JP2002305189A - 縦型熱処理装置およびその強制空冷方法 - Google Patents
縦型熱処理装置およびその強制空冷方法Info
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Abstract
る。 【解決手段】 複数枚の被処理体wを下方から収容する
縦型の処理容器2の外側にこれを取り囲むヒータ10を
設置し、該ヒータ10の下部にヒータ10内へ冷却用の
空気を送り込む送風部20を設け、ヒータ10の上部に
排気口21を設け、該排気口21に排気ダクト23を接
続した縦型熱処理装置1において、前記排気口21にこ
れを送風圧力により自動的に開閉する弁蓋27を設けて
いる。
Description
よびその強制空冷方法に関する。
理体例えば半導体ウエハに、酸化、拡散、CVD(Chem
ical Vapor Deposition)などの処理を行うために、
各種の熱処理装置が用いられている。そして、その一つ
として、一度に多数枚の被処理体の熱処理が可能な縦型
熱処理装置が知られている。
を下方から収容する縦型の処理容器を有し、この処理容
器の外側にはこれを取り囲むヒータが設置されている。
このような縦型熱処理装置においては、熱処理中または
熱処理後に高温のヒータ内を強制的に空冷(空気冷却)
するために、ヒータの下部にヒータ内へ空気を送り込む
送風部を設け、ヒータの上部に排気口を設け、該排気口
に排気ダクトを接続するとともに排気口を開閉するシャ
ッターを設けたものが提案されている。シャッターは排
気ダクトの外部に設けたエアシリンダによって開閉駆動
されるようになっている。
た縦型熱処理装置においては、排気ダクトによりヒータ
内の雰囲気を吸い出しているものの、送風によりヒータ
内の圧力が陽圧(大気圧よりも高い)になった場合、シ
ャッターの外部動力が貫通している隙間からヒータの断
熱材から発生するごみ(パーティクル)やヒータ内の熱
気が吹き出す場合があり、ごみや熱気を装置外およびク
リーンルーム外へ排出して装置内およびクリーンルーム
内の雰囲気を奇麗に保つという排気ダクトの効果が減衰
されてしまう問題があった。
空冷時のごみの発生量の変化を示すグラフ図である。こ
の図は、横軸に強制空冷時の時間を、縦軸に1μm以上
のごみの個数を示している。この図から、強制空冷の開
始時(ON)にごみが少し発生し、強制空冷の終了時
(OFF)にごみが多く発生していることが解かる。
ので、強制空冷時にごみや熱気の吹き出しを防止するこ
とができる縦型熱処理装置およびその強制空冷方法を提
供することを目的とする。
の発明は、複数枚の被処理体を下方から収容する縦型の
処理容器の外側にこれを取り囲むヒータを設置し、該ヒ
ータの下部にヒータ内へ冷却用の空気を送り込む送風部
を設け、ヒータの上部に排気口を設け、該排気口に排気
ダクトを接続した縦型熱処理装置において、前記排気口
にこれを送風圧力により自動的に開閉する弁蓋を設けた
ことを特徴とする。
方から収容する縦型の処理容器の外側にこれを取り囲む
ヒータを設置し、該ヒータの下部にヒータ内へ冷却用の
空気を送り込む送風部を設け、ヒータの上部に排気口を
設け、該排気口に排気ダクトを接続するとともに排気口
を開閉するシャッターを設けた縦型熱処理装置におい
て、前記ヒータ内の上部に設けられた圧力センサと、該
圧力センサによる検出圧に基いてヒータ内が微陰圧とな
るよう前記送風部を制御する制御部とを備えたことを特
徴とする。
の縦型熱処理装置において、前記送風部が、ヒータの下
部に設けられた環状の送風ダクトと、該送風ダクトに空
気を送り込む送風ブロワと、送風ダクトの上部にその周
方向に適宜間隔で突設された送風ノズルとを備え、送風
