DE10330081A1

DE10330081A1 - Abschlüsse für abgeschirmte Übertragungsleitungen, die auf einem Substrat hergestellt sind

Info

Publication number: DE10330081A1
Application number: DE10330081A
Authority: DE
Inventors: Lewis R. Monument Dove; John F. Colorado Springs Casey
Original assignee: Agilent Technologies Inc
Current assignee: Agilent Technologies Inc
Priority date: 2002-10-30
Filing date: 2003-07-03
Publication date: 2004-05-27
Also published as: JP2004153795A; GB0325058D0; TW200406905A; GB2395368A; US20040085150A1

Abstract

Auf einer Masseebene aus Au, die durch ein Keramiksubstrat getragen wird, wird eine abgeschlossene, abgeschirmte koplanare Übertragungsleitung hergestellt. Ein Band eines KQ-Dielektrikummaterials wird auf der Masseebene gebildet, und anschließend wird eine strukturierte Schicht aus Au über demselben gebildet. Die Struktur umfaßt einen Mittelleiterstreifen, der allgemein mittig auf dem KQ-Band angeordnet ist, und zwei benachbarte Massestreifen, wobei jeder der letzteren breit genug ist, um sich entlang der Seiten des KQ-Bandes nach unten zu erstrecken, um zu der Masseebene zu gelangen. Das Band aus KQ weist ein distales Ende auf, und die Au-Massestreifen sind um jenes Ende gewickelt, um sich zu begegnen, sowie um die Masseebene in der Nähe jenes distalen Endes des Bandes weiter zu berühren. Der eigentliche Abschluß wird durch ein Aufbringen eines der nachfolgenden gebildet: zweier 2Z¶0¶-Widerstände, wobei jeder in einem rechten Winkel von dem Mittelleiter zu den benachbarten Massestreifen verläuft; oder eines Z¶0¶-Widerstandes, der sich über das Ende des Mittelleiters hinaus erstreckt, um die geerdeten Streifen zu erreichen, die sich um das distale Ende wickeln. Eine abgeschlossene quasikoaxiale Übertragungsleitung auf einem Substrat kann erzeugt werden, indem zunächst eine der soeben beschriebenen abgeschirmten koplanaren Übertragungsleitungsstrukturen hergestellt wird und anschließend der gesamte erhöhte Abschnitt mit Ausnahme des Abschlußwiderstands bzw. der ...

Description

Die US-6,255,730 beschreibt verschiedene Dickfilmtechniken, die mit dem jüngsten Aufkommen von bestimmten dielektrischen Materialien möglich werden. Diese sind KQ-120 und KQ-CL907406, die Produkte von Heraeus Cermalloy, 24 Union Hill Road, West Conshohocken, Pa, USA, sind. Im folgenden werden wir diese Produkte als das „KQ-Dielektrikum" oder einfach als „KQ" bezeichnen. Insbesondere beschreibt jene Patentschrift den Aufbau einer „eingekapselten" Mikrostreifenübertragungsleitung, für die der Begriff „quasikoaxial" geprägt wurde. Die vorliegende Offenbarung betrifft ferner neuartige und nützliche Dickfilmtechniken, die sich sowohl auf quasikoaxiale Übertragungsleitungen als auch (im selben Sinn) auf „abgeschirmte, koplanare" Übertragungsleitungen beziehen, die bisher nicht praktisch waren und die mit diesen KQ-Dielektrika praktiziert werden können. Dementsprechend ist die US-6,255,730 durch Bezugnahme in das vorliegende Dokument aufgenommen.

