JPH08219648A - 熱処理炉 - Google Patents
熱処理炉Info
- Publication number
- JPH08219648A JPH08219648A JP7043394A JP4339495A JPH08219648A JP H08219648 A JPH08219648 A JP H08219648A JP 7043394 A JP7043394 A JP 7043394A JP 4339495 A JP4339495 A JP 4339495A JP H08219648 A JPH08219648 A JP H08219648A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heat treatment
- heater
- heat
- exhaust pipe
- furnace
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Abstract
(57)【要約】
【目的】 炉寸法に対して熱処理ゾーンを大きくとるこ
とが可能で、被熱処理物を効率よく熱処理することが可
能な熱処理炉を提供することを目的とする。 【構成】 被熱処理物４の熱処理を行う熱処理ゾーン５
に、主要部がスパイラル形状を有するヒータ（中央部ヒ
ータ）６を挿入、配設するとともに、該ヒータ６の内側
に、その側壁に熱処理ゾーン５内で発生する燃焼ガスな
どが通過する排気口１０ａが形成された排気管１０を挿
入、配設する。
とが可能で、被熱処理物を効率よく熱処理することが可
能な熱処理炉を提供することを目的とする。 【構成】 被熱処理物４の熱処理を行う熱処理ゾーン５
に、主要部がスパイラル形状を有するヒータ（中央部ヒ
ータ）６を挿入、配設するとともに、該ヒータ６の内側
に、その側壁に熱処理ゾーン５内で発生する燃焼ガスな
どが通過する排気口１０ａが形成された排気管１０を挿
入、配設する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、熱処理炉に関し、詳し
くは、セラミックス電子部品の製造に用いられるセラミ
ックス素体などを熱処理する場合に用いられる熱処理炉
に関する。
くは、セラミックス電子部品の製造に用いられるセラミ
ックス素体などを熱処理する場合に用いられる熱処理炉
に関する。
【０００２】
【従来の技術】セラミックス電子部品などを製造する工
程において用いられる熱処理炉の一つとして、例えば、
図４(ａ)，(ｂ)に示すような熱処理炉（炉床回転式熱処
理炉）がある。この熱処理炉は、周囲に雰囲気ガス供給
口５２が配設された炉本体５１と、炉本体５１の下部に
回転及び昇降可能に配設された炉床５３と、炉本体５１
と炉床５３から形成された、被熱処理物５４の熱処理を
行う熱処理ゾーン５５の中央部に垂直に挿入、配設され
たヒータ（中央部ヒータ）５６と、熱処理ゾーン５５の
周辺部に所定の間隔をおいて垂直に挿入、配設されたヒ
ータ（周辺部ヒータ）５７と、熱処理ゾーン５５内で発
生する燃焼ガスや未消費の雰囲気ガスなどを排気するた
めのアルミナ質の材料などからなる排気管６０とを備え
て構成されている。
程において用いられる熱処理炉の一つとして、例えば、
図４(ａ)，(ｂ)に示すような熱処理炉（炉床回転式熱処
理炉）がある。この熱処理炉は、周囲に雰囲気ガス供給
口５２が配設された炉本体５１と、炉本体５１の下部に
回転及び昇降可能に配設された炉床５３と、炉本体５１
と炉床５３から形成された、被熱処理物５４の熱処理を
行う熱処理ゾーン５５の中央部に垂直に挿入、配設され
たヒータ（中央部ヒータ）５６と、熱処理ゾーン５５の
周辺部に所定の間隔をおいて垂直に挿入、配設されたヒ
ータ（周辺部ヒータ）５７と、熱処理ゾーン５５内で発
生する燃焼ガスや未消費の雰囲気ガスなどを排気するた
めのアルミナ質の材料などからなる排気管６０とを備え
て構成されている。
【０００３】この熱処理炉により被熱処理物５４の熱処
理を行う場合、まず炉床５３を下降させ、その上面の他
よりも一段高くなった被熱処理物載置部５８に設置され
た環状の炉床プレート５９上に被熱処理物５４を載置し
た後、炉床５３を上昇させて炉本体５１と嵌合させる。
そして、炉床５３を回転させながら、炉本体５１の周囲
の雰囲気ガス供給口５２から雰囲気ガスを供給しつつ熱
処理ゾーン５５内を所定の温度に加熱して被熱処理物５
４の熱処理を行う。なお、熱処理中に発生した燃焼ガス
や未消費の雰囲気ガスなどは、排気管６０を経て系外に
配設される。
理を行う場合、まず炉床５３を下降させ、その上面の他
よりも一段高くなった被熱処理物載置部５８に設置され
た環状の炉床プレート５９上に被熱処理物５４を載置し
た後、炉床５３を上昇させて炉本体５１と嵌合させる。
そして、炉床５３を回転させながら、炉本体５１の周囲
の雰囲気ガス供給口５２から雰囲気ガスを供給しつつ熱
処理ゾーン５５内を所定の温度に加熱して被熱処理物５
４の熱処理を行う。なお、熱処理中に発生した燃焼ガス
や未消費の雰囲気ガスなどは、排気管６０を経て系外に
配設される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来の熱
処理炉においては、 炉内温度分布を均一にするために、中心に近い位置と
外周に近い位置の両方に中央部ヒータ５６及び周辺部ヒ