ノズルの幾つかはヒータ内の下部を冷却すべく短く形成
されていることを特徴とする。
方から収容する縦型の処理容器の外側に設置されたヒー
タの上部の排気口のシャッターを開け、排気ブロワによ
り排気するとともにヒータ内に下部から送風ブロワによ
り空気を送り込んでヒータ内を強制的に空冷する方法に
おいて、強制空冷開始時に先ず前記シャッターを開け、
次に排気ブロワと送風ブロワを順に起動し、ヒータ内の
圧力が微陰圧になるように送風ブロワを制御し、ヒータ
内の温度降下に伴う陰圧度の増大を抑えるべく送風ブロ
ワの送風量を増大させることを特徴とする。
方から収容する縦型の処理容器の外側に設置されたヒー
タの上部の排気口のシャッターを開け、排気ブロワによ
り排気するとともにヒータ内に下部から送風ブロワによ
り空気を送り込んでヒータ内を強制的に空冷する方法に
おいて、強制空冷終了時に先ず送風ブロワの電源と排気
ブロワの電源を順に切り、前記送風ブロワの電源を切っ
てから送風ブロワの回転が停止するまでの所定時間経過
後に前記シャッターを閉めることを特徴とする。
付図面に基いて詳述する。
て、1は縦型熱処理装置で、この縦型熱処理装置1は複
数枚の被処理体例えば半導体ウエハwを下方から収容し
て所定の熱処理例えばCVD処理を施す縦型の処理容器
(プロセスチューブ)2を備えている。この処理容器2
は、耐熱性および耐食性を有する材料例えば石英ガラス
により形成されている。
管2bの二重管構造になっている。内管2aは上端およ
び下端が開放されている。外管2bは、上端が閉塞さ
れ、下端が開放されている。なお、処理容器2は、外管
2bのみからなっていてもよく、この場合、外管2bの
頂部に排気部が設けられていてもよい。
は、処理容器2内に処理ガスや不活性ガスを導入するガ
ス導入部3と、処理容器2内を排気する排気部4とを有
する短円筒状のマニホールド5が気密に接続されてい
る。このマニホールド5は、耐熱性および耐食性を有す
る材料例えばステンレス鋼により形成されている。マニ
ホールド5の内側には、内管2aを支持するための内管
支持部8が設けられている。
給系の配管が接続される。排気部4には、真空ポンプお
よび圧力制御機構を有する排気系が接続され、処理容器
2内を所定の処理圧力に制御し得るようになっている。
この処理圧力に制御された状態で、ガス導入部3から導
入された処理ガスが処理容器2の内管2a内を上昇して
ウエハwの所定の熱処理に供された後、内管2aと外管
2bとの間の環状通路を下降して排気部4から排気され
るようになっている。
程度の半導体ウエハwを高さ方向に所定間隔で搭載保持
するために、ウエハwは保持具である例えば石英ガラス
製のボート6に保持され、このボート6はマニホールド
5の下端開口部(炉口)を密閉する例えばステンレス鋼
製の蓋体7の上部に炉口断熱手段である保温筒8を介し
て載置されている。前記処理容器2の下方には、蓋体7
を昇降させて蓋体7の開閉および処理容器2に対するボ
ート6の搬入搬出を行うための昇降機構9が設けられて
いると共にその作業領域であるローディングエリアが設
けられている。
プレートの下部に保持されており、このベースプレート
の上部には、処理容器2の周囲を取り囲み処理容器2内
のウエハwを所定の熱処理温度に加熱昇温するためのヒ
ータ10が設置されている。このヒータ10は、処理容
器2の周囲を取囲む筒状(円筒状)の断熱材11を備
え、この筒状断熱材11の内周に抵抗発熱線12が螺旋
状または蛇行状に配設されている。前記ヒータ10は、
高さ方向に複数の領域に分けて温度制御が可能に構成さ
れている。ヒータ10には領域毎に温度を検知する図示
しない温度センサが設けられている。
