60) angebracht ist, der sich von einem Ver- stückig und gleichzeitig aus dem gleichen Werkstoff bindungsbereich an einer Seite (58) des Hauptwider- hergestellt werden. Standes von diesem weg zu der dritten Klemme (62)

erstreckt und daß ausschließlich in dem keinen

Strom führenden Ansatz (60) ein Schnitt (68) vorge- ii

sehen ist, welcher sich längs eines Weges erstreckt,

der eine Komponente aufweist, die parallel zur Seite Die vorliegende Erfindung betrifft einen Spannungs-

(58) des Hauptwiderstandes (56), von der der Ansatz teiler gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.

(60) vorspringt, verläuft, und welcher den Verbin- Ferner betrifft die Erfindung ein Verfahren zum Her-

dungsbeidch zwischen dem Ansatz (60) und der Sei- 20 stellen eines solchen Spannungsteilers.

te (5S) des Hauptwiderstandes (56) gegen die dritte Spannungsteiler, die einen oder mehrere Abgriffe

Klemme (62) abschirmt und dadurch den Anschluß aufweisen und beispielsweise in Dickschicht-, Dünn-

der dritten Klemme am Hauptwiderstand sowie die schicht- oder monolithischer Technik hergestellt sind,

Ausgangsspannung am Abgriff ohne Änderung des werden in elektronischen Geräten sehr häufig verwen-

Widerstandswertes des Hauptwiderstandes einstellt 25 det In vielen Fällen sind die Abgriffe des Spannungstei-

2. Spannungsteiler nach Anspruch 1, dadurch ge- lers sogenannte Kompensationsanschlüsse, & h. Ankennzeichnet, daß der Widerstand (56^ mit mehre- Schlüsse, in denen im Betrieb kein oder praktisch kein ren keinen Strom führenden Ansätzen (6Oe, 60ee, Strom fließt, wie z. B. bei der Wheatstoneschen Brücke. Gßeee) und zugehörigen dritten Klemmen (62p, 62ee, Spannungsteiler dieser Art werden für viele Zwecke 62eee_>/versehen ist 30 benötigt, z. B. für Operationsverstärkerschaltungen und

3. Spannungsteiler nach Anspruch 2, dadurch ge- Digital/Analog-Wandler.

kennzeichnet, daß die Ansätze sich alle von ein und Eine zu Abgleichszwecken aus zwei Dünnschichtwi-

derselben Seite des Hauptwiderstandes (56<^ weg derständen bestehende Schaltungsanordnung ist aus der

erstrecken (F i g. 7). DE-OS 16 65 384 bekannt Der Abgleich erfolgt durch

4. Spannungsteiler nach Anspruch 2, dadurch ge- 35 Einschnitte in die Dünnschichtwiderstfinde, wobei die kennzeichnet, daß die .Ansätze sich von beiden Sei- Einschnitte sowohl senkrecht als auch parallel zur ten des Hauptwiderstandes weg erstrecken (F i g. 8). Stromflußrichtung in den betreffenden Schichten ver-

5. Spannungsteiler nach Anspruch 1, dadurch ge- laufen können.

kennzeichnet, daß der Ansatz (60) über seine ganze Aus der DE-OS 17 65 578 ist ein als Spannungsteiler

Länge senkrecht zu der erwähnten Seite (58) des "40 verwendbarer Ohm'scher Vierpol mit drei Anschlüssen Hauptwiderstandes(56)verläuft(Fig.2). bekannt, der eine etwa dreieckige Widerstandsschicht

6. Spannungsteiler nach Anspruch 1, dadurch ge- aufweist, deren Ecken mit jeweils einem Anschluß verkennzeichnet, daß der Ansatz (60a) in seinem an- sehen sind.

fänglichen Teil seiner Länge senkrecht zu der er- Aus der DE-PS 5 11 398 sind Massewiderstände bewähnten Seite (SSa) des Hauptwiderstandes (56a,} 45 kannt, bei denen eine günstigere Verteilung der Äquipo- und im restlichen Teil (76) parallel zu der erwähnten tentialflächen als bei Kontaktierung durch aufgesetzte Seite (58a; verläuft (F i g. 3). Kappen durch eingebettete, nicht in allen Fällen kontak-

7. Spannungsteiler nach Anspruch 1, dadurch ge- tierte Metallkörper erreicht wird.

kennzeichnet, daß der Ansatz (80) die Form eines Entsprechende Schichtwiderstände sind aus der DE-

Trapezes hat, dessen Basis (7Sd) sich an einer Seite 50 OS 24 37 312 bekannt.

des Hauptwiderstandes (S6d) befindet und dessen Aus der DE-PS 7 01 380 ist es bekannt. Massewider-Seiten (80,82) zur dritten Klemme (62d) konvergie- stände dadurch abzugleichen, daß man auf den Widerren (F i g. 6). stand eine gut leitende, nicht kontaktierte Schicht sol-

8. Spannungsteiler nach einem der vorhergehen- eher Größe aufbrennt, daß der Widerstandswert unter den Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der 55 dem Sollwert liegt und daraufhin diese Schicht z. B. Ansatz ein Loch (77a, 77 b) aufweist (F ig. 4). durch Abschleifen in ihren geometrischen Abmessun-

9. Spannungsteiler nach einem der vorhergehen- gen verkleinert, bis der Sollwert erreicht ist Als Abgriff den Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß er sind diese aufgebrachten Schichten weder bestimmt mehrere Strom führende Widerstände (56g, 56gggg) noch geeignet, da ihre effektive Lage auf dem Widerenthält, von denen mindestens einer einen leitfähi- ω Standskörper durch den Abgleichvorgang beeinflußt gen, keinen Strom führenden Ansatz (60g, &)gg,...) wird und daher nicht exakt vorherbestimmt werden aufweist (F i g. 9). kann.

10. Spannungsteiler nach einem der Ansprüche 1 Bei Spannungsteilern des oben erwähnten Typs gibt bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß der Ansatz einen es jedoch eine ganze Reihe von Problemen, einstückigen Teil des Hauptwiderstandes bildet. 65 Bei der Dickschicht-Technik wird beispielsweise ein

11. Verfahren zum Herstellen eines Spannungstei- Spannungsteiler durch Verbinden von zwei oder mehr lers nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß Dickschichtwiderständen gebildet. Diese Widerstände der Spannungsteiler dadurch einjustiert wird, daß müssen daher alle so gleichartig wie möglich sein, d. h.