ータ５７を配設する必要があり、被熱処理物５４が載置
される炉床プレート５９の面積が炉寸法に対して小さく
なり、熱処理の効率が低下する 中央部の排気管６０は、通常、高温に耐える材料とし
てアルミナ質の材料が用いられることが多いが、それで
も破損が生じることを完全に防止することは困難で、炉
内に積まれた被熱処理物５４がくずれること（炉内くず
れ）による被害は無視できないものである。さらに、炉
内上下方向のガス排気を均一にするために、排気管６０
の側面にらせん状に小孔を設けることもあるが、それが
排気管６０の折損を招く場合がある。なお、この排気管
６０の折損を瞬時に検出することは現状では困難であ
り、被害の増大を招く結果ともなるというような問題点
がある。
処理炉においては、 炉内温度分布を均一にするために、中心に近い位置と
外周に近い位置の両方に中央部ヒータ５６及び周辺部ヒ
ータ５７を配設する必要があり、被熱処理物５４が載置
される炉床プレート５９の面積が炉寸法に対して小さく
なり、熱処理の効率が低下する 中央部の排気管６０は、通常、高温に耐える材料とし
てアルミナ質の材料が用いられることが多いが、それで
も破損が生じることを完全に防止することは困難で、炉
内に積まれた被熱処理物５４がくずれること（炉内くず
れ）による被害は無視できないものである。さらに、炉
内上下方向のガス排気を均一にするために、排気管６０
の側面にらせん状に小孔を設けることもあるが、それが
排気管６０の折損を招く場合がある。なお、この排気管
６０の折損を瞬時に検出することは現状では困難であ
り、被害の増大を招く結果ともなるというような問題点
がある。
【０００５】本発明は、上記問題点を解決するものであ
り、炉寸法に対して熱処理ゾーンを大きくとることが可
能で、被熱処理物を効率よく熱処理することが可能な熱
処理炉、さらには、従来の熱処理炉においてみられたよ
うな熱処理中の排気管の折損による炉内くずれを防止し
て、効率よく良好な熱処理を行うことが可能な熱処理炉
を提供することを目的とする。
り、炉寸法に対して熱処理ゾーンを大きくとることが可
能で、被熱処理物を効率よく熱処理することが可能な熱
処理炉、さらには、従来の熱処理炉においてみられたよ
うな熱処理中の排気管の折損による炉内くずれを防止し
て、効率よく良好な熱処理を行うことが可能な熱処理炉
を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の熱処理炉は、被熱処理物の熱処理が行われ
る熱処理ゾーンに挿入、配設された、主要部がスパイラ
ル形状を有するヒータと、前記スパイラル形状を有する
ヒータの内側に挿入、配設された、その側壁に熱処理ゾ
ーン内で発生する燃焼ガスなどが通過する排気口が形成
された排気管とを具備することを特徴としている。
に、本発明の熱処理炉は、被熱処理物の熱処理が行われ
る熱処理ゾーンに挿入、配設された、主要部がスパイラ
ル形状を有するヒータと、前記スパイラル形状を有する
ヒータの内側に挿入、配設された、その側壁に熱処理ゾ
ーン内で発生する燃焼ガスなどが通過する排気口が形成
された排気管とを具備することを特徴としている。
【０００７】また、本発明の熱処理炉は、被熱処理物が
載置される、所定の速度で回転させることが可能な炉床
と、前記炉床とともに、被熱処理物の熱処理が行われる
熱処理ゾーンを形成する炉本体と、前記炉床の回転中心
軸と略同軸になるように、前記熱処理ゾーンの中央部に
挿入、配設された、主要部がスパイラル形状を有するヒ
ータと、前記スパイラル形状を有するヒータの内側に挿
入、配設された、その側壁に熱処理ゾーン内で発生する
燃焼ガスなどが通過する排気口が形成された排気管とを
具備することを特徴としている。
載置される、所定の速度で回転させることが可能な炉床
と、前記炉床とともに、被熱処理物の熱処理が行われる
熱処理ゾーンを形成する炉本体と、前記炉床の回転中心
軸と略同軸になるように、前記熱処理ゾーンの中央部に
挿入、配設された、主要部がスパイラル形状を有するヒ
ータと、前記スパイラル形状を有するヒータの内側に挿
入、配設された、その側壁に熱処理ゾーン内で発生する
燃焼ガスなどが通過する排気口が形成された排気管とを
具備することを特徴としている。
【０００８】なお、この熱処理炉においては、前記スパ
イラル状のヒータ以外に、例えば、熱処理ゾーンの周辺
部などにヒータを配設することを妨げるものではない。
また、前記スパイラル状のヒータ以外のヒータについて
はその形状に特別の制約はない。
イラル状のヒータ以外に、例えば、熱処理ゾーンの周辺
部などにヒータを配設することを妨げるものではない。
また、前記スパイラル状のヒータ以外のヒータについて
はその形状に特別の制約はない。
【０００９】また、前記排気管の排気口が軸方向と略平
行に形成されたスリットであることを特徴としている。
行に形成されたスリットであることを特徴としている。
【００１０】さらに、前記ヒータが、炭化珪素（Ｓｉ
Ｃ）からなるものであることを特徴としている。
Ｃ）からなるものであることを特徴としている。
【００１１】また、前記排気管を、前記炉床の回転方向
に対して逆方向に回転させるようにしたことを特徴とし
ている。
に対して逆方向に回転させるようにしたことを特徴とし
ている。
【００１２】さらに、雰囲気ガスを前記炉本体の周囲か