には、ヒータ10の頂部断熱材である円板状の板状断熱
材13が被せられ(載置され)ている。ヒータ10本体
の筒状断熱材11およびヒータ10頂部の板状断熱材1
3は、所定の断熱材料例えばシリカ(SiO2)および
アルミナ(Al2O3)の混合材料により形成されてい
る。
は、金属製の円筒状のアウターシェル14が設けられ、
このアウターシェル14には図示しない水冷ジャケット
が設けられている。アウターシェル14の上部には、板
状断熱材13の上方を覆う金属製の天板15が取付けら
れている。
とすべくヒータ10内を強制的に空冷するために、ヒー
タ10の下部にはヒータ10内へ冷却用の空気を送り込
む送風部20が設けられ、ヒータ10の上部の中央部に
は板状断熱材13および天板15を貫通する排気口21
が設けられ、この排気口21には排気ブロワ22を備え
た排気ダクト23が接続されている。
けられた環状の送風ダクト24と、この送風ダクト24
に空気を送り込む送風ブロワ25と、送風ダクト24の
上部にその周方向に適宜間隔で突設された送風ノズル2
6とから主に構成されている。この場合、図3にも示す
ように、複数例えば12個の送風ノズル26のうち幾つ
か例えば6個はヒータ10内の下部を冷却すべく長さが
短く形成されている。これら長さの長いノズル26a
と、長さの短いノズル26bは、周方向に交互に配置さ
れていることが好ましい。
記排気口21の上部には、この排気口21を送風圧力に
よって自動的に開閉する弁蓋27が設けられている。こ
の弁蓋27は、例えばAl2O3等のセラミックスによ
り形成されていることが好ましい。弁蓋27は排気口2
1の上面を塞ぐべく排気口21よりも大きく形成されて
おり、一端がヒンジ28を介して天板15に垂直回動可
能に支持されている。弁蓋27を取り囲む排気ダクト2
3の周囲には断熱材が設けられていることが好ましい。
を塞いだ閉状態にあり、強制空冷時には送風部20から
の送風圧力と排気ダクト23の排気圧力との圧力差およ
び弁蓋27の重さとのバランスにより自動的に上方に押
し上げられて開閉されるようになっている。特に、エア
シリンダ等外部の動力を用いずに排気口21の弁蓋27
を自動開閉できるため、排気ダクト23には外部動力貫
通用の隙間が形成されたおらず、排気ダクト23は排気
口21に気密に接続されている。この場合、排気ダクト
23は、ヒータ10の上下方向の熱膨張収縮を吸収し得
る例えば蛇腹等の接続構造が採られていることが好まし
い。
の作用を述べる。ローディングエリアにおいてボート6
へのウエハwの移載が終了すると、昇降機構9による蓋
体7の上昇によってボート6を保温筒8と共に処理容器
2内にその下端開口(マニホールド5の下端開口部)か
ら搬入し、その開口を蓋体7で気密に閉塞する。
排気系による減圧排気により所定の圧力ないし真空度に
制御すると共にヒータ10により所定の処理温度に制御
し、ガス導入部3より処理ガスを処理容器2内に導入し
てウエハwに所定の熱処理例えばCVD処理を開始す
る。
タ10内を強制空冷を行ない、熱処理終了後は処理ガス
の導入を停止して不活性ガスの導入により処理容器2内
をパージし、蓋体7を下降させて処理容器2内を開放す
ると共にボート6をローディングエリアに搬出すればよ
い。
0の電源を切り、先ず排気ブロワ22の電源を入れて排
気ブロワ22を起動し、次に送風ブロワ25の電源を入
れて送風ブロワ25を起動する。これにより、排気口2
1を塞いで閉状態にある弁蓋27の上面には排気ダクト
23内の陰圧が作用し、弁蓋27の下面には送風ダクト
24の送風ノズル26から吹き込まれる空気によるヒー
タ10内の陽圧が作用するため、その送風圧力具体的に
は弁蓋27の上下面の差圧と蓋体27の自重とのバラン
