DE2840278A1

DE2840278A1 - Einstellbare daempfungsvorrichtung

Info

Publication number: DE2840278A1
Application number: DE19782840278
Authority: DE
Inventors: Christian Val; Claude Vergnolle
Original assignee: Thomson CSF SA
Current assignee: Thales SA
Priority date: 1977-09-16
Filing date: 1978-09-15
Publication date: 1979-03-29
Also published as: SE7809587L; GB2005086A; US4216444A; GB2005086B; JPS5496342A; FR2403688A1

Description

Patentanwälte

ΠιρΙ -Ing Dipl.-Chom DmI -Inq.

E. Prinz - Dr. G. Hauser - G. Leiser

F f η s h im QO r s t r ,1 s ·■- f* 1^r·)

8 München 60

THOMSON - CSF 14. September 1978

173, Bd. Haussmann
75008 Paris / Frankreich

Unser Zeichen; T 3162

Einstellbare Dämpfungsvorrichtung

Die Erfindung bezieht sich auf stufenweise einstellbare Dämpfungsvorrichtungen mit einer integrierten Schaltung, die für den Einbau in eine gedruckte Schaltung bestimmt ist. Dämpfungsvorrichtungen sind im allgemeinen durch eine Kette von T- oder Π-Dämpfungsgliedern mit drei Widerständen gebildet. Durch zwei Anschlußarten ist es möglich, zwei Dämpfungswerte 0 oder α zu erhalten, so daß die Gesamtdämpfung nach Wahl des Benutzers eine gewisse Anzahl von diskreten Werten annehmen kann.

Die Erfindung vereinigt die Vorteile der bekannten Technik sowohl hinsichtlich der integrierten Schaltungen im allgemeinen als auch für den besonderen Fall der Dämpfungsvorrichtungen. Die Dämpfungsvorrichtung nach der Erfindung

Lei/Ma

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ist in Dünnschichttechnik ausgebildet, nimmt also weniger Raum ein als in Dickschichttechnik. Es wird die Technik des Auftrags auf ein Siliciumsubstrat angewendet. Die äußeren Anschlüsse und gewisse innere Anschlüsse werden durch Ausschneiden eines metallisierten Films erhalten, und die Montage des Siliciumplättchens erfolgt durch die Technik der automatischen übertragung auf ein Band, um die Kosten zu verringern und die Herstellungsgeschwindigkeit zu vergrößern. Die besondere Anordnung der Ausgänge ist besonders bequem für die Person, die mit der Einstellung der Dämpfung beauftragt ist, und ermöglicht die Verringerung des Raumbedarfs der integrierten Schaltung auf der Druckschaltungsplatte. Diese Ausgänge sind nämlich in zwei einander entgegengesetzten Reihen angeordnet, von denen die eine alle Ausgänge enthält, die Verbindungen entsprechen, die mit Hilfe einfacher Reiter von der Bedienungsperson vorgenommen werden sollen, während die andere Reihe die Ausgänge für die Verbindung mit der gedruckten Schaltung enthält. Das Bauteil wird hochkant angeordnet, wobei die die zweite Reihe von Ausgängen aufweisende Seite der Druckschaltungsplatte zugewandt ist und die andere Seite für die Bedienungsperson leicht zugänglich ist. Die Anordnung der Widerstände auf dem Siliciumsubstrat sowie die Reihenfolge der Ausgänge sind so getroffen, daß der Raumbedarf auf ein Minimum herabgesetzt wird, Überkreuzungen der Leiterfilme auf dem Silicium vermieden werden und die Einstellung der Dämpfung möglichst erleichtert wird; sie erfolgt durch Reiter, die alle gleich sind und nach der Einstellung angelötet werden, wodurch ein guter elektrischer Kontakt gewährleistet ist.

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-D-

Die Erfindung eignet sich insbesondere für Fernsprechausrüstungen. An jedem Ende eines Fernsprechkanals ist nämlich eine Dämpfungsvorrichtung vorhanden, deren Dämpfung bei der Installation des Fernsprechgeräts am Verwendungsort eingestellt werden muß.

Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der folgenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen anhand der Zeichnung. In der Zeichnung zeigt:

Fig. 1 das elektrische Schaltbild einer aus zwei Π-Gliedern gebildeten Dämpfungsvorrichtung,

Fig. 2 das elektrische Schaltbild einer aus fünf T-Gliedern gebildeten Dämpfungsvorrichtung,

Fig. 3 das Schema der Anordnung der Widerstände auf einem Substrat,

Fig. 4 und 5 zwei Beispiele für die geometrische Ausbildung der Widerstände

Fig. 6 eine Oberansicht eines die Dämpfungsvorrichtung tragenden Plättchens,

Fig. 7 und 8 zwei Detailansichten bestimmter Ausgangsleiter und

Fig. 9 die Anbringung der Dämpfungsvorrichtung auf einer gedruckten Schaltung.

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Zahlreiche elektronische Systeme, insbesondere die Schaltungen von Fernsprechkanälen, enthalten Dämpfungsvorrichtungen, die durch eine Kette von Widerstands-Dämpfungsgliedern mit T- oder Π-Struktur gebildet sind. Bei der Anwendung auf das Fernsprechen ist es beispielsweise erwünscht, die Dämpfung der Dämpfungsvorrichtung am Einbauort einstellen zu können, d.h. nach der Herstellung der Schaltung. Fig. 1 zeigt das elektrische Schaltbild einer Dämpfungsvorrichtung, die aus zwei Π-Gliedern gebildet ist, von denen jedes drei Widerstände enthält. Das erste Π-Glied besteht aus den Widerständen Τλ , r«, r, und das zweite Π-Glied aus den Widerständen r. , r,-, rg. Ein Schalter 20 ermöglicht, wenn er geschlossen wird, den Kurzschluß des Widerstands r,. Ein Schalter ermöglicht, wenn er geschlossen wird, die Verbindung der Widerstände r\j und r₂ mit Masse. Es gibt zwei hauptsächliche Betriebsfälle:

- Der Schalter 20 ist geschlossen, und der Schalter 21 ist offen: Die Ausgangsspannung v~ ist gleich der Eingangs spannung v^, und der Übertragungsfaktor a,. = ^v-j/ des Dämpfungsglieds hat den Wert 1.

- Der Schalter 20 ist offen und der Schalter 21 ist geschlossen: Der Übertragungsfaktor a^ hängt von den Werten der Widerstände r^, r₂, r, und den Anpassungsbedingungen ab. Wenn das Dämpfungsglied am Eingang und am Ausgang angepaßt ist und den Wellenwiderstand r_ hat, und für r^ = r„ gilt:

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Y₁	+ 1 +	Vy-	I ^(v1	+ 2)	+ 2
^r3	^Γ3	und	r — C	^ri\/
^Γ1	^r2

mit:

Das zweite Dämpfungsglied mit der Eingangsspannung V₂ und der Ausgangsspannung v-, funktioniert in der gleichen Weise; wenn es den Wellenwiderstand r hat, kann mit zwei Schaltern 22 und 23 sein Dämpfungsfaktor a₂ zwei Werte annehmen, nämlich entweder den Wert 1 oder den Wert

y₂ = ^Ί + Vy₂ ^y₂ ⁺ ^ ^mit

Die Gesamtdämpfung der Dämpfungsvorrichtung:

a = a^· a«

kann also vier diskrete Werte annehmen. Ganz allgemein enthält eine Dämpfungsvorrichtung mit η Dämpfungsgliedern zwei η Schalter, und ihre Dämpfung kann maximal 2ⁿ diskrete Werte annehmen, die man beispielsweise in Stufen von 0,5 zvl 0,5 dB staffeln kann.