ら供給するようにしたことを特徴としている。
ら供給するようにしたことを特徴としている。
【００１３】
【作用】被熱処理物の熱処理が行われる熱処理ゾーンに
挿入、配設された、主要部がスパイラル形状を有するヒ
ータの内側に、その側壁に熱処理ゾーン内で発生する燃
焼ガスなどが通過する排気口が形成された排気管が挿
入、配設されているため、ヒータを設置するためのスペ
ースに排気管を設置することが可能になり、ヒータ又は
排気管を別個に設けるためのスペースが不要となる。し
たがって、炉寸法に対して熱処理ゾーンを大きくとるこ
とが可能になり、被熱処理物を効率よく熱処理すること
ができるようになる。
挿入、配設された、主要部がスパイラル形状を有するヒ
ータの内側に、その側壁に熱処理ゾーン内で発生する燃
焼ガスなどが通過する排気口が形成された排気管が挿
入、配設されているため、ヒータを設置するためのスペ
ースに排気管を設置することが可能になり、ヒータ又は
排気管を別個に設けるためのスペースが不要となる。し
たがって、炉寸法に対して熱処理ゾーンを大きくとるこ
とが可能になり、被熱処理物を効率よく熱処理すること
ができるようになる。
【００１４】また、ヒータのスパイラル部の隙間と排気
管の排気口の重なり部分から、熱処理ゾーン内で発生す
る燃焼ガスなどが偏りなく均一に排気されるため、熱処
理雰囲気を所定の条件に保持して良好な熱処理を行うこ
とが可能になる。
管の排気口の重なり部分から、熱処理ゾーン内で発生す
る燃焼ガスなどが偏りなく均一に排気されるため、熱処
理雰囲気を所定の条件に保持して良好な熱処理を行うこ
とが可能になる。
【００１５】また、上述のように炉床を所定の速度で回
転させるように構成した熱処理炉（炉床回転式熱処理
炉）においても、熱処理ゾーンに挿入、配設された、主
要部がスパイラル形状を有するヒータ及びその内側に挿
入、配設された排気管が上記のように機能するため、被
熱処理物を効率よく確実に熱処理することが可能にな
る。
転させるように構成した熱処理炉（炉床回転式熱処理
炉）においても、熱処理ゾーンに挿入、配設された、主
要部がスパイラル形状を有するヒータ及びその内側に挿
入、配設された排気管が上記のように機能するため、被
熱処理物を効率よく確実に熱処理することが可能にな
る。
【００１６】また、前記排気管の排気口として、軸方向
に略平行にスリットを形成した場合には、ヒータのスパ
イラル部の隙間と排気管の排気口（スリット）の重なり
部分（この場合には、排気管の軸方向に所定の間隔をお
いて形成される）から熱処理ゾーン内で発生する燃焼ガ
スなどが排気されることになるため、偏りなく均一な排
気を行うことが可能になり、熱処理雰囲気を所定の条件
に確実に保持してより良好な熱処理を行うことが可能に
なる。
に略平行にスリットを形成した場合には、ヒータのスパ
イラル部の隙間と排気管の排気口（スリット）の重なり
部分（この場合には、排気管の軸方向に所定の間隔をお
いて形成される）から熱処理ゾーン内で発生する燃焼ガ
スなどが排気されることになるため、偏りなく均一な排
気を行うことが可能になり、熱処理雰囲気を所定の条件
に確実に保持してより良好な熱処理を行うことが可能に
なる。
【００１７】また、ヒータとして、炭化珪素（ＳｉＣ）
からなるスパイラル形状を有するヒータを用いた場合に
は、炭化珪素の機械的強度が大きいことから、従来の熱
処理炉においてみられたような熱処理中の排気管の折損
による炉内くずれを防止して、効率よく良好な熱処理を
行うことが可能になる。
からなるスパイラル形状を有するヒータを用いた場合に
は、炭化珪素の機械的強度が大きいことから、従来の熱
処理炉においてみられたような熱処理中の排気管の折損
による炉内くずれを防止して、効率よく良好な熱処理を
行うことが可能になる。
【００１８】また、前記排気管を炉床の回転方向と逆方
向に回転させるようにした場合、ヒータのスパイラル部
の隙間と排気管の排気口の重なり部分の相対的な位置が
移動して、その位置的な偏りがなくなるため、より均一
な排気を行うことが可能になる。
向に回転させるようにした場合、ヒータのスパイラル部
の隙間と排気管の排気口の重なり部分の相対的な位置が
移動して、その位置的な偏りがなくなるため、より均一
な排気を行うことが可能になる。
【００１９】また、上述の熱処理炉（炉床回転式熱処理
炉）において、雰囲気ガスを炉本体の周囲から供給する
ように構成した場合、雰囲気ガスの均一な供給と、熱処
理中に発生した燃焼ガスや未消費の雰囲気ガスの均一な
排出を行うことが可能になり、熱処理雰囲気を安定させ
て、より良好な熱処理を行うことが可能になる。
炉）において、雰囲気ガスを炉本体の周囲から供給する
ように構成した場合、雰囲気ガスの均一な供給と、熱処
理中に発生した燃焼ガスや未消費の雰囲気ガスの均一な
排出を行うことが可能になり、熱処理雰囲気を安定させ
て、より良好な熱処理を行うことが可能になる。
【００２０】
【実施例】以下、本発明の実施例を図に基づいて説明す
る。図１は本発明の一実施例にかかる熱処理炉を示す図
であり、(ａ)は平面図、(ｂ)は正面断面図である。
る。図１は本発明の一実施例にかかる熱処理炉を示す図
であり、(ａ)は平面図、(ｂ)は正面断面図である。
【００２１】この実施例の熱処理炉（炉床回転式熱処理
炉）は、図１(ａ)，(ｂ)に示すように、周囲に雰囲気ガ