スにより弁蓋27が上方へ押し上げられて所定の開度で
開放される。これにより、ヒータ10内の雰囲気が排気
口21から排気ダクト23へ排気され、ヒータ10内が
強制空冷されることになる。
ロワ25の電源を切り、次に排気ブロワ22の電源を切
れば良く、これにより弁蓋27には圧力差が作用しなく
なるため、弁蓋27が自重で降下して排気口21を自動
的に塞ぐ。ヒータ10の昇温加熱時には、弁蓋27が排
気口21を塞いでいることにより排気口21からのヒー
タ10内の熱の逃げを防止することができる。
圧力により自動的に開閉する弁蓋27を設けているた
め、エアシリンダ等外部の動力を用いずに排気口21の
弁蓋27を自動開閉でき、外部動力貫通用の隙間が無い
ことから強制空冷時にヒータ10内が陽圧になったとし
ても従来のように外部動力貫通用の隙間等からごみや熱
気が吹き出すようなことはなくなり、強制空冷時のごみ
や熱気の吹き出しを防止することができ、装置内および
クリーンルーム内の雰囲気を奇麗に保つことができる。
また、外部動力貫通用の隙間が無いことから、ヒータ外
上部の外気を吸い込むこと無くヒータ10内の雰囲気を
十分に排気することができ、排気ダクト23の効果を高
めることができる。
示しない温度センサにより検知したヒータ10の上部と
下部のヒータ温度の強制空冷時の温度変化は、例えば図
5に示す通りであり、保温筒8の存在によりヒータ10
の下部の方が上部よりも降温時間が多くかかっている。
そこで、送風ダクト24の上部にその周方向に適宜間隔
で突設された送風ノズル26のうちの幾つかはヒータ1
0内の下部を冷却すべく短く形成されているため、ヒー
タ10内の上部よりも降温時間の遅い下部の降温時間を
上部の降温時間と同程度に早めることができ、強制空冷
時間の短縮化が図れる。
型熱処理装置の断面図である。図2の実施の形態におい
て、図1の実施の形態と同一部分は同一参照符号を付し
て説明を省略する。図2の実施の形態においては、排気
口21の上部にこれを開閉するシャッター30が設けら
れている。アウターシェル14の天板15上には、前記
シャッター30を開閉移動可能に収容する金属製のハウ
ジング31が設けられ、このハウジング31に排気ダク
ト23が接続されている。
を水平方向にスライド開閉可能に覆う例えば石英製の蓋
体として形成されている。シャッター30の上部には例
えば凹部が設けられ、この凹部に断熱材が充填されてい
ることが好ましい(図示省略)。前記シャッター30に
は、ハウジング31を貫通して外部からシャッター30
を開閉駆動するためのエアシリンダ32が連結されてい
る。ハウジング31には、シャッター30の外部動力貫
通用の隙間33が存在する。
のヒータ10内の圧力を検知するための圧力センサ34
が設けられ、圧力センサ34による検出圧に基いてヒー
タ10内が微陰圧例えば大気圧−30Paとなるよう前
記送風部20の送風ブロワ25が制御部35により制御
されるように構成されている。また、前記エアシリンダ
32および排気ブロワ22も前記制御部35により制御
されるように構成されている。
始時に先ず前記シャッター30を開け、次に排気ブロワ
22の電源と送風ブロワ25の電源を順に入れてこれら
排気ブロワ22と送風ブロワ25を順に起動し、ヒータ
10内の圧力を圧力センサ34により検出してヒータ1
0内が微陰圧になるように送風ブロワ25を制御し、ヒ
ータ10内の温度降下に伴う陰圧度の増大を抑えるべく
送風ブロワ25の送風量を増大させるように設定されて
いる。また、前記制御部35は、強制空冷終了時に先ず
送風ブロワ25の電源と排気ブロワ22の電源を順に切
り、前記送風ブロワ25の電源を切ってから送風ブロワ
25の回転が停止するまでの所定時間経過後例えば1分