Eine „Hybrid"-Schaltung, die aus einem Substrat mit verschiedenen Dickfilmstrukturen auf demselben besteht, die mit einer Mehrzahl von ICs (integrierten Schaltungen, IC = integrated circuit) verbunden sind, ist weiterhin eine attraktive Methode zum Erzeugen von funktionell komplexen und hochfrequenten Baugruppen aus „Komponenten"-ICs. Es ist oft der Fall, daß es notwendig oder sehr wünschenswert ist, Übertragungsleitungen zu verwenden, um diese ICs miteinander zu verbinden oder um sie mit einer äußeren Umgebung zu verbinden. Wir interessieren uns besonders für den Fall, bei dem die Übertragungsleitung der in der Patentschrift, die in die vorliegende Patentanmeldung aufgenommenen ist, beschriebene Typ von eingekapselten Mikrostreifen ist. Mit dem Begriff „eingekapselt" meint jene Patentschrift, daß die Übertragungsleitung, die in dem Beispiel der Verfasser jener Patentschrift das ist, was ansonsten als Mikrostreifen bezeichnet wird, vollständig abgeschirmt ist, wobei der Mittelleiter vollständig von Masse umgeben ist. Es handelt sich nicht gerade um eine Sache, die wir normalerweise als eine „koaxiale" Übertragungsleitung bezeichnen würden, da ihr Querschnitt keine Symmetrie um eine Achse aufweist; statt eines dicken Punktes und eines umgebenden Kreises weist sie eine Linie und ein rechteckiges Trapez als Querschnitt auf. Trotzdem finden wir es angemessen und zweckmäßig, sie (die „eingekapselte" Übertragungsleitung der US-6,255,730 ) als eine „quasikoaxiale" Übertragungsleitung zu bezeichnen, die, wie anzumerken ist, ziemlich klein ist (vielleicht 0,050 Zoll breit und 0,010 Zoll oder 0,015 Zoll hoch).

Wir interessieren uns ferner besonders für eine andere Art von Übertragungsleitung, die man normalerweise als koplanare Übertragungsleitung bezeichnen würde. Dies ist in der Regel eine auf einem Dielektrikum gebildete Struktur aus drei Leitern. Ein Element ist eine Mittelleiterspur (wahrscheinlich mit einem rechteckigen Querschnitt), die auf beiden Seiten eine Massespur (mit einem wahrscheinlich viel breiteren rechteckigen Querschnitt) aufweist. Die übliche Weise eines Aufbaus besteht darin, mit einem dielektrischen Substrat zu beginnen, das eine leitfähige Lage aufweist, die mit einer Seite verbunden ist und als Masseebene dient, und dann zwei parallele Metallstreifen wegzuätzen, um die Mittelspur mit Masse auf beiden Seiten zu belassen. Somit ist eine koplanare Übertragungsleitung nicht abgeschirmt, außer an den Seiten. Insbesondere interessieren wir uns ferner für „abgeschirmte" koplanare Übertragungsleitungen. Mit dieser Terminologie meinen wir, daß die Struktur aus drei Leitern und eine erhöhte Plattform aus dielektrischem Material auf einer intakten Masseebene gebaut sind, die als Abschirmung für entweder die obere oder die untere koplanare Übertragungsleitung dient, und daß die beiden Massespu ren, die von der dielektrischen Plattform herunterführen, an ihren Außenkanten kontinuierlich mit jener Masseebene verbunden sind.

Zur Verwendung bei Mikrowellenhybridschaltungen desjenigen Typs, für den wir uns interessieren, sind beide Typen von Übertragungsleitungen in Bezug auf ihre physische Größe allgemein vergleichbar, und beide verlaufen nach Bedarf mäanderförmig, um mit den entsprechenden Komponenten auf der Hybridschaltung verbunden zu sein.

Eine der durch Übertragungsleitungen allgemein erfüllte Funktion besteht darin, ein Abschließen von Einheiten (Eingänge, Ausgänge) mit einer zugeordneten Impedanz zu unterstützen. Übertragungsleitungen weisen eine charakteristische Impedanz Z₀ (z.B. 50 Ω) auf, und der übliche Fall besteht darin, daß die verschiedenen Eingangs- und Ausgangsimpedanzen so entworfen sind, daß sie dieselben sind, und daß die Z₀ der miteinander verbundenen Übertragungsleitungen mit dieser Impedanz übereinstimmt. Nachdem dies bewerkstelligt ist, ist es üblich, einen Abschlußwiderstand R eines Werts R = Z₀ zu finden, der durch eine Z₀-Übertragungsleitung mit einer Einheit, die abgeschlossen werden muß, verbunden ist. Es gibt verschiedene gute Gründe, dies zu tun, die alle denjenigen, die HF- und Mikrowellentechniken praktizieren, vertraut sein werden. Ein üblicher Begriff für diese Praxis lautet „eine Übertragungsleitung abschließen" oder eine „abgeschlossene" Übertragungsleitung aufzuweisen, die mit XY verbunden ist.