ス供給口２が配設された炉本体１と、炉本体１の下部に
回転及び昇降可能に配設された炉床３と、炉本体１と炉
床３から形成された、被熱処理物４の熱処理を行う熱処
理ゾーン５の中央部に、炉床の回転中心軸と略同軸にな
るように、垂直に挿入、配設された炭化珪素（ＳｉＣ）
からなるヒータ（中央部ヒータ）６と、熱処理ゾーン５
の周辺部に所定の間隔をおいて垂直に配設された複数の
ヒータ（周辺部ヒータ）７と、中央部ヒータ６の内側に
配設された排気管１０とを備えて構成されている。
炉）は、図１(ａ)，(ｂ)に示すように、周囲に雰囲気ガ
ス供給口２が配設された炉本体１と、炉本体１の下部に
回転及び昇降可能に配設された炉床３と、炉本体１と炉
床３から形成された、被熱処理物４の熱処理を行う熱処
理ゾーン５の中央部に、炉床の回転中心軸と略同軸にな
るように、垂直に挿入、配設された炭化珪素（ＳｉＣ）
からなるヒータ（中央部ヒータ）６と、熱処理ゾーン５
の周辺部に所定の間隔をおいて垂直に配設された複数の
ヒータ（周辺部ヒータ）７と、中央部ヒータ６の内側に
配設された排気管１０とを備えて構成されている。
【００２２】そして、この実施例の熱処理炉において
は、中央部ヒータ６として、帯状の部材６ａをスパイラ
ル状に成形してなるヒータが用いられている。
は、中央部ヒータ６として、帯状の部材６ａをスパイラ
ル状に成形してなるヒータが用いられている。
【００２３】また、中央部ヒータ６の内側に挿入、配設
された排気管１０（図２，図３）には、排気口として、
その軸方向に略平行に２つのスリット１０ａが形成され
ている。また、この排気管１０は、炉床３の回転方向と
は逆方向に回転するように構成されている。なお、排気
管１０の底部は、焼成条件や熱処理ゾーン５の形状など
により、開口しているほうが好ましい場合や開口してい
ないほうが好ましい場合があるが、この実施例において
は、より均一な排気を可能にするため底部を塞いだ排気
管１０を用いている。
された排気管１０（図２，図３）には、排気口として、
その軸方向に略平行に２つのスリット１０ａが形成され
ている。また、この排気管１０は、炉床３の回転方向と
は逆方向に回転するように構成されている。なお、排気
管１０の底部は、焼成条件や熱処理ゾーン５の形状など
により、開口しているほうが好ましい場合や開口してい
ないほうが好ましい場合があるが、この実施例において
は、より均一な排気を可能にするため底部を塞いだ排気
管１０を用いている。
【００２４】そして、この中央部ヒータ６と排気管１０
からなる構造体Ａは、熱処理ゾーン５内を加熱、昇温す
るための加熱手段として機能するとともに、熱処理ゾー
ン５内で発生する燃焼ガスや未消費の雰囲気ガスなどを
排気するための排気筒（排気通路）としても機能する。
すなわち、この構造体Ａにおいては、中央部ヒータ６の
スパイラル部６ｂを構成する帯状の部材６ａの隙間１１
と排気管１０のスリット（排気口）１０ａの重なり部分
（排気管１０の軸方向に所定の間隔をおいて形成され
る）Ｂ（図３）が、熱処理ゾーン５内で発生する燃焼ガ
スや未消費の雰囲気ガスなどが通過する排気口として機
能するように構成されている。
からなる構造体Ａは、熱処理ゾーン５内を加熱、昇温す
るための加熱手段として機能するとともに、熱処理ゾー
ン５内で発生する燃焼ガスや未消費の雰囲気ガスなどを
排気するための排気筒（排気通路）としても機能する。
すなわち、この構造体Ａにおいては、中央部ヒータ６の
スパイラル部６ｂを構成する帯状の部材６ａの隙間１１
と排気管１０のスリット（排気口）１０ａの重なり部分
（排気管１０の軸方向に所定の間隔をおいて形成され
る）Ｂ（図３）が、熱処理ゾーン５内で発生する燃焼ガ
スや未消費の雰囲気ガスなどが通過する排気口として機
能するように構成されている。
【００２５】なお、この実施例の熱処理炉においては、
排気管１０を炉床３の回転方向とは逆方向に回転させる
ようにしているので、中央部ヒータ６のスパイラル部６
ｂの隙間１１と排気管１０のスリット（排気口）１０ａ
の重なり部分の相対的な位置が効率よく移動して、その
位置的な偏りがなくなるため、より均一な排気を行うこ
とが可能になる。
排気管１０を炉床３の回転方向とは逆方向に回転させる
ようにしているので、中央部ヒータ６のスパイラル部６
ｂの隙間１１と排気管１０のスリット（排気口）１０ａ
の重なり部分の相対的な位置が効率よく移動して、その
位置的な偏りがなくなるため、より均一な排気を行うこ
とが可能になる。
【００２６】次に、この実施例の熱処理炉を用いて被熱
処理物の熱処理を行う方法について説明する。被熱処理
物４の熱処理を行う場合、まず炉床３を下降させ、その
上面の他よりも一段高くなった被熱処理物載置部８に置
かれた環状の炉床プレート９上に被熱処理物４を載置し
た後、炉床３を上昇させて炉本体１と嵌合させる。そし
て、炉本体１の周囲の雰囲気ガス供給口２から雰囲気ガ
スを供給して熱処理ゾーン５内を所定の雰囲気に保ちつ
つ、炉床３を回転させながら熱処理ゾーン５内を所定の
温度に加熱して被熱処理物４の熱処理を行う。
処理物の熱処理を行う方法について説明する。被熱処理
物４の熱処理を行う場合、まず炉床３を下降させ、その
上面の他よりも一段高くなった被熱処理物載置部８に置
かれた環状の炉床プレート９上に被熱処理物４を載置し
た後、炉床３を上昇させて炉本体１と嵌合させる。そし