30秒後に前記シャッター30を閉めるように設定され
ている。
の作用および強制空冷方法について説明する。前記縦型
熱処理装置において、熱処理中または熱処理終了後にヒ
ータ10内の強制空冷を行なう場合には、先ずヒータ1
0の電源を切り、シャッター30を開ける。そして、排
気ブロワ22の電源を入れて排気ブロワ22を起動し、
次に送風ブロワ25の電源を入れて送風ブロワ25を起
動する。これにより、ヒータ10内に室温の空気が送り
込まれると共にヒータ10内の雰囲気が排気口21から
排気ダクト23に吸い出され、ヒータ10内の強制空冷
が開始される。
圧力が圧力センサ34により検知されており、この圧力
センサ34による検出圧に基いてヒータ10内が微陰圧
の設定圧となるよう送風ブロワ25が制御部35により
制御されている。これにより、強制空冷時にヒータ10
内が陽圧になるのが防止され、シャッター30の外部動
力貫通用の隙間33があったとしてもその隙間33から
のごみや熱気の吹き出しを防止することができる。圧力
センサ34がヒータ10内の陽圧になり易い上部に配置
されているため、ヒータ10内の圧力を精度良く検知す
ることができる。強制空冷を終了する場合には、先ず送
風ブロワ25の電源を切り、次に排気ブロワ22の電源
を切り、次にシャッター30を閉じれば良い。
気の吹き出しを抑制するために、ON信号により先ずシ
ャッター30を開け、次に排気ブロワ22の電源と送風
部ブロワ25の電源を順に入れて排気ブロワ22と送風
ブロワ25を順に起動する。しかしながら、送風ブロワ
25が起動してヒータ10内が陽圧になった場合、シャ
ッター30の外部動力貫通用の隙間33からごみや熱気
が吹き出してしまう。図6に示すように強制空冷の開始
時(ON)にごみが発生しているのはこのためである。
内が陰圧になるように排気ブロワ22や送風ブロワ25
を制御することが好ましい。しかしながら、単にヒータ
10内を陰圧にするだけでは、図4に一点鎖線で示すよ
うに、ヒータ温度の降下に伴いヒータ内雰囲気の熱膨張
の量が減少するため、時間と共に陰圧度が増大してしま
い、その結果、ヒータ内が冷えにくくなり(降温レート
が低下し)、強制空冷時間が長くなってしまう。
装置の強制空冷方法においては、強制空冷開始時には先
ず前記シャッター30を開け、次に排気ブロワ22の電
源と送風ブロワ25の電源を順に入れてこれら排気ブロ
ワ22と送風ブロワ25を順に起動し、ヒータ10内の
圧力を圧力センサ34により検出してヒータ10内が微
陰圧(例えば大気圧−30Pa)になるように送風ブロ
ワ25を制御し、ヒータ10内の温度降下に伴う陰圧度
の増大を抑えるべく送風ブロワ25の送風量を増大させ
るようにする。この強制空冷方法によれば、強制空冷開
始時にヒータ10内が陽圧になるのを防止でき、シャッ
ター30の外部動力貫通用の隙間33からごみや熱気が
吹き出すのを防止することができると共に、図4に実線
で示すように、陰圧度を一定に保ちつつ送風量を増大す
ることによって陰圧度の増大に伴う降温レートの低下を
抑制し、強制空冷時間の短縮化が図れる。
みや熱気の吹き出しを抑制するために、OFF信号によ
り先ず送風ブロワ25の電源と排気ブロワ22の電源を
順に切り、次にシャッター30を閉める。この場合、例
えば、OFF信号と同時に送風ブロワ25の電源を切
り、その3秒後に排気ブロワ22の電源を切り、更にそ
の1秒後にシャッター30を閉じるというシーケンス制
御が行なわれている。従って、シャッター30を閉める
タイミングは、OFF信号から4秒後である。
っても送風ブロワ25は直ぐに止まらず慣性力でしばら
く回転しているため、その回転中にシャッター30を閉
