EP0450107B1

EP0450107B1 - Verfahren zum Herstellen eines Widerstandselementes

Info

Publication number: EP0450107B1
Application number: EP90106138A
Authority: EP
Inventors: Andreas Dr.-Ing. Wildgen
Original assignee: Siemens AG
Current assignee: Siemens AG
Priority date: 1990-03-30
Filing date: 1990-03-30
Publication date: 1994-03-09
Anticipated expiration: 2010-03-30
Also published as: JPH0744095B2; JPH04225201A; US5113577A; DE59004937D1; EP0450107A1

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen eines Widerstandselementes gemäß Oberbegriff von Anspruch 1, wie er aus der DE 31 27 081 bekannt ist.
Dort ist beschrieben, die Widerstandsschicht mit Laserschnitten gemäß einer vorgegebenen Schnittstruktur zu zerteilen. Die Widerstandswerte der so hergestellten Widerstandselemente besitzen eine gewisse Streuung.
Aus der DE 30 42 720 ist eine Widerstandsanordnung bekannt, bei der der Widerstand vor dem Abgleich unter einem Sollwert liegt und bei welcher der Abgleich des Widerstandselementes auf dem Sollwert durch Abtragen von Teilen der Widerstandsschicht erfolgt. Die dort beschriebene Lösung hat jedoch den Nachteil, daß nach dem Abgleich der Stromfluß durch das Widerstandselement auf einen Teilbereich am Rand beschränkt ist und der Stromfluß diesen Teilbereich erwärmt, was zu Meßfehlern führen kann.
Es ist Aufgabe der vorliegenden Erfindung ein Verfahren zum Herstellen eines Widerstandselementes anzugeben, bei welchem der Widerstandswert in einem engen Toleranzbereich liegt und der Stromfluß auf dem Widerstandselement verteilt ist.
Die erfindungsgemäße Lösung dieser Aufgabe ist in Anspruch 1 angegeben.
Die Erfindung wird anhand einer Figur näher erläutert.
Figur 1 zeigt ein gemäß der Erfindung abgeglichenes Widerstandselement. Es besteht aus einem rechteckigen Träger 1, auf dem zwischen zwei Endstücken 2, 3 eine rechteckige Widerstandsschicht 4 konstanten Querschnitts und konstanter Breite liegt,
In der Widerstandsschicht 4 befinden sich Unterbrechungen in Form von zwei Schnittstrukturen 5, 6.
Die einzelnen Schnittstrukturen bestehen aus je einem Hauptschnitt 51, 61 und mehreren vom Hauptschnitt 51, 61 nach einer Seite abgehenden Nebenschnitten 511, 611. Die Hauptschnitte 51, 61 verlaufen vom Trägerrand 11 im rechten Winkel ausgehend über ca. 2/3 der Widerstandsschicht 4. Die von den Hauptschnitten 51, 61 abgehenden Nebenschnitte 511, 611 verlaufen parallel zum Trägerrand 11. Die Schnittstrukturen 5 und 6 sind so zueinander angeordnet, daß die Nebenschnitte 511, 611 ineinandergreifen, sich jedoch nicht berühren. Durch diese Anordnung ergibt sich zwischen den Endstücken 2, 3 eine mäanderförmige Widerstandsbahn 7. Die Widerstandsbahn 7 setzt sich zusammen aus den einzelnen Teilbahnen 71, 72, 73, 74 und 75.
Der Widerstand zwischen den Endstücken 2, 3 liegt vor dem Abgleich unter dem Sollwert für das abgeglichene Widerstandselement. Um das Widerstandselement auf den Sollwert abzugleichen wird von jeder der Teilbahnen 71 bis 75 durch Trimmschnitte 81 bis 85 ein bestimmter Bereich abgetrennt. Die Trimmschnitte 81 bis 85 verlaufen vom freien Ende der Nebenschnitte 511 bzw. 611 ausgehend parallel zu diesen. Die Trimmschnitte 81 bis 85 enden in den zu den jeweiligen Nebenschnitten 511 bzw. 611 zugehörigen Hauptschnitten 61 bzw. 51. Dadurch ist der Bereich zwischen einem der Nebenschnitte 511, 611 und dem dazugehörigen Trimmschnitt elektrisch von der übrigen Widerstandsbahn isoliert. Auf diese Weise ist mit einem einzigen Trimmschnitt pro Teilbahn 71 bis 75 der Abgleich erfolgt.
In dem hier gezeigten Beispiel nimmt die Breite der einzelnen Teilbahnen 71 bis 75 stetig ab. Die Trimmschnitte 81 bis 85 sind so gelegt, daß die Breite der verbleibenden, stromdurchflossenen Bereiche der Teilbahnen 71 bis 75 ebenso stetig abnimmt.
Die Widerstandsschicht kann durch eine Schutzschicht überzogen werden, wobei bei deren Auftragen ein Teil der Widerstandsschicht freigebassen werden kann.

Claims

Verfahren zum Herstellen eines Widerstandselementes mit einem Träger, einer auf dem Träger aufgebrachten Widerstandsschicht und einer durch Schneiden der Widerstandsschicht gebildeten Widerstandsanordnung, deren Widerstand zwischen zwei Endstücken einen Sollwert hat, wobei
- die Widerstandsschicht gemäß einer vorgegebenen Schnittstruktur zerteilt wird,

- die Widerstandsanordnung zwischen den Endstücken in Form von mindestens einer Widerstandsbahn mit im wesentlichen konstanter Breite und konstantem Querschnitt auf dem Träger gebildet wird,

- die Schnittstruktur aus zwei kammartigen Einzelstrukturen mit je einem Hauptschnitt und mehreren vom Hauptschnitt nach einer Seite ausgehenden Nebenschnitten besteht und

- die Einzelstrukturen so angeordnet sind, daß
-- die Nebenschnitte ineinandergreifend angeordnet sind und

-- die Einzelstrukturen sich nicht berühren

dadurch gekennzeichnet, daß
- der Widerstand der Widerstandsanordnung unter dem Sollwert liegt und

- der Abgleich des Widerstandselements auf den Sollwert durch Abtragen von Teilen der Widerstandsschicht erfolgt

- zum Abgleich des Widerstandselementes mindestens ein Trimmschnitt in der Widerstandsschicht angebracht wird, der
-- vom freien Ende eines Nebenschnittes ausgehend parallel zu diesem verlaufend bis zum zugehörigen Hauptschnitt geführt wird um eine Teilbahn zwischen dem Nebenschnitt und dem Trimmschnitt elektrisch von der übrigen Widersstandsbolm zu isolieren.
Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Widerstandsschicht mit einer Schutzschicht überzogen wird.
Verfahren nach Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet, daß
beim Auftragen der Schutzschicht ein Teil der Widerstandsschicht freigelassen wird.