て、炉本体１の周囲の雰囲気ガス供給口２から雰囲気ガ
スを供給して熱処理ゾーン５内を所定の雰囲気に保ちつ
つ、炉床３を回転させながら熱処理ゾーン５内を所定の
温度に加熱して被熱処理物４の熱処理を行う。
【００２７】なお、熱処理中に発生した燃焼ガスや未消
費の雰囲気ガスなどは、中央部ヒータ６のスパイラル部
６ｂを構成する帯状の部材６ａの隙間１１と、炉床３の
回転方向と逆方向に回転する排気管１０のスリット（排
気口）１０ａの重なり部分Ｂから偏りなく、均一に外部
に排出される。
費の雰囲気ガスなどは、中央部ヒータ６のスパイラル部
６ｂを構成する帯状の部材６ａの隙間１１と、炉床３の
回転方向と逆方向に回転する排気管１０のスリット（排
気口）１０ａの重なり部分Ｂから偏りなく、均一に外部
に排出される。
【００２８】上記実施例の熱処理炉においては、中央部
ヒータ６の内側に、スリット１０ａが形成された排気管
１０が挿入、配設されているため、中央部ヒータ６を設
置するためのスペースに排気管１０を設置することが可
能になる。したがって、中央部ヒータ６又は排気管１０
を別個に設けるスペースが不要になり、炉寸法に対して
熱処理ゾーン５を大きくとることができるため、被熱処
理物４を効率よく熱処理することが可能になる。例え
ば、他の部分を従来の熱処理炉（図４(ａ)，(ｂ)）と同
様の構造とした場合、環状の炉床プレート９（５９）の
内径を小さくしてその面積を大きくすることが可能にな
り、被熱処理物４の積載能力を約２０％程度向上させる
ことができる。
ヒータ６の内側に、スリット１０ａが形成された排気管
１０が挿入、配設されているため、中央部ヒータ６を設
置するためのスペースに排気管１０を設置することが可
能になる。したがって、中央部ヒータ６又は排気管１０
を別個に設けるスペースが不要になり、炉寸法に対して
熱処理ゾーン５を大きくとることができるため、被熱処
理物４を効率よく熱処理することが可能になる。例え
ば、他の部分を従来の熱処理炉（図４(ａ)，(ｂ)）と同
様の構造とした場合、環状の炉床プレート９（５９）の
内径を小さくしてその面積を大きくすることが可能にな
り、被熱処理物４の積載能力を約２０％程度向上させる
ことができる。
【００２９】また、上記実施例の熱処理炉においては、
雰囲気ガスが炉本体１の周囲の雰囲気ガス供給口２から
均一に供給されるとともに、中央部ヒータ６のスパイラ
ル部６ｂを構成する帯状の部材６ａの隙間１１と、炉床
３の回転方向と逆方向に回転する排気管１０のスリット
（排気口）１０ａの重なり部分Ｂから、熱処理ゾーン５
内で発生する燃焼ガスや未消費の雰囲気ガスなどが均一
に排気されるため、熱処理雰囲気を安定に保持して良好
な熱処理を行うことができる。
雰囲気ガスが炉本体１の周囲の雰囲気ガス供給口２から
均一に供給されるとともに、中央部ヒータ６のスパイラ
ル部６ｂを構成する帯状の部材６ａの隙間１１と、炉床
３の回転方向と逆方向に回転する排気管１０のスリット
（排気口）１０ａの重なり部分Ｂから、熱処理ゾーン５
内で発生する燃焼ガスや未消費の雰囲気ガスなどが均一
に排気されるため、熱処理雰囲気を安定に保持して良好
な熱処理を行うことができる。
【００３０】また、被熱処理物４から発生するタール分
（分解ガスなど）が、中央部ヒータ６のスパイラル部６
ｂを構成する帯状の部材６ａの隙間１１を通過して排気
される際に、中央部ヒータ６の熱により燃焼するため、
排ガス処理装置までの排気ダクト内のタール留まりを抑
制、防止することができる。
（分解ガスなど）が、中央部ヒータ６のスパイラル部６
ｂを構成する帯状の部材６ａの隙間１１を通過して排気
される際に、中央部ヒータ６の熱により燃焼するため、
排ガス処理装置までの排気ダクト内のタール留まりを抑
制、防止することができる。
【００３１】また、上記実施例の熱処理炉においては、
アルミナ質などからなる排気管１０が、機械的強度に優
れた炭化珪素（ＳｉＣ）からなる中央部ヒータ６の内側
に配設されているため、従来の熱処理炉においてみられ
たような熱処理中の排気管の折損による炉内くずれを防
止して、効率よく良好な熱処理を行うことが可能にな
る。
アルミナ質などからなる排気管１０が、機械的強度に優
れた炭化珪素（ＳｉＣ）からなる中央部ヒータ６の内側
に配設されているため、従来の熱処理炉においてみられ
たような熱処理中の排気管の折損による炉内くずれを防
止して、効率よく良好な熱処理を行うことが可能にな
る。
【００３２】さらに、例えば、中央部ヒータ６に負荷さ
せる電気信号を検出する方法などにより、ヒータの折損
を検出できるようにした場合には、ヒータの折損を事前
に、あるいは折損後速やかに検出することが可能にな
り、さらに信頼性を向上させることができる。
せる電気信号を検出する方法などにより、ヒータの折損
を検出できるようにした場合には、ヒータの折損を事前
に、あるいは折損後速やかに検出することが可能にな
り、さらに信頼性を向上させることができる。
【００３３】なお、本発明は、上記実施例に限定される
ものではなく、炉本体、炉床、ヒータなどの具体的な形
状や構造あるいは材質などに関し、発明の要旨の範囲内
において種々の応用、変形を加えることが可能である。
ものではなく、炉本体、炉床、ヒータなどの具体的な形
状や構造あるいは材質などに関し、発明の要旨の範囲内
において種々の応用、変形を加えることが可能である。
【００３４】