めると、ヒータ10内が陽圧になってしまい、ヒータ1
0の隙間例えばヒータ下部の隙間等からごみや熱気が吹
き出してしまう。図6に示すように強制空冷の終了時
(OFF)にごみが発生しているのはこのためである。
装置の強制空冷方法においては、強制空冷終了時には先
ず送風ブロワ25の電源と排気ブロワ22の電源を順に
切り、前記送風ブロワ25の電源を切ってから送風ブロ
ワ25の回転が停止するまでの所定時間経過後例えば1
分30秒後に前記シャッター30を閉めるようにする。
この強制空冷方法によれば、電源を切った後の送風ブロ
ワ25の慣性回転に起因してヒータ10内が陽圧になる
現象を防止することができ、強制空冷終了時のごみや熱
気の吹き出しを防止することができる。
述してきたが、本発明は前記実施の形態に限定されるも
のではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲での種々の
設計変更等が可能である。例えば、前記実施の形態で
は、熱処理の一例としてCVD処理が例示されている
が、本発明の縦型熱処理装置は、CVD処理以外に、例
えば拡散処理、酸化処理、アニール処理等にも適用可能
である。また、前記実施の形態では、処理容器にマニホ
ールドを備えた縦型熱処理装置が例示されているが、本
発明の縦型熱処理装置は、処理容器にマニホールドを備
えていなくてもよい。また、被処理体としては、半導体
ウエハ以外に、例えばLCD基板やガラス基板等であっ
てもよい。
な効果を奏することができる。
被処理体を下方から収容する縦型の処理容器の外側にこ
れを取り囲むヒータを設置し、該ヒータの下部にヒータ
内へ冷却用の空気を送り込む送風部を設け、ヒータの上
部に排気口を設け、該排気口に排気ダクトを接続した縦
型熱処理装置において、前記排気口にこれを送風圧力に
より自動的に開閉する弁蓋を設けているため、エアシリ
ンダ等外部の動力を用いずに排気口の弁蓋を自動開閉で
き、外部動力貫通用の隙間が無いことから強制空冷時に
ヒータ内が陽圧になったとしてもごみや熱気の吹き出し
を防止することができる。
被処理体を下方から収容する縦型の処理容器の外側にこ
れを取り囲むヒータを設置し、該ヒータの下部にヒータ
内へ冷却用の空気を送り込む送風部を設け、ヒータの上
部に排気口を設け、該排気口に排気ダクトを接続すると
ともに排気口を開閉するシャッターを設けた縦型熱処理
装置において、前記ヒータ内の上部に設けられた圧力セ
ンサと、該圧力センサによる検出圧に基いてヒータ内が
微陰圧となるよう前記送風部を制御する制御部とを備え
ているため、強制空冷時にヒータ内が陽圧になるのを防
止でき、シャッターの外部動力貫通用の隙間があったと
してもその隙間からのごみや熱気の吹き出しを防止する
ことができる。
部が、ヒータの下部に設けられた環状の送風ダクトと、
該送風ダクトに空気を送り込む送風ブロワと、送風ダク
トの上部にその周方向に適宜間隔で突設された送風ノズ
ルとを備え、送風ノズルの幾つかはヒータ内の下部を冷
却すべく短く形成されているため、ヒータ内の上部より
も降温時間の遅い下部の降温時間を上部の降温時間と同
程度に早めることができ、強制空冷時間の短縮化が図れ
る。
被処理体を下方から収容する縦型の処理容器の外側に設
置されたヒータの上部の排気口のシャッターを開け、排
気ブロワにより排気するとともにヒータ内に下部から送
風ブロワにより空気を送り込んでヒータ内を強制的に空
冷する方法において、強制空冷開始時に先ず前記シャッ
ターを開け、次に排気ブロワと送風ブロワを順に起動
し、ヒータ内の圧力が微陰圧になるように送風ブロワを
制御し、ヒータ内の温度降下に伴う陰圧度の増大を抑え
るべく送風ブロワの送風量を増大させるため、強制空冷