Die Funktionsweise der T-Glieder ist denen der Π-Glieder ähnlich. Fig. 2 zeigt das elektrische Schaltbild einer Dämpfungsvorrichtung, die aus fünf T-Gliedern gebildet ist. Diese bestehen aus Widerstandsgruppen (R₁, R₉* R-z)»

und haben jeweils den Dämpfungsfaktor A^, A₂ =.. A₅-

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Die Dämpfungsvorrichtung soll in Dünnschichttechnik auf einem Siliciumsubstrat gebildet werden. Man sucht die Herstellungskosten und den Raumbedarf, also die Anzahl der Ausgänge, möglichst zu verringern. Es ist daher erwünscht, Überkreuzungen zwischen den Zonen zu vermeiden, in denen die Widerstände und die metallischen Verbindungen aufgebracht sind, und natürlich auch zwischen den metallischen Verbindungen selbst. Dies hat zur Folge, daß die Dämpfungsglieder im Innern der Schaltung nicht miteinander verbunden sind. Somit sind die Punkte 3, 7, 11, 15, die den Ausgängen der vier ersten Dämpfungsglieder entsprechen, nicht mit den Punkten 5, 9, 13 bzw. 17 verbunden, die den Eingängen der vier letzten Dämpfungsglieder entsprechen. Die Punkte 1 und 19, die dem Eingang bzw. dem Ausgang der Dämpfungsvorrichtung entsprechen, müssen mit der elektronischen Schaltung verbunden werden, in die das Bauteil eingefügt wird. Ferner ist im Schaltbild zu erkennen, daß vier Punkte vorgesehen sind, die der Schaltungsmasse entsprechen, nämlich die Punkte 4, 8, 12, 16, die die mit der Einstellung beauftragte Person mit den Punkten 2, 6, 10, 14, 18 verbinden kann, welche die Enden der Widerstände R^, Rg, Rq, R₁₂ bzw. R₁ c sind.

Fig. 3 zeigt eine Schema der Anordnung der Widerstände, die auf ein Siliciumsubstrat 100 aufgebracht sind. Bei dieser Anordnung sind die folgenden Bedingungen berücksichtigt: Die Enden der Widerstände sind durch metallische Verbindungsbahnen mit den Ausgangskontaktstücken 1, 2, 3, 5, 6, 7, 9, 10, 11, 13, 14, 15, 17, 18, 19 verbunden; in gleicher Weise sind die verschiedenen Massepunkte durch Verbindungsbahnen miteinander und mit

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den Ausgangskontaktstücken 4, 8, 12, 16 und mit einem zusätzlichen Kontaktstück M verbunden; die verschiedenen Kontaktstücke 1, 2 ... 19, M folgen am Umfang des Substrats 100 in dieser Reihenfolge aufeinander; es gibt keine Überkreuzung zwischen den verschiedenen auf das Substrat aufgebrachten Elementen (Widerständen und Verbindungsbahnen) . Es wird die herkömmliche Technik des Aufbringens in dünnen Schichten angewendet. Die Erzielung dünner Schichten auf einem Siliciumsubstrat stellt eine Besonderheit dar, da Silicium elektrisch leitend ist. Ein mögliches Verfahren ist das folgende: Zur Erzielung einer elektrischen Isolierung beginnt man damit, das Silicium zu oxidieren, so daß eine Siliciumoxidschicht von etwa 1 um Dicke erhalten wird und dann wird darauf eine Tantalschicht von 2,5 Jim Dicke aufgebracht, die gleichfalls oxidiert wird. Das inerte Tantaloxid wird bei den Ätzvorgängen mit Hilfe aufeinanderfolgender Masken nicht angegriffen. Anschließend werden nacheinander eine Tantalnitridschicht von etwa 500 A Dicke durch Katodenzerstäubung, eine Nickel-Chrom-Schicht von 500 bis 1000 A Dicke und schließlich eine Goldschicht von 1,5yum Dicke aufgebracht, wobei die beiden letzten Aufträge durch Vakuumaufdampfung erhalten werden können. Die drei Schichten werden selektiv unter Verwendung von Masken geätzt, damit Widerstände, die durch die Tantalnitridschicht gebildet sind, und Verbindungsbahnen und Ausgangskontaktstücke, die durch die drei übereinanderliegenden Schichten gebildet sind, erhalten werden. Die Werte der Widerstände werden mit einem Laserstrahl durch Erzeugung von Einschnitten in den aufgebrachten Schichten justiert. Für die Messung jedes Widerstandes verwendet man eines der Kontaktstücke 1 bis 19 sowie Testkonstaktstücke, die in der Zeichnung nicht dargestellt sind und jeweils

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mit den Punkten verbunden sind, die den drei Widerständen gemeinsam sind, aus denen jedes Dämpfungsglied gebildet ist.

Die Werte der Widerstände hängen von der geometrischen Form der Diffusionszonen und der Dicke der aufgebrachten Schichten ab. Fig. 4 und 5 zeigen zwei Beispiele für die geometrische Ausbildung. Das in Fig. 4 dargestellte Beispiel eignet sich für Widerstände von kleinem Wert (im typischen Fall von 10 bis 500 Ω); hierbei handelt es sich beispielsweise um den Widerstand R^. Das andere Beispiel, das in Fig. 5 dargestellt ist, ermöglicht die Erzielung von Widerständen mit höheren Werten unter Aufrechterhaltung von leicht erzielbaren Dimensionen; hierbei handelt es sich beispielsweise um den Widerstand FU. Der Widerstand FL. wird gemäß der Darstellung in Fig. 4 durch ein Gebiet 63 von rechteckiger Form der Breite 1 gebildet, das zwischen zwei Leiterbahnen 61 und 63 liegt, die den Abstand h haben und von denen die eine die Verbindung mit dem Kontaktstück 1 und die andere die Verbindung mit den Widerständen R₂ und R, bewirkt. Wenn g der spezifische Widerstand pro Oberflächenquadrat ist, hat der erhaltene Widerstand den Wert R = g.h/l. Ein durch einen Laserstahl gebildeter Einschnitt 64 ermöglicht, je nach seiner Länge, die genaue Justierung des Widerstandswerts. Der in Fig. 5 dargestellte Widerstand R, ist durch einen Schichtabschnitt 73 gebildet, der durch zwei Ansätze 77 und 78 mit zwei Leiterbahnen 71 und 72 verbunden ist, von denen die eine die Verbindung mit dem Kontaktstück 2 und die andere die Verbindung mit den Widerständen R,. und Rp bewirkt. Mehrere Einschnitte 74, 75, 76, deren Anzahl ungerade ist (3 in der Darstellung), ermöglichen die Vergrößerung des

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Widerstands durch Verlängerung des vom Strom zurückgelegten Weges. Durch Einwirkung auf die Länge von wenigstens einem dieser Einschnitte kann man den Widerstandswert justieren.

Fig. 6 zeigt die Oberansicht eines Siliciumplättchens 100, das die zuvor beschriebene Schaltung des Dämpfungsglieds trägt, sowie das zugeordnete Leitergitter. Dieses Gitter hat zwei Reihen von Anschlüssen. Die verschiedenen das Gitter bildenden Anschlüsse sind mit den gleichen Nummern wie die Kontaktstücke bezeichnet, mit denen sie verbunden sind. Die Enden der Anschlußleiter, die den Kontaktstücken 1 bis 19 entsprechen, d.h. den verschiedenen Schaltungspunkten, die miteinander verbunden werden können, sind alle nach der gleichen Seite C gerichtet. Der dem Kontaktstück 1, d.h. dem Eingang der Dämpfungsvorrichtung entsprechende Anschlußleiter ist zur Bildung eines zusätzlichen Ausgangs E verdoppelt. In gleicher Weise ist der dem Kontaktstück 19, d.h. dem Ausgang der Dämpfungsvorrichtung entsprechende Anschlußleiter zur Bildung des Ausgangs S verdoppelt. Die Masse der Dämpfungsvorrichtung ist mit zwei Ausgängen M und N verbunden. Die Ausgänge E, S, M, N sind nach der Seite B gerichtet, die der Seite C entgegengesetzt ist. Für das Aufbringen des Plättchens auf dem Leitergitter können verschiedene Verfahren angewendet werden; ein hinsichtlich der Fertigungsgeschwindigkeit und der geringen Kosten bei Massenfertigung besonders vorteilhaftes Verfahren ist die automatische Übertragung auf ein Band. Dieses Verfahren besteht darin, daß für eine große Anzahl von gleichen Schaltungen die folgenden Operationen automatisch und gleichzeitig durchgeführt werden:

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- Ausschneiden eines perforierten Films, der mit Kupfer überzogen ist, um das Gitter aus den an den Siliciumplättchen endenden Anschlußleitern zu bilden;

- Vorbereitung der Kontakte in oder auf dem Siliciumplättchen;

- Positionierung der Plättchen in bezug auf den perforierten Film und Befestigung auf einem Träger;

- gleichzeitiges Anlöten aller Anschlußleiter an den Kontaktstücken jedes Plättchens: Nach Überprüfung der Ausrichtung der Kontaktstücke in bezug auf die Anschlußleiter des Gitters wird ein Lötwerkzeug abgesenkt, das direkt die Kupferenden erwärmt und sie dabei gegen die Kontaktstücke des Plättchens drückt, wodurch ein Gold-Zinn- Eutektikum gebildet wird. Die freigesetzte Wärme bringt das Wachs, das die Plättchen auf dem Träger gehalten hat, zum Schmelzen, so daß diese nur noch mit dem Film verbunden sind;

- Einkapseln jeder Schaltung in Kunstharz, das das Siliciumplättchen und einen Teil des Films umschließt;

- Trennung der Schaltungen durch Zerschneiden des Films zwischen den Gehäusen.

Man erkennt in Fig. 6 die Begrenzungen des auf diese Weise erhaltenen Gehäuses 200 mit den beiden entgegengesetzten Seiten C und B und die Enden der Anschlußleiter, welche die Ausgänge auf jeder Seite des Gehäuses bilden.

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Die Verbindungen zwischen den Dämpfungsgliedern werden durch die Form des Ausschnitts selbst gebildet, der so vorgesehen ist, daß Brücken 35, 79, 1113 und 1517 zwischen den Ausgängen 3 und 5, den Ausgängen 7 und 9, _oden Ausgängen 11 und 13 bzw. den Ausgängen 15 und 17 gebildet werden. Da diese verschiedenen Ausgänge zur Einstellung der Dämpfung zugänglich bleiben müssen, sind die Enden der Anschlußleiter 3_f 5, 7, 9, 11, 13 verbreitert und in der Längsrichtung eingeschnitten. Somit besteht der Ausgang 3 aus zwei Teilen, die durch Abbiegen voneinander entfernt sind: Dem Schenkel 30, der gegebenenfalls mit dem Ausgang 1 zu verbinden ist, und dem Teil 35, der eine Brücke mit dem Ausgang 5 bildet. Die Dämpfung wird durch bewegliche Verbindungen nach Art von Reitern oder durch irgendeine andere abnehmbare Kurzschlußvorrichtung bestimmt. So kann beim ersten Dämpfungsglied eine Bedienungsperson einen Reiter entweder zwischen den Ausgängen 1 und 30 anbringen, wodurch für dieses Dämpfungsglied der Übertragungsfaktor 1 erhalten wird, oder zwischen den Ausgängen 2 und 4, was den folgenden Übertragungsfaktor ergibt:

R₁ V / R₁ R₁

4 V (

Da der Ausgang 4 zwischen den Ausgängen 3 und 5 liegt, die durch die Brücke 35 miteinander verbunden sind, muß er kürzer sein, damit sein Ende unter der Brücke liegt. Die Ausgänge 2, 4, 6, 8, 10, 12, 14, 16, 18 sind also kürzer als die Ausgänge 1, 3, 5, 7, 9, 11, 13, 15, 17, Die zuerst genannten Ausgänge sind nach der einen oder der anderen Seite abgebogen, damit sie von den zweiten Ausgängen entfernt sind und das Anbringen der Kurzschlußreiter erleichtert wird. Da man ferner nur über vier Masseausgänge

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verfügt, während fünf notwendig wären, ist der eine von ihnen, nämlich der Ausgang 16, verbreitert und durch einen Einschnitt in zwei Schenkel 161 und 162 unterteilt, die durch Abbiegen voneinander getrennt werden. Bei der Herstellung des Leitergitters wird vorzugsweise so vorgegangen, daß die Abstände zwischen zwei Ausgängen oder Schenkeln, die durch einen Kurzschlußreiter miteinander verbunden werden sollen, ebenso wie ihre Breite alle gleich groß sind. Man kann dann eine einzige Art von Reitern verwenden.