【発明の効果】上述のように、本発明の熱処理炉は、熱
処理ゾーンに、主要部がスパイラル形状を有するヒータ
を挿入、配設するとともに、その内側に熱処理ゾーン内
で発生する燃焼ガスなどが通過する排気口が形成された
排気管を挿入、配設するようにしているので、ヒータを
設置するためのスペースに排気管を設置することが可能
になる。したがって、ヒータ又は排気管を別個に設ける
スペースが不要になり、炉寸法に対して熱処理ゾーンを
大きくとることが可能になるため、被熱処理物を効率よ
く熱処理することが可能になる。
処理ゾーンに、主要部がスパイラル形状を有するヒータ
を挿入、配設するとともに、その内側に熱処理ゾーン内
で発生する燃焼ガスなどが通過する排気口が形成された
排気管を挿入、配設するようにしているので、ヒータを
設置するためのスペースに排気管を設置することが可能
になる。したがって、ヒータ又は排気管を別個に設ける
スペースが不要になり、炉寸法に対して熱処理ゾーンを
大きくとることが可能になるため、被熱処理物を効率よ
く熱処理することが可能になる。
【００３５】また、ヒータのスパイラル部の隙間と排気
管の排気口の重なり部分から、熱処理ゾーン内で発生す
る燃焼ガスなどが均一に排気されるため、熱処理雰囲気
を所定の条件に保持して良好な熱処理を行うことができ
る。
管の排気口の重なり部分から、熱処理ゾーン内で発生す
る燃焼ガスなどが均一に排気されるため、熱処理雰囲気
を所定の条件に保持して良好な熱処理を行うことができ
る。
【００３６】また、上述のように炉床を所定の速度で回
転させるように構成した熱処理炉（炉床回転式熱処理
炉）においても、熱処理ゾーンに挿入、配設された、主
要部がスパイラル形状を有するヒータ及びその内側に挿
入、配設された排気管が、上述のように加熱手段及び排
気筒（排気通路）として機能するため、被熱処理物を効
率よく確実に熱処理することが可能になる。
転させるように構成した熱処理炉（炉床回転式熱処理
炉）においても、熱処理ゾーンに挿入、配設された、主
要部がスパイラル形状を有するヒータ及びその内側に挿
入、配設された排気管が、上述のように加熱手段及び排
気筒（排気通路）として機能するため、被熱処理物を効
率よく確実に熱処理することが可能になる。
【００３７】また、排気管として、軸方向に略平行に形
成されたスリットを排気口とする排気管を用いることに
より、ヒータのスパイラル部の隙間と排気管の排気口の
重なり部分（排気管の軸方向に所定の間隔をおいて位置
する部分）から熱処理ゾーン内で発生する燃焼ガスなど
が排気されるため、均一な排気を行うことが可能にな
り、熱処理雰囲気を所定の条件に保持して良好な熱処理
を行うことができるようになる。
成されたスリットを排気口とする排気管を用いることに
より、ヒータのスパイラル部の隙間と排気管の排気口の
重なり部分（排気管の軸方向に所定の間隔をおいて位置
する部分）から熱処理ゾーン内で発生する燃焼ガスなど
が排気されるため、均一な排気を行うことが可能にな
り、熱処理雰囲気を所定の条件に保持して良好な熱処理
を行うことができるようになる。
【００３８】また、ヒータとして、炭化珪素（ＳｉＣ）
からなるスパイラル形状を有するヒータを用いた場合に
は、炭化珪素の機械的強度が大きいことから、従来の熱
処理炉においてみられたような熱処理中の排気管の折損
による炉内くずれを防止して、効率よく良好な熱処理を
行うことができる。
からなるスパイラル形状を有するヒータを用いた場合に
は、炭化珪素の機械的強度が大きいことから、従来の熱
処理炉においてみられたような熱処理中の排気管の折損
による炉内くずれを防止して、効率よく良好な熱処理を
行うことができる。
【００３９】さらに、前記排気管を回転させるようにし
た場合、ヒータのスパイラル部の隙間と排気管の排気口
の重なり部分が移動して、その位置的な偏りがなくなる
ため、より均一な排気を行うことが可能になる。
た場合、ヒータのスパイラル部の隙間と排気管の排気口
の重なり部分が移動して、その位置的な偏りがなくなる
ため、より均一な排気を行うことが可能になる。
【００４０】また、上述の熱処理炉（炉床回転式熱処理
炉）において、雰囲気ガスを炉本体の周囲から供給する
ように構成した場合、雰囲気ガスの均一な供給と、熱処
理中に発生した燃焼ガスや未消費の雰囲気ガスの均一な
排出を行うことが可能になり、熱処理雰囲気を安定させ
て、より良好な熱処理を行うことができる。
炉）において、雰囲気ガスを炉本体の周囲から供給する
ように構成した場合、雰囲気ガスの均一な供給と、熱処
理中に発生した燃焼ガスや未消費の雰囲気ガスの均一な
排出を行うことが可能になり、熱処理雰囲気を安定させ
て、より良好な熱処理を行うことができる。
【図１】本発明の一実施例にかかる熱処理炉を示す図で
あり、(ａ)は平面図、(ｂ)は正面断面図である。
あり、(ａ)は平面図、(ｂ)は正面断面図である。
【図２】本発明の一実施例にかかる熱処理炉に用いられ
ているヒータ（中央部ヒータ）と排気管からなる構造体
を示す図であって、(ａ)は正面図、(ｂ)は平面図であ
る。
ているヒータ（中央部ヒータ）と排気管からなる構造体
を示す図であって、(ａ)は正面図、(ｂ)は平面図であ
る。
【図３】本発明の一実施例にかかる熱処理炉に用いられ
ているヒータ（中央部ヒータ）と排気管からなる構造体
の要部を示す拡大図である。