時にヒータ内が陽圧になるのを防止でき、シャッターの
外部動力貫通用の隙間があったとしてもその隙間からの
ごみや熱気の吹き出しを防止することができ、しかも、
陰圧度の増大に伴う降温レートの低下を抑制でき、強制
空冷時間の短縮化が図れる。
被処理体を下方から収容する縦型の処理容器の外側に設
置されたヒータの上部の排気口のシャッターを開け、排
気ブロワにより排気するとともにヒータ内に下部から送
風ブロワにより空気を送り込んでヒータ内を強制的に空
冷する方法において、強制空冷終了時に先ず送風ブロワ
の電源と排気ブロワの電源を順に切り、前記送風ブロワ
の電源を切ってから送風ブロワの回転が停止するまでの
所定時間経過後に前記シャッターを閉めるため、電源を
切った後の送風ブロワの慣性回転に起因するヒータ内の
陽圧化現象を防止することができ、強制空冷終了時のご
みや熱気の吹き出しを防止することができる。
置の縦断面図である。
置の縦断面図である。
力変化を示すグラフ図である。
示すグラフ図である。
みの発生量の変化を示すグラフ図である。
Claims (5)
- 【請求項1】 複数枚の被処理体を下方から収容する縦
型の処理容器の外側にこれを取り囲むヒータを設置し、
該ヒータの下部にヒータ内へ冷却用の空気を送り込む送
風部を設け、ヒータの上部に排気口を設け、該排気口に
排気ダクトを接続した縦型熱処理装置において、前記排
気口にこれを送風圧力により自動的に開閉する弁蓋を設
けたことを特徴とする縦型熱処理装置。 - 【請求項2】 複数枚の被処理体を下方から収容する縦
型の処理容器の外側にこれを取り囲むヒータを設置し、
該ヒータの下部にヒータ内へ冷却用の空気を送り込む送
風部を設け、ヒータの上部に排気口を設け、該排気口に
排気ダクトを接続するとともに排気口を開閉するシャッ
ターを設けた縦型熱処理装置において、前記ヒータ内の
上部に設けられた圧力センサと、該圧力センサによる検
出圧に基いてヒータ内が微陰圧となるよう前記送風部を
制御する制御部とを備えたことを特徴とする縦型熱処理
装置。 - 【請求項3】 前記送風部は、ヒータの下部に設けられ
た環状の送風ダクトと、該送風ダクトに空気を送り込む
送風ブロワと、送風ダクトの上部にその周方向に適宜間
隔で突設された送風ノズルとを備え、送風ノズルの幾つ
かはヒータ内の下部を冷却すべく短く形成されているこ
とを特徴とする請求項1または2記載の縦型熱処理装
置。 - 【請求項4】 複数枚の被処理体を下方から収容する縦
型の処理容器の外側に設置されたヒータの上部の排気口
のシャッターを開け、排気ブロワにより排気するととも
にヒータ内に下部から送風ブロワにより空気を送り込ん
でヒータ内を強制的に空冷する方法において、強制空冷
開始時に先ず前記シャッターを開け、次に排気ブロワと
送風ブロワを順に起動し、ヒータ内の圧力が微陰圧にな
るように送風ブロワを制御し、ヒータ内の温度降下に伴
う陰圧度の増大を抑えるべく送風ブロワの送風量を増大
させることを特徴とする縦型熱処理装置の強制空冷方
法。 - 【請求項5】 複数枚の被処理体を下方から収容する縦
型の処理容器の外側に設置されたヒータの上部の排気口
のシャッターを開け、排気ブロワにより排気するととも
にヒータ内に下部から送風ブロワにより空気を送り込ん
でヒータ内を強制的に空冷する方法において、強制空冷
終了時に先ず送風ブロワの電源と排気ブロワの電源を順
に切り、前記送風ブロワの電源を切ってから送風ブロワ
の回転が停止するまでの所定時間経過後に前記シャッタ
ーを閉めることを特徴とする縦型熱処理装置の強制空冷
方法。
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