Fig. 7 und 8 zeigen zwei Detailansichten bestimmter Ausgänge des Leitergitters:

In Eig. 7 sind die Ausgänge 2, 3» 4, 5 dargestellt. Die abgebogenen und im Abstand d voneinander liegenden Ausgänge 2 und 4 können durch einen Reiter 24 verbunden werden. Die Ausgänge 3 und 5 bestehen Jeweils aus zwei Schenkeln 30, 35 bzw. 50, 35, wobei der Schenkel 35 eine Brücke zwischen diesen Ausgängen bildet, wodurch diese bleibend miteinander verbunden sind. Der Schenkel kann mit dem Ausgang 1 verbunden werden, von dem er den Abstand d hat. Der Schenkel 50 kann mit dem Schenkel des Ausgangs 7 verbunden werden, von dem er gleichfalls den Abstand d hat. Die Ausgänge 2 und 4 und die Schenkel und 50 haben Jeweils die Breite e.

IhKg. 8 sind die Ausgänge 16, 17, 18, 19 gezeigt. Der Ausgang 16 besteht aus zwei Schenkeln 161 und 162, die in zwei verschiedenen Richtungen abgebogen sind. Der Schenkel 162 ist in der gleichen Richtung wie der Ausgang 18 abgebogen, damit er mit diesem durch einen

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Reiter 1618 verbunden werden kann. Der Schenkel 170 des Ausgangs 17 und der Ausgang 19, die in der gleichen Richtung abgebogen sind, können durch einen Reiter 1719 verbunden werden, wobei sich diese beiden Verbindungen gegenseitig ausschließen. Die Kurzschlußreiter können von verschiedener Art sein. Sie müssen leicht anzubringen sein, damit die Einstellung der Dämpfung schnell vorgenommen werden kann, und sie müssen nach Durchführung der Einstellung angelötet werden können, damit bleibende Kontakte erzielt werden. Wenn die Verwendung von im Handel erhältlichen Reitern vorgesehen wird, muß ein genormter Wert für den Abstand d gewählt werden, beispielsweise d = 5j6 mm. Man kann auch speziell hergestellte Reiter verwenden, die einen Griff oder irgendein anderes Mittel aufweisen, mit dem sie leicht erfaßt werden können; sie sind dazu bestimmt, nach Durchführung der Einstellung entfernt zu werden, um durch Verbindungsmittel ersetzt zu werden, die durch Anlöten an den gewählten Ausgängen befestigt werden.

Eine abgeänderte Ausführungsform besteht darin, daß einer der Masseausgänge fortgelassen wird, beispielsweise der Ausgang 12, und daß die Widerstände R₈ und R₁₀ verbunden werden, so daß die Ausgänge 11 und 13 zu einem einzigen Ausgang zusammenfallen. Der Ausgang 8 wird dann, ebenso wie der Ausgang 16, in zwei Schenkel unterteilt, damit er durch einen Reiter mit den Ausgängen 6 und 10 verbunden werden kann, während der Ausgang 4 weiterhin dazu bestimmt ist, allein mit dem Ausgang 2 verbunden zu werden. Im Schema des Gitters wird dafür Sorge getragen, daß die Abstände zwischen den Ausgängen oder Schenkeln, die miteinander verbunden werden sollen, alle gleich groß sind. Diese Ausführungsform ermöglicht den Fortfall von zwei Ausgängen. Dadurch ergibt sich also ein Platzgewinn,

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Die beschriebene AusfUhrungsform und ihre Abänderung sind natürlich nur als Beispiel angegeben. Die Anzahl der Dämpfungsglieder ist durch die Jeweiligen Bedürfnisse bestimmt. Die Anordnung der Widerstände muß die Verwendung eines Leitergitters mit zwei Ausgangsreihen ermöglichen, von denen die eine Reihe die gegebenenfalls in mehrere Schenkel unterteilten Ausgänge enthält, welche die Ausbildung von Kurzschlüssen mit Hilfe von Reitern ermöglichen. Ferner muß das Anordnungsschema so getroffen sein, daß Überkreuzungen von Leiterbahnen und übereinanderliegende leitende Schichten auf dem Substrat vermieden werden.

Fig. 9 zeigt die Anordnung der Dämpfungsvorrichtung auf einer Druckschaltungsplatte 201, welche die Schaltung trägt, in die die Dämpfungsvorrichtung eingefügt wird. Die Dämpfungsvorrichtung wird hochkant angeordnet. Die der Druckschaltungsplatte 201 zugewandten Ausgänge E, M, N, S an der Seite B werden mit der äußeren Schaltung verbunden. Die Ausgänge 1 bis 19 auf der Seite C sind dann leicht für die mit der Einstellung beauftragte Person zugänglich. Durch diese Anordnung wird außerdem der Raumbedarf auf der Druckschaltungsplatte verringert.

Bei einer praktischen Ausführungsform der beschriebenen Dämpfungsvorrichtung sind die Werte der Widerstände so gewählt worden, daß die aufeinanderfolgenden Dämpfungsglieder die folgenden Dämpfungsfaktoren haben:

A₁ =0,5 dB, A₂ = 1 dB, A₃ = 2 dB, A^ = 4 dB, A₅ = 8 dB,

wobei die Eingangs- und Ausgangsimpedanzen jeweils 6OO Ω betragen. Die Widerstände haben die folgenden Werte:

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R₁ =	R₂ =	17,	26	Ω	R₃ -	1	=	0,417	k	Ω
R₄ =	R₅ =	34,	5	Ω			5,002	k	Ω
		68,	77	Ω	R₉ =		2,583	k	Ω
^R10	= ^R11	= 1	35	,8Ω	R₁₂		1,258	k	Ω
R₁₃	- ^R14		58	,3Ω	^R15	567,7	Ω

Die folgende Tabelle zeigt die Dämpfungswerte, die Je nach den zwischen den verschiedenen Ausgängen gebildeten Verbindungen erhalten werden. Das Zeichen X bedeutet, daß die Verbindung hergestellt ist.

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1-30	50-70	90-110	130-	170-	2-4	6-8	10-12	14-161	162-	A(dB)
			150	19					18
X	X	X	X	X						0
	X	X .	X	X	X					0,5
X		X	X	X		X				1
		X	X	X	X	X				1,5
X	X		X	X			X			2
	X		X	X	X		X			2,5
X			X	X		X	X			3
			X	X	X	X	X			3,5
X	X	X		X				X		4
	X	. X		X	X			X		4,5
χ		X		X		X		X		5
		X		X	X	X		X		5,5
X	X			X			X	X		6
	X			X	X		X	X		6,5
X				X		X	X	X		7
				X	X	X	X	X		7,5
X	X	X	X						X	8
	X	X	X		X				X	8,5
X		X	X			X			X	9
		X	X		X	X			X	9,5
X	X		X				X		X	10
	X		X		X		X		X	10,5
X			X			X	X		X	11
			X		X	X	X		X	11,5
X	X	X						X	X	12
	X	X			X			X	X	12,5
X		X				X		X	X	13
		X			X	X		X	X	13,5
X	X						X	X	X	14
	X				X		X	X	X	14,5
X						X	X	X	X	15
					X	X	X	X	X	15,5

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Bei der in Fig. 9 dargestellten Lage der Kurzschlußreiter 31, 57, 1012, 1315, 1618 beträgt die Dämpfung

A=0+0+2+0+8=10dB.