ているヒータ（中央部ヒータ）と排気管からなる構造体
の要部を示す拡大図である。
【図４】従来の熱処理炉を示す図であり、(ａ)は平面
図、(ｂ)は正面断面図である。
図、(ｂ)は正面断面図である。
１ 炉本体 ２ 雰囲気ガス供給口 ３ 炉床 ４ 被熱処理物 ５ 熱処理ゾーン ６ ヒータ（中央部ヒータ） ６ａ 中央部ヒータを構成する帯状の部材 ６ｂ スパイラル部 ７ ヒータ（周辺部ヒータ） ８ 被熱処理物載置部 ９ 炉床プレート １０ 排気管 １０ａ スリット １１ 隙間 Ａ 中央部ヒータと排気管からなる構造体 Ｂ 中央部ヒータの隙間と排気管のスリッ
トの重なり部分
トの重なり部分
Claims (6)
- 【請求項１】 被熱処理物の熱処理が行われる熱処理ゾ
ーンに挿入、配設された、主要部がスパイラル形状を有
するヒータと、 前記スパイラル形状を有するヒータの内側に挿入、配設
された、その側壁に熱処理ゾーン内で発生する燃焼ガス
などが通過する排気口が形成された排気管とを具備する
ことを特徴とする熱処理炉。 - 【請求項２】 被熱処理物が載置される、所定の速度で
回転させることが可能な炉床と、 前記炉床とともに、被熱処理物の熱処理が行われる熱処
理ゾーンを形成する炉本体と、 前記炉床の回転中心軸と略同軸になるように、前記熱処
理ゾーンの中央部に挿入、配設された、主要部がスパイ
ラル形状を有するヒータと、 前記スパイラル形状を有するヒータの内側に挿入、配設
された、その側壁に熱処理ゾーン内で発生する燃焼ガス
などが通過する排気口が形成された排気管とを具備する
ことを特徴とする請求項１記載の熱処理炉。 - 【請求項３】 前記排気管の排気口が軸方向と略平行に
形成されたスリットであることを特徴とする請求項１又
は２記載の熱処理炉。 - 【請求項４】 前記ヒータが、炭化珪素（ＳｉＣ）から
なるものであることを特徴とする請求項１，２又は３記
載の熱処理炉。 - 【請求項５】 前記排気管を、前記炉床の回転方向に対
して逆方向に回転させるようにしたことを特徴とする請
求項１，２，３又は４記載の熱処理炉。 - 【請求項６】 雰囲気ガスを前記炉本体の周囲から供給
するようにしたことを特徴とする請求項２，３，４又は
５記載の熱処理炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04339495A JP3438381B2 (ja) | 1995-02-07 | 1995-02-07 | 熱処理炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04339495A JP3438381B2 (ja) | 1995-02-07 | 1995-02-07 | 熱処理炉 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08219648A true JPH08219648A (ja) | 1996-08-30 |
| JP3438381B2 JP3438381B2 (ja) | 2003-08-18 |
Family
ID=12662581
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04339495A Expired - Fee Related JP3438381B2 (ja) | 1995-02-07 | 1995-02-07 | 熱処理炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3438381B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10103874A (ja) * | 1996-09-25 | 1998-04-24 | Ulvac Japan Ltd | 真空熱処理炉 |
| US6279477B1 (en) | 1997-05-30 | 2001-08-28 | Hitachi Zosen Corporation | Destroying apparatus and method, and holding member for use in that method |
| JP2007271190A (ja) * | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Takasago Ind Co Ltd | 雰囲気熱処理炉 |
| JP2007535782A (ja) * | 2003-07-16 | 2007-12-06 | カンサル・リミテッド | 炭化珪素炉発熱体 |
| KR20200079239A (ko) * | 2017-09-13 | 2020-07-02 | 원준 써멀 솔루션즈 게엠베하 | 재료의 열적 또는 열 화학적 처리를 위한 장치 및 방법 |
| KR20220098640A (ko) * | 2021-01-04 | 2022-07-12 | 왕병철 | 치과 보철용 지르코니아 소결로 |
-
1995
- 1995-02-07 JP JP04339495A patent/JP3438381B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10103874A (ja) * | 1996-09-25 | 1998-04-24 | Ulvac Japan Ltd | 真空熱処理炉 |