Es wäre wünschenswert, wenn es eine Möglichkeit gäbe, die abgeschirmten koplanaren und quasikoaxialen Typen von Übertragungsleitungen, die auf einem Substrat hergestellt sind, zu verwenden, um einen Abschlußwiderstandswert mit einer Einheit auf der Hybridschaltung, die einen derartigen Abschluß benötigt, zu verbinden. Manche bekannten Techniken zum Verbinden mit Komponenten, beispielsweise Widerständen, beinhalten Durchkontaktierungen. Durchkontaktierungen erhö hen die Herstellungskosten, stellen während der Herstellung oft einen erschwerenden Faktor dar und sind eine Quelle einer schädlichen Induktivität. Es besteht ein Bedarf an einer kostengünstigen, zweckmäßigen und elektrisch akzeptablen Möglichkeit, abgeschirmte koplanare und quasikoaxiale Übertragungsleitungen, die auf einem Substrat hergestellt sind, abzuschließen. Was ist zu tun?

Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, abgeschlossene Übertragungsleitungen zu schaffen, die auf kostengünstige, zweckmäßige und elektrisch akzeptable Weise abgeschirmt sind.

Diese Aufgabe wird durch abgeschlossene Übertragungsleitungen gemäß Anspruch 1 oder 6 gelöst.

Auf einer Masseebene aus Au, die durch ein Keramiksubstrat getragen wird, wird eine abgeschlossene, abgeschirmte koplanare Übertragungsleitung hergestellt. Ein Band eines KQ-Dielektrikummaterials wird auf der Masseebene gebildet, und anschließend wird eine strukturierte Schicht aus Au über demselben gebildet. Die Struktur umfaßt einen Mittelleiterstreifen, der allgemein mittig auf dem KQ-Band angeordnet ist, und zwei benachbarte Massestreifen, wobei jeder der letzteren breit genug ist, um sich entlang der Seiten des KQ-Bandes nach unten zu erstrecken, um zu der Masseebene zu gelangen. Das Band aus KQ weist ein distales Ende auf, und die Au-Massestreifen sind um dieses Ende gewickelt, um sich zu begegnen, und setzen sich fort, um die Masseebene in der Nähe jenes distalen Endes des Bandes zu berühren. Der eigentliche Abschluß wird durch ein Aufbringen eines der folgenden gebildet: zweier 2Z₀-Widerstände, wobei jeder in einem rechten Winkel von dem Mittelleiter zu den benachbarten Massestreifen verläuft; oder eines Z₀-Widerstandes, der sich über das Ende des Mittelleiters hinaus erstreckt, um die geerdeten Streifen zu erreichen, die sich um das distale Ende wickeln. Eine abgeschlossene quasikoaxiale Übertragungsleitung auf einem Substrat kann erzeugt werden, indem zunächst eine der soeben beschriebenen abgeschirmten koplanaren Übertragungsleitungsstrukturen hergestellt wird und anschließend der gesamte erhöhte Abschnitt mit Ausnahme des Abschlußwiderstands bzw. der Abschlußwiderstände mit einem anderen (schmäleren) Band aus KQ-Dielektrikummaterial bedeckt wird, das anschließend mit einer Schicht aus Au bedeckt wird. Das andere Ende der Übertragungsleitung wird unter Verwendung einer beliebigen geeigneten Technik mit einer Komponente auf dem Hybrid gekoppelt.

Bevorzugte Ausführungsbeispiele werden nachfolgend Bezug nehmend auf die beiliegenden Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:
1 eine perspektivische, weggeschnittene Draufsicht eines distalen Endes einer abgeschirmten koplanaren Übertragungsleitung, die auf einem Keramiksubstrat hergestellt und durch ein Paar von R = 2Z₀-Widerständen abgeschlossen ist, die sich jeweils von dem Mittelleiter zu einer anderen geerdeten Seite der Übertragungsleitung erstrecken;
2 eine perspektivische, weggeschnittene Draufsicht eines distalen Endes einer abgeschirmten, koplanaren Übertragungsleitung, die auf einem Keramiksubstrat hergestellt und durch einen einzelnen R = Z₀-Widerstand abgeschlossen ist, der sich entlang der Richtung des Mittelleiters und über das Ende des Mittelleiters hinaus erstreckt, um ein geerdetes Ende der Übertragungsleitung zu erreichen;
3 eine perspektivische, weggeschnittene Draufsicht eines distalen Endes einer quasikoaxialen Übertragungsleitung, die auf einem Keramiksubstrat hergestellt und durch ein Paar von R = 2Z₀-Widerständen abgeschlossen ist, die sich jeweils von dem Mittelleiter zu einer anderen geerdeten Seite der Übertragungsleitung erstrecken; und
4 eine perspektivische, weggeschnittene Draufsicht eines distalen Endes einer quasikoaxialen Übertragungsleitung, die auf einem Keramiksubstrat hergestellt und durch einen einzelnen R = Z₀-Widerstand abgeschlossen ist, der sich entlang der Richtung des Mittelleiters und über das Ende des Mittelleiters hinaus erstreckt, um ein geerdetes Ende der Übertragungsleitung zu erreichen.
Es sei nun auf 1 Bezug genommen, bei der eine perspektivische, weggeschnittene Draufsicht 1 eines distalen Endes einer auf einem Substrat 2 hergestellten abgeschirmten, koplanaren Übertragungsleitung gezeigt ist, wobei das Substrat beispielsweise aus 0,102 cm (0,040 Zoll) dickem 96%igem Aluminiumoxid bestehen könnte. Die abgeschirmte, koplanare Übertragungsleitung gemäß den Dickfilmtechniken, die in der hierin aufgenommenen Patentschrift '730B1 gelehrt sind, hergestellt. Insbesondere beachte man die Masseebene 3, die auf die „Oberseite" des Substrats 2 (d.h. auf dieselbe Seite wie die abgeschirmte, koplanare Übertragungsleitung) aufgebracht ist und die, wie dies für Masseebenen typisch ist, sich nach Bedarf liberal in alle Richtungen erstrecken kann. Die Masseebene kann aus Metall, vorzugsweise Gold, sein, und falls Muster bzw. Strukturen in derselben erforderlich sind, kann ein Prozeß eines ätzbaren Dickfilm-Au, beispielsweise Heraeus KQ-500, verwendet werden. Die abgeschirmte, koplanare Übertragungsleitung selbst umfaßt eine Basisschicht oder einen Basisstreifen 4 aus KQ-Dielektrikummaterial, die bzw. der nach Bedarf für den gewünschten Weg der Übertragungsleitung mäanderartig verläuft. (Mit „mäanderförmig verläuft" meinen wir nicht unbedingt, daß sie bzw. er einen serpentinenförmigen Weg einschlägt, sondern lediglich, daß sie bzw. er dorthin geht, wo sie bzw. er hingehen muß.) Nachdem diese Basisschicht 4 an Ort und Stelle ist, wird über die gesamte obe re Oberfläche der Basisschicht 4 eine geeignete Schicht bzw. ein geeigneter Streifen eines Metalls 5 (das vorzugsweise Au ist) aufgebracht. Dieser Streifen bzw. diese Schicht aus Metall 5 verbindet sich elektrisch mit der Masseebene 3 und fungiert als eine Erweiterung derselben. Der Streifen bzw. die Schicht 5 wird anschließend strukturiert, um Material, dessen Nichtvorhandensein einen Mittelleiterstreifen 6 und Kontaktstellen oder Anschlußflächen 9 und 10 erzeugt, zu entfernen. Die strukturierte Schicht 5 und der Mittelleiterstreifen 6 bilden somit eine koplanare Übertragungsleitung der charakteristischen Impedanz Z₀. Sie ist eine abgeschirmte, koplanare Übertragungsleitung, da sich die Masseebene 3 unter derselben erstreckt. Lassen Sie uns diesen Abschnitt der Masseebene 3, der sich unter der Übertragungsleitung befindet, als „Masseabschirmung" bezeichnen.
Abschlußwiderstände (7 und 8) weisen jeweils einen ohmschen Wert von zweimal Z₀ auf und werden anschließend zwischen die Anschlußflächen 9 und 10 und den Mittelleiterstreifen 6 plaziert, wie gezeigt ist. Sie können unter Verwendung herkömmlicher Dickfilmtechniken bedruckt werden, oder sie können sogar einzelne Stückteile sein, beispielsweise oberflächenmontierte Chipwiderstände. Der Teil der Übertragungsleitung, an dem die Abschlußwiderstände plaziert sind, wird als das distale Ende bezeichnet. Voraussichtlich gelangt das andere Ende der Übertragungsleitung an einen nützlichen Ort und wird auf irgendeine herkömmliche Weise (z.B. durch ein Drahtbonden mit einem Abschluß oder einer Anschlußfläche auf einem Integrierte-Schaltung-Chip) mit demselben verbunden.
Die in 1 gezeigte Abschlußtechnik ist bei sehr hohen Frequenzen, beispielsweise über 30 GHz, effektiv. Teilweise ist dies auf die geringe Größe der beteiligten Geometrien zurückzuführen. Im Vergleich zu den beteiligten Wellenlängen sind sie immer noch klein. Diese Tatsache und die Tatsache, daß der Weg zur Masse sehr direkt ist, tragen dazu bei, jegliche durch Streureaktanzen verursachten Probleme abzumildern. (Streuungen sind der Ruin von Abschlüssen eines Gerätegütegrades, vor allem, wenn sie in großen Paketen vorliegen, beispielsweise solchen, die zur Verwendung bei 7-mm-Verbindern entworfen sind, beispielsweise Typ N und APC 7.) Die charakteristische Impedanz Z₀ der koplanaren Übertragungsleitung der 1 wird auf eine bekannte Weise durch die Dielektrizitätskonstante des KQ-Materials und die Abmessungen der Übertragungsleitungsstruktur bestimmt. Somit kann die koplanare Übertragungsleitung der 1 hergestellt sein, um eine bestimmte charakteristische Impedanz, beispielsweise 50Ω oder vielleicht 75Ω, je nach Wunsch, aufzuweisen. Man wird erkennen, daß die Widerstände 7 und 8 jeweils einen Widerstand des doppelten Werts von Z₀ aufweisen. Andererseits kann es der Fall sein, daß kein bestimmter oder konstanter Wert einer charakteristischen Impedanz erforderlich oder gewünscht ist und daß das, was hergestellt wird, einfach abgeschirmte Leiter zum Zweck einer Beförderung an einen Ladewiderstand (die parallele Kombination von 7 und 8) von Vorspannungs- oder Steuersignalen sind.
Bevor wir fortfahren, ist jedoch eine kurze Anmerkung bezüglich der Masseebene 3 angebracht. Als echte Masseebene erbringt sie die beste Leitung, wenn sie tatsächlich eine breite Lage aus Metall ist, und genau dies wird in der Figur gezeigt. Andererseits liefern die Abschnitte einer derartigen Masseebene, die sich nicht unter der Übertragungsleitung befinden, der Übertragungsleitung insofern keinen besonderen Vorteil, als es sich um eine Übertragungsleitung handelt, die in Isolation betrachtet wird. Die Situation kann komplexer werden, falls an einer Seite der Übertragungsleitung weitere Schaltungen angeordnet sind, die erfordern, daß starke HF-Ströme in einer Masseebene geführt werden; eine gute Praxis bestünde darin, derartige Ströme aus der Abschirmung für die Übertragungsleitung herauszuhalten.
Man wird somit erkennen, daß entweder der Abschnitt einer gesamten Masseebene, der sich direkt unter der Übertragungsleitung befindet, oder ein ausreichend breites, mäanderartig verlaufendes Band aus Massemetall das bildet, was wir als die Masseabschirmung bezeichnet haben, die den „abgeschirmten" Teil der abgeschirmten, koplanaren Übertragungsleitung bildet.
Nun sei auf 2 Bezug genommen, die eine perspektivische, weggeschnittene Draufsicht 11 eines distalen Endes einer abgeschirmten, koplanaren Übertragungsleitung ist, die auf einem Keramiksubstrat 2 hergestellt und durch einen einzelnen Z₀-Widerstand 13 abgeschlossen ist, der sich entlang der Richtung des Mittelleiterstreifens 6 und über das Ende des Mittelleiterstreifens hinaus erstreckt, um ein geerdetes Ende (12) der Übertragungsleitung zu erreichen. Die Ansicht 11 der 2 ist der der 1 ziemlich ähnlich, und die meisten Bezugszeichen sind die gleichen, da sie sich auf Einheiten beziehen, die sich entweder exakt oder zumindest sehr weitgehend entsprechen. Die Elemente der Übertragungsleitungen der 1 und 2 werden unter Verwendung derselben Techniken hergestellt. Der Unterschied besteht darin, daß nur ein einziger Abschlußwiderstand 13 vorliegt und daß die Kontaktfläche 12, zu der er von dem Mittelleiterstreifen 6 geht, entlang einer Erweiterung des durch den Mittelleiterstreifen 6 eingeschlagenen Wegs verläuft.
Nun sei auf 3 Bezug genommen, die eine perspektivische, weggeschnittene Draufsicht 14 eines distalen Endes einer quasikoaxialen Übertragungsleitung ist, die auf einem Keramiksubstrat 2 hergestellt und durch ein Paar von R = 2Z₀-Widerständen 7 und 8 abgeschlossen ist, die sich jeweils von dem Mittelleiterstreifen 6 zu einer anderen geerdeten Seite (9, 10) der Übertragungsleitung erstrecken. 3 weist eine eindeutige Ähnlichkeit mit der 1 auf, und die Struktur der 1 kann tatsächlich genau als Ausgangspunkt zum Herstellen derjenigen der 3 verwendet werden. Insofern, als es darum geht, daß sie ein Abschluß für eine Übertragungsleitung sind, sind sie identisch; der Unterschied besteht in der Übertragungsleitung selbst. Demnach weisen die Elemente der 3, die solchen in 1 entsprechen, dieselben Bezugszeichen auf. Lassen Sie uns also annehmen, daß wir die Struktur der 1 als Ausgangspunkt aufweisen und die zusätzlichen Schritte, die benötigt werden, um die in 3 gezeigte zu erzeugen, beschreiben.
Diese zusätzlichen Schritte sind folgende: ein zweites Band 15 aus einem KQ-Dielektrikummaterial wird über die Oberseite der Übertragungsleitung aufgebracht, mit Ausnahme der Region der Abschlußwiderstände; und eine Schicht 16 aus Au wird über dieses zweite Band 15 aufgebracht, mit der Ausnahme, daß sie an einer Stelle 18 aufhört, um zu vermeiden, daß sie zu nahe an den Mittelleiterstreifen 6 herankommt. Die sich ergebende Übertragungsleitung, die sich an die Abschlußwiderstände 7 und 8 annähert, ist das, was wir im zweiten Absatz der Beschreibung als quasikoaxiale Übertragungsleitung bezeichneten. Man beachte, daß sie vollständig abgeschirmt ist und daß sie auf etwas andere Art und Weise hergestellt wurde, als in der in dieses Dokument aufgenommenen US-6,255,730 beschrieben ist. (In jener Patentschrift wird das Basisband aus KQ auf die Masseebene gelegt, ein Mittelleiter wird auf demselben gebildet, und anschließend wird ein weiteres Band aus KQ auf all dieses gelegt, wonach eine Schicht aus Metall über beide Bänder aus KQ aufgebracht wird.)
Nun sei auf 4 verwiesen, die eine perspektivische, weggeschnittene Draufsicht 17 eines distalen Endes einer quasikoaxialen Übertragungsleitung ist, die auf einem Keramiksubstrat 2 hergestellt und durch einen einzelnen Z₀-Widerstand 13 abgeschlossen ist, der sich entlang der Rich tung des Mittelleiterstreifens 6 und über das Ende des Mittelleiterstreifens hinaus erstreckt, um ein geerdetes Ende 12 der Übertragungsleitung zu erreichen. 4 ist wie 2, jedoch mit der quasikoaxialen Übertragungsleitung der 3. Was die 1 und 3 betrifft, weisen entsprechende Elemente in beiden 2 und 4 identische Bezugszeichen auf.

Claims

Abgeschlossene Übertragungsleitung (1, 17), die folgende Merkmale aufweist: ein Substrat (2), das eine Arbeitsoberfläche aufweist; eine metallische Masseoberfläche (3), die auf der Arbeitsoberfläche des Substrats angeordnet ist; ein Basisband (4) aus KQ-Dielektrikummaterial, das auf der Masseoberfläche angeordnet ist, wobei das Basisband aus KQ-Dielektrikummaterial zusätzlich zu der Seite, die sich in Kontakt mit der Masseoberfläche befindet, zwei Seiten, eine End- und eine obere Oberfläche, aufweist, wobei eine Kontaktregion zwischen der Masseoberfläche und den beiden Seiten und dem Ende des Basisbandes aus KQ-Dielektrikummaterial einen Perimeter bildet; einen metallischen Mittelleiterstreifen (6), der auf der oberen Oberfläche des Basisbandes aus KQ-Dielektrikummaterial angeordnet ist; einen metallischen Seitenleiter (5), der auf den zwei Seiten und dem Ende des Basisbandes aus KQ-Dielektrikummaterial angeordnet ist und sich zu der oberen Oberfläche des Basisbandes in eine ausgewählte und allgemein einheitliche Entfernung von dem metallischen Mittelleiterstreifen erstreckt, und der sich ferner entlang der Länge des Perimeters auf die metallische Masseoberfläche erstreckt und in elektrischem Kontakt mit derselben steht; und einen Widerstand (13), der mit einem Ende des Mittelleiterstreifens elektrisch verbunden ist, sich über jenes Ende in der Richtung des Mittelleiterstreifens hinaus erstreckt und mit jenem Abschnitt (12) des me tallischen Seitenleiters verbunden ist, der an dem Ende des Basisbandes aus KQ-Dielektrikumma-terial angeordnet ist.
Übertragungsleitung gemäß Anspruch 1, wobei die Übertragungsleitung eine ausgewählte charakteristische Impedanz von Z₀ aufweist und der Wert R des Widerstands (13) R = Z₀ beträgt.
Übertragungsleitung gemäß Anspruch 1 oder 2, bei der die metallische Masseoberfläche (3), der metallische Mittelleiter (6) und der metallische Seitenleiter (5) aus Gold sind.
Übertragungsleitung gemäß einem der Ansprüche 1 bis 3, die ferner folgende Merkmale aufweist: ein Abdeckband (15) aus KQ-Dielektrikummaterial, das auf der oberen Oberfläche angeordnet ist und auf dem Mittelleiterstreifen angeordnet ist und denselben bedeckt, jedoch den Widerstand unbedeckt läßt, wobei das Abdeckband eine Oberseite, zwei Seiten und ein Ende aufweist, wobei sich jede der beiden Seiten entlang ihrer Länge in physischem Kontakt mit nahegelegenen Abschnitten des metallischen Seitenleiters befindet; und eine metallische Abdeckschicht (16), die auf der Oberseite und zwei Seiten des Abdeckbandes aus KQ-Dielektrikummaterial und entlang der Längen der zwei Seiten des Abdeckbandes angeordnet ist und sich in physischem und elektrischem Kontakt mit dem metallischen Seitenleiter befindet.
Übertragungsleitung gemäß Anspruch 4, bei der die metallische Abdeckschicht (16) aus Gold ist.
Abgeschlossene Übertragungsleitung (1, 14), die folgende Merkmale aufweist: ein Substrat (2), das eine Arbeitsoberfläche aufweist; eine metallische Masseoberfläche (3), die auf der Arbeitsoberfläche des Substrats angeordnet ist; ein Basisband (4) aus KQ-Dielektrikummaterial, das auf der Masseoberfläche angeordnet ist, wobei das Basisband aus KQ-Dielektrikummaterial zusätzlich zu der Seite, die sich in Kontakt mit der Masseoberfläche befindet, zwei Seiten, eine End- und eine obere Oberfläche, aufweist, wobei eine Kontaktregion zwischen der Masseoberfläche und den beiden Seiten und dem Ende des Basisbandes aus KQ-Dielektrikummaterial einen Perimeter bildet; einen metallischen Mittelleiterstreifen (6), der auf der oberen Oberfläche des Basisbandes aus KQ-Dielektrikummaterial angeordnet ist; einen metallischen Seitenleiter (5), der auf den zwei Seiten und dem Ende des Basisbandes aus KQ-Dielektrikummaterial angeordnet ist und sich auf die obere Oberfläche des Basisbandes in eine ausgewählte und allgemein einheitliche Entfernung von dem metallischen Mittelleiterstreifen erstreckt, und der sich ferner entlang der Länge des Perimeters auf die metallischen Masseoberfläche erstreckt und in elektrischem Kontakt mit derselben steht; und einen ersten Widerstand (7), der mit einem Ende des Mittelleiterstreifens elektrisch verbunden ist, sich in einem rechten Winkel zu dem Mittelleiterstreifen erstreckt und mit einem gegenüberliegenden Abschnitt (9) des metallischen Seitenleiters verbunden ist, der auf einer Seite des Basisbandes aus KQ-Dielektrikummaterial angeordnet ist; und einen zweiten Widerstand (8), der mit dem Ende des Mittelleiterstreifens elektrisch verbunden ist, sich in einer zu der des ersten Widerstands entgegengesetzten Richtung erstreckt und mit einem gegenüberliegenden Abschnitt (10) des metallischen Seitenleiters verbunden ist, der auf einer anderen Seite des Basisbandes aus KQ-Dielektrikummaterial angeordnet ist.
Übertragungsleitung gemäß Anspruch 6, wobei die Übertragungsleitung eine ausgewählte charakteristische Impedanz von Z₀ aufweist und der Wert R sowohl des ersten als auch des zweiten Widerstands (7, 8) R = 2Z₀ beträgt.
Übertragungsleitung gemäß Anspruch 6 oder 7, bei der die metallische Masseoberfläche (3), der metallische Mittelleiter (6) und der metallische Seitenleiter (5) aus Gold sind.
Übertragungsleitung gemäß einem der Ansprüche 6 bis 8, die ferner folgende Merkmale aufweist: ein Abdeckband (15) aus KQ-Dielektrikummaterial, das auf der oberen Oberfläche angeordnet ist und auf dem Mittelleiterstreifen angeordnet ist und denselben bedeckt, jedoch den ersten und den zweiten Widerstand unbedeckt läßt, wobei das Abdeckband eine Oberseite, zwei Seiten und ein Ende aufweist, wobei sich jede der beiden Seiten entlang ihrer Länge in physischem Kontakt mit nahegelegenen Abschnitten des metallischen Seitenleiters befindet; und eine metallische Abdeckschicht (16), die auf der Oberseite und zwei Seiten des Abdeckbandes aus KQ- Dielektrikummaterial und entlang der Längen der zwei Seiten des Abdeckbandes angeordnet ist und sich in physischem und elektrischem Kontakt mit dem metallischen Seitenleiter befindet.
Übertragungsleitung gemäß Anspruch 9, bei der die metallische Abdeckschicht (16) aus Gold ist.