Eine Dämpfungsvorrichtung der beschriebenen Art hat mit dem in Fig. 9 dargestellten Gehäuse die charakteristischen Abmessungen L₁ = 46 mm₉ L₂ = 15 mm und L, = 2 mm, wobei das Siliciumplattchen die Abmessungen 3 mm χ 3 mm hat. Die Breite der Ausgänge oder der Ausgangsschenkel beträgt e = 0,4 mm, und der Abstand d beträgt 5₅6 mn.

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Claims

Patentanwälte

Dipl -Ina Dipl.-Chem. Dipt -Ing L O H U L I ö

E. Prinz - Dr. G. Hauser - G. Leiser

Ernsbernerstrasse 19

8 München 60

THOMSON - CSF · 14. September 1978

173» Bd. Haussmann
75008 Paris / Frankreich

Unser Zeichen: T 3162

Patentansprüche 1J Stufenweise einstellbare Dämpfungsvorrichtung mit einer

^ Schaltung, die aus mehreren Dämpfungsgliedern zusammengesetzt ist, einem Gehäuse, das mit zwei Reihen von Ausgängen versehen ist, und elektrischen Verbindungen, die an den Ausgängen einer Reihe zur Einstellung der Dämpfung angebracht werden können, während die andere Reihe die Verbindungen mit den äußeren Schaltungen ermöglicht, dadurch gekennzeichnet, daß die Schaltung auf eine Fläche eines Substrats aufgebracht ist und derart in mehrere Teile unterteilt ist, daß übereinanderliegende Schichten vermieden sind, daß die Teile mit Kontaktstücken verbunden sind, die am Umfang der Fläche angeordnet sind, und daß durch Ausschneiden eines leitenden Films Anschlußleiter gebildet sind, von denen jeweils ein Ende an einem Kontaktstück befestigt ist, während die anderen Enden die gegenseitige Verbindung der Schaltungsteile und die Bildung der Ausgänge ermöglichen.

Lei/Ma

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ORIGINAL INSPECTED
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Gehäuse das Substrat und den ausgeschnittenen Film bedeckt und die die Ausgänge bildenden Enden der Anschlußleiter frei läßt.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Substrat aus Silicium besteht, das mit einer Siliciumoxidschicht bedeckt ist.
4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Dämpfungsglieder aus justierbaren aufgebrachten Widerständen gebildet sind.
5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Widerstände miteinander und mit den Kontaktstücken durch aufgebrachte Metallbahnen verbunden sind, daß die verschiedenen Aufträge in Dünnschichttechnik ausgeführt sind und daß die Ausbildung der Widerstände und der Bahnen durch aufeinanderfolgende Maskierungen erhalten ist.
6. Vorrichtung nach Anspruch 4 oder 5> dadurch gekennzeichnet, daß jedes Schaltungsteil einem Dämpfungsglied entspricht.
7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß für jedes Dämpfungsglied zwei mögliche Anschlußarten vorgesehen sind, die zwei verschiedene Dämpfungswerte für das Dämpfungsglied ergeben.
8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß jeder Anschlußart eine Verbindung zwischen zwei Ausgängen durch elektrische Verbindungsmittel entspricht.

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9. Vorrichtung nach Anspruch 8_f dadurch gekennzeichnet, daß jedem Dämpfungsglied zwei Ausgangspaare entsprechen, und daß die Verbindungen zwischen den zu dem einen oder dem anderen Paar gehörenden Ausgängen erfolgen.
10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die zwei Dämpfungsgliedern gemeinsamen Ausgänge in zwei Schenkel unterteilt sind, die durch Biegen voneinander entfernt sind.
11. Vorrichtung nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen zwei zu dem gleichen Paar gehörenden Ausgänge ein Ausgang liegt, der zu einem anderen Paar gehört, und daß zwei benachbarte Paare voneinander durch Biegen entfernt sind.
12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9» dadurch gekennzeichnet, daß die Verbindungsmittel durch verstellbare Reiter gebildet sind, die nach der Einstellung an den Ausgängen bleibend befestigt werden können.

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