| US6279477B1 (en) | 1997-05-30 | 2001-08-28 | Hitachi Zosen Corporation | Destroying apparatus and method, and holding member for use in that method |
| JP2007535782A (ja) * | 2003-07-16 | 2007-12-06 | カンサル・リミテッド | 炭化珪素炉発熱体 |
| US7759618B2 (en) | 2003-07-16 | 2010-07-20 | Sandvik Materials Technology Uk Limited | Silicon carbide heating elements |
| JP4665197B2 (ja) * | 2003-07-16 | 2011-04-06 | サンドヴィク・マテリアルズ・テクノロジー・ユーケイ・リミテッド | 炭化珪素炉発熱体 |
| JP2007271190A (ja) * | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Takasago Ind Co Ltd | 雰囲気熱処理炉 |
| KR20200079239A (ko) * | 2017-09-13 | 2020-07-02 | 원준 써멀 솔루션즈 게엠베하 | 재료의 열적 또는 열 화학적 처리를 위한 장치 및 방법 |
| KR20220098640A (ko) * | 2021-01-04 | 2022-07-12 | 왕병철 | 치과 보철용 지르코니아 소결로 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3438381B2 (ja) | 2003-08-18 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6805749B2 (en) | Method and apparatus for supporting a semiconductor wafer during processing | |
| KR101360069B1 (ko) | 종형 열처리 장치 및 그의 냉각 방법 | |
| JP2002158178A (ja) | 基板処理装置および半導体装置の製造方法 | |
| KR101569557B1 (ko) | 열처리로 및 열처리 장치 | |
| JP3438381B2 (ja) | 熱処理炉 | |
| JPS61198735A (ja) | フラツシユランプアニ−ル装置 | |
| JP3438380B2 (ja) | 熱処理炉 | |
| JPS63232422A (ja) | 半導体ウエハの熱処理装置 | |
| JP2002305189A (ja) | 縦型熱処理装置およびその強制空冷方法 | |
| TW202212759A (zh) | 間歇式熱處理爐 | |
| JP2002333283A (ja) | 熱処理炉、および熱処理炉のガス供給方法 | |
| JP5770042B2 (ja) | 熱処理装置 | |
| JP2002286372A (ja) | 熱処理炉 | |
| JP2522544B2 (ja) | 縦型熱処理炉 | |
| JP5039261B2 (ja) | ベル型焼鈍炉 | |
| JP5691637B2 (ja) | 熱処理装置 | |
| JPH1089849A (ja) | 熱処理炉 | |
| JPH0713558B2 (ja) | バツチ式焼成炉 | |
| TW202210775A (zh) | 間歇式熱處理爐 | |
| JP3593771B2 (ja) | 熱処理炉 | |
| JPH03212933A (ja) | 熱処理方法 | |
| JPH02219979A (ja) | 焼成炉 | |
| KR200222115Y1 (ko) | 반도체웨이퍼용알티피장치 | |
| JP2010286172A (ja) | 加熱炉 | |
| JP2003100649A (ja) | 基板処理装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20030513 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080613 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090613 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090613 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100613 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110613 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120613 Year of fee payment: 9 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |